CN1764821A

CN1764821A - 角速度传感器

Info

Publication number: CN1764821A
Application number: CNA2005800000231A
Authority: CN
Inventors: 大内智; 黑田启介; 山本毅
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2004-01-13
Filing date: 2005-01-07
Publication date: 2006-04-26
Anticipated expiration: 2025-01-07
Also published as: US20060117851A1; EP1705457A4; EP1705457A1; CN100494895C; JP4529444B2; US7107843B2; EP1705457B1; WO2005068937A1; DE602005027306D1; JP2005201652A

Abstract

本发明提供一种角速度传感器，通过使用开关而在接头上产生同相的驱动信号，使臂(2)、(3)同时向音叉振子1的Z方向弯曲。分别由第一放大器和第二放大器对在臂(2)、(3)上设置的第十电极(22)和第十二电极(25)所得到的电荷进行放大处理。将这些输出值输入到差动放大器，由比较器对该输出值和由基准值发生装置所产生的规定值进行比较，在超过规定值的情况下判断为异常。由此，在音叉振子上不设置特别的异常诊断用信号输入电极、以及用于降低角速度输出的检测误差的基准电位接地电极的情况下，就能够进行异常诊断。

Description

角速度传感器

技术领域

本发明涉及具有异常检测功能的角速度传感器。

背景技术

作为现有的这种角速度传感器来说，例如在日本公开专利、特开2000-88584号公报中有所介绍。图4B、4C、4A以及4D表示的是在特开2000-88584号公报中所介绍的、从振子的前后以及左右所看到的形成于振子外周表面上的各个电极的展开图。在这些图中，在作为由压电陶瓷所构成的音叉振子100的一个主面的X1面上分别设置有驱动电极101、102。在作为音叉振子100的侧面的Y1、Y2面上分别设置有角速度检测电极103、104。在音叉振子100的臂上的X1面的内侧附近设置有异常诊断用信号输入电极105、106。在音叉振子100的臂的X1面上设置有基准电位接地电极107、108。

在该角速度传感器中，将异常诊断用信号输入到异常诊断用信号输入电极105、106，通过容量结合并经由角速度检测电极103、104来进行异常诊断。此外，为了降低在将异常诊断用信号输入到异常诊断输入电极105、106时的角速度检测的误差，还在音叉振子100的X1面上特别设置有基准电位接地电极。

但是，现有的角速度传感器，存在有下述问题：为了进行异常诊断并且降低角速度检测的误差，而必须在音叉振子100的X1面上同时设置异常诊断用信号输入电极105、106以及基准电位接地电极107、108。

本发明的目的在于：提供一种角速度传感器，不需要在音叉振子上设置特别的异常诊断用信号输入电极以及用于降低角速度的检测误差的基准电位接地电极，就能够进行异常诊断。

发明内容

为了达到这一目的，本发明的角度速传感器包括：具有至少两个臂以及连接于该臂的至少一个基部的音叉振子。还包括设置在所述音叉振子的至少一个臂的至少一个主面上的、用于使音叉振子在其X方向或者Z方向激励振动的驱动部。而且，还包括设置在音叉振子的至少一个臂的至少一个主面上、用于检测音叉振子相对于所输入的角速度在Z方向振动的挠度的检测部。而且，还包括：用于通过驱动部使音叉振子在X方向激励振动的第一驱动电路、具有用于对由检测部输出的信号放大而得到角速度信号的放大器的检测电路、以及用于供给由驱动部使音叉振子在Z方向激励振动的驱动信号的第二驱动电路。

设置有当通过第二驱动电路对驱动部施加驱动信号时，将放大器的输出与基准值进行比较，在不能得到规定值的情况下判断为异常的自诊断电路的角速度传感器。即使是在音叉振子上不设置特别的异常诊断用信号输入电极以及用于降低角速度输出的检测误差的基准电位接地电极的情况下，也能够进行异常诊断。

此外，本发明的角速度传感器构成为：若电源接通，则首先第二驱动电路动作，通过自诊断电路来进行自诊断，接着为了进行规定的角速度检测，第一驱动电路转移到动作模式。或者构成为：当在第一驱动电路动作并进行了规定时间的角速度检测之后，第二驱动电路动作，通过自诊断电路进行自诊断，然后，第一驱动电路再次动作，进行角速度的检测。或者是构成为：在检测出车速为零时，第二驱动电路动作，由自诊断电路进行自诊断的角度速传感器。根据这样的结构，能够在所希望的时刻进行角速度传感器的异常诊断。

此外，本发明的角速度传感器，音叉振子由非压电材料所形成，驱动部包括：以分别分离的方式而设置在由音叉振子的两臂的各主面上的大约中心所分割成的内侧和外侧上的第一、第二、第三和第四电极；在第一、第二、第三和第四电极上分别设置的第一、第二、第三和第四压电薄膜。此外，在第一、第二、第三和第四压电薄膜上还分别设置有第五、第六、第七和第八电极。由第二驱动电路对第五、第六、第七和第八电极施加同相的驱动信号。检测部包括：以相对于第一、第二电极分离的方式而设置在臂的一侧的主面上的第九电极，以及在该第九电极上设置的第五压电薄膜。此外，在该第五压电薄膜上还设置有第十电极，以及以相对于第三、第四电极分离的方式而设置在臂的另一侧的主面上的第十一电极。此外，还包括在第十一电极上设置的第六压电薄膜，以及在第六压电薄膜上设置的第十二电极。自诊断电路包括：连接于第十电极的第一放大器，连接于第十二电极的第二放大器，用于对第一放大器的输出和所述第二放大器的输出进行差动放大的差动放大器，以及将该差动放大器的输出与基准值进行比较的比较器。驱动部与检测部能够在音叉振子的一个面上全部形成，而且具有能够对因检测系统的断线以及检测部的恶化所引起的失衡等进行自诊断的功能。

而且，本发明的角速度传感器，音叉振子由非压电材料所形成，驱动部包括：以分别分离的方式而设置在由音叉振子的两臂的各主面上的大约中心所分割成的内侧和外侧上的第一、第二、第三和第四电极；以及在第一、第二、第三和第四电极上分别设置的第一、第二、第三和第四压电薄膜。此外，在第一、第二、第三和第四压电薄膜上还分别设置有第五、第六、第七和第八电极。此外，由第二驱动电路对第五、第六、第七和第八电极施加同相的驱动信号。检测部包括：以相对于第一、第二电极分离的方式而设置在臂的一侧的主面上的第九电极，在该第九电极上设置的第五压电薄膜，以及在该第五压电薄膜上设置有第十电极。此外，还包括以相对于第三、第四电极分离的方式而设置在臂的另一侧的主面上的第十一电极，在第十一电极上设置的第六压电薄膜，以及在第六压电薄膜上设置的第十二电极。自诊断电路包括：连接于第十电极的第一放大器，连接于第十二电极的第二放大器，将第一放大器的输出与基准值进行比较的第一比较器，以及将第二放大器的输出与基准值进行比较的第二比较器。根据这样的结构，能够对检测部等的异常进行诊断。

而且，在本发明的角速度传感器中，在自诊断电路中还设置有将第一放大器的输出与第二放大器的输出分别输入的差动放大器，以及将该差动放大器的输出与基准值进行比较的比较器。根据这样的结构，不仅能够对检测部等的异常进行诊断，而且还能够适用于对因检测系统的断线以及检测部的恶化所引起的失衡等进行自诊断。

而且，本发明的角速度传感器，设置有音叉振子和驱动部，音叉振子具有至少两个臂以及连接于该臂的至少一个基部，驱动部被设置在所述音叉振子的至少一个臂的至少一个主面上、用于在X方向或者Z方向激励振动音叉振子。还设置有检测部、第一驱动电路、以及检测电路，其中，检测部设置在音叉振子的至少一个臂的至少一个主面上，用于检测音叉振子相对于所输入的角速度在Z方向振动的挠度；第一驱动电路用于通过驱动部使所述音叉振子在其X方向激励振动；检测电路具有用于对由检测部输出的信号放大而得到角速度信号的放大器。此外，还设置有第二驱动电路以及自诊断电路，其中，第二驱动电路用于供给由驱动部使所述音叉振子在Z方向激励振动的驱动信号；自诊断电路在由第二驱动电路对驱动部施加驱动信号时，将放大器的输出与基准值比较，在不能得到规定值的情况下判断为异常。根据这样的结构，即使是在音叉振子上不设置特别的异常诊断用信号输入电极以及用于降低角速度输出的检测误差的基准电位接地电极的情况下，也能够进行异常诊断。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式中的角速度传感器的音叉振子的结构图。

图2是本发明的图1所示的振子的2-2截面图。

图3是本发明的角速度传感器的电路模块图。

图4A表示的是现有的角速度传感器中的振子的X1面上的电极结构的展开图。

图4B表示的是现有的角速度传感器中的振子的X2面上的电极结构的展开图。

图4C表示的是现有的角速度传感器中的振子的Y1面上的电极结构的展开图。

图4D表示的是现有的角速度传感器中的振子的Y2面上的电极结构的展开图。

符号说明：

1：音叉振子

2、3：臂

4：基部

5：主面

6、7：中心线

8：第一电极

9：第二电极

10：第三电极

11：第四电极

12：第一压电薄膜

13：第二压电薄膜

14：第三压电薄膜

15：第四压电薄膜

16：第五电极

17：第六电极

18：第七电极

19：第八电极

20：第九电极

21：第五压电薄膜

22：第十电极

23：第十一电极

24：第六压电薄膜

25：第十二电极

26：监测用电极

40：连接端子

41：放大器

42：AGC电路

43、44：带通滤波器

45、48：开关

46：输出放大器

47：反向放大器

49、50：输出端子

51：第一驱动电路

52：第二驱动电路

60、61：输入端子

62：第一放大器

63：第二放大器

64：差动放大器

65：相位器

66：同步检波器

67：低通滤波器

68：角速度信号兼自诊断信号输出端子

69：角速度检测电路

80、83、84：全波整流电路

81：比较器

82、87、88：基准值发生装置

85：第一比较器

86：第二比较器

89：第一自诊断信号输出端子

90：第二自诊断信号输出端子

91：自诊断电路

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的一个实施方式进行说明。

(实施方式)

图1是本发明的一个实施方式中的角速度传感器的音叉振子的结构图。图2是图1所示的振子的2-2截面图。图3是同一实施方式中的角速度传感器的电路模块图。

在图1、图2中，由作为非压电材料的硅所构成的音叉振子1具有臂2、3。而且，音叉振子1还具有基部4。此外，臂2、3具有主面5。

正视图2，在其右侧和左侧分别表示臂2和臂3。

首先，注意臂2，表示有中心线6。中心线6表示臂2的大约正中心的位置。在中心线6的内侧、即在距离臂3最近的主面5的上面设置有作为共同电极的第一电极8。在第一电极8的上面设置有第一压电薄膜12。在第一压电薄膜12的上面设置有作为驱动电极的第五电极16。其中，例如使用Au/Ti作为电极16的材料。

在臂2的中心线6的外侧，即正视图2，在最右侧的主面5的上面设置有作为共同电极的第二电极9。在第二电极9的上面设置有第二压电薄膜13。在第二压电薄膜13的上面设置有作为驱动电极的第六电极17。在臂2的中心线6上设置有作为共同电极的第九电极20。在电极20的上面依次设置有第五压电薄膜21以及作为检测用电极的第十电极22。

接着，正视图2并注意左侧的臂3，表示有中心线7。中心线7表示臂3的大约正中心的位置。在中心线7的内侧、即在距离臂2最近的臂3的主面5上设置有作为共同电极的第三电极10。在第三电极10的上面依次设置有第三压电薄膜14以及第七电极18。在臂3的中心线7的外侧，即正视图2，在最左侧的主面5上设置有作为共同电极的第四电极11。在电极11的上面依次设置有第四压电薄膜11以及第八电极19。此外，在臂3的中心线7上，在主面5上设置有第十一电极23。在电极23上依次设置有第六压电薄膜24以及第十二电极25。

这里，第一压电薄膜12、第二压电薄膜13、第三压电薄膜14、第四压电薄膜15、第五压电薄膜21以及第六压电薄膜24，在由PZT所构成的膜面上沿着垂直方向而被分极处理。

其中，在图1中所示的符号26表示的是在臂2、3的主面5上设置的监测用电极。

监测用电极26是监测音叉振子1的振动状态的部件，在监测用电极26中所发生的电荷的大小由后述的AGC电路42控制为一定的值。

接着，正视图3，在其上侧构成有第一驱动电路51以及第二驱动电路52。第一驱动电路51包括：连接端子40、放大器41、AGC电路42、开关45、带通滤波器43、输出放大器46、反向放大器47、开关48、输出端子49以及输出端子50。

此外，第二驱动电路52包括：连接端子40、放大器41、AGC电路42、开关45、带通滤波器44、输出放大器46、开关48、输出端子49以及输出端子50。

由以上的构成要素可知，第一驱动电路51和第二驱动电路52的大部分构成要素是共用的。也就是说，第一驱动电路51除了不具有作为第二驱动电路52的构成要素的带通滤波器44，其它的构成要素都与第二驱动电路52共用。此外，第二驱动电路除了不具有构成第一驱动电路的带通滤波器43以及反向放大器47，其它的构成要素都是共用的。

然后，在上述第一以及第二驱动电路中，将来自监测用电极26的信号输入到连接端子40，能够通过连接端子40将来自监测用电极26的检测信号输入到放大器41并放大。从监测用电极26输出的检测信号例如是频率f＝22KHz的正弦波。

AGC电路42与放大器41连接，用于控制监测器信号为规定大小的增益。带通滤波器43与AGC电路42连接，使音叉振子1以f＝22kHz的频率、在音叉振子1的X方向激励振动。带通滤波器44与AGC电路42连接，用于进行自诊断而使音叉振子1以f＝12kHz的频率、在音叉振子1的Z方向激励振动。开关45将AGC电路42的输出切换至带通滤波器43或者带通滤波器44中的任意一个。将带通滤波器43或者带通滤波器44中的任意一个的输出信号输入到输出放大器46。在输出放大器46，将被放大的输出(监视)信号放大后，激励振动音叉振子1。反向放大器47与输出放大器46连接。开关48将输出放大器46或者反向放大器47中的任何一个输出信号输出到输出端子50。输出端子49与输出放大器46连接，同时与第五电极16以及第七电极18相连接。

由开关48将输出放大器46的输出或者反向放大器47的输出在输出端子50取出，同时，输出端子50与第六电极17以及第八电极19相连接。

此外，正视图3，在其下侧构成有角速度检测电路69以及自诊断电路91。

角速度检测电路69包括：输入端子60、61，第一放大器62，第二放大器63，差动放大器64，相位器65，同步检波器66、低通滤波器67以及输出端子68。输出端子68输出速度信号以及自诊断信号。

自诊断电路91包括：输入端子60、61，第一放大器62，第二放大器63，差动放大器64，以及全波整流电路80、83、84。而且，自诊断电路91还设置有比较器81、以及基准值发生装置82、87、88。此外，自诊断电路91还包括：角速度以及自诊断信号输出端子68、第一比较器85、第二比较器86、第一自诊断信号输出端子89以及第二自诊断信号输出端子90。

其中，从图3中可知，第一放大器62、第二放大器63以及差动放大器64共用于角速度检测电路69和自诊断电路91。

接着，在角速度检测电路69以及自诊断电路91中，输入端子60连接于图2所示的第十电极22，输入端子61连接于第十二电极25。通过输入端子60将信号输入到第一放大器62，通过输入端子61将信号输入到第二放大器63。将第一放大器62以及第二放大器63的输出信号输入到差动放大器64，由差动放大器64对与这些振幅的大小以及相位差相对应的信号进行放大。将从差动放大器64取出的信号输入到相位器65。将相位器65的输出信号输入到同步检波器66。而且，在同步检波器66中，通过结合线55输入来自作为第一以及第二驱动电路的构成要素的放大器41的输出信号。

在低通滤波器67的输入侧输入同步检波器66的输出信号，从其输出侧输出角速度信号。输出端子68与低通滤波器67的输出侧相连接，从输出端子68输出角速度信号兼自诊断信号。

接着，对本实施方式的角速度传感器的动作加以说明。

如图3所示，若本实施方式的角速度传感器的电路电源为打开，则由开关45使AGC电路42的输入侧和带通滤波器44的输出侧相连接。并且，通过由开关48来使输出放大器46的输出侧和输出端子50相连接，而使输出端子49与输出端子50表现出同相的驱动信号。这是第二驱动电路52的工作状态。由此，臂2、3同时向音叉振子1的Z轴方向弯曲。若臂2、3同时向音叉振子1的Z轴方向弯曲，则从第十电极22以及第十二电极25产生很大的电荷。第十电极22以及第十二电极25所产生的很大的电荷，在由第一放大器62以及第二放大器63所分别放大后，其各自的输出分别被输入到全波整流电路83、84。全波整流电路83、84的输出分别被输入到第一比较器85以及第二比较器86。

此时，例如若将分别连接于第一比较器85以及第二比较器86的基准值发生装置87、88的值设定为2000mV，则从第十电极22以及第十二电极25不产生规定的电荷。而且，在检测系统的电线等发生断线，到了2000mV的情况下，从第一比较器85以及第二比较器86判断为“异常”的信号，分别出现在第一自诊断信号输出端子89和第二自诊断信号输出端子90。

此外，第一放大器62、第二放大器63的输出被输入到差动放大器64。这些输出被输入到全波整流电路80，而全波整流电路80的输出则被输入到比较器81。

现在，因为某种恶化而使第十电极22和第十二电极25处于不产生规定电荷的状态，即发生了“不平衡”。作为这些“不平衡”发生的主要因素，例如有在压电薄膜的压电特性产生误差时，或者压电薄膜和电极之间发生了剥离或者断线的情况。此时，例如若将连接于比较器81的基准值发生装置82设置为100mV左右的低值，则在发生了很小的“不平衡”的情况下，只要是其大小超过了100mV，就能够判断为“异常”，由比较器81判断为“异常”的信号表现在角速度信号兼自诊断信号输出端子68。这就是第一自诊断模式。

当将上述说明的自诊断进行了一定的时间之后，由开关45将AGC电路42的输出侧与带通滤波器43的输入侧相连接。此外，由开关48将输出放大器46的输出侧与反向放大器47的输入侧相连接。而且，使反向放大器47的输出侧与输出端子50相连接。就是说输出端子49、50表现出相互逆相的驱动信号。由此，臂2、3向音叉振子1的X轴方向进行音叉振动，若在其Y轴的周围输入角速度，则能够基于角速度检测电路69来进行通常的角速度检测。此时的角速度的输出由角速度信号兼自诊断信号输出端子68所表现。

此外，按照通常来进行规定时间的上述角速度检测，当接收到再次进行自诊断的指令的情况下，由开关45使AGC电路42的输出侧与带通滤波器44的输入侧相连接。而且，由开关48使输出放大器46的输出侧与输出端子50相连接。由此，输出端子49与输出端子50表现出同相的驱动信号。这是第二驱动电路52工作时的情况。

由此，臂2、3同时向音叉振子1的Z轴方向弯曲，进行与上述相同的自诊断。这是第二自诊断模式。当自诊断终了后，再次回到进行通常角速度检测的模式。

而且，角速度传感器是移动装置。例如在装载于汽车的情况下，检测出车速为零时，第二驱动电路52工作，进行自诊断。这是第三自诊断模式。在汽车再次启动的情况下，回复到进行通常角速度检测的模式。

在本实施方式中，对第一、第二、以及第三自诊断模式进行了说明，但至少是进行其中一个自诊断即可，还可以将这三个自诊断模式进行组合而实施。

其中，是对从角速度信号兼自诊断信号输出端子68输出比较器81的输出的一例进行的说明，但比较器81的输出也可以是单独的输出。

此外，在本实施方式中，作为自诊断电路是对从比较器81输出自诊断信号，而且是对从第一比较器85以及第二比较器86综合输出自诊断信号的一例进行的说明。但是也可以是比较器81输出的自诊断信号，或者是从第一比较器85以及第二比较器86输出自诊断信号。

此外，是在第二驱动电路52动作时，对第五电极16、第六电极17、第七电极18以及第八电极19全部施加同相的驱动信号的一例进行的说明，但也可以是对任意一个电极施加等，能够进行适宜的选择。

此外，是对作为音叉振子由非压电材料构成的硅的一例进行的说明，但并不局限于此，例如可以利用金刚石、熔融石英、氧化铝、GaAs(砷化镓)等。而且，还可以利用水晶、LiTaO₃，LiNbO₃等压电材料。

此外，是对为了进行自诊断而由第二驱动电路52对第五电极16、第六电极17、第七电极18以及第八电极19施加用于在音叉振子1的Z轴方向振动的驱动信号的一例进行的说明。

但是，例如，也可以是为了进行自诊断而对臂2上的第十电极22施加驱动信号使其在音叉振子1的Z轴方向上振动，来监视来自基于由该振动而引起共振的臂3的弯曲的第十二电极25的电荷的有无，能够进行检测部有无异常或检测系统的线有无断线等的自诊断。

而且，在本实施方式中，是对从连接于比较器81的基准值发生装置82所产生的值为100mV，与第一比较器85以及第二比较器86分别连接的基准值发生装置87、88所产生的值为2000mV的情况进行的说明。但是，作为系统一侧所要求的式样或者本传感器的一个设计事项，这些基准值是可以适当地任意设定的。

产业上利用的可能性

本发明的角速度传感器，在音叉振子上不设置特别的异常诊断用信号输入电极、以及用于降低角速度检测误差的基准电位接地电极，也能够作为异常诊断的角速度传感器而使用。

Claims

1.一种角速度传感器，其特征在于，包括：

音叉振子，具有至少两个臂以及连接于该臂的至少一个基部；

驱动部，设置在所述音叉振子的至少一个臂的至少一个主面上，用于在X方向或者Z方向激励振动所述音叉振子；

检测部，设置在所述音叉振子的至少一个臂的至少一个主面上，用于检测所述音叉振子相对于所输入的角速度在Z方向振动的挠度；

第一驱动电路，用于通过所述驱动部使所述音叉振子在其X方向激励振动；

检测电路，具有用于对由所述检测部输出的信号进行放大而得到角速度信号的放大器；

第二驱动电路，用于供给由所述驱动部使所述音叉振子在其Z方向激励振动的驱动信号；以及

自诊断电路，在通过所述第二驱动电路向所述驱动部施加驱动信号时，将所述放大器的输出与基准值比较，在不能得到规定值的情况下判断为异常。

2.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于：

在电源接通时，首先第二驱动电路动作，通过自诊断电路来进行诊断，接着，为了进行规定的角速度检测，第一驱动电路转移到动作模式。

3.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于：

在所述第一驱动电路动作并进行了规定时间的角速度检测之后，所述第二驱动电路动作，通过所述自诊断电路进行自诊断，然后，所述第一驱动电路再次动作，进行角速度检测。

4.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于：

在检测出车速为零时，所述第二驱动电路动作，由所述自诊断电路进行自诊断。

5.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于：

音叉振子由非压电材料所形成，驱动部包括：以分别分离的方式而设置在由所述音叉振子的两臂的各主面上的中心线所分割成的内侧和外侧上的第一、第二、第三和第四电极；在所述第一、第二、第三和第四电极上分别设置的第一、第二、第三和第四压电薄膜；以及在所述第一、第二、第三和第四压电薄膜上分别设置的第五、第六、第七和第八电极，

通过所述第二驱动电路对所述第五、第六、第七和第八电极施加同相的驱动信号，检测部包括：以相对于所述第一、第二电极分离的方式而设置在所述臂的一侧的主面上的第九电极、在该第九电极上设置的第五压电薄膜、和在该第五压电薄膜上设置的第十电极，以及以相对于所述第三、第四电极分离的方式而设置在所述臂的另一侧的主面上的第十一电极、在该第十一电极上设置的第六压电薄膜、和在该第六压电薄膜上设置的第十二电极，

自诊断电路包括：连接于所述第十电极的第一放大器、连接于所述第十二电极的第二放大器、用于对所述第一放大器的输出和所述第二放大器的输出进行差动放大的差动放大器、以及将该差动放大器的输出与基准值进行比较的比较器。

6.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于：

自诊断电路包括：连接于所述第十电极的第一放大器、连接于所述第十二电极的第二放大器、将所述第一放大器的输出与基准值进行比较的第一比较器、以及将所述第二放大器的输出与基准值进行比较的第二比较器。

7.根据权利要求6所述的角速度传感器，其特征在于：

在所述自诊断电路中还设置有将所述第一放大器的输出与第二放大器的输出分别输入的差动放大器，以及将该差动放大器的输出和基准值进行比较的比较器。