JP2008286597A - 検出装置、検出方法及び電子機器 - Google Patents
検出装置、検出方法及び電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008286597A JP2008286597A JP2007130689A JP2007130689A JP2008286597A JP 2008286597 A JP2008286597 A JP 2008286597A JP 2007130689 A JP2007130689 A JP 2007130689A JP 2007130689 A JP2007130689 A JP 2007130689A JP 2008286597 A JP2008286597 A JP 2008286597A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection
- pair
- phase
- signal
- drive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 258
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 claims abstract description 31
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 33
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 18
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 12
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 12
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 8
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 abstract description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 30
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 21
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 15
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 11
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
- G01C19/5649—Signal processing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
振動型ジャイロの自励発振を安定にさせることでノイズを抑え、高S/N化を実現すること。
【解決手段】
この検出装置は、駆動電極と駆動電極を挟むように所定の間隔をもって配置された一対の検出電極とを有する第1の側と、第1の側に対向するように設けられ共通電極を有する第2の側とを有する圧電素子を有し、駆動電極と共通電極との間に加えられる駆動信号により振動し、一対の検出電極からコリオリ力に応じた一対の検出信号を発生する片持ちタイプの振動型ジャイロと、一対の検出電極にバイアス電圧を印加するバイアス印加手段と、一対の検出信号を加算する加算手段と、加算手段により加算された検出信号の位相を45°よりも大きく90°よりも小さい範囲で遅延させる第1の位相遅延手段と、第1の位相遅延手段により遅延された検出信号を所定の電圧振幅となるように制御して駆動信号として出力する振幅制御手段とを具備する。
【選択図】 図1
Description
図2は振動型ジャイロ1の一例を示す斜視図である。
図2に示すように、この振動型ジャイロ1は、ベース体2と、このベース体2から延びるように設けられた振動アーム3とを備える。図3はその振動アーム3の長軸(Z軸)に垂直な面の断面図である。
図4に示すように、振動型ジャイロ1の共通電極6dは、直流電源12に接続される。駆動電極6cと共通電極6dの間には、交流電源13が接続される。検出電極6a及び検出電極6bと共通電極6dの間には、抵抗11a及び抵抗11bが接続される。また、検出電極6a及び検出電極6bは、差動増幅回路31に接続される。
Fc=2×m×v×ωo …(1)
このコリオリ力Fcは、差動増幅回路31で得られる差分信号Voと比例関係にあり、比例定数をk1とすると、式(2)で表すことができる。
Vo=k1×2×m×v×ωo …(2)
ここで、図1に戻り、このジャイロ検出装置100全体について説明する。
振動型ジャイロ1の共通電極6dは、直流電源12に接続される。検出電極6a及び検出電極6bと共通電極6dの間には、抵抗11a及び抵抗11bが接続される。検出電極6aの出力はボルテージ・ホロワァ21aに入力され、検出電極6bの出力はボルテージ・ホロワァ21bに入力される。ボルテージ・ホロワァ21aの出力及びボルテージ・ホロワァ21bの出力は、加算回路22に入力されると共に差動増幅回路31に入力される。
既に説明したとおり、GCA24の出力である駆動信号は、直流電圧値Vrefでバイアスされた交流の電圧信号であり、振動型ジャイロ1の駆動電極6cに入力される。また、共通電極6dは直流電源12により電圧値Vrefにバイアスされる。したがって、圧電膜5の第1の側と対向する第2の側の間の直流電圧の差は0となる。この駆動信号は圧電膜5で機械変換され、振動アーム3がY軸方向に屈曲運動する。
振動型ジャイロ1の入力である駆動信号vdの電圧振幅Adを1.1Vp−pに固定し、検出電極6aの出力Vaあるいは検出電極6bの出力Vbを測定した。横軸は駆動信号vdの発振周波数fで、縦軸は出力Vaあるいは出力Vbの電圧振幅A、及び出力Vaあるいは出力Vbでの位相θを表している。振動型ジャイロ1は、入出力効率が一番良い電圧振幅が最大のAoとなる周波数foで使用している。この周波数foで電圧振幅は約0.75Vp−pとなり、且つ位相が約90°となっている。
すなわち、図8に示すように、実際の振動型ジャイロ1の入出力特性上では、入出力効率が一番良い電圧振幅が最大のAoとなる周波数foでこの振動型ジャイロ1を使用すると仮定する。そうすると、この周波数foで電圧振幅は約0.75Vp−pとなり、且つ位相は約75°となっている。
図9は振動型ジャイロ1の入出力特性を説明するための回路図である。
振動型ジャイロ1の共通電極6dは、接地される。駆動電極6cと共通電極6dの間には、交流電源13が接続される。検出電極6aと検出電極6bは、入出力特性を観測するだけなので電気的に短絡される。また、検出電極6a及び検出電極6bと共通電極6dの間には、抵抗11a及び抵抗11bが接続される。
電圧振幅は、図8に示した振動型ジャイロ1の入出力特性を模式的に表した図であり、図9に示した振動型ジャイロ1の入力である駆動信号vdの電圧振幅Adを一定に固定し、検出電極6a及び検出電極6bの出力Vgを測定したものである。横軸は駆動信号vdの発振周波数fで、縦軸は出力Vgの電圧振幅A、及び出力Vgでの電圧位相θを表している。
各周波数領域(i),(ii),(iii),(iv),(v)での出力Vgvと出力Vglをベクトル表示し、合算した者が入出力特性となる。ベクトルは電圧振幅と電圧位相で表わす。
(1)周波数(i)の領域では、振幅がVgv<Vglで、位相がVgv=180°近辺である。合算した出力Vgは、振幅が小さく、位相は0°近辺となる。
(2)周波数(ii)の領域では、振幅がVgv≦Vglで、位相がVgv=180°近辺である。合算した出力Vgは、振幅が最小で、位相は75°近辺となる。
(3)周波数(iii)の領域では、振幅がVgv>Vglで、位相がVgv=90〜180°出アル。合算した出力Vgは、振幅が中間で、位相は約90〜180°となる。
(4)周波数(iv)の領域では、振幅がVgv>Vglで、位相がVgv=90°である。合算した出力Vgは、振幅が最大で、位相は75°近辺となる。
(5)周波数(v)の領域では、振幅がVgv<Vglで、位相がVgv=0°近辺である。合算した出力Vgは、振幅が中間で、位相は0°近辺となる。
デジタルカメラ260は、ジャイロ検出装置100を搭載する機器本体261を備えている。機器本体261は、例えば、金属製、樹脂製などのフレームまたは筐体である。ジャイロ検出装置100は、例えば数mm角の大きさでパッケージングされて構成されている。ジャイロ検出装置100により少なくとも2軸の回りの回転角速度を検出するために、少なくとも2つのジャイロ検出装置100が搭載されている。
11a、12b 抵抗
12 直流電源
21a、21b ボルテージ・ホロワァ
22 加算回路
23a、23b 移相回路
24 GCA(Gain Control Amp)
25 検波回路
31 差動増幅回路
32 同期検波回路
100 ジャイロ検出装置
Claims (10)
- 駆動電極と前記駆動電極を挟むように所定の間隔をもって配置された一対の検出電極とを有する第1の側と、前記第1の側に対向するように設けられ共通電極を有する第2の側とを有する圧電素子を有し、前記駆動電極と前記共通電極との間に加えられる駆動信号により振動し、前記一対の検出電極からコリオリ力に応じた一対の検出信号を発生する片持ちタイプの振動型ジャイロと、
前記一対の検出電極にバイアス電圧を印加するバイアス印加手段と、
前記一対の検出信号を加算する加算手段と、
前記加算手段により加算された検出信号の位相を45°よりも大きく90°よりも小さい範囲で遅延させる第1の位相遅延手段と、
前記第1の位相遅延手段により遅延された前記検出信号を所定の電圧振幅となるように制御して前記駆動信号として出力する振幅制御手段と
を具備することを特徴とする検出装置。 - 請求項1に記載の検出装置であって、
前記振動型ジャイロの共振周波数よりも高い周波数で自励発振させることを特徴とする検出装置。 - 駆動電極と前記駆動電極を挟むように所定の間隔をもって配置された一対の検出電極とを有する第1の側と、前記第1の側に対向するように設けられ共通電極を有する第2の側とを有する圧電素子を有し、前記駆動電極と前記共通電極との間に加えられる駆動信号により振動し、前記一対の検出電極からコリオリ力に応じた一対の検出信号を発生する片持ちタイプの振動型ジャイロと、
前記一対の検出電極にバイアス電圧を印加するバイアス印加手段と、
前記一対の検出信号を加算する加算手段と、
前記加算手段により加算された検出信号の位相を第1の位相量だけ遅延させる第1の位相遅延手段と、
前記第1の位相遅延手段により遅延された前記検出信号を所定の電圧振幅となるように制御して前記駆動信号として出力する振幅制御手段と、
前記一対の検出信号を差動増幅する差動増幅手段と、
前記加算手段により加算された検出信号の位相を前記第1の位相量とは異なる第2の位相量だけ遅延させる第2の位相遅延手段と、
前記差動増幅手段により差動増幅された信号を前記第2の位相遅延手段により遅延された検出信号に基づき同期検波する同期検波手段と
を具備することを特徴とする検出装置。 - 請求項3に記載の検出装置であって、
前記振動型ジャイロの共振周波数よりも高い周波数で自励発振させることを特徴とする検出装置。 - 駆動電極と前記駆動電極を挟むように所定の間隔をもって配置された一対の検出電極とを有する第1の側と、前記第1の側に対向するように設けられ共通電極を有する第2の側とを有する圧電素子を有し、前記駆動電極と前記共通電極との間に加えられる駆動信号により振動し、前記一対の検出電極からコリオリ力に応じた一対の検出信号を発生する片持ちタイプの振動型ジャイロを用いた角速度の検出方法であって、
前記一対の検出電極にバイアス電圧を印加し、
前記一対の検出信号を加算し、
前記加算された検出信号の位相を45°よりも大きく90°よりも小さい範囲で遅延させ、
前記遅延された前記検出信号を所定の電圧振幅となるように制御して前記駆動信号として出力する
ことを特徴とする検出方法。 - 請求項5に記載の検出方法であって、
前記振動型ジャイロの共振周波数よりも高い周波数で自励発振させることを特徴とする検出方法。 - 駆動電極と前記駆動電極を挟むように所定の間隔をもって配置された一対の検出電極とを有する第1の側と、前記第1の側に対向するように設けられ共通電極を有する第2の側とを有する圧電素子を有し、前記駆動電極と前記共通電極との間に加えられる駆動信号により振動し、前記一対の検出電極からコリオリ力に応じた一対の検出信号を発生する片持ちタイプの振動型ジャイロを用いた角速度の検出方法であって、
前記一対の検出電極にバイアス電圧を印加し、
前記一対の検出信号を加算し、
前記加算された検出信号の位相を第1の位相量だけ遅延させ、
前記第1の位相量だけ遅延された前記検出信号を所定の電圧振幅となるように制御して前記駆動信号として出力し、
前記一対の検出信号を差動増幅し、
前記加算手段により加算された検出信号の位相を前記第1の位相量とは異なる第2の位相量だけ遅延させ、
前記差動増幅された信号を前記第2の位相量だけ遅延された検出信号に基づき同期検波する
ことを特徴とする検出方法。 - 請求項7に記載の検出方法であって、
前記振動型ジャイロの共振周波数よりも高い周波数で自励発振させることを特徴とする検出方法。 - 駆動電極と前記駆動電極を挟むように所定の間隔をもって配置された一対の検出電極とを有する第1の側と、前記第1の側に対向するように設けられ共通電極を有する第2の側とを有する圧電素子を有し、前記駆動電極と前記共通電極との間に加えられる駆動信号により振動し、前記一対の検出電極からコリオリ力に応じた一対の検出信号を発生する片持ちタイプの振動型ジャイロと、前記一対の検出電極にバイアス電圧を印加するバイアス印加手段と、前記一対の検出信号を加算する加算手段と、前記加算手段により加算された検出信号の位相を第1の位相量だけ遅延させる第1の位相遅延手段と、前記第1の位相遅延手段により遅延された前記検出信号を所定の電圧振幅となるように制御して前記駆動信号として出力する振幅制御手段と、前記一対の検出信号を差動増幅する差動増幅手段と、前記加算手段により加算された検出信号の位相を前記第1の位相量とは異なる第2の位相量だけ遅延させる第2の位相遅延手段と、前記差動増幅手段により差動増幅された信号を前記第2の位相遅延手段により遅延された検出信号に基づき同期検波する同期検波手段とを有する検出装置と、
前記同期検波手段の出力に基づき所定の制御を行う制御手段と
を具備することを特徴とする電子機器。 - 請求項9に記載の電子機器であって、
当該電子機器が、手振れ補正機構付きのディジタルカメラであり、
前記制御手段は、前記手振れ補正機構の補正量を制御する
ことを特徴とする電子機器。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007130689A JP5088540B2 (ja) | 2007-05-16 | 2007-05-16 | 検出装置、検出方法及び電子機器 |
US12/117,564 US8033171B2 (en) | 2007-05-16 | 2008-05-08 | Detection apparatus, detection method, and electronic apparatus |
EP08009036A EP1995556A2 (en) | 2007-05-16 | 2008-05-15 | Detection apparatus, detection method, and electronic apparatus |
CN2008101002136A CN101308022B (zh) | 2007-05-16 | 2008-05-16 | 检测装置、检测方法和电子装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007130689A JP5088540B2 (ja) | 2007-05-16 | 2007-05-16 | 検出装置、検出方法及び電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008286597A true JP2008286597A (ja) | 2008-11-27 |
JP5088540B2 JP5088540B2 (ja) | 2012-12-05 |
Family
ID=39800662
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007130689A Expired - Fee Related JP5088540B2 (ja) | 2007-05-16 | 2007-05-16 | 検出装置、検出方法及び電子機器 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8033171B2 (ja) |
EP (1) | EP1995556A2 (ja) |
JP (1) | JP5088540B2 (ja) |
CN (1) | CN101308022B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102353371A (zh) * | 2011-07-22 | 2012-02-15 | 上海交通大学 | 静电驱动电容检测三轴微陀螺仪 |
KR101298289B1 (ko) * | 2011-08-26 | 2013-08-26 | 삼성전기주식회사 | 자이로센서 구동회로, 자이로센서 시스템 및 자이로센서 구동방법 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007327781A (ja) * | 2006-06-06 | 2007-12-20 | Fujitsu Media Device Kk | 振動センサ |
JP5135832B2 (ja) * | 2007-03-15 | 2013-02-06 | ソニー株式会社 | 振動型ジャイロセンサ、制御回路、電子機器及び振動型ジャイロセンサの製造方法 |
JP5556806B2 (ja) * | 2009-03-10 | 2014-07-23 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ |
FR2958029B1 (fr) * | 2010-03-23 | 2012-04-20 | Sagem Defense Securite | Procede de mesure angulaire au moyen d'un capteur vibrant auquel sont appliquees des commandes modulees |
JP6009142B2 (ja) * | 2010-12-02 | 2016-10-19 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 振動型ジャイロセンサ及び振動型ジャイロ用回路 |
WO2013002298A1 (en) | 2011-06-27 | 2013-01-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric element, oscillatory wave motor, and optical apparatus |
CN103344230B (zh) * | 2013-06-20 | 2016-04-13 | 上海交通大学 | 静电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法 |
CN104197917B (zh) * | 2014-08-08 | 2017-09-08 | 上海交通大学 | 一种压电驱动和检测的微型半球谐振陀螺仪及其制备方法 |
US10466067B2 (en) * | 2017-01-19 | 2019-11-05 | The Boeing Company | System and method for gyro rate computation for a Coriolis Vibrating Gyroscope |
CH713460A2 (de) * | 2017-02-15 | 2018-08-15 | Digi Sens Ag | Schwingsaitensensor und Schwingsaite für einen Schwingsaitensensor. |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002228452A (ja) * | 2001-01-29 | 2002-08-14 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置および振動ジャイロの自己診断方法 |
JP2006242590A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-14 | Sony Corp | 振動型ジャイロセンサ |
JP2007024862A (ja) * | 2005-03-04 | 2007-02-01 | Sony Corp | 振動型ジャイロセンサ及びその調整方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5794080A (en) * | 1994-08-31 | 1998-08-11 | Nikon Corporation | Piezoelectric vibration angular velocity meter and camera using the same |
JP2996157B2 (ja) * | 1995-10-12 | 1999-12-27 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
JP3341661B2 (ja) * | 1997-12-10 | 2002-11-05 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
JP2000205861A (ja) | 1999-01-13 | 2000-07-28 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
JP3664950B2 (ja) * | 2000-06-15 | 2005-06-29 | 株式会社村田製作所 | 角速度センサ |
JP2005114631A (ja) * | 2003-10-09 | 2005-04-28 | Sony Corp | 角速度センサ |
JP3783708B2 (ja) * | 2003-10-10 | 2006-06-07 | ソニー株式会社 | 角速度センサ |
JP4478495B2 (ja) * | 2004-03-31 | 2010-06-09 | ソニー株式会社 | 振動型ジャイロセンサ素子及びその製造方法 |
JP4543866B2 (ja) * | 2004-10-08 | 2010-09-15 | ソニー株式会社 | 振動ジャイロ用回路、振動ジャイロユニット、振動ジャイロの出力検出方法 |
JP4758918B2 (ja) | 2007-01-19 | 2011-08-31 | 蛇の目ミシン工業株式会社 | ゼロ点補正装置を備えたプレス機 |
-
2007
- 2007-05-16 JP JP2007130689A patent/JP5088540B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-05-08 US US12/117,564 patent/US8033171B2/en active Active
- 2008-05-15 EP EP08009036A patent/EP1995556A2/en not_active Withdrawn
- 2008-05-16 CN CN2008101002136A patent/CN101308022B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002228452A (ja) * | 2001-01-29 | 2002-08-14 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置および振動ジャイロの自己診断方法 |
JP2006242590A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-14 | Sony Corp | 振動型ジャイロセンサ |
JP2007024862A (ja) * | 2005-03-04 | 2007-02-01 | Sony Corp | 振動型ジャイロセンサ及びその調整方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102353371A (zh) * | 2011-07-22 | 2012-02-15 | 上海交通大学 | 静电驱动电容检测三轴微陀螺仪 |
CN102353371B (zh) * | 2011-07-22 | 2013-03-27 | 上海交通大学 | 静电驱动电容检测三轴微陀螺仪 |
KR101298289B1 (ko) * | 2011-08-26 | 2013-08-26 | 삼성전기주식회사 | 자이로센서 구동회로, 자이로센서 시스템 및 자이로센서 구동방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101308022A (zh) | 2008-11-19 |
CN101308022B (zh) | 2012-12-05 |
US8033171B2 (en) | 2011-10-11 |
US20080282800A1 (en) | 2008-11-20 |
EP1995556A2 (en) | 2008-11-26 |
JP5088540B2 (ja) | 2012-12-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5088540B2 (ja) | 検出装置、検出方法及び電子機器 | |
JP5135832B2 (ja) | 振動型ジャイロセンサ、制御回路、電子機器及び振動型ジャイロセンサの製造方法 | |
US7673512B2 (en) | Angular velocity sensor and electronic device | |
US8511161B2 (en) | Physical amount detecting device | |
JP6399283B2 (ja) | 物理量検出装置、電子機器及び移動体 | |
US8539833B2 (en) | Physical amount detecting device | |
CN109579810B (zh) | 物理量测量装置、电子设备和移动体 | |
JP5458462B2 (ja) | 振動型慣性力検知センサ | |
JPWO2008023566A1 (ja) | 角速度センサ | |
JP2010054431A (ja) | 外力検出装置およびその出力信号の補正方法 | |
JP4967663B2 (ja) | 振動型ジャイロセンサ、制御回路及び電子機器 | |
JP2010071758A (ja) | 角速度センサ素子、角速度センサ及び電子機器 | |
JPH10221083A (ja) | 振動型ジャイロ装置 | |
JP2008224627A (ja) | 角速度センサ、角速度センサの製造方法及び電子機器 | |
JP2008256669A (ja) | 角速度センサ及び電子機器 | |
JP2009236552A (ja) | センサ感度調整手段及びセンサの製造方法 | |
JP2006010408A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP2015141103A (ja) | 角速度センサ、及び角速度センサを用いた電子機器 | |
JP6623615B2 (ja) | 振動型ジャイロセンサ、電子機器及び移動体 | |
WO2018016190A1 (ja) | ジャイロセンサ、信号処理装置、電子機器およびジャイロセンサの制御方法 | |
JP2006058060A (ja) | ジャイロセンサおよび電子機器 | |
JP2006105659A (ja) | 圧電振動ジャイロ及びその感度調整方法 | |
JP2015200580A (ja) | 角速度検出回路、角速度センサ、電子機器および角速度検出回路の調整方法 | |
JP2016095176A (ja) | 角速度センサ、及びこの角速度センサを用いた電子機器 | |
JP2015081771A (ja) | 角速度センサ、及び角速度センサを用いた電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120529 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120713 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120816 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120829 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150921 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150921 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |