DE4105830A1 - Sonde zur entnahme von gasproben und zur ausfuehrung von thermischen messungen in einem schachtofen - Google Patents
Sonde zur entnahme von gasproben und zur ausfuehrung von thermischen messungen in einem schachtofenInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Sonde zur
Entnahme von Gasproben und zur Ausführung von thermischen
Messungen in einem Schachtofen, aus im wesentlichen einer
Halterung in Form eines Schutzmantels, die über der
Beschickungsoberfläche durch eine Öffnung in der Wand des
Ofens eingeführt wird, einer Reihe von inneren Sondenrohren,
die längs des Schutzmantels verteilte Öffnungen
mit einer außerhalb des Ofens angeordneten Vorrichtung
zur Ausführung von thermischen Messungen und zur Aufnahme
von Gasproben verbinden, Thermoelementen, die im Bereich
der besagten Öffnungen des Schutzmantels angeordnet sind,
Abstandsstücken, die in dem Schutzmantel transversal
angeordnet sind und die inneren Rohre festhalten, und aus
einem oder mehreren, in dem Schutzmantel verlaufenden
Kühlkreisen.
Eine Sonde dieser Art ist beispielsweise aufgrund
des US-Patents 31 30 584 bekannt. Angesichts der äußerst
harten Einsatzbedingungen erfordern diese Sonden eine
häufige Wartung, beispielsweise zum Ersetzen eines
schadhaften Thermoelements oder zum Reinigen eines verstopften
Gasproben-Entnahmerohrs. Um diese Wartungsarbeiten
auszuführen, war es bisher erforderlich, die
Sonde ganz auszubauen und diese Arbeiten meistens in der
Reparaturwerkstatt auszuführen, was natürlich einen Zeitverlust
darstellt.
Die vorliegende Erfindung hat zum Ziel, eine neue
Sonde vorzuschlagen, bei der die inneren Sondenrohre "in
situ" ersetzt werden können, ohne die Sonde ausbauen zu
müssen.
Um dieses Ziel zu erreichen, wird gemäß der vorliegenden
Erfindung eine Sonde von der in dem Oberbegriff
beschriebenen Art vorgeschlagen, die bei ihrer bevorzugten
Ausführungsform im wesentlichen dadurch gekennzeichnet
ist, daß die Oberfläche der Abstandsstücke von der
Wand des Ofens bis zu der Spitze der Sonde immer kleiner
wird, daß der Oberflächenunterschied zwischen zwei
benachbarten Abstandsstücken einen exponierten Teil des
größeren Abstandsstücks und eine entsprechende
transversale Stufe des Schutzmantels definiert, daß die
besagten Öffnungen sich in den besagten exponierten
Teilen befinden, und daß die inneren Sondenrohre zur
Entnahme von Gasproben und zur Ausführung von thermischen
Messungen ausnahmslos gerade, austauschbare individuelle
Elemente sind, die in geraden Halte- und Schutzkanälen
angeordnet sind, von denen jeder von außerhalb des Ofens
bis zu dem jeweiligen exponierten Teil durch den Schutzmantel
verläuft.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die
besagten exponierten Teile der Abstandsstücke eine im
wesentlichen dreieckige Form, wobei die Spitze zu der
Beschickungsoberfläche hin gerichtet ist, während die
verschiedenen aufeinanderfolgenden dreieckigen Teile bei
axialer Projektion gegeneinander versetzt angeordnet
sind. Jedes der inneren Sondenrohre kann außerhalb des
Ofens direkt an den Schutzmantel angeflanscht werden. Die
inneren Sondenrohre können außerhalb des Ofens auch durch
eine Schraubenfeder in ihrem Haltekanal festgehalten
werden.
Das innere Ende jedes für die Ausführung von
thermischen Messungen vorgesehenen Sondenrohrs weist eine
geschlossene Spitze auf, in der ein Thermoelement untergebracht
ist, das in ein Material mit guter Wärmeleitfähigkeit
eingebettet ist und über das Sondenrohr mit der
außerhalb des Ofens angeordneten Vorrichtung zur Ausführung
von thermischen Messungen verbunden ist.
Weitere Besonderheiten und Merkmale der Erfindung
werden sich aus der Beschreibung einiger vorteilhafter
Ausführungsformen ergeben, die nachstehend zur
Veranschaulichung wiedergegeben werden, wobei auf die im
Anhang beigefügten Zeichnungen Bezug genommen wird, die
Folgendes darstellen:
Fig. 1 ist eine schematische Darstellung
einer ersten Ausführungsform einer Sonde gemäß der vorliegenden
Erfindung.
Fig. 2 ist eine schematische Darstellung
einer zweiten Ausführungsform einer Sonde gemäß der vorliegenden
Erfindung.
Fig. 3 ist eine axiale Ansicht der Sonde von
dem Inneren des Ofens aus.
Fig. 4 ist eine Schnittansicht des inneren
Endes der Sonde gemäß der Schnittebene A-A der Fig. 3.
Fig. 5 ist eine schematische perspektivische
Ansicht eines Teils der Sonde.
Fig. 6 ist ein Teilausschnitt einer
vertikalen Schnittansicht einer ersten Ausführungsform
für die Anordnung der Probenentnahme-Rohre.
Fig. 7 ist eine zu der Fig. 6 analoge
Ansicht einer zweiten Ausführungsform für die Probenentnahme-
Rohre.
Fig. 8 ist eine schematische Ansicht des
inneren Endes eines Rohrs zur Ausführung von thermischen
Messungen.
In der Fig. 1 ist ein Teil des Kopfes eines
Schachtofens 10 schematisch dargestellt. Die Kennziffer
12 bezeichnet eine Sonde zur Ausführung von thermischen
Messungen und zur Entnahme von Gasproben, die in einer
Halterung 14 der Wand des Ofens festgehalten wird und sich
über der Beschickungsoberfläche in horizontaler Richtung
bis zu der Mittelachse des Ofens erstreckt. Diese Sonde
besteht im wesentlichen aus einem äußeren Schutzmantel
16, in dem Rohre zur Entnahme von Gasproben und zur Ausführung
von thermischen Messungen angeordnet sind, wobei
diese Rohre gemäß der vorliegenden Erfindung ausnahmslos
gerade, austauschbare individuelle Elemente sind, von
denen jedes bei einer der Stufen 18 endet, die bei dem
Schutzmantel 16 über die gesamte Länge der Sonde vorgesehen
sind und dieser Sonde eine sich verjüngende
Form geben.
Die Fig. 2 zeigt eine Sonde 12, die in der
gleichen Weise aufgebaut ist wie die Sonde der Fig. 1,
aber bezüglich der Horizontalen geneigt ist, wobei die
Spitze der Sonde 12 niedriger als die Halterung 14 ist.
Diese Anordnung wurde gewählt, damit die Sonde 12 in den
mit einem V-förmigen Beschickungsprofil arbeitenden Öfen
parallel zu der Beschickungsoberfläche ist.
Das besondere stufenförmige Aussehen der Sonde 12
ist aus den Fig. 3 und 5 klar ersichtlich. Wie sich
aus der perspektivischen Ansicht der Fig. 5 ergibt,
nimmt der Querschnitt der Sonde 12 vom Sondenende bis zur
Sondenspitze in aufeinanderfolgenden Stufen 18 ab, die
bezüglich der Achse der Sonde radial verlaufen und in
denen Kanäle 20, 22 enden, die für die Entnahme von Gasproben
bzw. für die Ausführung von thermischen Messungen
vorgesehen sind. Wie aus der Fig. 3 ersichtlich ist,
haben die Stufen 18 eine im wesentlichen dreieckige Form.
Sie sind abwechselnd auf der einen und der anderen Seite
einer vertikalen Ebene angeordnet, die durch die Achse
der Sonde verläuft. Die Kennziffer 24 in der Fig. 3
bezeichnet einen axialen Kanal für die Umwälzung einer
Kühlflüssigkeit, während die Kennziffer 26 eine Schutzumhüllung
bezeichnet, die normalerweise um den oberen
Teil der Sonde herum vorgesehen ist, und die zum Beispiel
in an sich bekannter Weise aus einem Kasten-Verbundmaterial
bestehen kann.
Die Fig. 4 zeigt, im Schnitt, das innere Ende der
Sonde 12 mit der vorletzten und der letzten der Stufen
18, wobei die letzte Stufe nur teilweise sichtbar ist, da
sie jenseits der vertikalen Symmetrieebene gelegen ist.
Diese Figur zeigt einen geraden Kanal 20, der am Ende des
Schutzmantels 16 mündet, und einen zweiten, ähnlichen
Kanal 20, der in der radialen Fläche der vorletzten Stufe
18 mündet. In der letzten Stufe 18 mündet ein weiterer,
ähnlicher Kanal, der jedoch in der Fig. 4 nicht sichtbar
ist. Die Kanäle 20 werden innerhalb des Schutzmantels 16
von transversalen Abstandsstücken 28 festgehalten, die
mit dem Schutzmantel 16 fest verbunden sind und von denen
jedes die radiale Fläche von einer der Stufen 18 bildet.
Die Abstandsstücke 28 halten innerhalb des Schutzmantels
16 außerdem den axialen Kanal 24 oder eventuell mehrere
Kanäle für die Umwälzung der Kühlflüssigkeit fest. Diese
Kühlflüssigkeit, die einfach Wasser sein kann, füllt den
gesamten Schutzmantel 16 aus und fließt über nicht-dichte
Durchführungen in den um die Kanäle 20, 22 und 24
angeordneten Abstandsstücken oder über zusätzliche
Bohrungen in den Abstandsstücken bis zu der Spitze des
Schutzmantels 16, und danach über den axialen Kanal 24
nach außerhalb des Ofens zurück. Die in der Fig. 4 nicht
sichtbaren Kanäle 22 entsprechen den Kanälen 20 und
verlaufen parallel dazu durch den Schutzmantel 16 und die
Abstandsstücke 28.
Eine der Besonderheiten der vorliegenden Erfindung
ist, daß in jeden der Kanäle 20, 22 von außerhalb der
Sonde 12 die Mittel zur Entnahme von Gasproben und zur
Ausführung von thermischen Messungen eingeführt werden
können, ohne daß die Sonde 12 aus dem Ofen herausgenommen
werden muß, und ohne daß der Kühlkreis entleert
werden muß.
In der Fig. 6 ist der eine der inneren Sondenkanäle
20 in detaillierterer Form wiedergegeben. Dieser
Kanal erstreckt sich von einer der Stufen 18 bis nach der
Außenseite des Ofens, wobei er über eine Dichtung 30,
durch die die Kühlflüssigkeit innerhalb des Schutzmantels
16 zurückgehalten wird und die unterschiedlichen Ausdehnungen
zwischen dem Schutzmantel 16 und dem Kanal 20
ausgeglichen werden, aus dem Schutzmantel 16 herausgeführt
ist. Der in der Fig. 6 dargestellte Kanal 20
enthält ein Rohr 32, das sich über die gesamte Länge des
Kanals 20 erstreckt und in der radialen Fläche von einer
der Stufen 18 herausgeführt ist. Im vorliegenden Fall
handelt es sich um ein Rohr zur Entnahme von Gasproben,
wobei das Gas bei der Stufe 18 in das Rohr 32 einströmen
kann und dann durch dieses Rohr weiterströmt, bis es
außerhalb des Ofens aufgefangen wird, um Analysen des
Gases zu machen. Bei der Ausführungsform der Fig. 6 ist
das Rohr 32 außerhalb der Sonde 12 auf den Kanal 20
aufgeflanscht. Das innere Ende ragt dagegen frei aus dem
Kanal 20 heraus, um unterschiedliche Wärmeausdehungen
auszugleichen und den Ausbau zu erleichtern. Für diesen
Ausbau genügt es in der Tat, das Rohr 32 außerhalb des
Ofens loszuschrauben und dann aus dem Kanal 20 herauszuziehen,
wobei die Funktionsweise der übrigen Bereiche
der Sonde nicht gestört wird. Es ist ebenfalls möglich,
durch Einschieben einer Stange von außerhalb des Ofens
dieses Rohr 32 zu entstopfen.
Die Fig. 7 zeigt eine zweite Ausführungsform für
die Einführung und Befestigung eines Rohrs 32a zur Entnahme
von Gasproben. Dieses Rohr 32a ist ebenfalls
einfach in den Kanal 20 eingeführt, weist aber an seinem
inneren Ende einen Wulst 34 auf, der mit dem inneren Ende
des Kanals 20 zusammenwirkt, um die Arbeitsposition des
Rohrs 32a festzulegen. Außerhalb der Sonde 12 weist das
Rohr 32a einen peripheren Flansch 36 auf, auf den eine
Schraubenfeder 38 einwirkt, um das Rohr in den Kanal 20
hineinzudrücken, wobei diese Schraubenfeder 38 um das
Rohr 32a herum angeordnet ist und sich auf dem Boden
einer Kappe abstützt, die auf den äußeren Teil des Kanals
20 oder auf den Schutzmantel 16 aufgeschraubt ist. Das
Rohr 32a wird also elastisch festgehalten, wobei die
Feder 38 einen Ausgleich der unterschiedlichen Wärmeausdehungen
ermöglicht. Zum Ausbau genügt es, einfach
die Kappe 40 abzuschrauben und das Rohr 32a
herauszuziehen.
In der Fig. 8 ist ein Rohr 42 für die thermischen
Messungen veranschaulicht. Dieses Rohr 42 ist auf die
gleiche Weise wie das Rohr 32 in der Fig. 6, oder das
Rohr 32a in der Fig. 7 in den entsprechenden Kanal 22
eingeschoben. An das innere Ende von jedem der Rohre 42
ist eine Kappe 44 von der Form einer geschlossenen Spitze
angeschweißt, die ein Thermoelement 46 enthält, das in
ein Material mit guter Wärmeleitfähigkeit eingebettet
ist. Jedes Thermoelement 46 ist über seine durch das Rohr
42 verlaufende Stange 48 mit der außerhalb des Ofens
angeordneten Meßvorrichtung elektrisch verbunden. In der
Arbeitsposition werden die Rohre 42 in ihrem Kanal 42 so
festgehalten, daß die Kappe 42 bei der entsprechenden
Stufe aus der Wand des Schutzmantels 16 herausragt, wie
dies in der perspektivischen Ansicht der Fig. 5 dargestellt
ist.
Claims (6)
1. Sonde zur Entnahme von Gasproben und zur Ausführung
von thermischen Messungen in einem Schachtofen,
aus im wesentlichen einer Halterung in Form eines Schutzmantels
(16), die über der Beschickungsoberfläche durch
eine Öffnung in der Wand des Ofens (10) eingeführt wird,
einer Reihe von inneren Sondenrohren (32), (42), die die
längs des Schutzmantels (16) verteilten Öffnungen mit
einer außerhalb des Ofens angeordneten Vorrichtung zur
Ausführung von thermischen Messungen und zur Aufnahme von
Gasproben verbinden, Thermoelementen (46), die im Bereich
der besagten Öffnungen des Schutzmantels (16) angeordnet
sind, Abstandsstücken (28), die in dem Schutzmantel (16)
in Querrichtung angeordnet sind und die inneren Rohre
festhalten, und aus einem oder mehreren, in dem Schutzmantel
verlaufenden Kühlkreisen, dadurch gekennzeichnet,
daß die Oberfläche der Abstandsstücke (28) von der Wand
des Ofens bis zu der Spitze der Sonde immer kleiner wird,
daß der Oberflächenunterschied zwischen zwei benachbarten
Abstandsstücken einen exponierten Teil des größeren
Abstandsstücks und eine entsprechende transversale Stufe
(18) des Schutzmantels (16) definiert, daß die besagten
Öffnungen des Schutzmantels (16) sich in den besagten
exponierten Teilen befinden, und daß die besagten inneren
Sondenrohre (32), (34) zur Entnahme von Gasproben und zur
Ausführung von thermischen Messungen ausnahmslos gerade,
austauschbare individuelle Elemente sind, die in geraden
Halte- und Schutzkanälen (20), (22) untergebracht sind,
von denen jeder außerhalb des Ofens bis zu dem
besagten jeweiligen exponierten Teil durch den Schutzmantel
verläuft.
2. Sonde gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die besagten exponierten Teile der Abstandsstücke
(28) eine im wesentlichen dreieckige Form haben, wobei
die Spitze zu der Beschickungsoberfläche hin gerichtet
ist, und daß die verschiedenen aufeinanderfolgenden
dreieckigen Teile bei axialer Projektion der Sonde
gegeneinander versetzt angeordnet sind.
3. Sonde gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß jedes der inneren Rohre (32), (42) außerhalb des
Ofens auf den Schutzmantel (16) aufgeflanscht ist.
4. Sonde gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß jedes der Rohre (32a), (42) über eine außerhalb des
Ofens angeordnete Schraubenfeder (38) in seinem Haltekanal
(20), (22) festgehalten wird.
5. Sonde gemäß irgendeinem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß der Schutzmantel (16) ein
dichtes Gehäuse bildet, in dem die gegenüber diesem
Gehäuse abgedichteten Kanäle (20) und (22) untergebracht
sind, und das außerhalb des Ofes an einen Kühlkreis
angeschlossen ist.
6. Sonde gemäß Anspruch 5, gekennzeichnet durch
einen axialen Kanal (24) oder mehrere Kanäle zur
Umwälzung der Kühlflüssigkeit, die von den Abstandsstücken
(28) festgehalten werden.
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Country | Link |
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BR (1) | BR9100969A (de) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |