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Gebiet der Erfindung
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Die
Erfindung betrifft Flüssigkristalldisplay(LCD)-Vorrichtungen, und
spezieller betrifft sie eine Substratverbindungsvorrichtung zum
Erleichtern der Herstellung von LCD-Vorrichtungen, die mittels Flüssigkristall-Verteilverfahren
hergestellt werden, sowie ein Verfahren zum Herstellen von LCD-Vorrichtungen
unter Verwendung derselben.
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Hintergrund der einschlägigen Technik
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Einhergehend
mit Fortschritten innerhalb der Informationsgesellschaft entstand
Bedarf an Displays, die Bilder hoher Qualität mit dünnen, leichten Bauteilen erzeugen
können
und wenig Energie verbrauchen. Um derartigem Bedarf zu genügen, hat
die Forschung eine Anzahl von Flachtafeldisplays entwickelt, einschließlich Flüssigkristalldisplays
(LCD), Plasmadisplays (PDP), Elektrolumineszenzdisplays (ELP) und
Vakuumfluoreszenzdisplays (VFD). Einige dieser Displaytechnologien
wurden bereits bei Informationsdisplays angewandt.
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Von
den verschiedenen Typen von Flachtafel-Displayvorrichtungen werden
LCD-Vorrichtungen in sehr weitem Umfang verwendet. Tatsächlich hat
in tragbaren Geräten,
wie Notebook-PCs, die LCD-Technologie bereits die Kathodenstrahlröhren (CRT)
als Display der Wahl ersetzt. Darüber hinaus werden selbst bei
Deskop-PCs und Fernsehmonitoren LCD-Vorrichtungen mehr verbreitet.
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Trotz
verschiedener technischer Entwicklungen in der LCD-Technologie hinkte
jedoch die Forschung hinsichtlich einer Verbesserung der Bildqualität von LCD-Vorrichtungen
im Vergleich mit der Forschung betreffend andere Merkmale und Vorteile
von LCD-Vorrichtungen hinterher. Daher müssen, um die Nutzung von LCD-Vorrichtungen
als Displays auf verschiedenen Anwendunggebieten zu fördern, LCD-Vorrichtungen
entwickelt werden, die auf großen
Schirmen Bilder hoher Qualität
zeigen (z. B. Bilder mit hoher Auflösung und hoher Leuchtstärke), während sie
leicht bleiben, minimale Abmessungen zeigen und niedrigen Energieverbrauch
aufweisen.
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LCDs
enthalten im Allgemeinen eine LCD-Tafel zum Anzeigen von Bildern
sowie einen Ansteuerungsteil zum Liefern von Ansteuerungssignalen
an die LCD-Tafel. Typischerweise beinhalten LCD-Tafeln ein erstes
und ein zweites Glassubstrat, die miteinander verbunden sind, während sie
um einen Zellenspalt voneinander beabstandet sind, wobei eine Schicht
eines Flüssigkristallmaterials
in den Zellenspalt injiziert wird.
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Das
erste Glassubstrat (d. h. ein Dünnschichttransistor(TFT)arraysubstrat)
trägt eine
Vielzahl von Gateleitungen, die mit einem festen Intervall voneinander
beabstandet sind und sich entlang einer ersten Richtung erstrecken;
eine Vielzahl von Datenleitungen, die mit einem festen Intervall
voneinander beabstandet sind und sich entlang einer zweiten Richtung
erstrecken, die im Wesentlichen rechtwinklig zur ersten Richtung
verläuft,
wobei durch Schnittstellen der Gate- und der Datenleitungen Pixelbereiche
gebildet sind; eine Vielzahl von Pixelelektroden, die mit einem
Matrixmuster innerhalb jeweiliger der Pixelbereiche angeordnet sind;
und einer Vielzahl von Dünnschichttranstoren
(TFTs), die auf eine jeweilige der Gateleitungen angelegte Signale
hin Signale von den Datenleitungen an entsprechende der Pixelelektroden übertragen
können.
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Das
zweite Glassubstrat (d. h. ein Farbfilter-Sub strat) trägt eine
Schwarzmatrixschicht, um ein Auslecken von Licht in Gebieten außerhalb
der Pixelbereiche zu verhindern; eine Farbfilterschicht (R, G, B)
zum selektiven Durchlassen von Licht vorbestimmter Wellenlängen; und
eine gemeinsame Elektrode zum Anzeigen von Bildern. Bei im In-Plane-Switching(IPS)-Modus
arbeitenden LCD-Vorrichtungen sind jedoch gemeinsame Elektroden
auf dem ersten Substrat ausgebildet.
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Die
Gleichmäßigkeit
des Zellenspalts wird durch Abstandshalter aufrechterhalten, die
zwischen dem ersten und zweiten Glassubstrat, die durch ein Abdichtungsmuster
miteinander verbunden sind, angeordnet sind. Das Abdichtungsmuster
enthält
eine Flüssigkristall-Injektionsöffnung,
durch die ein Flüssigkristallmaterial
durch einen Kapillareffekt in den Zellenspalt injiziert werden kann.
Nach dem Injizieren des Flüssigkristallmaterials
in den Zellenspalt durch die Flüssigkristall-Injektionsöffnung hindurch
ist die Schicht aus Flüssigkristallmaterial
gebildet.
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Das
Herstellen von LCD-Vorrichtungen unter Verwendung des oben genannten
Flüssigkristall-Injektionsverfahrens
gemäß der einschlägigen Technik ist
jedoch von Nachteil, da die Produktivität derartiger Flüssigkristall-Injektionsverfahren
schlecht ist. Genauer gesagt, wird, nachdem LCD-Tafeln durch einen
Schneidprozess herstellt wurden, Flüssigkristallmaterial dadurch
in den Zellenspalt injiziert, dass die Flüssigkristall-Injektionsöffnung jeder
LCD-Tafel in einen Behälter
mit Flüssigkristallmaterial
eingetaucht wird, während
der Druck im Zellenspalt im Vakuumzustand gehalten wird. Darüber hinaus
nimmt, wenn die Größe der LCD-Tafel
zunimmt, die Gefahr von Defekten innerhalb derselben auf Grund unvollkommener
Fülleigenschaften
des Flüssigkristallmaterials zu.
Ferner sind die Flüssigkristall-Injektionsverfahren häufig kompliziert
und zeitaufwändig,
und sie benötigen
viele Flüssigkristall-Injektionsvorrichtungen,
die über mäßig viel
Raum einnehmen.
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Angesichts
der oben genannten Probleme in Zusammenhang mit Flüssigkristall-Injektionsverfahren
wurde die Herstellung von LCD-Vorrichtungen durch Verteilen eines
Flüssigkristallmaterials
Gegenstand der jüngeren
Forschung. Genauer gesagt, können
die japanischen Patentanmeldungen
JP 2000-284295 A und
JP 2001-5405 A dahingehend verstanden
werden, dass sie ein Verfahren zum Verteilen eines Flüssigkristallmaterials
offenbaren, bei dem nach dem Verteilen eines Flüssigkristallmaterial, und eines
Auftragens eines Abdichtmaterials auf das erste oder zweite Substrat
das andere dieser Substrate auf dem betroffenen ersten oder zweiten
Substrat positioniert wird und die zwei Substrate im Vakuum miteinander
verbunden werden.
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Im
Allgemeinen sind Flüssigkristallmaterial-Verteilverfahren
gegenüber
Flüssigkristallmaterial-Injektionsverfahren
von Vorteil, da sie die Anzahl der zum Herstellen von LCD-Tafeln
erforderlichen Herstellschritte verringern (z. B. fallen die Herstellung des
Flüssigkristall-Injektionslochs,
die Injektion des Flüssigkristallmaterial,
das Abdichten des Flüssigkristalls-Injektionslochs
usw. weg), wodurch die Herstellung von LCD-Tafeln vereinfacht wird.
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Die 1 und 2 veranschaulichen
eine einschlägige
Substratverbindungsvorrichtung, wie sie bei der Herstellung von
LCD-Tafeln verwendet wird, die mit verteiltem Flüssigkristallmaterial versehen
sind.
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Gemäß den 1 und 2 ist
die Substratverbindungsvorrichtung für LCD-Vorrichtungen gemäß der einschlägigen Technik
mit einem Rahmen 10, einem oberen Tisch 21, einem
unteren Tisch 22, einem Dichtungsmittel-Verteilteil (nicht
dargestellt), einem Flüssigkristallmaterial-Verteilteil 30, einer
oberen Kammereinheit 31, einer unteren Kammereinheit 32,
einer Kammer-Verstelleinrichtung und einer Tisch-Verstelleinrichtung
versehen.
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Der
Dichtungsmittel-Verteilteil (nicht dargestellt) und der Flüssigkristall-Verteilteil 30 sind
typischerweise in einem Seitenteil des Rahmens 10 vorhanden.
Darüber
hinaus können
die obere und die untere Kammereinheit 31 bzw. 32 miteinander
verbunden werden, um Substrate einer LCD-Tafel zu verbinden.
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Die
Kammer-Verstelleinrichtung verfügt
im Wesentlichen über
einen Antriebsmotor 40 zum lateralen Verstellen der unteren
Kammereinheit 32 an vorbestimmte Positionen, wo die Substrate
zu verbinden sind (S2) und wo das Dichtungsmaterial aufzutragen
ist und das Flüssigkristallmaterial
aufzuteilen ist (S1). Die Tisch-Verstelleinrichtung verfügt über einen
Antriebsmotor 50 zum Anheben und Absenken des oberen Tischs 21 auf
vorbestimmte Positionen.
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Nun
wird ein Verfahren zum Herstellen einer LCD-Tafel unter Verwendung
der Substratverbindungsvorrichtung der einschlägigen Technik detaillierter
beschrieben.
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Ein
erstes Substrat 51 wird auf dem unteren Tisch 22 der
unteren Kammereinheit 32 positioniert, und die Kammer-Verstelleinrichtung 40 verstellt
die untere Kammereinheit 32 so unter die obere Kammereinheit 31,
dass der untere Tisch 22 unter dem oberen Tisch 21 steht.
Als Nächstes
senkt der Antriebsmotor 50 der Tisch-Verstelleinrichtung
den oberen Tisch 21 auf eine vorbestimmte Position so ab,
dass das erste Substrat 51 am abgesenkten oberen Tisch 21 befestigt
wird. Anschließend
wird der obere Tisch 21, an dem das erste Substrat 51 befestigt
ist, an eine vorbestimmte Position angehoben. Die Kammer-Verstelleinrichtung 40 verstellt
dann die untere Kammereinheit 32 an einer Position, an
der ein zweites Substrat 52 auf den unteren Tisch 22 geladen wird.
Anschließend
verstellt die Kammer-Verstelleinrichtung 40 die untere
Kammereinheit 32 an eine erste vorbestimmte Position S1
(wie es in der 1 dargestellt ist). An der ersten
vorbestimmten Position S1 werden ein Abdichtungsmaterial-Beschichtungsprozess
und ein Flüssigkristallmaterial-Verteilprozess unter
Verwendung des Dichtungsmittel-Verteilteils (nicht dargestellt)
bzw. des Flüssigkristall-Verteilteils 30 auf
das zweite Substrat 52 aufgebracht. Nach dem Auftragen
mit dem Abdichtungsmittel und dem Verteilen des Flüssigkristallmaterials
verstellt die Kammer-Verstelleinrichtung 40 die untere
Kammereinheit 32 an eine zweite vorbestimmte Position S2 (wie
sie in der 2 dargestellt ist), in der das
erste und das zweite Substrat 51 bzw. 52 miteinander
verbunden werden können.
Als Nächstes
werden die obere und die untere Kammereinheit 31 bzw. 32 in solcher
Weise miteinander verbunden, dass der obere und der untere Tisch 21 bzw. 22 innerhalb
eines umschlossenen Raums angeordnet sind. Dann wird innerhalb des
umschlossenen Raums unter Verwendung einer Pumpeinrichtung (nicht
dargestellt) ein Vakuum erzeugt. Nach der Erzeugung des Vakuums senkt
die Tisch-Verstelleinrichtung 50 den oberen Tisch 51 so
ab, dass das an diesem befestigte erste Substrat 51 mit
dem zweiten Substrat 52 auf dem unteren Tisch 22 in
Kontakt tritt. Der obere Tisch 21 wird abgesenkt, bis die
zwei Substrate miteinander verbunden sind, um dadurch die Herstellung
der LCD-Tafel abzuschließen.
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Die
Verwendung der oben genannten Substratverbindungsvorrichtung für LCD-Vorrichtungen gemäß der einschlägigen Technik
ist jedoch nachteilig, da die Gesamtgröße dieser Substratverbindungsvorrichtung
gemäß der oben
genannten einschlägigen
Technik übermäßig groß ist, insbesondere
dann, wenn sie dazu konstruiert ist, LCD-Tafeln mit großen Abmes sungen
herzustellen. Die übermäßig große Gesamtgröße der einschlägigen Substratverbindungsvorrichtung
erzeugt Probleme beim Konzipieren von Herstellprozessen für LCD-Vorrichtungen,
da ein angemessener räumlicher
Umfang vorhanden sein muss, um die Substratverbindungsvorrichtung gemäß der einschlägigen Technik
zu installieren, während
Raum frei gehalten werden muss, in dem sich Vorrichtungen für andere
Prozesse befinden.
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Ferner
kann bei der Verbindungsvorrichtung gemäß der einschlägigen Technik
der Gesamtumfang der zum Herstellen einer LCD-Tafel erforderlichen
Zeit erhöht
sein, da die Verbindungsvorrichtung gemäß der einschlägigen Technik
Dichtungsmittel und Flüssigkristallmaterial
auf Substrate aufbringt, die Dünnschichttransistoren
und Farbfilterschichten tragen, und sie die zwei Substrate miteinander
verbindet. Genauer gesagt, müssen,
da Flüssigkristallmaterial
verteilt wird, Dichtungsmaterial verteilt wird und Substrate miteinander
verbunden werden, wozu für
alles dieselbe Vorrichtung verwendet wird, von vorangehenden Prozessen
transportierte Substrate in Bereitschaft stehen, bis die Prozesse
abgeschlossen sind, die durch die Substratverbindungsvorrichtung gemäß der einschlägigen Technik
ausgeführt
werden. Darüber
hinaus ist die Gesamtproduktivität
des LCD-Herstellprozesses verringert, da die Substratverbindungsvorrichtung
gemäß der einschlägigen Technik
kein zu ihr transportiertes Material verarbeiten kann, während andere
Herstellprozesse ablaufen.
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Noch
ferner kann zwischen der oberen und der unteren Kammereinheit 31 bzw. 32,
die miteinander verbunden werden, eine unvollkommene Abdichtung
entstehen. Im Ergebnis kann Luft aus der Außenumgebung in den durch die
obere und die untere Kammereinheit gebildeten umschlossenen Raum einlecken,
und die Substrate können
während
des Verbindungsvorgangs beschädigt
werden, wodurch eine fehlerhafte Verbindung erzeugt wird.
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Darüber hinaus
ist ein ziemlich hoher Ausrichtungsgrad erforderlich, um die untere
Kammereinheit 32 zu positionieren und die zwei Substrate
erfolgreich zu verbinden. Eine derartige Ausrichtung kann extrem
schwierig und kompliziert sein und den Gesamtprozess der Herstellung
einer LCD-Tafel übermäßig verlängern. Demgemäß verhindern
es die vielen Positionen, an die die untere Kammer 32 zu verstellen
ist (z. B. die erste Position S1 zum Verteilen des Flüssigkristalls
und zum Auftragen des Dichtungsmaterials auf das zweite Substrat 52,
die zweite Position S2 zum Verbinden der zwei Substrate usw.), die
Substrate für
eine erfolgreiche Verbindung korrekt auszurichten.
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Die
US 5,407,519 A beschreibt
eine Vorrichtung zur Herstellung einer Flüssigkristallanzeige. Bei dieser
Vorrichtung werden ein erstes Substrat an einen oberen Tisch und
ein zweites Substrat auf einen unteren Tisch geladen und in einem
ersten Schritt zueinander ausgerichtet, wobei nach dem ersten Ausrichtungsschritt
der obere Tisch nach unten in Richtung des unteren Tischs fährt, um
das erste und das zweite Substrat miteinander zu verbinden. Der
obere Tisch weist an seiner Unterseite ein Dichtungselement auf,
welches bei einem verbundenen Zustand des oberen und unteren Tischs
die Oberseite des ersten Substrats gegenüber der Oberseite des unteren
Tischs abdichtet. Somit kann der Raum zwischen der Oberfläche des
unteren Tischs, auf welchem das zweite Substrat liegt, und der Oberseite
des ersten Substrats evakuiert werden, wodurch die beiden Substrate
aufgrund des auf die Oberseite des ersten Substrats wirkenden Luftdrucks
zusammengepresst werden. Die Dichtungsvorrichtung ist dabei so aufgebaut,
dass sie an den Randbereichen des ersten Substrats mit diesem überlappt,
wodurch an diesen Randbereichen die Oberseite des Substrats gegenüber der
Oberseite des unteren Tischs abgedichtet wird.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Substratverbindungsvorrichtung
und ein Verfahren zum Herstellen von LCD-Tafeln zu schaffen, bei denen
der Gesamtaufbau der Vorrichtung einfach ist.
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Diese
Aufgabe ist durch die Vorrichtung nach Anspruch 1 und das Verfahren
nach Anspruch 17 gelöst.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung
sind in den Unteransprüchen
angegeben.
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Weiter
ist die Gesamtgröße der Vorrichtung verringert,
so dass das Layout von LCD-Herstellprozessen vereinfacht werden
kann, für
eine gleichmäßige Ausrichtung
zwischen Substraten gesorgt werden kann und die zum Herstellen einer
einzelnen LCD-Tafel benötigte
Zeitperiode verkürzt
werden kann, um das gleichmäßige Fortlaufen
vorangehender und folgender LCD-Herstellprozesse zu erleichtern.
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Um
diese und andere Vorteile zu erzielen, und gemäß dem Zweck der Erfindung,
wie sie realisiert wurde und in weitem Umfang beschrieben wird, verfügt eine
Vorrichtung zum Herstellen einer LCD-Tafel z. B. über einen
Grundrahmen, der für
das Außenaussehen
sorgt; eine am Grundrahmen montierte untere Kammereinheit; eine über der
unteren Kammereinheit positionierte obere Kammereinheit, die in
Bezug auf den Grundrahmen verstellbar ist; eine am Grundrahmen montierte
Kammer-Verstelleinrichtung zum Anheben und Absenken der oberen Kammereinheit;
einen oberen Tisch und einen unteren Tisch, die innerhalb jeweiliger
Innenräume
der oberen bzw. der unteren Kammereinheit vorhanden sind, um ein
erstes Substrat bzw. ein zweites Substrat zu befestigen; und eine
Dichtungseinrichtung, die zumindest an einer Fläche der oberen und der unteren
Kammereinheit vorhanden ist, um einen durch Verbinden der oberen
und der unteren Kammereinheit geschaffenen Innenraum abzudichten,
wobei die Substrate im abgedichteten Innenraum angeordnet werden.
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Gemäß einer
anderen Erscheinungsform der Erfindung verfügt ein Verfahren zum Herstellen
einer LCD-Vorrichtung z. B. über
Folgendes: Laden eines ersten Substrats auf einen oberen Tisch;
Laden eines zweiten Substrats auf einen unteren Tisch; Absenken einer
oberen Kammereinheit zum Abdichten nes Innenraums gegenüber einem
Außenraum,
wobei der obere und der untere Tisch innerhalb des abgedichteten
Innenraums angeordnet sind; wobei der abgedichtete Innenraum unter
Ver wendung einer Dichtungseinrichtung abgedichtet wird; Abpumpen
des abgedichteten Innenraums; Verstellen der oberen Kammereinheit
und des oberen Tischs zum Ausrichten des ersten und des zweiten
Substrats und zum das erste Substrat mit einem auf dem zweiten Substrat
ausgebildeten Dichtungsmittel in Kontakt zu bringen; Belüften des
abgedichteten Innenraums, wobei das erste Substrat mit dem Dichtungsmittel
auf dem zweiten Substrat in Kontakt gebracht wird, wobei Druck auf
das erste und das zweite Substrat ausgeübt wird; und Entladen des ersten
und des zweiten Substrats, die aneinander gedrückt sind.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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Die
beigefügten
Zeichnungen, die enthalten sind, um für ein weiteres Verständnis der
Erfindung zu sorgen, und die in diese Beschreibung eingeschlossen
sind und einen Teil derselben bilden, veranschaulichen Ausführungsformen
der Erfindung und dienen gemeinsam mit der Beschreibung dazu, die
Prinzipien der Erfindung zu beschreiben.
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In
den Zeichnungen ist Folgendes dargestellt:
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1 und 2 veranschaulichen
eine Substratverbindungsvorrichtung gemäß einer einschlägigen Technik
zur Verwendung bei der Herstellung von LCD-Tafeln, die mittels Flüssigkristallmaterial-Verteilverfahren
hergestellt werden;
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3 veranschaulicht
eine Substratverbindungsvor richtung zum Herstellen von LCD-Tafeln
gemäß den Prinzipien
der Erfindung in einem entladenen Zustand;
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4A und 4B veranschaulichen
die Innenkonstruktionen von Tischen innerhalb der Substratverbindungsvorrichtung;
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5 veranschaulicht
eine Draufsicht einer Anordnung drehbarer Nocken innerhalb der Substratverbindungsvorrichtung
gemäß den Prinzipien
der Erfindung;
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6 veranschaulicht
schematisch Vakuumpumpen und Leitungen innerhalb der Substratverbindungsvorrichtung
gemäß den Prinzipien
der Erfindung;
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7 veranschaulicht
eine perspektivische Ansicht einer Trageeinrichtung innerhalb der
Substratverbindungsvorrichtung gemäß den Prinzipien der Erfindung;
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8 veranschaulicht
das Laden eines ersten Substrats innerhalb der Substratverbindungsvorrichtung
gemäß den Prinzipien
der Erfindung;
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9 und 10 veranschaulichen
das Befestigen eines ersten Substrats an einem oberen Tisch innerhalb
der Substratverbindungsvorrichtung gemäß den Prinzipien der Erfindung;
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11 bis 13 veranschaulichen
das Laden eines zweiten Substrats und das Befestigen desselben an
einem unteren Tisch innerhalb der Substratverbindungsvorrichtung
gemäß den Prinzipien
der Erfindung;
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14 und 15 veranschaulichen
ein Verbinden der Substrate innerhalb der gemäß den Prinzipien der Erfindung;
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16 bis 18 veranschaulichen
ein Entladen der verbundenen Substrate aus dem Inneren der Substratverbindungsvorrichtung
gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung;
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19 bis 21 veranschaulichen
ein Entladen der verbundenen Substrate aus dem Inneren der Substratverbindungsvorrichtung
gemäß einer
anderen Erscheinungsform der Erfindung;
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22 veranschaulicht
ein Flussdiagramm eines Verfahrens zum Herstellen einer LCD-Tafel
gemäß den Prinzipien
der Erfindung;
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23A bis 23C veranschaulichen Grob-Ausrichtmarkierungen,
wie sie bei einem Ausrichtverfahren gemäß den Prinzipien der Erfindung verwendet
werden;
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24A bis 24C veranschaulichen Fein-Ausrichtmarkierungen,
wie sie bei einem Ausrichtverfahren gemäß den Prinzipien der Erfindung verwendet
werden; und
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25 veranschaulicht
eine Fokussierposition einer Kamera während eines Ausrichtverfahrens gemäß den Prinzipien
der Erfindung.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
DER VERANSCHAULICHTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Es
wird nun detailliert auf Ausführungsformen
der Erfindung Bezug genommen, zu denen Beispiele in den beigefügten Zeichnungen
veranschaulicht sind.
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Die 3 veranschaulicht
eine Substratverbindungsvorrichtung zum Herstellen von LCD-Tafeln gemäß den Prinzi pien
der Erfindung in einem entladenen Zustand.
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Es
wird im Wesentlichen auf die 3 Bezug
genommen, gemäß der die
erfindungsgemäße Substratverbindungsvorrichtung
beispielsweise Folgendes aufweist: einen Grundrahmen 100;
eine obere Kammereinheit 210; eine untere Kammereinheit 220;
eine Kammer-Verstelleinrichtung (310, 320, 330, 340 und 350);
einen oberen Tisch 230 und einen unteren Tisch 240;
eine Dichtungseinrichtung (250); eine obere Niedervakuumeinheit 410;
eine untere Niedervakuumeinheit 420; eine Ausrichteinrichtung (510, 520, 530 und 540),
die beispielsweise in der 5 dargestellt
ist; eine Vakuum-Pumpeinrichtung (610, 621 und 622),
die z. B. in der 6 dargestellt ist; eine Trageeinrichtung
(710 und 720), die beispielsweise in der 7 dargestellt
ist; und eine Lichthärteinrichtung 800.
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Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung kann der Grundrahmen 100 an
einer Haltekonstruktion oder -fläche
(z. B. dem Boden) befestigt sein, er kann das äußere Aussehen der Verbindungsvorrichtung
bestimmen, und er kann verschiedene Komponenten halten, die unten
detaillierter erörtert werden.
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Gemäß der Erfindung
können
der obere und der untere Tisch 230 und 240 an
der oberen Kammereinheit 210 bzw. der unteren Kammereinheit 220 befestigt
sein. Wie es unten detaillierter beschrieben wird, können die
obere und die untere Kammereinheit 210 und 220 selektiv
miteinander verbunden werden, um einen Innenraum zu bilden.
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Die
obere Kammereinheit 210 kann z. B. über einen oberen Träger 211,
der einer Außenumgebung
ausgesetzt sein kann, und eine obere Kammerplatte 212 verfügen, die
unbewe glich an der Unterseite des Umfangs des oberen Trägers 211 befestigt
ist. Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung kann die obere Kammerplatte 212 als
rechteckiger Bund vorhanden sein und einen Innenraum bilden, in dem
der obere Tisch 230 befestigt ist. Da der obere Tisch 230 an
der oberen Kammereinheit 210 befestigt ist, kann er mit
dieser angehoben und abgesenkt werden. Gemäß der Erfindung kann zwischen
dem oberen Träger 211 und
der oberen Kammerplatte 212 der oberen Kammereinheit 210 ein
erster Dichtungselement 213 angebracht sein, um den durch
die obere Kammerplatte 212 gebildeten Innenraum gegen die
Außenumgebung
abzudichten. Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung kann das erste Dichtungselement 213 als
Dichtungs, als O-Ring oder dergleichen, wie zur Abdichtung geeignet,
vorhanden sein.
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Die
untere Kammereinheit 220 kann z. B. über einen am Grundrahmen 100 befestigten
unteren Träger 221 und
eine oberhalb einer Oberseite des Umfangs des unteren Trägers 221 angebrachte
untere Kammerplatte 222 verfügen. Gemäß einer Erscheinungsform der
Erfindung kann die untere Kammerplatte 222 als rechteckiger
Bund vorhanden sein, und sie bildet einen Innenraum, in dem der
untere Tisch 240 befestigt ist. Gemäß einer Erscheinungsform der
Erfindung kann die untere Kammerplatte 222 nach links,
nach rechts, nach vorne und nach hinten (d. h. lateral) in Bezug
auf die unteren Träger 221 verstellbar
sein. Gemäß einer
anderen Erscheinungsform der Erfindung kann die untere Kammereinheit 220 über eine
Befestigungsplatte 223 zum Befestigen des unteren Trägers 221 am
Grundrahmen 100 verfügen.
Gemäß der Erfindung
kann ein zweites Dichtungselement 224 zwischen dem unteren
Träger 221 und
der unteren Kammerplatte 222 der unteren Kammereinheit 220 angeordnet
sein und den durch die untere Kammerplatte 222 gebildeten Innenraum
gegen die Außenumgebung
abdichten. Gemäß einer Erscheinungsform
der Erfindung kann das zweite Dichtungselement 224 als
Dichtungs, als O-Ring oder dergleichen, wie zur Abdichtung geeignet,
vorhanden sein.
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Gemäß den Prinzipien
der Erfindung kann mindestens ein Halteteil 225 zwischen
dem unteren Träger 221 und
der unteren Kammerplatte 222 angeordnet sein, um die untere
Kammerplatte 222 um einen vorbestimmten Abstand entfernt
von der Oberseite des unteren Trägers 221 zu
halten. Der Halteteil 225 kann über ein an einem unteren Abschnitt
der unteren Kammerplatte 222 befestigtes erstes Ende und
ein zweites Ende verfügen,
das in lateralen Richtungen in Bezug auf den unteren Träger 221 verstellbar
ist und an einem Teil befestigt ist, das an einem unteren Abschnitt
des unteren Trägers 221 befestigt ist.
Demgemäß ermöglicht es
das Halteteil 225, die untere Kammerplatte 222 nach
links, rechts, vorne und hinten, relativ zum unteren Träger 221,
zu verstellen.
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Es
wird weiterhin auf die 3 Bezug genommen, gemäß der die
oben genannte Kammer-Verstelleinrichtung z. B. über einen am Grundrahmen 100 befestigten
Antriebsmotor 310, eine mit diesem gekoppelte Antriebswelle 320,
eine im Wesentlichen rechtwinklig zur Antriebswelle 320 angebrachte
Verbindungswelle 330 zum Empfangen einer Antriebskraft
von der Antriebswelle 320, ein Verbindungsteil 340 zum
Verbinden der Antriebswelle 320 mit der Verbindungswelle 330 und
ein Hebeteil 350, das an einem Ende der Verbindungswelle 330 angebracht
ist, verfügen.
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Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung kann der Antriebsmotor 310 innerhalb
eines inneren, unteren Abschnitts des Grundrahmens 100 angeordnet
sein, und er kann als Motor mit zweiseitiger Welle vorliegen, der über Wellen
verfügt,
die horizontal an seinen beiden Seiten vorstehen. Die Antriebswelle 320 kann
mit dem Antriebsmotor 310 verbun den sein und Antriebskräfte entlang
einer horizontalen Richtung an den Verbindungsteil 340 übertragen,
während
die Verbindungswelle 330 mit dem Verbindungsteil 340 verbunden
sein kann, um die Antriebskraft entlang einer vertikalen Richtung
in Bezug auf die Antriebswelle 320 zu übertragen. Der Hebeteil 350 kann
am Ende der Verbindungswelle 330 vorhanden sein, er kann
mit der oberen Kammereinheit 210 verbunden sein und er
kann über
ein Mutterngehäuse
verfügen,
um die obere Kammereinheit 210 nach oben und unten zu verstellen,
was von der Drehrichtung der Drehung der Verbindungswelle 330 abhängt. Das
Verbindungsteil 340 kann als System von Kegelzahnrädern vorhanden
sein, um eine von der Antriebswelle 320 entlang einer horizontalen Richtung
zugeführte
Drehkraft in eine vertikale Drehkraft an die Verbindungswelle 330 umzusetzen.
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Gemäß den Prinzipien
der Erfindung können der
obere und der untere Tisch 230 bzw. 240 jeweils über Folgendes
verfügen:
eine Fixierplatte 231 bzw. 241, die an der oberen
Kammereinheit 210 bzw. der unteren Kammereinheit 220 befestigt
ist; eine Befestigungsplatte 232 bzw. 242 zum
Befestigen des oberen und des unteren Substrats; und eine Anzahl
von Fixierblöcken 233 bzw. 243,
die zwischen jeweiligen Paaren der Fixierplatten 231 und 241 und
Befestigungsplatten 232 und 242 angeordnet sind.
Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung können
die Befestigungsplatten 232 und 242 jeweils als
elektrostatische Spannfutter (ESC = electrostatic chuck) ausgebildet
sein, die aus einem Material wie Polyimid bestehen, um ein Substrat
durch Anwenden einer elektrostatischen Ladung an einem jeweiligen
der Tische zu befestigen.
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Die 4A und 4B veranschaulichen die
Innenkonstruktion der Tische innerhalb der Substratverbindungsvorrichtung
gemäß den Prinzipien der
Erfindung.
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Die 4A und 4B veranschaulichen vergrößerte Schnittansichten
von Bereichen ”A” bzw. ”B”, die in
der 3 dargestellt sind. Demgemäß kann, während auf die 4A und 4B Bezug genommen
wird, jede der Befestigungsplatten 232 und 242 z.
B. zusätzlich
mehrere Löcher 232a bzw. 242a zum Übertragen
einer Saugkraft aufweisen. Demgemäß kann jedes der mehreren Löcher 232a und 242a mit
einer jeweiligen von Vakuumleitungen 271 bzw. 272 in
Verbindung stehen, die innerhalb des oberen Tischs 230 bzw.
des unteren Tischs 240 ausgebildet sein. Bei einer Erscheinungsform
der Erfindung kann jede Vakuumleitung 271 und 272 mit
einer Vakuumpumpeinrichtung (z. B. 622, wie in der 6 dargestellt)
zum Erzeugen der Saugkraft verbunden sein.
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Es
wird erneut auf die 3 Bezug genommen, gemäß der die
Dichtungseinrichtung 250 (nachfolgend als drittes Dichtungselement
bezeichnet) als O-Ring vorhanden sein kann, der aus einem Material wie
Kautschuk besteht und entlang einer Oberfläche der unteren Kammerplatte 222 der
unteren Kammereinheit 220 befestigt ist. Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung kann das dritte Dichtungselement 250 von
der Oberfläche
der unteren Kammerplatte 222 in eine vorbestimmte Höhe überstehen
und mit vorbestimmter Dicke ausgebildet sein, die dazu ausreicht,
zu verhindern, dass Substrate, die durch den oberen bzw. unteren
Tisch 230 bzw. 240 festgehalten werden, beim anfänglichen
Verbinden der oberen und der unteren Kammereinheit 210 und 220 eng
benachbart zueinander angeordnet werden, wie dies unten detaillierter
erörtert
wird. Gemäß der Erfindung kann
die Dicke des dritten Dichtungselements 250 dazu ausreichen,
es zu ermöglichen,
dass die Substrate miteinander in Kontakt gelangen, wenn es zusammengedrückt wird.
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Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung können
die obere und die untere Niedervakuum-Kammereinheit 410 und 420 jeweils über Innenräume verfügen, die
im Wesentlichen evakuiert werden können. Ferner können die
obere und die untere Niedervakuum-Kammereinheit 410 und 420 mit
einer Oberseite der oberen Kammereinheit 210 bzw. einer Unterseite
der unteren Kammereinheit 220 in Kontakt treten. Wenn die
obere Kammereinheit 210 und die untere Kammereinheit 220 verbunden
werden, kann ein Innenraum gebildet werden und durch die verbundenen
Kammereinheiten abgedichtet werden. Darüber hinaus können der
obere und der untere Tisch 230 und 240 so innerhalb
des abgedichteten Innenraums angeordnet werden, dass dann, wenn
dieser evakuiert wird, der obere und der untere Tisch 230 und 240 durch
eine Druckdifferenz zwischen dem innerhalb des abgedichteten Innenraums
erzeugten Vakuum und dem Atmosphärendruck
der äußeren Umgebung
durchgebogen werden. Da das Ausmaß, gemäß dem der obere und der untere
Tisch 230 und 240 durchgebogen werden, in den
zentralen Abschnitten des oberen und des unteren Tischs am größten sein
kann, kann das innerhalb der Innenräume der oberen und der unteren
Niedervakuum-Kammereinheit 410 und 420 erzeugte
Vakuum das Ausmaß minimieren,
gemäß dem der
obere und der untere Tisch 230 und 240 durchgebogen
werden. Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung können die
Innenräume
der oberen und der unteren Niedervakuum-Kammereinheit 410 und 420 im
zentralen Teil derselben größer sein
als in ihrem Umfangsteil.
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Gemäß den Prinzipien
der Erfindung kann die oben genannte Ausrichteinrichtung dazu verwendet
werden, die am oberen bzw. unteren Tisch 230 bzw. 240 befestigten
Substrate 110 und 120 auszurichten. Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung kann der untere Tisch 240 während der
Ausrichtung der Substrate 110 und 120 im Wesentlichen stationär gehalten
werden, während
die Position des oberen Tischs 230 entsprechend der Position
der unteren Kammerplatte 222 eingestellt wird, die mittels der
Ausrichteinrichtung einstellbar ist.
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Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung kann die Ausrichteinrichtung z. B. über mehrere Linearstellglieder 510,
mehrere Ausrichtkameras 520, mehrere Nocken 530 und
mehrere Rückstelleinrichtung 540 verfügen. Die
mehreren Linearstellglieder 510 können entlang einem Umfang der
oberen Kammereinheit 210 angeordnet sein, und sie können entsprechende
der mehreren beweglichen Achsen 511 absenken, bis diese
in jeweiligen Löchern 222a aufgenommen
werden, die in der unteren Kammerplatte 222 der unteren
Kammereinheit 220 vorhanden sind. Jedes der mehreren Linearstellglieder 510 kann über eine
Belastungszelle (nicht dargestellt) verfügen, die das Nivellieren der
Arbeitsflächen
des oberen und unteren Tischs 230 und 240 (z.
B. Fläche der
Tische, die mit den Substraten in Kontakt steht) dadurch erleichtern
kann, dass der Kippwinkel des oberen Tischs 230 so eingestellt
wird, dass er im Wesentlichen demjenigen des unteren Tischs 240 entspricht.
Demgemäß können die
Linearstellglieder 510 die Ausrichtung der Arbeitsfläche des
oberen Tischs 230 so einstellen, dass diese im Wesentlichen parallel
zur Arbeitsfläche
des unteren Tischs 240 verläuft. Gemäß einer Erscheinungsform der
Erfindung können
die Linearstellglieder 510 an mindestens zwei diagonal
entgegengesetzten Ecken der oberen Kammereinheit 210 vorhanden
sein. Gemäß einer anderen
Erscheinungsform der Erfindung können
die Linearstellglieder 510 an vier Ecken der oberen Kammereinheit 210 vorhanden
sein.
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Die
Abmessungen des Lochs 222a können im Wesentlichen zu den
Abmessungen von Endabschnitten jeweiliger der mehreren beweglichen Achsen 211 passen.
Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung können
die Abmessungen des Lochs 222a und des Endabschnitts der
beweglichen Achse 511 eine zugespitzte Struktur mit schrägen Flächen bilden.
Daher können
selbst dann, wenn die beweglichen Achsen 511 und die Löcher 222a zunächst nicht genau
ausgerichtet sind, die Endabschnitt der beweglichen Achsen 511 mit
der schrägen
Fläche
innerhalb der Löcher 222a in
Kontakt treten und durch sie geführt
werden, so dass die beweglichen Achsen 511 und die Löcher 222a schließlich im
Wesentlichen ausgerichtet sein können.
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Die
Ausrichtkamera 520 kann so montiert sein, dass Ausrichtmarkierungen
(nicht dargestellt), die an den durch den oberen oder den unteren
Tisch 230 oder 240 befestigten Substraten (nicht
dargestellt) ausgebildet sind, durch die obere Kammereinheit 210 oder
die untere Kammereinheit 220 hindurch betrachtet werden
können.
Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung können
mindestens zwei Ausrichtkameras 520 dazu verwendet werden,
zumindest zwei diagonal angeordnete Ecken eines Substrats, das an
einem der Tische 230 oder 240 zu befestigen ist,
zu betrachten.
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Die 5 veranschaulicht
eine Draufsicht einer Anordnung der drehbaren Nocken in der Substratverbindungsvorrichtung
gemäß den Prinzipien
der Erfindung.
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Gemäß den 3 und 5 können Nocken 530 drehbar
angebracht sein, um selektiv mit einer Umfangsfläche der unteren Kammerplatte 222 in Kontakt
zu treten. Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung können
drei Nocken 530 innerhalb der erfindungsgemäßen Substratverbindungsvorrichtung vorhanden
sein. Gemäß einer
anderen Erscheinungsform der Erfindung kann jede der Nocken exzentrisch
verdrehbar sein, so dass, auf das Drehen hin, die untere Kammerplatte 222 in
einer vorbestimmten Richtung weggedrückt werden kann. Gemäß den Prinzipien
der Erfindung kann die untere Kammereinheit durch vier Seiten gebildet
sein, wobei ein erstes Paar entgegengesetzter Seiten länger als ein
zweites Paar entgegengesetzter Seiten sein kann. Demgemäß können zwei
Nocken 530 so angeordnet sein, dass sie selektiv mit einer
Seite des ersten Paars entgegengesetzter Seiten in Kontakt treten,
und eine Nocke 530 kann so angeordnet sein, dass sie selektiv
mit einem mittleren Abschnitt einer Seite des zweiten Paars entgegengesetzter
Seiten in Kontakt tritt, so dass die untere Kammerplatte 222 nach
links, rechts, vorne und hinten verstellbar sein kann. Einzelne
der Rückstelleinrichtungen 540 können benachbart
zu einer jeweiligen Nocke 530 vorhanden sein, und sie können eine
Rückstellkraft
in einer Richtung entgegengesetzt zu derjenigen Richtung ausüben, in
der die entsprechende Nocke 530 auf die untere Kammerplatte 222 drückt. Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung kann die Rückstelleinrichtung 540 als
Feder vorhanden sein, deren erstes Ende mit dem Grundrahmen 100 verbunden ist
und deren zweites Ende mit der Umfangsfläche der unteren Kammerplatte 222 verbunden
ist.
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Die 6 veranschaulicht
schematisch Vakuumpumpen und Leitungen innerhalb der Substratverbindungsvorrichtung
gemäß den Prinzipien
der Erfindung.
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Gemäß den 3 und 6 können die oben
genannten Vakuumpumpeinrichtungen 610, 621 und 622 an
der oberen und unteren Kammereinheit 210 und 220 vorhanden
sein, und sie können
den durch die obere und die untere Kammereinheit 210 und 220,
die miteinander verbunden sind, gebildeten abgedichteten Innenraum
evakuieren. Gemäß einer Erscheinungsform
der Erfindung können
die Vakuumpumpeinrichtungen 610, 621 und 622 z.
B. über eine
Hochvakuum-Pumpe (Turbomolekularpumpe, ”TMP”) 610 und eine erste
und eine zweite Niedervakuum-Pumpe
(Trockenpumpe) 621 bzw. 622 verfügen.
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Die
erste Niedervakuum-Pumpe 621 kann mit einer Hochvakuum-Kammerleitung 630 verbunden
sein, die in einem zentralen Bereich der oberen Kammereinheit 210 vorhanden
ist und es ermöglicht, dass
die Hochvakuum-Pumpe 610 und die durch die obere und die
untere Kammerplatte 212 und 222 gebildeten Innenräume miteinander
in Verbindung stehen. Darüber
hinaus kann die erste Niedervakuum-Pumpe den abgedichteten Innenraum,
der durch die obere und die untere Kammereinheit 210 und 220 bildbar
ist, auf einen vorbestimmten Druck evakuieren.
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Die
zweite Niedervakuum-Pumpe 622 kann mit Niedervakuum-Kammerleitungen 641 und 642 verbunden
sein, die durch Seitenbereiche der oberen und der unteren Kammereinheit 210 und 220 verlaufen.
Ferner kann die zweite Niedervakuum-Pumpe 622 mit Leitungen
im oberen und unteren Tisch 230 und 240 und einer
Substratbefestigungsleitung 650 verbunden sein, die mit
den Vakuumleitungen 271 und 272 in den Tischen 230 bzw. 240 verbunden
ist, um die Substrate unter Verwendung einer Saugkraft zu befestigen.
Die Leitungen 630, 641, 642 und 650 können über mindestens
ein Verschlussventil 661, 662, 663, 664, 665, 666, 667, 668 und 669 verfügen. Die
Hoch-Vakuumleitung 630 kann über einen Drucksensor 670 zum
Messen des Drucks in den Innenräumen,
in denen die Substrate aufgenommen sind, verfügen.
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Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung können
die erste und die zweite Niedervakuum-Pumpe 621 und 622 dazu
verwendet werden, die Innenräume
der oberen bzw. der unteren Niedervakuum-Kammereinheit 410 bzw. 420 zu
evakuieren.
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Die
Niedervakuum-Kammerleitungen 641 und 642 und die
Substratbefestigungsleitung 650, die mit der zweiten Niedervakuum-Pumpe 622 in
Verbindung stehen, können
als Leitungen zur Belüftung
verwendet werden. Demgemäß kann Gas
(z. B. N2-Gas) in
den durch die obere und die untere Kammereinheit 210 und 220 bildbaren
abgedichteten Innenraum eingespeist wer den, um den Druck in diesem
vom Vakuumzustand auf den Atmosphärendruck zurück zu bringen.
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Die 7 zeigt
eine perspektivische Ansicht einer Trageeinrichtung innerhalb der
Substratverbindungsvorrichtung gemäß den Prinzipien der Erfindung.
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Gemäß den 3 und 7 kann
die Trageeinrichtung z. B. über
einen Hebestift 710 und mehrere Stellglieder 720 verfügen. Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung kann der Hebestift 710 eine
Dicke aufweisen, die dazu ausreicht, zumindest ein Substrat abzustützen, während er
im Wesentlichen verhindert, dass das mindestens eine Substrat einsackt.
Ein zentraler Bereich des Hebestifts 710 kann über einen
nach unten umgebogenen Abschnitt verfügen, der es einer Ladeeinrichtung 910 ermöglicht,
das mindestens eine Substrat zu halten, ohne durch den Hebestift 710 gestört zu werden
(siehe z. B. die 12). Darüber hinaus können Teile des
Hebestifts 710 durch den unteren Tisch 240 und über die
Oberseite desselben angehoben werden, um einen sicheren Sitz des
Substrats 120 zu erleichtern, wenn es auf den unteren Tisch 240 geladen
wird (siehe z. B. die 12). Gemäß einer Erscheinungsform der
Erfindung kann, wenn kein Substrat auf den oberen Tisch 240 geladen
ist, eine Oberfläche
des Hebestifts 710 unter der Oberfläche des unteren Tischs 240 positioniert
werden. Gemäß einer
anderen Erscheinungsform der Erfindung können mehrere Stellglieder 720 den
Hebestift 710 nach Bedarf anheben und absenken. Demgemäß kann die
Trageeinrichtung das Entladen der verbundenen und nicht verbundenen
Substrate, die auf dem unteren Tisch 240 sitzen, erleichtern
(siehe z. B. die 21).
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Es
wird erneut auf die 3 Bezug genommen, und gemäß den Prinzipien
der Erfindung kann die Lichthärteinrichtung 800 durch
die obere und/oder die untere Kammerein heit 210 bzw. 220 montiert
sein, um auf vorbestimmte Bereiche der geladenen Substrate, die
durch ihre jeweiligen Tische 230 und 240 befestigt
sind, aufgetragenes Dichtungsmaterial teilweise auszuhärten. Gemäß einer Erscheinungsform
der Erfindung kann die Lichthärteinrichtung 800 z.
B. über
einen UV-Lenkteil verfügen,
um UV-Licht zum Dichtungsmaterial zu lenken.
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Gemäß weiterer
Bezugnahme auf die 3 kann ein Spaltermittlungssensor 920 auf
einer Seite der unteren Kammerplatte 222 der unteren Kammereinheit 220 vorhanden
sein, um den Abstand zwischen der oberen und der unteren Kammereinheit 210 und 220 zu
ermitteln und um einen Fehler bei einer Verstellung der oberen Kammereinheit 210 vor dem
Verbinden der Substrate 110 und 120 zu ermitteln.
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Nun
wird ein Verfahren zum Herstellen einer LCD-Vorrichtung unter Verwendung
der in den 3 bis 7 dargestellten
Substratverbindungsvorrichtung unter Bezugnahme auf die 8 bis 22 detaillierter
beschrieben.
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Die 22 veranschaulicht
ein Flussdiagramm eines Verfahrens zum Herstellen einer LCD-Vorrichtung
gemäß den Prinzipien
der Erfindung.
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Gemäß der 22 können ein
mit einem Dichtungsmaterial beschichtetes erstes Substrat 110 und
ein zweites Substrat 120, auf dem ein Flüssigkristall
verteilt ist, von verschiedenen Herstelllinien zugeführt werden
(Schritt 1S). Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung kann das erste Substrat 110 als
TFT-Array-Substrat oder als Farbfilterarray-Substrat bereitgestellt
werden, während
das zweite Substrat 120 als anderes Substrat betreffend
das TFT-Array-Substrat oder das Farbfilterarray-Substrat bereitgestellt
wird. Gemäß einer
anderen Erscheinungsform der Erfindung kann das Dichtungsmittel
als wärmehärtbares
Dichtungsmittel, UV-härtbares
Dichtungsmittel, eine Kombination von UV/Thermohärtungs-Dichtungsmittel usw.
vorliegen. Gemäß noch einer
anderen Erscheinungsform der Erfindung kann das zweite Substrat
mit dem Dichtungsmaterial beschichtet sein, und es kann auf ihm
auch das Flüssigkristallmaterial
verteilt sein.
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Nachdem
das erste und das zweite Substrat 110 und 120 bereitgestellt
sind, können
sie in die Substratverbindungsvorrichtung geladen werden (Schritt 2S).
Demgemäß kann,
während
auf die 8 Bezug genommen wird, das erste
Substrat 110 mittels einer Ladeeinrichtung 910 in
einen Raum zwischen der oberen und der unteren Kammereinheit 210 und 220 gebracht
werden. Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung kann das erste Substrat 110 mit
dem Dichtungsmaterial (nicht dargestellt) beschichtet sein. Demgemäß kann die
Fläche
des ersten Substrats 110 in Kontakt mit dem Dichtungsmaterial
nach unten, zur unteren Kammereinheit 220 zeigen. Gemäß einer
anderen Erscheinungsform der Erfindung muss das erste Substrat 110 nicht
mit dem Dichtungsmaterial beschichtet sein (d. h., das zweite Substrat 120 ist
mit dem Dichtungsmaterial beschichtet, und es ist das Flüssigkristallmaterial
auf ihm verteilt). Demgemäß kann die
Fläche
des ersten Substrats 110, auf der eine gemeinsame Elektrode,
eine Farbfilterschicht, eine Schwarzmatrixschicht usw. ausgebildet
sind, nach unten, zur unteren Kammereinheit 210, zeigen.
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Als
Nächstes
kann, während
auf die 9 Bezug genommen wird, die obere
Kammereinheit 210 von ihrer ursprünglichen Position so abgesenkt werden,
dass der obere Tisch 230 benachbart zum ersten Substrat 110 angeordnet
ist. Das erste Substrat 110 kann dann durch eine durch
die zweite Niedervakuum-Pumpe 222 erzeugte Saugkraft und
eine durch die Befestigungsplatte 232 erzeugte elektrostatische
Ladung (ESC) am oberen Tisch 230 befestigt werden. Gemäß einer
Er scheinungsform der Erfindung kann das erste Substrat 110 dadurch
am oberen Tisch 230 befestigt werden, dass die Saugkraft
und die elektrostatische Ladung gleichzeitig angewandt werden. Gemäß einer
anderen Erscheinungsform der Erfindung kann das erste Substrat 110 dadurch
am oberen Tisch 230 befestigt werden, dass die Saugkraft
entweder vor oder nach dem Anwenden der elektrostatischen Ladung
angewandt wird. Wenn jedoch als Erstes die elektrostatische Ladung angewandt
wird, können
zwischen dem Substrat 110 und der Befestigungsplatte 232 Funken
erzeugt werden. Demgemäß ist es
günstig,
das erste Substrat 110 dadurch am oberen Tisch 230 zu
befestigen, dass als Erstes die Saugkraft angewandt wird, gefolgt
vom Anwenden der elektrostatischen Ladung.
-
Es
wird nun auf die 10 Bezug genommen, gemäß der die
obere Kammereinheit 210, nachdem das erste Substrat 110 am
oberen Tisch 230 befestigt wurde, in ihre ursprüngliche
Position angehoben werden kann und die Ladeeinrichtung 910 aus
der Substratverbindungsvorrichtung entfernt werden kann.
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Als
Nächstes
kann, wobei auf die 11 Bezug genommen wird, die
Ladeeinrichtung 910 wieder in die Substratverbindungsvorrichtung
eingeführt werden,
während
sie das zweite Substrat 120 hält. Gemäß einer Erscheinungsform der
Erfindung kann Flüssigkristallmaterial
(nicht dargestellt) auf dem zweiten Substrat 120 verteilt
sein. Gemäß einer
anderen Erscheinungsform der Erfindung kann das zweite Substrat 120 mit
dem Dichtungsmaterial beschichtet sein, und das Flüssigkristallmaterial
kann auf ihm verteilt sein. Gemäß jeder
Erscheinungsform der Erfindung kann jedoch die Fläche des
zweiten Substrats 120, die mit dem Dichtungsmaterial und/oder
dem Flüssigkristallmaterial
in Kontakt steht, nach oben, zur oberen Kammereinheit 210,
zeigen. Nach dem Laden des zweiten Substrats 120 in die Substratverbindungsvorrichtung
kann der Hebestift 710 von seiner ursprünglichen Position aus durch den
unteren Tisch 230 und von unterhalb der Oberseite desselben
angehoben werden, um das zweite Substrat 120 von der Ladeeinrichtung 910 weg
zu drücken.
Demgemäß kann der
Hebestift 710 das zweite Substrat 210 an seiner
vorbestimmten Höhe über der
Ladeeinrichtung 910 abstützen (wie es in der 12 dargestellt
ist). Wenn das zweite Substrat 120 in einer vorbestimmten
Höhe abgestützt wird, kann
die Ladeeinrichtung 910 aus der Substratverbindungsvorrichtung
entfernt werden.
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Als
Nächstes
kann, wie es in der 13 dargestellt ist, der Hebestift 710 abgesenkt
werden, so dass das zweite Substrat 120 auf dem unteren
Tisch 240 ruht und von diesem abgestützt wird. Wenn das zweite Substrat 120 durch
den unteren Tisch 240 abgestützt wird, kann es unter Verwendung
von Saugkräften
und elektrostatischen Ladungen an ihm befestigt werden. Wenn das
erste und das zweite Substrat 110 und 120 an ihren
jeweiligen Tischen 230 bzw. 240 befestigt sind,
ist das Laden der Substratverbindungsvorrichtung abgeschlossen.
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Demgemäß wird nun
auf die 14 Bezug genommen, gemäß der, nachdem
das Laden der Substratverbindungsvorrichtung abgeschlossen ist, der
Antriebsmotor 310 der Kammer-Verstelleinrichtung. die Antriebswellen 320 und
die Verbindungswellen 330 drehend antreiben kann, um die
Hebeteile 350 von ihren ursprünglichen Positionen aus abzusenken.
Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung wird die obere Kammereinheit 210 abgesenkt, wenn
die Hebeteile 350 von ihren ursprünglichen Positionen aus abgesenkt
werden. Ferner können
die Linearstellglieder 510 die mehreren beweglichen Achsen 511 so
absenken, dass sie mit einer vorbestimmten Höhe gegenüber der Unterseite der oberen Kammerplatte 212 überstehen.
Als Ergebnis des Absenkens der oberen Kammereinheit 210 und
des Vorstehens der beweglichen Achsen 511 können die Endabschnitte
der beweglichen Achsen 511 in den jeweiligen in der unteren
Kammerplatte 222 ausgebildeten Löchern 222a aufgenommen
werden und mit deren Innenflächen
in Kontakt gelangen. Wenn z. B. die obere Kammereinheit 210 nicht
im Wesentlichen in Bezug auf die untere Kammereinheit 220 ausnivelliert
ist, können
die beweglichen Achsen 511 aufeinanderfolgend mit den Innenflächen der
Löcher 222a in
Kontakt gelangen. Wenn die Endabschnitte der beweglichen Achsen 511 in
den Löchern 222a aufgenommen
sind, verstellt die Kammer-Verstelleinrichtung
die obere Kammereinheit 210 so nach unten, dass eine Unterseite
der oberen Kammerplatte 212 mit einer Oberseite des dritten
Dichtungselements 250 in Kontakt tritt, das am Umfang der
unteren Kammerplatte 222 befestigt ist. Wenn die Hebeteile 250 weiter
abgesenkt werden, bewegen sie sich aus dem Raum zwischen der oberen
Kammereinheit 210 und der unteren Kammereinheit 220 heraus,
so dass ein durch die obere und die untere Kammereinheit 210 und 220 gebildeter
abgedichteter Innenraum geschaffen wird, der durch das Gewicht der
auf das dritte Dichtungselement 250 drückenden oberen Kammereinheit 210 im
Wesentlichen gegen die Außenumgebung
abgedichtet ist. Daher können
das erste und das zweite Substrat 110 und 120 im
Wesentlichen gegenüber
der Außenumgebung
isoliert werden (Schritt 3S).
-
Gemäß den Prinzipien
der Erfindung können das
erste und das zweite Substrat 110 und 120, die auf
ihren jeweiligen Tischen 230 und 240 gehalten werden,
durch das Gewicht der oberen Kammereinheit 210 und den
Druck im abgedichteten Innenraum geringfügig zusammengedrückt werden.
Nachdem der abgedichtete Innenraum erzeugt wurde, können das
erste und das zweite Substrat 110 und 120 teilweise
miteinander verbunden werden. Durch das teilweise Verbinden können die
Relativpositionen des ersten und des zweiten Substrats 110 und 120 eingestellt
werden. Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung kann der Abstand zwischen der oberen Kammereinheit 210 und
der unteren Kammereinheit 220 (und damit der Spalt zwischen
den Substraten) durch den Spaltermittlungssensor 920 ermittelt
werden.
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Wenn
der durch die obere und die untere Kammereinheit 210 und 220 festgelegte
abgedichtete Inneraum einmal erzeugt ist, wird er evakuiert (Schritt 4S).
Demgemäß können die
erste und die zweite Niedervakuum-Pumpe 621 und 622 aktiviert werden,
um den abgedichteten Innenraum auf einen ersten Druck zu evakuieren,
der durch den Drucksensor 670 gemessen wird. Nachdem ermittelt
wurde, dass die erste und die zweite Niedervakuum-Pumpe 621 und 622 den
Innenraum auf den ersten Druck evakuiert haben, kann die Hochvakuum-Pumpe 610 aktiviert
werden, um den Innenraum im Wesentlichen zu evakuieren.
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Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung können
die Hochvakuum- und die erste Niedervakuum-Pumpe 610 und 621 mit
derselben Leitung 630 verbunden sein. Daher kann die erste
Niedervakuum-Pumpe 621 deaktiviert werden, wenn die Hochvakuum-Pumpe 610 aktiviert
wird. Nachdem der Innenraum im Wesentlichen evakuiert wurde, können das
erste und das zweite Substrat 110 und 120, die
innerhalb des evakuierten, abgedichteten Innenraums angeordnet sein,
durch die Ausrichteinrichtung ausgerichtet werden (Schritt 5S).
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Die 23A bis 23C veranschaulichen Grob-Ausrichtmarkierungen,
wie sie bei einem Ausrichtverfahren gemäß den Prinzipien der Erfindung verwendet
werden. Die 24A bis 24C veranschaulichen
Fein-Ausrichtmarkierungen, wie sie bei einem Ausrichtverfahren gemäß den Prinzipien
der Erfindung verwendet werden. Die 25 veranschaulicht
eine Fokussierposition einer Kamera während eines Ausrichtverfahrens
gemäß den Prinzipien der
Erfindung.
-
Nach
dem Ausrichten des ersten und des zweiten Substrats 110 und 120 können die
Ausrichtkameras 520 (wie in den 3 bis 21 dargestellt)
Ausrichtmarkierungen erkennen, wie sie auf dem ersten und zweiten
Substrat 110 und 120 ausgebildet sind, eine Abweichung
der Ausrichtung zwischen den Substraten 110 und 120 ermitteln,
einen Weg ermitteln, um den sich der obere Tisch 230 in Bezug
auf die Abweichung bewegen muss, eine Berechnung ausführen und
die Nocken 530 um ein vorbestimmtes Ausmaß verdrehen
und die untere Kammerplatte 220 verstellen.
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Gemäß den Prinzipien
der Erfindung kann die untere Kammerplatte 222 über die
Linearstellglieder 510 mit der oberen Kammereinheit 210 gekoppelt sein.
Ferner kann die untere Kammerplatte 222 entsprechend dem
Abstützteil 225 um
einen vorbestimmten Abstand gegenüber dem unteren Träger 221 beabstandet
sein. Daher kann sich die obere Kammereinheit 210 im Wesentlichen
einhergehend mit der Bewegung der unteren Kammerplatte 222 bewegen,
wobei sie sich entlang einer Richtung bewegt, die durch die Drehung
der Nocken 530 bestimmt ist. Darüber hinaus können, da
die untere Kammerplatte 222 vom unteren Tisch 240 getrennt ist
(wodurch sie sich z. B. unabhängig
vom unteren Tisch 240 bewegen kann), das erste und das
zweite Substrat 110 und 120, die durch den jeweiligen
Tisch 230 bzw. 240 gehalten werden, dadurch gleichmäßig positioniert
und ausgerichtet, dass nur der obere Tisch 230 verstellt
wird.
-
Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung können
das erste und das zweite Substrat dadurch ausgerichtet werden, dass
auf ihnen ausgebildete Ausrichtmarkierungen ausgerichtet werden.
Gemäß einer
anderen Erscheinungsform der Erfindung können die Ausrichtmarkierungen
als Grob-Ausrichtmarkierungen und Fein-Ausrichtmarkierungen vorhanden
sein. Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung können
die Grob- und die Fein-Ausrichtmarkierungen dadurch ausgebildet
werden, dass vorbestimmte Bereiche der Substrate ausgeschnitten
werden. Demgemäß kann ein
Ausrichtprozess z. B. dadurch ausgeführt werden, dass ein Grob-Ausrichtprozess
unter Verwendung der Grob-Ausrichtmarkierungen ausgeführt wird,
gefolgt vom Ausführen
eines Fein-Ausrichtprozesses unter Verwendung der Fein-Ausrichtmarkierungen.
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Unter
Bezugnahme auf z. B. die 23 und 24 können das
erste Substrat 110 und das zweite Substrat 120 jeweils
mit mehreren Grob-Ausrichtmarkierungen mit einer Größe von ungefähr 3 μm (siehe
die 23) und mehreren Fein-Ausrichtmarkierungen mit
einer Größe von ungefähr 0,3 μm (siehe
die 24) versehen sein. Zum Beispiel kann das erste
Substrat 110 über
Grob-Ausrichtmarkierungen, wie sie in der 23A dargestellt
sind, und Fein-Ausrichtmarkierungen, wie sie in der 24A dargestellt sind,
verfügen,
während
das zweite Substrat 120 über Grob-Ausrichtmarkierungen,
wie sie in der 23B dargestellt sind,
und Fein-Ausrichtmarkierungen, wie sie in der 24B dargestellt
sind, verfügen
kann.
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Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung können
getrennte Ausrichtkameras dazu verwendet werden, die Grob-Ausrichtmarkierungen
und die Fein-Ausrichtmarkierungen auszurichten, und sie können innerhalb
der erfindungsgemäßen Substratverbindungsvorrichtung
vorhanden sein. Die Ausrichtkameras können als Grob- und Fein-Ausrichtkameras
vorhanden sein, da das Ausrichten von Grob- und Fein-Ausrichtmarkierungen
unter Verwendung einer einzelnen Kamera schwierig sein kann. Zum Beispiel
können
Schwierigkeiten auf Grund von Größenunterschieden
zwischen den Grob- und den Fein-Ausrichtmarkierungen zusätzlich zur
Tatsache auftreten, dass die Grob- und die Fein-Ausrichtmarkierungen
häufig
in verschiedenen Bereichen des Substrats ausgebildet sind.
-
Demgemäß kann der
obere Tisch 230, auf das Ausrichten des ersten und des
zweiten Substrats hin, so abgesenkt werden, dass das erste Substrat 110 auf
eine Weise vom zweiten Substrat 120 getrennt ist, die dazu
ausreicht, zu verhindern, dass das Dichtungsmittel auf dem ersten
Substrat 110 mit dem Flüssigkristallmaterial
auf dem zweiten Substrat 120 in Kontakt gelangt. Zum Beispiel
kann das erste Substrat 110 um einen Abstand von ungefähr 300 μm von zweiten
Substrat 120 getrennt sein.
-
Als
Nächstes
können
das erste und das zweite Substrat 110 und 120 dadurch
ausgerichtet werden, dass der obere Tisch 230 entlang einer
lateralen Richtung verstellt wird. Durch Verstellen des oberen Tischs 230 kann
die im zweiten Substrat 120 ausgebildete Grob-Ausrichtmarkierung
(wie in der 23B dargestellt) auf eine
Weise, wie sie in der 23C dargestellt
ist, im Wesentlichen mit der im ersten Substrat 110 ausgebildeten
Grob-Ausrichtmarkierung (wie in der 23A dargestellt)
ausgerichtet werden (z. B. genau innerhalb derselben positioniert
werden). Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung können
die Grob-Ausrichtmarkierungen unter Verwendung von Ausrichtkameras 520 ausgerichtet
werden, die an mindestens zwei diagonal entgegengesetzten Bereichen
des ersten und des zweiten Substrats 110 und 120 vorhanden
sind. Gemäß einer
anderen Erscheinungsform der Erfindung können die Grob-Ausrichtmarkierungen
dadurch ausgerichtet werden, dass als Erstes die Ausrichtkameras auf
die im ersten Substrat 110 ausgebildete Grob-Ausrichtmarkierung
fokussiert wird und als Zweites auf die im zweiten Substrat ausgebildete Grob-Ausrichtmarkierung
fokussiert wird. Gemäß noch einer
anderen Erscheinungsform der Erfindung, unter Bezugnahme auf die 25,
können
die Grob-Ausrichtmarkierungen dadurch ausgerichtet werden, dass
die Ausrichtkameras auf einen Zwischenpunkt zwischen dem ersten
Substrat 110 und dem zweiten Substrat 120 fokussiert
werden.
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Nachdem
die Grob-Ausrichtmarkierungen im Wesentlichen ausgerichtet wurden,
können
die Fein-Ausrichtmarkierungen dadurch ausgerichtet werden, dass
der obere Tisch 230 weiter abgesenkt wird und er entlang
einer lateralen Richtung verstellt wird. Durch Verstellen des oberen
Tischs 230 können die
im zweiten Substrat 120 ausgerichteten Fein-Ausrichtmarkierungen
(in der 24B dargestellt) im Wesentlichen
mit den im ersten Substrat 110 ausgebildeten Fein-Ausrichtmarkierungen
(in der 24A dargestellt) auf die in
der 24C dargestellte Weise im Wesentlichen
ausgerichtet werden (z. B. genau innerhalb derselben positioniert
werden). Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung können
die Fein-Ausrichtmarkierungen unter Verwendung von Ausrichtkameras 520 ausgerichtet
werden, die an den vier Eckbereichen des ersten und des zweiten
Substrats 110 und 120 vorhanden sind.
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Gemäß den Prinzipien
der Erfindung kann der Abstand zwischen dem ersten und dem zweiten Substrat 110 und 120 während der
Ausrichtung der Fein-Ausrichtmarkierungen mindestens dreimal variiert
werden. Zum Beispiel kann in einem ersten Ausrichtschritt für Fein-Ausrichtmarkierungen
der obere Tisch 230 um einen Abstand vom zweiten Substrat 120 beabstandet
werden, der dazu ausreicht, dass das Abdichtmittel auf dem ersten
Substrat 110 mit dem Flüssigkristallmaterial
auf dem zweiten Substrat 120 in Kontakt gelangt (wobei
das erste Substrat vom zweiten Substrat z. B. um einen Abstand von
ungefähr
300 μm getrennt
ist). In einem zweiten Ausrichtschritt für die Fein-Ausrichtmarkierungen
kann der obere Tisch 230 auf solche Weise abgesenkt werden, dass
der Abstand zwischen dem ersten und dem zweiten Substrat 110 und 120 ungefährt 150 μm beträgt. Demgemäß können, während des
zweiten Ausrichtschritts für
die Fein-Ausrichtmarkierungen, zentrale Abschnitte des ersten und
des zweiten Substrats 110 und 120 auf Grund des
Durchhängens
der Substrate miteinander in Kontakt gelangen. In einem dritten
Ausrichtschritt für
die Fein-Ausrichtmarkierungen kann der obere Tisch 230 weiter
so abgesenkt werden, dass der Abstand zwischen dem ersten und dem
zweiten Substrat 110 und 120 ungefähr 100 μm beträgt.
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Demgemäß können die
Fein-Ausrichtmarkierungen durch einen dreischrittigen Prozess ausgerichtet
werden. Daher kann, gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung, die Ausrichtung der Fein-Ausrichtmarkierungen
während
jedes Ausrichtschritts für
Fein-Ausrichtmarkierungen ermittelt und korrigiert werden. Es ist
jedoch zu beachten, dass die Fein-Ausrichtmarkierungen nur mittels des
ersten Ausrichtschritts für
Fein-Ausrichtmarkierungen ausgerichtet werden können, während der zweite und der dritte
Ausrichtschritt für
Fein-Ausrichtmarkierungen
weggelassen werden. Ferner kann sich während des zweiten und des dritten
Ausrichtschritts für Fein-Ausrichtmarkierungen
im Wesentlichen keine Beschädigung
aus dem Kontakt zwischen den Substraten und dem Dichtungsmittel
oder em Flüssigkristallmaterial
ergeben, da die Fein-Ausrichtmarkierungen
während
des ersten Ausrichtschritts für Fein-Ausrichtmarkierungen
ausreichend ausgerichtet wurden.
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Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung können
die Fein-Ausrichtmarkierungen unter Verwendung von Ausrichtkameras
ausgerichtet werden, die innerhalb der oberen Kammereinheit 210 und/oder
der unteren Kammereinheit 220 vorhanden sind und an diagonal
entgegengesetzten Bereichen des ersten und des zweiten Substrats 110 und 120 angeordnet
sind. Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung, und unter Bezugnahme auf die 25,
können
die Fein-Ausrichtkameras dadurch ausgerichtet werden, dass die Ausrichtkameras
auf einen Zwischenpunkt zwischen dem zweiten Substrat 120 und
dem ersten Substrat 110 fokussiert werden. Gemäß einer
ande ren Erscheinungsform der Erfindung können die Fein-Ausrichtmarkierungen
dadurch ausgerichtet werden, dass als Erstes die Ausrichtkameras
auf die im zweiten Substrat 110 ausgebildeten Fein-Ausrichtmarkierungen
fokussiert werden und als Zweites auf die im ersten Substrat 110 ausgebildeten
Fein-Ausrichtmarkierungen
fokussiert werden oder umgekehrt. Durch Ändern der Brennweite der Ausrichtkameras,
wie unten beschrieben, kann die Genauigkeit, mit der die Fein-Ausrichtmarkierungen
ausgerichtet werden, im Vergleich zur Fokussierung auf den Zwischenpunkt
zwischen den zwei Substraten verbessert werden.
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Gemäß den Prinzipien
der Erfindung können mindestens
zwei Grob-Ausrichtmarkierungen und mindestens zwei Fein-Ausrichtmarkierungen
sowohl auf dem ersten Substrat 110 als auch dem zweiten Substrat 120 ausgebildet
sein. Es ist jedoch zu beachten, dass die Genauigkeit, mit der die
zwei Substrate ausgerichtet werden, dadurch erhöht werden kann, dass die Anzahl
der verwendeten Ausrichtmarkierungen erhöht wird. Demgemäß können, wenn
die Größe der zu
verbindenden Substrate zunimmt, mehr Ausrichtmarkierungen verwendet
werden, um eine genaue Ausrichtung aufrechtzuerhalten. Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung können
die Grob- und die Fein-Ausrichtmarkierungen z. B. innerhalb von
Schreibbereichen zwischen mehreren innerhalb eines Substrats ausgebildeten
Tafeln ausgebildet sein. Gemäß einer
anderen Erscheinungsform der Erfindung können die Grob- und die Fein-Ausrichtmarkierungen
z. B. in Umfangsbereichen der Substrate, innerhalb denen die mehreren
Tafeln ausgebildet sind, ausgebildet sein.
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Nachdem
die Fein-Ausrichtmarkierungen ausgerichtet wurden, kann eine an
den oberen Tisch 230 angelegte, die elektrostatische Ladung
erzeugende Spannung abgeschaltet werden, und die Kammer-Verstelleinrichtung
kann aktiviert werden, um die obere Kammereinheit 210 in
eine vorbestimmte Höhe
nach oben anzuheben. Demgemäß kann das erste
Substrat 110, das zuvor durch den oberen Tisch 230 festgehalten
wurde, von diesem getrennt werden und mit dem zweiten Substrat 120 verbunden
bleiben, das vom unteren Tisch 240 festgehalten wird.
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Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung kann, nachdem die obere Kammereinheit 210 um
den vorbestimmten Abstand angehoben wurde, der durch die obere und
die untere Kammerplatte 212 und 222 gebildete
abgedichtete Innenraum über
das dritte Dichtungselement 250 im Wesentlichen gegenüber der
Außenumgebung
abgedichtet bleiben. Nachdem die obere Kammereinheit 210 um
den vorbestimmten Abstand angehoben wurde, können die Ausrichtkameras 520 dazu
verwendet werden, den Ausrichtzustand der auf dem ersten und dem
zweiten Substrat 110 und 120 ausgebildeten Fein-Ausrichtmarkierungen
zu ermitteln. Wenn ermittelt wird, dass die Ausrichtung der Fein-Ausrichtmarkierungen
bis außerhalb
eines akzeptierbaren Ausricht-Toleranzwerts beeinträchtigt ist,
kann die Position des oberen Tischs 230 unter Verwendung
der Nocken 530 eingestellt werden. Wenn jedoch ermittelt
wird, dass die Ausrichtung der Fein-Ausrichtmarkierungen ausreichend
verblieben ist, kann der durch die obere und die untere Kammereinheit
gebildete abgedichtete Innenraum belüftet wird (Schritt 6S).
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Gemäß den Prinzipien
der Erfindung kann die Belüftung
in zwei Schritten ausgeführt
werden. Zum Beispiel kann es zu einem ersten Belüftungsschritt gehören, ein
Gas wie Stickstoff (N2) mittels der mit
der zweiten Niedervakuum-Pumpe 622 verbundenen
Vakuumleitungen 271 und 272 und die Vakuumlöcher 232a und 242a in
den Befestigungsplatten 232 und 242 des oberen
und des unteren Tischs 230 bzw. 240 in den Innenraum
einzuspeisen. Demgemäß können die
in der 6 dargestellten Verschlussventile 666, 667 und 668 geöffnet werden,
so dass Stickstoffgas durch die Vakuumlöcher 232a und 242a strömen und
in den Innenraum eingespeist werden kann. Da das Stickstoffgas durch
die Vakuumlöcher 232a und 242a geliefert
wird, werden das erste und das zweite Substrat 110 und 120 selbst
dann über
das Dichtungsmittel verbunden, wenn die zwei Substrate zuvor, bei
den vorigen Prozessen, nicht über
das Dichtungsmittel verbunden wurden. Als Nächstes kann das Stickstoffgas über die
Niedervakuum-Kammerleitungen 641, 642 und 650 in
den abgedichteten Innenraum eingespeist werden, um den Druck desselben
auf den Atmosphärendruck
zu erhöhen.
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Demgemäß können die
Substrate 110 und 120 über das Dichtungsmaterial miteinander
verbunden werden, während
der durch die obere und die untere Kammereinheit gebildete abgedichtete
Innenraum im Vakuumzustand gehalten werden kann. Nachdem die Substrate
miteinander verbunden werden, können
die verbundenen Substrate durch die Druckdifferenz zwischen dem
Druck innerhalb des Zellenspalts zwischen den zwei verbundenen Substraten
und dem Druck im Innenraum, der als Ergebnis der Belüftung erhöht wurde,
weiter zusammengedrückt
werden.
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Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung kann die Belüftung ausgeführt werden,
nachdem die Fein-Ausrichtmarkierungen im Wesentlichen ausgerichtet
wurden, nachdem die elektrostatische Ladung deaktiviert wurde und
nachdem das erste und das zweite Substrat durch das Dichtungsmittel miteinander
verbunden wurden. Selbst wenn jedoch die Belüftung ausgeführt wird,
bevor das Verbinden der zwei Substrate abgeschlossen ist, werden
in der Verbindung im Wesentlichen keine Defekte erzeugt, da durch
den ersten Belüftungsschritt
die Substrate gegeneinander gedrückt
werden, wodurch die Verbindung zwischen den Substraten und dem Dichtungsmaterial
abgedichtet wird.
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Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung kann UV-Licht auf das Dichtungsmaterial gerichtet
werden, um das Dichtungsmittel vor dem Belüften teilweise zu härten und
auszuhärten.
Durch das Lenken von UV-Licht auf das Dichtungsmaterial kann das
Ausmaß wesentlich
minimiert werden, gemäß dem das
erste und das zweite Substrat 110 und 120 als
Ergebnis der Belüftung
fehlausgerichtet werden. Demgemäß kann das
UV-Licht auf das Dichtungsmaterial gerichtet werden, nachdem die Fein-Ausrichtmarkierungen
ausgerichtet wurden. Gemäß einer
anderen Erscheinungsform der Erfindung kann das UV-Licht nach der
Belüftung
auf das Dichtungsmaterial gerichtet werden, um den Grad wesentlich
zu minimieren, gemäß dem die
verbundenen Substrate durch äußere Stöße fehlausgerichtet werden,
wie sie sie erleiden, während
sie zu einer folgenden Prozessstation transportiert werden. Daher, und
gemäß den Prinzipien
der Erfindung, kann das UV-Licht entweder vor dem Belüften, nach
dem Belüften
oder sowohl vor als auch nach dem Belüften auf das Dichtungsmaterial
gerichtet werden.
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Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung kann das Dichtungsmaterial, auf das
das UV-Licht gerichtet wird, ein Dichtungsmittel-Attrappenmuster
enthalten, um eine mögliche
Fehlausrichtung zu minimieren, die durch das Belüften oder den Transport verursacht
wird. Demgemäß kann das Dichtungsmittel-Attrappenmuster
vorhanden sein, um ein Haupt-Dichtungsmittel zu schützen, wobei das
Hauptdichtungsmittel-Muster Flüssigkristallmaterial
innerhalb einer LCD-Tafel festhalten kann und wobei sowohl das Dichtungsmittel-Attrappenmuster als
auch das Hauptdichtungsmittel-Muster das erste und das zweite Substrat 110 und 120 miteinander verbinden
können.
Gemäß einer
anderen Erscheinungsform der Erfindung kann das Dichtungsmaterial,
auf das das UV-Licht gerichtet wird, das Hauptdichtungsmittel-Muster
enthalten (z. B. wenn kein Dichtungsmittel-Attrappenmuster existiert).
Gemäß noch einer
anderen Erscheinungsform der Erfindung kann das UV-Licht über den
UV-Lenkteil 800, wo UV-Licht auf mindestens zehn Bereiche
(z. B. 14 Bereiche) des Dichtungsmaterials gerichtet werden kann,
auf das Dichtungsmaterial gerichtet werden.
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Nach
dem Belüften
des durch die obere und die untere Kammereinheit gebildeten abgedichteten Innenraums
können
die verbundenen Substrate entladen werden (Schritt 7S),
wobei, nachdem die verbundenen Substrate entladen wurden, die oben
genannten Prozesse wiederholt werden können, um andere Substrate miteinander
zu verbinden.
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Gemäß einer
Erscheinungsform der Erfindung, und unter Bezugnahme auf die 15,
können die
verbundenen Substrate 110 und 120 aus dem Inneren
der Substratverbindungsvorrichtung dadurch entladen werden, dass
die auf den unteren Tisch 240 aufgebrachte elektrostatische
Ladung deaktiviert wird, die verbundenen Substrate durch die Saugkraft und
die elektrostatische Ladung am oberen Tisch 230 befestigt
werden, der obere Tisch 230 mit den an ihm befestigten
verbundenen Substrate um einen vorbestimmten Abstand so angehoben
wird, dass die verbundenen Substrate nicht an der anschließend eingeführten Ladeeinrichtung 910 hängen bleiben. Gemäß der 16 kann
dann der Hebestift 710 der Trageeinrichtung über die
Oberseite des unteren Tischs 240 benachbart zu den am oberen
Tisch 230 befestigten verbundenen Substraten 110 und 120 angehoben
werden. Als Nächstes
können
die Saugkraft und die elektrostatische Ladung, wie sie durch den oberen
Tisch 230 wirken, ausgeschaltet werden, wodurch die verbundenen
Substrate vom oberen Tisch 230 losgelassen werden können und
sie durch die Oberseite des Hebestifts 710 abgestützt werden.
Gemäß der 17 kann
die Ladeeinrichtung 910 in die Substratverbindungsvorrichtung
eingeführt werden und
in der Nähe
eines Abschnitts unter dem Hebestift 710 angeordnet werden.
Gemäß der 18 kann dann
der Hebestift 710 nach unten bewegt werden, so dass die
verbundenen Substrate 110 und 120 durch die Ladeeinrichtung 910 gehalten
werden. Die Ladeeinrichtung 910 kann dann aus der Substratverbindungsvorrichtung
entfernt werden, um dadurch das Entladen der verbundenen Substrate 110 und 120 zu
beenden.
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Gemäß der Erfindung
können
die verbundenen Substrate 110 und 120 dadurch
entladen werden, dass sie an der oberen Kammereinheit 210 befestigt
werden, die obere Kammereinheit 210 angehoben wird, die
Ladeeinrichtung 910 in die Substratverbindungsvorrichtung
in der Nähe
der festgehaltenen verbundenen Substrate eingeführt wird, die verbundenen Substrate
losgelassen werden, so dass die Ladeeinrichtung 910 die
losgelassenen verbundenen Substrate hält, und die die verbundenen
Substrate haltende Ladeeinrichtung 910 aus der Substratverbindungsvorrichtung
entfernt wird. Anschließend
kann die Ladeeinrichtung 910 ein nicht verbundenes erstes
Substrat 110 in die Substratverbindungsvorrichtung einführen, in
der dieses nicht verbundene erste Substrat durch die obere Kammereinheit 210 festgehalten
werden kann.
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Gemäß der Erfindung,
und unter Bezugnahme auf die 19, können die
verbundenen Substrate 110 und 120 dadurch entfernt
werden, dass die Saugkraft und die elektrostatische Kraft deaktiviert werden,
wie sie durch den oberen Tisch 230 ausgeübt werden,
und die obere Kammereinheit 210 auf eine vorbestimmte Bereitschaftshöhe angehoben wird,
wobei die verbundenen Substrate nicht durch die obere Kammereinheit 210 gehalten
werden. Als Nächstes
kann, wozu auf die 20 Bezug genommen wird, der
Hebestift 710 angehoben werden, so dass die verbundenen
Substrate 110 und 120 nicht mit dem unteren Tisch 240 in
Kontakt stehen, die Ladeeinrichtung 910 kann in die Substratverbindungsvorrichtung
in der Nähe
der verbundenen Substrate eingeführt
werden, der Hebestift 710 kann abgesenkt werden, so dass
die verbundenen Substrate durch die Ladeeinrichtung 910 gehalten
werden, und die die verbundenen Substrate haltende Ladeeinrichtung 910 kann
aus der Substratverbindungsvorrichtung entfernt werden, um dadurch
das Entladen der verbundenen Substrate 110 und 120 zu
beenden.
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Bei
der unmittelbar zuvor beschriebenen Erscheinungsform der Erfindung
kann die Ladeeinrichtung 910 ein nicht verbundenes erstes
Substrat 110 in die Substratverbindungsvorrichtung einführen, bevor
die durch den unteren Tisch 240 gehaltenen verbundenen
Substrate entladen werden. Das eingeführte, nicht verbundene erste
Substrat kann dann mittels des oberen Tischs 230 durch
die Saugkraft und die elektrostatische Ladung festgehalten werden und über die
vorbestimmte Bereitschaftshöhe
angehoben werden, und dann kann die Ladeeinrichtung 910 aus
der Substratverbindungsvorrichtung entfernt werden. Als Nächstes kann,
wie es bereits unter Bezugnahme auf die 19 bis 21 beschrieben wurde,
der Hebestift 710 angehoben werden, um die verbundenen
Substrate vom unteren Tisch 240 freizugeben, die Ladeeinrichtung 910 kann
wieder in die Substratverbindungsvorrichtung in der Nähe der verbundenen,
durch den Hebestift 719 gehaltenen Substrate eingeführt werden,
der Hebestift 710 kann abgesenkt werden, so dass die verbundenen
Substrate durch die Ladeeinrichtung 910 gehalten werden,
und die die verbundenen Substrate haltende Ladeeinrichtung 910 kann
aus der Substratverbindungsvorrichtung entfernt werden, um dadurch
das Entladen der verbundenen Substrate 110 und 120 abzuschließen.
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Wie
beschrieben, sind die Substratverbindungsvorrichtung, die die Herstellung
von durch ein Flüssigkristall- Verteilverfahren
hergestellten LCD-Vorrichtungen erleichtert, und ein Verfahren zum
Herstellen von LCD-Vorrichtungen unter Verwendung derselben vorteilhaft,
da die Gesamtgröße der Substratverbindungsvorrichtung
im Vergleich zu Substratverbindungsvorrichtungen gemäß der einschlägigen Technik
verringert werden kann, da die erfindungsgemäße Substratverbindungsvorrichtung nicht
mit der Funktion versehen ist, ein Dichtungsmaterial auf Substrate
aufzutragen oder Flüssigkristallmaterial
auf ihnen zu verteilen. Demgemäß sorgt
die Substratverbindungsvorrichtung für eine einfache Konstruktion,
und sie spart Raum ein. Darüber
hinaus kann das Volumen des durch die obere und die untere Kammereinheit
gebildeten Innenraums minimiert werden, um dadurch den zeitlichen
Umfang zu verringern, der zum Evakuieren des Innenraums erforderlich
ist. Durch Verkürzen
der Abpumpzeit kann der Umfang der zum Herstellen einer LCD-Vorrichtung
erforderlichen Zeit verkleinert werden. Ferner kann der obere Tisch
unter Verwendung von Linearstellgliedern selbst dann mit dem unteren
Tisch ausnivelliert werden, wenn das am unteren Tisch befestigte
zweite Substrat verkippt ist. Noch ferner wird durch Bereitstellen
einer Niedervakuum-Kammer für jede
der Kammereinheiten ein Durchsacken der Kammereinheiten vermieden,
um dadurch für
stabile Substratverbindung zu sorgen. Schließlich kann eine vereinfachte
Konstruktion unter Verwendung mehrerer drehbarer Nocken zum Ausrichten
der Substrate durch Einstellen einer Position der unteren Kammereinheit
erhalten werden.