JP3019700B2 - 加速度センサー - Google Patents
加速度センサーInfo
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- JP3019700B2 JP3019700B2 JP5316714A JP31671493A JP3019700B2 JP 3019700 B2 JP3019700 B2 JP 3019700B2 JP 5316714 A JP5316714 A JP 5316714A JP 31671493 A JP31671493 A JP 31671493A JP 3019700 B2 JP3019700 B2 JP 3019700B2
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は車両の加速度を検出する
のに最適な加速度センサーに関する。
のに最適な加速度センサーに関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電セラミック素子を用いた加速度セン
サーが知られている（例えば、特開平４−２３５３５３
号公報参照）。この加速度センサーでは、ディスク状の
振動板に複数の圧電体が配置され、１つの圧電体の電極
が検出回路に、他の圧電体の電極が駆動回路にそれぞれ
接続されている。駆動回路から正弦波または矩形波など
の電気信号を入力すると駆動回路に接続された圧電体が
伸縮し、振動板が屈曲する。振動板が屈曲すると検出回
路に接続された圧電体が伸縮し、その圧電体の電極に電
荷が発生する。この電荷を検出回路によって電気信号に
変換し、この電気信号に基づいて加速度センサーの故障
診断を行なっている。
サーが知られている（例えば、特開平４−２３５３５３
号公報参照）。この加速度センサーでは、ディスク状の
振動板に複数の圧電体が配置され、１つの圧電体の電極
が検出回路に、他の圧電体の電極が駆動回路にそれぞれ
接続されている。駆動回路から正弦波または矩形波など
の電気信号を入力すると駆動回路に接続された圧電体が
伸縮し、振動板が屈曲する。振動板が屈曲すると検出回
路に接続された圧電体が伸縮し、その圧電体の電極に電
荷が発生する。この電荷を検出回路によって電気信号に
変換し、この電気信号に基づいて加速度センサーの故障
診断を行なっている。
【０００３】一方、この加速度センサーにより加速度を
検出するときは、印加された加速度によって振動板が屈
曲するので、検出回路に接続された圧電体の電極に電荷
が発生する。この電荷を検出回路によって電気信号に変
換し、この電気信号に基づいて加速度を検出している。
検出するときは、印加された加速度によって振動板が屈
曲するので、検出回路に接続された圧電体の電極に電荷
が発生する。この電荷を検出回路によって電気信号に変
換し、この電気信号に基づいて加速度を検出している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
加速度センサーでは、故障診断時も通常の加速度検出時
も、検出回路に接続された圧電体に発生した電荷に基づ
いて故障診断または加速度検出を行なっているので、故
障診断と加速度検出とを同時に行なうことができないと
いう問題がある。
加速度センサーでは、故障診断時も通常の加速度検出時
も、検出回路に接続された圧電体に発生した電荷に基づ
いて故障診断または加速度検出を行なっているので、故
障診断と加速度検出とを同時に行なうことができないと
いう問題がある。
【０００５】本発明の目的は、加速度検出と故障診断と
を同時に行なうことができる加速度センサーを提供する
ことにある。
を同時に行なうことができる加速度センサーを提供する
ことにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】一実施例を示す図１に対
応づけて本発明を説明すると、請求項１の発明は、印加
された加速度に応じて同一方向に撓みを生じる撓み部材
４、５をそれぞれに有し、これらの撓み部材４、５の撓
み量と撓み方向とを電気信号に変換して出力する２組の
検出手段６ａ、６ｂ、９ａ、９ｂ、１０、１１と、故障
診断時に撓み部材４、５を互いに異なる方向へ強制的に
撓ませる駆動手段７ａ、７ｂ、８ａ、８ｂ、１２、１３
と、２組の検出手段４、５、６ａ、６ｂ、９ａ、９ｂ、
１０、１１の出力信号の和を算出して加速度信号を出力
する加算手段１４と、２組の検出手段４、５、６ａ、６
ｂ、９ａ、９ｂ、１０、１１の出力信号の差を算出して
故障診断信号を出力する減算手段１５とを備え、これに
より、上記目的を達成する。請求項２の加速度センサー
の検出手段は、静電容量により撓み部材４、５の撓み量
および撓み方向を検出するようにしたものである。請求
項３の加速度センサーの検出手段は、歪ゲージにより撓
み部材４、５の撓み量および撓み方向を検出するように
したものである。請求項４の加速度センサーの検出手段
は、圧電体により撓み部材４、５の撓み量および撓み方
向を検出するようにしたものである。請求項５の加速度
センサーは、２組の検出手段を半導体プロセスにより形
成するようにしたものである。
応づけて本発明を説明すると、請求項１の発明は、印加
された加速度に応じて同一方向に撓みを生じる撓み部材
４、５をそれぞれに有し、これらの撓み部材４、５の撓
み量と撓み方向とを電気信号に変換して出力する２組の
検出手段６ａ、６ｂ、９ａ、９ｂ、１０、１１と、故障
診断時に撓み部材４、５を互いに異なる方向へ強制的に
撓ませる駆動手段７ａ、７ｂ、８ａ、８ｂ、１２、１３
と、２組の検出手段４、５、６ａ、６ｂ、９ａ、９ｂ、
１０、１１の出力信号の和を算出して加速度信号を出力
する加算手段１４と、２組の検出手段４、５、６ａ、６
ｂ、９ａ、９ｂ、１０、１１の出力信号の差を算出して
故障診断信号を出力する減算手段１５とを備え、これに
より、上記目的を達成する。請求項２の加速度センサー
の検出手段は、静電容量により撓み部材４、５の撓み量
および撓み方向を検出するようにしたものである。請求
項３の加速度センサーの検出手段は、歪ゲージにより撓
み部材４、５の撓み量および撓み方向を検出するように
したものである。請求項４の加速度センサーの検出手段
は、圧電体により撓み部材４、５の撓み量および撓み方
向を検出するようにしたものである。請求項５の加速度
センサーは、２組の検出手段を半導体プロセスにより形
成するようにしたものである。
【０００７】
【作用】加速度検出時は、撓み部材４、５に加速度が印
加されるとそれらは同一方向に撓むので、両撓み部材
４、５の撓み量と撓み方向に応じた電気信号のレベルと
極性は同一になり、両者の和である加速度出力が得られ
る一方、両者の差である故障診断出力は０となる。ま
た、故障診断時は、撓み部材４、５が強制的に互いに異
なる方向に撓ませられるので、両撓み部材４、５の撓み
量と撓み方向に応じた電気信号はレベルは同一であるが
極性が異なり、両者の差である故障診断出力が得られる
一方、両者の和である加速度出力は０となる。これによ
り、加速度検出中にセンサーの故障診断を行なっても加
速度出力と故障診断出力とが別々に得られ、加速度検出
と故障診断とを同時に行なうことができる。
加されるとそれらは同一方向に撓むので、両撓み部材
４、５の撓み量と撓み方向に応じた電気信号のレベルと
極性は同一になり、両者の和である加速度出力が得られ
る一方、両者の差である故障診断出力は０となる。ま
た、故障診断時は、撓み部材４、５が強制的に互いに異
なる方向に撓ませられるので、両撓み部材４、５の撓み
量と撓み方向に応じた電気信号はレベルは同一であるが
極性が異なり、両者の差である故障診断出力が得られる
一方、両者の和である加速度出力は０となる。これによ
り、加速度検出中にセンサーの故障診断を行なっても加
速度出力と故障診断出力とが別々に得られ、加速度検出
と故障診断とを同時に行なうことができる。
【０００８】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段および作用の項では、本発明を分り
やすくするために実施例の図を用いたが、これにより本
発明が実施例に限定されるものではない。
解決するための手段および作用の項では、本発明を分り
やすくするために実施例の図を用いたが、これにより本
発明が実施例に限定されるものではない。
【０００９】
【実施例】図１は一実施例の構成を示す機能ブロック図
であり、センサー本体に対してはその断面形状を示す。
センサー本体１は、２枚の絶縁板２、３の間に導電体か
ら成る同一形状の２個の梁４、５が挟持され、これらの
梁４、５の先端部４ａ、５ａはＸ、Ｙ方向に加速度が加
わると撓むように形成されている。センサー本体１の絶
縁板２、３の内壁には、梁先端部４ａ、５ａの両側にそ
れぞれ２対ずつ計４対の電極６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂ、
８ａ、８ｂ、９ａ、９ｂが設けられる。電極６ａ、６ｂ
および９ａ、９ｂは検出用電極であり、それぞれ検出回
路１０および１１に接続される。また、電極７ａ、７ｂ
および８ａ、８ｂは駆動用電極であり、電極７ｂ、８ａ
は発振器１２へ接続され、電極７ａ、８ｂはインバータ
ー１３を介して発振器１２へ接続される。さらに、梁
４、５は接地され、検出回路１０および１１の出力はそ
れぞれ加算器１４および減算器１５へ接続される。
であり、センサー本体に対してはその断面形状を示す。
センサー本体１は、２枚の絶縁板２、３の間に導電体か
ら成る同一形状の２個の梁４、５が挟持され、これらの
梁４、５の先端部４ａ、５ａはＸ、Ｙ方向に加速度が加
わると撓むように形成されている。センサー本体１の絶
縁板２、３の内壁には、梁先端部４ａ、５ａの両側にそ
れぞれ２対ずつ計４対の電極６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂ、
８ａ、８ｂ、９ａ、９ｂが設けられる。電極６ａ、６ｂ
および９ａ、９ｂは検出用電極であり、それぞれ検出回
路１０および１１に接続される。また、電極７ａ、７ｂ
および８ａ、８ｂは駆動用電極であり、電極７ｂ、８ａ
は発振器１２へ接続され、電極７ａ、８ｂはインバータ
ー１３を介して発振器１２へ接続される。さらに、梁
４、５は接地され、検出回路１０および１１の出力はそ
れぞれ加算器１４および減算器１５へ接続される。
【００１０】検出回路１０は、絶縁板２、３とその間に
設けられた導電体の梁先端部４ａとにより形成される静
電容量を検出用電極６ａ、６ｂを介して検出し、検出し
た静電容量を電気信号に変換して加算器１４および減算
器１５へ出力する。この静電容量は梁先端部４ａの撓み
量、すなわちセンサー本体１に加わる加速度に応じて変
化するので、検出回路１０はセンサー本体１に印加され
る加速度に応じた電気信号を出力する。
設けられた導電体の梁先端部４ａとにより形成される静
電容量を検出用電極６ａ、６ｂを介して検出し、検出し
た静電容量を電気信号に変換して加算器１４および減算
器１５へ出力する。この静電容量は梁先端部４ａの撓み
量、すなわちセンサー本体１に加わる加速度に応じて変
化するので、検出回路１０はセンサー本体１に印加され
る加速度に応じた電気信号を出力する。
【００１１】同様に、検出回路１１は、絶縁板２、３と
その間に設けられた導電体の梁先端部５ａとにより形成
される静電容量を検出用電極９ａ、９ｂを介して検出
し、検出した静電容量を電気信号に変換して加算器１４
および減算器１５へ出力する。この静電容量は梁先端部
５ａの撓み量、すなわちセンサー本体１に加わる加速度
に応じて変化するので、検出回路１１はセンサー本体１
に印加される加速度に応じた電気信号を出力する。
その間に設けられた導電体の梁先端部５ａとにより形成
される静電容量を検出用電極９ａ、９ｂを介して検出
し、検出した静電容量を電気信号に変換して加算器１４
および減算器１５へ出力する。この静電容量は梁先端部
５ａの撓み量、すなわちセンサー本体１に加わる加速度
に応じて変化するので、検出回路１１はセンサー本体１
に印加される加速度に応じた電気信号を出力する。
【００１２】加算器１４は検出回路１０および１１から
出力される電気信号を加算し、加速度信号として出力す
る。また、減算器１５は検出回路１０から出力される電
気信号から検出回路１１から出力される電気信号を減算
し、故障診断信号として出力する。
出力される電気信号を加算し、加速度信号として出力す
る。また、減算器１５は検出回路１０から出力される電
気信号から検出回路１１から出力される電気信号を減算
し、故障診断信号として出力する。
【００１３】発振器１２は故障診断時に正弦波、方形波
などの交流信号を発生し、駆動用電極７ｂ、８ａに直
接、印加するとともに、駆動用電極７ａ、８ｂにインバ
ーター１３を介して印加する。これによって、２対の駆
動用電極７ａ、７ｂと８ａ、８ｂには互いに逆極性の信
号が印加される。今、駆動電極７ｂ、８ａに正の電圧、
駆動電極７ａ、８ｂに負の電圧の信号がそれぞれ印加さ
れたとすると、静電気力によって梁先端部４ａはＹ方向
に撓み、梁先端部５ａはＸ方向に撓む。
などの交流信号を発生し、駆動用電極７ｂ、８ａに直
接、印加するとともに、駆動用電極７ａ、８ｂにインバ
ーター１３を介して印加する。これによって、２対の駆
動用電極７ａ、７ｂと８ａ、８ｂには互いに逆極性の信
号が印加される。今、駆動電極７ｂ、８ａに正の電圧、
駆動電極７ａ、８ｂに負の電圧の信号がそれぞれ印加さ
れたとすると、静電気力によって梁先端部４ａはＹ方向
に撓み、梁先端部５ａはＸ方向に撓む。
【００１４】このように、２対の電極７ａ、７ｂと８
ａ、８ｂに互いに逆極性の信号を印加することによっ
て、梁先端部４ａおよび５ａを互いに反対方向に強制的
に撓ませることができる。このとき、２対の検出用電極
６ａ、６ｂと９ａ、９ｂには梁先端部４ａ、５ａの撓み
量に応じた静電容量が発生し、これらの静電容量は検出
回路１０および１１により梁先端部４ａ、５ａの撓み量
に応じた電気信号に変換される。ここで、梁先端部４
ａ、５ａは互いに逆方向に撓むので、検出回路１０およ
び１１から出力される電気信号は同一レベルであるが互
いに逆極性となる。
ａ、８ｂに互いに逆極性の信号を印加することによっ
て、梁先端部４ａおよび５ａを互いに反対方向に強制的
に撓ませることができる。このとき、２対の検出用電極
６ａ、６ｂと９ａ、９ｂには梁先端部４ａ、５ａの撓み
量に応じた静電容量が発生し、これらの静電容量は検出
回路１０および１１により梁先端部４ａ、５ａの撓み量
に応じた電気信号に変換される。ここで、梁先端部４
ａ、５ａは互いに逆方向に撓むので、検出回路１０およ
び１１から出力される電気信号は同一レベルであるが互
いに逆極性となる。
【００１５】図２は、センサー本体１にＸ方向の加速度
が加わったときの梁４、５の動きを示す。センサー本体
１にＸ方向の加速度が加わると、梁４、５は共にＹ方向
に撓む。このとき、２対の検出用電極６ａ、６ｂおよび
９ａ、９ｂを介して検出される静電容量は等しくなり、
検出回路１０および１１は同一レベルで且つ同極性の電
気信号をそれぞれ出力する。これらの電気信号は加算器
１４で加算され、各検出回路１０、１１の信号レベルの
２倍の加速度信号が出力される。また、検出回路１０お
よび１１から出力される電気信号は減算器１５へ供給さ
れ、検出回路１０の電気信号から検出回路１１の電気信
号が減算されるが、両電気信号は同一レベルで且つ同極
性であるから減算結果は０になる。つまり、通常の加速
度検出に際しては、センサー本体１に印加された加速度
に応じた加速度出力が得られる一方、故障診断出力は０
になる。
が加わったときの梁４、５の動きを示す。センサー本体
１にＸ方向の加速度が加わると、梁４、５は共にＹ方向
に撓む。このとき、２対の検出用電極６ａ、６ｂおよび
９ａ、９ｂを介して検出される静電容量は等しくなり、
検出回路１０および１１は同一レベルで且つ同極性の電
気信号をそれぞれ出力する。これらの電気信号は加算器
１４で加算され、各検出回路１０、１１の信号レベルの
２倍の加速度信号が出力される。また、検出回路１０お
よび１１から出力される電気信号は減算器１５へ供給さ
れ、検出回路１０の電気信号から検出回路１１の電気信
号が減算されるが、両電気信号は同一レベルで且つ同極
性であるから減算結果は０になる。つまり、通常の加速
度検出に際しては、センサー本体１に印加された加速度
に応じた加速度出力が得られる一方、故障診断出力は０
になる。
【００１６】図３は故障診断時の梁４、５の動きを示
す。今、発振器１２から故障診断のための正弦波信号が
出力されており、ある時刻に駆動電極７ｂ、８ａに正の
電圧、駆動電極７ａ、８ｂに負の電圧の信号がそれぞれ
印加されたとすると、静電気力によって梁先端部４ａは
Ｙ方向に撓み、梁先端部５ａはＸ方向に撓む。梁先端部
４ａと５ａの撓み量は同じであるが、撓み方向は互いに
逆になる。この結果、検出回路１０および１１から出力
される電気信号のレベルは同一であるが、極性が互いに
逆になる。これらの電気信号は加算器１４で加算される
が、同一レベルで逆極性であるから加算結果の加速度出
力は０となる。一方、減算器１５では検出回路１０の電
気信号から検出回路１１の電気信号が減算されるので、
故障診断出力は各検出回路１０、１１の信号レベルの２
倍の信号となる。つまり、故障診断に際しては、発振器
１２から出力される正弦波信号に応じた故障診断出力が
得られる一方、通常の加速度出力は０になる。発振器１
２から交流信号が駆動用電極７ａ、７ｂ、８ａ、８ｂに
印加されたにも拘らず、検出用電極６ａ、６ｂ、９ａ、
９ｂを介して入力交流信号に応じた故障診断出力が得ら
れないときはセンサー本体１の故障と判定される。
す。今、発振器１２から故障診断のための正弦波信号が
出力されており、ある時刻に駆動電極７ｂ、８ａに正の
電圧、駆動電極７ａ、８ｂに負の電圧の信号がそれぞれ
印加されたとすると、静電気力によって梁先端部４ａは
Ｙ方向に撓み、梁先端部５ａはＸ方向に撓む。梁先端部
４ａと５ａの撓み量は同じであるが、撓み方向は互いに
逆になる。この結果、検出回路１０および１１から出力
される電気信号のレベルは同一であるが、極性が互いに
逆になる。これらの電気信号は加算器１４で加算される
が、同一レベルで逆極性であるから加算結果の加速度出
力は０となる。一方、減算器１５では検出回路１０の電
気信号から検出回路１１の電気信号が減算されるので、
故障診断出力は各検出回路１０、１１の信号レベルの２
倍の信号となる。つまり、故障診断に際しては、発振器
１２から出力される正弦波信号に応じた故障診断出力が
得られる一方、通常の加速度出力は０になる。発振器１
２から交流信号が駆動用電極７ａ、７ｂ、８ａ、８ｂに
印加されたにも拘らず、検出用電極６ａ、６ｂ、９ａ、
９ｂを介して入力交流信号に応じた故障診断出力が得ら
れないときはセンサー本体１の故障と判定される。
【００１７】このように、加算器１４からは加速度検出
結果の加速度出力だけが得られ、減算器１５からは故障
診断結果の出力だけが得られるので、加速度センサーに
よる車両の加速度検出と、加速度センサー自体の故障診
断とを同時に行なうことができる。
結果の加速度出力だけが得られ、減算器１５からは故障
診断結果の出力だけが得られるので、加速度センサーに
よる車両の加速度検出と、加速度センサー自体の故障診
断とを同時に行なうことができる。
【００１８】なお、上述した実施例では、センサー本体
の２枚の絶縁板とその間に設けられた導電体の梁とによ
り形成される静電容量により梁の撓み量および撓み方向
を検出し、それらに基づいて加速度検出および故障診断
を行なう例を示したが、歪ゲージ、圧電体などを用いて
梁の撓み量および撓み方向を検出するようにしてもよ
い。
の２枚の絶縁板とその間に設けられた導電体の梁とによ
り形成される静電容量により梁の撓み量および撓み方向
を検出し、それらに基づいて加速度検出および故障診断
を行なう例を示したが、歪ゲージ、圧電体などを用いて
梁の撓み量および撓み方向を検出するようにしてもよ
い。
【００１９】また、センサー本体に形成される梁などの
２組の検出部材は、加速度検出精度および故障診断精度
を上げるために機械的特性および電気的特性がほぼ同一
であることが望ましい。そこで、半導体プロセスにより
２組の検出部材またはセンサー本体自体を形成するよう
にしてもよい。
２組の検出部材は、加速度検出精度および故障診断精度
を上げるために機械的特性および電気的特性がほぼ同一
であることが望ましい。そこで、半導体プロセスにより
２組の検出部材またはセンサー本体自体を形成するよう
にしてもよい。
【００２０】以上の実施例の構成において、梁４、電極
６ａ、６ｂおよび検出回路１０と、梁５、電極９ａ、９
ｂおよび検出回路１１が検出手段を、発振器１２、イン
バーター１３および電極７ａ、７ｂ、８ａ、８ｂが駆動
手段を、加算器１４が加算手段を、減算器１５が減算手
段をそれぞれ構成する。
６ａ、６ｂおよび検出回路１０と、梁５、電極９ａ、９
ｂおよび検出回路１１が検出手段を、発振器１２、イン
バーター１３および電極７ａ、７ｂ、８ａ、８ｂが駆動
手段を、加算器１４が加算手段を、減算器１５が減算手
段をそれぞれ構成する。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、印
加された加速度に応じて同一方向に撓む撓み部材を設け
て故障診断時は互いに異なる方向に強制的に撓ませ、こ
れらの撓み部材の撓み量と撓み方向とを電気信号に変換
し、両者の和を算出して加速度信号を出力するととも
に、両者の差を算出して故障診断信号を出力するように
したので、加速度検出中にセンサーの故障診断を行なっ
ても加速度出力と故障診断出力とが別々に得られ、加速
度検出と故障診断とを同時に行なうことができる。
加された加速度に応じて同一方向に撓む撓み部材を設け
て故障診断時は互いに異なる方向に強制的に撓ませ、こ
れらの撓み部材の撓み量と撓み方向とを電気信号に変換
し、両者の和を算出して加速度信号を出力するととも
に、両者の差を算出して故障診断信号を出力するように
したので、加速度検出中にセンサーの故障診断を行なっ
ても加速度出力と故障診断出力とが別々に得られ、加速
度検出と故障診断とを同時に行なうことができる。
【図１】一実施例の構成を示す機能ブロック図。
【図２】加速度検出時の動作を説明する図。
【図３】故障診断時の動作を説明する図。
１ センサー本体 ２、３ 絶縁板 ４、５ 梁 ４ａ、５ａ 先端部 ６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂ、８ａ、８ｂ、９ａ、９ｂ 電
極 １０、１１ 検出回路 １２ 発振器 １３ インバーター １４ 加算器 １５ 減算器
極 １０、１１ 検出回路 １２ 発振器 １３ インバーター １４ 加算器 １５ 減算器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01P 21/00 G01P 15/09 G01P 15/12 - 15/125
Claims (5)
- 【請求項１】 印加された加速度に応じて同一方向に撓
みを生じる撓み部材をそれぞれに有し、これらの撓み部
材の撓み量と撓み方向とを電気信号に変換して出力する
２組の検出手段と、 故障診断時に前記撓み部材を互いに異なる方向へ強制的
に撓ませる駆動手段と、 前記２組の検出手段の出力信号の和を算出して加速度信
号を出力する加算手段と、 前記２組の検出手段の出力信号の差を算出して故障診断
信号を出力する減算手段とを備えることを特徴とする加
速度センサー。 - 【請求項２】 請求項１に記載の加速度センサーにおい
て、 前記検出手段は静電容量により前記撓み部材の撓み量お
よび撓み方向を検出することを特徴とする加速度センサ
ー。 - 【請求項３】 請求項１に記載の加速度センサーにおい
て、 前記検出手段は歪ゲージにより前記撓み部材の撓み量お
よび撓み方向を検出することを特徴とする加速度センサ
ー。 - 【請求項４】 請求項１に記載の加速度センサーにおい
て、 前記検出手段は圧電体により前記撓み部材の撓み量およ
び撓み方向を検出することを特徴とする加速度センサ
ー。 - 【請求項５】 請求項１に記載の加速度センサーにおい
て、 前記２組の検出手段を半導体プロセスにより形成するこ
とを特徴とする加速度センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5316714A JP3019700B2 (ja) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | 加速度センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5316714A JP3019700B2 (ja) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | 加速度センサー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07167891A JPH07167891A (ja) | 1995-07-04 |
| JP3019700B2 true JP3019700B2 (ja) | 2000-03-13 |
Family
ID=18080088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5316714A Expired - Lifetime JP3019700B2 (ja) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | 加速度センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3019700B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013167507A (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-29 | Mitsubishi Electric Corp | 加速度センサと加速度センサの自己診断方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000055648A1 (en) * | 1999-03-17 | 2000-09-21 | Input/Output, Inc. | Hydrophone assembly |
| JP3440075B2 (ja) * | 2000-11-22 | 2003-08-25 | 株式会社山武 | 地震検出装置 |
| JP5649810B2 (ja) * | 2009-10-29 | 2015-01-07 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 静電容量式センサ |
-
1993
- 1993-12-16 JP JP5316714A patent/JP3019700B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013167507A (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-29 | Mitsubishi Electric Corp | 加速度センサと加速度センサの自己診断方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07167891A (ja) | 1995-07-04 |
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