SU1141920A1 - Нераспыл емый газопоглотитель - Google Patents

Нераспыл емый газопоглотитель Download PDF

Info

Publication number
SU1141920A1
SU1141920A1 SU833667835A SU3667835A SU1141920A1 SU 1141920 A1 SU1141920 A1 SU 1141920A1 SU 833667835 A SU833667835 A SU 833667835A SU 3667835 A SU3667835 A SU 3667835A SU 1141920 A1 SU1141920 A1 SU 1141920A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
hydrogen
getter
gas
active material
protective shell
Prior art date
Application number
SU833667835A
Other languages
English (en)
Inventor
А.К. Баялиев
Ю.М. Пустовойт
В.Л. Столяров
Original Assignee
Предприятие П/Я А-1758
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-1758 filed Critical Предприятие П/Я А-1758
Priority to SU833667835A priority Critical patent/SU1141920A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1141920A1 publication Critical patent/SU1141920A1/ru

Links

Landscapes

  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)

Abstract

НЕРАСПЫЛЯЕМЫЙ ГАЗОПОГЛОТИ;ТЕЛЬ , содержащий активный материал, помещенный в защитную об.олочку из материала, проницаемого дл  водорода, .отличающийс  тем, что, с целью увеличени  скорости откачки газопоглотител  по водороду, расширени  спектра откачиваемых газов и ускорени  процесса регенерации, защитна  оболочка выполнена из сло  паллади , соприкасающегос  с поверхностью активного материала по всему микрорельефу, минимальна  толщина сло  составл ет один мономолекул рный слой, а максимальна  толщина определ етс  из соотношени  oi YFS где К - константа, определ ема  процессом диффузии в системе твердое тело - газ, с кг м ; . Р - максимальное давление водорода в стационарном потоке, Па;. (Л Е - теплота диффузии, Дж.кмоль ; R- универсальна  газова  посто нна , кмоль ; Т- рабоча  температура газопоглотител , К; 5 - удельна  скорость откачки по водороду, . ;о ю

Description

I1141
Изобретение относитс  к вакуумной технике, в частности к нераспьш емым геттерам, и может найти применение как эффективное средство дл  создани  и поддержани  высокого вакуума в раз- 5 личных установках, в том числе в установках термо дерного синтеза.
Известны газопоглотители, представл юшзне собой спеченную или спрессованную смесь порошков на основе ме-Ю таллов из группы Zn, Ti, Th, Та, Hf, Mb, V CO Эти газопоглотители обладают высокоразвитой поверхностью и сравнительно большой сорбционной способностью к активным газам. Одна- 15 ко эти газопоглотители подвержены отравлению вод ным паром, присутствующим в низко- и высоковакуумных системах.
Наиболее близким по техническому 20 решению  вл етс  нераспып емый газопоглотитель , в котором активный материал заключен в защитную оболочку, селективно пропускающую водород L2j.
Недостатки известной конструкции 25 заключаютс  в следующем
-относительно больша  толщина стенки оболочки, выполн ющей Фоль конструктивного элемента, что снижает скорость откачки;30
-ограниченный спектр откачиваемых газов - практически откачиваетс  один водород,
-мала  скорость обезгаживани  (регенерации) газопоглотител , что j приводит к увеличению энергозатрат
на этой операции.
Целью изобретени   вл етс  увеличение скорости откачки газопоглотител  по водороду, расширение спектра 4о откачиваемых газов и ускорение процесса регенерации.
Цель достигаетс  тем, что в нераспыл емом газопоглотителе, содержащем активный материал, помещенный в за- 45 щитную оболочку из материала, проницаемого дл  водорода, защитна  оболочка выполнена из сло  паллади , соприкасающегос  с поверхностью активного материала по всему микрорелье-50 фу, причем минимальна  толщина сло  паллади  составл ет один мономолекул рный слой, а максимальна  толщина сло  определ етс  из соотношени 
2RT
К
ui
fTS
202
где К - константа, определ ема  процессом диффузии дл  данной системы твердое тело-гаэ, с. ;
Р - максимальное давление водорода в стационарном потоке . Па;
Е - теплота диффузии, Дж-кмоль; .Т - рабоча  температура палладиевого сло  в момент откачки . К;
S - удельна  скорость откачки
газопоглотител  по водороду,
М3..с-1.м2 .
R- универсальна  газова  посто нна , Лж-К кмоль .
На фиг. 1 представлена конструкци  нераспыл емого газопоглотител , состо ща  из металлической ленты 1, слоев активного материала 2 и тонких пленок паллади . Обезгаживани  и нагрев гaзoпo лoт,итeл  осуществл ютс  пр мым пропусканием тока через металлическую подложку 3. На фиг. 2 изображены зависимости скорости откачки по водороду и давлени  от температуры .
Пределы толщин сло  паллади  .определены исход  из требований обеспечить увеличение скорости откачки, расширение спектра откачиваемых газов и ускорение процесса регенерации, а также из эксплуатационных требований к газопоглотителю в каждом конкретном случае.
Положительный.эффект от использовани  газопоглотител  наблюдаетс  при -условии сплошности палладиевого покрыти , т.е. его толщина должна быть не менее одного молекул рного сло .
Толщина сло  паллади  зависит от конкретных эксплуатационных требований и определ етс  по приведенному вьшге соотношению.
Так, по требуемой скорости откачки и рабочей температуре можно определить необходимую толщину сло  паллади .
Долговечность газопоглотител  определ етс  в основном скоростью испарени  палладиевого-покрыти , т.е. рабочей температурой.
Ниже приводитс  пример реализации конструкции нераспыл емого газопоглотител .
На ленту из нержавеющей стали толщиной 0,15 мм и шириной 14 мм
31
наносш с двух сторон методом плазменного напылени  порошок титана. Слои имеют толщину 0,15 мм и обладают отношением фактической поверхности к геометрической около 300. Затем в вакууме при давлении инертного газа, например гели , Па с двух сторон напылением с резистивпого источника нанос т пленку паллади  толщиной м. Активирование газопоглотител  заключаетс  в прогреве его при температуре 1000 К в течение 30 мин при давлении не хуже ЫО- Па.
На фиг. 2 показаны графики зави- . симостей ме сду удельной скоростью откачки по водороду (SHp и давлением водорода (PHj) дл  титанового и цирконийапюминиевого нераспыл емых геттеров (газопоглотителей) с тонким палладиевым покрытием и без него при различны:: температурах геттеров. По оси абсцисс отложены значени  давлени  водорода (РН, Па) над поверхностью геттера, а по оси юрдинат значение удельной скорости откачки водорода (Зц , л.с . см). Крива  4 есть зависимость S ц (.(Рц) дл  цирконийалюминиевого нераспыл емого геттера с.тонким палладиевым покрытием в диапазоне температур от. 20 до 500°С. Кривые 5 и 6 - аналогичные зависимости дл . титанового нерас пыл емого геттера с тонким палладиевым покрытием при температурах соот
204
ветственно 20 и 400С. Дл  сравнени  крива  7 изображает зависимость дл  цирконийалюминиевого нераспьш емого геттера без папладиевого покрыти  при
температуре 400 С.
Физические процессы, сопровождаюрще работу газопоглотител  с тонким палладиевым покрытием, не могут быть объ снены как следствие простого
экранировани  нераспыл емого геттера избирательной к водороду оболочкой. Така  оболочка толщиной уже в несколь .ко микрон, во-первых, уменьшала бы активность газопоглотител  по водороДУ (хот  бы при комнатной температуре ), и во-вторых, она бы преп тствовала сорбции других газов (СН, СО, С02), чего в эксперименте не наблюдалось . Объ снение эффекта действи 
тонкого папладиевого покрыти  св зано с состо нием поверхности сло  паллади  на границе ее контактов с материалом нераспыл емого геттера и наличием самого нераспьш емого геттера .
вблизи этой границы.
Положительный эффект, достигаемый от использовани  изобретений, состоит в увеличении скорости откачки газопоглотител  по водороду; расширении по сравнению с прототипом спектра откачиваемых газов; стойкости к воздействию вод ного пара; ускорении процесса регенерации с одновременным
сокращением энергозатрат на него.
N
«u :5

Claims (1)

  1. НЕРАСПЫЛЯЕМЫЙ ГАЗОПОГЛОТИ-
    ТЕЛЬ, содержащий активный материал, помещенный в защитную оболочку из материала, проницаемого для водорода, отличающийся тем, что, с целью увеличения скорости откачки газопоглотителя по водороду, расширения спектра откачиваемых газов и ускорения процесса регенерации, защитная оболочка выполнена из слоя палладия, соприкасающегося с поверхно стью активного материала по всему микрорельефу, прийем минимальная толщина слоя составляет один мономолекулярный слой, а максимальная толщина определяется из соотношения где К - константа, определяемая процессом диффузии в системе твердое тело - газ, с2 кг'1 м .
    Р - максимальное давление водорода в стационарном потоке, §
    Па;
    Е- теплота диффузии, Дж.кмоль·1 ;
    R- универсальная газовая постоянная, Дж-К~1 кмоль-1;
    Т— рабочая температура газопоглотителя, К;
    5 - удельная скорость откачки по водороду, м1с-1м*2.
    SU ,,.1141920
    Фиг 1
SU833667835A 1983-11-29 1983-11-29 Нераспыл емый газопоглотитель SU1141920A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833667835A SU1141920A1 (ru) 1983-11-29 1983-11-29 Нераспыл емый газопоглотитель

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833667835A SU1141920A1 (ru) 1983-11-29 1983-11-29 Нераспыл емый газопоглотитель

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1141920A1 true SU1141920A1 (ru) 1985-08-30

Family

ID=21091093

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU833667835A SU1141920A1 (ru) 1983-11-29 1983-11-29 Нераспыл емый газопоглотитель

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1141920A1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0262815A1 (en) * 1986-09-27 1988-04-06 THORN EMI plc Hydrogen getter and method of manufacture
WO2000075950A1 (en) * 1999-06-02 2000-12-14 Saes Getters S.P.A. Composite materials capable of hydrogen sorption independently from activating treatments and methods for the production thereof

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Патент CIUA № 3926832, кл. 252-181.6, опублик. 1975. 2. Серебренников В.В. и др. Источники света и редкоземельные элементы. Изд. Томского университета, 1981, с. 37 (прототип). *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0262815A1 (en) * 1986-09-27 1988-04-06 THORN EMI plc Hydrogen getter and method of manufacture
WO2000075950A1 (en) * 1999-06-02 2000-12-14 Saes Getters S.P.A. Composite materials capable of hydrogen sorption independently from activating treatments and methods for the production thereof
US6682817B1 (en) 1999-06-02 2004-01-27 Saes Getters S.P.A. Composite materials capable of hydrogen sorption comprising palladium and methods for the production thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5365742A (en) Device and process for the removal of hydrogen from a vacuum enclosure at cryogenic temperatures and especially high energy particle accelerators
EP0250487B1 (en) Evacuated solar collector tube
EP0286281A1 (en) Hydrogen pump for vacuum insulation jackets
RU2007134254A (ru) Гибкий многослойный газопоглотитель
JP2006307995A (ja) 断熱体
KR101605255B1 (ko) 7불화 요오드 유래 불화 요오드 화합물의 회수 방법 및 회수 장치
Anus et al. Catalytic thermal decomposition of tetrafluoromethane (CF4): A review
SU1141920A1 (ru) Нераспыл емый газопоглотитель
US6554970B1 (en) Arrangement and method for improving vacuum in a very high vacuum system
US20170274349A1 (en) Gas adsorbent and vacuum thermal insulation material including gas adsorbent
Kunimori et al. Plasma-induced nitrogen chemisorption on a ruthenium black catalyst: formation of NH 3 by hydrogenation of the chemisorbed nitrogen
AU617900B2 (en) A process for the separation of carbon dioxide
CN101821020A (zh) 由前体单体沉积氟化层的方法
JP2004008943A (ja) 排ガスの浄化方法
CN112596279B (zh) 碳氟/钯/镁-钌气致调光薄膜及其制备方法
JP2002020514A (ja) フッ素樹脂の表面改質方法
Giorgi et al. A new Ti-based non-evaporable getter
Redhead Modeling the pump‐down of a reversibly adsorbed phase. II. Multilayer coverage
RU2034084C1 (ru) Геттерный сплав
JPH08188658A (ja) 基材の表面処理方法
JP4086918B2 (ja) 強誘電体薄膜処理排ガスの除害処理方法
CA1300447C (en) Evacuated solar collector tube
JPS5745342A (en) Gas adsorbent consisting of carbonaceous material coated on carrier
JPS63190645A (ja) 排ガス浄化剤
JPS6087857A (ja) 酸化触媒