JP6551758B2 - 基板貼り合せ装置 - Google Patents
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Description
第一の開口を有する第一の真空チャンバと、
この第一の真空チャンバの前記第一の開口内に設けられ、第一の基板を保持する第一のテーブルと、
第二の開口を有する第二の真空チャンバと、
この第二の真空チャンバの前記第二の開口内に設けられ、第二の基板を保持する第二のテーブルと、を備え、
前記第二の開口に前記第一の開口が向き合って形成された閉空間を減圧して、基板を貼り合せる基板貼り合せ装置において、
前記第一の真空チャンバ又は前記第二の真空チャンバに接続され、前記閉空間を減圧排気する真空排気部を更に備えたものであり、
前記第一の基板と前記第二の基板とを貼り合せる際に、貼り合せ精度を優先する方向が存在する場合において、この方向を貼り合せ精度優先方向と定義すると、
前記真空排気部による減圧排気方向が前記貼り合せ精度優先方向とは異なる方向である。
第一の開口を有する第一の真空チャンバと、
この第一の真空チャンバの前記第一の開口内に設けられ、第一の基板を保持する第一のテーブルと、
第二の開口を有する第二の真空チャンバと、
この第二の真空チャンバの前記第二の開口内に設けられ、第二の基板を保持する第二のテーブルと、
前記第二の開口に前記第一の開口が向き合って閉空間を形成可能なように、前記第一の真空チャンバを移動させる移動機構部と、
前記第一の真空チャンバの前記第一の開口の外側に付設された撮像部と、
を備えた基板貼り合せ装置を用い、
前記移動機構部によって前記第一の真空チャンバとともに前記撮像部を移動させ、
前記第二のテーブルに保持された前記第二の基板を前記撮像部によって撮像することにより、前記第二の基板の位置情報を取得し、
取得した前記第二の基板の位置情報に基づき、前記第一のテーブルに保持された前記第一の基板を前記第二の基板に貼り合せる、
ものである。
図1は、実施形態1における基板貼り合せ装置10の構成の一例を示す。図1[A]はZ軸方向からXY平面を見た上面図であり、図1[B]はX軸方向からYZ平面を見た側面図である。
移動機構部(130)によって第一の真空チャンバ(100)とともに撮像部(120)を移動させ、第二のテーブル(212)に保持された第二の基板(213)を撮像部(120)によって撮像することにより、第二の基板(201)の位置情報を取得し、
取得した第二の基板(213)の位置情報に基づき、第一のテーブル(112)に保持された第一の基板(113)を第二の基板(213)に貼り合せる、というものである。
本実施形態1では、第一の真空チャンバとして下真空チャンバ、第二の真空チャンバとして上真空チャンバを用い、第二の真空チャンバに固定された上基板を撮像するカメラを第一の真空チャンバに備えた例を採り上げたが、本発明の構成はこれに限定されない。例えば、第一の真空チャンバとして上真空チャンバ、第二の真空チャンバとして下真空チャンバを用い、第二の真空チャンバに固定された下基板を撮像するカメラを第一の真空チャンバに備えた構成としてもよい。この構成を変形例として以下に説明する。
実施形態2における基板貼り合せ装置20の構成の一例を図11に示す。基板貼り合せ装置20では、図1に示す実施形態1の基板貼り合せ装置10における真空排気着脱機構300及び真空排気口310が、縦真空排気着脱機構500及び縦真空排気口510に置き換わっている。基板貼り合せ装置20のその他の構成は、図1に示す基板貼り合せ装置10と同じであるので、その説明を省略する。
図18は、実施形態1、2の基板貼り合せ装置を用いて、光学基板としてのレンチキュラレンズ基板50を貼り合せ材料61を介して表示パネル64に貼り合せた立体表示装置40を示す概略図である。上記したように光学基板と表示パネルとがμmオーダの高精度で貼り合せされているため、非常に高画質の立体画像を表示することが可能となる。
第一の開口を有する第一の真空チャンバと、
この第一の真空チャンバの前記第一の開口内に設けられ、第一の基板を保持する第一のテーブルと、
第二の開口を有する第二の真空チャンバと、
この第二の真空チャンバの前記第二の開口内に設けられ、第二の基板を保持する第二のテーブルと、
前記第二の開口に前記第一の開口が向き合って閉空間を形成可能なように、前記第一の真空チャンバを移動させる移動機構部と、
前記第一の真空チャンバの前記第一の開口の外側に付設されることにより、前記移動機構部によって前記第一の真空チャンバとともに移動し、前記第二のテーブルに保持された前記第二の基板を撮像することにより、前記第二の基板の位置情報を得る撮像部と、
この撮像部によって得られた前記第二の基板の位置情報に基づき、前記第一のテーブルに保持された前記第一の基板を前記第二の基板に貼り合せる制御部と、
を備えた基板貼り合せ装置。
前記第一のテーブル及び前記第二のテーブルの基板保持面をXY平面、このXY平面に直交する方向をZ方向と定義すると、
前記第一の真空チャンバの移動方向は、XY平面上の任意の一軸方向のみである、
付記1記載の基板貼り合せ装置。
前記第一の基板と前記第二の基板とを貼り合せる際に、貼り合せ精度を優先する方向が存在する場合において、この方向を貼り合せ精度優先方向と定義すると、
前記第一の真空チャンバの移動方向は、前記貼り合せ精度優先方向とは異なる方向である、
付記2記載の基板貼り合せ装置。
前記第一の真空チャンバの移動方向と前記貼り合せ精度優先方向とが直交している、
付記3記載の基板貼り合せ装置。
前記第二の真空チャンバの移動方向は前記XY平面に存在しない、
付記2乃至4のいずれか一つに記載の基板貼り合せ装置。
前記第二の真空チャンバの移動方向は前記Z方向のみである、
付記2乃至5のいずれか一つに記載の基板貼り合せ装置。
前記第一の真空チャンバは前記閉空間の下側に配置される真空チャンバであり、
前記第二の真空チャンバは前記閉空間の上側に配置される真空チャンバである、
付記1乃至6のいずれか一つに記載の基板貼り合せ装置。
第一の開口を有する第一の真空チャンバと、
この第一の真空チャンバの前記第一の開口内に設けられ、第一の基板を保持する第一のテーブルと、
第二の開口を有する第二の真空チャンバと、
この第二の真空チャンバの前記第二の開口内に設けられ、第二の基板を保持する第二のテーブルと、を備え、
前記第二の開口に前記第一の開口が向き合って形成された閉空間を減圧して、基板を貼り合せる基板貼り合せ装置において、
前記第一の真空チャンバ又は前記第二の真空チャンバに接続され、前記閉空間を減圧排気する真空排気部を更に備え、
前記第一の基板と前記第二の基板とを貼り合せる際に、貼り合せ精度を優先する方向が存在する場合において、この方向を貼り合せ精度優先方向と定義すると、
前記真空排気部による減圧排気方向が前記貼り合せ精度優先方向とは異なる方向である、
基板貼り合せ装置。
前記第一のテーブル又は前記第二のテーブルに精度確保機構が設けられ、
この精度確保機構が動作する方向を貼り合せ精度優先方向とし、
前記減圧排気方向は前記貼り合せ精度優先方向とは異なる方向である、
付記8記載の基板貼り合せ装置。
前記貼り合せ精度優先方向と前記減圧排気方向とは略直交する、
付記8又は9記載の基板貼り合せ装置。
前記第一の真空チャンバの移動方向は、前記減圧排気方向と略平行である、
付記8乃至10のいずれか一つに記載の基板貼り合せ装置。
前記第二の真空チャンバの移動方向は前記減圧排気方向のみである、
付記8乃至11のいずれか一つに記載の基板貼り合せ装置。
前記第一の真空チャンバは前記閉空間の下側に配置される真空チャンバであり、
前記第二の真空チャンバは前記閉空間の上側に配置される真空チャンバである、
付記8乃至12のいずれか一つに記載の基板貼り合せ装置。
前記第一の基板は光学基板及び表示パネルの一方であり、
前記第二の基板は光学基板及び表示パネルの他方である
付記1乃至13のいずれか一つに記載の基板貼り合せ装置。
第一の開口を有する第一の真空チャンバと、
この第一の真空チャンバの前記第一の開口内に設けられ、第一の基板を保持する第一のテーブルと、
第二の開口を有する第二の真空チャンバと、
この第二の真空チャンバの前記第二の開口内に設けられ、第二の基板を保持する第二のテーブルと、
前記第二の開口に前記第一の開口が向き合って閉空間を形成可能なように、前記第一の真空チャンバを移動させる移動機構部と、
前記第一の真空チャンバの前記第一の開口の外側に付設された撮像部と、
を備えた基板貼り合せ装置を用い、
前記移動機構部によって前記第一の真空チャンバとともに前記撮像部を移動させ、
前記第二のテーブルに保持された前記第二の基板を前記撮像部によって撮像することにより、前記第二の基板の位置情報を取得し、
取得した前記第二の基板の位置情報に基づき、前記第一のテーブルに保持された前記第一の基板と前記第二の基板を貼り合せる、
基板貼り合せ方法。
第一の基板を保持する第一のテーブルを有する第一の真空チャンバと、
第二の基板を保持する第二のテーブルを有する第二の真空チャンバと、
前記第一の真空チャンバに付設され、前記第二の基板の位置情報を読み取る撮像部と、を備え
前記第一のテーブル及び前記第二のテーブルの基板保持面をXY平面、このXY平面に直交する方向をZ方向と定義すると、前記第一の真空チャンバの移動方向は、XY平面上の任意の一軸方向のみであり、
前記第一の真空チャンバと前記第二の真空チャンバとにより形成された閉空間を減圧して、前記第一の基板と前記第二の基板とを貼り合せる基板貼り合せ装置、
を用いた基板貼り合せ方法であって、
前記第一の真空チャンバが基板保持位置にあり、前記第一のテーブルに前記第二の基板を保持させる第一の工程と、
前記第二の基板を含む前記第一の真空チャンバを、前記基板保持位置から前記移動方向に沿って、前記Z方向に前記第二の真空チャンバが位置する閉空間形成位置まで移動させる第二の工程と、
前記第二の真空チャンバが前記Z方向に降下して、前記第二の基板を前記第一のテーブルから前記第二のテーブルに移す第三の工程と、
前記第二の真空チャンバが前記Z方向に上昇する第四の工程と、
前記第一の真空チャンバが前記閉空間形成位置から前記基板保持位置に戻る第五の工程と、
前記第五の工程を実施する際に、前記第一の真空チャンバと一体化した前記撮像部により、前記第二の基板のマークを撮影する第六の工程と、
を含む基板貼り合せ方法。
前記第六の工程において、前記撮像部は、前記第一の真空チャンバの移動方向に沿って少なくとも二箇所の位置で、前記第二の基板のマークを撮影する、
付記16記載の基板貼り合せ方法。
付記15乃至17のいずれか一つに記載の基板貼り合せ方法を用いて製造された立体画像表示装置。
第一の基板を保持する第一のテーブルを有する第一の真空チャンバと、
第二の基板を保持する第二のテーブルを有する第二の真空チャンバと、を備え
前記第一の真空チャンバと前記第二の真空チャンバとにより形成された閉空間を減圧して、粘着フィルム又は接着剤を用いて貼り合せる基板貼り合せ装置において、
前記第一の真空チャンバに設けられ、前記第二の真空チャンバとの間で閉空間を形成するための移動機構と、
前記第一の真空チャンバの前記閉空間を形成しない外側に設けられ、前記第二の基板の位置情報を読み取る第一の撮像部と、を更に備え、
前記第一の撮像部は、前記第一の真空チャンバの前記閉空間を形成しない位置で前記第二の基板のマークを撮影し、この撮影画像から位置情報を抽出する機能を有する、
ことを特徴とする基板貼り合せ装置。
前記第一のテーブル及び前記第二のテーブルの基板保持面をXY平面、このXY平面に直交する方向をZ方向と定義すると、
前記第一の真空チャンバの移動方向は、XY平面上の任意の一軸方向のみである、
付記21に記載の基板貼り合せ装置。
前記第一の基板と前記第二の基板とを貼り合せる際に、貼り合せ精度を優先する方向が存在する場合において、この方向を貼り合せ精度優先方向と定義すると、
前記第一の真空チャンバの移動方向は、前記貼り合せ精度優先方向とは異なる方向である、
付記22記載の基板貼り合せ装置。
前記第一の真空チャンバの移動方向と前記貼り合せ精度優先方向とが直交している、
付記23記載の基板貼り合せ装置。
前記第二の真空チャンバは、前記XY平面に移動方向が存在しない、
付記22乃至24のいずれか一つに記載の基板貼り合せ装置。
前記第二の真空チャンバは、前記Z方向にのみ移動する、
付記22乃至25のいずれか一つに記載の基板貼り合せ装置。
前記第一の撮像部は、前記第一の真空チャンバの移動方向に対して少なくとも二箇所の位置で、前記移動方向と垂直な方向に存在する前記第二の基板を撮影する、
付記21乃至26のいずれか一つに記載の基板貼り合せ装置。
前記第一の真空チャンバは前記閉空間の下側に配置される真空チャンバであり、
前記第二の真空チャンバは前記閉空間の上側に配置される真空チャンバである、
付記21乃至27のいずれか一つに記載の基板貼り合せ装置。
第一の基板を保持する第一のテーブルを有する第一の真空チャンバと、
第二の基板を保持する第二のテーブルを有する第二の真空チャンバと、を備え、
前記第一の真空チャンバと前記第二の真空チャンバにより形成された閉空間を減圧して、粘着フィルム又は接着剤を用いて貼り合せる基板貼り合せ装置において、
前記第一の真空チャンバ又は前記第二の真空チャンバに接続され、前記閉空間を減圧する真空排気部を更に備え、
前記第一の基板と前記第二の基板とを貼り合せる際に、貼り合せ精度を優先する方向が存在する場合において、この方向を貼り合せ精度優先方向と定義すると、
前記真空排気部による減圧排気方向は前記貼り合せ精度優先方向とは異なる、
ことを特徴とする基板貼り合せ装置。
前記第一のテーブル又は前記第二のテーブルに設けられた精度確保機構を更に備え、
この精度確保機構が動作する方向を貼り合せ精度優先方向とし、
前記減圧排気方向が前記貼り合せ精度優先方向とは異なる方向である、
付記29に記載の基板貼り合せ装置。
前記貼り合せ精度優先方向と前記減圧排気方向は略直交する、
付記29又は30記載の基板貼り合せ装置。
前記第一の真空チャンバの移動方向は、前記減圧排気方向と略平行である、
付記29乃至31のいずれか一つに記載の基板貼り合せ装置。
前記第二の真空チャンバは前記減圧排気方向にのみ移動する
付記29乃至32のいずれか一つに記載の基板貼り合せ装置。
前記第一の真空チャンバは前記閉空間の下側に配置される真空チャンバであり、
前記第二の真空チャンバは前記閉空間の上側に配置される真空チャンバである、
付記29乃至33のいずれか一つに記載の基板貼り合せ装置。
前記第一の基板は、光学素子又は表示パネルのどちらか一方であり、
前記第二の基板は、その他方である、
付記21乃至34のいずれか一つに記載の基板貼り合せ装置。
第一の基板を保持する第一のテーブルを有する第一の真空チャンバと、
第二の基板を保持する第二のテーブルを有する第二の真空チャンバと、
前記第一の真空チャンバに設けられ、前記第二の基板の位置情報を読み取る第一の撮像部と、を備え、
前記第一のテーブル及び前記第二のテーブルの基板保持面をXY平面、このXY平面に直交する方向をZ方向と定義すると、前記第一の真空チャンバの移動方向は、XY平面上の任意の一軸方向のみであり、
前記第一の真空チャンバと前記第二の真空チャンバとにより形成された閉空間を減圧して、粘着フィルム又は接着剤を用いて貼り合せる基板貼り合せ装置、
を用いて前記第一の基板と前記第二の基板とを貼り合せる基板貼り合せ方法であって、
前記第一の真空チャンバが基板保持位置にあり、前記第一のテーブルに前記第二の基板を保持させる第一の工程と、
前記第二の基板を含む前記第一の真空チャンバを前記基板保持位置から前記移動方向に沿って、前記Z方向に前記第二の真空チャンバが位置する閉空間形成位置まで移動させる第二の工程と、
前記第二の真空チャンバが前記Z方向に降下して、前記第二の基板を前記第一のテーブルから前記第二のテーブルに移す第三の工程と、
前記第二の真空チャンバが前記Z方向に上昇する第四の工程と、
前記第一の真空チャンバが前記閉空間形成位置から前記基板保持位置に戻る第五の工程と、
前記第五の工程を実施する際に、前記第一の真空チャンバと一体化した前記第一の撮像部により、前記第二の基板のマークを撮影する第六の工程と、
を含むことを特徴とする基板貼り合せ方法。
付記36に記載の基板貼り合せ方法を用いて製造された立体画像表示装置。
20 基板貼り合せ装置(実施形態2)
40 立体表示装置
50 レンチキュラレンズ基板(光学基板)
51 シリンドリカルレンズ
52 レンズピッチ
54 非周期平坦部
58 基板ヘッド
61 貼り合せ材料
64 表示パネル
65a 左眼用画素
65b 右眼用画素
70a 左眼領域
70b 右眼領域
100 下真空チャンバ(第一の真空チャンバ)
101 第一の開口
110 下定盤XYθ微動機構(精度確保機構)
112 下テーブル(第一のテーブル)
113 下基板(第一の基板)
113a 第一の下基板アライメントマーク
113b 第二の下基板アライメントマーク
114 UV照射機構
115 上基板外形位置決め治具
116 下基板外形位置決め治具
120 上基板用カメラ群(撮像部、第一の撮像部)
120a 左上基板用カメラ
120b 右上基板用カメラ
121 上基板用カメラ群の視野
130 Y軸サーボ機構(移動機構部)
131 Y軸サーボ固定部
131a,131b,131c,131d 交点
150 架台
200 上真空チャンバ(第二の真空チャンバ)
201 第二の開口
210 上定盤加圧機構
212 上テーブル(第二のテーブル)
213 上基板(第二の基板)
213a 第一の上基板アライメントマーク
213b 第二の上基板アライメントマーク
220 下基板用カメラ群(第二の撮像部)
220a 左下基板用カメラ
220b 右下基板用カメラ
221 下基板用カメラ群の視野
230 Z軸サーボ機構
300 真空排気着脱機構(真空排気部)
310 真空排気口(真空排気部)
400 貼り合せ基板
500 縦真空排気着脱機構(真空排気部)
510 縦真空排気口(真空排気部)
600 閉空間
700 制御部
Claims (6)
- 第一の開口を有する第一の真空チャンバと、
この第一の真空チャンバの前記第一の開口内に設けられ、第一の基板を保持する第一のテーブルと、
第二の開口を有する第二の真空チャンバと、
この第二の真空チャンバの前記第二の開口内に設けられ、第二の基板を保持する第二のテーブルと、
前記第二の開口に前記第一の開口が向き合って閉空間を形成可能なように、前記第一の真空チャンバを移動させる移動機構部と、
前記第一の真空チャンバの前記第一の開口の外側に付設されることにより、前記移動機構部によって前記第一の真空チャンバとともに移動し、前記第二のテーブルに保持された前記第二の基板を撮像することにより、前記第二の基板の位置情報を得る撮像部と、
この撮像部によって得られた前記第二の基板の位置情報に基づき、前記第一のテーブルに保持された前記第一の基板を前記第二の基板に貼り合せる制御部と、を備え、
前記第二の開口に前記第一の開口が向き合って形成された閉空間を減圧して、基板を貼り合せる基板貼り合せ装置において、
前記第一の真空チャンバ又は前記第二の真空チャンバに接続され、前記閉空間を減圧排気する真空排気部を更に備え、
前記第一のテーブル及び前記第二のテーブルの基板保持面をXY平面、このXY平面に直交する方向をZ方向と定義すると、
前記第一の真空チャンバの移動方向は、XY平面上の任意の一軸方向のみであり、
前記第一の基板と前記第二の基板とを貼り合せる際に、貼り合せ精度を優先する方向が存在する場合において、この方向を貼り合せ精度優先方向と定義すると、
前記真空排気部による減圧排気方向が前記貼り合せ精度優先方向とは異なる方向である、
基板貼り合せ装置。 - 前記第一のテーブル又は前記第二のテーブルに精度確保機構が設けられ、
この精度確保機構が動作する方向を貼り合せ精度優先方向とし、
前記減圧排気方向は前記貼り合せ精度優先方向とは異なる方向である、
請求項1記載の基板貼り合せ装置。 - 前記貼り合せ精度優先方向と前記減圧排気方向とは略直交する、
請求項1又は2記載の基板貼り合せ装置。 - 前記第一の真空チャンバの移動方向は、前記減圧排気方向と略平行である、
請求項1乃至3のいずれか一つに記載の基板貼り合せ装置。 - 前記第二の真空チャンバの移動方向は前記減圧排気方向のみである、
請求項1乃至4のいずれか一つに記載の基板貼り合せ装置。 - 前記第一の真空チャンバは前記閉空間の下側に配置される真空チャンバであり、
前記第二の真空チャンバは前記閉空間の上側に配置される真空チャンバである、
請求項1乃至5のいずれか一つに記載の基板貼り合せ装置。
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