JP2006023186A - 角速度センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ドライブ電極部26およびモニタ電極部28およびセンシング電極部27は、音叉形状の基板に形成した下部電極と、この下部電極に形成した圧電材料からなる圧電膜と、この圧電膜に形成した上部電極とを有しており、圧電膜の幅よりも上部電極の幅を小さくして、上部電極の両端面に近接する近接部から圧電膜を露出させるようにした構成である。
【選択図】図1
Description
22 電子回路
23 ケース
24 軸部
25 アーム部
26 ドライブ電極部
27 センシング電極部
28 モニタ電極部
29 下部電極
30 圧電膜
31 上部電極
32 近接部
33 基板
34 導体層
35 レジスト膜
36 エッチング屑
37 エッチング面
38 劣化部
39 電界
40 本願特性
41 従来特性
Claims (5)
- 角速度検出用の振動子を備え、前記振動子には、前記振動子を駆動させる駆動信号を入力するドライブ電極部と、前記振動子の駆動状態を検知して検知信号を出力するモニタ電極部と、前記振動子に与えられた角速度に起因して発生する角速度信号を出力するセンシング電極部とを設け、前記ドライブ電極部および前記モニタ電極部および前記センシング電極部は、基板に形成した下部電極と、前記下部電極に形成した圧電材料からなる圧電膜と、前記圧電膜に形成した上部電極とを有し、前記圧電膜の幅よりも前記上部電極の幅を小さくして、前記上部電極の両端面に近接する近接部から前記圧電膜を露出させた角速度センサ。
- 前記振動子は、軸部に一対のアーム部を有する形状としたものであって、前記アーム部に前記ドライブ電極部と前記センシング電極部とを設け、前記軸部に近接した前記アーム部に前記モニタ電極部を設けた請求項1記載の角速度センサ。
- 前記上部電極および前記圧電膜および前記下部電極とをドライエッチングにより所定形状に形成した請求項1記載の角速度センサ。
- 前記基板の主材料はシリコンとし、前記圧電材料はPZTとした請求項1記載の角速度センサ。
- 角速度検出用の振動子を備え、前記振動子を駆動させる駆動信号を入力するドライブ電極部と、前記振動子の駆動状態を検知して検知信号を出力するモニタ電極部と、前記振動子に与えられた角速度に起因して発生した角速度信号を出力するセンシング電極部とを前記振動子に設けた角速度センサを製造する方法であって、前記ドライブ電極部および前記モニタ電極部および前記センシング電極部を形成する工程として、基板に下部電極を形成する工程と、前記下部電極に圧電材料からなる圧電膜を形成する工程と、前記圧電膜に上部電極を形成する工程とを設け、前記圧電膜の幅よりも前記上部電極の幅を小さくして、前記上部電極の両端面に近接する近接部から前記圧電膜を露出させるように、前記上部電極および前記圧電膜および前記下部電極とをドライエッチングにより所定形状に形成した角速度センサの製造方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008096139A (ja) * | 2006-10-06 | 2008-04-24 | Sony Corp | 角速度センサ及びその駆動方法 |
JP2008224630A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Sony Corp | 角速度センサ、角速度センサの製造方法及び電子機器 |
JP2008224628A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Sony Corp | 角速度センサ及び電子機器 |
JP2008256669A (ja) * | 2006-10-30 | 2008-10-23 | Sony Corp | 角速度センサ及び電子機器 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4631329B2 (ja) * | 2004-07-01 | 2011-02-16 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ及びその製造方法 |
JP2007285879A (ja) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Seiko Epson Corp | 角速度センサおよびその製造方法 |
JP4415997B2 (ja) * | 2007-03-19 | 2010-02-17 | セイコーエプソン株式会社 | 角速度センサおよび電子機器 |
JP2008233029A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Seiko Epson Corp | 加速度センサおよび電子機器 |
JP2008241547A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Seiko Epson Corp | 加速度センサおよび電子機器 |
WO2009034682A1 (ja) * | 2007-09-13 | 2009-03-19 | Panasonic Corporation | 角速度センサ |
US20110001394A1 (en) * | 2009-07-02 | 2011-01-06 | Eta Sa | Piezoelectric thin-film tuning fork resonator |
FR2954489B1 (fr) * | 2009-12-23 | 2014-08-01 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Electrodes et circuits electroniques associes pour gyrometre vibrant pizoelectrique |
JP2015224893A (ja) * | 2014-05-26 | 2015-12-14 | Tdk株式会社 | 角速度センサ |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09331087A (ja) * | 1996-06-10 | 1997-12-22 | Fuji Electric Co Ltd | 圧電素子及びその製造方法 |
JP2001113710A (ja) * | 1999-10-21 | 2001-04-24 | Kansai Research Institute | 圧電体薄膜素子の製造方法及びインクジェット記録ヘッド |
WO2003046479A1 (en) * | 2001-11-29 | 2003-06-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
WO2004015370A1 (ja) * | 2002-08-07 | 2004-02-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 角速度センサ |
JP2004061486A (ja) * | 2002-06-04 | 2004-02-26 | Murata Mfg Co Ltd | 音叉形振動子およびそれを用いた振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置および音叉形振動子の製造方法 |
JP2004079869A (ja) * | 2002-08-21 | 2004-03-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 共振デバイスの製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3344888B2 (ja) * | 1995-12-28 | 2002-11-18 | 日本碍子株式会社 | 圧電/電歪膜型素子及びその製造方法 |
JPH1047971A (ja) | 1996-08-05 | 1998-02-20 | Nippon Soken Inc | 角速度センサ |
JP2002257549A (ja) | 2001-03-01 | 2002-09-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 音叉振動子、音叉振動子を備えた角速度センサ及び角速度センサの製造方法 |
JP3972790B2 (ja) * | 2001-11-27 | 2007-09-05 | 松下電器産業株式会社 | 薄膜微小機械式共振子および薄膜微小機械式共振子ジャイロ |
US6880399B1 (en) * | 2001-11-29 | 2005-04-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
WO2003061023A1 (fr) * | 2002-01-11 | 2003-07-24 | Ngk Insulators, Ltd. | Dispositif piezo-electrique/electrostrictif et son procede de production |
CN100338435C (zh) * | 2002-06-10 | 2007-09-19 | 松下电器产业株式会社 | 角速度传感器 |
JP4529444B2 (ja) * | 2004-01-13 | 2010-08-25 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ |
-
2004
- 2004-07-08 JP JP2004201513A patent/JP2006023186A/ja active Pending
-
2005
- 2005-06-23 US US10/565,952 patent/US7260990B2/en active Active
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09331087A (ja) * | 1996-06-10 | 1997-12-22 | Fuji Electric Co Ltd | 圧電素子及びその製造方法 |
JP2001113710A (ja) * | 1999-10-21 | 2001-04-24 | Kansai Research Institute | 圧電体薄膜素子の製造方法及びインクジェット記録ヘッド |
WO2003046479A1 (en) * | 2001-11-29 | 2003-06-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
JP2004061486A (ja) * | 2002-06-04 | 2004-02-26 | Murata Mfg Co Ltd | 音叉形振動子およびそれを用いた振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置および音叉形振動子の製造方法 |
WO2004015370A1 (ja) * | 2002-08-07 | 2004-02-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 角速度センサ |
JP2004079869A (ja) * | 2002-08-21 | 2004-03-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 共振デバイスの製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008096139A (ja) * | 2006-10-06 | 2008-04-24 | Sony Corp | 角速度センサ及びその駆動方法 |
JP2008256669A (ja) * | 2006-10-30 | 2008-10-23 | Sony Corp | 角速度センサ及び電子機器 |
JP2008224630A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Sony Corp | 角速度センサ、角速度センサの製造方法及び電子機器 |
JP2008224628A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Sony Corp | 角速度センサ及び電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1647803B1 (en) | 2015-03-04 |
EP1647803A1 (en) | 2006-04-19 |
US20060272412A1 (en) | 2006-12-07 |
EP1647803A4 (en) | 2008-01-02 |
WO2006006361A1 (ja) | 2006-01-19 |
US7260990B2 (en) | 2007-08-28 |
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