DE4105830C2 - Sonde für Gasprobenentnahmen und thermische Messungen in einem Schachtofen - Google Patents
Sonde für Gasprobenentnahmen und thermische Messungen in einem SchachtofenInfo
- Publication number
- DE4105830C2 DE4105830C2 DE4105830A DE4105830A DE4105830C2 DE 4105830 C2 DE4105830 C2 DE 4105830C2 DE 4105830 A DE4105830 A DE 4105830A DE 4105830 A DE4105830 A DE 4105830A DE 4105830 C2 DE4105830 C2 DE 4105830C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- probe
- protective jacket
- furnace
- gas sampling
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21C—PROCESSING OF PIG-IRON, e.g. REFINING, MANUFACTURE OF WROUGHT-IRON OR STEEL; TREATMENT IN MOLTEN STATE OF FERROUS ALLOYS
- C21C5/00—Manufacture of carbon-steel, e.g. plain mild steel, medium carbon steel or cast steel or stainless steel
- C21C5/28—Manufacture of steel in the converter
- C21C5/42—Constructional features of converters
- C21C5/46—Details or accessories
- C21C5/4673—Measuring and sampling devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K13/00—Thermometers specially adapted for specific purposes
- G01K13/12—Thermometers specially adapted for specific purposes combined with sampling devices for measuring temperatures of samples of materials
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/26—Devices for withdrawing samples in the gaseous state with provision for intake from several spaces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/10—Devices for withdrawing samples in the liquid or fluent state
- G01N1/14—Suction devices, e.g. pumps; Ejector devices
- G01N1/1409—Suction devices, e.g. pumps; Ejector devices adapted for sampling molten metals
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/2247—Sampling from a flowing stream of gas
- G01N1/2252—Sampling from a flowing stream of gas in a vehicle exhaust
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/2226—Sampling from a closed space, e.g. food package, head space
- G01N2001/2235—Sampling from a closed space, e.g. food package, head space over a melt, e.g. furnace
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N2001/2282—Devices for withdrawing samples in the gaseous state with cooling means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Heat Treatment Of Articles (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Blast Furnaces (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft Sonde für
Gasprobenentnahmen und thermische Messungen in einem
Schachtofen.
Solche Sonden sind zum Beispiel in folgenden Schriften
beschrieben: US 3,130,584, DE 27 51 727 A1, DE-OS 23 43 470 und
US 3,240,069.
Angesichts der äußerst harten Arbeitsbedingungen im
Schachtofen, erfordern diese Sonden eine häufige Wartung,
beispielsweise zum Ersetzen eines schadhaften Thermo
elements oder zum Entstopfen oder Ersetzen eines
verstopften Gasproben-Entnahmerohrs. Um diese Wartung
auszuführen, war es bisher meistens erforderlich, die Sonde
vollständig auszubauen und diese Arbeiten in der
Reparaturwerkstatt auszuführen, was natürlich einen
Zeitverlust darstellt.
Die Luxemburger Patentschrift LU-A-65 940 stellt den
Stand der Technik dar, welcher der vorliegenden Erfindung
am nächsten kommt. In dieser Patentschrift wird eine Sonde
für Gasprobenentnahmen und thermische Messungen in einem
Schachtofen beschrieben. Die Sonde weist einen einteiligen
Sondenkörper in Form eines Schutzmantels auf, der durch
eine Öffnung in der Ofenwand oberhalb der
Beschickungsoberfläche in den Hochofen eingeführt wird. Die
Unterseite des Schutzmantels ist stufenförmig ausgebildet.
Geradlinige Gasproben-Entnahmerohre, die außerhalb des
Ofens mit einer Gasproben-Aufnahmevorrichtung verbunden
sind, erstrecken sich durch den Schutzmantel. Die Mündung
jedes dieser Gasproben-Entnahmerohre ragt aus dem
Schutzmantel im Bereich einer Stufe hervor und ist hier
fest mit dem Schutzmantel verschweißt. In dem Schutzmantel
werden diese Gasproben-Entnahmerohre von horizontalen
Traversen getragen. In jedem dieser Gasproben-Entnahmerohre
ist ein Thermoelement zurückziehbar angeordnet. Das
Thermoelements ist jeweils mit einem Gasproben-Entnahmekopf
fest verbunden, der verschiebbar in die vordere Mündung des
Gasproben-Entnahmerohres eingepaßt ist. Dieser Gasproben-
Entnahmekopf weist längs einer unteren Mantellinie eine
Reihe von kleinen Löchern auf, damit das Gas in das Innere
des Gasproben-Entnahmerohrs eindringen kann. Durch den
kleinen Durchmesser der Löcher soll verhindert werden, daß
Feststoffpartikel in das Gasproben-Entnahmerohr eindringen
und dieses Rohr verstopft. Es hat sich jedoch erwiesen, daß
diese kleinen Löcher sehr oft gereinigt werden müssen,
ansonsten verstopfen sie komplett. Um den Wartungsaufwand
zu reduzieren, wäre es folglich von Vorteil mit größeren
Einmündungen im Entnahmekopf zu arbeiten. Durch diese
größeren Einmündungen dringen jedoch wieder
Feststoffpartikel in die Gasproben-Entnahmerohre ein und
setzen sich an den gekühlten Wänden dieser Rohre ab. Dies
kann zu einer vollständigen Verstopfung der Rohre führen,
was in den meisten Fällen eine komplette Demontage der
Sonde erfordert.
Der vorliegenden Erfindung liegt das Problem zugrunde,
eine Gassonde der in der Patentschrift LU-A-65 940
beschriebenen Art zu schaffen, die leichter zu warten ist
und bei der eine vollständige Verstopfung der Gasproben-
Entnahmerohre, auf einfache Art und Weise und ohne
Demontage der Sonde, zu beheben ist.
Diese Aufgabe wird durch eine Sonde mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1
gelöst.
Der Schutzmantel weist vorteilhaft Querstege auf,
welche die Aufnahmekanäle im Schutzmantel abzustützen,
wobei diese Querstege derart angeordnet und geformt sind,
daß sie gleichzeitig die transversalen Stufen des
Schutzmantels ausbilden. Gemäß einer bevorzugten
Ausführungsform sind die Stufen im Schutzmantel abwechselnd
rechts und links einer durch die Längsachse der Sonde
verlaufenden, vertikalen Ebene angeordnet.
Jedes der inneren Sondenrohre kann außerhalb des
Ofens direkt an den Schutzmantel angeflanscht werden. Die
inneren Sondenrohre können außerhalb des Ofens auch durch
eine Schraubenfeder in ihrem Haltekanal festgehalten
werden.
Das innere Ende jedes für die Ausführung von
thermischen Messungen vorgesehenen Sondenrohrs weist eine
geschlossene Spitze auf, in der ein Thermoelement unter
gebracht ist, das in ein Material mit guter Wärmeleit
fähigkeit eingebettet ist und über das Sondenrohr mit der
außerhalb des Ofens angeordneten Vorrichtung zur Aus
führung von thermischen Messungen verbunden ist.
Weitere Merkmale der Sonde
ergeben sich aus der Beschreibung vorteilhafter
Ausführungsformen,
wobei auf die
beigefügten Zeichnungen Bezug genommen wird, die
Folgendes darstellen:
- Fig. 1 ist eine schematische Darstellung
einer ersten Ausführungsform der Sonde;
- Fig. 2 ist eine schematische Darstellung
einer zweiten Ausführungsform der Sonde;
- Fig. 3 ist eine axiale Ansicht der Sonde vom
Inneren des Ofens aus;
- Fig. 4 ist eine Schnittansicht des inneren
Endes der Sonde gemäß der Schnittebene A-A der Fig. 3;
- Fig. 5 ist eine schematische perspektivische
Ansicht eines Teils der Sonde;
- Fig. 6 ist ein Teilausschnitt einer
vertikalen Schnittansicht einer ersten Ausführungsform
für die Anordnung der Probenentnahme-Rohre;
- Fig. 7 ist eine zu der Fig. 6 analoge
Ansicht einer zweiten Ausführungsform für die Anordnung der Proben
entnahme-Rohre;
- Fig. 8 ist eine schematische Ansicht des
inneren Endes eines Rohrs zur Ausführung von thermischen
Messungen.
In der Fig. 1 ist ein Teil des Kopfes eines
Schachtofens 10 schematisch dargestellt. Die Kennziffer
12 bezeichnet eine Sonde zur Ausführung von thermischen
Messungen und zur Entnahme von Gasproben, die in einer
Halterung 14 der Wand des Ofens festgehalten wird und sich
über der Beschickungsoberfläche in horizontaler Richtung
bis zu der Mittelachse des Ofens erstreckt. Diese Sonde
besteht im wesentlichen aus einem äußeren Schutzmantel
16, in dem Rohre zur Entnahme von Gasproben und zur Aus
führung von thermischen Messungen angeordnet sind, wobei
diese Rohre ausnahmslos
gerade, austauschbare individuelle Elemente sind, von
denen jedes bei einer der Stufen 18 endet, die bei dem
Schutzmantel 16 über die gesamte Länge der Sonde vor
gesehen sind und dieser Sonde eine sich verjüngende
Form geben.
Die Fig. 2 zeigt eine Sonde 12, die in der
gleichen Weise aufgebaut ist wie die Sonde der Fig. 1,
aber bezüglich der Horizontalen geneigt ist, wobei die
Spitze der Sonde 12 niedriger als die Halterung 14 ist.
Diese Anordnung wurde gewählt, damit die Sonde 12 in den
mit einem V-förmigen Beschickungsprofil arbeitenden Öfen
parallel zu der Beschickungsoberfläche ist.
Das besondere stufenförmige Aussehen der Sonde 12
ist aus den Fig. 3 und S klar ersichtlich. Wie sich
aus der perspektivischen Ansicht der Fig. 5 ergibt,
nimmt der Querschnitt der Sonde 12 vom Sondenende bis zur
Sondenspitze in aufeinanderfolgenden Stufen 18 ab, die
bezüglich der Achse der Sonde radial verlaufen und in
denen Aufnahmekanäle 20, 22 enden, die für die Entnahme von Gas
proben bzw. für die Ausführung von thermischen Messungen
vorgesehen sind. Wie aus der Fig. 3 ersichtlich ist,
haben die Stufen 18 eine im wesentlichen dreieckige Form.
Sie sind abwechselnd auf der einen und der anderen Seite
einer vertikalen Ebene angeordnet, die durch die Achse
der Sonde verläuft. Bezugszeichen 24 in Fig. 3
bezeichnet einen axialen Kanal für die Umwälzung einer
Kühlflüssigkeit, während Bezugzeichen 26 eine Schutz
umhüllung bezeichnet, die normalerweise um den oberen
Teil der Sonde herum vorgesehen ist, und die zum Beispiel
in an sich bekannter Weise aus einem Kasten-Verbund
material bestehen kann.
Die Fig. 4 zeigt, im Schnitt, das innere Ende der
Sonde 12 mit der vorletzten und der letzten der Stufen
18, wobei die letzte Stufe nur teilweise sichtbar ist, da
sie jenseits der vertikalen Symmetrieebene gelegen ist.
Diese Figur zeigt einen geraden Aufnahmekanal 20, der am Ende des
Schutzmantels 16 mündet, und einen zweiten, ähnlichen Aufnahme
kanal 20, der in der radialen Fläche der vorletzten Stufe
18 mündet. In der letzten Stufe 18 mündet ein weiterer,
ähnlicher Aufnahmekanal, der jedoch in der Fig. 4 nicht sichtbar
ist. Die Aufnahmekanäle 20 werden innerhalb des Schutzmantels 16
von transversalen Querstegen 28 festgehalten, die
mit dem Schutzmantel 16 fest verbunden sind und von denen
jedes die radiale Fläche von einer der Stufen 18 bildet.
Die Querstege 28 halten innerhalb des Schutzmantels
16 außerdem den axialen Kühlmittelkanal 24 oder eventuell mehrere
Kanäle für die Umwälzung der Kühlflüssigkeit fest. Diese
Kühlflüssigkeit, die einfach Wasser sein kann, füllt den
gesamten Schutzmantel 16 aus und fließt über nicht-dichte
Durchführungen in den um die Kanäle 20, 22 und 24
angeordneten Querstegen oder über zusätzliche
Bohrungen in den Querstegen bis zu der Spitze des
Schutzmantels 16, und danach über den axialen Kühlmittelkanal 24
nach außerhalb des Ofens zurück. Die in der Fig. 4 nicht
sichtbaren Aufnahmekanäle 22 entsprechen den Aufnahmekanälen 20 und
verlaufen parallel dazu durch den Schutzmantel 16 und die
Querstege 28.
Eine der Besonderheiten der Sonde 12
ist, daß in jeden der Aufnahmekanäle 20, 22 von außerhalb der
Sonde 12 die Mittel zur Entnahme von Gasproben und zur
Ausführung von thermischen Messungen eingeführt werden
können, ohne daß die Sonde 12 aus dem Ofen heraus
genommen werden muß, und ohne daß der Kühlkreis entleert
werden muß.
In der Fig. 6 ist der eine der inneren Aufnahme
kanäle 20 in detaillierterer Form wiedergegeben. Dieser
Kanal erstreckt sich von einer der Stufen 18 bis nach der
Außenseite des Ofens, wobei er über eine Dichtung 30,
durch die die Kühlflüssigkeit innerhalb des Schutzmantels
16 zurückgehalten wird und die unterschiedlichen Aus
dehnungen zwischen dem Schutzmantel 16 und dem Aufnahmekanal 20
ausgeglichen werden, aus dem Schutzmantel 16 heraus
geführt ist. Der in der Fig. 6 dargestellte Aufnahmekanal 20
enthält ein Rohr 32, das sich über die gesamte Länge des
Aufnahmekanals 20 erstreckt und in der radialen Fläche von einer
der Stufen 18 herausgeführt ist. Im vorliegenden Fall
handelt es sich um ein Rohr zur Entnahme von Gasproben,
wobei das Gas bei der Stufe 18 in das Rohr 32 einströmen
kann und dann durch dieses Rohr weiterströmt, bis es
außerhalb des Ofens aufgefangen wird, um Analysen des
Gases zu machen. Bei der Ausführungsform der Fig. 6 ist
das Rohr 32 außerhalb der Sonde 12 auf den Aufnahmekanal 20
aufgeflanscht. Das innere Ende ragt dagegen frei aus dem Aufnahme
kanal 20 heraus, um unterschiedliche Wärmeausdehnungen
auszugleichen und den Ausbau zu erleichtern. Für diesen
Ausbau genügt es in der Tat, das Rohr 32 außerhalb des
Ofens loszuschrauben und dann aus dem Aufnahmekanal 20 heraus
zuziehen, wobei die Funktionsweise der übrigen Bereiche
der Sonde 12 nicht gestört wird. Es ist ebenfalls möglich,
durch Einschieben einer Stange von außerhalb des Ofens
dieses Rohr 32 zu entstopfen.
Die Fig. 7 zeigt eine zweite Ausführungsform für
die Einführung und Befestigung eines Rohrs 32a zur Ent
nahme von Gasproben. Dieses Rohr 32a ist ebenfalls
einfach in den Aufnahmekanal 20 eingeführt, weist aber an seinem
inneren Ende einen Wulst 34 auf, der mit dem inneren Ende
des Aufnahmekanals 20 zusammenwirkt, um die Arbeitsposition des
Rohrs 32a festzulegen. Außerhalb der Sonde 12 weist das
Rohr 32a einen peripheren Flansch 36 auf, auf den eine
Schraubenfeder 38 einwirkt, um das Rohr in den Kanal 20
hineinzudrücken, wobei diese Schraubenfeder 38 um das
Rohr 32a herum angeordnet ist und sich auf dem Boden
einer Kappe 40 abstützt, die auf den äußeren Teil des Aufnahmekanals
20 oder auf den Schutzmantel 16 aufgeschraubt ist. Das
Rohr 32a wird also elastisch festgehalten, wobei die
Feder 38 einen Ausgleich der unterschiedlichen Wärme
ausdehnungen ermöglicht. Zum Ausbau genügt es, einfach
die Kappe 40 abzuschrauben und das Rohr 32a heraus
zuziehen.
In der Fig. 8 ist ein Rohr 42 für die thermischen
Messungen veranschaulicht. Dieses Rohr 42 ist auf die
gleiche Weise wie das Rohr 32 in der Fig. 6, der das
Rohr 32a in der Fig. 7 in den entsprechenden Aufnahmekanal 22
eingeschoben. An das innere Ende von jedem der Rohre 42
ist eine Kappe 44 von der Form einer geschlossenen Spitze
angeschweißt, die ein Thermoelement 46 enthält, das in
ein Material mit guter Wärmeleitfähigkeit eingebettet
ist. Jedes Thermoelement 46 ist über seine durch das Rohr
42 verlaufende Stange 48 mit der außerhalb des Ofens
angeordneten Meßvorrichtung elektrisch verbunden. In der
Arbeitsposition werden die Rohre 42 in ihrem Aufnahmekanal 22
festgehalten, daß die Kappe 44 bei der entsprechenden
Stufe 18 aus der Wand des Schutzmantels 16 herausragt, wie
dies in der perspektivischen Ansicht der Fig. 5 dar
gestellt ist.
Claims (9)
1. Sonde für Gasprobenentnahmen und thermische Messungen
in einem Schachtofen, mit:
einem Schutzmantel (16), der durch eine Öffnung in der Ofenwand (10) oberhalb der Beschickungsoberfläche in den Hochofen einführbar ist, wobei der Querschnitt des Schutzmantels (16) bis zur Sondenspitze stufenförmig derart abnimmt, daß der Schutzmantel (26) mehrere transversale Stufen (18) aufweist;
mindestens einem in dem Schutzmantel (16) verlaufenden Kühlkreis (24);
Temperaturmeßrohren (42) die jeweils ein Thermoelement (46) für die thermischen Messungen tragen;
geraden Aufnahmekanälen (22) für die Temperaturmeßrohre (42), die sich von außerhalb des Ofens durch den Schutzmantel (16) erstrecken, um jeweils im Bereich einer transversalen Stufe (18) des Schutzmantels (16) eine Ofeneinmündung auszubilden, wobei jedes der Temperaturmeßrohre (42) einzeln und zurückziehbar in einem dieser Aufnahmekanäle (22) angeordnetet ist, derart, daß das Thermoelement (46) in Meßposition an der Ofeneinmündung des Aufnahmekanals (22) angeordnet ist, um dort Temperaturmessungen vorzunehmen; und
Gasproben-Entnahmerohren (32, 32a), die außerhalb des Ofens mit einer Vorrichtung für die Gasprobenentnahme verbunden sind und an ihrem freien Ende eine Gaseinmündung aufweisen; gekennzeichnet durch separate gerade Aufnahmekanäle (20) für die Gasproben- Entnahmerohre (32, 32a), die sich durch den Schutzmantel (16) erstrecken um jeweils im Bereich einer transversalen Stufe (18) des Schutzmantels (16) eine Ofeneinmündung auszubilden, wobei jedes der Gasproben-Entnahmerohre (32, 32a) einzeln und zurück ziehbar in einem dieser Aufnahmekanäle (20) angeordnetet ist, derart, daß in Meßposition seine Gaseinmündung an der Ofeneinmündung seines Aufnahmekanals (20) angeordnet ist, um dort Gasproben zu entnehmen und sie durch die Gasproben-Entnahmerohre (32, 32a) zur Vorrichtung für die Gasprobenentnahme außerhalb des Ofens zu leiten.
einem Schutzmantel (16), der durch eine Öffnung in der Ofenwand (10) oberhalb der Beschickungsoberfläche in den Hochofen einführbar ist, wobei der Querschnitt des Schutzmantels (16) bis zur Sondenspitze stufenförmig derart abnimmt, daß der Schutzmantel (26) mehrere transversale Stufen (18) aufweist;
mindestens einem in dem Schutzmantel (16) verlaufenden Kühlkreis (24);
Temperaturmeßrohren (42) die jeweils ein Thermoelement (46) für die thermischen Messungen tragen;
geraden Aufnahmekanälen (22) für die Temperaturmeßrohre (42), die sich von außerhalb des Ofens durch den Schutzmantel (16) erstrecken, um jeweils im Bereich einer transversalen Stufe (18) des Schutzmantels (16) eine Ofeneinmündung auszubilden, wobei jedes der Temperaturmeßrohre (42) einzeln und zurückziehbar in einem dieser Aufnahmekanäle (22) angeordnetet ist, derart, daß das Thermoelement (46) in Meßposition an der Ofeneinmündung des Aufnahmekanals (22) angeordnet ist, um dort Temperaturmessungen vorzunehmen; und
Gasproben-Entnahmerohren (32, 32a), die außerhalb des Ofens mit einer Vorrichtung für die Gasprobenentnahme verbunden sind und an ihrem freien Ende eine Gaseinmündung aufweisen; gekennzeichnet durch separate gerade Aufnahmekanäle (20) für die Gasproben- Entnahmerohre (32, 32a), die sich durch den Schutzmantel (16) erstrecken um jeweils im Bereich einer transversalen Stufe (18) des Schutzmantels (16) eine Ofeneinmündung auszubilden, wobei jedes der Gasproben-Entnahmerohre (32, 32a) einzeln und zurück ziehbar in einem dieser Aufnahmekanäle (20) angeordnetet ist, derart, daß in Meßposition seine Gaseinmündung an der Ofeneinmündung seines Aufnahmekanals (20) angeordnet ist, um dort Gasproben zu entnehmen und sie durch die Gasproben-Entnahmerohre (32, 32a) zur Vorrichtung für die Gasprobenentnahme außerhalb des Ofens zu leiten.
2. Sonde nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch
Querstege (28), welche die Aufnahmekanäle (20, 22) im
Schutzmantel (16) abzustützen, wobei die Querstege (28)
derart angeordnet und geformt sind, daß sie
gleichzeitig die transversalen Stufen (18) des
Schutzmantels (16) bilden.
3. Sonde nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Stufen (18) wechselnd rechts und
links einer durch die Längsachse der Sonde (12)
verlaufenden, vertikalen Ebene angeordnet sind.
4. Sonde nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die transversalen Stufen (18) im wesentlichen
dreieckig ausgebildet sind, wobei die Spitze eines
jeden Dreiecks in Richtung Beschickungsoberfläche zeigt
und abwechselnd rechts und links einer durch die
Längsachse der Sonde (12) verlaufenden, vertikalen Ebene
angeordnet ist.
5. Sonde nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß das hintere Ende eines Gasproben-
Entnahmerohres (32) oder eines Temperaturmeßrohres (42)
außerhalb des Ofens auf einen Aufnahmekanal (20, 22)
aufgeflanscht ist und das vordere Ende dieses Rohres
(32, 42) frei aus seinem Aufnahmekanal (20, 22)
herausragt.
6. Sonde nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß dem hinteren Ende eines Gasproben-
Entnahmerohres (32a) oder eines Temperaturmeßrohres
(42) eine zylindrische Schraubenfeder (38) derart
zugeordnet ist, daß das vordere Ende des Rohres (32a, 42) im
Aufnahmekanal (20, 22) durch Federkraft gegen einen
Anschlag (34) gepreßt wird, so daß das Rohr elastisch im
Aufnahmekanal (20, 22) festgehalten wird.
7. Sonde gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei
der Schutzmantel (16) ein abgedichtetes Gehäuse
ausbildet, in das die Aufnahmekanäle (20, 22)
abgedichtet montiert sind, und das außerhalb des Ofens
an einen Kühlkreislauf angeschlossen ist.
8. Sonde nach Anspruch 7, gekennzeichnet durch einen
Kühlmittelkanal (24) der den Schutzmantel (16) axial
durchquert und in der Sondenspitze eine Einmündung in
den Schutzmantel (16) ausbildet.
9. Sonde nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß die geraden Aufnahmekanäle (20, 22)
am hinteren Ende des Schutzmantels (16) durch eine
Dichtung (30) abgedichtet aus dem Schutzmantel (16)
herausgeführt sind.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
LU87693A LU87693A1 (fr) | 1990-03-07 | 1990-03-07 | Sonde de prise d'echantillons gazeux et de mesures thermiques dans un four a cuve |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4105830A1 DE4105830A1 (de) | 1991-09-12 |
DE4105830C2 true DE4105830C2 (de) | 1999-03-11 |
Family
ID=19731222
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4105830A Expired - Fee Related DE4105830C2 (de) | 1990-03-07 | 1991-02-25 | Sonde für Gasprobenentnahmen und thermische Messungen in einem Schachtofen |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5108192A (de) |
EP (1) | EP0445599B1 (de) |
JP (1) | JPH0658855A (de) |
CN (1) | CN1028907C (de) |
AT (1) | ATE132624T1 (de) |
AU (1) | AU635391B2 (de) |
BR (1) | BR9100969A (de) |
CA (1) | CA2037224A1 (de) |
CZ (1) | CZ283311B6 (de) |
DE (1) | DE4105830C2 (de) |
ES (1) | ES2082021T3 (de) |
LU (1) | LU87693A1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006058286A1 (de) * | 2006-12-08 | 2008-06-12 | Technische Universität München | Gasentnahmeventil und dessen Anordnung in einem Reaktionsraum, insbesondere in einer Brennkammer einer Verbrennungskraftmaschine, sowie Verfahren zum Betrieb eines derartigen Gasentnahmeventils |
DE102017102046A1 (de) * | 2017-02-02 | 2018-08-02 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) | Entnahmesonde und Verfahren zur Entnahme von Abgas |
Families Citing this family (325)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2702047A1 (fr) * | 1993-02-26 | 1994-09-02 | Framatome Sa | Dispositif de prélèvements d'échantillons ou de mesures de grandeurs physiques dans un milieu sous-marin. |
US5505544A (en) * | 1994-03-17 | 1996-04-09 | Sony Corp. | Chamber temperature uniformity test fixture |
GB0019176D0 (en) * | 2000-08-05 | 2000-09-27 | Cambridge Material Science Lim | Monitoring thermal events |
US6550963B2 (en) * | 2001-04-26 | 2003-04-22 | Daily Instruments | Multipoint thermocouple |
DE10202357C2 (de) * | 2001-06-21 | 2003-04-24 | Schott Glas | Verfahren und Vorrichtung zum Entnehmen einer Glasprobe aus einer Glassschmelze, insbesondere aus Bereichen unterhalb der Oberfläche der Glasschmelze |
US8109670B2 (en) * | 2003-03-31 | 2012-02-07 | Saudi Arabian Oil Company | Measurement of molten sulfur level in receptacles |
KR100776914B1 (ko) * | 2005-06-14 | 2007-11-15 | 주식회사 엘지화학 | 온도 측정 장치 |
DE102006019723B4 (de) * | 2006-03-31 | 2014-12-24 | Alstom Technology Ltd. | Messsondensystem, Anordnung und Verfahren zur Erfassung von Abgasparametern stromabwärts einer Gasturbine |
WO2008143962A1 (en) * | 2007-05-18 | 2008-11-27 | Enviormental Energy Services, Inc. | Method for measuring ash/slag deposition in a utility boiler |
US20090052498A1 (en) * | 2007-08-24 | 2009-02-26 | Asm America, Inc. | Thermocouple |
US10378106B2 (en) | 2008-11-14 | 2019-08-13 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming insulation film by modified PEALD |
US8262287B2 (en) | 2008-12-08 | 2012-09-11 | Asm America, Inc. | Thermocouple |
US9394608B2 (en) | 2009-04-06 | 2016-07-19 | Asm America, Inc. | Semiconductor processing reactor and components thereof |
US8382370B2 (en) * | 2009-05-06 | 2013-02-26 | Asm America, Inc. | Thermocouple assembly with guarded thermocouple junction |
US8100583B2 (en) * | 2009-05-06 | 2012-01-24 | Asm America, Inc. | Thermocouple |
US9297705B2 (en) * | 2009-05-06 | 2016-03-29 | Asm America, Inc. | Smart temperature measuring device |
US8802201B2 (en) | 2009-08-14 | 2014-08-12 | Asm America, Inc. | Systems and methods for thin-film deposition of metal oxides using excited nitrogen-oxygen species |
GB2483931B (en) * | 2010-09-27 | 2015-12-23 | Endet Ltd | Combined fluid sampling and monitoring probe |
DE202011001277U1 (de) | 2011-01-10 | 2012-04-16 | Klaus Irrgang | Thermoelektrischer Temperaturfühler |
DE102011008176B4 (de) | 2011-01-10 | 2013-02-07 | Klaus Irrgang | Thermoelektrischer Temperaturfühler |
US9312155B2 (en) | 2011-06-06 | 2016-04-12 | Asm Japan K.K. | High-throughput semiconductor-processing apparatus equipped with multiple dual-chamber modules |
US10364496B2 (en) | 2011-06-27 | 2019-07-30 | Asm Ip Holding B.V. | Dual section module having shared and unshared mass flow controllers |
US10854498B2 (en) | 2011-07-15 | 2020-12-01 | Asm Ip Holding B.V. | Wafer-supporting device and method for producing same |
US20130023129A1 (en) | 2011-07-20 | 2013-01-24 | Asm America, Inc. | Pressure transmitter for a semiconductor processing environment |
US9017481B1 (en) | 2011-10-28 | 2015-04-28 | Asm America, Inc. | Process feed management for semiconductor substrate processing |
CN102443667B (zh) * | 2011-12-07 | 2013-04-17 | 首钢总公司 | 一种风口回旋区取样测量装置 |
EA201590247A1 (ru) | 2012-07-19 | 2015-10-30 | Алетиа Байотерапьютикс Инк. | Антитела к siglec-15 |
US9659799B2 (en) | 2012-08-28 | 2017-05-23 | Asm Ip Holding B.V. | Systems and methods for dynamic semiconductor process scheduling |
US10714315B2 (en) | 2012-10-12 | 2020-07-14 | Asm Ip Holdings B.V. | Semiconductor reaction chamber showerhead |
CN103115692A (zh) * | 2013-01-23 | 2013-05-22 | 宁波松科磁材有限公司 | 一种钕铁硼烧结测温法兰 |
US20160376700A1 (en) | 2013-02-01 | 2016-12-29 | Asm Ip Holding B.V. | System for treatment of deposition reactor |
US9484191B2 (en) | 2013-03-08 | 2016-11-01 | Asm Ip Holding B.V. | Pulsed remote plasma method and system |
USD702188S1 (en) | 2013-03-08 | 2014-04-08 | Asm Ip Holding B.V. | Thermocouple |
US9589770B2 (en) | 2013-03-08 | 2017-03-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method and systems for in-situ formation of intermediate reactive species |
CN103411697B (zh) * | 2013-07-11 | 2016-04-27 | 青岛新力通工业有限责任公司 | 材料高温力学试验机的铠装热电偶测温装置 |
US9240412B2 (en) | 2013-09-27 | 2016-01-19 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor structure and device and methods of forming same using selective epitaxial process |
CN103602770B (zh) * | 2013-12-05 | 2015-05-13 | 江苏联兴成套设备制造有限公司 | 可在线更换的带预警功能的十字测温装置 |
US10683571B2 (en) | 2014-02-25 | 2020-06-16 | Asm Ip Holding B.V. | Gas supply manifold and method of supplying gases to chamber using same |
US10167557B2 (en) | 2014-03-18 | 2019-01-01 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution system, reactor including the system, and methods of using the same |
US11015245B2 (en) | 2014-03-19 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Gas-phase reactor and system having exhaust plenum and components thereof |
US10858737B2 (en) | 2014-07-28 | 2020-12-08 | Asm Ip Holding B.V. | Showerhead assembly and components thereof |
US9890456B2 (en) | 2014-08-21 | 2018-02-13 | Asm Ip Holding B.V. | Method and system for in situ formation of gas-phase compounds |
US10941490B2 (en) | 2014-10-07 | 2021-03-09 | Asm Ip Holding B.V. | Multiple temperature range susceptor, assembly, reactor and system including the susceptor, and methods of using the same |
US9657845B2 (en) | 2014-10-07 | 2017-05-23 | Asm Ip Holding B.V. | Variable conductance gas distribution apparatus and method |
US10048098B2 (en) * | 2014-12-11 | 2018-08-14 | Cim-Tech Inc. | Probes, blast furnaces equipped therewith, and methods of fabricating probes |
KR102263121B1 (ko) | 2014-12-22 | 2021-06-09 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
US10529542B2 (en) | 2015-03-11 | 2020-01-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Cross-flow reactor and method |
US10276355B2 (en) | 2015-03-12 | 2019-04-30 | Asm Ip Holding B.V. | Multi-zone reactor, system including the reactor, and method of using the same |
US10458018B2 (en) | 2015-06-26 | 2019-10-29 | Asm Ip Holding B.V. | Structures including metal carbide material, devices including the structures, and methods of forming same |
US10600673B2 (en) | 2015-07-07 | 2020-03-24 | Asm Ip Holding B.V. | Magnetic susceptor to baseplate seal |
US9960072B2 (en) | 2015-09-29 | 2018-05-01 | Asm Ip Holding B.V. | Variable adjustment for precise matching of multiple chamber cavity housings |
US10211308B2 (en) | 2015-10-21 | 2019-02-19 | Asm Ip Holding B.V. | NbMC layers |
US10322384B2 (en) | 2015-11-09 | 2019-06-18 | Asm Ip Holding B.V. | Counter flow mixer for process chamber |
US11139308B2 (en) | 2015-12-29 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Atomic layer deposition of III-V compounds to form V-NAND devices |
US10529554B2 (en) | 2016-02-19 | 2020-01-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches |
US10468251B2 (en) | 2016-02-19 | 2019-11-05 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming spacers using silicon nitride film for spacer-defined multiple patterning |
US10501866B2 (en) | 2016-03-09 | 2019-12-10 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution apparatus for improved film uniformity in an epitaxial system |
US10343920B2 (en) | 2016-03-18 | 2019-07-09 | Asm Ip Holding B.V. | Aligned carbon nanotubes |
US9892913B2 (en) | 2016-03-24 | 2018-02-13 | Asm Ip Holding B.V. | Radial and thickness control via biased multi-port injection settings |
US10865475B2 (en) | 2016-04-21 | 2020-12-15 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides and silicides |
US10190213B2 (en) | 2016-04-21 | 2019-01-29 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides |
US10032628B2 (en) | 2016-05-02 | 2018-07-24 | Asm Ip Holding B.V. | Source/drain performance through conformal solid state doping |
US10367080B2 (en) | 2016-05-02 | 2019-07-30 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a germanium oxynitride film |
KR102592471B1 (ko) | 2016-05-17 | 2023-10-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 금속 배선 형성 방법 및 이를 이용한 반도체 장치의 제조 방법 |
US11453943B2 (en) | 2016-05-25 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming carbon-containing silicon/metal oxide or nitride film by ALD using silicon precursor and hydrocarbon precursor |
CN106153402A (zh) * | 2016-06-15 | 2016-11-23 | 安徽省绿巨人环境技术有限公司 | 一种基于储气罐的空气采样装置 |
US10388509B2 (en) | 2016-06-28 | 2019-08-20 | Asm Ip Holding B.V. | Formation of epitaxial layers via dislocation filtering |
US9859151B1 (en) | 2016-07-08 | 2018-01-02 | Asm Ip Holding B.V. | Selective film deposition method to form air gaps |
US10612137B2 (en) | 2016-07-08 | 2020-04-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Organic reactants for atomic layer deposition |
US10714385B2 (en) | 2016-07-19 | 2020-07-14 | Asm Ip Holding B.V. | Selective deposition of tungsten |
KR102354490B1 (ko) | 2016-07-27 | 2022-01-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
US10395919B2 (en) | 2016-07-28 | 2019-08-27 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
US9887082B1 (en) | 2016-07-28 | 2018-02-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
KR102532607B1 (ko) | 2016-07-28 | 2023-05-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 가공 장치 및 그 동작 방법 |
US9812320B1 (en) | 2016-07-28 | 2017-11-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
KR102613349B1 (ko) | 2016-08-25 | 2023-12-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 배기 장치 및 이를 이용한 기판 가공 장치와 박막 제조 방법 |
US10410943B2 (en) | 2016-10-13 | 2019-09-10 | Asm Ip Holding B.V. | Method for passivating a surface of a semiconductor and related systems |
US10643826B2 (en) | 2016-10-26 | 2020-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for thermally calibrating reaction chambers |
US11532757B2 (en) | 2016-10-27 | 2022-12-20 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of charge trapping layers |
US10435790B2 (en) | 2016-11-01 | 2019-10-08 | Asm Ip Holding B.V. | Method of subatmospheric plasma-enhanced ALD using capacitively coupled electrodes with narrow gap |
US10714350B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-07-14 | ASM IP Holdings, B.V. | Methods for forming a transition metal niobium nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures |
US10643904B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for forming a semiconductor device and related semiconductor device structures |
US10229833B2 (en) | 2016-11-01 | 2019-03-12 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures |
US10134757B2 (en) | 2016-11-07 | 2018-11-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method of processing a substrate and a device manufactured by using the method |
KR102546317B1 (ko) | 2016-11-15 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
US10340135B2 (en) | 2016-11-28 | 2019-07-02 | Asm Ip Holding B.V. | Method of topologically restricted plasma-enhanced cyclic deposition of silicon or metal nitride |
KR20180068582A (ko) | 2016-12-14 | 2018-06-22 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11447861B2 (en) | 2016-12-15 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Sequential infiltration synthesis apparatus and a method of forming a patterned structure |
US11581186B2 (en) | 2016-12-15 | 2023-02-14 | Asm Ip Holding B.V. | Sequential infiltration synthesis apparatus |
KR20180070971A (ko) | 2016-12-19 | 2018-06-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US10269558B2 (en) | 2016-12-22 | 2019-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
US10867788B2 (en) | 2016-12-28 | 2020-12-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
US10655221B2 (en) | 2017-02-09 | 2020-05-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing oxide film by thermal ALD and PEALD |
US10468261B2 (en) | 2017-02-15 | 2019-11-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metallic film on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures |
US10529563B2 (en) | 2017-03-29 | 2020-01-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for forming doped metal oxide films on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures |
US10283353B2 (en) | 2017-03-29 | 2019-05-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method of reforming insulating film deposited on substrate with recess pattern |
KR102457289B1 (ko) | 2017-04-25 | 2022-10-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US10446393B2 (en) | 2017-05-08 | 2019-10-15 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming silicon-containing epitaxial layers and related semiconductor device structures |
US10770286B2 (en) | 2017-05-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for selectively forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
US10892156B2 (en) | 2017-05-08 | 2021-01-12 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
US10504742B2 (en) | 2017-05-31 | 2019-12-10 | Asm Ip Holding B.V. | Method of atomic layer etching using hydrogen plasma |
US10886123B2 (en) | 2017-06-02 | 2021-01-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming low temperature semiconductor layers and related semiconductor device structures |
US11306395B2 (en) | 2017-06-28 | 2022-04-19 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related deposition apparatus |
US10685834B2 (en) | 2017-07-05 | 2020-06-16 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for forming a silicon germanium tin layer and related semiconductor device structures |
KR20190009245A (ko) | 2017-07-18 | 2019-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자 구조물 형성 방법 및 관련된 반도체 소자 구조물 |
US11018002B2 (en) | 2017-07-19 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for selectively depositing a Group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US11374112B2 (en) | 2017-07-19 | 2022-06-28 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US10541333B2 (en) | 2017-07-19 | 2020-01-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US10590535B2 (en) | 2017-07-26 | 2020-03-17 | Asm Ip Holdings B.V. | Chemical treatment, deposition and/or infiltration apparatus and method for using the same |
US10605530B2 (en) | 2017-07-26 | 2020-03-31 | Asm Ip Holding B.V. | Assembly of a liner and a flange for a vertical furnace as well as the liner and the vertical furnace |
US10312055B2 (en) | 2017-07-26 | 2019-06-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method of depositing film by PEALD using negative bias |
US10692741B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-06-23 | Asm Ip Holdings B.V. | Radiation shield |
US10770336B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate lift mechanism and reactor including same |
US11139191B2 (en) | 2017-08-09 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
US10249524B2 (en) | 2017-08-09 | 2019-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Cassette holder assembly for a substrate cassette and holding member for use in such assembly |
US11769682B2 (en) | 2017-08-09 | 2023-09-26 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
USD900036S1 (en) | 2017-08-24 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Heater electrical connector and adapter |
US11830730B2 (en) | 2017-08-29 | 2023-11-28 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method and apparatus |
KR102491945B1 (ko) | 2017-08-30 | 2023-01-26 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11056344B2 (en) | 2017-08-30 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method |
US11295980B2 (en) | 2017-08-30 | 2022-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a molybdenum metal film over a dielectric surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
KR102401446B1 (ko) | 2017-08-31 | 2022-05-24 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US10607895B2 (en) | 2017-09-18 | 2020-03-31 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for forming a semiconductor device structure comprising a gate fill metal |
KR102630301B1 (ko) | 2017-09-21 | 2024-01-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 침투성 재료의 순차 침투 합성 방법 처리 및 이를 이용하여 형성된 구조물 및 장치 |
US10844484B2 (en) | 2017-09-22 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
US10658205B2 (en) | 2017-09-28 | 2020-05-19 | Asm Ip Holdings B.V. | Chemical dispensing apparatus and methods for dispensing a chemical to a reaction chamber |
US10403504B2 (en) | 2017-10-05 | 2019-09-03 | Asm Ip Holding B.V. | Method for selectively depositing a metallic film on a substrate |
US10319588B2 (en) | 2017-10-10 | 2019-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a metal chalcogenide on a substrate by cyclical deposition |
US10923344B2 (en) | 2017-10-30 | 2021-02-16 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a semiconductor structure and related semiconductor structures |
US10910262B2 (en) | 2017-11-16 | 2021-02-02 | Asm Ip Holding B.V. | Method of selectively depositing a capping layer structure on a semiconductor device structure |
KR102443047B1 (ko) | 2017-11-16 | 2022-09-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
US11022879B2 (en) | 2017-11-24 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming an enhanced unexposed photoresist layer |
CN111316417B (zh) | 2017-11-27 | 2023-12-22 | 阿斯莫Ip控股公司 | 与批式炉偕同使用的用于储存晶圆匣的储存装置 |
WO2019103610A1 (en) | 2017-11-27 | 2019-05-31 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus including a clean mini environment |
US10290508B1 (en) | 2017-12-05 | 2019-05-14 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming vertical spacers for spacer-defined patterning |
US10872771B2 (en) | 2018-01-16 | 2020-12-22 | Asm Ip Holding B. V. | Method for depositing a material film on a substrate within a reaction chamber by a cyclical deposition process and related device structures |
CN111630203A (zh) | 2018-01-19 | 2020-09-04 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过等离子体辅助沉积来沉积间隙填充层的方法 |
TWI799494B (zh) | 2018-01-19 | 2023-04-21 | 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 | 沈積方法 |
USD903477S1 (en) | 2018-01-24 | 2020-12-01 | Asm Ip Holdings B.V. | Metal clamp |
US11018047B2 (en) | 2018-01-25 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Hybrid lift pin |
USD880437S1 (en) | 2018-02-01 | 2020-04-07 | Asm Ip Holding B.V. | Gas supply plate for semiconductor manufacturing apparatus |
US10535516B2 (en) | 2018-02-01 | 2020-01-14 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for depositing a semiconductor structure on a surface of a substrate and related semiconductor structures |
US11081345B2 (en) | 2018-02-06 | 2021-08-03 | Asm Ip Holding B.V. | Method of post-deposition treatment for silicon oxide film |
US10896820B2 (en) | 2018-02-14 | 2021-01-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process |
CN111699278B (zh) | 2018-02-14 | 2023-05-16 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过循环沉积工艺在衬底上沉积含钌膜的方法 |
US10731249B2 (en) | 2018-02-15 | 2020-08-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a transition metal containing film on a substrate by a cyclical deposition process, a method for supplying a transition metal halide compound to a reaction chamber, and related vapor deposition apparatus |
US10658181B2 (en) | 2018-02-20 | 2020-05-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method of spacer-defined direct patterning in semiconductor fabrication |
KR102636427B1 (ko) | 2018-02-20 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 장치 |
US10975470B2 (en) | 2018-02-23 | 2021-04-13 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus for detecting or monitoring for a chemical precursor in a high temperature environment |
US11473195B2 (en) | 2018-03-01 | 2022-10-18 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus and a method for processing a substrate |
US11629406B2 (en) | 2018-03-09 | 2023-04-18 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus comprising one or more pyrometers for measuring a temperature of a substrate during transfer of the substrate |
US11114283B2 (en) | 2018-03-16 | 2021-09-07 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor, system including the reactor, and methods of manufacturing and using same |
KR102646467B1 (ko) | 2018-03-27 | 2024-03-11 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상에 전극을 형성하는 방법 및 전극을 포함하는 반도체 소자 구조 |
US10510536B2 (en) | 2018-03-29 | 2019-12-17 | Asm Ip Holding B.V. | Method of depositing a co-doped polysilicon film on a surface of a substrate within a reaction chamber |
US11088002B2 (en) | 2018-03-29 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate rack and a substrate processing system and method |
US11230766B2 (en) | 2018-03-29 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
KR102501472B1 (ko) | 2018-03-30 | 2023-02-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
TWI811348B (zh) | 2018-05-08 | 2023-08-11 | 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 | 藉由循環沉積製程於基板上沉積氧化物膜之方法及相關裝置結構 |
KR20190129718A (ko) | 2018-05-11 | 2019-11-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상에 피도핑 금속 탄화물 막을 형성하는 방법 및 관련 반도체 소자 구조 |
KR102596988B1 (ko) | 2018-05-28 | 2023-10-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
US11718913B2 (en) | 2018-06-04 | 2023-08-08 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution system and reactor system including same |
US11270899B2 (en) | 2018-06-04 | 2022-03-08 | Asm Ip Holding B.V. | Wafer handling chamber with moisture reduction |
US11286562B2 (en) | 2018-06-08 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Gas-phase chemical reactor and method of using same |
US10797133B2 (en) | 2018-06-21 | 2020-10-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a phosphorus doped silicon arsenide film and related semiconductor device structures |
KR102568797B1 (ko) | 2018-06-21 | 2023-08-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 시스템 |
CN112292478A (zh) | 2018-06-27 | 2021-01-29 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于形成含金属的材料的循环沉积方法及包含含金属的材料的膜和结构 |
CN112292477A (zh) | 2018-06-27 | 2021-01-29 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于形成含金属的材料的循环沉积方法及包含含金属的材料的膜和结构 |
KR20200002519A (ko) | 2018-06-29 | 2020-01-08 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US10612136B2 (en) | 2018-06-29 | 2020-04-07 | ASM IP Holding, B.V. | Temperature-controlled flange and reactor system including same |
US10388513B1 (en) | 2018-07-03 | 2019-08-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
US10755922B2 (en) | 2018-07-03 | 2020-08-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
US10767789B2 (en) | 2018-07-16 | 2020-09-08 | Asm Ip Holding B.V. | Diaphragm valves, valve components, and methods for forming valve components |
US10483099B1 (en) | 2018-07-26 | 2019-11-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming thermally stable organosilicon polymer film |
US11053591B2 (en) | 2018-08-06 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Multi-port gas injection system and reactor system including same |
US10883175B2 (en) | 2018-08-09 | 2021-01-05 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical furnace for processing substrates and a liner for use therein |
US10829852B2 (en) | 2018-08-16 | 2020-11-10 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution device for a wafer processing apparatus |
US11430674B2 (en) | 2018-08-22 | 2022-08-30 | Asm Ip Holding B.V. | Sensor array, apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
KR20200030162A (ko) | 2018-09-11 | 2020-03-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 |
US11024523B2 (en) | 2018-09-11 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
US11049751B2 (en) | 2018-09-14 | 2021-06-29 | Asm Ip Holding B.V. | Cassette supply system to store and handle cassettes and processing apparatus equipped therewith |
CN110970344A (zh) | 2018-10-01 | 2020-04-07 | Asm Ip控股有限公司 | 衬底保持设备、包含所述设备的系统及其使用方法 |
US11232963B2 (en) | 2018-10-03 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
KR102592699B1 (ko) | 2018-10-08 | 2023-10-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치 |
US10847365B2 (en) | 2018-10-11 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming conformal silicon carbide film by cyclic CVD |
US10811256B2 (en) | 2018-10-16 | 2020-10-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for etching a carbon-containing feature |
KR102605121B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-11-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR102546322B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
USD948463S1 (en) | 2018-10-24 | 2022-04-12 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor for semiconductor substrate supporting apparatus |
US10381219B1 (en) | 2018-10-25 | 2019-08-13 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a silicon nitride film |
US11087997B2 (en) | 2018-10-31 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus for processing substrates |
KR20200051105A (ko) | 2018-11-02 | 2020-05-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
US11572620B2 (en) | 2018-11-06 | 2023-02-07 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate |
US11031242B2 (en) | 2018-11-07 | 2021-06-08 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a boron doped silicon germanium film |
EP3880852A1 (de) * | 2018-11-13 | 2021-09-22 | ArcelorMittal | Direktreduktionsschachtofen mit sonde zur innengasanalyse |
US10818758B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metal silicate film on a substrate in a reaction chamber and related semiconductor device structures |
US10847366B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal chalcogenide film on a substrate by a cyclical deposition process |
US10559458B1 (en) | 2018-11-26 | 2020-02-11 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming oxynitride film |
US11217444B2 (en) | 2018-11-30 | 2022-01-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming an ultraviolet radiation responsive metal oxide-containing film |
KR102636428B1 (ko) | 2018-12-04 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치를 세정하는 방법 |
US11158513B2 (en) | 2018-12-13 | 2021-10-26 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
TW202037745A (zh) | 2018-12-14 | 2020-10-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成裝置結構之方法、其所形成之結構及施行其之系統 |
TW202405220A (zh) | 2019-01-17 | 2024-02-01 | 荷蘭商Asm Ip 私人控股有限公司 | 藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法 |
KR20200091543A (ko) | 2019-01-22 | 2020-07-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
CN111524788B (zh) | 2019-02-01 | 2023-11-24 | Asm Ip私人控股有限公司 | 氧化硅的拓扑选择性膜形成的方法 |
JP2020136677A (ja) | 2019-02-20 | 2020-08-31 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 基材表面内に形成された凹部を充填するための周期的堆積方法および装置 |
TW202044325A (zh) | 2019-02-20 | 2020-12-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 填充一基板之一表面內所形成的一凹槽的方法、根據其所形成之半導體結構、及半導體處理設備 |
US11482533B2 (en) | 2019-02-20 | 2022-10-25 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus and methods for plug fill deposition in 3-D NAND applications |
KR102626263B1 (ko) | 2019-02-20 | 2024-01-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 처리 단계를 포함하는 주기적 증착 방법 및 이를 위한 장치 |
JP2020133004A (ja) | 2019-02-22 | 2020-08-31 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 基材を処理するための基材処理装置および方法 |
KR20200108242A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체 |
KR20200108243A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | SiOC 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법 |
KR20200108248A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | SiOCN 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법 |
KR20200116033A (ko) | 2019-03-28 | 2020-10-08 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 도어 개방기 및 이를 구비한 기판 처리 장치 |
KR20200116855A (ko) | 2019-04-01 | 2020-10-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자를 제조하는 방법 |
KR20200123380A (ko) | 2019-04-19 | 2020-10-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 층 형성 방법 및 장치 |
KR20200125453A (ko) | 2019-04-24 | 2020-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법 |
KR20200130121A (ko) | 2019-05-07 | 2020-11-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기 |
KR20200130118A (ko) | 2019-05-07 | 2020-11-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 비정질 탄소 중합체 막을 개질하는 방법 |
KR20200130652A (ko) | 2019-05-10 | 2020-11-19 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조 |
JP2020188255A (ja) | 2019-05-16 | 2020-11-19 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法 |
JP2020188254A (ja) | 2019-05-16 | 2020-11-19 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法 |
USD947913S1 (en) | 2019-05-17 | 2022-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
USD975665S1 (en) | 2019-05-17 | 2023-01-17 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
USD935572S1 (en) | 2019-05-24 | 2021-11-09 | Asm Ip Holding B.V. | Gas channel plate |
US11408779B2 (en) | 2019-06-03 | 2022-08-09 | Daily Thermetrics Corporation | Temperature sensor and methods of use |
USD922229S1 (en) | 2019-06-05 | 2021-06-15 | Asm Ip Holding B.V. | Device for controlling a temperature of a gas supply unit |
KR20200141003A (ko) | 2019-06-06 | 2020-12-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 가스 감지기를 포함하는 기상 반응기 시스템 |
KR20200143254A (ko) | 2019-06-11 | 2020-12-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조 |
USD944946S1 (en) | 2019-06-14 | 2022-03-01 | Asm Ip Holding B.V. | Shower plate |
USD931978S1 (en) | 2019-06-27 | 2021-09-28 | Asm Ip Holding B.V. | Showerhead vacuum transport |
KR20210005515A (ko) | 2019-07-03 | 2021-01-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법 |
JP7499079B2 (ja) | 2019-07-09 | 2024-06-13 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法 |
CN112216646A (zh) | 2019-07-10 | 2021-01-12 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板支撑组件及包括其的基板处理装置 |
KR20210010307A (ko) | 2019-07-16 | 2021-01-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
KR20210010820A (ko) | 2019-07-17 | 2021-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법 |
KR20210010816A (ko) | 2019-07-17 | 2021-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법 |
US11643724B2 (en) | 2019-07-18 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming structures using a neutral beam |
CN112242296A (zh) | 2019-07-19 | 2021-01-19 | Asm Ip私人控股有限公司 | 形成拓扑受控的无定形碳聚合物膜的方法 |
TW202113936A (zh) | 2019-07-29 | 2021-04-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於利用n型摻雜物及/或替代摻雜物選擇性沉積以達成高摻雜物併入之方法 |
CN112309899A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112309900A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
US11587815B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
US11587814B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
US11227782B2 (en) | 2019-07-31 | 2022-01-18 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
CN112323048B (zh) | 2019-08-05 | 2024-02-09 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于化学源容器的液位传感器 |
USD965524S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-10-04 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor support |
USD965044S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
JP2021031769A (ja) | 2019-08-21 | 2021-03-01 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | 成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置 |
USD979506S1 (en) | 2019-08-22 | 2023-02-28 | Asm Ip Holding B.V. | Insulator |
USD940837S1 (en) | 2019-08-22 | 2022-01-11 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode |
USD930782S1 (en) | 2019-08-22 | 2021-09-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor |
USD949319S1 (en) | 2019-08-22 | 2022-04-19 | Asm Ip Holding B.V. | Exhaust duct |
KR20210024423A (ko) | 2019-08-22 | 2021-03-05 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법 |
US11286558B2 (en) | 2019-08-23 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film |
KR20210024420A (ko) | 2019-08-23 | 2021-03-05 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 비스(디에틸아미노)실란을 사용하여 peald에 의해 개선된 품질을 갖는 실리콘 산화물 막을 증착하기 위한 방법 |
KR20210029090A (ko) | 2019-09-04 | 2021-03-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법 |
KR20210029663A (ko) | 2019-09-05 | 2021-03-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11562901B2 (en) | 2019-09-25 | 2023-01-24 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing method |
CN112593212B (zh) | 2019-10-02 | 2023-12-22 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法 |
TW202129060A (zh) | 2019-10-08 | 2021-08-01 | 荷蘭商Asm Ip控股公司 | 基板處理裝置、及基板處理方法 |
KR20210042810A (ko) | 2019-10-08 | 2021-04-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 활성 종을 이용하기 위한 가스 분배 어셈블리를 포함한 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법 |
TW202115273A (zh) | 2019-10-10 | 2021-04-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成光阻底層之方法及包括光阻底層之結構 |
US12009241B2 (en) | 2019-10-14 | 2024-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly with detector to detect cassette |
TWI834919B (zh) | 2019-10-16 | 2024-03-11 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 氧化矽之拓撲選擇性膜形成之方法 |
US11637014B2 (en) | 2019-10-17 | 2023-04-25 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selective deposition of doped semiconductor material |
KR20210047808A (ko) | 2019-10-21 | 2021-04-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법 |
KR20210050453A (ko) | 2019-10-25 | 2021-05-07 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조 |
US11646205B2 (en) | 2019-10-29 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same |
KR20210054983A (ko) | 2019-11-05 | 2021-05-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템 |
US11501968B2 (en) | 2019-11-15 | 2022-11-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps |
KR20210062561A (ko) | 2019-11-20 | 2021-05-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템 |
KR20210065848A (ko) | 2019-11-26 | 2021-06-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 제1 유전체 표면과 제2 금속성 표면을 포함한 기판 상에 타겟 막을 선택적으로 형성하기 위한 방법 |
CN112951697A (zh) | 2019-11-26 | 2021-06-11 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112885693A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112885692A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
JP2021090042A (ja) | 2019-12-02 | 2021-06-10 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | 基板処理装置、基板処理方法 |
KR20210070898A (ko) | 2019-12-04 | 2021-06-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
JP2021097227A (ja) | 2019-12-17 | 2021-06-24 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 窒化バナジウム層および窒化バナジウム層を含む構造体を形成する方法 |
US11527403B2 (en) | 2019-12-19 | 2022-12-13 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for filling a gap feature on a substrate surface and related semiconductor structures |
TW202140135A (zh) | 2020-01-06 | 2021-11-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 氣體供應總成以及閥板總成 |
US11993847B2 (en) | 2020-01-08 | 2024-05-28 | Asm Ip Holding B.V. | Injector |
US11551912B2 (en) | 2020-01-20 | 2023-01-10 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming thin film and method of modifying surface of thin film |
TW202130846A (zh) | 2020-02-03 | 2021-08-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成包括釩或銦層的結構之方法 |
TW202146882A (zh) | 2020-02-04 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 驗證一物品之方法、用於驗證一物品之設備、及用於驗證一反應室之系統 |
US11776846B2 (en) | 2020-02-07 | 2023-10-03 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing gap filling fluids and related systems and devices |
US11781243B2 (en) | 2020-02-17 | 2023-10-10 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing low temperature phosphorous-doped silicon |
TW202203344A (zh) | 2020-02-28 | 2022-01-16 | 荷蘭商Asm Ip控股公司 | 專用於零件清潔的系統 |
KR20210116249A (ko) | 2020-03-11 | 2021-09-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 록아웃 태그아웃 어셈블리 및 시스템 그리고 이의 사용 방법 |
KR20210116240A (ko) | 2020-03-11 | 2021-09-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치 |
KR20210117157A (ko) | 2020-03-12 | 2021-09-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 타겟 토폴로지 프로파일을 갖는 층 구조를 제조하기 위한 방법 |
KR20210124042A (ko) | 2020-04-02 | 2021-10-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 형성 방법 |
TW202146689A (zh) | 2020-04-03 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip控股公司 | 阻障層形成方法及半導體裝置的製造方法 |
TW202145344A (zh) | 2020-04-08 | 2021-12-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於選擇性蝕刻氧化矽膜之設備及方法 |
US11821078B2 (en) | 2020-04-15 | 2023-11-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film |
US11996289B2 (en) | 2020-04-16 | 2024-05-28 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of forming structures including silicon germanium and silicon layers, devices formed using the methods, and systems for performing the methods |
KR20210132600A (ko) | 2020-04-24 | 2021-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템 |
TW202146831A (zh) | 2020-04-24 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 垂直批式熔爐總成、及用於冷卻垂直批式熔爐之方法 |
KR20210132576A (ko) | 2020-04-24 | 2021-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 바나듐 나이트라이드 함유 층을 형성하는 방법 및 이를 포함하는 구조 |
KR20210134226A (ko) | 2020-04-29 | 2021-11-09 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 고체 소스 전구체 용기 |
KR20210134869A (ko) | 2020-05-01 | 2021-11-11 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | Foup 핸들러를 이용한 foup의 빠른 교환 |
KR20210141379A (ko) | 2020-05-13 | 2021-11-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반응기 시스템용 레이저 정렬 고정구 |
TW202147383A (zh) | 2020-05-19 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基材處理設備 |
KR20210145078A (ko) | 2020-05-21 | 2021-12-01 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법 |
TW202200837A (zh) | 2020-05-22 | 2022-01-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於在基材上形成薄膜之反應系統 |
TW202201602A (zh) | 2020-05-29 | 2022-01-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
TW202218133A (zh) | 2020-06-24 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成含矽層之方法 |
TW202217953A (zh) | 2020-06-30 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
TW202219628A (zh) | 2020-07-17 | 2022-05-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於光微影之結構與方法 |
TW202204662A (zh) | 2020-07-20 | 2022-02-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於沉積鉬層之方法及系統 |
KR20220027026A (ko) | 2020-08-26 | 2022-03-07 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 금속 실리콘 산화물 및 금속 실리콘 산질화물 층을 형성하기 위한 방법 및 시스템 |
USD990534S1 (en) | 2020-09-11 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Weighted lift pin |
USD1012873S1 (en) | 2020-09-24 | 2024-01-30 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for semiconductor processing apparatus |
US12009224B2 (en) | 2020-09-29 | 2024-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus and method for etching metal nitrides |
TW202229613A (zh) | 2020-10-14 | 2022-08-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 於階梯式結構上沉積材料的方法 |
TW202217037A (zh) | 2020-10-22 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 沉積釩金屬的方法、結構、裝置及沉積總成 |
TW202223136A (zh) | 2020-10-28 | 2022-06-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統 |
TW202235675A (zh) | 2020-11-30 | 2022-09-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 注入器、及基板處理設備 |
US11946137B2 (en) | 2020-12-16 | 2024-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Runout and wobble measurement fixtures |
TW202231903A (zh) | 2020-12-22 | 2022-08-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成 |
USD980813S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate for substrate processing apparatus |
USD1023959S1 (en) | 2021-05-11 | 2024-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for substrate processing apparatus |
USD980814S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor for substrate processing apparatus |
USD981973S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-28 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor wall for substrate processing apparatus |
USD990441S1 (en) | 2021-09-07 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate |
CN114252302A (zh) * | 2021-11-22 | 2022-03-29 | 五冶集团上海有限公司 | 一种干熄焦炉斜道区在线测温及气体取样装置和方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3130584A (en) * | 1961-02-14 | 1964-04-28 | United States Steel Corp | Blast furnace probe |
US3240069A (en) * | 1963-09-04 | 1966-03-15 | United States Steel Corp | Blast furnace probe |
LU65940A1 (de) * | 1972-08-23 | 1973-01-15 | ||
DE2343470A1 (de) * | 1972-09-05 | 1974-03-14 | Wurth Anciens Ets Paul | Vorrichtung zur entnahme von gasproben an schachtoefen, insbesondere hochoefen |
DE2751727A1 (de) * | 1977-01-14 | 1978-07-20 | Koppers Co Inc | Sonde zur gewinnung von gasproben aus einem schachtofen |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2382888A (en) * | 1943-01-23 | 1945-08-14 | William B Levy | Thermocouple mounting for furnaces |
US3247714A (en) * | 1963-05-15 | 1966-04-26 | Union Carbide Corp | Pyrometer |
US3834237A (en) * | 1972-10-05 | 1974-09-10 | Leeds & Northrup Co | Thermocouple for surface temperature measurements |
US3923552A (en) * | 1972-12-21 | 1975-12-02 | Ppg Industries Inc | Hermetically sealed thermocouple assembly |
US3946610A (en) * | 1973-06-12 | 1976-03-30 | Societe Des Aciers Fins De L'est | Temperature measuring device for metallurgical furnaces |
US4098122A (en) * | 1975-08-05 | 1978-07-04 | The Broken Hill Propietary Company Limited | Temperature probes |
US4822570A (en) * | 1986-12-01 | 1989-04-18 | De Dietrich (Usa), Inc. | Thermal sensing apparatus in outlet nozzle |
US4919543A (en) * | 1988-06-20 | 1990-04-24 | Reynolds Metals Company | Molten metal temperature probe |
-
1990
- 1990-03-07 LU LU87693A patent/LU87693A1/fr unknown
-
1991
- 1991-02-22 AT AT91102571T patent/ATE132624T1/de not_active IP Right Cessation
- 1991-02-22 EP EP91102571A patent/EP0445599B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-02-22 ES ES91102571T patent/ES2082021T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1991-02-25 AU AU71347/91A patent/AU635391B2/en not_active Ceased
- 1991-02-25 DE DE4105830A patent/DE4105830C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-02-27 CA CA002037224A patent/CA2037224A1/en not_active Abandoned
- 1991-03-01 US US07/663,138 patent/US5108192A/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-03-05 JP JP3123263A patent/JPH0658855A/ja active Pending
- 1991-03-07 BR BR919100969A patent/BR9100969A/pt not_active IP Right Cessation
- 1991-03-07 CZ CS91594A patent/CZ283311B6/cs unknown
- 1991-03-07 CN CN91101382.2A patent/CN1028907C/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3130584A (en) * | 1961-02-14 | 1964-04-28 | United States Steel Corp | Blast furnace probe |
US3240069A (en) * | 1963-09-04 | 1966-03-15 | United States Steel Corp | Blast furnace probe |
LU65940A1 (de) * | 1972-08-23 | 1973-01-15 | ||
DE2343470A1 (de) * | 1972-09-05 | 1974-03-14 | Wurth Anciens Ets Paul | Vorrichtung zur entnahme von gasproben an schachtoefen, insbesondere hochoefen |
DE2751727A1 (de) * | 1977-01-14 | 1978-07-20 | Koppers Co Inc | Sonde zur gewinnung von gasproben aus einem schachtofen |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006058286A1 (de) * | 2006-12-08 | 2008-06-12 | Technische Universität München | Gasentnahmeventil und dessen Anordnung in einem Reaktionsraum, insbesondere in einer Brennkammer einer Verbrennungskraftmaschine, sowie Verfahren zum Betrieb eines derartigen Gasentnahmeventils |
DE102006058286B4 (de) * | 2006-12-08 | 2009-05-14 | Technische Universität München | Gasentnahmeventil und dessen Anordnung in einer Brennkammer einer Verbrennungskraftmaschine sowie Verfahren zum Betrieb eines derartigen Gasentnahmeventils |
DE102017102046A1 (de) * | 2017-02-02 | 2018-08-02 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) | Entnahmesonde und Verfahren zur Entnahme von Abgas |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2037224A1 (en) | 1991-09-08 |
EP0445599B1 (de) | 1996-01-03 |
EP0445599A2 (de) | 1991-09-11 |
CZ283311B6 (cs) | 1998-02-18 |
EP0445599A3 (en) | 1992-03-11 |
AU635391B2 (en) | 1993-03-18 |
CN1028907C (zh) | 1995-06-14 |
LU87693A1 (fr) | 1991-10-08 |
ATE132624T1 (de) | 1996-01-15 |
CS9100594A2 (en) | 1991-10-15 |
ES2082021T3 (es) | 1996-03-16 |
JPH0658855A (ja) | 1994-03-04 |
US5108192A (en) | 1992-04-28 |
BR9100969A (pt) | 1991-11-05 |
DE4105830A1 (de) | 1991-09-12 |
AU7134791A (en) | 1991-09-12 |
CN1054663A (zh) | 1991-09-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4105830C2 (de) | Sonde für Gasprobenentnahmen und thermische Messungen in einem Schachtofen | |
DE2801253C2 (de) | Vorrichtung zur Messung der Leistungsverteilung in einer Brennstoffanordnung eines Kernreaktors | |
DE19544880B4 (de) | Temperatursonde | |
DE2343470C2 (de) | Vorrichtung zur Entnahme von Gasproben an Schachtöfen, insbesondere Hochöfen | |
DE2328637C3 (de) | ||
DE2008311B2 (de) | Waermetauscher | |
DE2103048A1 (de) | Temperaturmeßvorrichtung | |
DE2706043A1 (de) | Strahlungsbrenner | |
DE1966923U (de) | Vorrichtung zur thermischen differentiellen mikroanalyse. | |
DD249765A5 (de) | Küvette für die flammenlose Atomabsorptions-Spektroskopie | |
DE3043853C2 (de) | Heißgaskühler mit einem Druckbehälter | |
DE3113495A1 (de) | Spinnbalken mit einer reihenanordnung von duesenbloecken | |
DE2718416C3 (de) | Temperaturmeßvorrichtung für Graphitrohrküvetten | |
DE4341531C2 (de) | Heizvorrichtung bei einer Falschdrahteinrichtung für eine Synthesefaser | |
DE3305232A1 (de) | Vorrichtung zum entnehmen einer heissen gasprobe aus einem gasvolumen | |
DE19940095A1 (de) | Zeeman-Atomisiereinrichtung für gelöste und feste Proben | |
DE102016110170B3 (de) | Verzinkungsofen und Verfahren zum Betrieb eines Verzinkungsofens | |
DE2413782C3 (de) | Vorrichtung zur Atomisierung einer Probe für flammenlose Atomabsorptionsmessungen | |
EP0815406B1 (de) | Anlage zur indirekten übertragung von wärme auf ein prozessmedium | |
DE1598792C3 (de) | Meßkopf zur Durchführung von Thermoanalysea | |
DE102011088118B4 (de) | Messanordnung mit einer Aufnahme für einen biegsamen Temperaturfühler | |
DE3622255C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Überwachen von Verbrennungsvorgängen in einem metallurgischen Ofen, insbesondere Hochofen | |
DE102008031390A1 (de) | Sonde zur Entnahme von Schlackerproben | |
DE1942433B2 (de) | Brennelement fuer kernreaktoren | |
DE102015122256B4 (de) | Messsystem und Messverfahren mit flüssigkeitsgekühlter Messsonde |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |