ITMI20090917A1 - Getter composito multistrato - Google Patents
Getter composito multistrato Download PDFInfo
- Publication number
- ITMI20090917A1 ITMI20090917A1 IT000917A ITMI20090917A ITMI20090917A1 IT MI20090917 A1 ITMI20090917 A1 IT MI20090917A1 IT 000917 A IT000917 A IT 000917A IT MI20090917 A ITMI20090917 A IT MI20090917A IT MI20090917 A1 ITMI20090917 A1 IT MI20090917A1
- Authority
- IT
- Italy
- Prior art keywords
- palladium
- multilayer composite
- composite getter
- layer
- based alloys
- Prior art date
Links
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims description 35
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 88
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 44
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 31
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 20
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 17
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 239000013047 polymeric layer Substances 0.000 claims description 16
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 238000004146 energy storage Methods 0.000 claims description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 11
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 10
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims description 10
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 9
- -1 polysiloxanes Polymers 0.000 claims description 7
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims description 6
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 3
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 claims description 3
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 claims description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 claims description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 claims description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 claims description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000005234 chemical deposition Methods 0.000 claims description 2
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 claims description 2
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 claims description 2
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 claims description 2
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000000976 ink Substances 0.000 claims description 2
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 claims description 2
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 claims description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 claims description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 claims description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 claims description 2
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 claims description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims description 2
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 claims description 2
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 claims description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 claims description 2
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 claims description 2
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 claims description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 2
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 claims description 2
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910002668 Pd-Cu Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000011244 liquid electrolyte Substances 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N palladium silver Chemical compound [Pd].[Ag] SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXVIUOOYXNDBDN-UHFFFAOYSA-N palladium vanadium Chemical compound [V].[Pd].[Pd].[Pd].[Pd].[Pd].[Pd].[Pd].[Pd] FXVIUOOYXNDBDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 230000001846 repelling effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000006557 surface reaction Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B3/00—Hydrogen; Gaseous mixtures containing hydrogen; Separation of hydrogen from mixtures containing it; Purification of hydrogen
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B3/00—Hydrogen; Gaseous mixtures containing hydrogen; Separation of hydrogen from mixtures containing it; Purification of hydrogen
- C01B3/0005—Reversible uptake of hydrogen by an appropriate medium, i.e. based on physical or chemical sorption phenomena or on reversible chemical reactions, e.g. for hydrogen storage purposes ; Reversible gettering of hydrogen; Reversible uptake of hydrogen by electrodes
- C01B3/001—Reversible uptake of hydrogen by an appropriate medium, i.e. based on physical or chemical sorption phenomena or on reversible chemical reactions, e.g. for hydrogen storage purposes ; Reversible gettering of hydrogen; Reversible uptake of hydrogen by electrodes characterised by the uptaking medium; Treatment thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B3/00—Hydrogen; Gaseous mixtures containing hydrogen; Separation of hydrogen from mixtures containing it; Purification of hydrogen
- C01B3/0005—Reversible uptake of hydrogen by an appropriate medium, i.e. based on physical or chemical sorption phenomena or on reversible chemical reactions, e.g. for hydrogen storage purposes ; Reversible gettering of hydrogen; Reversible uptake of hydrogen by electrodes
- C01B3/001—Reversible uptake of hydrogen by an appropriate medium, i.e. based on physical or chemical sorption phenomena or on reversible chemical reactions, e.g. for hydrogen storage purposes ; Reversible gettering of hydrogen; Reversible uptake of hydrogen by electrodes characterised by the uptaking medium; Treatment thereof
- C01B3/0026—Reversible uptake of hydrogen by an appropriate medium, i.e. based on physical or chemical sorption phenomena or on reversible chemical reactions, e.g. for hydrogen storage purposes ; Reversible gettering of hydrogen; Reversible uptake of hydrogen by electrodes characterised by the uptaking medium; Treatment thereof of one single metal or a rare earth metal; Treatment thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B3/00—Hydrogen; Gaseous mixtures containing hydrogen; Separation of hydrogen from mixtures containing it; Purification of hydrogen
- C01B3/0005—Reversible uptake of hydrogen by an appropriate medium, i.e. based on physical or chemical sorption phenomena or on reversible chemical reactions, e.g. for hydrogen storage purposes ; Reversible gettering of hydrogen; Reversible uptake of hydrogen by electrodes
- C01B3/001—Reversible uptake of hydrogen by an appropriate medium, i.e. based on physical or chemical sorption phenomena or on reversible chemical reactions, e.g. for hydrogen storage purposes ; Reversible gettering of hydrogen; Reversible uptake of hydrogen by electrodes characterised by the uptaking medium; Treatment thereof
- C01B3/0031—Intermetallic compounds; Metal alloys; Treatment thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B3/00—Hydrogen; Gaseous mixtures containing hydrogen; Separation of hydrogen from mixtures containing it; Purification of hydrogen
- C01B3/0005—Reversible uptake of hydrogen by an appropriate medium, i.e. based on physical or chemical sorption phenomena or on reversible chemical reactions, e.g. for hydrogen storage purposes ; Reversible gettering of hydrogen; Reversible uptake of hydrogen by electrodes
- C01B3/001—Reversible uptake of hydrogen by an appropriate medium, i.e. based on physical or chemical sorption phenomena or on reversible chemical reactions, e.g. for hydrogen storage purposes ; Reversible gettering of hydrogen; Reversible uptake of hydrogen by electrodes characterised by the uptaking medium; Treatment thereof
- C01B3/0078—Composite solid storage mediums, i.e. coherent or loose mixtures of different solid constituents, chemically or structurally heterogeneous solid masses, coated solids or solids having a chemically modified surface region
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B3/00—Hydrogen; Gaseous mixtures containing hydrogen; Separation of hydrogen from mixtures containing it; Purification of hydrogen
- C01B3/0005—Reversible uptake of hydrogen by an appropriate medium, i.e. based on physical or chemical sorption phenomena or on reversible chemical reactions, e.g. for hydrogen storage purposes ; Reversible gettering of hydrogen; Reversible uptake of hydrogen by electrodes
- C01B3/001—Reversible uptake of hydrogen by an appropriate medium, i.e. based on physical or chemical sorption phenomena or on reversible chemical reactions, e.g. for hydrogen storage purposes ; Reversible gettering of hydrogen; Reversible uptake of hydrogen by electrodes characterised by the uptaking medium; Treatment thereof
- C01B3/0084—Solid storage mediums characterised by their shape, e.g. pellets, sintered shaped bodies, sheets, porous compacts, spongy metals, hollow particles, solids with cavities, layered solids
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01G—COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
- C01G55/00—Compounds of ruthenium, rhodium, palladium, osmium, iridium, or platinum
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G11/00—Hybrid capacitors, i.e. capacitors having different positive and negative electrodes; Electric double-layer [EDL] capacitors; Processes for the manufacture thereof or of parts thereof
- H01G11/14—Arrangements or processes for adjusting or protecting hybrid or EDL capacitors
- H01G11/20—Reformation or processes for removal of impurities, e.g. scavenging
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G9/00—Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
- H01G9/004—Details
- H01G9/08—Housing; Encapsulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
- H01M10/42—Methods or arrangements for servicing or maintenance of secondary cells or secondary half-cells
- H01M10/52—Removing gases inside the secondary cell, e.g. by absorption
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G11/00—Hybrid capacitors, i.e. capacitors having different positive and negative electrodes; Electric double-layer [EDL] capacitors; Processes for the manufacture thereof or of parts thereof
- H01G11/78—Cases; Housings; Encapsulations; Mountings
- H01G11/82—Fixing or assembling a capacitive element in a housing, e.g. mounting electrodes, current collectors or terminals in containers or encapsulations
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/13—Energy storage using capacitors
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/32—Hydrogen storage
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geology (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Electric Double-Layer Capacitors Or The Like (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
- Secondary Cells (AREA)
Description
GETTER COMPOSITO MULTISTRATO
La presente invenzione si riferisce ad un getter composito multistrato, un metodo per la sua produzione, ed a dei dispositivi elettrochimici per Γ immagazzinamento di energia che impiegano detti getter compositi multistrato.
L’impiego di materiali getter per la rimozione di impurezze gassose ha trovato impiego in svariati campi applicativi, quali camere di processo per dispositivi a semiconduttore, purificazione di gas di processo, elementi di pompaggio per camere evacuate. Tuttavia uno dei campi dove il loro impiego è particolarmente apprezzato risulta quello della rimozione di specie nocive dal volume interno di dispositivi ermetici o sigillati, dove la presenza di tali specie nocive pregiudica il funzionamento del dispositivo.
In questo caso i meccanismi che compromettono la funzionalità del dispositivo sono essenzialmente di due tipi, il primo dei quali è dovuto ad una interazione chimica delle specie nocive con uno o più componenti del dispositivo, interazione cha altera le proprietà di tali componenti pregiudicandone la funzionalità. Esempi di tali interazioni possono essere, tra gli altri, una perdita di trasparenza per dispositivi ottici, od un degrado nelle caratteristiche elettriche dei componenti, alterando la loro resistività e quindi la loro funzionalità. In questo primo caso è molto importante che la concentrazione delle specie nocive, tipicamente in forma di gas, sia la più bassa possibile.
Un secondo meccanismo di degrado invece è associato ai rischi di rottura del dispositivo per eccessiva pressurizzazione dello stesso; questa problematica è presente in quei dispositivi dove le specie nocive sono prevalentemente gassose, e si ha una loro produzione associata al funzionamento del dispositivo stesso. In questo caso al malfunzionamento del dispositivo sono associati dei rischi di rottura meccanica del contenitore e quindi anche problemi inerenti la sicurezza.
Questo tipo di problematica è particolarmente sentito nel campo dei dispositivi elettrochimici per Γ immagazzinamento di energia, o come sono oramai comunemente definiti nel settore, dispositivi per l’energy Storage.
Nella vasta gamma e varietà dei dispositivi elettrochimici per Γ immagazzinamento di energia si possono individuare due grandi famiglie particolarmente importanti: i condensatori elettrolitici, con particolare riferimento a quelli che nel settore sono chiamati “aluminum capacitors” ed i supercondensatori o supercapacitor. Nel settore tecnico la differenza principale tra tali categorie di dispositivi risiede nel differente ordine di grandezza della capacità accumulata. In particolare nel caso dei condensatori elettrolitici di piccola taglia la capacità è tipicamente dell’ordine dei microfarad (μF), mentre per converso nel caso dei supercondensatori la capacità può anche essere 10.000 volte superiore.
Il problema della presenza di impurezze gassose all’interno di tali dispositivi è stato affrontato in vari modi, ad esempio le domande di brevetto WO 2007/066372 e WO 2008/148778, entrambe a nome della richiedente, utilizzavano dei sistemi polimerici multistrato, con il materiale getter disperso in un opportuno polimero e schermato dal contatto e dall’interazione con l’elettrolita da uno strato protettivo polimerico permeabile alle specie nocive, ma impermeabile all’elettrolita.
Un’altra soluzione, descritta nelle domande di brevetto WO 2008/080614 e WO 2008/148781, entrambe a nome della richiedente, prevede l’impiego di materiali getter racchiusi in un involucro polimerico permeabile alle specie nocive, ma impermeabile all’elettrolita.
Infine la domanda WO 2008/033560, anch’essa a nome della richiedente sfrutta un approccio completamente diverso, e descrive l’impiego di multistrati getter metallici, con particolare riferimento all’impiego di materiali comprendenti uno strato esterno di un metallo nobile, per la rimozione di idrogeno da dispositivi elettrochimici per Γ immagazzinamento di energia.
Quest’ultima soluzione appare ed è percepita nel settore, in merito alla rimozione di H2, come migliore rispetto alle precedenti in quanto l’impiego dei multistrati polimerici limita la quantità di materiale getter utilizzabile e conseguentemente, a parità di volume occupato dal sistema getter, risulta in una minore capacità. Le soluzioni con il materiale getter racchiuso in un involucro polimerico si sono rivelate invece intrinsecamente fragili, soprattutto nelle zone di giunzione dell’involucro. A questi fattori si aggiunge anche il fatto che nelle prime due soluzioni la presenza dello strato polimerico in generale rallenta l’assorbimento di idrogeno, mentre per converso il multistrato metallico getter, descritto in quanto tale nella domanda WO 2006/089068 a nome della richiedente, risulta possedere delle caratteristiche che si riteneva potessero renderlo compatibile con l’applicazione.
In particolare quest’ultima soluzione, pur essendo molto efficace nella rimozione di idrogeno nelle condizioni normali di utilizzo all’interno dei dispositivi elettrochimici per l’immagazzinamento di energia, ha sorprendentemente manifestato inattesi inconvenienti in talune condizioni particolari di impiego, in cui i materiali deputati alla rimozione dell’idrogeno diventavano essi stessi delle sorgenti gassose, portando quindi alla rottura del dispositivo.
La condizione principale che porta a questa inversione di comportamento risulta essere la presenza di un flusso di corrente con polarità invertita rispetto al normale funzionamento. Tale situazione può essere generata da un errore umano in fase di collegamento ed installazione del dispositivo, con associato un significativo rischio di sicurezza in ragione delle elevate quantità di gas che possono venire generate in tempi brevi, oppure quando la temperatura interna del dispositivo supera la temperatura nominale del condensatore (nel settore tipicamente definito come rated temperature del dispositivo), in quanto in questo caso si generano delle correnti alternate secondarie (nel settore definite come ripple current), la cui componente inversa risulta essere quella nociva per il dispositivo. Maggiori riferimenti e ragguagli sono rinvenibili in varie pubblicazioni, quali il libro Electronic Fundamentals & Applications edito nel 1970. L’intensità del fenomeno, e quindi l’associata generazione di gas, è direttamente proporzionale alla temperatura: in particolare questa comincia a diventare significativa quando la temperatura nel dispositivo supera del 5% la rated temperature specificata.
Scopo della presente invenzione è superare gli inconvenienti tuttora presenti nella tecnica nota con riferimento ai materiali getter metallici multistrato, con particolare ma non esclusivo riferimento al loro impiego in dispositivi elettrochimici per l’immagazzinamento di energia, ed in un suo primo aspetto consiste in un getter composito multistrato per la rimozione di idrogeno comprendente un supporto costituito essenzialmente da un materiale getter metallico con due superfici, in cui sopra almeno una di tali superfici è presente un primo strato di palladio o leghe a base di palladio, caratterizzato dal fatto che sopra detto primo strato di palladio o leghe a base di palladio è presente un secondo strato polimerico protettivo permeabile all’idrogeno. L’invenzione verrà meglio descritta nel seguito con riferimento ai disegni, dove:
• La figura 1 mostra una vista con spaccato di un getter composito multistrato secondo la presente invenzione;
• la figura 2 mostra una realizzazione alternativa per il getter composito multistrato secondo la presente invenzione;
• la figura 3 mostra una prima forma realizzativa di un dispositivo elettrochimico per l’immagazzinamento di energia comprendente un getter composito multistrato secondo la presente invenzione; e
• la figura 4 mostra una seconda forma realizzativa di un dispositivo elettrochimico per l’immagazzinamento di energia comprendente un getter composito multistrato secondo la presente invenzione.
Nelle precedenti figure le dimensioni ed i rapporti dimensionali di alcuni elementi, con particolare ma non esclusivo riferimento agli spessori degli strati costituenti il getter composito multistrato, sono stati alterati al fine di non compromettere la leggibilità della figura stessa.
In figura 1 è rappresentato un getter composito multistrato 10 realizzato secondo la presente invenzione, in cui sopra entrambe le superfici disponibili 12, 12’, dello strato di metallo getter 11, è disposto uno strato di metallo palladio o leghe a base di palladio 13, 13’, sul quale è disposto uno strato protettivo di materiale polimerico 14, 14’, permeabile all’ idrogeno.
Lo strato di metallo getter 11 agisce da supporto per gli altri strati ed in ragione di ciò, in alcune varianti realizzative, è possibile che lo strato di palladio o leghe a base di palladio ed il sovrastante strato di materiale polimerico non siano presenti lungo tutta la superficie dello strato getter, anche se la realizzazione preferita è quella mostrata in figura 1.
Una realizzazione alternativa è mostrata in figura 2; in questo caso solo su una delle superfici del supporto getter 11 è presente lo strato di palladio o leghe a base di palladio 13, con il sovrastante strato protettivo di materiale polimerico 14. Anche in questo caso valgono le stesse considerazioni precedentemente esposte in merito alla possibile ridotta superficie dello strato di palladio o leghe a base di palladio.
Quello che è importante ai fini della presente invenzione, è che lo strato di materiale polimerico copra essenzialmente tutto il deposito di palladio o leghe a base di palladio e che presenti una permeabilità all’idrogeno di almeno 0,1 xlO<'13>cm<3>cm cm<'2>s<'1>Pa<'1>a 25° C.
Per quanto concerne lo strato di materiale polimerico protettivo permeabile all’idrogeno, possono essere impiegati i seguenti polimeri: polisilossani quali il polidimetilsilossano, poliimmidi, polisolfoni, polimeri fluorurati, polialcheni, tra cui polietileni a varia densità, polietereterchetoni, polipirroli, poliuretani, poliesteri, policarbonati, polixileni, tra cui parilene, polistireni.
Come materiali getter utili alla realizzazione dello strato di supporto 11 possono essere utilizzati zirconio, ittrio o titanio, tra i quali preferito risulta essere l’impiego del titanio. Tali metalli possono contenere anche minime quantità di altri elementi metallici che non alterano significativamente le caratteristiche del supporto; tipicamente il livello di tali metalli non deve comunque superare il 20% in peso.
Per quanto concerne le leghe a base di palladio utilizzabili in alternativa al palladio stesso, preferito risulta essere l’impiego di leghe palladio-vanadio, palladionichel ed ancor più preferito l’impiego di leghe palladio-rame o palladio argento.
Per quanto concerne gli spessori degli strati del getter composito multistrato, lo spessore dello strato di materiale getter può essere compreso tra 20 e 500 micron (pm), preferibilmente tra 100 e 300 e per quanto concerne lo strato di palladio o leghe a base di palladio, tra 10 e 2000 nanometri (nm) e preferibilmente tra 20 e 250 nanometri.
Per quanto concerne lo spessore dello strato esterno di materiale polimerico, questo deve essere compreso tra 1 e 100 pm per non compromettere la velocità di assorbimento dell’idrogeno da parte del getter composito multistrato e garantire l’assenza di zone scoperte, che potrebbero portare alla formazione di idrogeno in condizioni anomale di funzionamento, ossia in presenza di correnti con polarità invertita.
In un suo secondo aspetto l’invenzione è inerente ad un metodo per la produzione di un getter composito multistrato secondo la presente invenzione, in cui il secondo strato polimerico a protezione del deposito dello strato di palladio o di leghe a base di palladio, permeabile all’idrogeno, viene depositato mediante spin coating, spray coating o screen printing.
In generale possono venire impiegate diverse tecniche per la deposizione del secondo strato polimerico sul secondo strato di palladio o leghe a base di palladio, T importante è che tali tecniche siano in grado di garantire una sufficiente uniformità e regolarità dello strato polimerico, oltre a garantire una sufficiente adesione tra il secondo strato, costituito dal palladio o leghe a base di palladio, e lo strato polimerico.
Tra le tecniche maggiormente atte alla realizzazione di depositi polimerici con le caratteristiche richieste vi sono appunto le tecniche di spin coating, spray coating e screen printing che qui non vengono descritte, in quanto tali tecniche sono ampiamente note ai tecnici del settore.
Per quanto concerne invece il processo per la formazione dello strato intermedio di palladio, processi particolarmente vantaggiosi risultano essere lo sputtering, evaporazione termica o per fascio elettronico, processi di deposizione elettrochimica od alternativamente processi di deposizione chimica noti nel settore con il termine electroless che non prevedono il passaggio di corrente, oppure utilizzanti particolari inchiostri contenti in soluzione il palladio o leghe a base di palladio.
In un suo terzo aspetto Tinvenzione consiste in un dispositivo elettrochimico per T immagazzinamento di energia contenente un elettrolita ed un getter composito multistrato secondo la presente invenzione.
In questo caso lo strato polimerico protettivo deve essere insolubile nel solvente elettrolitico ed impermeabile all’ elettrolita ed ai suoi componenti.
In una realizzazione preferita la permeabilità alTidrogeno dello strato polimerico deve essere almeno un ordine di grandezza superiore rispetto alla permeabilità all’ elettrolita od ai suoi componenti.
Tra i dispositivi elettrochimici per T immagazzinamento di energia, risultano essere particolarmente interessanti i condensatori elettrolitici, con particolare riferimento agli “aluminum capacitors” ed i supercondensatori o supercapacitor.
In questo caso risulta vantaggioso l’impiego di materiali polimerici per la realizzazione del secondo strato protettivo aventi caratteristiche di idrofobicità, ossia caratterizzati dal fatto di possedere una funzionalizzazione superficiale con gruppi non polari in grado di respingere acqua e composti polari.
Inoltre in questa specifica applicazione risulta essere molto vantaggioso l’impiego di polidimetisilossano o di poliimmidi.
In figura 3 è mostrata una prima modalità di impiego di un getter composito multistrato 10 all’interno di un dispositivo elettrochimico per l’immagazzinamento di energia 30 comprendente un contenitore ermetico 31, i cui elettrodi sono sotto forma di fogli sottili avvolti secondo una spirale 32 la cui vista in sezione è rappresentata da linee parallele verticali ravvicinate, immersa in un elettrolita liquido (non mostrato); i contatti elettrici 34, 34’ mettono in comunicazioni gli elettrodi con l’esterno del contenitore ermetico. Nella sezione centrale di tale condensatore è presente il getter composito multistrato 10. Il dispositivo elettrochimico mostrato in figura 3 presenta una geometria cilindrica, ma tale geometria non è vincolante per la realizzazione dell’invenzione, ad esempio un’altra forma geometrica preferita per tali condensatori, aventi il mezzo per l’assorbimento di impurezze nella parte centrale è il parallelepipedo.
In figura 4 è mostrata una seconda modalità realizzativa di un dispositivo elettrochimico per l’immagazzinamento di energia 40. In questo caso la struttura del dispositivo 40 comprende degli elettrodi avvolti a formare una spirale 42, essendo immersi in una soluzione elettrolitica (non mostrata). Su un lato di tale condensatore è disposto il getter composito multistrato secondo la presente invenzione.
Nella rappresentazione di figura 4 il getter composito multistrato è disposto lungo tutto il bordo interno del dispositivo, ma in una realizzazione più generale può essere disposto anche solo lungo una parte del dispositivo stesso.
Inoltre, in alcuni casi particolari i dispositivi possano contenere più elementi getter compositi secondo la presente invenzione; ad esempio questi possono essere presenti sia nella zona centrale del dispositivo, sia in quella perimetrale interna.
Claims (22)
- RIVENDICAZIONI 1. Getter composito multistrato (10) per la rimozione di idrogeno comprendente un supporto (11) costituito essenzialmente da un materiale getter metallico con due superfici (12, 13), in cui sopra almeno una di tali superfici è presente un primo strato di palladio o leghe a base di palladio (14), caratterizzato dal fatto che sopra detto primo strato di palladio o leghe a base di palladio (14) è presente un secondo strato polimerico protettivo (15) permeabile all’idrogeno.
- 2. Getter composito multistrato secondo la rivendicazione 1 in cui entrambe dette superfici (12, 13) presentano detto strato di palladio o leghe a base di palladio.
- 3. Getter composito multistrato secondo la rivendicazione 1 in cui solo una di dette superfici (12, 13) presenta detto strato di palladio o leghe a base di palladio.
- 4. Getter composito multistrato secondo una delle precedenti rivendicazioni in cui solo parte delle superfici (12, 13) del supporto è ricoperta dallo strato di palladio o leghe a base di palladio.
- 5. Getter composito multistrato secondo la rivendicazione 1 in cui la permeabilità all’idrogeno dello strato polimerico protettivo è maggiore o uguale a 0,1 xlO<'13>cm<3>cm cm<'2>s<'1>Pa<'1>
- 6. Getter composito multistrato secondo la rivendicazione 1 in cui detto secondo strato polimerico protettivo è scelto nel gruppo formato da: polisilossani, quali il polidimetilsilossano, poliimmidi, polisolfoni, polimeri fluorurati, polialcheni, tra cui polietileni a varia densità, polietereterchetoni, polipirroli, poliuretani, poliesteri, policarbonati, polixileni, tra cui parilene e polistireni.
- 7. Getter composito multistrato secondo la rivendicazione 1 in cui detto supporto è costituito essenzialmente da un metallo scelto nel gruppo formato da: zirconio, ittrio e titanio.
- 8. Getter composito multistrato secondo la rivendicazione 1 in cui dette leghe a base di palladio sono leghe Pd-Ag, Pd-Cu, Pd-V, Pd-Ni.
- 9. Getter composito multistrato secondo la rivendicazione 1 in cui lo spessore di detto supporto costituito essenzialmente da un materiale getter metallico è compreso tra 20 e 500 μm.
- 10. Getter composito multistrato secondo la rivendicazione 1 in cui lo spessore di detto strato di palladio o di leghe a base palladio è compreso tra 10 e 2000 nm.
- 11. Getter composito multistrato secondo la rivendicazione 1 in cui lo spessore di detto strato polimerico protettivo permeabile all’idrogeno è compreso tra 1 e 100 pm.
- 12. Metodo per la produzione di un getter composito multistrato secondo la rivendicazione 1 in cui detto secondo strato polimerico protettivo è prodotto mediante una tecnica scelta nel gruppo formato da: - spin coating; - spray coating; e - screen printing.
- 13. Metodo secondo la rivendicazione 12 in cui il deposito dello strato di palladio o di leghe a base palladio viene effettuato con una tecnica scelta nel gruppo formato da: - Processi di deposizione chimica, comprese deposizione elettrochimica e deposizione electroless, - sputtering; - evaporazione termica e a fascio elettronico; e - stampaggio di inchiostri contenenti palladio o leghe a base palladio.
- 14. Dispositivo elettrochimico per l’immagazzinamento di energia contenente un solvente, un elettrolita ed un getter composito multistrato secondo la rivendicazione 1.
- 15. Dispositivo elettrochimico secondo la rivendicazione 14 in cui detto strato polimerico è insolubile al solvente ed impermeabile rispetto all’ elettrolita e rispetto ai componenti dell’ elettrolita.
- 16. Dispositivo elettrochimico secondo la rivendicazione 15 in cui detto strato polimerico è idrofobico.
- 17. Dispositivo elettrochimico secondo la rivendicazione 15 in cui detto strato polimerico presenta una permeabilità all’idrogeno di almeno un ordine di grandezza superiore rispetto alla permeabilità all’ elettrolita od ai suoi componenti.
- 18. Dispositivo elettrochimico secondo la rivendicazione 14 in cui detto strato polimerico è costituito da polidimetilsilossano o poliimmidi.
- 19. Dispositivo elettrochimico secondo la rivendicazione 14 in cui detto getter composito multistrato è disposto nella porzione centrale del dispositivo.
- 20. Dispositivo elettrochimico secondo la rivendicazione 14 in cui detto getter composito multistrato è disposto lungo il perimetro o parte del perimetro del dispositivo.
- 21. Dispositivo elettrochimico secondo la rivendicazione 14 in cui detto dispositivo è un supercondensatore.
- 22. Dispositivo elettrochimico secondo la rivendicazione 14 in cui detto dispositivo è un condensatore elettrolitico.
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
IT000917A ITMI20090917A1 (it) | 2009-05-25 | 2009-05-25 | Getter composito multistrato |
CN2010800222346A CN102438938A (zh) | 2009-05-25 | 2010-05-19 | 多层复合吸气剂材料 |
KR1020117030185A KR101553098B1 (ko) | 2009-05-25 | 2010-05-19 | 다층 복합체 게터 |
EP10723035.1A EP2435361B1 (en) | 2009-05-25 | 2010-05-19 | Multilayer composite getter |
US13/265,536 US8289676B2 (en) | 2009-05-25 | 2010-05-19 | Multilayer composite getter |
JP2012512307A JP5312687B2 (ja) | 2009-05-25 | 2010-05-19 | 多層複合材ゲッター |
PCT/EP2010/056872 WO2010136364A1 (en) | 2009-05-25 | 2010-05-19 | Multilayer composite getter |
TW099116656A TW201111277A (en) | 2009-05-25 | 2010-05-25 | Multilayer composite getter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
IT000917A ITMI20090917A1 (it) | 2009-05-25 | 2009-05-25 | Getter composito multistrato |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
ITMI20090917A1 true ITMI20090917A1 (it) | 2010-11-26 |
Family
ID=41307810
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
IT000917A ITMI20090917A1 (it) | 2009-05-25 | 2009-05-25 | Getter composito multistrato |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8289676B2 (it) |
EP (1) | EP2435361B1 (it) |
JP (1) | JP5312687B2 (it) |
KR (1) | KR101553098B1 (it) |
CN (1) | CN102438938A (it) |
IT (1) | ITMI20090917A1 (it) |
TW (1) | TW201111277A (it) |
WO (1) | WO2010136364A1 (it) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9011627B2 (en) | 2007-10-05 | 2015-04-21 | Carver Scientific, Inc. | Method of manufacturing high permittivity low leakage capacitor and energy storing device |
US8940850B2 (en) | 2012-08-30 | 2015-01-27 | Carver Scientific, Inc. | Energy storage device |
CN105931837B (zh) | 2007-10-05 | 2018-11-06 | 卡弗科技公司 | 高电容率低漏电的电容器和能量存储器件及其形成方法 |
IT1402887B1 (it) | 2010-11-23 | 2013-09-27 | Getters Spa | Getter composito multistrato migliorato |
ITMI20111987A1 (it) * | 2011-11-03 | 2013-05-04 | Getters Spa | Getters compositi perfezionati |
WO2013191656A1 (en) | 2012-06-20 | 2013-12-27 | Agency For Science, Technology And Research | A layer arrangement and a wafer level package comprising the layer arrangement |
US10199165B2 (en) | 2012-08-30 | 2019-02-05 | Carver Scientific, Inc. | Energy storage device |
US9805869B2 (en) | 2012-11-07 | 2017-10-31 | Carver Scientific, Inc. | High energy density electrostatic capacitor |
JP6526624B2 (ja) * | 2013-03-29 | 2019-06-12 | カーバー サイエンティフィック インコーポレイテッドCarver Scientific, Inc. | エネルギー貯蔵装置 |
CA2908178C (en) * | 2013-04-05 | 2023-04-04 | Carver Scientific, Inc. | Energy storage device |
JP7034577B2 (ja) | 2015-03-06 | 2022-03-14 | 日東電工株式会社 | 水素排出膜 |
SG11201803277XA (en) | 2015-11-06 | 2018-05-30 | Carver Scientific Inc | Electroentropic memory device |
SG10201912363TA (en) | 2016-12-02 | 2020-02-27 | Carver Scientific Inc | Memory device and capacitive energy storage device |
CN109941955A (zh) * | 2019-02-18 | 2019-06-28 | 合肥晶鼎光电科技有限公司 | 一种提高吸气效率的吸气剂及其制备方法 |
CN110777369A (zh) * | 2019-11-10 | 2020-02-11 | 中电国基南方集团有限公司 | 一种主动式封装吸氢材料及其制备方法 |
CN110863174A (zh) * | 2019-11-20 | 2020-03-06 | 有研工程技术研究院有限公司 | 一种无需激活的钛基吸氢材料及其制备方法 |
CN113517139B (zh) * | 2021-06-29 | 2023-04-14 | 西安交通大学 | 一种减小铝电解电容器工作内压的方法 |
CN114408858B (zh) * | 2022-01-05 | 2023-03-17 | 北京科技大学 | 一种室温可吸氢锆基复合材料的制备方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007066372A2 (en) * | 2005-12-06 | 2007-06-14 | Saes Getters S.P.A. | Electrolytic capacitors comprising means in the form of a multilayer polymeric sheet for the sorption of harmful substances |
WO2008033560A2 (en) * | 2006-09-15 | 2008-03-20 | Saes Getters S.P.A. | Metal getter systems |
WO2008148781A1 (en) * | 2007-06-05 | 2008-12-11 | Saes Getters S.P.A. | Rechargeable lithium batteries comprising means for the sorption of harmful substances |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1101237B2 (en) * | 1999-06-02 | 2017-08-16 | SAES GETTERS S.p.A. | Composite materials capable of hydrogen sorption independently from activating treatments and methods for the production thereof |
US8986569B2 (en) | 2005-02-17 | 2015-03-24 | Saes Getters, S.P.A. | Flexible multi-layered getter |
ITMI20060056A1 (it) | 2006-01-16 | 2007-07-17 | Getters Spa | Condensatore elettrolitico comprendente mezzi per l'assorbimento di sostanze nocive |
ITMI20071148A1 (it) | 2007-06-05 | 2008-12-06 | Getters Spa | Batterie ricaricabili al litio comprendenti mezzi in forma di foglio polimerico multistrato per l'assorbimento di sostanze nocive |
-
2009
- 2009-05-25 IT IT000917A patent/ITMI20090917A1/it unknown
-
2010
- 2010-05-19 CN CN2010800222346A patent/CN102438938A/zh active Pending
- 2010-05-19 JP JP2012512307A patent/JP5312687B2/ja active Active
- 2010-05-19 EP EP10723035.1A patent/EP2435361B1/en active Active
- 2010-05-19 WO PCT/EP2010/056872 patent/WO2010136364A1/en active Application Filing
- 2010-05-19 KR KR1020117030185A patent/KR101553098B1/ko active IP Right Grant
- 2010-05-19 US US13/265,536 patent/US8289676B2/en active Active
- 2010-05-25 TW TW099116656A patent/TW201111277A/zh unknown
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007066372A2 (en) * | 2005-12-06 | 2007-06-14 | Saes Getters S.P.A. | Electrolytic capacitors comprising means in the form of a multilayer polymeric sheet for the sorption of harmful substances |
WO2008033560A2 (en) * | 2006-09-15 | 2008-03-20 | Saes Getters S.P.A. | Metal getter systems |
WO2008148781A1 (en) * | 2007-06-05 | 2008-12-11 | Saes Getters S.P.A. | Rechargeable lithium batteries comprising means for the sorption of harmful substances |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012528474A (ja) | 2012-11-12 |
JP5312687B2 (ja) | 2013-10-09 |
CN102438938A (zh) | 2012-05-02 |
US8289676B2 (en) | 2012-10-16 |
US20120033348A1 (en) | 2012-02-09 |
EP2435361B1 (en) | 2014-02-26 |
WO2010136364A1 (en) | 2010-12-02 |
EP2435361A1 (en) | 2012-04-04 |
TW201111277A (en) | 2011-04-01 |
KR101553098B1 (ko) | 2015-09-14 |
KR20120024785A (ko) | 2012-03-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ITMI20090917A1 (it) | Getter composito multistrato | |
ITMI20102160A1 (it) | Getter composito multistrato migliorato | |
AU2006322864B2 (en) | Electrolytic capacitors comprising means in the form of a multilayer polymeric sheet for the sorption of harmful substances | |
JP5628519B2 (ja) | 金属ゲッターシステム | |
JP5012996B2 (ja) | コンデンサおよびその製造方法 | |
KR101519455B1 (ko) | 슈퍼커패시터 내의 과압방지장치 | |
Vallem et al. | Stretchable liquid metal films with high surface area and strain invariant resistance | |
JP5816794B2 (ja) | 電極箔の製造方法 | |
US8208242B2 (en) | Electrode foil and capacitor using the same | |
JP2011096872A (ja) | 電極箔とその製造方法およびこの電極箔を用いたコンデンサ | |
JP2024040910A (ja) | フィルムコンデンサ及びその製造方法 | |
JP2009290063A (ja) | コンデンサ |