DE10203367B4 - Vibrationsgyroskop, elektronisches Gerät, das dasselbe verwendet und Eigendiagnoseverfahren für ein Vibrationsgyroskop - Google Patents

Vibrationsgyroskop, elektronisches Gerät, das dasselbe verwendet und Eigendiagnoseverfahren für ein Vibrationsgyroskop Download PDF

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    • G01C19/56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5642Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams

Abstract

Vibrationsgyroskop (1, 20, 30), das folgende Merkmale umfaßt:
ein Schwingungselement (2), das eine Mehrzahl von Erfassungselektroden (2L, 2R) umfaßt, und ansprechend auf ein Treibersignal und eine angelegte Winkelgeschwindigkeit schwingt;
eine Schwingungselementtreibereinheit (6) zum Anlegen eines Treibersignals an das Schwingungselement;
eine Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen (14, 15), die mit der Mehrzahl von Erfassungselektroden (2L, 2R) verbunden sind, zum Umwandeln von Ladungen, die in der Mehrzahl von Erfassungselektroden (2L, 2R) ansprechend auf die Schwingung des Schwingungselements (2) erzeugt werden, in Spannungssignale;
eine Corioliskrafterfassungseinheit (11) zum Ausgeben eines Coriolissignals, das der Winkelgeschwindigkeit entspricht, auf der Basis der Mehrzahl von Spannungssignalen; und
eine Impedanzänderungseinheit zum Ändern der Impedanz von zumindest einem der Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen (14, 15) von einem ersten Impedanzwert auf einen zweiten Impedanzwert, so daß sich der zweite Impedanzwert von einem Impedanzwert eines weiteren der Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen unterscheidet.

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Vibrationsgyroskop und ein Eigendiagnoseverfahren für ein Vibrationsgyroskop.
  • Von einem Vibrationsgyroskop, das bei einem Sicherheitssystem zum Steuern der Lage eines Fahrzeugs oder zum Erfassen, wenn das Fahrzeug überschlägt, einem Fahrzeugnavigationssystem und andere Vorrichtungen verwendet wird, wird erwartet, daß es Funktionsstörungen selbst diagnostiziert. Bekannte Geräte zum Durchführen der Eigendiagnosefunktion sind beispielsweise in den japanischen ungeprüften Patentsveröffentlichungen Nr. 3-159877, 4-215017, 5-133755, 6-58760, 6-207946, 9-281138, 11-51655, und 2000-2542 offenbart.
  • Die bekannten Eigendiagnoseverfahren umfassen (1) Überwachen eines Treibersignals und eines Differenzausgangssignals eines Schwingungselements und Erfassen einer Funktionsstörung, wenn der Pegel der Signale einen vorbestimmten Bereich überschreitet, und (2) Überwachen eines Ausgangssignals durch Anlegen eines Signals, das mit einem Synchronerfassungssignal zwischen einer Differenzschaltung und einer Synchronerfassungsschaltung synchronisiert ist, und Erfassen einer Funktionsstörung, wenn der Wert des Ausgangssignales einen vorbestimmten Bereich überschreitet.
  • Obwohl das Vibrationsgyroskop bei dem oben beschriebenen ersten Verfahren selbst diagnostizieren kann, ob eine Funktionsstörung aufgetreten ist oder nicht, kann das Vibrationsgyroskop nicht die Ursache der Funktionsstörung erfassen.
  • Bei dem zweiten oben beschriebenen Verfahren wird das Signal, das mit dem Synchronerfassungssignal synchronisiert ist, nach der Differenzschaltung angelegt, und somit kann eine Funktionsstörung in einer Schaltung nach der Position, an die das Signal angelegt wird, diagnostiziert werden. Eine Funktionsstörung in dem Schwingungselement selbst, beispielsweise ein Kurzschluß oder eine Öffnung einer Mehrzahl von Erfassungselektroden des Schwingungselements, kann jedoch nicht diagnostiziert werden. Da dieses Verfahren viele und große Schaltungen benötigt, ergeben sich außerdem Probleme bei den Kosten und der Zuverlässigkeit.
  • Die DE 694 07 715 T2 zeigt ein Vibrationsgyroskop, bei dem ein Schwingkörper drei piezoelektrische Elemente aufweist. Ein erstes und zweites piezoelektrisches Element sind mit jeweiligen ersten Schaltelementen verbunden, die ferner mit einer Phasenkorrekturschaltung, die mit einer Schwingungsschaltung verbunden ist, verbunden sind. Ferner sind Widerstände vorgesehen, die jeweils parallel mit den ersten Schaltelementen verschaltet sind. Die Schwingungsschaltung weist einen Eingang auf, der mit dem dritten piezoelektrischen Element verbunden ist. Ein Nulldurchgangsdetektor ist mit einem Knotenpunkt zwischen der Phasenkorrekturschaltung und den Schaltelementen verbunden, und weist einen Schaltausgang auf, um die ersten Schaltelemente und ein zweites Schaltelement zu schalten, das zwischen dem Ausgang einer Differenzschaltung und einer Abtaste-Halten-Schaltung angeordnet ist. Das erste und zweite piezoelektrische Element sind mit der Differenzschaltung verbunden, um ein Differenz-Ausgangssignal zu erhalten. Im Betrieb werden die ersten Schaltelemente über den Nulldurchgangsdetektor von einem Ein-Zustand in einen Aus-Zustand geschaltet, so dass die ersten und zweiten piezoelektrischen Elemente während des Aus-Zustands kurzgeschlossen sind, wodurch bewirkt wird, dass eine Treibersignalkomponente von der Erfassung durch die Differenzschaltung abgekoppelt wird und lediglich eine durch die Biegeschwingung des Schwingkörpers erzeugte Erfassungssignalkomponente erfasst wird. Entsprechend zu dem Ausschalten der ersten Schaltungselemente wird das zweite Schaltungselement eingeschaltet, um das Ausgangssignal der Differenzschaltung der Abtaste-Halten-Schaltung zuzuführen.
  • Die DE 694 20 914 T2 beschreibt einen Kraftsensor zum Erfassen von Kräften oder Beschleunigungen. Der Sensor weist ein piezoelektrisches Element auf, das zum Bilden eines Nachweiselements mit einer oberen und unteren Elektrode versehen ist. Der Sensor weist ferner Expansions-/Kontraktionselemente auf, die ebenfalls durch das Bilden einer oberen und unteren Elektronenschicht auf dem piezoelektrischen Element gebildet sind. Die Expansions-/Kontraktionselemente werden derart angeordnet, dass das piezoelektrische Element in sämtliche Richtungen zum Schwingen gebracht werden kann, wodurch mit Hilfe der Nachweiselement eine Eigendiagnosefunktion ermöglicht ist, in dem an die Expansions-/Kontraktionselemente geeignete Spannungen angelegt werden, die mittels der Nachweiselemente zur Überprüfung erfasst werden.
  • Die JP 09-218040 A offenbart ein Selbst-Diagnoseverfahren für einen Winkelgeschwindigkeitssensor, bei dem eine Winkelgeschwindigkeit eines Vibrationskörpers nach einem Stoppen des Treibens des Vibrationskörpers erfasst wird. Daraufhin wird die Amplitude und Frequenz des Vibrationssystems aufgrund einer Erfassung der Dämpfungsvibration berechnet, wodurch ein Selbst-Diagnose-Verfahren ermöglicht ist.
  • Die DE 695 25 231 T2 beschreibt eine Vibrationsgyroskop, das einen Vibrator mit einem Vibrationselement umfasst. Das Vibrationselement umfasst Erfassungsteile und ein Treiberteil, wobei die Erfassungsteile mit invertierenden Verstärkerschaltungen verbunden sind. Die Ausgangssignale der Erfassungsteile werden in die invertierenden Verstärkerschaltungen eingegeben, die mit einer Komparatorschaltung sowie einer Erfassungsschaltung mit einer Differenzschaltung verbunden ist. Das in die Komparatorschaltung eingegebene Signal wird über eine Phasenkombinationsschaltung zu dem Treibteil des Vibrationselements zurückgekoppelt, wodurch einen stabile Vibration des Vibrationselements erreicht wird.
  • Die DE 695 10 850 offenbart ein Detektorsystem für einen Vibrationskreisel, bei dem ein Schwingkörper piezoelektrische Elemente aufweist, um eine Schwingung des Schwingkörpers zu ermöglichen. Ein erstes und zweites piezoelektrisches Element, die zum Erfassen einer Schwingung des Schwingkörpers verwendet werden, sind jeweils mit einem ersten und zweiten Knotenpunkt verbunden, die mit einer ersten bzw. zweiten Erfassungsschaltung bzw. einem ersten bzw. zweiten Wiederstand verbunden sind. Im Betrieb wird an ein drittes piezoelektrisches Element eine Spannung angelegt, wobei ein durch die ersten und zweiten piezoelektrischen Elemente erhaltenes Erfassungssignal an die erste bzw. zweite Erfassungsschaltung angelegt wird, um eine Rotationswinkelgeschwindigkeit zu erfassen.
  • Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Vibrationsgyroskop und ein Eigendiagnoseverfahren für dasselbe mit verbesserten Charakteristika zu schaffen.
  • Diese Aufgabe wird durch ein Vibrationsgyroskop gemäß Anspruch 1 und durch ein Eigendiagnoseverfahren gemäß Anspruch 13 gelöst.
  • Um die oben beschriebenen Probleme zu überwinden, liefern bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung ein Vibrationsgyroskop, das in der Lage ist, eine Fehlfunktion bei einem Schwingungselement und den Peripherieschaltungen mit geringen Kosten und stark erhöhter Zuverlässigkeit selbst zu diagnostizieren, ein elektronisches Gerät, das ein solches neuartiges Vibrationsgyroskop umfaßt, und ein Eigendiagnoseverfahren für ein Vibrationsgyroskop.
  • Gemäß einem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung umfaßt das Vibrationsgyroskop ein Schwingungselement mit einer Mehrzahl von Erfassungselektroden, das ansprechend auf ein Treibersignal und eine angelegte Winkelgeschwindigkeit schwingt, eine Schwingungselementtreibereinheit zum Anlegen eines Treibersignals an das Schwingungselement, eine Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen, die mit der Mehrzahl von Erfassungselek troden verbunden sind, zum Umwandeln von Ladungen, die in der Mehrzahl von Erfassungselektroden aufgrund der Schwingung des Schwingungselements erzeugt werden, in Spannungssignale, eine Corioliskrafterfassungseinheit zum Ausgeben eines Coriolissignals, das der Winkelgeschwindigkeit auf der Basis der Mehrzahl von Spannungssignalen entspricht, und eine Impedanzänderungseinheit zum Ändern der Impedanz des zumindest einen der Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen.
  • Das Vibrationsgyroskop kann ferner eine Eigendiagnoseeinheit zum Durchführen einer Eigendiagnose auf der Basis der Schwankung des Coriolissignals umfassen, die durch Ändern der Impedanz des zumindest einen der Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen bewirkt wird.
  • Vorzugsweise führt die Eigendiagnoseeinheit bei dem Vibrationsgyroskop eine Eigendiagnose auf der Basis eines Übergangsverhaltens des Coriolissignales durch, das durch Ändern der Impedanz von zumindest einem der Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen bewirkt wird.
  • Außerdem kann jedes der Erfassungslastimpedanzelemente ein Widerstand oder eine andere geeignete Komponente sein.
  • Gemäß einem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist ein Eigendiagnoseverfahren für ein Vibrationsgyroskop offenbart, das folgende Merkmale umfaßt: ein Schwingungselement mit einer Mehrzahl von Erfassungselektroden, das ansprechend auf ein Treibersignal und eine angelegte Winkelgeschwindigkeit schwingt, eine Schwingungselementtreibereinheit zum Anlegen eines Treibersignals an das Schwingungselement, eine Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen zum Umwandeln von Ladungen, die bei der Mehrzahl von Erfassungselektroden aufgrund der Schwingung des Schwingungselements erzeugt werden, in Spannungssignale, und eine Corioliskrafterfassungseinheit zum Ausgeben eines Coriolissignales, das der Winkelgeschwindigkeit entspricht, auf der Basis der Mehrzahl von Spannungssignalen, wobei das Verfahren den Schritt des Durchführens einer Eigendiagnose auf der Basis der Schwankung des Coriolissignals umfaßt, die durch Ändern der Impedanz von zumindest einer der Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen bewirkt wird.
  • Bei dem Verfahren des vorliegenden bevorzugten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung wird die Eigendiagnose vorzugsweise auf der Basis eines Übergangsverhaltens des Coriolissignals durchgeführt, das durch Ändern der Impedanz von zumindest einem der Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen bewirkt wird.
  • Außerdem kann jedes der Erfassungslastimpedanzelemente ein Widerstand oder eine andere geeignete Komponente sein.
  • Mit den oben beschriebenen Merkmalen können Funktionsstörungen des Schwingungselements und der Peripherieschaltungen bei dem Vibrationsgyroskop und dem Eigendiagnoseverfahren gemäß den verschiedenen bevorzugten Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung selbst diagnostiziert werden.
  • Außerdem kann gemäß einem anderen bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ein sehr viel zuverlässigeres elektronisches Gerät geliefert werden.
  • Andere Merkmale, Elemente, Schritte, Charakteristika und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung offensichtlich werden.
  • Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend Bezug nehmend auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 ein schematisches Blockdiagramm eines bevorzugten Ausführungsbeispiels eines Vibrationsgyroskops gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 2 eine perspektivische Ansicht, die ein piezoelektrisches Schwingungselement des Vibrationsgyroskops in 1 zeigt;
  • 3 umfaßt Signalverlaufdiagramme, die Signale zeigen, die während einer Eigendiagnose des Vibrationsgyroskops in 1 erzeugt werden;
  • 4 ein schematisches Blockdiagramm eines weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiels des Vibrationsgyroskops gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 5 ein schematisches Blockdiagramm noch eines weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiels des Vibrationsgyroskops gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 6 ein Schaltbild, das ein Tiefpaßfilter zeigt, das bei dem Vibrationsgyroskop gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung verwendet wird; und
  • 7 umfaßt Signalverlaufdiagramme, die ein Übergangsverhalten des Ausgangssignals des Tiefpaßfilters in 6 zeigen.
  • 1 ist ein schematisches Blockdiagramm eines bevorzugten Ausführungsbeispiels eines Vibrationsgyroskops gemäß der vorliegenden Erfindung. Wie es in 1 gezeigt ist, umfaßt das Vibrationsgyroskop 1 vorzugsweise ein piezoelektrisches Schwingungselement 2, das ein Typ von Schwingungselement ist, das vorzugsweise verwendet wird, aber andere Typen von Schwingungselementen können auch verwendet werden, Widerstände R1, R2 und R3, eine Addierschaltung 3, Phasenschieberschaltungen 4 und 17, eine Verstärkerschal tung 5, eine Differenzschaltung 7, eine Synchronerfassungsschaltung 8, eine Glättungsschaltung 9, eine Gleichstromverstärkerschaltung 10 und einen Schalter 13.
  • 2 zeigt die Konfiguration des piezoelektrischen Schwingungselements 2. Das piezoelektrische Schwingungselement 2 umfaßt vorzugsweise ein piezoelektrisches Substrat 2U, das in der Dickerichtung polarisiert ist und eine Hauptoberfläche aufweist, auf der Erfassungselektroden 2L und 2R vorgesehen sind, und ein piezoelektrisches Substrat 2D, das in der Dickerichtung polarisiert ist und eine Hauptoberfläche aufweist, auf der eine gemeinsame Elektrode 2C vorgesehen ist. Diese piezoelektrischen Substrate 2U und 2D sind an den anderen Hauptoberflächen derselben über eine Zwischenelektroden 2F verbunden.
  • Mit erneuter Bezugnahme auf 1 ist die Erfassungselektrode 2L des piezoelektrischen Schwingungselementes 2 über den Widerstand R1 mit einem gemeinsamen Anschluß des Schalters 13 verbunden. Einer der Schaltanschlüsse des Schalters 13 ist direkt mit einem Bezugspotential verbunden, und der andere der Schaltanschlüsse ist über den Widerstand R3 mit dem Bezugspotential verbunden. Die Erfassungselektrode 2R des piezoelektrischen Schwingungselements 2 ist über den Widerstand R2 mit dem Bezugspotential verbunden. Die Widerstände R1 und R3 und der Schalter 13 bilden ein Erfassungslastimpedanzelement 14. Außerdem bildet der Widerstand R2 alleine ein Erfassungslastimpedanzelement 15. Die zwei Erfassungselektroden 2L und 2R sind mit der Addierschaltung 3 verbunden, und der Ausgang derselben ist über die Phasenschieberschaltung 4 und die Verstärkerschaltung 5 mit der gemeinsamen Elektrode 2C des piezoelektrischen Schwingungselements 2 verbunden. Außerdem sind die beiden Erfassungselektroden 2L und 2R mit der Differenzschaltung 7 verbunden, und der Ausgang derselben ist über die Synchronerfassungsschaltung 8, die Glättungsschaltung 9, und die Gleichstromverstärkerschaltung 10 mit einem Ausgangsanschluß 12 verbunden. Der Ausgang der Addierschaltung 3 ist über die Phasenschieberschaltung 17 ebenfalls mit der Synchronerfassungsschaltung 8 verbunden. Ein Steuersignaleingangsanschluß 16 ist mit einem Steueranschluß des Schalters 13 verbunden.
  • Bei dem Vibrationsgyroskop 1 mit dem oben beschriebenen einmaligen Aufbau wird eine Ladung, die in den beiden Erfassungselektroden 2L und 2R erzeugt wird, durch die Erfassungslastimpedanzelemente 14 und 15 zu einer Spannung umgewandelt, die Spannung wird in die Addierschaltung 3 eingegeben und addiert, die Phase derselben wird in der Phasenschieberschaltung 4 eingestellt, die Spannung wird in der Verstärkerschaltung 5 verstärkt und an die gemeinsame Elektrode 2C angelegt. Dementsprechend wird das piezoelektrische Schwingungselement 2 mit einer Biegeschwingung in der Dickerichtung (der Dickerichtung der piezoelektrischen Substrate 2U und 2D) durch Eigenschwingung getrieben. Folglich bilden die Addierschaltung 3, die Phasenschiebeschaltung 4 und die Verstärkerschaltung 5 eine Treibereinheit für das piezoelektrische Schwingungselement 6. Da der gemeinsame Anschluß des Schalters 13 normalerweise mit einem der Schaltanschlüsse verbunden ist, ist der Widerstandswert des Erfassungslastimpedanzelements 14 im wesentlichen gleich wie derjenige des Widerstands R1. Außerdem ist der Widerstandswert des Widerstands R1 wie oben beschrieben wurde, vorzugsweise im wesentlichen gleich wie derjenige des Widerstands R2. Dementsprechend ist der Widerstandswert des Erfassungslastimpedanzelements 14 vorzugsweise im wesentlichen gleich wie derjenige des Erfassungslastimpedanzelements 15 und es gibt keinen Unterschied zwischen den Signalen, die in den beiden Erfassungselektroden 2L und 2R erzeugt werden, bis der Widerstandswert des Erfassungslastimpedanzelements 14 geändert ist und bis eine Winkelgeschwindigkeit angelegt ist. Hierin nachfolgend bedeutet „das Signal, das in der Erfassungselektrode erzeugt wird" „das Signal, das durch Umwandeln der Ladung, die in der Erfassungselektrode erzeugt wird, in eine Spannung in dem Erfassungslastimpedanzelement erhalten wird".
  • Wenn eine Winkelgeschwindigkeit mit einer Rotationsachse, die diejenige Achse ist, die im wesentlichen parallel zu der longitudinalen Richtung des piezoelektrischen Schwingungselements 2 ist, an das piezoelektrische Schwingungselement 2 angelegt wird, das durch Biegen in der Dickerichtung des Vibrationsgyroskops 1 schwingt, schwingt das piezoelektrische Schwingungselement 2 ebenfalls durch Biegen in der Breiterichtung (die Breiterichtung der piezoelektrischen Substrate 2U und 2D) aufgrund der Corioliskraft. Dementsprechend ändern sich die Signale, die in den zwei Erfassungselektroden 2L und 2R gemäß der Corioliskraft bezüglich zueinander in entgegengesetzten Richtungen erzeugt werden.
  • Die Signale, die in den zwei Erfassungselektroden 2L und 2R erzeugt werden, werden in die Differenzschaltung 7 eingegeben und ein Differenzsignal wird ausgegeben. Das Differenzsignal entspricht der Corioliskraft. Das Differenzsignal wird in der Synchronerfassungsschaltung 8 durch ein Synchronisationssignal synchron erfaßt, das von der Phasenschieberschaltung 17 eingegeben wird, in der Glättungsschaltung 9 geglättet wird, in der Gleichstromverstärkerschaltung 10 verstärkt wird und von dem Ausgangsanschluß 12 ausgegeben wird. Folglich bilden die Phasenschieberschaltung 17, die Differenzschaltung 7, die Synchronerfassungsschaltung 8, die Glättungsschaltung 9 und die Gleichstromverstärkerschaltung 10 eine Corioliskrafterfassungseinheit 11. Hierin wird das Signal, das von dem Ausgangsanschluß 12 ausgegeben wird, als Coriolissignal bezeichnet.
  • Wenn bei dem Vibrationsgyroskop 1 keine Winkelgeschwindigkeit angelegt ist, schwankt der Widerstandswert des Erfassungslastimpedanzelements 14, das mit der Erfassungselektrode 2L verbunden ist, indem bewirkt wird, daß der Schaltanschluß, der mit dem gemeinsamen Anschluß des Schalters 13 verbunden ist, ansprechend auf einen Steuersignaleingang von dem Steuersignaleingangsanschluß 16 von einer Position zu der anderen schaltet. Genauer gesagt, der Wert des Erfassungslastimpedanzelements 14, das mit der Erfassungselektrode 2L verbunden ist, wird von dem Widerstandswert des Widerstands R1 allein zu dem Gesamtwiderstandswert der Widerstände R1 und R3 geändert. Da andererseits der Widerstandswert des Erfassungslastimpedanzelements 15 im wesentlichen gleich ist wie derjenige des Widerstands R2 und sich nicht ändert, gibt es einen Unterschied zwischen den Widerstandswerten der beiden Erfassungslastimpedanzelemente 14 und 15. Folglich gibt es auch einen Unterschied bei der Amplitude der Signale, die von den Erfassungselektroden 2L und 2R zu der Differenzschaltung eingegeben werden.
  • Die Schwankung bei der Amplitude der Signale, die von den Erfassungselektroden 2L und 2R zu der Differenzschaltung 7 eingegeben werden, bevor und nachdem der Widerstandswert des Erfassungslastimpedanzelements 14 geändert wird, wird mit Bezugnahme auf 3 beschrieben.
  • Bevor der Widerstandswert des Erfassungslastimpedanzelements 14 geändert wird, und wenn keine Winkelgeschwindigkeit angelegt ist, bilden die Signale, die von den Erfassungselektroden 2L und 2R zu der Differenzschaltung 7 eingegeben werden, Sinuswellen mit einer im wesentlichen gleichen Amplitude, wie es bei dem linken Abschnitt in 3 gezeigt ist, weil die Signale der Biegeschwingung in der Dickerichtung des piezoelektrischen Schwingungselements 2 entsprechen. Hierin wird das Signal, das von der Erfassungselektrode 2L zu der Differenzschaltung 7 eingegeben wird, durch eine durchgezogene Linie gezeigt, und das Signal, das von der Erfassungselektrode 2R zu der Differenzschaltung 7 eingegeben wird, ist durch eine gestrichelte Linie gezeigt. Diese Linien überlappen einander jedoch und erscheinen als eine durchgezogene Linie. In diesem Zustand ist das Ausgangssignal von der Differenzschaltung 7 Null, weil die beiden Signale zusammenfallen. Dementsprechend sind das Ausgangssignal von der Synchronerfassungsschaltung 8 und das Ausgangssignal von der Gleichstromverstärkerschaltung 10 ebenfalls Null.
  • Wenn der Schalter 13 ansprechend auf den Steuersignaleingang von dem Steuersignaleingangsanschluß 16 geschaltet wird, und der gemeinsame Anschluß mit dem anderen Schaltanschluß verbunden ist, ist der Widerstandswert des Erfassungslastimpedanzelements 14 geändert. Wenn der Widerstandswert des Erfassungslastimpedanzelements 14 geändert ist, wie es bei dem rechten Abschnitt in 3 gezeigt ist, variiert die Amplitude des Signals (durch eine durchgezogene Linie gezeigt), das von der Erfassungselektrode 2L zu der Differenzschaltung 7 eingegeben wird, gemäß der Schwankung des Widerstandswerts. Andererseits schwankt das Signal (durch eine gestrichelte Linie gezeigt), das von der Erfassungselektrode 2R zu der Differenzschaltung 7 eingegeben wird, nicht. Dementsprechend wird das Signal, das der Differenz entspricht, d. h. das Sinuswellensignal mit einer Amplitude, die der Differenz bei den Erfassungslastimpedanzelementen entspricht, von der Differenzschaltung 7 ausgegeben. Dieses Signal wird in der Synchronerfassungsschaltung 8 synchron erfaßt, in der Glättungsschaltung 9 geglättet, in der Gleichstromverstärkerschaltung 10 verstärkt und an dem Ausgangsanschluß 12 als ein Coriolissignal ausgegeben.
  • Das Coriolissignal, das an dem Ausgangsanschluß 12 durch Ändern des Widerstandswerts des Erfassungslastimpedanzelements 14 der Erfassungselektrode 2L ausgegeben wird, schwankt gemäß der Schwankung des Widerstandswerts. Diese Schwankung kann jedoch im voraus geschätzt werden oder auf der Basis des Widerstandswerts der Widerstände R1 oder R3, usw. gemessen werden. Daher kann das Vibrationsgyroskop 1 eine Eigendiagnose durchführen, um zu bestimmen, ob es normal funktioniert, durch Bestimmen unter Verwendung einer geeigneten Schaltung, die mit dem Ausgangsanschluß 12 verbunden ist, ob die Größe des Coriolissignals in einem vorbestimmten Bereich schwankt.
  • Wenn beispielsweise die Größe des Coriolissignals höher oder niedriger ist als ein vorbestimmter Wert, wenn der Widerstandswert des Erfassungslastimpedanzelements 14 der Erfassungselektrode 2L geändert ist, wird bestimmt, daß die Corioliskrafterfassungseinheit 11 eine Funktionsstörung erlebt hat.
  • Wenn die zwei Erfassungselektroden 2L und 2R kurzgeschlossen sind, fallen die Erfassungslastimpedanzelemente der zwei Erfassungselektroden 2L und 2R zusammen, wodurch das Coriolissignal nicht schwankt. Auf diese Weise kann das Vibrationsgyroskop 1 durch Ändern des Widerstandswerts des Erfassungslastimpedanzelements 14 eine Funktionsstörung des piezoelektrischen Schwingungselements 2 diagnostizieren. Das heißt, das Vibrationsgyroskop 1 weist einen hervorragenden Vorteil auf, da es eine Eigendiagnose mit einer sehr einfachen Konfiguration durchführen kann, bei der nur die Impedanzelemente und die Schalteinheit hinzugefügt werden.
  • 4 ist ein schematisches Blockdiagramm eines weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiels des Vibrationsgyroskops gemäß der vorliegenden Erfindung. Bei 4 sind die gleichen Bezugszeichen Komponenten zugewiesen, die identisch oder äquivalent zu denjenigen in 1 sind, und die entsprechende Beschreibung ist ausgelassen, um eine Wiederholung zu vermeiden.
  • Bei 4 umfaßt ein Vibrationsgyroskop 20 vorzugsweise eine Eigendiagnoseschaltung 21, die eine Eigendiagnoseeinheit ist, die mit dem Ausgangsanschluß 12 der Gleichstromverstärkerschaltung 10 verbunden ist, zusammen mit den Komponenten des in 1 gezeigten Vibrationsgyroskops 1. Die Eigendiagnoseschaltung 21 weist einen Diagnoseergebnisausgangsanschluß 22 auf.
  • Das Vibrationsgyroskop 20 mit dem oben beschriebenen einmaligen Aufbau weist die Eigendiagnoseschaltung 21 auf, und somit gibt es keine Notwendigkeit, eine Schaltung für eine Eigendiagnose außerhalb des Vibrationsgyroskops 20 bereitzustellen.
  • 5 ist ein schematisches Blockdiagramm eines weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiels des Vibrationsgyroskops gemäß der vorliegenden Erfindung. Bei 5 sind die gleichen Bezugszeichen Komponenten zugewiesen, die identisch oder äquivalent zu denjenigen in 1 sind, und die entsprechende Beschreibung ist ausgelassen, um eine Wiederholung zu vermeiden.
  • Bei einem in 5 gezeigten Vibrationsgyroskop 30 ist die Erfassungselektrode 2R des piezoelektrischen Schwingungselements 2 über einen Widerstand R2 mit dem gemeinsamen Anschluß eines Schalters 31 verbunden. Einer der Schaltanschlüsse des Schalters 31 ist direkt mit einem Bezugspotential verbunden, und der anderen Schaltanschluß ist über einen Widerstand R4 mit dem Bezugspotential verbunden. Die Widerstände R2 und R4 und der Schalter 31 bilden ein Erfassungslastimpedanzelement 32. Außerdem ist der Steuersignaleingangsanschluß 16 mit dem Steueranschluß des Schalters 31 verbunden, und auch mit dem Steueranschluß des Schalters 13. Der Widerstandswert des Widerstands R1 ist vorzugsweise im wesentlichen gleich zu demjenigen des Widerstands R2, und der Widerstandswert des Widerstands R3 unterscheidet sich von demjenigen des Widerstands R4.
  • Da bei dem Vibrationsgyroskop 30 mit dem oben beschriebenen einmaligen Aufbau der gemeinsame Anschluß des Schalters 13 normalerweise mit einem der Schaltanschlüsse verbunden ist, ist der Widerstandswert des Erfassungslastimpedanzelements 14 im wesentlichen gleich zu demjenigen des Widerstands R1. Da außerdem der gemeinsame Anschluß des Schalters 31 normalerweise ebenfalls mit einem der Schaltanschlüsse verbunden ist, ist der Widerstandswert des Erfassungslastimpedanzelements 32 im wesentlichen gleich zu demjenigen des Widerstands R2. Wie es oben beschrieben ist, ist der Wider standswert des Widerstands R1 vorzugsweise im wesentlichen gleich zu demjenigen des Widerstands R2 und somit fällt der Widerstandswert des Erfassungslastimpedanzelements 14 normalerweise mit demjenigen des Erfassungslastimpedanzelements 32 zusammen. Dementsprechend besteht kein Unterschied zwischen den Signalen, die in den zwei Erfassungselektroden 2L und 2R erzeugt werden, bis die Widerstandswerte der Erfassungslastimpedanzelemente 14 und 32 geändert werden, und bis eine Winkelgeschwindigkeit angelegt ist.
  • Wenn bei dem Vibrationsgyroskop 30 keine Winkelgeschwindigkeit angelegt ist, schwanken die Widerstandswerte der Erfassungslastimpedanzelemente 14 und 32, die mit der Erfassungselektrode 2L bzw. 2R verbunden sine, indem bewirkt wird, daß die Schaltanschlüsse, die mit den gemeinsamen Anschlüssen der Schalter 13 und 31 verbunden sind, ansprechend auf einen Steuersignaleingang von dem Steuersignaleingangsanschluß 16 von einer Position zu der anderen schalten. Genauer gesagt wird der Wert des Erfassungslastimpedanzelements 14, das mit der Erfassungselektrode 2L verbunden ist, von dem Widerstandswert des Widerstands R1 allein zu dem Gesamtwiderstandswert der Widerstände R1 und R3 geändert. Andererseits wird der Wert des Erfassungslastimpedanzelements 32, das mit der Erfassungselektrode 2R verbunden ist, von dem Widerstandswert des Widerstands R2 allein zu dem Gesamtwiderstandswert der Widerstände R2 und R4 geändert. Obwohl der Widerstandswert des Widerstands R1 vorzugsweise im wesentlichen gleich ist zu demjenigen des Widerstands R2, unterscheidet sich der Widerstandswert des Widerstands R3 von demjenigen des Widerstands R4. Dementsprechend gibt es einen Unterschied zwischen den Widerstandswerten der zwei Erfassungslastimpedanzelemente 14 und 32. Folglich gibt es ebenfalls einen Unterschied bei der Amplitude der Signale, die von den Erfassungselektroden 2L und 2R zu der Differenzschaltung 7 eingegeben werden. Außerdem wird wie bei dem in 1 gezeigten Vibrationsgyroskop 1 das Coriolissignal, das der Schwankung des Wider standswerts des Erfassungslastimpedanzelements entspricht, an dem Ausgangsanschluß 12 ausgegeben.
  • Wie oben beschrieben ist, können die Widerstandswerte einer Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen ebenfalls geändert werden. In diesem Fall können die gleichen Funktionen und Vorteile, wie sie auch durch das in 1 gezeigte Vibrationsgyroskop erreicht werden, erhalten werden.
  • Das Verfahren zum Ändern des Widerstandswerts des Erfassungslastimpedanzelements ist nicht auf dasjenige begrenzt, das die in 1 und 5 gezeigten Konfigurationen verwendet. Statt dessen kann jede Konfiguration angenommen werden.
  • Ferner kann das in 5 gezeigte Vibrationsgyroskop 30 wie das in 4 gezeigte Vibrationsgyroskop 20 eine Eigendiagnoseschaltung umfassen, obwohl dies nicht gezeigt ist. In diesem Fall können die gleichen Funktionen und Vorteile erhalten werden, die durch das Vibrationsgyroskop 20 erreicht werden.
  • Bei den oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsbeispielen wird die Eigendiagnose für das Vibrationsgyroskop durch Bestimmen der Größe des Coriolissignals durchgeführt, das von dem Ausgangsanschluß ausgegeben wird, wenn der Wert von zumindest einem der Erfassungslastimpedanzelemente geändert wird. Die Eigendiagnose kann jedoch auf der Basis eines Übergangsverhaltens des Coriolissignals beim Ändern der Impedanz durchgeführt werden. Die Beschreibung eines solchen Verfahrens wird nachfolgend bereitgestellt.
  • Bei der Corioliskrafterfassungseinheit 11 bei jedem der Vibrationsgyroskope 1, 20 und 30, ist vorzugsweise ein Tiefpaßfilter 40, wie es in 6 gezeigt ist, zum Dämpfen hoher Frequenzen als ein Element der Glättungsschaltung 9 in der nachfolgenden Stufe der Synchronerfassungsschaltung 8 vorgesehen.
  • Bei 6 umfaßt das Tiefpaßfilter 40 vorzugsweise einen Operationsverstärker Q3, einen Widerstand R5, der zwischen den Eingangsanschluß „Ein" und den invertierenden Eingangsanschluß des Operationsverstärkers Q3 geschaltet ist, und einen Widerstand R6 und einen Kondensator C1, die beide zwischen den Ausgangsanschluß des Operationsverstärkers Q3 und den invertierenden Eingangsanschluß des Operationsverstärkers Q3 geschaltet sind. Der nicht-invertierende Eingangsanschluß des Operationsverstärkers Q3 ist mit dem Bezugspotential verbunden, und der Ausgangsanschluß des Operationsverstärkers Q3 ist mit dem Ausgangsanschluß „Aus" verbunden.
  • Bei diesem Tiefpaßfilter 40 wird der Signalpegel des Eingangsanschlusses „Ein" erhöht, beispielsweise von 0 V zu einer vorbestimmten Spannung auf eine schrittweise Art, wenn das Steuersignal den Wert des Erfassungslastimpedanzelements ändert. Obwohl das Signal des Ausgangsanschlusses „Aus" schließlich einen bestimmten Pegel erreicht, ändert dasselbe nicht auf schrittweise Art und die Anstiegszeit unterscheidet sich, abhängig von der Zeitkonstante des Widerstands R6 und des Kondensator C1, wie es in 7 gezeigt ist. Daher kann bestimmt werden, ob sich die Werte der Widerstände R5 und R6 und des Kondensators C1 geändert haben oder nicht, durch Bestimmen der Anstiegszeit und des ansteigenden Signalverlaufs, d. h. dem Übergangsverhalten und der Änderung bei der Spannung. Wenn das Ausgangssignal nicht ansteigt oder durch eine Versorgungsspannung geklemmt wird, kann bestimmt werden, ob die Widerstände R5 oder R6 oder der Kondensator C1 kurzgeschaltet oder geöffnet sind.
  • Wie oben beschrieben ist, kann das Element, das eine Änderung bei dem charakteristischen Wert in einer Schaltung des Vibrationsgyroskops erlebt, durch Bestimmen des Übergangsverhaltens des Coriolissignals gefunden werden, wenn der Widerstandswert des Erfassungslastimpedanzelements geändert ist.
  • Bei dem Vibrationsgyroskop verschiedener bevorzugter Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung umfaßt das Schwingungselement vorzugsweise das Erfassungslastimpedanzelement zum Umwandeln der Wechselstromladung, die in der Erfassungselektrode des Schwingungselements erzeugt wird, in eine Wechselstromspannung. Darüber hinaus ist die Konfiguration des Schwingungselements nicht begrenzt. Bei den oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsbeispielen wird vorzugsweise das Schwingungselement, das einen Schwingungskörper aus einer piezoelektrischen Substanz und mit einer Mehrzahl von Erfassungselektroden verwendet. Das Schwingungselement kann jedoch durch Verbinden eines piezoelektrischen Elements, das eine Elektrode aufweist, mit einem Schwingungskörper aufgebaut sein, der aus einem anderen Material als einer piezoelektrischen Substanz, wie z. B. Metall, besteht. In diesem Fall sind Erfassungselektroden auf der Oberfläche des piezoelektrischen Elements gegenüber der Oberfläche, die mit dem Schwingungskörper verbunden ist, vorgesehen.
  • Die Form des Schwingungselements ist nicht auf diejenige bei jedem der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsbeispiele begrenzt, und dieselbe kann ein polygonales Prisma sein, wie z. B. ein dreieckiges Prisma, eine Säule, oder eine Stimmgabel, oder eine andere geeignete Form oder Konfiguration.
  • Außerdem ist das Erfassungslastimpedanzelement nicht auf einen Widerstand begrenzt, und es kann ein Induktivitätselement, ein Kapazitätselement oder eine Kombination solcher Komponenten, einschließlich eines Widerstands sein.
  • Gemäß dem Vibrationsgyroskop und dem Verfahren zum Erstellen einer Eigendiagnose des Vibrationsgyroskops von verschiedenen bevorzugten Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung wird der Wert von zumindest einem der Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen ansprechend auf das Steuersignal geändert, und die Schwankung des Coriolissignales wird zu diesem Zeitpunkt erfaßt. Dementsprechend kann die Eigendiagnose für das Vibrationsgyroskop mit geringen Kosten und mit hoher Zuverlässigkeit durchgeführt werden.

Claims (19)

  1. Vibrationsgyroskop (1, 20, 30), das folgende Merkmale umfaßt: ein Schwingungselement (2), das eine Mehrzahl von Erfassungselektroden (2L, 2R) umfaßt, und ansprechend auf ein Treibersignal und eine angelegte Winkelgeschwindigkeit schwingt; eine Schwingungselementtreibereinheit (6) zum Anlegen eines Treibersignals an das Schwingungselement; eine Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen (14, 15), die mit der Mehrzahl von Erfassungselektroden (2L, 2R) verbunden sind, zum Umwandeln von Ladungen, die in der Mehrzahl von Erfassungselektroden (2L, 2R) ansprechend auf die Schwingung des Schwingungselements (2) erzeugt werden, in Spannungssignale; eine Corioliskrafterfassungseinheit (11) zum Ausgeben eines Coriolissignals, das der Winkelgeschwindigkeit entspricht, auf der Basis der Mehrzahl von Spannungssignalen; und eine Impedanzänderungseinheit zum Ändern der Impedanz von zumindest einem der Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen (14, 15) von einem ersten Impedanzwert auf einen zweiten Impedanzwert, so daß sich der zweite Impedanzwert von einem Impedanzwert eines weiteren der Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen unterscheidet.
  2. Vibrationsgyroskop gemäß Anspruch 1, das ferner eine Eigendiagnoseeinheit (21) zum Durchführen einer Eigendiagnose auf der Basis der Schwankung des Betrags des Coriolissignals, die durch Ändern der Impedanz von zumindest einem der Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen (14, 15) bewirkt wird, aufweist.
  3. Vibrationsgyroskop gemäß Anspruch 1, das ferner eine Eigendiagnoseeinheit (21) zum Durchführen einer Eigendiagnose auf der Basis eines Übergangsverhaltens des Coriolissignals, das durch Ändern der Impedanz von zumindest einem der Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen (14, 15) bewirkt wird, aufweist.
  4. Vibrationsgyroskop gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem jedes der Erfassungslastimpedanzelemente (14, 15) ein Widerstand ist.
  5. Vibrationsgyroskop gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, das ferner eine Mehrzahl von Widerständen (R1, R2, R3), eine Addierschaltung (3), eine Mehrzahl von Phasenschieberschaltungen (4, 15), eine Verstärkerschaltung (5), eine Differenzschaltung (7), eine Synchronerfassungsschaltung (8), eine Glättungsschaltung (9), eine Gleichstromverstärkerschaltung (10) und einen Schalter (13) umfaßt.
  6. Vibrationsgyroskop gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem das Schwingungselement (2) zumindest ein piezoelektrisches Substrat (2U) umfaßt, das in einer Dickerichtung desselben polarisiert ist und die Erfassungselektroden (2L, 2R) auf demselben angeordnet umfaßt.
  7. Vibrationsgyroskop gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem zumindest eines der Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen (14) eine Mehrzahl von Widerständen (R1, R3) und einen Schalter (13) umfaßt, die elektrisch miteinander verbunden sind.
  8. Vibrationsgyroskop gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, bei dem zumindest eines der Mehrzahl von Erfassungs lastimpedanzelementen (15) einen einzelnen Widerstand (R2) umfaßt.
  9. Vibrationsgyroskop gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8, bei dem das Schwingungselement (2) ein piezoelektrisches Schwingungselement (2) umfaßt, das mit einer Biegeschwingung in einer Dickerichtung desselben, die durch eine Eigenschwingung angeregt wird, umfasst.
  10. Vibrationsgyroskop gemäß einem der Ansprüche 1 bis 9, bei dem die Schwingungselementtreibereinheit (6) eine Addierschaltung (3), eine Phasenschieberschaltung (9) und eine Verstärkerschaltung (5) umfaßt.
  11. Vibrationsgyroskop gemäß einem der Ansprüche 1 bis 10, das ferner eine Eigendiagnoseschaltung (21) umfaßt, die eine Eigendiagnoseeinheit umfaßt, die mit einem Ausgangsanschluß (12) der Gleichstromverstärkerschaltung (10) und dem Vibrationsgyroskop verbunden ist.
  12. Vibrationsgyroskop gemäß einem der Ansprüche 1 bis 11, bei dem die Form des Schwingungselements (2) entweder ein polygonales Prisma, eine Säule oder eine Stimmgabel ist.
  13. Vibrationsgyroskop gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12, bei dem jedes der Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen (14, 15) zumindest entweder einen Widerstand, ein Induktivitätselement oder ein Kapazitätselement umfaßt.
  14. Eigendiagnoseverfahren für ein Vibrationsgyroskop, das folgende Merkmale aufweist: ein Schwingungselement (2) mit einer Mehrzahl von Erfassungselektroden (2L, 2R), das ansprechend auf ein Treibersignal und eine angelegte Winkelgeschwindigkeit schwingt, eine Schwingungselementtreibereinheit (6) zum Anlegen eines Treibersignals an das Schwingungselement, eine Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen (14, 15) zum Umwandeln von Ladungen, die in der Mehrzahl von Erfassungselektroden (2L, 2R) aufgrund der Schwingung des Schwingungselements (2) erzeugt werden, in Spannungssignale, und eine Corioliskrafterfassungseinheit (11) zum Ausgeben eines Coriolissignals, das der Winkelgeschwindigkeit entspricht, auf der Basis der Mehrzahl von Spannungssignalen, wobei das Verfahren den Schritt des Durchführens einer Eigendiagnose auf der Basis der Schwankung des Coriolissignals umfaßt, die durch Ändern der Impedanz von zumindest einem der Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen (14, 15) bewirkt wird.
  15. Verfahren gemäß Anspruch 14, bei dem die Eigendiagnose auf der Basis eines Übergangsverhaltens des Coriolissignals durchgeführt wird, das durch Ändern der Impedanz von zumindest einem der Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen (14, 15) bewirkt wird.
  16. Verfahren gemäß Anspruch 14 oder 15, bei dem jedes der Erfassungslastimpedanzelemente (14, 15) ein Widerstand ist.
  17. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 14 bis 16, bei dem zumindest eines der Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen (14) eine Mehrzahl von Widerständen (R1, R3) und einen Schalter (13) umfaßt, die elektrisch miteinander verbunden sind.
  18. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 14 bis 17, bei dem zumindest eines der Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen (15) einen einzelnen Widerstand (R2) umfaßt.
  19. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 14 bis 18, bei dem jedes der Mehrzahl von Erfassungslastimpedanzelementen (14, 15) zumindest entweder einen Widerstand, ein Induktivitätselement oder ein Kapazitätselement umfaßt.
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