JP3360500B2 - 角速度センサ - Google Patents
角速度センサInfo
- Publication number
- JP3360500B2 JP3360500B2 JP23088595A JP23088595A JP3360500B2 JP 3360500 B2 JP3360500 B2 JP 3360500B2 JP 23088595 A JP23088595 A JP 23088595A JP 23088595 A JP23088595 A JP 23088595A JP 3360500 B2 JP3360500 B2 JP 3360500B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tuning fork
- drive
- angular velocity
- electrode
- detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、航空機、自動車、ロボ
ット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーショ
ン等に利用できる振動型角速度センサ、あるいはスチル
カメラやビデオカメラ等の手振れ防止用、遠隔操作用の
リモコン用等に用いられる角速度センサに関するもので
ある。
ット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーショ
ン等に利用できる振動型角速度センサ、あるいはスチル
カメラやビデオカメラ等の手振れ防止用、遠隔操作用の
リモコン用等に用いられる角速度センサに関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】この種の角速度センサにおいては、コ字
状の振動部材に圧電体を貼り付け、駆動部と検出部とを
構成し、前記振動部の圧電体素子の電極に単一の駆動電
源から供給した信号により圧電体の音叉アームを駆動
し、この駆動により検出部に発生したコリオリの力を検
出部の圧電体より角速度信号として抽出するように構成
している。
状の振動部材に圧電体を貼り付け、駆動部と検出部とを
構成し、前記振動部の圧電体素子の電極に単一の駆動電
源から供給した信号により圧電体の音叉アームを駆動
し、この駆動により検出部に発生したコリオリの力を検
出部の圧電体より角速度信号として抽出するように構成
している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記の構成において
は、検出電極から取り出される信号には角速度信号以外
に駆動信号により誘起される成分が混入しているので、
混入信号を分離する回路が必要となる。この場合、角速
度信号以外の信号分離が完全には出来ず、どうしても、
その一部が残り、これがノイズ成分となって検出特性を
高めることが難しいという課題を有していた。
は、検出電極から取り出される信号には角速度信号以外
に駆動信号により誘起される成分が混入しているので、
混入信号を分離する回路が必要となる。この場合、角速
度信号以外の信号分離が完全には出来ず、どうしても、
その一部が残り、これがノイズ成分となって検出特性を
高めることが難しいという課題を有していた。
【０００４】そこで、本発明は、駆動信号による上記ノ
イズ成分の影響を排除し、角速度信号の検出特性を高め
ることを目的とするものである。
イズ成分の影響を排除し、角速度信号の検出特性を高め
ることを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の角速度センサ
は、検出電極を介して重合させられたコ字状の第１、第
２の圧電体と、前記第１の圧電体は少なくとも一方の音
叉アームの検出電極の反対側の面に設けた第１、第２の
駆動電極と、前記第１、第２の駆動電極が設けられた音
叉アームに対向する前記第２の圧電体の音叉アームにお
ける検出電極とは反対側の面に設けた第３、第４の駆動
電極とを備え、前記第１〜第４の駆動電極の内、検出電
極を介して対角線上にある第１、第３の駆動電極には第
１の駆動電源を接続し、同様に、検出電極を介して対角
線上にある第２、第４の駆動電極には前記第１の駆動電
源とは逆相となる信号を供給するように第２の駆動電源
を接続し、かつ前記コ字状の第１、第２の圧電体の少な
くとも一方の音叉アームは重合させられた厚み方向と同
一方向に第１、第２の圧電体を分極した音叉アーム構造
としたことを特徴とするものである。
は、検出電極を介して重合させられたコ字状の第１、第
２の圧電体と、前記第１の圧電体は少なくとも一方の音
叉アームの検出電極の反対側の面に設けた第１、第２の
駆動電極と、前記第１、第２の駆動電極が設けられた音
叉アームに対向する前記第２の圧電体の音叉アームにお
ける検出電極とは反対側の面に設けた第３、第４の駆動
電極とを備え、前記第１〜第４の駆動電極の内、検出電
極を介して対角線上にある第１、第３の駆動電極には第
１の駆動電源を接続し、同様に、検出電極を介して対角
線上にある第２、第４の駆動電極には前記第１の駆動電
源とは逆相となる信号を供給するように第２の駆動電源
を接続し、かつ前記コ字状の第１、第２の圧電体の少な
くとも一方の音叉アームは重合させられた厚み方向と同
一方向に第１、第２の圧電体を分極した音叉アーム構造
としたことを特徴とするものである。
【０００６】
【作用】上記の構成とすれば、音叉アームの対角線上に
ある第１、第３の駆動電極には第１の駆動電源から駆動
信号が供給され、また、第２、第４の駆動電極には第２
の駆動電源から第１の駆動電源とは逆相の駆動信号が供
給され、この音叉アームを駆動する信号は、検出電極を
介して駆動されるため、駆動信号は検出電極上で互いに
キャンセルされ、検出信号には混入されることがなく、
結果として角速度信号抽出の検出能力を高めることがで
きるものである。
ある第１、第３の駆動電極には第１の駆動電源から駆動
信号が供給され、また、第２、第４の駆動電極には第２
の駆動電源から第１の駆動電源とは逆相の駆動信号が供
給され、この音叉アームを駆動する信号は、検出電極を
介して駆動されるため、駆動信号は検出電極上で互いに
キャンセルされ、検出信号には混入されることがなく、
結果として角速度信号抽出の検出能力を高めることがで
きるものである。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の角速度センサについて説明す
る。図１、図２、図３は本発明の角速度センサの一実施
例を示す。図１において、１は下面が開口した鉄製のキ
ャップであり、その表裏面にはニッケルメッキが設けら
れている。このキャップ１の下面の開口部には、円盤状
のベース２が嵌合され、これによりキャップ１内は密閉
空間となる。
る。図１、図２、図３は本発明の角速度センサの一実施
例を示す。図１において、１は下面が開口した鉄製のキ
ャップであり、その表裏面にはニッケルメッキが設けら
れている。このキャップ１の下面の開口部には、円盤状
のベース２が嵌合され、これによりキャップ１内は密閉
空間となる。
【０００８】この密閉空間内にキャップ１の内面と非接
触状態で検出素子３が配置されており、この検出素子３
はベース２上に接着剤により立設固定されている。前記
検出素子３は、図１、図２に示す様にコ字状の第１、第
２の圧電体４，５を同じくコ字状をしたＡｇ−Ｐｇ系の
検出電極６を介して重合させ、一体焼成することにより
形成されたものである。また、前記第１、第２の圧電体
４，５のそれぞれの音叉アーム４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ
の検出電極６とは反対の面、つまり外部に表出している
面には縦長形状のＡｇ−Ｐｇ系電極７，８，９，１０，
１１，１２，１３，１４を印刷し、焼き付けにより設け
ている。これらの電極の内、７，８，１１，１２が駆動
電極、９，１０，１３，１４がモニタ電極となってい
る。すなわち、図２に示す様に音叉アーム４ａ，５ａの
重合体において、検出電極６を介して対角線上にある駆
動電極７，１２には第１の駆動電源１５が接続され、ま
た、それにクロスする対角線上の駆動電極８，１１には
第２の駆動電源１６が接続されている。これらの第１、
第２の駆動電源１５，１６はそれぞれ駆動電極７，１２
及び８，１１に音叉共振をさせるための交流信号（音叉
共振周波数）を供給するのであるが、これらの第１、第
２の駆動電源１５，１６から供給される信号は逆相状態
となっている。
触状態で検出素子３が配置されており、この検出素子３
はベース２上に接着剤により立設固定されている。前記
検出素子３は、図１、図２に示す様にコ字状の第１、第
２の圧電体４，５を同じくコ字状をしたＡｇ−Ｐｇ系の
検出電極６を介して重合させ、一体焼成することにより
形成されたものである。また、前記第１、第２の圧電体
４，５のそれぞれの音叉アーム４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ
の検出電極６とは反対の面、つまり外部に表出している
面には縦長形状のＡｇ−Ｐｇ系電極７，８，９，１０，
１１，１２，１３，１４を印刷し、焼き付けにより設け
ている。これらの電極の内、７，８，１１，１２が駆動
電極、９，１０，１３，１４がモニタ電極となってい
る。すなわち、図２に示す様に音叉アーム４ａ，５ａの
重合体において、検出電極６を介して対角線上にある駆
動電極７，１２には第１の駆動電源１５が接続され、ま
た、それにクロスする対角線上の駆動電極８，１１には
第２の駆動電源１６が接続されている。これらの第１、
第２の駆動電源１５，１６はそれぞれ駆動電極７，１２
及び８，１１に音叉共振をさせるための交流信号（音叉
共振周波数）を供給するのであるが、これらの第１、第
２の駆動電源１５，１６から供給される信号は逆相状態
となっている。
【０００９】また、モニタ側となる音叉アーム４ｂ，５
ｂにおいては対角線上のモニタ電極９，１４が共に接地
端子に接続され、それにクロスする対角線上のモニタ電
極１０，１３はモニタ検出端子１７に接続されている。
さらに、検出電極６は検出端子１８に接続されている。
図１は、これらの電気的接続状態を示す斜視図であっ
て、１９，２０が電源端子であり、それぞれリード線Ａ
により接続されている。なお、検出端子１８と検出電極
６を接続したリード線Ａは、音叉アーム４ａ，４ｂ，５
ａ，５ｂよりも下方において検出電極６と接続されてい
る。
ｂにおいては対角線上のモニタ電極９，１４が共に接地
端子に接続され、それにクロスする対角線上のモニタ電
極１０，１３はモニタ検出端子１７に接続されている。
さらに、検出電極６は検出端子１８に接続されている。
図１は、これらの電気的接続状態を示す斜視図であっ
て、１９，２０が電源端子であり、それぞれリード線Ａ
により接続されている。なお、検出端子１８と検出電極
６を接続したリード線Ａは、音叉アーム４ａ，４ｂ，５
ａ，５ｂよりも下方において検出電極６と接続されてい
る。
【００１０】以上のような構成において、音叉アーム４
ａ，５ａは図２に示す様にその厚さ方向に対して同方向
に電界強度３ｋＶ／mmで分極し、また、音叉アーム４
ｂ，５ｂもそれとは反対方向ではあるが厚み方向に同じ
方向に電界強度３ｋＶ／mmで分極した。図２において、
分極方向はＰ１，Ｐ２で示している。
ａ，５ａは図２に示す様にその厚さ方向に対して同方向
に電界強度３ｋＶ／mmで分極し、また、音叉アーム４
ｂ，５ｂもそれとは反対方向ではあるが厚み方向に同じ
方向に電界強度３ｋＶ／mmで分極した。図２において、
分極方向はＰ１，Ｐ２で示している。
【００１１】上記の構成において、前記第１、第２の駆
動電源１５，１６から前記駆動電極７，８，１１，１２
に信号が供給されると、音叉アーム４ａ，５ａは図２に
おける横方向に振動することになり、これに呼応するご
とく音叉アーム４ｂ，５ｂも共振して横方向に振動する
ことになる。
動電源１５，１６から前記駆動電極７，８，１１，１２
に信号が供給されると、音叉アーム４ａ，５ａは図２に
おける横方向に振動することになり、これに呼応するご
とく音叉アーム４ｂ，５ｂも共振して横方向に振動する
ことになる。
【００１２】この点について具体的に以下に説明する
と、今、仮に、ある時点において、音叉アーム４ａ，５
ａの内面側の駆動電極８，１２部分には逆相の信号が加
えられ、これを分極方向Ｐ１から見ると駆動電極８には
負電界、駆動電極１２には正電界が加えられ、これは両
方の音叉アーム４ａ，５ａ共に図２における下面側、つ
まり、分極方向とは反対側に負の電界印加となるので、
この結果として音叉アーム４ａ，５ａの内面側、即ち、
音叉アーム４ｂ，５ｂ側が縮み、内方即ち図２の右側に
向けて屈曲する。逆に音叉アーム４ａ，５ａの外側にお
いては、駆動電極７，１１から分極方向に対して同じ方
向の電界が印加されるので伸長作用が起り、この結果、
この時点では音叉アーム４ａ，５ａは内方に屈曲する。
この時、音叉アーム４ｂ，５ｂはそれに呼応して音叉ア
ーム４ａ，５ａ側に屈曲する。しかし、次の時点つま
り、第１、第２の駆動電極１５，１６から供給される信
号が反転すれば、逆に、音叉アーム４ａ，５ａ，４ｂ，
５ｂは共に外方に屈曲し、共振振動することになる。
と、今、仮に、ある時点において、音叉アーム４ａ，５
ａの内面側の駆動電極８，１２部分には逆相の信号が加
えられ、これを分極方向Ｐ１から見ると駆動電極８には
負電界、駆動電極１２には正電界が加えられ、これは両
方の音叉アーム４ａ，５ａ共に図２における下面側、つ
まり、分極方向とは反対側に負の電界印加となるので、
この結果として音叉アーム４ａ，５ａの内面側、即ち、
音叉アーム４ｂ，５ｂ側が縮み、内方即ち図２の右側に
向けて屈曲する。逆に音叉アーム４ａ，５ａの外側にお
いては、駆動電極７，１１から分極方向に対して同じ方
向の電界が印加されるので伸長作用が起り、この結果、
この時点では音叉アーム４ａ，５ａは内方に屈曲する。
この時、音叉アーム４ｂ，５ｂはそれに呼応して音叉ア
ーム４ａ，５ａ側に屈曲する。しかし、次の時点つま
り、第１、第２の駆動電極１５，１６から供給される信
号が反転すれば、逆に、音叉アーム４ａ，５ａ，４ｂ，
５ｂは共に外方に屈曲し、共振振動することになる。
【００１３】次に、この様な内外方への振動を繰り返し
ている状況において角速度が加えられると、コリオリ力
の原理で音叉アーム４ａ，５ａ，４ｂ，５ｂは厚み方向
にたわみ、そのたわみ程度が角速度信号として検出電極
６、検出端子１８を介して取り出されることになる。た
とえば、今、音叉アーム４ａの図２における下面側が伸
び、音叉アーム５ａの図２における上面側が縮む方向に
音叉アーム４ａ，５ａがたわむとすると、駆動電極７，
８にはその分極方向であって、直交する方向で伸び、正
電荷が発生し、駆動電極１１，１２には分極方向とは逆
で直交方向で縮むこととなり、同じく正電荷が発生する
ことになる。この時、検出電極６が接する音叉アーム４
ａ，５ａの部分には負電荷が発生し、同じく音叉アーム
４ｂ，５ｂに接続する部分も負電荷が発生し、これが検
出端子１８から取り出されることになるのである。角速
度が加わることにより、逆に音叉アーム４ａ，５ａが駆
動電極１１，１２側が伸び、駆動電極７，８側が縮む場
合、同様の理論により検出端子１８には正電荷が取り出
されることになる。
ている状況において角速度が加えられると、コリオリ力
の原理で音叉アーム４ａ，５ａ，４ｂ，５ｂは厚み方向
にたわみ、そのたわみ程度が角速度信号として検出電極
６、検出端子１８を介して取り出されることになる。た
とえば、今、音叉アーム４ａの図２における下面側が伸
び、音叉アーム５ａの図２における上面側が縮む方向に
音叉アーム４ａ，５ａがたわむとすると、駆動電極７，
８にはその分極方向であって、直交する方向で伸び、正
電荷が発生し、駆動電極１１，１２には分極方向とは逆
で直交方向で縮むこととなり、同じく正電荷が発生する
ことになる。この時、検出電極６が接する音叉アーム４
ａ，５ａの部分には負電荷が発生し、同じく音叉アーム
４ｂ，５ｂに接続する部分も負電荷が発生し、これが検
出端子１８から取り出されることになるのである。角速
度が加わることにより、逆に音叉アーム４ａ，５ａが駆
動電極１１，１２側が伸び、駆動電極７，８側が縮む場
合、同様の理論により検出端子１８には正電荷が取り出
されることになる。
【００１４】また、駆動時において音叉アーム４ａ，５
ａ，４ｂ，５ｂを駆動する信号は、音叉アーム４ａ，５
ａ，４ｂ，５ｂの駆動には供給されるが、信号成分とし
ては互いにキャンセルされ、よって、この駆動信号が検
出電極６を介して検出される検出信号に混入されること
はない。
ａ，４ｂ，５ｂを駆動する信号は、音叉アーム４ａ，５
ａ，４ｂ，５ｂの駆動には供給されるが、信号成分とし
ては互いにキャンセルされ、よって、この駆動信号が検
出電極６を介して検出される検出信号に混入されること
はない。
【００１５】図３はその回路図を示し、検出端子１８は
増幅器２１とコンデンサＣ１で構成したチャージアンプ
の反転入力端子に入力される。前記チャージアンプの出
力端子２７には、同期検波回路２２、フィルタ２３が接
続され、最終的には出力端子２４へと接続されている。
尚、抵抗器Ｒ１，Ｒ２と可変抵抗器Ｒｘと増幅器２５で
構成した反転増幅器は、第１、第２の駆動電源１５，１
６を作るためのものである。２６は音叉の振幅を安定さ
せるためのＡＧＣアンプである。
増幅器２１とコンデンサＣ１で構成したチャージアンプ
の反転入力端子に入力される。前記チャージアンプの出
力端子２７には、同期検波回路２２、フィルタ２３が接
続され、最終的には出力端子２４へと接続されている。
尚、抵抗器Ｒ１，Ｒ２と可変抵抗器Ｒｘと増幅器２５で
構成した反転増幅器は、第１、第２の駆動電源１５，１
６を作るためのものである。２６は音叉の振幅を安定さ
せるためのＡＧＣアンプである。
【００１６】図４は本発明の角速度センサの他の実施例
を示し、この実施例においては音叉アーム４ｂ，５ｂの
分極方向Ｐ３を分極方向Ｐ１と同じ方向に変更したもの
である。従って、この場合、検出電極は図２に示す場合
の様に音叉アーム４ａ，５ａと４ｂ，５ｂのコリオリ信
号成分を合算して取ることができないので、それぞれ検
出電極１８ａ，１８ｂと分離し、一方の音叉アームより
得られるコリオリ信号成分を反転させた後に合算する様
にしたものである。
を示し、この実施例においては音叉アーム４ｂ，５ｂの
分極方向Ｐ３を分極方向Ｐ１と同じ方向に変更したもの
である。従って、この場合、検出電極は図２に示す場合
の様に音叉アーム４ａ，５ａと４ｂ，５ｂのコリオリ信
号成分を合算して取ることができないので、それぞれ検
出電極１８ａ，１８ｂと分離し、一方の音叉アームより
得られるコリオリ信号成分を反転させた後に合算する様
にしたものである。
【００１７】
【発明の効果】以上の様に本発明の角速度センサは、重
合させられたコ字状の第１、第２の圧電体の少なくとも
一方の音叉アームは重合させられた厚み方向と同一方向
に第１、第２の圧電体を分極した音叉アーム構造とする
ことにより、音叉アームの対角線上にある第１、第３の
駆動電極には第１の駆動電源から駆動信号が供給され、
また、第２、第４の駆動電極には第２の駆動電源から第
１の駆動電源とは逆相の駆動信号が供給されるので、こ
の音叉アームを駆動する信号成分は音叉駆動として働く
が互いにキャンセルされ、この駆動信号が検出電極を介
して検出される検出信号に混入されることはない。この
結果、角速度の検出能力を高精度に高めることができ
る。
合させられたコ字状の第１、第２の圧電体の少なくとも
一方の音叉アームは重合させられた厚み方向と同一方向
に第１、第２の圧電体を分極した音叉アーム構造とする
ことにより、音叉アームの対角線上にある第１、第３の
駆動電極には第１の駆動電源から駆動信号が供給され、
また、第２、第４の駆動電極には第２の駆動電源から第
１の駆動電源とは逆相の駆動信号が供給されるので、こ
の音叉アームを駆動する信号成分は音叉駆動として働く
が互いにキャンセルされ、この駆動信号が検出電極を介
して検出される検出信号に混入されることはない。この
結果、角速度の検出能力を高精度に高めることができ
る。
【００１８】さらに、左右の音叉アームの分極方向は互
いに反対方向とすることにより、左右の音叉アームで得
たコリオリの力は検出電極上の信号と同相となるため、
合算が検出電極上で処理されるので合算回路は不要とな
り、非常に簡単となる。
いに反対方向とすることにより、左右の音叉アームで得
たコリオリの力は検出電極上の信号と同相となるため、
合算が検出電極上で処理されるので合算回路は不要とな
り、非常に簡単となる。
【００１９】また、左右の音叉アームの分極方向を同一
とすることによっても検出電極１８ａ，１８ｂを分離
し、一方の音叉アームより得られた信号成分を反転させ
た後にそれぞれの音叉アームより得た信号成分を合算す
ることにより角速度の検出能力を高める事ができた。
とすることによっても検出電極１８ａ，１８ｂを分離
し、一方の音叉アームより得られた信号成分を反転させ
た後にそれぞれの音叉アームより得た信号成分を合算す
ることにより角速度の検出能力を高める事ができた。
【００２０】さらには、分極の部位として駆動・検出部
に設けた電極部分に分極処理を施すことにより、音叉ア
ームが駆動した場合、電極近傍しか分極処理を行ってい
ないため、不要な振動成分によって生じるノイズ成分を
非常に少なくすることができる。
に設けた電極部分に分極処理を施すことにより、音叉ア
ームが駆動した場合、電極近傍しか分極処理を行ってい
ないため、不要な振動成分によって生じるノイズ成分を
非常に少なくすることができる。
【図１】本発明の角速度センサの一実施例を示す組立斜
視図
視図
【図２】同センサの要部を示す模式図
【図３】同センサの回路図
【図４】本発明の角速度センサの他の実施例の要部を示
す模式図
す模式図
４ａ 音叉アーム ４ｂ 音叉アーム ５ａ 音叉アーム ５ｂ 音叉アーム ６ 検出電極 ７ 駆動電極 ８ 駆動電極 ９ モニタ電極 １０ モニタ電極 １１ 駆動電極 １２ 駆動電極 １３ モニタ電極 １４ モニタ電極 Ｐ１，Ｐ２ 分極方向
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 清水 英行 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平９−21643（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−332988（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−140016（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−134037（ＪＰ，Ａ) 米国特許5430342（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01C 19/56 G01P 9/04
Claims (4)
- 【請求項１】 検出電極を介して重合させられたコ字状
の第１、第２の圧電体と、前記第１の圧電体は少なくと
も一方の音叉アームの検出電極の反対側の面に設けた第
１、第２の駆動電極、前記第１、第２の駆動電極が設け
られた音叉アームに対向する前記第２の圧電体の音叉ア
ームにおける検出電極とは反対側の面に設けた第３、第
４の駆動電極とを備え、前記第１〜第４の駆動電極の
内、検出電極を介して対角線上にある第１、第３の駆動
電極には第１の駆動電源を接続し、同様に検出電極を介
して対角線上にある第２、第４の駆動電極には前記第１
の駆動電源とは逆相となる信号を供給するように第２の
駆動電源を接続し、かつ前記コ字状の第１、第２の圧電
体の少なくとも一方の音叉アームは重合させられた厚み
方向と同一方向に第１、第２の圧電体を分極した音叉ア
ーム構造としたことを特徴とする角速度センサ。 - 【請求項２】 前記駆動電極は他方の音叉アームにも同
様に設け、左右の音叉アームの分極方向は互いに反対方
向であることを特徴とする請求項１記載の角速度セン
サ。 - 【請求項３】 前記駆動電極は他方の音叉アームも同様
に設け、左右の音叉アームの分極方向は互いに同一方向
であることを特徴とする請求項１記載の角速度センサ。 - 【請求項４】 前記駆動電極を設けた部分にのみ分極処
理を施した構造としたことを特徴とする請求項１，２，
３のいずれかに記載の角速度センサ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23088595A JP3360500B2 (ja) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | 角速度センサ |
| DE69633909T DE69633909T2 (de) | 1995-09-08 | 1996-09-06 | Drehgeschwindigkeitssensor |
| US08/836,482 US5854427A (en) | 1995-09-08 | 1996-09-06 | Angular velocity sensor |
| PCT/JP1996/002538 WO1997009585A1 (fr) | 1995-09-08 | 1996-09-06 | Capteur de vitesse angulaire |
| EP96929545A EP0791804B1 (en) | 1995-09-08 | 1996-09-06 | Angular velocity sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23088595A JP3360500B2 (ja) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | 角速度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0972744A JPH0972744A (ja) | 1997-03-18 |
| JP3360500B2 true JP3360500B2 (ja) | 2002-12-24 |
Family
ID=16914837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23088595A Expired - Lifetime JP3360500B2 (ja) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | 角速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3360500B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3335122B2 (ja) | 1998-05-06 | 2002-10-15 | 松下電器産業株式会社 | 角速度センサ |
| JP2001208546A (ja) * | 1999-11-16 | 2001-08-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
-
1995
- 1995-09-08 JP JP23088595A patent/JP3360500B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0972744A (ja) | 1997-03-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8117913B2 (en) | Angular velocity sensor | |
| US5434467A (en) | Vibrator and detector circuit for vibrating gyro | |
| EP0735344B1 (en) | Vibration gyroscope and image blur prevention apparatus using the same | |
| US5854427A (en) | Angular velocity sensor | |
| JPH10232132A (ja) | 振動ジャイロ | |
| CN101501448B (zh) | 惯性力传感器 | |
| JP4449128B2 (ja) | 角速度センサ | |
| JPH09126783A (ja) | 圧電振動ジャイロ | |
| US6907783B2 (en) | Vibrating gyroscope and angular velocity sensor | |
| JP6337443B2 (ja) | 振動片、角速度センサー、電子機器及び移動体 | |
| JP3360500B2 (ja) | 角速度センサ | |
| JPH08159806A (ja) | 方位センサおよび方位距離センサ | |
| JP3360510B2 (ja) | 角速度センサ | |
| JP2734155B2 (ja) | 角速度センサ | |
| JP2002228452A (ja) | 振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置および振動ジャイロの自己診断方法 | |
| JP3360491B2 (ja) | 角速度センサ | |
| JPH08278141A (ja) | セラミック圧電複合形角速度センサ | |
| US20100011859A1 (en) | Angular velocity sensor | |
| JP2008190972A (ja) | 角速度センサ | |
| US6092417A (en) | Gyrosensor | |
| JPS60216210A (ja) | 角速度センサ− | |
| JP2699603B2 (ja) | 角速度センサ | |
| JPH07218270A (ja) | 車両運動検出装置およびその検出感度調整方法 | |
| JPH09159457A (ja) | 角速度センサ | |
| JP3371608B2 (ja) | 振動ジャイロ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081018 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091018 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091018 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101018 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111018 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121018 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131018 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |