JP4869001B2 - 振動ジャイロ - Google Patents
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Description
前記非励振駆動中央脚における前記面内振動を検出するための面内振動検出手段を備え、
前記面内振動検出手段は、前記非励振駆動中央脚に設けられた診断電極であることを特徴とする振動ジャイロ。
前記面内振動検出手段は、前記非励振駆動中央脚に設けられた第1の電極と、前記パッケージの内側に固定された部材に設けられた第2の電極とでなる静電容量であり、
前記静電容量の変化に基づき、前記一対の駆動脚の故障診断を行う診断手段を備える
ことを特徴とする前記(1)に記載の振動ジャイロ。
2 パッケージ
3 支持部材
4 胴体部
5a,5b 駆動脚
5c 非励振駆動中央脚
6a,6b 検出脚
6c 非検出検出中央脚
7 基板
8a,9a,……,14a,8b,9b,……,14b 端子
15 支持部材取付位置
16a〜16d,17a〜17d 診断電極
18a,18b 櫛歯状診断電極
21 検出回路
22 定電圧回路
23 コンパレータ
A 診断信号
Ca,Cb コリオリ振動
Da,Db 駆動振動
Dc 非励振駆動中央脚の面内振動
S 基準電圧
Sa,Sb 検出振動
V 診断電圧
ω 加速度
Claims (3)
- 一対の駆動脚、一対の検出脚、前記一対の駆動脚の間に配置された非励振駆動中央脚、並びに前記一対の駆動脚、前記一対の検出脚および前記非励振駆動中央脚を結合する矩形の胴体部でなる板状の音叉型圧電振動子と、前記胴体部の板面に平行な方向の振動を面内振動と定義し、前記板面に直交する方向の振動を面外振動と定義するとき、前記一対の駆動脚に前記面内振動をさせるための駆動電極と、前記一対の検出脚における前記面外振動を検出するための検出電極とを備え、前記一対の駆動脚および前記一対の検出脚は、前記胴体部の互いに対向する第1及び第2の端面から互いに反対方向にそれぞれ延伸して設けられ、前記非励振駆動中央脚は前記駆動脚と軸を互いに平行にして前記第1の端面から延伸して設けられた振動ジャイロであって、
前記非励振駆動中央脚における前記面内振動を検出するための面内振動検出手段を備え、
前記面内振動検出手段は、前記非励振駆動中央脚に設けられた診断電極である
ことを特徴とする振動ジャイロ。 - 前記診断電極の出力と所定値とを比較することにより、前記一対の駆動脚の故障診断を行う診断手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の振動ジャイロ。
- 前記音叉型圧電振動子を収容するパッケージを備え、
前記面内振動検出手段は、前記非励振駆動中央脚に設けられた第1の電極と、前記パッケージの内側に固定された部材に設けられた第2の電極とでなる静電容量であり、
前記静電容量の変化に基づき、前記一対の駆動脚の故障診断を行う診断手段を備える
ことを特徴とする請求項1に記載の振動ジャイロ。
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