JP2020046660A - 貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法 - Google Patents
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Abstract
Description
12:第2の貼り合わせ部材
11a:第1の貼り合わせ部材の特徴点
12a:第2の貼り合わせ部材の特徴点
100:貼り合わせ装置
110:上壁体部
111:第1の支持部
112:上マークプレート支持部
120:下壁体部
121:第2の支持部
122:下マークプレート支持部
130a:上マークプレート
130b:下マークプレート
131:マークパターン
131a:マーク
131b:円軌跡マーク
140a:上カメラ
140b:下カメラ
Claims (18)
- 第1の貼り合わせ部材と第2の貼り合わせ部材とを貼り合わせる貼り合わせ装置において、
前記第1の貼り合わせ部材が支持される第1の支持部を有する上壁体部と、
前記第1の貼り合わせ部材と対向して前記第2の貼り合わせ部材が支持される第2の支持部を有し、前記上壁体部との組み合わせにより工程チャンバーを形成する下壁体部と、
前記上壁体部の位置情報と前記下壁体部の位置情報とをそれぞれ取得し、それぞれ取得された前記上壁体部の位置情報と前記下壁体部の位置情報とから、前記上壁体部と前記下壁体部との間の相対位置情報を算出する位置情報取得部と、
前記上壁体部と前記下壁体部との間の相対位置情報に基づいて、前記上壁体部と前記下壁体部とを位置合わせするための制御情報を生成する制御部と、
前記制御部から前記制御情報を引き渡されて、前記上壁体部と前記下壁体部との少なくとも一方の壁体部を他方の壁体部に対して相対的に移動する駆動部と、
前記上壁体部と前記下壁体部との間隔を調整し、位置合わせされた状態で前記上壁体部と前記下壁体部とを組み合わせる間隔調整部と、
を備える貼り合わせ装置。 - 前記位置情報取得部は、
マークパターン付きパターン面を備え、前記上壁体部と前記下壁体部とにそれぞれ配設される上マークプレート及び下マークプレートと、
前記上壁体部と前記下壁体部とをそれぞれ向くように配設され、それぞれに対向する前記上マークプレート及び下マークプレートをそれぞれ撮影する上カメラ及び下カメラと、
前記上カメラ及び下カメラが前記上マークプレート及び下マークプレートをそれぞれ撮影したマークパターンイメージを分析して、前記上壁体部の位置情報と前記下壁体部の位置情報とをそれぞれ取得し、それぞれ取得された前記上壁体部の位置情報と前記下壁体部の位置情報とに基づいて、前記上壁体部と前記下壁体部との間の相対位置情報を生成する位置情報分析部と、
を備える請求項1に記載の貼り合わせ装置。 - 前記上カメラは、前記第1の貼り合わせ部材の特徴点を撮影し、
前記下カメラは、前記第2の貼り合わせ部材の特徴点を撮影し、
前記位置情報分析部は、前記第1の貼り合わせ部材の特徴点を撮影した第1の特徴点イメージと、前記第2の貼り合わせ部材の特徴点を撮影した第2の特徴点イメージとを分析して、前記第1の貼り合わせ部材と前記第2の貼り合わせ部材の特徴点同士の間の相対位置情報を取得し、
前記制御部は、取得された前記特徴点同士の間の相対位置情報を、前記上壁体部と前記下壁体部との間の相対位置情報に反映して前記制御情報を生成する請求項2に記載の貼り合わせ装置。 - 前記位置情報は、
一つの平面の上に存在する第1の軸及び第2の軸に沿ってそれぞれ決定される第1の軸の線形位置情報及び第2の軸の線形位置情報と、
前記平面の傾き度合いを示す傾斜情報と、
を含む請求項1に記載の貼り合わせ装置。 - 前記間隔調整部は、前記上壁体部と前記下壁体部とを組み合わせながら、前記第1の貼り合わせ部材と前記第2の貼り合わせ部材とを貼り合わせる請求項1に記載の貼り合わせ装置。
- 前記第1の支持部と前記第2の支持部との少なくとも一方は、それぞれに対応する前記第1の貼り合わせ部材又は前記第2の貼り合わせ部材に圧力を加えて、前記第1の貼り合わせ部材と前記第2の貼り合わせ部材とを貼り合わせる加圧部を備える請求項1に記載の貼り合わせ装置。
- 前記マークパターンは、
複数のマークがマットリックス状に配列されたマークマットリックスと、
前記マークマットリックスの外側に配置され、一つの円軌跡に位置する複数の円軌跡マークと、
を含む請求項2に記載の貼り合わせ装置。 - 前記位置情報分析部は、前記マークパターンイメージにおいて前記複数の円軌跡マークの位置を測定して、前記上壁体部と前記下壁体部との少なくとも一方の回転中心を算出する請求項7に記載の貼り合わせ装置。
- 前記上マークプレートは、前記第1の支持部の外縁部に配置され、
前記下マークプレートは、前記第2の支持部の外縁部に配置される請求項2に記載の貼り合わせ装置。 - 前記上マークプレート及び下マークプレートは、クォーツ製であり、
前記マークパターンは、印刷されて形成される請求項2に記載の貼り合わせ装置。 - 第1の貼り合わせ部材と第2の貼り合わせ部材とを貼り合わせる貼り合わせ方法において、
(a)上壁体部の第1の支持部に前記第1の貼り合わせ部材を配設し、下壁体部の第2の支持部に前記第2の貼り合わせ部材を配設する過程と、
(b)前記上壁体部の位置情報と前記下壁体部の位置情報とをそれぞれ取得し、それぞれ取得された前記上壁体部の位置情報と前記下壁体部の位置情報とから、前記上壁体部と前記下壁体部との間の相対位置情報を算出する過程と、
(c)前記上壁体部と前記下壁体部との間の相対位置情報に基づいて、前記上壁体部と前記下壁体部を位置合わせする過程と、
(d)位置合わせされた前記上壁体部と前記下壁体部との間隔を調整して、前記上壁体部と前記下壁体部とを組み合わせる過程と、
を含む貼り合わせ方法。 - マークパターン付きパターン面を含む上マークプレート及び下マークプレートを前記上壁体部と前記下壁体部とにそれぞれ配設する過程をさらに含み、
前記(b)過程は、
前記上壁体部と前記下壁体部とをそれぞれ向くように配設される上カメラ及び下カメラを用いて、それぞれに対向する前記上マークプレート及び下マークプレートをそれぞれ撮影する過程と、
前記上カメラ及び下カメラが前記上マークプレート及び下マークプレートをそれぞれ撮影したマークパターンイメージを分析する過程と、
前記上壁体部の位置情報と前記下壁体部の位置情報とをそれぞれ取得する過程と、
取得した前記上壁体部の位置情報と前記下壁体部の位置情報とに基づいて、前記上壁体部と前記下壁体部との間の相対位置情報を生成する過程と、
を含む請求項11に記載の貼り合わせ方法。 - 前記上カメラ及び下カメラを用いて、前記第1の貼り合わせ部材の特徴点と、前記第2の貼り合わせ部材の特徴点とをそれぞれ撮影する過程と、
前記第1の貼り合わせ部材の特徴点を撮影した第1の特徴点イメージと、前記第2の貼り合わせ部材の特徴点を撮影した第2の特徴点イメージとを分析して、前記第1の貼り合わせ部材と前記第2の貼り合わせ部材の特徴点同士の間の相対位置情報を取得する過程と、
をさらに含み、
前記(c)過程は、取得された前記特徴点同士の間の相対位置情報を、前記上壁体部と前記下壁体部との間の相対位置情報に反映して行う請求項12に記載の貼り合わせ方法。 - 前記(b)過程は、
一つの平面の上に存在する第1の軸及び第2の軸に沿って決定される第1の軸の線形位置情報と第2の軸の線形位置情報とを、前記上壁体部と前記下壁体部とのそれぞれに対して取り出す過程と、
前記平面の傾き度合いを示す傾斜情報を、前記上壁体部と前記下壁体部とのそれぞれに対して取り出す過程と、
を含む請求項11に記載の貼り合わせ方法。 - 前記(d)過程の間に、前記第1の貼り合わせ部材と前記第2の貼り合わせ部材とを貼り合わせる請求項11に記載の貼り合わせ方法。
- 前記(d)過程の後に、前記第1の貼り合わせ部材と前記第2の貼り合わせ部材とを貼り合わせる過程をさらに有する請求項11に記載の貼り合わせ方法。
- 前記マークパターンは、
複数のマークがマットリックス状に配列されたマークマットリックスと、
前記マークマットリックスの外側に配置され、一つの円軌跡に位置する複数の円軌跡マークと、
を含み、
前記マークパターンイメージを分析する過程は、
前記マークパターンイメージにおいて前記複数の円軌跡マークの位置を測定する過程と、
前記上壁体部と前記下壁体部との少なくとも一方の回転中心を算出する過程と、
を含む請求項12に記載の貼り合わせ方法。 - 前記(a)過程から前記(d)過程は、繰り返し行われ、
前記(a)過程を再度行う前に、前記第1の貼り合わせ部材と前記第2の貼り合わせ部材との貼り合わせ状態を確認する過程をさらに含み、
前記第1の貼り合わせ部材と前記第2の貼り合わせ部材とが位置合わせがなされた状態で貼り合わせられたことが確認された場合は、前記(b)過程を省略し、以前に算出された前記上壁体部と前記下壁体部との間の相対位置情報を用いて、前記(c)過程を行い、
前記第1の貼り合わせ部材と前記第2の貼り合わせ部材とが位置ずれした状態で貼り合わせられたことが確認された場合は、前記(b)過程を行い、新たに算出された前記上壁体部と前記下壁体部との間の相対位置情報を用いて、前記(c)過程を行う請求項11に記載の貼り合わせ方法。
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