JP2002228452A - 振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置および振動ジャイロの自己診断方法 - Google Patents
振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置および振動ジャイロの自己診断方法Info
- Publication number
- JP2002228452A JP2002228452A JP2001020438A JP2001020438A JP2002228452A JP 2002228452 A JP2002228452 A JP 2002228452A JP 2001020438 A JP2001020438 A JP 2001020438A JP 2001020438 A JP2001020438 A JP 2001020438A JP 2002228452 A JP2002228452 A JP 2002228452A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- self
- detection
- vibrator
- diagnosis
- vibrating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
Abstract
(57)【要約】
【課題】 振動子とその周辺回路の異常を自己診断する
ことのできる振動ジャイロおよび振動ジャイロの自己診
断方法を提供する。 【解決手段】 スイッチ１３で圧電振動子２の検出負荷
インピーダンス１４の抵抗値を切り換えて検出負荷イン
ピーダンス１５の抵抗値と異ならせることによって、検
出電極２Ｌおよび２Ｒから差動回路７に入力される信号
の振幅を互いに異ならせ、これによるコリオリ信号の変
化を検出する。 【効果】 振動子の検出電極の短絡も含めて、振動ジャ
イロの自己診断を行うことができる。
ことのできる振動ジャイロおよび振動ジャイロの自己診
断方法を提供する。 【解決手段】 スイッチ１３で圧電振動子２の検出負荷
インピーダンス１４の抵抗値を切り換えて検出負荷イン
ピーダンス１５の抵抗値と異ならせることによって、検
出電極２Ｌおよび２Ｒから差動回路７に入力される信号
の振幅を互いに異ならせ、これによるコリオリ信号の変
化を検出する。 【効果】 振動子の検出電極の短絡も含めて、振動ジャ
イロの自己診断を行うことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動ジャイロおよ
び振動ジャイロの自己診断方法に関する。
び振動ジャイロの自己診断方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】車両の姿勢制御や横転検出のような安全
装置や、自動車のナビゲーションシステムなどに用いら
れる振動ジャイロには、その異常を自己診断する機能が
求められている。自己診断に関する公知文献としては、
特開平３−１５９８７７号公報、特開平４−２１５０１
７号公報、特開平５−１３３７５５号公報、特開平６−
５８７６０号公報、特開平６−２０７９４６号公報、特
開平９−２８１１３８号公報、特開平１１−５１６５５
号公報、特開２０００−２５４２号公報などがある。
装置や、自動車のナビゲーションシステムなどに用いら
れる振動ジャイロには、その異常を自己診断する機能が
求められている。自己診断に関する公知文献としては、
特開平３−１５９８７７号公報、特開平４−２１５０１
７号公報、特開平５−１３３７５５号公報、特開平６−
５８７６０号公報、特開平６−２０７９４６号公報、特
開平９−２８１１３８号公報、特開平１１−５１６５５
号公報、特開２０００−２５４２号公報などがある。
【０００３】公知文献における自己診断方法としては、
（１）振動子の駆動信号および差動出力信号をモニター
して、そのレベルが所定の範囲を超えると異常と判断す
る、（２）差動回路と同期検波回路の間に同期検波信号
に同期した信号を印加して出力信号をモニターし、その
値が所定の範囲を超えると異常と判断する、というもの
である。
（１）振動子の駆動信号および差動出力信号をモニター
して、そのレベルが所定の範囲を超えると異常と判断す
る、（２）差動回路と同期検波回路の間に同期検波信号
に同期した信号を印加して出力信号をモニターし、その
値が所定の範囲を超えると異常と判断する、というもの
である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
自己診断方法（１）では、異常かどうかの診断はできる
が、振動ジャイロのどこにその異常の原因があるのか分
からないという問題があった。
自己診断方法（１）では、異常かどうかの診断はできる
が、振動ジャイロのどこにその異常の原因があるのか分
からないという問題があった。
【０００５】また、従来の自己診断方法（２）では、差
動回路の後に同期検波信号に同期した信号を印加するた
め、その信号を印加した位置より後段の回路の異常は診
断できるが、振動子そのものの異常、例えば振動子の複
数の検出電極の短絡あるいは開放などは診断できないと
いう問題があった。また、この方法では付加する回路が
多く、回路規模が大きくなるため、コストや信頼性の面
でも問題となりやすい。
動回路の後に同期検波信号に同期した信号を印加するた
め、その信号を印加した位置より後段の回路の異常は診
断できるが、振動子そのものの異常、例えば振動子の複
数の検出電極の短絡あるいは開放などは診断できないと
いう問題があった。また、この方法では付加する回路が
多く、回路規模が大きくなるため、コストや信頼性の面
でも問題となりやすい。
【０００６】本発明は上記の問題点を解決することを目
的とするもので、振動子とその周辺回路の異常を、より
安価に、より信頼性高く自己診断することのできる振動
ジャイロおよびそれを用いた電子装置および振動ジャイ
ロの自己診断方法を提供する。
的とするもので、振動子とその周辺回路の異常を、より
安価に、より信頼性高く自己診断することのできる振動
ジャイロおよびそれを用いた電子装置および振動ジャイ
ロの自己診断方法を提供する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の振動ジャイロは、複数の検出電極を有する
とともに駆動信号および印加される角速度に応じた振動
をする振動子と、該振動子を振動させるための駆動信号
を前記振動子に印加する振動子駆動手段と、前記複数の
検出電極に接続されて、前記振動子の振動によって前記
複数の検出電極に発生する電荷をそれぞれ電圧信号に変
換する複数の検出負荷インピーダンスと、前記複数の電
圧信号から角速度に応じたコリオリ信号を出力するコリ
オリ力検出手段とを備えた振動ジャイロであって、前記
複数の検出負荷インピーダンスの中の少なくとも１つの
インピーダンス値を切り換えるインピーダンス切換手段
を備えたことを特徴とする。
に、本発明の振動ジャイロは、複数の検出電極を有する
とともに駆動信号および印加される角速度に応じた振動
をする振動子と、該振動子を振動させるための駆動信号
を前記振動子に印加する振動子駆動手段と、前記複数の
検出電極に接続されて、前記振動子の振動によって前記
複数の検出電極に発生する電荷をそれぞれ電圧信号に変
換する複数の検出負荷インピーダンスと、前記複数の電
圧信号から角速度に応じたコリオリ信号を出力するコリ
オリ力検出手段とを備えた振動ジャイロであって、前記
複数の検出負荷インピーダンスの中の少なくとも１つの
インピーダンス値を切り換えるインピーダンス切換手段
を備えたことを特徴とする。
【０００８】また、本発明の振動ジャイロは、前記複数
の検出負荷インピーダンスの中の少なくとも１つのイン
ピーダンス値が切り換えられることによる前記コリオリ
信号の変化から自己診断をする自己診断手段を備えたこ
とを特徴とする。
の検出負荷インピーダンスの中の少なくとも１つのイン
ピーダンス値が切り換えられることによる前記コリオリ
信号の変化から自己診断をする自己診断手段を備えたこ
とを特徴とする。
【０００９】また、本発明の振動ジャイロは、前記自己
診断手段が、前記検出負荷インピーダンスの中の少なく
とも１つのインピーダンス値が切り換えられることによ
る前記コリオリ信号の過渡特性から自己診断をすること
を特徴とする。
診断手段が、前記検出負荷インピーダンスの中の少なく
とも１つのインピーダンス値が切り換えられることによ
る前記コリオリ信号の過渡特性から自己診断をすること
を特徴とする。
【００１０】また、本発明の振動ジャイロは、前記検出
負荷インピーダンスが抵抗であることを特徴とする。
負荷インピーダンスが抵抗であることを特徴とする。
【００１１】また、本発明の振動ジャイロの自己診断方
法は、複数の検出電極を有するとともに駆動信号および
印加される角速度に応じた振動をする振動子と、該振動
子を振動させるための駆動信号を前記振動子に印加する
振動子駆動手段と、前記振動子の振動によって前記複数
の検出電極に発生する電荷をそれぞれ電圧信号に変換す
る複数の検出負荷インピーダンスと、前記複数の電圧信
号から角速度に応じたコリオリ信号を出力するコリオリ
力検出手段とを備えた振動ジャイロの自己診断方法であ
って、前記複数の検出負荷インピーダンスの中の少なく
とも１つのインピーダンス値が切り換えられることによ
る前記コリオリ信号の変化から自己診断をすることを特
徴とする。
法は、複数の検出電極を有するとともに駆動信号および
印加される角速度に応じた振動をする振動子と、該振動
子を振動させるための駆動信号を前記振動子に印加する
振動子駆動手段と、前記振動子の振動によって前記複数
の検出電極に発生する電荷をそれぞれ電圧信号に変換す
る複数の検出負荷インピーダンスと、前記複数の電圧信
号から角速度に応じたコリオリ信号を出力するコリオリ
力検出手段とを備えた振動ジャイロの自己診断方法であ
って、前記複数の検出負荷インピーダンスの中の少なく
とも１つのインピーダンス値が切り換えられることによ
る前記コリオリ信号の変化から自己診断をすることを特
徴とする。
【００１２】また、本発明の振動ジャイロの自己診断方
法は、前記複数の検出負荷インピーダンスの中の少なく
とも１つのインピーダンス値が切り換えられることによ
る前記コリオリ信号の過渡特性から自己診断をすること
を特徴とする。
法は、前記複数の検出負荷インピーダンスの中の少なく
とも１つのインピーダンス値が切り換えられることによ
る前記コリオリ信号の過渡特性から自己診断をすること
を特徴とする。
【００１３】また、本発明の振動ジャイロの自己診断方
法は、前記検出負荷インピーダンスが抵抗であることを
特徴とする。
法は、前記検出負荷インピーダンスが抵抗であることを
特徴とする。
【００１４】このように構成することにより、本発明の
振動ジャイロおよびその自己診断方法においては、振動
子とその周辺回路の異常を自己診断することができる。
振動ジャイロおよびその自己診断方法においては、振動
子とその周辺回路の異常を自己診断することができる。
【００１５】また、本発明の電子装置においては、信頼
性の向上を図ることができる。
性の向上を図ることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１に、本発明の振動ジャイロの
一実施例の概略ブロック図を示す。図１において、振動
ジャイロ１は、振動子の一種である圧電振動子２、抵抗
Ｒ１、Ｒ２およびＲ３、加算回路３、移相回路４および
１７、増幅回路５、差動回路７、同期検波回路８、平滑
回路９、直流増幅回路１０、スイッチ１３から構成され
ている。
一実施例の概略ブロック図を示す。図１において、振動
ジャイロ１は、振動子の一種である圧電振動子２、抵抗
Ｒ１、Ｒ２およびＲ３、加算回路３、移相回路４および
１７、増幅回路５、差動回路７、同期検波回路８、平滑
回路９、直流増幅回路１０、スイッチ１３から構成され
ている。
【００１７】ここで、図２に圧電振動子２の構成を示
す。圧電振動子２は、厚み方向に分極されるとともに一
方主面に検出電極２Ｌ、２Ｒが形成された圧電体基板２
Ｕと、厚み方向に分極されるとともに一方主面に共通電
極２Ｃが形成された圧電体基板２Ｄが、中間電極２Ｆを
介して他方主面同士で貼り合わされて構成されている。
す。圧電振動子２は、厚み方向に分極されるとともに一
方主面に検出電極２Ｌ、２Ｒが形成された圧電体基板２
Ｕと、厚み方向に分極されるとともに一方主面に共通電
極２Ｃが形成された圧電体基板２Ｄが、中間電極２Ｆを
介して他方主面同士で貼り合わされて構成されている。
【００１８】図１に戻って、このように構成された圧電
振動子２の検出電極２Ｌは、抵抗Ｒ１を介してスイッチ
１３の共通端子に接続されている。スイッチ１３の切り
換え端子の一方側は直接基準電位に接続され、他方側は
抵抗Ｒ３を介して基準電位に接続されている。また、圧
電振動子２の検出電極２Ｒは、抵抗Ｒ２を介して基準電
位に接続されている。このうち、抵抗Ｒ１、Ｒ３、スイ
ッチ１３は検出負荷インピーダンス１４を構成してい
る。また、抵抗Ｒ２は単独で検出負荷インピーダンス１
５を構成している。２つの検出電極２Ｌ、２Ｒは、加算
回路３に接続され、その出力は移相回路４と増幅回路５
を順に介して圧電振動子２の共通電極２Ｃに接続されて
いる。また、同じく２つの検出電極２Ｌ、２Ｒは、差動
回路７に接続され、その出力は同期検波回路８、平滑回
路９、および直流増幅回路１０を介して出力端子１２に
接続されている。加算回路３の出力は移相回路１７を介
して同期検波回路８にも接続されている。制御信号入力
端子１６はスイッチ１３の制御端子に接続されている。
振動子２の検出電極２Ｌは、抵抗Ｒ１を介してスイッチ
１３の共通端子に接続されている。スイッチ１３の切り
換え端子の一方側は直接基準電位に接続され、他方側は
抵抗Ｒ３を介して基準電位に接続されている。また、圧
電振動子２の検出電極２Ｒは、抵抗Ｒ２を介して基準電
位に接続されている。このうち、抵抗Ｒ１、Ｒ３、スイ
ッチ１３は検出負荷インピーダンス１４を構成してい
る。また、抵抗Ｒ２は単独で検出負荷インピーダンス１
５を構成している。２つの検出電極２Ｌ、２Ｒは、加算
回路３に接続され、その出力は移相回路４と増幅回路５
を順に介して圧電振動子２の共通電極２Ｃに接続されて
いる。また、同じく２つの検出電極２Ｌ、２Ｒは、差動
回路７に接続され、その出力は同期検波回路８、平滑回
路９、および直流増幅回路１０を介して出力端子１２に
接続されている。加算回路３の出力は移相回路１７を介
して同期検波回路８にも接続されている。制御信号入力
端子１６はスイッチ１３の制御端子に接続されている。
【００１９】このように構成された振動ジャイロ１にお
いて、２つの検出電極２Ｌ、２Ｒに発生する電荷は検出
負荷インピーダンス１４、１５によって電圧に変換さ
れ、加算回路３に入力されて加算され、移相回路４で位
相が調節され、増幅回路５で増幅されて共通電極２Ｃに
印加される。これによって、圧電振動子２は厚み方向
（圧電体基板２Ｕ、２Ｄの厚み方向）に屈曲振動するよ
うに自励発振で駆動される。したがって、加算回路３、
移相回路４、および増幅回路５は圧電振動子駆動手段６
を構成している。なお、スイッチ１３の共通端子は通常
は切換端子の一方側に接続されているため、検出負荷イ
ンピーダンス１４の抵抗値は抵抗Ｒ１の抵抗値となって
いる。また、前述のように抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ２の抵抗値
は等しい。そのため、検出負荷インピーダンス１４の抵
抗値が切り換えられる前の状態であって、しかも角速度
の印加されない状態においては、検出負荷インピーダン
ス１４と１５の抵抗値は等しく、２つの検出電極２Ｌ、
２Ｒで発生する信号に差はない。なお、これ以降、「検
出電極で発生する信号」と言うような場合は、「検出電
極で発生する電荷を検出負荷インピーダンスで電圧に変
換して得られる信号」を意味するものとする。
いて、２つの検出電極２Ｌ、２Ｒに発生する電荷は検出
負荷インピーダンス１４、１５によって電圧に変換さ
れ、加算回路３に入力されて加算され、移相回路４で位
相が調節され、増幅回路５で増幅されて共通電極２Ｃに
印加される。これによって、圧電振動子２は厚み方向
（圧電体基板２Ｕ、２Ｄの厚み方向）に屈曲振動するよ
うに自励発振で駆動される。したがって、加算回路３、
移相回路４、および増幅回路５は圧電振動子駆動手段６
を構成している。なお、スイッチ１３の共通端子は通常
は切換端子の一方側に接続されているため、検出負荷イ
ンピーダンス１４の抵抗値は抵抗Ｒ１の抵抗値となって
いる。また、前述のように抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ２の抵抗値
は等しい。そのため、検出負荷インピーダンス１４の抵
抗値が切り換えられる前の状態であって、しかも角速度
の印加されない状態においては、検出負荷インピーダン
ス１４と１５の抵抗値は等しく、２つの検出電極２Ｌ、
２Ｒで発生する信号に差はない。なお、これ以降、「検
出電極で発生する信号」と言うような場合は、「検出電
極で発生する電荷を検出負荷インピーダンスで電圧に変
換して得られる信号」を意味するものとする。
【００２０】このような振動ジャイロ１の厚み方向に屈
曲振動する圧電振動子２に、その長手方向に平行な軸を
回転の軸とする角速度が印加されると、圧電振動子２は
コリオリ力によって幅方向（圧電体基板２Ｕ、２Ｄの幅
方向）にも屈曲振動する。これによって、２つの検出電
極２Ｌ、２Ｒで発生する信号にも、コリオリ力に応じて
互いに逆方向の変化が生じる。
曲振動する圧電振動子２に、その長手方向に平行な軸を
回転の軸とする角速度が印加されると、圧電振動子２は
コリオリ力によって幅方向（圧電体基板２Ｕ、２Ｄの幅
方向）にも屈曲振動する。これによって、２つの検出電
極２Ｌ、２Ｒで発生する信号にも、コリオリ力に応じて
互いに逆方向の変化が生じる。
【００２１】２つの検出電極２Ｌ、２Ｒで発生した信号
は差動回路７にも入力されて、その差の信号（差動信
号）が出力される。この差動信号はコリオリ力に応じた
ものとなる。差動信号は同期検波回路８で移相回路１７
から入力された同期信号によって同期検波され、平滑回
路９で平滑され、直流増幅回路１０で増幅されて出力端
子１２から出力される。したがって、移相回路１７、差
動回路７、同期検波回路８、平滑回路９、および直流増
幅回路１０はコリオリ力検出手段１１を構成している。
なお、ここでは、この出力端子１２から出力される信号
をコリオリ信号と称する。
は差動回路７にも入力されて、その差の信号（差動信
号）が出力される。この差動信号はコリオリ力に応じた
ものとなる。差動信号は同期検波回路８で移相回路１７
から入力された同期信号によって同期検波され、平滑回
路９で平滑され、直流増幅回路１０で増幅されて出力端
子１２から出力される。したがって、移相回路１７、差
動回路７、同期検波回路８、平滑回路９、および直流増
幅回路１０はコリオリ力検出手段１１を構成している。
なお、ここでは、この出力端子１２から出力される信号
をコリオリ信号と称する。
【００２２】振動ジャイロ１において、角速度が印加さ
れていないときに、制御信号入力端子１６から入力され
る制御信号に応じて、スイッチ１３の共通端子の接続さ
れる相手が切換端子の一方側から他方側に切り換えられ
ることによって、検出電極２Ｌに接続されている検出負
荷インピーダンス１４の抵抗値が変化する。具体的には
検出電極２Ｌに接続される検出負荷インピーダンスの値
は、抵抗Ｒ１のみの抵抗値から抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ３の抵
抗値を足した値に変化する。一方、検出負荷インピーダ
ンス１５の抵抗値は抵抗Ｒ２の抵抗値のまま変わらない
ため、２つの検出負荷インピーダンス１４、１５の抵抗
値に差が生じる。その結果として、検出電極２Ｌ、２Ｒ
から差動回路７に入力される信号の振幅にも差が生じ
る。
れていないときに、制御信号入力端子１６から入力され
る制御信号に応じて、スイッチ１３の共通端子の接続さ
れる相手が切換端子の一方側から他方側に切り換えられ
ることによって、検出電極２Ｌに接続されている検出負
荷インピーダンス１４の抵抗値が変化する。具体的には
検出電極２Ｌに接続される検出負荷インピーダンスの値
は、抵抗Ｒ１のみの抵抗値から抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ３の抵
抗値を足した値に変化する。一方、検出負荷インピーダ
ンス１５の抵抗値は抵抗Ｒ２の抵抗値のまま変わらない
ため、２つの検出負荷インピーダンス１４、１５の抵抗
値に差が生じる。その結果として、検出電極２Ｌ、２Ｒ
から差動回路７に入力される信号の振幅にも差が生じ
る。
【００２３】ここで、検出負荷インピーダンス１４の抵
抗値が切り換えられる前後における検出電極２Ｌ、２Ｒ
から差動回路７に入力される信号の振幅の変化について
図３を参照して説明する。
抗値が切り換えられる前後における検出電極２Ｌ、２Ｒ
から差動回路７に入力される信号の振幅の変化について
図３を参照して説明する。
【００２４】検出負荷インピーダンス１４の抵抗値が切
り換えられる前の状態であって、しかも角速度の印加さ
れない状態においては、検出電極２Ｌと２Ｒから差動回
路７に入力される信号は、圧電振動子２の厚み方向の屈
曲振動に対応する信号であるため、図３に示すように振
幅の一致した正弦波となる。ここでは、検出電極２Ｌか
ら差動回路７に入力される信号を実線で、検出電極２Ｒ
から差動回路７に入力される信号を破線で示している
が、重なっているために図３においては実線にしか見え
ない。差動回路７からは２つの信号の差に相当する信号
が出力されるが、２つの信号が一致しているために差の
信号はゼロとなる。そのため、同期検波回路８からの出
力や直流増幅回路１０からの出力もゼロとなる。
り換えられる前の状態であって、しかも角速度の印加さ
れない状態においては、検出電極２Ｌと２Ｒから差動回
路７に入力される信号は、圧電振動子２の厚み方向の屈
曲振動に対応する信号であるため、図３に示すように振
幅の一致した正弦波となる。ここでは、検出電極２Ｌか
ら差動回路７に入力される信号を実線で、検出電極２Ｒ
から差動回路７に入力される信号を破線で示している
が、重なっているために図３においては実線にしか見え
ない。差動回路７からは２つの信号の差に相当する信号
が出力されるが、２つの信号が一致しているために差の
信号はゼロとなる。そのため、同期検波回路８からの出
力や直流増幅回路１０からの出力もゼロとなる。
【００２５】ここで、制御信号入力端子１６から入力さ
れる制御信号にしたがってスイッチ１３を切り換えて、
共通端子を切換端子の他方側と接続することによって、
検出負荷インピーダンス１４の抵抗値を切り換えた状態
を考える。検出負荷インピーダンス１４の抵抗値を切り
換えると、図３に示すように、検出電極２Ｌから差動回
路７に入力される信号（実線で示す）の振幅が抵抗値の
変化に応じて変化する。一方、検出電極２Ｒから差動回
路７に入力される信号（破線で示す）には変化はない。
そのため、差動回路７からはその差に応じた信号、すな
わち検出負荷インピーダンスの差に応じた振幅の正弦波
信号が出力される。この信号は同期検波回路８で同期検
波され、平滑回路９で平滑され、直流増幅回路１０で増
幅されて出力端子１２にコリオリ信号として出力され
る。
れる制御信号にしたがってスイッチ１３を切り換えて、
共通端子を切換端子の他方側と接続することによって、
検出負荷インピーダンス１４の抵抗値を切り換えた状態
を考える。検出負荷インピーダンス１４の抵抗値を切り
換えると、図３に示すように、検出電極２Ｌから差動回
路７に入力される信号（実線で示す）の振幅が抵抗値の
変化に応じて変化する。一方、検出電極２Ｒから差動回
路７に入力される信号（破線で示す）には変化はない。
そのため、差動回路７からはその差に応じた信号、すな
わち検出負荷インピーダンスの差に応じた振幅の正弦波
信号が出力される。この信号は同期検波回路８で同期検
波され、平滑回路９で平滑され、直流増幅回路１０で増
幅されて出力端子１２にコリオリ信号として出力され
る。
【００２６】この、検出電極２Ｌの検出負荷インピーダ
ンス１４の抵抗値を切り換えることによって出力端子１
２に出力されるコリオリ信号は、抵抗値の変化に応じた
大きさだけ変化するが、この変化は抵抗Ｒ１や抵抗Ｒ３
の抵抗値などからあらかじめ予測される、あるいは測定
し得るものである。そこで、出力端子２に接続される何
らかの回路によって、このコリオリ信号の大きさの変化
が所定の範囲に入っているかどうかを確認することによ
って、振動ジャイロ１が正常に動作しているかどうかを
自己診断することができる。
ンス１４の抵抗値を切り換えることによって出力端子１
２に出力されるコリオリ信号は、抵抗値の変化に応じた
大きさだけ変化するが、この変化は抵抗Ｒ１や抵抗Ｒ３
の抵抗値などからあらかじめ予測される、あるいは測定
し得るものである。そこで、出力端子２に接続される何
らかの回路によって、このコリオリ信号の大きさの変化
が所定の範囲に入っているかどうかを確認することによ
って、振動ジャイロ１が正常に動作しているかどうかを
自己診断することができる。
【００２７】例えば、検出電極２Ｌの検出負荷インピー
ダンス１４の抵抗値を切り換えたときのコリオリ信号が
所定値より大きかったり小さかったりすると、コリオリ
力検出手段１１のどこかに異常があるということが分か
る。
ダンス１４の抵抗値を切り換えたときのコリオリ信号が
所定値より大きかったり小さかったりすると、コリオリ
力検出手段１１のどこかに異常があるということが分か
る。
【００２８】また、例えば２つの検出電極２Ｌと２Ｒが
短絡している場合には、２つの検出電極２Ｌ、２Ｒの検
出負荷インピーダンスが一致することになるため、本来
検出電極２Ｌの検出負荷インピーダンス１４の抵抗値の
切換によって変化すべきコリオリ信号が変化しないとい
うことになる。このように、振動ジャイロ１において
は、検出負荷インピーダンス１４の抵抗値を切り換える
ことによって、圧電振動子２自身の異常についても診断
することができるようになる。すなわち、インピーダン
ス素子と切換手段を付加するだけという非常にシンプル
な構成で、自己診断が可能となるという優れた効果を有
している。
短絡している場合には、２つの検出電極２Ｌ、２Ｒの検
出負荷インピーダンスが一致することになるため、本来
検出電極２Ｌの検出負荷インピーダンス１４の抵抗値の
切換によって変化すべきコリオリ信号が変化しないとい
うことになる。このように、振動ジャイロ１において
は、検出負荷インピーダンス１４の抵抗値を切り換える
ことによって、圧電振動子２自身の異常についても診断
することができるようになる。すなわち、インピーダン
ス素子と切換手段を付加するだけという非常にシンプル
な構成で、自己診断が可能となるという優れた効果を有
している。
【００２９】図４に、本発明の振動ジャイロの別の実施
例の概略ブロック図を示す。図４において、図１と同一
もしくは同等の部分には同じ記号を付し、その説明を省
略する。
例の概略ブロック図を示す。図４において、図１と同一
もしくは同等の部分には同じ記号を付し、その説明を省
略する。
【００３０】図４において、振動ジャイロ２０は、図１
に示した振動ジャイロ１に加えて、直流増幅回路１０の
出力に接続された自己診断手段である自己診断回路２１
を備えている。自己診断回路２１の出力は診断結果出力
端子２２に接続されている。
に示した振動ジャイロ１に加えて、直流増幅回路１０の
出力に接続された自己診断手段である自己診断回路２１
を備えている。自己診断回路２１の出力は診断結果出力
端子２２に接続されている。
【００３１】このように構成された振動ジャイロ２０に
おいては、振動ジャイロ２０自身が自己診断回路２１を
備えており、外部に自己診断のための回路を新たに設け
る必要がない。
おいては、振動ジャイロ２０自身が自己診断回路２１を
備えており、外部に自己診断のための回路を新たに設け
る必要がない。
【００３２】図５に、本発明の振動ジャイロのさらに別
の実施例の概略ブロック図を示す。図５において、図１
と同一もしくは同等の部分には同じ記号を付し、その説
明を省略する。
の実施例の概略ブロック図を示す。図５において、図１
と同一もしくは同等の部分には同じ記号を付し、その説
明を省略する。
【００３３】図５に示した振動ジャイロ３０において、
圧電振動子２の検出電極２Ｒは抵抗Ｒ２を介してスイッ
チ３１の共通端子に接続されている。スイッチ３１の切
り換え端子の一方側は直接基準電位に接続され、他方側
は抵抗Ｒ４を介して基準電位に接続されている。このう
ち、抵抗Ｒ２、抵抗Ｒ４、スイッチ３１は検出負荷イン
ピーダンス３２を構成している。また、制御信号入力端
子１６はスイッチ１３の制御端子に加えてスイッチ３１
の制御端子にも接続されている。そして、抵抗Ｒ１と抵
抗Ｒ２の抵抗値は等しく、抵抗Ｒ３と抵抗Ｒ４の抵抗値
は異なっている。
圧電振動子２の検出電極２Ｒは抵抗Ｒ２を介してスイッ
チ３１の共通端子に接続されている。スイッチ３１の切
り換え端子の一方側は直接基準電位に接続され、他方側
は抵抗Ｒ４を介して基準電位に接続されている。このう
ち、抵抗Ｒ２、抵抗Ｒ４、スイッチ３１は検出負荷イン
ピーダンス３２を構成している。また、制御信号入力端
子１６はスイッチ１３の制御端子に加えてスイッチ３１
の制御端子にも接続されている。そして、抵抗Ｒ１と抵
抗Ｒ２の抵抗値は等しく、抵抗Ｒ３と抵抗Ｒ４の抵抗値
は異なっている。
【００３４】このように構成された振動ジャイロ３０に
おいて、スイッチ１３の共通端子は通常は切換端子の一
方側に接続されているため、検出負荷インピーダンス１
４の抵抗値は抵抗Ｒ１の抵抗値となっている。一方、ス
イッチ３１の共通端子も通常は切換端子の一方側に接続
されているため、検出負荷インピーダンス３２の抵抗値
は抵抗Ｒ２の抵抗値となっている。前述のように抵抗Ｒ
１と抵抗Ｒ２の抵抗値は一致しているため、検出負荷イ
ンピーダンス１４と検出負荷インピーダンス３２の抵抗
値も通常は一致している。そのため、検出負荷インピー
ダンス１４および３２の抵抗値が切り換えられる前の状
態であって、しかも角速度の印加されない状態において
は、２つの検出電極２Ｌ、２Ｒで発生する信号に差はな
い。
おいて、スイッチ１３の共通端子は通常は切換端子の一
方側に接続されているため、検出負荷インピーダンス１
４の抵抗値は抵抗Ｒ１の抵抗値となっている。一方、ス
イッチ３１の共通端子も通常は切換端子の一方側に接続
されているため、検出負荷インピーダンス３２の抵抗値
は抵抗Ｒ２の抵抗値となっている。前述のように抵抗Ｒ
１と抵抗Ｒ２の抵抗値は一致しているため、検出負荷イ
ンピーダンス１４と検出負荷インピーダンス３２の抵抗
値も通常は一致している。そのため、検出負荷インピー
ダンス１４および３２の抵抗値が切り換えられる前の状
態であって、しかも角速度の印加されない状態において
は、２つの検出電極２Ｌ、２Ｒで発生する信号に差はな
い。
【００３５】振動ジャイロ３０において、角速度が印加
されていないときに、制御信号入力端子１６から入力さ
れる制御信号に応じて、スイッチ１３およびスイッチ３
１の共通端子の接続される相手が切換端子の一方側から
他方側に切り換えられることによって、検出電極２Ｌ、
２Ｒに接続されている検出負荷インピーダンス１４、３
２の抵抗値が変化する。具体的には検出電極２Ｌに接続
される検出負荷インピーダンスの値は、抵抗Ｒ１のみの
抵抗値から抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ３の抵抗値を足した値に変
化する。一方、検出電極２Ｒに接続される検出負荷イン
ピーダンス３２の値は、抵抗Ｒ２のみの抵抗値から抵抗
Ｒ２と抵抗Ｒ４の抵抗値を足した値に変化する。抵抗Ｒ
１と抵抗Ｒ２の抵抗値は等しいが、抵抗Ｒ３と抵抗Ｒ４
の抵抗値は異なっているため、２つの検出負荷インピー
ダンス１４、３２の抵抗値に差が生じる。その結果とし
て、検出電極２Ｌ、２Ｒから差動回路７に入力される信
号の振幅にも差が生じ、図１に示した振動ジャイロ１の
場合と同様に、出力端子１２に検出負荷インピーダンス
の抵抗値の変化に応じたコリオリ信号が出力される。
されていないときに、制御信号入力端子１６から入力さ
れる制御信号に応じて、スイッチ１３およびスイッチ３
１の共通端子の接続される相手が切換端子の一方側から
他方側に切り換えられることによって、検出電極２Ｌ、
２Ｒに接続されている検出負荷インピーダンス１４、３
２の抵抗値が変化する。具体的には検出電極２Ｌに接続
される検出負荷インピーダンスの値は、抵抗Ｒ１のみの
抵抗値から抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ３の抵抗値を足した値に変
化する。一方、検出電極２Ｒに接続される検出負荷イン
ピーダンス３２の値は、抵抗Ｒ２のみの抵抗値から抵抗
Ｒ２と抵抗Ｒ４の抵抗値を足した値に変化する。抵抗Ｒ
１と抵抗Ｒ２の抵抗値は等しいが、抵抗Ｒ３と抵抗Ｒ４
の抵抗値は異なっているため、２つの検出負荷インピー
ダンス１４、３２の抵抗値に差が生じる。その結果とし
て、検出電極２Ｌ、２Ｒから差動回路７に入力される信
号の振幅にも差が生じ、図１に示した振動ジャイロ１の
場合と同様に、出力端子１２に検出負荷インピーダンス
の抵抗値の変化に応じたコリオリ信号が出力される。
【００３６】このように、１つではなく複数の検出負荷
インピーダンスの抵抗値を変える構成としても構わない
もので、図１に示した振動ジャイロ１の場合と同様の作
用効果を奏するものである。
インピーダンスの抵抗値を変える構成としても構わない
もので、図１に示した振動ジャイロ１の場合と同様の作
用効果を奏するものである。
【００３７】なお、検出負荷インピーダンスの抵抗値を
変える方法としては図１や図５に示した構成に限定され
るものではなく、どのような構成でも構わないものであ
る。
変える方法としては図１や図５に示した構成に限定され
るものではなく、どのような構成でも構わないものであ
る。
【００３８】また、図示は割愛するが、図１に示した振
動ジャイロ１に対する図４に示した振動ジャイロ２０の
ように、図５に示した振動ジャイロ３０において自己診
断回路を備えても構わないもので、振動ジャイロ２０の
場合と同様の作用効果を奏するものである。
動ジャイロ１に対する図４に示した振動ジャイロ２０の
ように、図５に示した振動ジャイロ３０において自己診
断回路を備えても構わないもので、振動ジャイロ２０の
場合と同様の作用効果を奏するものである。
【００３９】ところで、上記の各実施例においては、検
出負荷インピーダンスの中の少なくとも１つのインピー
ダンス値を切り換えた時に出力端子から出力されるコリ
オリ信号の大きさを確認することによって自己診断を行
う場合について説明してきたが、インピーダンス値を切
り換えることによるコリオリ信号の過渡特性から自己診
断をすることも可能である。その点について以下に示
す。
出負荷インピーダンスの中の少なくとも１つのインピー
ダンス値を切り換えた時に出力端子から出力されるコリ
オリ信号の大きさを確認することによって自己診断を行
う場合について説明してきたが、インピーダンス値を切
り換えることによるコリオリ信号の過渡特性から自己診
断をすることも可能である。その点について以下に示
す。
【００４０】振動ジャイロ１、２０、３０のコリオリ力
検出手段１１においては、同期検波回路８の後段に、平
滑回路９の一部として図６に示すような高域の周波数を
減衰させるためのローパスフィルタ４０が設けられる。
検出手段１１においては、同期検波回路８の後段に、平
滑回路９の一部として図６に示すような高域の周波数を
減衰させるためのローパスフィルタ４０が設けられる。
【００４１】図６において、ローパスフィルタ４０は、
オペアンプＱ３と入力端子ｉｎとオペアンプＱ３の反転
入力端子の間に接続された抵抗Ｒ５と、オペアンプＱ３
の出力端子と反転入力端子の間にそれぞれ接続された抵
抗Ｒ６およびコンデンサＣ１から構成されている。オペ
アンプＱ３の非反転入力端子は基準電位に接続され、出
力端子は出力端子ｏｕｔに接続されている。
オペアンプＱ３と入力端子ｉｎとオペアンプＱ３の反転
入力端子の間に接続された抵抗Ｒ５と、オペアンプＱ３
の出力端子と反転入力端子の間にそれぞれ接続された抵
抗Ｒ６およびコンデンサＣ１から構成されている。オペ
アンプＱ３の非反転入力端子は基準電位に接続され、出
力端子は出力端子ｏｕｔに接続されている。
【００４２】このようなローパスフィルタ４０におい
て、制御信号によって検出負荷インピーダンスのインピ
ーダンス値が切り換えられると、その入力端子ｉｎの信
号レベルが例えば０Ｖから所定の電圧までステップ状に
上昇する。しかしながら、出力端子ｏｕｔの信号レベル
は最終的には一定のレベルに達するものの、ステップ状
に変化することはなく、図７に示すように抵抗Ｒ６、コ
ンデンサＣ１の時定数によって立上り時間が異なる。そ
こで、この立上り時間や立上り波形、すなわち過渡特性
や電圧変化量を確認することによって、抵抗Ｒ５、Ｒ６
やコンデンサＣ１の値の変化があったかどうかを確認す
ることができる。また、出力信号が立ち上がらなかった
り電源電圧にクランプされた状態になった場合には、抵
抗Ｒ５、Ｒ６やコンデンサＣ１の短絡や開放があったか
どうかを確認することができる。
て、制御信号によって検出負荷インピーダンスのインピ
ーダンス値が切り換えられると、その入力端子ｉｎの信
号レベルが例えば０Ｖから所定の電圧までステップ状に
上昇する。しかしながら、出力端子ｏｕｔの信号レベル
は最終的には一定のレベルに達するものの、ステップ状
に変化することはなく、図７に示すように抵抗Ｒ６、コ
ンデンサＣ１の時定数によって立上り時間が異なる。そ
こで、この立上り時間や立上り波形、すなわち過渡特性
や電圧変化量を確認することによって、抵抗Ｒ５、Ｒ６
やコンデンサＣ１の値の変化があったかどうかを確認す
ることができる。また、出力信号が立ち上がらなかった
り電源電圧にクランプされた状態になった場合には、抵
抗Ｒ５、Ｒ６やコンデンサＣ１の短絡や開放があったか
どうかを確認することができる。
【００４３】このように、検出負荷インピーダンスの抵
抗値が切り換えられたときのコリオリ信号の過渡特性を
確認することによって、振動ジャイロの回路における異
常のある場所を推定することもできる。
抗値が切り換えられたときのコリオリ信号の過渡特性を
確認することによって、振動ジャイロの回路における異
常のある場所を推定することもできる。
【００４４】なお、本発明の振動ジャイロとしては、振
動子の検出電極に発生する交流電荷を交流電圧に変換す
るための検出負荷インピーダンスを有するものであれば
振動子の構成に関しては何等限定されるものではない。
上記の各実施例においては、圧電体からなる振動体に複
数の検出電極を形成してなる振動子を用いて説明してき
たが、例えば金属などの圧電体ではない振動体に面状の
圧電体を貼りつけて構成された振動子でも構わないもの
である。なおその場合には、圧電体の、振動体に貼りつ
けられる面ではない面に形成される電極が検出電極とな
る。
動子の検出電極に発生する交流電荷を交流電圧に変換す
るための検出負荷インピーダンスを有するものであれば
振動子の構成に関しては何等限定されるものではない。
上記の各実施例においては、圧電体からなる振動体に複
数の検出電極を形成してなる振動子を用いて説明してき
たが、例えば金属などの圧電体ではない振動体に面状の
圧電体を貼りつけて構成された振動子でも構わないもの
である。なおその場合には、圧電体の、振動体に貼りつ
けられる面ではない面に形成される電極が検出電極とな
る。
【００４５】また、振動子の形状も、上記の各実施例の
ような形状に限られるものではなく、三角柱などの多角
柱状や円柱状でも構わず、音叉状でも構わないものであ
る。
ような形状に限られるものではなく、三角柱などの多角
柱状や円柱状でも構わず、音叉状でも構わないものであ
る。
【００４６】さらに、検出負荷インピーダンスとしては
抵抗に限られるものではなく、インダクタンス素子やキ
ャパシタンス素子、あるいは抵抗を含めたそれらの合成
されたものであっても構わないものである。
抵抗に限られるものではなく、インダクタンス素子やキ
ャパシタンス素子、あるいは抵抗を含めたそれらの合成
されたものであっても構わないものである。
【００４７】
【発明の効果】本発明の振動ジャイロおよび振動ジャイ
ロの自己診断方法によれば、制御信号に応じて複数の検
出負荷インピーダンスの中の少なくとも１つのインピー
ダンス値を切り換え、そのときのコリオリ信号の変化を
検出することによって、安価で、しかも高い信頼性を持
って振動ジャイロの自己診断を行うことができる。
ロの自己診断方法によれば、制御信号に応じて複数の検
出負荷インピーダンスの中の少なくとも１つのインピー
ダンス値を切り換え、そのときのコリオリ信号の変化を
検出することによって、安価で、しかも高い信頼性を持
って振動ジャイロの自己診断を行うことができる。
【図１】本発明の振動ジャイロの一実施例を示す概略ブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】図１の振動ジャイロにおける圧電振動子を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図３】図１の振動ジャイロにおける自己診断時の信号
を示す波形図である。
を示す波形図である。
【図４】本発明の振動ジャイロの別の実施例を示す概略
ブロック図である。
ブロック図である。
【図５】本発明の振動ジャイロのさらに別の実施例を示
す概略ブロック図である。
す概略ブロック図である。
【図６】本発明の振動ジャイロに用いられるローパスフ
ィルタを示す回路図である。
ィルタを示す回路図である。
【図７】図６のローパスフィルタの出力の過渡特性を示
す波形図である。
す波形図である。
１、２０、３０…振動ジャイロ ２…圧電振動子 ２Ｌ、２Ｒ…検出電極 ３…加算回路 ４…移相回路 ５…増幅回路 ６…圧電振動子駆動手段 ７…差動回路 ８…同期検波回路 ９…平滑回路 １０…直流増幅回路 １１…コリオリ力検出手段 １３、３１…スイッチ １４、１５、３２…検出負荷インピーダンス １６…制御信号入力端子 ２１…自己診断回路 ４０…ローパスフィルタ Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４…抵抗
Claims (7)
- 【請求項１】 複数の検出電極を有するとともに駆動信
号および印加される角速度に応じた振動をする振動子
と、該振動子を振動させるための駆動信号を前記振動子
に印加する振動子駆動手段と、前記複数の検出電極に接
続されて、前記振動子の振動によって前記複数の検出電
極に発生する電荷をそれぞれ電圧信号に変換する複数の
検出負荷インピーダンスと、前記複数の電圧信号から角
速度に応じたコリオリ信号を出力するコリオリ力検出手
段とを備えた振動ジャイロであって、 前記複数の検出負荷インピーダンスの中の少なくとも１
つのインピーダンス値を切り換えるインピーダンス切換
手段を備えたことを特徴とする振動ジャイロ。 - 【請求項２】 前記複数の検出負荷インピーダンスの中
の少なくとも１つのインピーダンス値が切り換えられる
ことによる前記コリオリ信号の変化から自己診断をする
自己診断手段を備えたことを特徴とする、請求項１に記
載の振動ジャイロ。 - 【請求項３】 前記自己診断手段は、前記検出負荷イン
ピーダンスの中の少なくとも１つのインピーダンス値が
切り換えられることによる前記コリオリ信号の過渡特性
から自己診断をすることを特徴とする、請求項２に記載
の振動ジャイロ。 - 【請求項４】 前記検出負荷インピーダンスが抵抗であ
ることを特徴とする、請求項１ないし３のいずれかに記
載の振動ジャイロ。 - 【請求項５】 複数の検出電極を有するとともに駆動信
号および印加される角速度に応じた振動をする振動子
と、該振動子を振動させるための駆動信号を前記振動子
に印加する振動子駆動手段と、前記振動子の振動によっ
て前記複数の検出電極に発生する電荷をそれぞれ電圧信
号に変換する複数の検出負荷インピーダンスと、前記複
数の電圧信号から角速度に応じたコリオリ信号を出力す
るコリオリ力検出手段とを備えた振動ジャイロの自己診
断方法であって、 前記複数の検出負荷インピーダンスの中の少なくとも１
つのインピーダンス値が切り換えられることによる前記
コリオリ信号の変化から自己診断をすることを特徴とす
る振動ジャイロの自己診断方法。 - 【請求項６】 前記複数の検出負荷インピーダンスの中
の少なくとも１つのインピーダンス値が切り換えられる
ことによる前記コリオリ信号の過渡特性から自己診断を
することを特徴とする、請求項５に記載の振動ジャイロ
の自己診断方法。 - 【請求項７】 前記検出負荷インピーダンスが抵抗であ
ることを特徴とする、請求項５または６に記載の振動ジ
ャイロの自己診断方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001020438A JP3709793B2 (ja) | 2001-01-29 | 2001-01-29 | 振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置および振動ジャイロの自己診断方法 |
| US10/050,924 US6608425B2 (en) | 2001-01-29 | 2002-01-22 | Vibrating gyroscope, electronic device using the same, and self-diagnosis method for vibrating gyroscope |
| DE10203367A DE10203367B4 (de) | 2001-01-29 | 2002-01-29 | Vibrationsgyroskop, elektronisches Gerät, das dasselbe verwendet und Eigendiagnoseverfahren für ein Vibrationsgyroskop |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001020438A JP3709793B2 (ja) | 2001-01-29 | 2001-01-29 | 振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置および振動ジャイロの自己診断方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002228452A true JP2002228452A (ja) | 2002-08-14 |
| JP3709793B2 JP3709793B2 (ja) | 2005-10-26 |
Family
ID=18886146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001020438A Expired - Fee Related JP3709793B2 (ja) | 2001-01-29 | 2001-01-29 | 振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置および振動ジャイロの自己診断方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6608425B2 (ja) |
| JP (1) | JP3709793B2 (ja) |
| DE (1) | DE10203367B4 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7109636B2 (en) | 2003-09-08 | 2006-09-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Dynamic-quantity sensor |
| JP2008286597A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-11-27 | Sony Corp | 検出装置、検出方法及び電子機器 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4765171B2 (ja) * | 2001-01-29 | 2011-09-07 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロおよび振動ジャイロの自己診断方法 |
| US7134336B2 (en) * | 2004-03-19 | 2006-11-14 | Denso Corporation | Vibration type angular velocity sensor |
| JP2006029901A (ja) * | 2004-07-14 | 2006-02-02 | Sony Corp | 振動ジャイロの駆動回路 |
| JP4543866B2 (ja) * | 2004-10-08 | 2010-09-15 | ソニー株式会社 | 振動ジャイロ用回路、振動ジャイロユニット、振動ジャイロの出力検出方法 |
| US20100117485A1 (en) * | 2008-11-13 | 2010-05-13 | Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Piezoelectric transducers with noise-cancelling electrodes |
| KR101218991B1 (ko) * | 2010-08-06 | 2013-01-07 | 삼성전기주식회사 | 자이로 센서 구동 장치 |
| CN108761128B (zh) * | 2018-09-05 | 2024-04-02 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 压电振动激励自诊断mems加速度计表芯及加速度计 |
| CN111998841B (zh) * | 2020-09-04 | 2023-10-27 | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 | 一种半球谐振子芯轴振动检测电路及装置 |
Family Cites Families (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3823990A (en) * | 1972-10-10 | 1974-07-16 | Massachusetts Inst Technology | Capacitive-inductive bridge type electrical suspension |
| JP2510868B2 (ja) * | 1987-12-04 | 1996-06-26 | 株式会社熊谷組 | 堰板の表面形成用織物 |
| US5874674A (en) * | 1988-08-12 | 1999-02-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrator including piezoelectric electrodes or detectors arranged to be non-parallel and non-perpendicular to coriolis force direction and vibratory gyroscope using the same |
| JP2504233B2 (ja) | 1989-11-16 | 1996-06-05 | 日本電装株式会社 | 角速度センサ―の異常検出装置及びそれを用いた車両用舵角制御装置 |
| JP2541375B2 (ja) | 1990-12-11 | 1996-10-09 | 株式会社村田製作所 | 検知回路 |
| JPH05133755A (ja) | 1991-11-13 | 1993-05-28 | Akai Electric Co Ltd | 診断機能付振動ジヤイロ |
| JPH0658760A (ja) | 1992-08-06 | 1994-03-04 | Akai Electric Co Ltd | 診断機能付振動ジャイロ |
| JPH06207946A (ja) | 1993-01-12 | 1994-07-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ装置 |
| JP3170977B2 (ja) * | 1993-10-12 | 2001-05-28 | 株式会社村田製作所 | 振動子の駆動検出回路 |
| TW282470B (ja) * | 1993-11-18 | 1996-08-01 | Ajinomoto Kk | |
| JP3201135B2 (ja) * | 1994-03-30 | 2001-08-20 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ検出方式 |
| JPH08184443A (ja) * | 1994-12-27 | 1996-07-16 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
| JP3399221B2 (ja) | 1996-04-09 | 2003-04-21 | 松下電器産業株式会社 | 角速度センサ |
| JPH09218040A (ja) | 1996-02-14 | 1997-08-19 | Nissan Motor Co Ltd | 角速度センサの自己診断方法 |
| EP0881465B1 (en) * | 1997-05-28 | 2005-12-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrating gyroscope |
| JPH1151655A (ja) | 1997-08-05 | 1999-02-26 | Tookin Seramikusu Kk | 圧電振動ジャイロおよびそれに使用される自己診断回路 |
| JP3341661B2 (ja) * | 1997-12-10 | 2002-11-05 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
| JP4019504B2 (ja) | 1998-06-15 | 2007-12-12 | 松下電器産業株式会社 | 角速度センサ |
| DE60021499D1 (de) * | 1999-10-20 | 2005-09-01 | Murata Manufacturing Co | Winkelgeschwindigkeitsmessverfahren und Vibrationskreisel |
| JP3494096B2 (ja) * | 1999-11-05 | 2004-02-03 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
| US6462825B1 (en) * | 2000-02-22 | 2002-10-08 | Honeywell International Inc. | Nonvolatile digital potentiometer trimmed ring laser gyroscope |
-
2001
- 2001-01-29 JP JP2001020438A patent/JP3709793B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-01-22 US US10/050,924 patent/US6608425B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-01-29 DE DE10203367A patent/DE10203367B4/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7109636B2 (en) | 2003-09-08 | 2006-09-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Dynamic-quantity sensor |
| JP2008286597A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-11-27 | Sony Corp | 検出装置、検出方法及び電子機器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6608425B2 (en) | 2003-08-19 |
| DE10203367A1 (de) | 2002-08-22 |
| DE10203367B4 (de) | 2004-05-13 |
| US20020109432A1 (en) | 2002-08-15 |
| JP3709793B2 (ja) | 2005-10-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5206409B2 (ja) | 角速度センサ | |
| US6282957B1 (en) | Angular velocity sensor and diagnosis system for this sensor | |
| JP4529444B2 (ja) | 角速度センサ | |
| JP5458462B2 (ja) | 振動型慣性力検知センサ | |
| WO2005078389A1 (ja) | 角速度センサ | |
| EP1467178A2 (en) | Capacitance-sensing vibratory gyro and method for detecting change in capacitance | |
| JP2008107108A (ja) | 容量式力学量検出装置 | |
| WO2005080919A1 (ja) | 角速度センサ | |
| JP2002228452A (ja) | 振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置および振動ジャイロの自己診断方法 | |
| WO2002073131A1 (fr) | Capteur de vitesse angulaire | |
| WO2007114092A1 (ja) | 慣性力センサ | |
| JP3520821B2 (ja) | 振動ジャイロ用自己診断回路 | |
| JP2010286370A (ja) | 物理量検出装置、物理量検出装置の異常診断システム及び物理量検出装置の異常診断方法 | |
| JP4126785B2 (ja) | 角速度センサ | |
| JP2000088584A (ja) | 角速度センサ | |
| JP2002213961A (ja) | 振動ジャイロおよび振動ジャイロの自己診断方法 | |
| JP2010286371A (ja) | 物理量検出装置、物理量検出装置の異常診断システム及び物理量検出装置の異常診断方法 | |
| JP4869001B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP4765171B2 (ja) | 振動ジャイロおよび振動ジャイロの自己診断方法 | |
| JP5589171B2 (ja) | 物理量検出装置用回路 | |
| JP3360510B2 (ja) | 角速度センサ | |
| JP5533525B2 (ja) | 角速度検出装置及び電子機器 | |
| JP4600590B2 (ja) | 角速度センサ | |
| WO2010073576A1 (ja) | 角速度センサ | |
| JP2022099493A (ja) | 物理量検出装置及び物理量検出装置の故障診断方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040430 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041026 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041224 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050719 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050801 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080819 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090819 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090819 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100819 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100819 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110819 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120819 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120819 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130819 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |