DE60013228T2 - Sorptionsfähige verbundwerkstoffe die unabhängig sind von aktivierungsbehandlungen und verfahren zur herstellung - Google Patents

Sorptionsfähige verbundwerkstoffe die unabhängig sind von aktivierungsbehandlungen und verfahren zur herstellung Download PDF

Info

Publication number
DE60013228T2
DE60013228T2 DE60013228T DE60013228T DE60013228T2 DE 60013228 T2 DE60013228 T2 DE 60013228T2 DE 60013228 T DE60013228 T DE 60013228T DE 60013228 T DE60013228 T DE 60013228T DE 60013228 T2 DE60013228 T2 DE 60013228T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
palladium
composite materials
materials according
deposition
getter material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE60013228T
Other languages
English (en)
Other versions
DE60013228T3 (de
DE60013228D1 (de
Inventor
Paolo Della Porta
Claudio Boffito
Luca Toia
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SAES Getters SpA
Original Assignee
SAES Getters SpA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=26331659&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DE60013228(T2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Priority claimed from IT1999MI001241 external-priority patent/IT1312339B1/it
Priority claimed from IT2000MI000475A external-priority patent/IT1318382B1/it
Application filed by SAES Getters SpA filed Critical SAES Getters SpA
Application granted granted Critical
Publication of DE60013228D1 publication Critical patent/DE60013228D1/de
Publication of DE60013228T2 publication Critical patent/DE60013228T2/de
Publication of DE60013228T3 publication Critical patent/DE60013228T3/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J7/00Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J7/14Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H01J7/18Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering
    • H01J7/183Composition or manufacture of getters
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J7/00Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J7/14Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H01J7/18Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/30Hydrogen technology
    • Y02E60/32Hydrogen storage
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12014All metal or with adjacent metals having metal particles
    • Y10T428/12028Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, etc.]
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12181Composite powder [e.g., coated, etc.]
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/29Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
    • Y10T428/2982Particulate matter [e.g., sphere, flake, etc.]
    • Y10T428/2991Coated

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Battery Electrode And Active Subsutance (AREA)
  • Food Preservation Except Freezing, Refrigeration, And Drying (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft Verbundmaterialien, die ausschließlich Wasserstoff unabhängig von Aktivierungsbehandlungen sorbieren können, Verbundmaterialien, die Wasserstoff unabhängig von Aktivierungsbehandlungen und andere Gase als Wasserstoff als Ergebnis dieser Behandlungen sorbieren können, und Verfahren zur Herstellung dieser Materialien.
  • In technologisch fortgeschrittenen Vorrichtungen wird die Gassorption im Allgemeinen durch nicht verdampfbare Getter-Materialien (auch als NEG-Materialien bezeichnet) durchgeführt, die Metalle wie Zirconium bzw. Titan oder Legierungen, die auf diesen Metallen mit einem oder mehreren anderen Elementen basieren, die aus Übergangsmetallen und Aluminium ausgewählt sind, umfassen. Diese Materialien werden auf den Gebieten der Vakuumtechnik und der Gasreinigung im breiten Umfang verwendet. Dabei umfassen die hauptsächlichen Verwendungen dieser Metalle die Aufrechterhaltung eines Vakuums zur Wärmeisolation, beispielsweise in evakuierten Zwischenräumen von Thermosflaschen (Thermos), Dewar-Gefäßen, Rohrleitungen für den Erdöltransport in arktischen Regionen oder unterseeischen Rohrleitungen, die Offshore-Erdölplattformen mit dem Festland verbinden, wobei eine spezielle Verwendung die Verrohrung von Erdölförderlöchern ist, wobei es erforderlich ist, dass die Rohrleitung, durch welche das Öl nach oben gefördert wird, wärmeisoliert ist, um eine übermäßige Abkühlung des Fluids zu verhindern, durch welche die Erstarrung der schweren Komponenten mit einer daraus resultierenden Erhöhung der Gesamtviskosität, solange, bis die Rohrleitung möglicherweise verstopft ist, verursacht werden würde. Weitere sehr wichtige Verwendungen von NEG-Materialien finden sich bei der Entfernung von Gasen wie Wasserstoff, Sauerstoff, Wasser, Kohlenoxiden und mitunter Stickstoff aus Edelgasen, die in der Halbleiterindustrie oder als Füllung von Lampen verwendet werden.
  • NEG-Materialien sind Gegenstand zahlreicher Patente. So sind im Patent US 3 203 901 Zr-Al-Legierungen und insbesondere die Legierung, deren prozentuale Gewichtszusammensetzung Zr 84%-Al 16% ist und welche von der Anmelderin unter der Bezeichnung St 101Ò hergestellt und vertrieben wird, im Patent US 4 071 335 Zr-Ni-Legierungen und insbesondere die Legierung, deren prozentuale Gewichtszusammensetzung Zr 75,7%-Ni 24,3% ist und welche von der Anmelderin unter der Bezeichnung St 199TM hergestellt und vertrieben wird, im Patent US 4 306 887 Zr-Fe-Legierungen und insbesondere die Legierung, deren prozentuale Gewichtszusammensetzung Zr 76,6%-Fe 23,4% ist und welche von der Anmelderin unter der Bezeichnung St 198TM hergestellt und vertrieben wird, im Patent US 4 312 669 Zr-V-Fe-Legierungen und insbesondere die Legierung, deren prozentuale Gewichtszusammensetzung Zr 70%-V 24,6%-Fe 5,4% ist und welche von der Anmelderin unter der Bezeichnung St 707Ò hergestellt und vertrieben wird, im Patent US 4 668 424 die Legierungen mit der Zusammensetzung Zr-Ni-A-M, wobei A ein oder mehrere Elemente der seltenen Erdmetalle und M ein oder mehrere Elemente bedeutet, die aus Kobalt, Kupfer, Eisen, Aluminium, Zinn, Titan und Silicium ausgewählt sind, in der Patentanmeldung EP-A-869 195 Legierungen mit der Zusammensetzung Zr-Co-A, wobei A ein Element bedeutet, das aus Yttrium, Lanthan, Seltenerdmetallen oder Gemischen davon ausgewählt ist, insbesondere eine Legierung, deren prozentuale Gewichtszusammensetzung Zr 80,8%-Cc 14,2%-A 5% ist und welche von der Anmelderin unter der Bezeichnung St 787TM hergestellt und vertrieben wird, und schließlich im Patent US 4 457 891 Ti-Ni- und Ti-V-Mn-Legierungen beschrieben.
  • Die Sorption der weiter oben genannten Gase durch die NEG-Materialien erfolgt in zwei Schritten. Dabei besteht der erste Schritt in der an der Oberfläche stattfindenden Chemisorption der gasförmigen Spezies, die im Allgemeinen mit einer Dissoziation der Spezies in die sie bildenden Atome einhergeht. Wasserstoffatome wandern in das Material, selbst bei niedrigen Temperaturen, und bilden zunächst feste Lösungen, wobei sich mit zunehmender Wasserstoffkonzentration Hydride wie ZrH2 bilden. Deshalb ist das Vermögen zur Wasserstoffsorption selbst bei niedrigen Temperaturen hoch. Im Gegensatz dazu hat die Sorption von Elementen wie Sauerstoff, Kohlenstoff und Stickstoff ein anderes Verhalten; bei relativ niedrigen Temperaturen (im Allgemeinen unter etwa 300 bis 500°C je nach Art des Materials) findet nur eine oberflächliche Chemisorption mit Bildung von Schichten statt, die Verbindungen vom Oxid-, Carbid- oder Nitrid-Typ umfassen. Bei Temperaturen, die höher als die genannten sind, diffundieren Sauerstoff, Stickstoff und Kohlenstoff in das Material, wodurch sich eine Oberfläche zurückbildet, die sauber und zur Gassorption in der Lage ist. Dieser Effekt der Oberflächenreinigung kann erhalten werden, indem das NEG-Material entweder konstant auf einer ausreichend hohen Temperatur gehalten oder auf einer niedrigen Temperatur gehalten und periodisch auf die zuvor genannte Temperatur durch eine so genannte Aktivierungsbehandlung erwärmt wird, die in regelmäßigen Abständen oder nach Feststellen des Nachlassens der Sorptionseigenschaften durchgeführt wird. Es gibt jedoch viele Verwendungen von NEG-Materialien, bei welchen die Betriebstemperatur die Raumtemperatur (oder sogar darunter) ist und auch eine Aktivierungsbehandlung praktisch unmöglich ist; dazu gehören die evakuierten Zwischenräume von Thermosbehältern, Rohrleitungen für Erdölförderung bzw. -transport oder Leuchtstofflampen. Eine weitere wichtige Verwendung dieser Art findet sich in Batterien, sowohl bei wiederaufladbaren, beispielsweise in Ni-MH-Batterien, als auch nicht wiederaufladbaren wie herkömmlichen Alkalibatterien, die unter bestimmten Betriebsbedingungen Wasserstoff mit einem Aufquellen des Gehäuses und der Gefahr einer Explosion entwickeln können.
  • Unter diesen Bedingungen wird durch die Sorption relativ kleiner Mengen an Sauerstoff, Stickstoff oder Kohlenstoff eine Passivierungsschicht auf der Oberfläche des NEG-Materials erzeugt, welche eine weitere Gassorption verhindert, und dadurch das Vermögen des Materials auf einen Bruchteil des theoretischen verringert. Weiterhin blockiert die Passivierungsschicht die Wasserstoffsorption, die, wie bereits erläutert, selbst bei Raumtemperatur in größerem Maße stattfinden würde.
  • Das Vorhandensein von Wasserstoff ist in vielen Vorrichtungen, in welchen NEG-Materialien verwendet werden, besonders schädlich. Bei einer Verwendung zur Wärmeisolierung, dies deshalb, da Wasserstoff von den Gasen der beste Wärmeleiter ist und deshalb sein Vorhandensein in evakuierten Zwischenräumen, selbst in einer kleinen Menge, deren Wärmeisolationseigenschaften beträchtlich verschlechtert. In Leuchten werden durch das Vorhandensein dieses Gases im gasförmigen Füllgemisch die Entladungsbedingungen verändert, wodurch der korrekte Betrieb der Leuchte verhindert und im Allgemeinen deren Lebensdauer verkürzt wird. Noch schädlicher ist das Vorhandensein von Wasserstoff in Erdölförderleitungen. Bei dieser Verwendung werden saure Lösungen, die beispielsweise Salzsäure, Salpetersäure, Flusssäure oder Gemische davon enthalten, durch das Innenrohr geleitet, um eine Zersetzung des Gesteins zu begünstigen, aus welchem das Erdöl gefördert wird. Die Säure kann jedoch die Rohrleitungen unter Bildung von Mikroperforationen und der gleichzeitigen Erzeugung großer Wasserstoffmengen korrodieren, und der so entwickelte Wasserstoff kann leicht durch die Mikroperforationen hindurch bis in den Zwischenraum mit schwerwiegenden Folgen für die Wärmeisolation gelangen.
  • Die Verbesserung der Wasserstoffentfernungsmerkmale von Getter-Materialien ist Gegenstand der internationalen Patentanmeldung, die unter der Nummer WO 98/37958 veröffentlicht ist, und des Patents SU-A-1 141 920 , in welchen die Beschichtung dieser Materialien mit Palladium beschrieben wird. Gemäß jenen Dokumenten wird die Beschichtung durch Kathodenabscheidung (auf dem Fachgebiet als "Sputtern" bekannt) durchgeführt, wodurch auf der Oberfläche des NEG-Materials eine ununterbrochene wasserstoffdurchlässige Edelmetallschicht erhalten wird. Unter diesen Bedingungen befindet sich das Getter-Material mit der Kammer, die evakuiert gehalten werden soll, oder mit dem Gas, das gereinigt werden soll, nur durch diese Schicht hindurch in Berührung. Die in jenen Dokumenten beschriebenen Getter-Systeme können jedoch nur in einer ebenen Gestaltung erhalten werden, die nicht für alle möglichen Verwendungen der Getter-Materialien geeignet ist, weiterhin ist das Gassorptionsvermögen (d. h. die maximale Gasmenge, die sorbiert werden kann) dieser Systeme aufgrund der geringen Menge des nicht verdampfbaren Getter-Materials in den ebenen Abscheidungen verringert und schließlich sind diese Systeme entsprechend dem Stand der Technik vollkommen selektiv gegenüber der Wasserstoffsorption und können andere gasförmige Spezies nicht entfernen.
  • Im Patent EP-B-291 123 ist die Verwendung von Getter-Materialien mit der Zusammensetzung Zr-Pd-O, worin Palladium mit einer molaren Konzentration von zwischen 0,4 und 15% enthalten ist und das Molverhältnis zwischen Sauerstoff und Zirconium im Bereich von 0,02 bis 1 liegt, in Lampen beschrieben.
  • Deshalb liegt der Erfindung als Aufgabe zugrunde, Verbundmaterialien, die Wasserstoff unabhängig von einer Aktivierungsbehandlung sorbieren können, sowie Verfahren für die Herstellung dieser Materialien bereitzustellen.
  • Die erste dieser Aufgaben wird gelöst durch ein Verbundmaterial, das aus einem Pulver aus nicht flüchtigem Getter-Material gebildet ist, dessen Teilchenoberfläche zu zumindest 10% von einer Abscheidung bedeckt ist, die aus einem oder mehreren Vertretern der Gruppe aus metallischem Palladium, Palladiumoxid, bis zu 30% Silberatome enthaltenden Palladiumsilberlegierungen und Verbindungen des Palladiums mit dem Getter-Metall oder einem bzw. mehreren Metallen der Getter-Legierung gebildet ist.
  • In einer speziellen Ausführungsform betrifft die Erfindung Verbundmaterialien, die Wasserstoff unabhängig von Aktivierungsbehandlungen sowie andere Gase als Wasserstoff als Ergebnis dieser Behandlungen sorbieren können und aus nicht verdampfbaren Getter-Materialien gebildet sind, deren Oberfläche mit einem Beschichtungsgrad von zwischen etwa 10 und 90% teilweise mit einer Abscheidung beschichtet ist, die aus einem oder mehreren Vertretern aus metallischem Palladium, Palladiumoxid, bis zu 30 Atom-% Silber enthaltenden Palladiumsilberlegierungen und Verbindungen des Palladiums mit dem Getter-Metall oder einem bzw. mehreren Metallen der Getter-Legierung besteht.
  • Die Erfindung wird anschließend unter Bezugnahme auf die im Anhang befindlichen Zeichnungen näher erläutert, wobei
  • 1 einen Querschnitt durch ein Pulverkorn aus einem erfindungsgemäßen Verbundmaterial mit vollständiger Palladiumbeschichtung,
  • 2 ein Pulverkorn aus einem erfindungsgemäßen Verbundmaterial mit teilweiser Palladiumbeschichtung,
  • 3 die Beschichtung eines Pulvers aus NEG-Material mit Palladium entsprechend einem möglichen Verfahren und
  • 4 ein Pulver aus dem erfindungsgemäßen Material, das entsprechend dem in 3 dargestellten Verfahren erhalten worden ist, zeigt.
  • Für die erfindungsgemäßen Zwecke wird die Beschichtung vorzugsweise mit metallischem Palladium oder einer bis zu 30 Atom-% Silber enthaltenden Palladiumsilberlegierung durchgeführt. Diese Abscheidungen werden wenigstens teilweise von dem möglicherweise vorhandenen Sauerstoff oxidiert; außerdem kann als Folge der Wärmebehandlungen, denen das erfindungsgemäße Material unterworfen werden kann, eine Abscheidung aus metallischem Palladium oder einer Palladiumsilberlegierung mit einem bzw. mehreren Metallen des darunter befindlichen Getter-Materials (dann, wenn das Getter-Material ein Metall bzw. eine Legierung ist) unter Bildung von Legierungen oder intermetallischen Verbindungen Wechselwirken, die ihrerseits wenigstens teilweise oxidiert werden können. Im Folgenden der Beschreibung werden, sofern nichts anderes festgestellt wird, alle diese Spezies als Palladium oder dessen Verbindungen bezeichnet.
  • Die NEG-Materialien, die erfindungsgemäß verwendet werden können, sind alle bekannt und umfassen im Allgemeinen Metalle wie Zr, Ti, Nb, Ta, V und Legierungen dieser Metalle oder von diesen mit einem bzw. mehreren anderen Elementen, die aus Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Al, Y, La und den Seltenerdmetallen ausgewählt sind. So ist es beispielsweise möglich, die binären Legierungen Ti-V, Zr-V, Zr-Al, Zr-Fe und Zr-Ni, die ternären Legierungen Ti-V-Mn, Zr-Mn-Fe und Zr-V-Fe, die Mehrkomponentenlegierungen Zr-Ni-A-M oder Zr-Co-A, worin A ein Element bedeutet, das aus Yttrium, Lanthan, den Seltenerdmetallen oder Gemischen davon ausgewählt ist, und M ein Element bedeutet, das aus Kobalt, Kupfer, Eisen, Aluminium, Zinn, Titan, Silicium oder Gemischen davon ausgewählt ist, und schließlich Mischungen aus den zuvor genannten Metallen und Legierungen zu verwenden.
  • Wie weiter oben festgestellt, beträgt der Beschichtungsgrad erfindungsgemäß mehr als 10% der Oberfläche des NEG-Materials. Wenn bei der für das Verbundmaterial vorgesehenen Verwendung Wasserstoff das einzige Gas ist, dessen Sorption gewährleistet werden muss, so beträgt der Beschichtungsgrad vorzugsweise 100%; wenn andererseits die Möglichkeit besteht, dass die Entfernung anderer Gase als Wasserstoff gewährleistet werden muss, so beträgt der Beschichtungsgrad vorteilhafterweise zwischen 10 und 90 %. Bei einem Beschichtungsgrad von unter 10% wird, wenn die exponierte Oberfläche des NEG-Materials passiviert ist, die Wasserstoffsorptionsgeschwindigkeit übermäßig verringert. Andererseits wird bei einem Beschichtungsgrad von über 90% das Vermögen zur Sorption von anderen Gasen als Wasserstoff übermäßig verringert, wenn nach einer Aktivierungsbehandlung die Oberfläche des NEG-Materials sauber ist. Vorzugsweise liegt bei dieser zweiten Möglichkeit der Beschichtungsgrad zwischen etwa 25% und 75 der Materialoberfläche.
  • Die Dicke der Abscheidung beträgt weniger als etwa 5 mm, wobei eine höhere Dicke den Einsatz einer größeren Menge an Palladium (sehr teures Element) bedeutet, die Wasserstoffsorption verlangsamt und gegenüber einer kleineren Dicke keine speziellen Vorteile bietet.
  • Das erfindungsgemäße Verbundmaterial wird in Form eines Pulvers verwendet, wobei jedes Teilchen ein Korn aus einem NEG-Material mit einer teilweisen Beschichtung aus Palladium oder Verbindungen davon ist. Die Teilchengröße des Pulvers beträgt vorzugsweise weniger als etwa 500 mm und besonders bevorzugt zwischen etwa 20 und 125 mm.
  • Diese Pulver können gepresst und gesintert werden, um ausschließlich aus dem erfindungsgemäßen Verbundmaterial bestehende Tabletten zu bilden, in einen oben offenen Behälter, beispielsweise mittels Druck durch einen geeigneten Stempel, eingefüllt oder auf einen im Allgemeinen ebenen Träger durch ein Verfahren wie Kaltwalzen oder Siebdruck aufgebracht werden. Die Bildung von Tabletten, die Verwendung von Behältern und das Kaltwalzen sind auf dem Gebiet der Pulvermetallurgie bekannt, während die Einzelheiten des auf die Getter-Materialien angewendeten Siebdruckverfahrens in dem Patent US 5 882 727 der Anmelderin beschrieben sind.
  • Werden Abscheidungen aus metallischem Palladium, Palladiumoxid oder Verbindungen des Palladiums mit Metallen des Getter-Materials gebildet, können die erfindungsgemäßen Verbundmaterialien durch die Anwendung verschiedener Verfahren erhalten werden.
  • Um einen Beschichtungsgrad von bis zu 100% zu erhalten, kann die Flüssigphasenimprägnierung angewendet werden. Entsprechend diesem Verfahren wird das Pulver aus dem NEG-Material im Allgemeinen unter kontinuierlichem Rühren in eine Lösung getaucht, die eine Palladiumverbindung enthält und auf einer Temperatur von zwischen etwa 25 und 50°C gehalten wird. Das Lösungsmittel kann Wasser, ein Alkohol oder ein Wasser-Alkohol-Gemisch sein. Als Palladiumverbindung kann beispielsweise das Nitrat Pd(NO3)2, Acetat Pd(OOC-CH3)2 oder ein Salz des Tetraminpalladiumkomplexes [Pd(NH3)4]2+ verwendet werden. Die Lösung wird anschließend durch Verdampfung des Lösungsmittels getrocknet und das erhaltene trockene Pulver zwischen 5 und 45 Minuten lang bei 500°C unter Vakuum behandelt. Durch diese Behandlung wird das Palladiumsalz, das auf der Oberfläche der Körner aus dem NEG-Metall oder der NEG-Legierung vorhanden ist, in Palladiumoxid (bei Nitrat oder Acetat) oder in metallisches Palladium bei einem Salz des Tetraminkomplexes umgewandelt. Wird das Oxid erhalten, kann es in situ teilweise zu metallischem Palladium für das Vorhandensein eines NEG-Materials, das eine starke Affinität zu Sauerstoff hat, umgewandelt werden. Ein Korn 10 aus dem erfindungsgemäßen Verbundmaterial, das aus einem Teilchen 11 aus NEG-Material 12 gebildet ist, das vollständig mit einer Abscheidung 13 aus Palladium 14 oder Verbindungen davon beschichtet ist, ist im Querschnitt in 1 gezeigt. In 2 ist ein Korn 20 aus dem erfindungsgemäßen Verbundmaterial mit einer teilweisen Palladiumbeschichtung gezeigt, wobei das Korn aus einem Teilchen 21 aus einem Pulver 22 aus NEG-Material gebildet ist, auf welchem eine Abscheidung 23 aus Palladium 24 oder dessen Verbindungen vorhanden ist.
  • Eine teilweise oder vollständige Beschichtung kann auch durch chemische Gasphasenabscheidung erhalten werden, die besser unter der englischen Bezeichnung "Chemical Vapour Deposition" oder dem Akronym CVD bekannt ist. Das Verfahren besteht darin, möglichst bei hoher Temperatur und/oder niedrigem Druck, einen flüchtigen oder sich verflüchtigen lassenden Vorläufer des aufzubringenden Elements zu verdampfen. Die Verdampfung wird in einer Kammer durchgeführt, in welcher das Substrat (in diesem Fall das Pulver aus dem NEG-Material) vorhanden ist, auf welchem der Vorläuferdampf kondensiert werden soll. Nach dem Aufbringen des Vorläufers wird er durch eine Wärmebehandlung zersetzt, wodurch auch hier wieder eine Beschichtung aus metallischem Palladium, Palladiumoxid oder einer Verbindung des Palladiums mit den Metallen des NEG-Ausgangsmaterials entsteht. Für das CVD-Verfahren werden im Allgemeinen metallorganische Palladiumverbindungen eingesetzt.
  • Wird ein Beschichtungsgrad von unter 100% gewünscht, so kann außer den zuvor beschriebenen Verfahren das Bedampfen oder Sputtern angewendet werden. Entsprechend diesen Verfahren wird das NEG-Material in einer unter Vakuum gehaltenen Kammer in Form eines dünnen Pulverbettes auf einem Probehalter angeordnet; als Palladiumquelle ist es möglich, einen Metalldraht, der im Falle des Bedampfens mittels Stromdurchfluss erhitzt wird, oder ein so genanntes "Target" im Falle des Sputterns zu verwenden. Das Palladium, das verdampft wird oder aus der Kathodenabscheidung (Sputtern) kommt, wird nur in dem Bereich der Körner aus NEG-Material, der dem Draht ausgesetzt ist, aufgebracht. Die Anwendung dieser Verfahren ist in 3 gezeigt, worin mit 30 die Körner aus NEG-Material auf einem Probehalter 31, mit 32 die Palladiumquelle (unabhängig davon, ob als Draht beim Bedampfen oder als Target beim Sputtern), mit 33 die Palladiumatome, die von der Quelle 32 emittiert werden, und mit 34 die auf dem Pulver aus NEG-Material aufgebrachte Palladiumschicht nummeriert sind. In 4 ist das lose Pulver aus dem erfindungsgemäßen Verbundmaterial gezeigt, wie es gemäß dieser Verfahren erhalten wird (in den 3 und 4 entsprechen gleiche Bezugszahlen auch gleichen Elementen). Wenn gewünscht wird den Beschichtungsgrad zu erhöhen, ist es auch möglich, das Pulver, beispielsweise, indem der Probehalter in Schwingungen versetzt wird, unter Rühren zu halten, sodass sich seine Ausrichtung darauf während des Aufbringens des Palladiums verändert.
  • Bei einer Beschichtung mit einer Palladiumsilberlegierung, die durch Sputtern erhalten wird, ist die Verwendung eines Targets aus derselben Legierung als Quelle bevorzugt.
  • Wird eine Imprägnierung aus der Flüssigphase oder CVD durchgeführt, wird die teilweise Beschichtung des NEG-Pulvers durch eine begrenzte Menge des Vorläufers erhalten, wobei diese Menge theoretisch, aber vorzugsweise durch Vorversuche ermittelt werden kann. Wird stattdessen das Bedampfen oder Sputtern angewendet, wird eine teilweise Beschichtung durch geometrische Faktoren erhalten.
  • Unabhängig von dem für die Beschichtung angewendeten Verfahren kann das Pulver aus NEG-Material vor dem Aufbringen des Palladiums (oder des Palladiumvorläufers) mit Wasserstoff beladen werden. Der vom Getter sorbierte Wasserstoff wird dann während der auf die Palladiumabscheidung folgenden Wärmebehandlung wieder freigesetzt, die eine solche sein kann, die bereits für das Verfahren vorgesehen ist, wie bei der Imprägnierung oder der Abscheidung durch CVD, oder eine zusätzliche beim Bedampfen oder Sputtern ist. Durch diese Rückemission des Wasserstoffs wird die Oberfläche des NEG-Materials mit einer anschließenden Verbesserung der Sorptionseigenschaften des Materials für andere Gase als Wasserstoff gereinigt. Über die Einzelheiten dieser Hydrierung oder Dehydrierung von NEG-Materialien wird auf die Patente US 4 839 085 und EP-B-716 772 Bezug genommen.
  • Die Erfindung wird anschließend anhand der folgenden Beispiele näher erläutert. Diese Beispiele veranschaulichen einige Ausführungsformen, die den Fachmann darüber unterrichten sollen, wie die Erfindung zu verwirklichen ist, und die beste Art und Weise der Durchführung der Erfindung.
  • Beispiel 1
  • Dieser Versuch exemplifiziert die Herstellung eines erfindungsgemäßen Verbundmaterials.
  • 10 Gramm der Legierung St 707Ò mit einer Teilchengröße von zwischen 20 und 128 mm wurden in eine wässrige Pd(NO3)2-Lösung, die 0,43 g des Salzes enthielt, mit einem Verhältnis von Palladium zu Legierung St 707Ò von 2 Gew.-% getaucht. Das Wasser wurde durch Erwärmung unter vorsichtigem Pumpen und Rühren unter Verwendung eines Rotationsverdampfers (Rotavapor) verdampft. Der trockene Rückstand wurde einer Wärmebehandlung bei 500°C unter Vakuum unterzogen. Das so hergestellte Material repräsentiert die Probe 1.
  • Beispiel 2
  • Dieser Versuch exemplifiziert die Funktionsweise eines erfindungsgemäßen Verbundmaterials.
  • 1 Gramm von Probe 1 wurde durch eine 30-minütige Behandlung bei 500°C aktiviert und 5 Minuten lang CO mit einem Druck von 1,3 × 10–3 mbar und anschließend Wasserstoff mit einem Druck von 2,7 × 10–3 mbar ausgesetzt. Die Sorptionsgeschwindigkeit betrug etwa 60 ml Wasserstoff pro Sekunde.
  • Beispiel 3 (Vergleichsbeispiel)
  • Der Versuch von Beispiel 2 wurde erneut mit 1 Gramm der Legierung St 707Ò durchgeführt, die aber nicht mit Palladium beschichtet worden war. Die Sorptionsgeschwindigkeit betrug etwa 20 ml Wasserstoff pro Sekunde.
  • Dem Vergleich der Versuche 2 und 3 ist zu entnehmen, dass das erfindungsgemäße Material, das von einem bekannten NEG-Material, das teilweise mit Palladium beschichtet worden war, gebildet wurde, eine Wasserstoffsorptionsgeschwindigkeit hatte, die etwa dreimal höher als dieje nige des bekannten NEG-Materials ohne diese Beschichtung war.
  • Deshalb erlaubt die Erfindung das Erhalten von Verbundmaterialien, die für die Wasserstoffsorption besonders nützlich sind. Ferner ermöglicht es die Erfindung, anders als es in einigen Dokumenten des Stands der Technik beschrieben ist, Materialien zu erhalten, die auch andere Gase als Wasserstoff sorbieren können, wobei aber die Sorption des letzteren Gases nicht von der Sorption der anderen Gase beeinflusst wird. Schließlich erweitert die Erfindung die Möglichkeit, Palladiumabscheidungen selbst auf Oberflächen zu bilden, die nicht eben oder nicht im Wesentlichen eben sind, wodurch es möglich wird, Vorrichtungen für die Sorption von Wasserstoff zu erhalten, deren Geometrien verschieden sind und welche für eine beliebige spezielle Verwendung geeignet sind, sodass ein Wasserstoffsorptionsvermögen erhalten wird, das im Vergleich mit bekannten ähnlichen Vorrichtungen größer ist.

Claims (18)

  1. Verbundmaterialien (10; 20), geeignet zur Sorption von Wasserstoff unabhängig von Aktivierungsbehandlungen, gebildet aus nicht flüchtigem Getter-Material, dadurch gekennzeichnet, dass das Getter-Material in Form von Pulver vorliegt (12; 22), dessen Teilchenoberfläche zu zumindest 10% von einer Abscheidung (13; 23) bedeckt ist, die aus einem oder mehreren Vertretern der Gruppe metallisches Palladium, Palladiumoxid, bis zu 30% Silberatome enthaltende Palladiumsilberlegierungen und Verbindungen aus Palladium und einem oder mehreren Metallen des Getter-Materials gebildet ist.
  2. Verbundmaterialien nach Anspruch 1, die aufgrund Aktivierungsbehandlungen ferner dazu geeignet sind, andere Gase als Wasserstoff zu sorbieren mit einem Beschichtungsgrad zwischen etwa 10 und 90%.
  3. Verbundmaterialien nach den Ansprüchen 1 oder 2, worin das nicht flüchtige Getter-Material ausgewählt ist aus: – Zr, Ti, Nb, Ta, V-Metallen; – Legierungen aus Zr und/oder Ti und einem oder mehreren anderen Elementen, ausgewählt aus, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Al, Cu, Sn, Si, Y, La und seltenen Erden; – Gemischen dieser Metalle und Legierungen.
  4. Verbundmaterialien nach Anspruch 3, worin das nicht flüchtige Getter-Material ausgewählt ist aus Ti-V; Zr-V; Zr-Al; Zr-Fe; Zr-Ni; Ti-V-Mn; Zr-Mn-Fe; Zr-V-Fe; Zr-Ni-A-M oder Zr-Co-A-Legierungen, wobei A ein Element bezeichnet, das aus Yttrium, Lanthan, seltenen Erden oder Gemischen hiervon ausgewählt ist und M ein Element bezeichnet das aus Kobalt, Kupfer, Eisen, Aluminium, Zinn, Titan, Silicium oder Gemischen hiervon ausgewählt ist.
  5. Verbundmaterialien nach Anspruch 2, worin der Beschichtungsgrad zwischen etwa 25% und 75% der Oberfläche des nicht flüchtigen Getter-Materials liegt.
  6. Verbundmaterialien nach den Ansprüchen 1 oder 2, worin die Dicke der Abscheidung weniger als etwa 5 μm beträgt.
  7. Verbundmaterialien nach den Ansprüchen 1 oder 2, worin die Pulverpartikel eine Größe von kleiner etwa 500 μm haben.
  8. Verbundmaterialien nach Anspruch 7, worin die Partikelgröße des Pulvers zwischen etwa 20 bis 125 μm liegt.
  9. Verfahren zur Herstellung der Verbundmaterialien nach den Ansprüchen 1 oder 2, in dem die Abscheidung aus Palladium, Palladiumoxid oder Gemischen hiervon dadurch erhalten wird, dass nicht flüchtige pulverförmige Getter-Materialien in eine Lösung aus Palladiumsalz oder -komplex getaucht werden, das Lösungsmittel entfernt und das Salz oder der Komplex, die auf dem Pulver abgeschieden sind, thermisch zersetzt werden.
  10. Verfahren zur Herstellung von Verbundmaterialien nach den Ansprüchen 1 oder 2, in dem das Abscheiden von Palladium, Palladiumoxid oder Gemischen hiervon auf dem pulverförmigen, nicht flüchtigen Getter-Material durch chemische Gasphasenabscheidung einer Palladiumverbindung erhalten wird, welche anschließend durch thermische Behandlung zersetzt wird.
  11. Verfahren zur Herstellung von Verbundmaterialien nach Anspruch 2, in dem das Abscheiden von Palladium auf dem pulverförmigem, nicht flüchtigem Getter-Materialien durch Verdampfen des Metalls erhalten wird.
  12. Verfahren zur Herstellung von Verbundmaterialien nach Anspruch 2, in dem die Palladiumabscheidung auf dem pulverförmigen nicht flüchtigen Getter-Material durch kathodische Abscheidung erhalten wird.
  13. Verfahren zur Herstellung für Verbundmaterialien nach Anspruch 2, in dem das Abscheiden von Palladium-Silberlegierung auf dem pulverförmigen, nicht flüchtigen Getter-Material durch kathodische Abscheidung erhalten wird.
  14. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 13, in dem das pulverförmige nicht flüchtige Getter-Material vor der Stufe der Bildung der Abscheidungen hydriert wird und nach dieser Stufe durch thermische Zersetzung dehydriert wird.
  15. Vorrichtungen, enthaltend die Verbundmaterialien (10; 20) nach Anspruch 1.
  16. Vorrichtung nach Anspruch 15, in Form eines Behälters zur thermischen Isolierung mit evakuiertem Zwischenraum.
  17. Vorrichtung nach Anspruch 15, in Form eines thermisch isolierten Rohrs mit evakuiertem Zwischenraum.
  18. Vorrichtung nach Anspruch 15 in Form einer wiederaufladbaren oder nicht wiederaufladbaren Batterie.
DE60013228.5T 1999-06-02 2000-06-01 Sorptionsfähige verbundwerkstoffe die unabhängig sind von aktivierungsbehandlungen und verfahren zur herstellung Expired - Lifetime DE60013228T3 (de)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
IT1999MI001241 IT1312339B1 (it) 1999-06-02 1999-06-02 Materiali compositi capaci di assorbire idrogeno indipendentemente datrattamenti di attivazione e metodi per la loro produzione.
ITMI991241 1999-06-02
ITMI000475 2000-03-09
IT2000MI000475A IT1318382B1 (it) 2000-03-09 2000-03-09 Materiali compositi capaci di assorbire idrogeno indipendentemente datrattamenti di attivazione e metodi per la loro produzione.
PCT/IT2000/000225 WO2000075950A1 (en) 1999-06-02 2000-06-01 Composite materials capable of hydrogen sorption independently from activating treatments and methods for the production thereof
EP00935489.5A EP1101237B2 (de) 1999-06-02 2000-06-01 Sorptionsfähige verbundwerkstoffe die unabhängig sind von aktivierungsbehandlungen und verfahren zur herstellung

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE60013228D1 DE60013228D1 (de) 2004-09-30
DE60013228T2 true DE60013228T2 (de) 2005-09-22
DE60013228T3 DE60013228T3 (de) 2018-02-22

Family

ID=26331659

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE20023858U Expired - Lifetime DE20023858U1 (de) 1999-06-02 2000-06-01 Unabhängig von Aktivierungsbehandlungen zur Wasserstoffsorption befähigte Verbundmaterialien
DE60013228.5T Expired - Lifetime DE60013228T3 (de) 1999-06-02 2000-06-01 Sorptionsfähige verbundwerkstoffe die unabhängig sind von aktivierungsbehandlungen und verfahren zur herstellung

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE20023858U Expired - Lifetime DE20023858U1 (de) 1999-06-02 2000-06-01 Unabhängig von Aktivierungsbehandlungen zur Wasserstoffsorption befähigte Verbundmaterialien

Country Status (10)

Country Link
US (3) US6682817B1 (de)
EP (1) EP1101237B2 (de)
JP (1) JP4662666B2 (de)
KR (1) KR100702710B1 (de)
CN (1) CN1149609C (de)
AU (1) AU5102600A (de)
CA (1) CA2339155C (de)
DE (2) DE20023858U1 (de)
TW (1) TW586135B (de)
WO (1) WO2000075950A1 (de)

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1318937B1 (it) 2000-09-27 2003-09-19 Getters Spa Metodo per la produzione di dispositivi getter porosi con ridottaperdita di particelle e dispositivi cosi' prodotti
ATE462484T1 (de) * 2001-04-30 2010-04-15 Battelle Memorial Institute Schnell zyklisches temperaturwechsel- sorptionsverfahren und dessen vorrichtung zur trennung/reinigung von fluiden
JP4024151B2 (ja) 2001-05-01 2007-12-19 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 放電ランプ
JP3572548B2 (ja) * 2002-05-24 2004-10-06 日本酸素株式会社 ガス精製方法及び装置
ITMI20031178A1 (it) 2003-06-11 2004-12-12 Getters Spa Depositi multistrato getter non evaporabili ottenuti per
US8414718B2 (en) * 2004-01-14 2013-04-09 Lockheed Martin Corporation Energetic material composition
GB0427647D0 (en) 2004-12-17 2005-01-19 Johnson Matthey Plc Hydrogen getter
KR20100005255U (ko) * 2005-02-17 2010-05-20 세스 게터스 에스.피.에이 플렉시블 다층 게터
US7585693B2 (en) * 2006-03-31 2009-09-08 Intel Corporation Method of forming a microelectronic package using control of die and substrate differential expansions and microelectronic package formed according to the method
US7718016B2 (en) 2006-04-07 2010-05-18 Lockheed Martin Corporation Methods of making multilayered, hydrogen-containing intermetallic structures
US7829157B2 (en) 2006-04-07 2010-11-09 Lockheed Martin Corporation Methods of making multilayered, hydrogen-containing thermite structures
US8250985B2 (en) 2006-06-06 2012-08-28 Lockheed Martin Corporation Structural metallic binders for reactive fragmentation weapons
US7886668B2 (en) 2006-06-06 2011-02-15 Lockheed Martin Corporation Metal matrix composite energetic structures
DE102006042226A1 (de) * 2006-09-06 2008-03-27 Günther & Co. GmbH Beschichteter Spiralbohrer
CA2663111A1 (en) * 2006-09-15 2008-03-20 Saes Getters S.P.A. Metal getter systems
ITMI20071148A1 (it) 2007-06-05 2008-12-06 Getters Spa Batterie ricaricabili al litio comprendenti mezzi in forma di foglio polimerico multistrato per l'assorbimento di sostanze nocive
ITMI20071147A1 (it) * 2007-06-05 2008-12-06 Getters Spa Batterie ricaricabili al litio comprendenti mezzi per l'assorbimento di sostanze nocive
JP2009117093A (ja) * 2007-11-05 2009-05-28 Panasonic Corp プラズマディスプレイパネル
ITMI20090917A1 (it) * 2009-05-25 2010-11-26 Getters Spa Getter composito multistrato
WO2012141761A1 (en) * 2011-02-16 2012-10-18 Han Nee Methods of making and using palladium alloys
CN102810440B (zh) * 2012-08-02 2014-12-03 中国航天科工集团第二研究院二〇三所 一种制备氢原子频标的吸气片工艺方法
CN105617976A (zh) * 2014-09-25 2016-06-01 张红 真空绝热板用吸气剂及真空绝热板
EP3012020B1 (de) * 2014-10-24 2020-03-04 Samsung Electronics Co., Ltd. Gasadsorbtionsmaterial und verwendung eines vakuumisoliermaterial damit
CN110023623B (zh) * 2016-11-28 2021-05-18 大学共同利用机关法人高能量加速器研究机构 非蒸散型吸气剂涂敷部件、容器、制法、装置
CN107983296A (zh) * 2017-12-09 2018-05-04 芜湖瑞德机械科技有限公司 绝热气瓶用氧化钯复合物以及制备方法
CN110918045B (zh) * 2019-12-10 2022-08-05 西华大学 一种常温吸气复合材料及其制品
CN112323015A (zh) * 2020-11-05 2021-02-05 昆山联德电子科技有限公司 一种吸气薄膜及其制备方法和应用
US20240204694A1 (en) 2021-05-31 2024-06-20 Saginomiya Seisakusho, Inc. Electret Device

Family Cites Families (55)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US35725A (en) * 1862-06-24 Improvement in g ig sav
DD25282A (de)
GB467001A (en) 1935-09-19 1937-06-09 British Thomson Houston Co Ltd Improvements in and relating to methods of wetting or coating one metal with another
DE1149962B (de) 1956-04-10 1963-06-06 Sherritt Gordon Mines Ltd Verfahren zum stromlosen Abscheiden von Metallueberzuegen auf Metallpulvern
US3203901A (en) 1962-02-15 1965-08-31 Porta Paolo Della Method of manufacturing zirconiumaluminum alloy getters
US3350846A (en) 1964-12-29 1967-11-07 Tyco Laboratories Inc Separation of hydrogen by permeation
BE755337A (fr) * 1969-08-27 1971-02-26 Union Carbide Corp Matiere absorbant l'hydrogene pour les cellules electrochimiques
DE2212740A1 (de) * 1971-07-01 1973-01-25 Hughes Aircraft Co Einen evakuierten behaelter umfassende anordnung
US3794610A (en) 1971-08-09 1974-02-26 Loctite Corp Plasticized anaerobic composition
US4046712A (en) * 1972-11-30 1977-09-06 United Kingdom Atomic Energy Authority Catalysts sputtered on substantially nonporous low surface area particulate supports
US3963826A (en) * 1974-02-15 1976-06-15 The United States Of America As Represented By The United States Energy Research And Development Administration Low temperature, low pressure hydrogen gettering
DE2448738C3 (de) 1974-10-12 1978-08-03 W.C. Heraeus Gmbh, 6450 Hanau Metallischer Dünnschicht-Verbundwerkstoff
IT1037196B (it) 1975-04-10 1979-11-10 Getters Spa Elemento di combustibile per reattore nucleare impiegante zr2ni come metallo getterante
JPS51148193A (en) * 1975-06-13 1976-12-20 Toshiba Corp A nuclear fuel element
JPS52103879A (en) * 1976-02-25 1977-08-31 Toshiba Corp Metallic vapor discharge lamp
IT1110271B (it) 1979-02-05 1985-12-23 Getters Spa Lega ternaria getterante non evaporabile e metodo di suo impiego per l'assorbimento di acqua,vapore d'acqua,di altri gas
US4272349A (en) * 1979-02-07 1981-06-09 Toyota Jidosha Kogyo Kabushiki Kaisha Catalyst supported oxygen sensor with sensor element having catalyst and protective layers and a method of manufacturing same
IT1115156B (it) 1979-04-06 1986-02-03 Getters Spa Leghe zr-fe per l'assorbimento di idrogeno a basse temperature
DE3210381C1 (de) 1982-03-20 1983-05-19 Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart Legierung zum Speichern von Wasserstoff
DE3234671C1 (de) 1982-09-18 1983-06-01 Dornier System Gmbh, 7990 Friedrichshafen Verfahren zur Beschichtung von Wasserstoff-Speichermaterial mit Palladium
SU1141920A1 (ru) * 1983-11-29 1985-08-30 Предприятие П/Я А-1758 Нераспыл емый газопоглотитель
JPS61104053A (ja) * 1984-10-27 1986-05-22 Nippon Yakin Kogyo Co Ltd ジルコニウム系水素吸蔵用合金
JPS6227301A (ja) * 1985-07-26 1987-02-05 Nippon Yakin Kogyo Co Ltd 水素吸蔵合金
US4668424A (en) 1986-03-19 1987-05-26 Ergenics, Inc. Low temperature reusable hydrogen getter
NL8601674A (nl) 1986-06-26 1988-01-18 Philips Nv Elektrochemische cel.
ES2026248T3 (es) * 1987-05-13 1992-04-16 N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken Lampara electrica provista de un absorbente.
US4839085A (en) 1987-11-30 1989-06-13 Ergenics, Inc. Method of manufacturing tough and porous getters by means of hydrogen pulverization and getters produced thereby
KR900702541A (ko) 1988-08-29 1990-12-07 마리안 제이 오스톨스키 귀금속 도금된 금속입자 및 이러한 입자로 얻은 전도성 재료의 제조방법
JPH0382734A (ja) 1989-08-25 1991-04-08 Nippon Yakin Kogyo Co Ltd 希土類金属系水素吸蔵合金
US5656567A (en) * 1990-07-31 1997-08-12 Pgp Industries, Inc. Self-gettering catalysts
JP2977606B2 (ja) * 1990-11-29 1999-11-15 日本パイオニクス株式会社 希ガスの精製方法
IT1244689B (it) * 1991-01-25 1994-08-08 Getters Spa Dispositivo per eliminare l'idrogeno da una camera a vuoto, a temperature criogeniche,specialmente in acceleratori di particelle ad alta energia
US5238469A (en) * 1992-04-02 1993-08-24 Saes Pure Gas, Inc. Method and apparatus for removing residual hydrogen from a purified gas
JP2694576B2 (ja) * 1992-06-08 1997-12-24 サエス ゲッタース ソチエタ ペル アツィオニ 熱絶縁性ジャケット,詳細にはジュワーまたは他の極低温装置のジャケットを排気するための改善されたプロセス
US5451474A (en) 1994-04-04 1995-09-19 Motorola, Inc. Metal hydride hydrogen storage electrodes
IT1269978B (it) 1994-07-01 1997-04-16 Getters Spa Metodo per la creazione ed il mantenimento di un'atmosfera controllata in un dispositivo ad emissione di campo tramite l'uso di un materiale getter
TW287117B (de) * 1994-12-02 1996-10-01 Getters Spa
US6069111A (en) * 1995-06-02 2000-05-30 Nissan Motor Co., Ltd. Catalysts for the purification of exhaust gas and method of manufacturing thereof
US6110807A (en) * 1995-06-07 2000-08-29 Saes Getters S.P.A. Process for producing high-porosity non-evaporable getter materials
JPH0924234A (ja) * 1995-07-07 1997-01-28 Ngk Insulators Ltd 気体分離体、気体分離部材およびその製造方法
DE69709313T2 (de) * 1996-02-09 2002-07-25 Saes Getters S.P.A., Lainate Kombination von materialen für die niedertemperaturanregung der aktivierung von gettermaterialien und damit hergestellte gettervorrichtungen
US6037033A (en) * 1996-07-08 2000-03-14 Hunter; Rick Cole Insulation panel
IT1283484B1 (it) 1996-07-23 1998-04-21 Getters Spa Metodo per la produzione di strati sottili supportati di materiale getter non-evaporabile e dispositivi getter cosi' prodotti
JP3456346B2 (ja) * 1996-08-30 2003-10-14 富士電機株式会社 ガスセンサ用触媒及びその製造方法
US6673400B1 (en) * 1996-10-15 2004-01-06 Texas Instruments Incorporated Hydrogen gettering system
NL1004724C2 (nl) 1996-12-09 1998-06-11 Hoverdale N V Doseereenheid.
FR2760089B1 (fr) * 1997-02-26 1999-04-30 Org Europeene De Rech Agencement et procede pour ameliorer le vide dans un systeme a vide tres pousse
RU2118231C1 (ru) * 1997-03-28 1998-08-27 Товарищество с ограниченной ответственностью "ТЕХНОВАК+" Способ получения неиспаряемого геттера и геттер, полученный этим способом
IT1290451B1 (it) * 1997-04-03 1998-12-03 Getters Spa Leghe getter non evaporabili
US6074973A (en) * 1998-03-20 2000-06-13 Engelhard Corporation Catalyzed hydrocarbon trap material and method of making the same
ITMI981245A1 (it) * 1998-06-03 1999-12-03 Getters Spa Processo per la produzione di pannelli in fibre metalliche funzionalizzati con catalizzatori e pannelli cosi' prodotti
US6232264B1 (en) * 1998-06-18 2001-05-15 Vanderbilt University Polymetallic precursors and compositions and methods for making supported polymetallic nanocomposites
IT1317951B1 (it) * 2000-05-30 2003-07-21 Getters Spa Leghe getter non evaporabili
US6514471B1 (en) * 2000-10-31 2003-02-04 Air Products And Chemicals, Inc. Removing fluorine from semiconductor processing exhaust gas
US6423575B1 (en) * 2001-07-27 2002-07-23 Dean Tran Hydrogen gettering structure including silver-doped palladium layer to increase hydrogen gettering of module component and semiconductor device module having such structure, and methods of fabrication

Also Published As

Publication number Publication date
US20040101686A1 (en) 2004-05-27
US6682817B1 (en) 2004-01-27
CA2339155A1 (en) 2000-12-14
DE20023858U1 (de) 2007-03-01
EP1101237B1 (de) 2004-08-25
AU5102600A (en) 2000-12-28
KR20010072216A (ko) 2001-07-31
US20030203105A1 (en) 2003-10-30
EP1101237B2 (de) 2017-08-16
CN1149609C (zh) 2004-05-12
CA2339155C (en) 2008-05-27
WO2000075950A1 (en) 2000-12-14
TW586135B (en) 2004-05-01
DE60013228T3 (de) 2018-02-22
KR100702710B1 (ko) 2007-04-02
CN1313998A (zh) 2001-09-19
JP4662666B2 (ja) 2011-03-30
JP2003501556A (ja) 2003-01-14
DE60013228D1 (de) 2004-09-30
EP1101237A1 (de) 2001-05-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60013228T2 (de) Sorptionsfähige verbundwerkstoffe die unabhängig sind von aktivierungsbehandlungen und verfahren zur herstellung
DE3509465C2 (de) Verfahren zur Herstellung poröser, nicht-verdampfbarer Gettereinrichtungen, so hergestellte Gettereinrichtungen und ihre Verwendung
DE69735961T2 (de) Kombination von Materialien für die Niedertemperaturanregung der Aktivierung von Getter-Materialien sowie damit hergestellte Getter-Vorrichtungen
DE69612972T2 (de) Nanokristallines material auf mg-basis und dessen verwendung zum transport und zum speichern von wasserstoff
DE60105412T2 (de) Nicht verdampfbare getterlegierung
DE3003114C2 (de)
DE69606475T2 (de) Kombination von Gettermaterialen und sie enthaltende Vorrichtung
DE3687680T2 (de) Verwendung polykristalliner magnetischer substanzen zur magnetischen abkuehlung.
DE69515014T2 (de) Verfahren zur Herstellung eines hochporösen nicht verdampfbaren Gettermaterials und damit hergestelltes Material
DE60318865T2 (de) Getterzusammensetzung die reaktivierbar ist bei niedriger temperatur nach aussetzung reaktiver gase bei höherer temperatur
DE69203651T2 (de) Verfahren zur Sorption von Gasresten durch eine nicht-aufgedampfte Bariumgetter-Legierung.
DE69817775T2 (de) Verfahren zur verbesserung eines vakuums in einem hochvakuumsystem
DE2225378C3 (de) Verfahren zum Borieren refraktärer Metalle und deren Legierungen
DE69006989T2 (de) Wasserstoffspeicherkörper.
DE69205050T2 (de) Verfahren zur Sorption von Restgasen, insbesondere von Stickstoff mittels eines nichtverdampfbaren Bariumgetters.
DE60025876T2 (de) Hochaktiviertes, wasserstoffhaltiges Material und Verfahren zu dessen Herstellung
DE3234671C1 (de) Verfahren zur Beschichtung von Wasserstoff-Speichermaterial mit Palladium
DE69434444T2 (de) Elektrode aus einer wasserstoffabsorbierenden Legierung
DE725521C (de) Entladungsgefaess mit im Innern angeordneten, hochschmelzenden, auch bei Betriebstemperatur gasbindenden Metallen
DE2320553C3 (de) Verfahren zur Herstellung eines plasmagespritzten Berylliumgegenstandes
DE60022045T2 (de) Getter enthaltende vorrichtungen zur verdampfung von kalzium
DE3814389A1 (de) Verfahren zur restgasminderung in hochvakuumanlagen durch getterschichten und deren erzeugung sowie entsprechend beschichtete hochvakuumanlagen
DE10301175A1 (de) Pulvermetallurgisch hergestelltes oder bearbeitetes Bauteil sowie Verfahren zu seiner Herstellung
RU2251173C2 (ru) Композитные материалы, обладающие способностью к сорбции водорода независимо от их активационной обработки, и способы их получения
AT242210B (de) Verfahren zur Herstellung einer Gasdiffusionselektrode

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition