CN110911589A - 层压设备和层压方法 - Google Patents

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Abstract

本公开涉及一种层压设备和层压方法，用于通过包含以下来使第一附接构件与第二附接构件对准以及将第一附接构件附接到第二附接构件：上部壁部件；下部壁部件；驱动部件，用于使上部壁部件和下部壁部件相对地移动；以及控制部件，用于在关于上部壁部件和下部壁部件的位置信息的基础上使上部壁部件与下部壁部件对准。本公开的层压设备和层压方法可在第一附接构件与第二附接构件12之间没有对准误差的情况下精确地彼此附接。

Description

层压设备和层压方法
技术领域
本公开涉及一种层压设备和层压方法，且更特定来说，涉及一种用于使上部壁部件与下部壁构件对准以及将第一附接构件附接到第二附接构件的层压设备和层压方法。
背景技术
一般来说，包含液晶显示器(liquid crystal display；LCD)、等离子显示器面板(plasma display panel；PDP)以及有机发光二极管(organic light-emitting diode；OLED)的各种显示器装置在制造期间经历在真空状态下将基板彼此附接的工艺，这是因为显示器装置通常形成为多层结构。
当在现有技术中将第一基板附接到第二基板时，通过使用视觉对准照相机来识别第一基板的标记物和第二基板的标记物，且匹配第一基板的标记物与第二基板的标记物，从而使第一基板与第二基板对准。然而，第一基板与第二基板难以对准，这是因为当第一基板和第二基板均透明时(例如，在附接窗玻璃与显示器面板时)无法在第一基板和第二基板上形成标记物。
另外，在现有技术中第一基板仅与第二基板水平对准。在这种情况下，如果当第一基板附接到第二基板时第一基板或第二基板不是水平的，那么出现包含第一基板和第二基板的附接表面的非均匀性的各种缺陷。因此，降低了显示器装置的整体可靠性。
也就是说，当上部壁部件未与下部壁部件对准时，上部壁部件与下部壁部件之间的倾斜误差导致第一基板未与第二基板平行。当第一基板在第一基板未与第二基板平行的情况下附接到第二基板时，第一基板的安装表面与第二基板的安装表面未彼此相对。因此，第一基板在未对准状态下附接到第二基板。
因此，迫切地需要研发一技术，所述技术可通过使第一基板与第二基板精确地对准的工艺来确保附接操作的精确度，同时解决当第一基板附接到第二基板时，第一基板与第二基板未彼此平行的问题。
[现有技术文献]
[专利文献]
韩国专利第10-1073558号
发明内容
本公开提供一种层压设备和层压方法，所述层压设备和层压方法用于通过使上部壁部件与下部壁构件对准以使第一附接构件与第二附接构件对准，以将第一附接构件附接到第二附接构件。
根据示范性实施例，一种用于将第一附接构件附接到第二附接构件的层压设备包含：上部壁部件，具有第一支撑部件，第一附接构件由第一支撑部件支撑；下部壁部件，具有第二支撑部件，与第一附接构件相对的第二附接构件由第二支撑部件支撑，且下部壁部件配置成通过连接到上部壁部件来形成处理腔室；位置信息获取部件，配置成获取关于上部壁部件的位置信息和关于下部壁部件的位置信息，且配置成根据所获取的关于上部壁部件的位置信息和所获取的关于下部壁部件的位置信息来运算上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息；控制部件，配置成在上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息的基础上，生成用于使上部壁部件与下部壁部件对准的控制信息；驱动部件，配置成从控制部件接收控制信息，以使上部壁部件和下部壁部件中的至少一个相对于另一个相对地移动；以及间隙调节部件，配置成调节上部壁部件与下部壁部件之间的间隙，且在对准状态下使上部壁部件连接到下部壁部件。
位置信息获取部件可包含：上部标记板和下部标记板，各自包含图案表面，图案表面具有标记图案，且上部标记板和下部标记板分别设置在上部壁部件和下部壁部件上；上部照相机和下部照相机，设置成分别面对上部壁部件和下部壁部件，以分别对上部标记板和下部标记板进行拍照，上部标记板和下部标记板分别与上部照相机和下部照相机相对；以及位置信息分析部件，配置成通过分析由上部照相机和下部照相机分别捕捉的上部标记板和下部标记板的标记图案图像来分别获取关于上部壁部件的位置信息和关于下部壁部件的位置信息，且配置成在所获取的关于上部壁部件的位置信息和所获取的关于下部壁部件的位置信息的基础上，生成上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息。
上部照相机可对第一附接构件的特征点进行拍照，下部照相机可对第二附接构件的特征点进行拍照，位置信息分析部件可通过分析对第一附接构件的特征点进行拍照的第一特征点图像和对第二附接构件的特征点进行拍照的第二特征点图像来获取第一附接构件的特征点与第二附接构件的特征点之间的相对位置信息，且控制部件可通过在上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息中反映由位置信息分析部件所获取的特征点之间的相对位置信息来生成控制信息。
位置信息可包含：根据存在于一个平面上的第一轴和第二轴所确定的第一轴线性位置信息和第二轴线性位置信息；以及指示平面的倾斜度的倾斜信息。
间隙调节部件可在使上部壁部件连接到下部壁部件时，将第一附接构件附接到第二附接构件。
第一支撑部件和第二支撑部件中的至少一个可包含按压部件，按压部件配置成通过向第一附接构件或对应于第一附接构件的第二附接构件施加压力来将第一附接构件附接到第二附接构件。
标记图案可包含：标记矩阵，具有呈矩阵形式布置的多个标记；以及多个圆形轨迹标记(circular trajectory mark)，安置在标记矩阵外部，且定位在一个圆形轨迹上。
位置信息分析部件可通过根据标记图案图像测量多个圆形轨迹标记的位置来计算上部壁部件和下部壁部件中的至少一个的旋转中心。
上部标记板可安置在第一支撑部件外部，且下部标记板可安置在第二支撑部件外部。
上部标记板和下部标记板可由石英材料形成，且标记图案可通过印刷来形成。
根据另一示范性实施例，一种用于将第一附接构件附接到第二附接构件的层压方法包含以下操作：(a)在上部壁部件的第一支撑部件上设置第一附接构件，且在下部壁部件的第二支撑部件上设置第二附接构件；(b)获取关于上部壁部件的位置信息和关于下部壁部件的位置信息，且根据所获取的关于上部壁部件的位置信息和所获取的关于下部壁部件的位置信息来运算上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息；(c)在上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息的基础上使上部壁部件与下部壁部件对准；以及(d)通过调节所对准的上部壁部件与下部壁部件之间的间隙来使上部壁部件连接到下部壁部件。
层压方法可进一步包含以下操作：分别在上部壁部件和下部壁部件上设置各自包含图案表面的上部标记板和下部标记板，图案表面具有标记图案。操作(b)可包含：通过使用设置成分别面对上部壁部件和下部壁部件的上部照相机和下部照相机，来分别对与上部照相机和下部照相机相对的上部标记板和下部标记板进行拍照的操作；分析由上部照相机和下部照相机分别捕捉的上部标记板和下部标记板的标记图案图像的操作；分别获取关于上部壁部件的位置信息和关于下部壁部件的位置信息的操作；以及在所获取的关于上部壁部件的位置信息和所获取的关于下部壁部件的位置信息的基础上，生成上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息的操作。
层压方法可进一步包含：通过使用上部照相机和下部照相机来分别对第一附接构件的特征点和第二附接构件的特征点进行拍照的操作；以及通过分析对第一附接构件的特征点进行拍照的第一特征点图像和对第二附接构件的特征点进行拍照的第二特征点图像来获取第一附接构件的特征点与第二附接构件的特征点之间的相对位置信息的操作。操作(c)可通过以下操作来进行：在上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息中反映从第一特征点图像和第二特征点图像所获取的特征点之间的相对位置信息。
操作(b)可包含：相对于上部壁部件和下部壁部件中的每一个，分别提取根据存在于一个平面上的第一轴和第二轴所确定的第一轴线性位置信息和第二轴线性位置信息的操作；以及相对于上部壁部件和下部壁部件中的每一个，提取指示平面的倾斜度的倾斜信息的操作。
第一附接构件可在操作(d)期间附接到第二附接构件。
层压方法可进一步包含以下操作：在操作(d)之后将第一附接构件附接到第二附接构件。
标记图案可包含：标记矩阵，具有呈矩阵形式布置的多个标记；以及多个圆形轨迹标记，安置在标记矩阵外部，且定位在一个圆形轨迹上，且分析标记图案图像的操作可包含：根据标记图案图像来测量多个圆形轨迹标记的位置的操作；以及计算上部壁部件和下部壁部件中的至少一个的旋转中心的操作。
可重复操作(a)到操作(d)。层压方法可进一步包含以下操作：在重复操作(a)之前，识别第一附接构件与第二附接构件的附接状态。当识别出第一附接构件与第二附接构件的对准附接时，可省略操作(b)，且可通过使用先前运算出的上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息来进行操作(c)。当识别出第一附接构件与第二附接构件的未对准附接时，可进行操作(b)，且可通过使用重新运算出的上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息来进行操作(c)。
附图说明
通过结合附图进行的以下描述可更详细地理解示范性实施例，在所述附图中：
图1是根据示范性实施例的示出层压设备的示意性透视图。
图2(a)和图2(b)是根据示范性实施例的用于描述上部壁部件与下部壁部件的连接和分离的概念图。
图3(a)、图3(b)和图3(c)是根据示范性实施例的用于描述第一附接构件和第二附接构件的特征点的概念图。
图4(a)和图4(b)是根据示范性实施例的用于描述标记图案图像中的形状变化和标记图案的未对准的概念图。
图5是根据示范性实施例的用于描述圆形轨迹标记的概念图。
图6是根据另一示范性实施例的示出层压方法的流程图。
具体实施方式
下文中将参考附图详细地描述具体实施例。然而，本发明可以不同形式实施，并且不应解释为限于本文所阐述的实施例。而是，提供这些实施例是为了使得本公开将是透彻且完整的，并且这些实施例将把本发明的范围充分地传达给本领域的普通技术人员。在图中，相同组件由相同附图标号标示，出于说明清楚起见，可部分地放大所述图的尺寸。贯穿全文，相同的附图标号指代相同的元件。
图1是根据示范性实施例的示出层压设备的示意性透视图。图2(a)和图2(b)是根据示范性实施例的用于描述上部壁部件与下部壁部件的连接和分离的概念图。图2(a)示出上部壁部件与下部壁部件的分离状态。图2(b)示出上部壁部件与下部壁部件的连接状态。
参考图1和图2(a)和图2(b)，根据示范性实施例的用于将第一附接构件11附接到第二附接构件12的层压设备100可包含：上部壁部件110，具有第一支撑部件111，第一附接构件11由所述第一支撑部件111支撑；下部壁部件120，具有第二支撑部件121，与第一附接构件11相对的第二附接构件12由所述第二支撑部件121支撑，且所述下部壁部件120通过连接到上部壁部件110来形成处理腔室；位置信息获取部件(未示出)，获取关于上部壁部件110的位置信息和关于下部壁部件120的位置信息，且根据所获取的关于上部壁部件110的位置信息和所获取的关于下部壁部件120的位置信息来运算上部壁部件110与下部壁部件120之间的相对位置信息；控制部件(未示出)，在上部壁部件110与下部壁部件120之间的相对位置信息的基础上，生成用于使上部壁部件110与下部壁部件120对准的控制信息；驱动部件(未示出)，从控制部件(未示出)接收控制信息以使上部壁部件110和下部壁部件120中的至少一个相对于另一个相对地移动；以及间隙调节部件(未示出)，调节上部壁部件110与下部壁部件120之间的间隙且在对准状态下使上部壁部件110连接到下部壁部件120。
上部壁部件110可具有第一支撑部件111(第一附接构件11由所述第一支撑部件支撑)，可以是形成处理腔室(或真空腔室)的上部部分的组件，且可包含形成处理腔室的上部壁的上部壁部分和形成所述处理腔室的侧壁的上部部分的侧壁部分。此处，上部壁部分可具有整体矩形板形状，且侧壁部分可通过沿上部壁部分的边缘朝下弯曲来形成处理腔室的侧壁。在这种情况下，侧壁部分可与上部壁部分一体地形成，且也可具有另外生产和连接的结构。
第一支撑部件111可支撑第一附接构件11且可支撑第一附接构件11的除安装表面或附接表面之外的剩余表面的至少一部分或一些表面，以暴露第一附接构件11的安装表面。第一支撑部件111的结构不受特定限制，且任何结构都是足够的，只要所述结构可在暴露第一附接构件11的安装表面时稳定地支撑第一附接构件11即可。并且，第一支撑部件111可包括支撑上部标记板130a的上部标记板支撑部件112。此处，第一附接构件11可包含窗玻璃或覆盖玻璃。
下部壁部件120可具有第二支撑部件121(与第一附接构件11相对的第二附接构件12由所述第二支撑部件支撑)，可作为形成处理腔室的下部部分的组件而通过连接到上部壁部件110来形成处理腔室，且可具有整体矩形容器形状。举例来说，下部壁部件120可包含形成处理腔室的下部壁的下部壁部分和形成侧壁的下部部分的侧壁部分。
第二支撑部件121可支撑第二附接构件12且可支撑第二附接构件12的除安装表面之外的剩余表面的至少一部分，以暴露第二附接构件12的安装表面。第二支撑部件121的结构不受特定限制，且任何结构都是足够的，只要所述结构可在暴露第二附接构件12的安装表面时稳定地支撑第二附接构件12即可。并且，第二支撑部件121可包括支撑下部标记板130b的下部标记板支撑部件122。此处，第二附接构件12可包含显示器面板或触摸屏面板，且也可以是柔性显示器面板。
位置信息获取部件(未示出)可获取关于上部壁部件110的位置信息和关于下部壁部件120的位置信息，且可根据关于上部壁部件110的位置信息和关于下部壁部件120的位置信息来运算上部壁部件110与下部壁部件120之间的相对位置信息。可将运算出的上部壁部件110与下部壁部件120之间的相对位置信息传输到控制驱动部件(未示出)的控制部件(未示出)。
控制部件(未示出)可在上部壁部件110与下部壁部件120之间的相对位置信息的基础上，生成用于使上部壁部件110与下部壁部件120对准的控制信息。控制部件(未示出)可将控制信息传输到驱动部件(未示出)以控制驱动部件(未示出)且使上部壁部件110与下部壁部件120对准。举例来说，控制部件(未示出)可控制驱动部件(未示出)，使得通过在上部壁部件110与下部壁部件120之间的相对位置信息的基础上，使一个壁部件110或壁部件120相对地移动，以使上部壁部件110与下部壁部件120对准。控制部件(未示出)可接收关于上部壁部件110的位置信息和关于下部壁部件120的位置信息且生成控制信息，使得上部壁部件110与下部壁部件120(将要彼此附接的第一附接构件11和第二附接构件12分别由所述上部壁部件和所述下部壁部件支撑)可彼此对准。此处，控制部件(未示出)可通过各种方法接收关于上部壁部件110的位置信息和关于下部壁部件120的位置信息。
驱动部件(未示出)可从控制部件(未示出)接收控制信息以使上部壁部件110和下部壁部件120中的至少一个移动，且使所述至少一个壁部件在前、后、左以及右方向上在水平状态下水平移动和旋转。在这种情况下，驱动部件也可使一个壁部件110或壁部件120相对于另一个壁部件110或壁部件120相对地移动。举例来说，驱动部件可使下部壁部件120在上部壁部件110固定的情况下，相对于上部壁部件110相对地移动。此处，驱动部件(未示出)的详细配置可具有通常可采用的结构，且将省略对其的详细描述。
间隙调节部件(未示出)可调节上部壁部件110与下部壁部件120之间的间隙。此处，间隙调节部件(未示出)可在上部壁部件110与下部壁部件120的对准状态下使上部壁部件110连接到下部壁部件120，以便将第一附接构件11附接到第二附接构件12，且也可使上部壁部件110与下部壁部件120分离。举例来说，间隙调节部件(未示出)可以用以抬升上部壁部件110和/或下部壁部件120的抬升装置的形式配置，由此调节上部壁部件110与下部壁部件120之间的间隙。
处理腔室可通过使上部壁部件110连接到下部壁部件120来形成，且可在处理腔室内部形成真空以进行附接工艺。第一附接构件11与第二附接构件12可彼此接触，且也可通过使用间隙调节部件(未示出)使上部壁部件110连接到下部壁部件120来彼此附接。同时，在上部壁部件110连接到下部壁部件120之后，可抬升第一支撑部件111和/或第二支撑部件121以将第一附接构件11附接到第二附接构件12。
第一支撑部件111和第二支撑部件121中的至少一个可包含按压部件，所述按压部件通过向第一附接构件11或对应于所述第一附接构件的第二附接构件12施加压力来将第一附接构件11附接到第二附接构件12。按压部件可经由驱动第一支撑部件111和/或第二支撑部件121通过按压第一附接构件11和/或第二附接构件12来将第一附接构件11附接到第二附接构件12。按压部件也可经由抬升上部壁部件110和/或下部壁部件120通过按压第一附接构件11和/或第二附接构件12来将第一附接构件11附接到第二附接构件12。
举例来说，通过使上部壁部件110连接到下部壁部件120来使第一附接构件11与第二附接构件12彼此接触。接着，可经由供应流体(例如，水或空气)通过使按压部件膨胀来按压第一附接构件11和/或第二附接构件12。另外，按压部件具有弹性且因此可通过使上部壁部件110连接到下部壁部件120而受到按压来用弹力按压第一附接构件11和/或第二附接构件12。
同时，间隙调节部件(未示出)可在使上部壁部件110连接到下部壁部件120时，将第一附接构件11附接到第二附接构件12。因此，第一附接构件11可在驱动用于使上部壁部件110连接到下部壁部件120的力的时间处附接到第二附接构件12，且可减少用于将第一附接构件11附接到第二附接构件12的处理时间。
在现有技术中，当上部壁部件110未与下部壁部件120对准时，第一附接构件11因上部壁部件110与下部壁部件120之间的倾斜误差而未与第二附接构件12平行，这是因为第一附接构件11仅通过第一附接构件11和第二附接构件12的特征点(例如，标记物)来与第二附接构件12水平对准。当第一附接构件11在第一附接构件11未与第二附接构件12平行的情况下附接到第二附接构件12时，第一附接构件11的安装表面与第二附接构件12的安装表面未彼此相对，或方向不同。因此，第一附接构件11在未对准状态下附接到第二附接构件12。
然而，在示范性实施例中，通过经由在关于上部壁部件110和下部壁部件120的位置信息的基础上使上部壁部件110和下部壁部件120中的一个相对于另一个相对地移动以使上部壁部件110与下部壁部件120对准，第一附接构件11与第二附接构件12可彼此水平对准且可彼此平行，且第一附接构件11的安装表面与第二附接构件12的安装表面可彼此相对。因此，第一附接构件11与第二附接构件12可精确地彼此对准，且可在第一附接构件11与第二附接构件12之间没有对准误差的情况下精确地彼此附接。
位置信息获取部件(未示出)可进一步包含：上部标记板130a和下部标记板130b，各自包含图案表面，所述图案表面具有标记图案131，且所述上部标记板和所述下部标记板分别设置在上部壁部件110和下部壁部件120上；上部照相机140a和下部照相机140b，设置成分别面对上部壁部件110和下部壁部件120以分别对上部标记板130a和下部标记板130b进行拍照，所述上部标记板130a和所述下部标记板130b分别与上部照相机140a和下部照相机140b相对；以及位置信息分析部件(未示出)，通过分析由上部照相机140a和下部照相机140b分别捕捉的上部标记板130a和下部标记板130b的标记图案图像来分别获取关于上部壁部件110的位置信息和关于下部壁部件120的位置信息，且在所获取的关于上部壁部件110的位置信息和所获取的关于下部壁部件120的位置信息的基础上，生成上部壁部件110与下部壁部件120之间的相对位置信息。
上部标记板130a和下部标记板130b中的每一个可包含具有标记图案131的图案表面，且可分别设置在上部壁部件110和下部壁部件120上。上部标记板130a可设置在上部壁部件110上，使得具有标记图案131的图案表面面朝下，且上部标记板130a的图案表面可与第一附接构件11的支撑表面对准或平行。举例来说，上部标记板130a可设置成与上部壁部件110的上部壁部分对准，且可通过连接到上部壁部件110来支撑。
下部标记板130b可设置在下部壁部件120上，使得图案表面面朝上，且下部标记板130b的图案表面可与第二附接构件12的支撑表面对准。举例来说，下部标记板130b可设置成与下部壁部件120的下部壁部分对准，且可通过连接到下部壁部件120来支撑。
上部照相机140a和下部照相机140b可设置成分别面对上部壁部件110和下部壁部件120，以分别对上部标记板130a和下部标记板130b进行拍照，所述上部标记板和所述下部标记板分别与上部照相机140a和下部照相机140b相对。在这种情况下，上部照相机140a和下部照相机140b可组装成分别面朝上和面朝下从而形成照相机组件，且可设置在上部壁部件110与下部壁部件120之间。
上部照相机140a可设置成面对上部壁部件110，可与上部标记板130a相对且在面对图案表面的方向(例如，垂直于图案表面的方向)上对上部标记板130a进行拍照，且可获得上部标记板130a的标记图案图像。
下部照相机140b可设置成面对下部壁部件120，可与下部标记板130b相对且在面对图案表面的方向上对下部标记板130b进行拍照，且可获得下部标记板130b的标记图案图像。
位置信息分析部件(未示出)可通过分析由上部照相机140a捕捉的上部标记板130a的标记图案图像和由下部照相机140b捕捉的下部标记板130b的标记图案图像来获取关于上部壁部件110的位置信息和关于下部壁部件120的位置信息。位置信息分析部件(未示出)可在所获取的关于上部壁部件110的位置信息和所获取的关于下部壁部件120的位置信息的基础上，生成上部壁部件110与下部壁部件120之间的相对位置信息。可通过分析来自标记图案图像的标记图案131的形状来得出上部壁部件110与下部壁部件120之间的错位(例如倾斜)，这是因为标记图案图像中的标记图案131的形状根据上部照相机140a和/或下部照相机140b的光轴与图案表面之间的角度或倾斜来改变。因此，可获取关于上部壁部件110的位置信息和关于下部壁部件120的位置信息。可通过计算所获取的关于上部壁部件110的位置信息与所获取的关于下部壁部件120的位置信息之间的差来运算上部壁部件110与下部壁部件120之间的相对位置信息。
关于上部壁部件110和下部壁部件120的具有高精度的位置信息可简单地通过以下步骤来获取：通过使用上部照相机140a和下部照相机140b分别对分别设置在上部壁部件110和下部壁部件120上的上部标记板130a和下部标记板130b进行拍照；以及分析捕捉到的标记图案图像。
图3(a)、图3(b)和图3(c)是根据示范性实施例的用于描述第一附接构件和第二附接构件的特征点的概念图。图3(a)示出第一附接构件的特征点。图3(b)示出第二附接构件的特征点。图3(c)示出第一附接构件和第二附接构件的特征点之间的相对位置。
参考图3(a)、图3(b)和图3(c)，上部照相机140a可对第一附接构件11的特征点11a进行拍照，且下部照相机140b可对第二附接构件12的特征点12a进行拍照。第一附接构件11的特征点11a与第二附接构件12的特征点12a之间的错位或未对准可通过经由第一特征点图像和第二特征点图像比较第一附接构件11的特征点11a和第二附接构件12的特征点12a的位置来识别，所述第一特征点图像通过对第一附接构件11的特征点11a进行拍照来获得，所述第二特征点图像通过对第二附接构件12的特征点12a进行拍照来获得。
此处，特征点可以是标记物或可以是附接构件(第一附接构件和/或第二附接构件)的顶点或边缘之间的交叉点。举例来说，第一附接构件11可以是窗玻璃或覆盖玻璃，且可包含透明部件和不透明或黑色带槽框(bezel)。第二附接构件12可作为显示器面板或触摸屏面板而形成为透明的。在这种情况下，可将第一附接构件11和第二附接构件12中的每一个的边缘之间的交叉点用作特征点，这是因为标记物可能未标记在第一附接构件11和/或第二附接构件12上。在这种情况下，标记物不存在，且因此使第一附接构件11与第二附接构件12对准且将第一附接构件11附接到第二附接构件12是重要的，这是因为在识别出标记物时第一附接构件11可能未与第二附接构件12对准。因此，在示范性实施例中，第一附接构件11与第二附接构件12可通过使上部壁部件110与下部壁部件120对准来在第一附接构件11未与第二附接构件12对准的情况下彼此附接。
位置信息分析部件(未示出)可通过分析第一特征点图像和第二特征点图像来获取第一附接构件11和第二附接构件12的特征点之间的相对位置信息，在所述第一特征点图像中对第一附接构件11的特征点11a进行拍照，在所述第二特征点图像中对第二附接构件12的特征点12a进行拍照。控制部件(未示出)可通过在上部壁部件110与下部壁部件120之间的相对位置信息中反映由位置信息分析部件所获取的特征点之间的相对位置信息来生成控制信息。位置信息分析部件(未示出)可分析通过对第一附接构件11的特征点11a进行拍照来获得的第一特征点图像和通过对第二附接构件12的特征点12a进行拍照来获得的第二特征点图像。因此，可得出关于第一附接构件11的特征点的位置信息和关于第二附接构件12的特征点的位置信息。第一附接构件11和第二附接构件12的特征点之间的相对位置信息可通过计算第一附接构件11的特征点的位置(信息)与第二附接构件12的特征点的位置(信息)之间的差来获取。
此处，第一附接构件11的特征点11a和第二附接构件12的特征点12a可分别设置为多个特征点11a和多个特征点12a，且可计算由第一附接构件11的多个特征点11a形成的平面与由第二附接构件12的多个特征点12a形成的平面之间的未对准度。因此，可获取指示由第一附接构件11的多个特征点11a形成的平面与由第二附接构件12的多个特征点12a形成的平面之间的未对准度的旋转位置信息，例如θ值。此处，第一附接构件11和第二附接构件12的特征点之间的相对位置信息可包含旋转位置信息。在这种情况下，第一附接构件11和第二附接构件12中的每一个可具有总共四个特征点11a或四个特征点12a，所述附接构件的每一顶点或边缘各一个，使得可精确地计算第一附接构件11与第二附接构件12之间的未对准度。
控制部件(未示出)可通过在上部壁部件110与下部壁部件120之间的相对位置信息中反映所获取的特征点之间的相对位置信息来生成控制信息，且可通过所生成的控制信息来控制驱动部件(未示出)。举例来说，控制部件(未示出)可控制驱动部件(未示出)，使得通过使一个壁部件110或壁部件120相对地移动来使上部壁部件110与下部壁部件120对准且使第一附接构件11与第二附接构件12对准。需要使第一附接构件11与第二附接构件12彼此对准或水平地对准，以及通过使上部壁部件110与下部壁部件120对准来使第一附接构件11与第二附接构件12彼此平行，以便在第一附接构件11与第二附接构件12之间没有对准误差的情况下将第一附接构件11精确地附接到第二附接构件12。因此，可通过反映所获取的第一附接构件11的特征点与第二附接构件12的特征点之间的相对位置信息来使一个壁部件110或壁部件120相对地移动。因此，第一附接构件11与第二附接构件12可精确地彼此对准，且可在第一附接构件11与第二附接构件12之间没有对准误差的情况下精确地彼此附接。
图4(a)和图4(b)是根据示范性实施例的用于描述标记图案图像中的形状变化和标记图案的未对准的概念图。图4(a)示出照相机的光轴垂直于图案表面的状态。图4(b)示出图案表面相对于照相机的光轴倾斜的状态。
参考图4(a)和图4(b)，位置信息分析部件(未示出)可通过测量绘示于标记图案图像中的标记图案131的形状变化和未对准来获取关于上部壁部件110的位置信息和关于下部壁部件120的位置信息。位置信息分析部件(未示出)可测量绘示于标记图案图像中的标记图案131的形状变化和未对准。因此，可获取关于上部壁部件110的位置信息和关于下部壁部件120的位置信息。当在上部照相机140a和/或下部照相机140b的光轴垂直于图案表面的状态下捕捉到标记图案图像时，标记图案131以其初始形状很好地出现在标记图案图像的二维(two-dimensional；2D)平面上，如图4(a)中所示出。然而，当在图案表面相对于上部照相机140a和/或下部照相机140b的光轴倾斜的状态下捕捉到标记图案图像时，标记图案131未以其初始形状出现在标记图案图像中，且标记图案131的形状改变，如图4(b)中所示出。
标记图案图像中的标记图案131的形状根据上部照相机140a和/或下部照相机140b的光轴与图案表面之间的角度来改变。因此，可通过测量绘示于标记图案图像中的标记图案131的形状变化和未对准(misalignment)来计算上部照相机140a和/或下部照相机140b的光轴与图案表面之间的角度。可在上部照相机140a和/或下部照相机140b的光轴与图案表面之间的角度和上部标记板130a和/或下部标记板130b的定位坐标的基础上，获取相对于参考轴的关于上部壁部件110的位置信息和关于下部壁部件120的位置信息。
位置信息可包含：根据存在于一个平面上的第一轴和第二轴所确定的第一轴线性位置信息和第二轴线性位置信息；以及指示平面的倾斜度的倾斜信息。可相对于上部壁部件110和下部壁部件120中的每一个提取第一轴线性位置信息(例如，第一轴坐标值)、第二轴线性位置信息(例如，第二轴坐标值)以及倾斜信息(例如，
Figure BDA0002181593620000141
值)。可通过所提取的第一轴线性位置信息、第二轴线性位置信息以及倾斜信息来获取关于上部壁部件110和下部壁部件120的位置信息。通过使用第一轴线性位置信息、第二轴线性位置信息以及倾斜信息来使一个壁部件110或壁部件120在第一轴方向和第二轴方向上线性地移动。可通过旋转一个壁部件110或壁部件120使得调节平面的未对准度来使上部壁部件110与下部壁部件120对准，所述未对准度由关于上部壁部件110的第一轴线性位置信息和第二轴线性位置信息以及关于下部壁部件120的第一轴线性位置信息和第二轴线性位置信息确定。此处，第一轴线性位置信息和第二轴线性位置信息可包含方向信息和距离信息。同时，也可通过使用倾斜信息来使一个壁部件110或壁部件120倾斜，使得通过调节平面的倾角来使上部壁部件110与下部壁部件120彼此平行。
位置信息可进一步包含指示平面的未对准度的旋转位置信息(例如，θ值)，且可根据关于上部壁部件110的第一轴线性位置信息和第二轴线性位置信息以及关于下部壁部件120的第一轴线性位置信息和第二轴线性位置信息来运算。在这种情况下，可经由上部标记板130a和下部标记板130b通过计算由上部标记板130a形成的平面与由下部标记板130b形成的平面之间的未对准度来运算旋转位置信息。此处，上部标记板130a和下部标记板130b中的每一个可以总共是四个标记板，上部壁部件110和下部壁部件120中的每一个的每一顶点或边缘各一个，使得可精确地计算上部壁部件110与下部壁部件120之间的未对准度。
举例来说，驱动部件(未示出)可使一个壁部件110或壁部件120在三个轴方向(x方向、y方向以及0方向)上相对地移动，且可使一个壁部件110或壁部件120在θ方向上(以及在x方向和y方向上)相对于另一个壁部件110或壁部件120对准。当上部壁部件110未与下部壁部件120对准时，驱动部件(未示出)可进行以下对准操作：在使一个壁部件110或壁部件120在x方向、y方向以及θ方向上精细地移动时使上部壁部件110与下部壁部件120对准。在对准操作完成之后，第一附接构件11和第二附接构件12可以不水平地移动或旋转，且其对准位置不大可能改变。驱动部件(未示出)可包含第一轴驱动部件、第二轴驱动部件以及轴向旋转部件。第一轴驱动部件可通过使一个壁部件110或壁部件120在第一轴方向上线性地移动来在第一轴方向上对准一个壁部件110或壁部件120，且第二轴驱动部件可通过使一个壁部件110或壁部件120在第二轴方向上线性地移动来在第二轴方向上对准一个壁部件110或壁部件120。轴向旋转部件可通过使一个壁部件110或壁部件120在θ方向上旋转来使上部壁部件110与下部壁部件120对准，使得上部壁部件110未在θ方向上与下部壁部件120未对准。
同时，驱动部件(未示出)也可使一个壁部件110或壁部件120在
Figure BDA0002181593620000151
方向上相对地移动，且可进一步包含倾斜部件。通过使一个壁部件110或壁部件120在
Figure BDA0002181593620000152
方向上相对地移动或旋转，一个壁部件110或壁部件120可以是倾斜的，且也可使上部壁部件110与下部壁部件120(例如，第一附接构件11与第二附接构件12)彼此平行。
当上部壁部件110连接到下部壁部件120时，上部照相机140a和下部照相机140b可以可移动地设置在上部壁部件110与下部壁部件120之间的空间的外部。上部照相机140a和下部照相机140b可以可移动地设置。当上部标记板130a和/或下部标记板130b设置为多个上部标记板130a和/或多个下部标记板130b时，上部照相机140a和下部照相机140b可在移动时分别对上部标记板130a和下部标记板130b进行拍照。另外，当上部壁部件110连接到下部壁部件120时，上部照相机140a和下部照相机140b可在上部壁部件110与下部壁部件120之间的空间的外部或通过移动来离开所述空间，以不干扰连接。在这种情况下，上部照相机140a和下部照相机140b可以不干扰上部壁部件110与下部壁部件120的连接。因此，上部壁部件110与下部壁部件120的连接可很好地在其内部形成真空，且可很好地将第一附接构件11附接到第二附接构件12。
另外，上部标记板130a和下部标记板130b可设置为多个上部标记板130a和多个下部标记板130b，这是因为仅在上部标记板130a和下部标记板130b设置为多个上部标记板130a和多个下部标记板130b时才可相对于多个轴(例如，第一轴和第二轴)进行对准。
标记图案131可包含：标记矩阵，具有呈矩阵形式布置的多个标记131a；以及多个圆形轨迹标记131b，安置在标记矩阵外部，且定位在一个圆形轨迹上。标记矩阵可具有具有相同形状且呈矩阵形式布置的多个标记131a，多个标记131a之间的间隙可在第一方向上相同，且多个标记131a之间的间隙可在与第一方向相交的第二方向上相同。当通过对包含标记矩阵的标记图案131进行拍照来获取标记图案图像时，可通过测量所获取的标记图案图像中的标记131a的形状变化和未对准来计算上部照相机140a和/或下部照相机140b的光轴与图案表面之间的角度。另外，可在上部照相机140a和/或下部照相机140b的光轴与图案表面之间的角度和上部标记板130a和/或下部标记板130b的定位坐标的基础上，获取相对于参考轴的关于上部壁部件110和下部壁部件120的位置信息。因此，可计算上部壁部件110与下部壁部件120之间的错位(dislocation)。
另外，可通过测量来自所获取的标记图案图像的标记131a的大小或所述标记之间的间隙来计算上部照相机140a和下部照相机140b(其已对所获取的标记图案图像进行拍照)中的一个的放大率和分辨率。因此，当第一特征点图像中的第一附接构件11的特征点11a的位置与第二特征点图像中的第二附接构件12的特征点12a的位置不同时，可计算第一附接构件11或第二附接构件12为了对准而所需移动的距离。
同时，当具有多个标记131a的标记矩阵呈矩阵形式布置时，可获取形成平面的等式的坐标，且可获得变换矩阵。
图5是根据示范性实施例的用于描述圆形轨迹标记的概念图。
参考图5，多个圆形轨迹标记131b可安置在标记矩阵外部且可定位在一个圆形轨迹上。可通过连接在上部标记板130a和下部标记板130b中的相同标记板130a或标记板130b上形成的多个圆形轨迹标记131b来形成一个圆形。可通过所形成的圆形的中心来提取上部壁部件110和下部壁部件120(相同标记板130a或标记板130b设置在其上)中的一个的旋转中心。在这种情况下，由多个圆形轨迹标记131b形成的圆形的中心可与一个壁部件110或壁部件120(相同标记板130a或标记板130b设置在其上)的旋转中心相同。在这种情况下，因旋转一个壁部件110或壁部件120(相同标记板130a或标记板130b设置在其上)而导致的倾角变化可很好地反映在相同标记板130a或标记板130b的倾角变化中，且可很好地计算θ方向。
位置信息分析部件(未示出)可通过根据标记图案图像测量多个圆形轨迹标记131b的位置来计算上部壁部件110和下部壁部件120中的至少一个的旋转中心。因此，位置信息可进一步包含关于平面的旋转中心的位置信息，且可用以使一个壁部件110或壁部件120在θ方向上旋转或使一个壁部件110或壁部件120在
Figure BDA0002181593620000172
方向上倾斜。当由多个圆形轨迹标记131b形成的圆形的中心与一个壁部件110或壁部件120(相同标记板130a或标记板130b设置在其上)的旋转中心相同时，可提取由多个圆形轨迹标记131b形成的圆形的中心作为一个壁部件110或壁部件120(相同标记板130a或标记板130b设置在其上)的旋转中心。当由多个圆形轨迹标记131b形成的圆形的中心不同于一个壁部件110或壁部件120(相同标记板130a或标记板130b设置在其上)的旋转中心时，可通过由多个圆形轨迹标记131b形成的圆形的中心的位置与上部壁部件110和下部壁部件120(相同标记板130a或标记板130b设置在其上)中的至少一个的旋转中心的位置之间的差来计算上部壁部件110和下部壁部件120中的至少一个的旋转中心。当至少一个壁部件110或壁部件120围绕其旋转中心旋转时，由多个圆形轨迹标记131b形成的圆形的中心的位置与一个壁部件110或壁部件120(相同标记板130a或标记板130b设置在其上)的旋转中心的位置之间的差可能改变。通过反映位置差，即使在至少一个壁部件110或壁部件120围绕其旋转中心旋转时也可计算上部壁部件110和下部壁部件120中的至少一个的旋转中心。因此，可通过至少一个壁部件110或壁部件120的旋转中心来计算一个壁部件110或壁部件120(相同标记板130a或标记板130b设置在其上)的倾角变化，且可很好地计算θ方向。可通过对准或匹配上部壁部件110和下部壁部件120的旋转中心来使一个壁部件110或壁部件120在θ方向上旋转和/或在
Figure BDA0002181593620000171
方向上倾斜。
上部标记板130a可安置在第一支撑部件111外部，且下部标记板130b可安置在第二支撑部件121外部。因此，当上部壁部件110连接到下部壁部件120时可以不出现干扰，且可防止干扰在针对第一附接构件11和第二附接构件12的附接工艺中出现。上部标记板130a和下部标记板130b可设置成分别固定到上部壁部件110和下部壁部件120。因此，可取决于上部标记板130a和下部标记板130b的移动和安装来防止出现组件误差、移动误差以及振动，且可通过减少误差的出现来进一步提高关于上部壁部件110和下部壁部件120的位置信息的精确度。另外，通过将上部标记板130a和下部标记板130b设置成分别固定到上部壁部件110和下部壁部件120，可在持续附接工艺期间对上部标记板130a和下部标记板130b进行实时拍照，且可重新或反复获取和更新关于上部壁部件110和下部壁部件120的位置信息。
上部标记板130a和下部标记板130b可由石英材料形成，且标记图案131可通过印刷来形成。当将金属材料用于上部标记板130a和下部标记板130b时，可能未获得清晰标记图案图像，这是因为当对上部标记板130a和下部标记板130b进行拍照时从所述标记板反射光。当通过经由对上部标记板130a和下部标记板130b进行机械加工来限定一孔以形成标记图案131时，因处理误差而导致标记图案131的精确度降低。
然而，可通过使用油墨或类似物在由石英材料形成的上部标记板130a和下部标记板130b上印刷标记图案131来提高标记图案131的精确度。另外，具有高精度的标记图案131可提高标记图案图像的分辨率或分辨力，且也可显著提高关于上部壁部件110和下部壁部件120的位置信息的精确度。当通过印刷形成标记图案131时，可提高印刷的精确度，且因此可提高标记图案131的精确度。当对石英材料进行印刷时，可更好地对其进行印刷，且标记图案131可以不与所述石英材料分离。另外，可在印刷时容易地调节标记图案131的色彩，且当标记图案131的色彩确定为黑色时，标记图案131吸收光。因此，标记图案131的可视性可进一步提高。在其上印刷标记图案131的一个部分吸收光，且未在其上印刷标记图案131的另一个部分是透明的且透射光，且因此，可使标记图案图像中的标记图案131的边界清晰或截然不同。
图6是根据另一示范性实施例的示出层压方法的流程图。
参考图6，将更详细地描述根据另一示范性实施例的层压方法，且将省略与上文结合根据示范性实施例的层压设备所描述的描述重叠的描述。
根据另一示范性实施例，用于将第一附接构件附接到第二附接构件的层压方法可包含以下操作：(a)在上部壁部件的第一支撑部件上设置第一附接构件，且在下部壁部件的第二支撑部件上设置第二附接构件(S100)；(b)获取关于上部壁部件的位置信息和关于下部壁部件的位置信息，且根据所获取的关于上部壁部件的位置信息和所获取的关于下部壁部件的位置信息来运算上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息(S200)；(c)在上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息的基础上，使上部壁部件与下部壁部件对准(S300)；以及(d)通过调节所对准的上部壁部件与下部壁部件之间的间隙来使上部壁部件连接到下部壁部件(S400)。
首先，在上部壁部件的第一支撑部件上设置第一附接构件，且在下部壁部件的第二支撑部件上设置第二附接构件(S100)。第一附接构件可设置在上部壁部件的第一支撑部件上或由所述第一支撑部件支撑，且第二附接构件设置在下部壁部件的第二支撑部件上以便将第一附接构件附接到第二附接构件。在这种情况下，可首先支撑第一附接构件，或可首先支撑第二附接构件，且可同时支撑第一附接构件和第二附接构件。
接下来，获取关于上部壁部件的位置信息和关于下部壁部件的位置信息，且根据所获取的关于上部壁部件的位置信息和所获取的关于下部壁部件的位置信息来运算上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息(S200)。可获取关于上部壁部件的位置信息和关于下部壁部件的位置信息，以在关于上部壁部件和下部壁部件的相对位置信息的基础上，使上部壁部件与下部壁部件对准。可根据所获取的关于上部壁部件的位置信息和所获取的关于下部壁部件的位置信息来运算上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息。
同时，也可在操作(a)(S100)之前进行操作(b)(S200)，且也可同时进行操作(a)(S100)和操作(b)(S200)。
接着，在上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息的基础上，使上部壁部件与下部壁部件对准(S300)。可通过在上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息的基础上，使上部壁部件和下部壁部件中的一个相对于另一个相对地移动来使上部壁部件与下部壁部件对准。因此，第一附接构件与第二附接构件可彼此水平对准且可彼此平行，且第一附接构件的安装表面与第二附接构件的安装表面可彼此相对。因此，第一附接构件与第二附接构件可精确地彼此对准，且可在第一附接构件与第二附接构件之间没有对准误差的情况下精确地彼此附接。
可通过调节所对准的上部壁部件与下部壁部件之间的间隙来使上部壁部件连接到下部壁部件(S400)。可通过连接所对准的上部壁部件与下部壁部件来形成用于将第一附接构件附接到第二附接构件的处理腔室，且第一附接构件与第二附接构件可彼此附接。此处，也可经由调节上部壁部件与下部壁部件之间的间隙通过使上部壁部件连接到下部壁部件来将第一附接构件附接到第二附接构件。另外，在通过使上部壁部件连接到下部壁部件来形成处理腔室之后，可经由抬升第一支撑部件和/或第二支撑部件通过进行额外的附接工艺来将第一附接构件附接到第二附接构件。
第一附接构件可在操作(d)(S400)期间附接到第二附接构件。因此，第一附接构件可在驱动用于使上部壁部件连接到下部壁部件的力的时间处附接到第二附接构件，且可减少用于将第一附接构件附接到第二附接构件的处理时间。
在操作(d)(S400)之后，可进一步包含将第一附接构件附接到第二附接构件的操作(S450)。
在操作(d)(S400)之后，第一附接构件可附接到第二附接构件(S450)。也可经由驱动第一支撑部件和/或第二支撑部件通过按压第一附接构件和/或第二附接构件来将第一附接构件附接到第二附接构件。
举例来说，通过使上部壁部件连接到下部壁部件来使第一附接构件与第二附接构件彼此接触。接着，可经由供应流体(例如，水或空气)通过使按压部件或类似物膨胀来按压第一附接构件和/或第二附接构件。
根据另一示范性实施例，层压方法可进一步包含分别在上部壁部件和下部壁部件上设置各自包含具有标记图案的图案表面的上部标记板和下部标记板的操作(S150)。操作(b)(S200)可包含：通过使用设置成分别面对上部壁部件和下部壁部件的上部照相机和下部照相机来分别对上部标记板和下部标记板进行拍照的操作(S210)，所述上部标记板和所述下部标记板分别与上部照相机和下部照相机相对；分析由上部照相机和下部照相机分别捕捉的上部标记板和下部标记板的标记图案图像的操作(S220)；分别获取关于上部壁部件的位置信息和关于下部壁部件的位置信息的操作(S230)；以及在所获取的关于上部壁部件的位置信息和所获取的关于下部壁部件的位置信息的基础上，生成上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息的操作(S240)。
可分别在上部壁部件和下部壁部件上设置各自包含具有标记图案的图案表面的上部标记板和下部标记板(S150)。可分别在上部壁部件和下部壁部件上设置上部标记板和下部标记板，使得可简单地获取关于上部壁部件和下部壁部件的位置信息。
在操作(S150)之后，可通过使用设置成分别面对上部壁部件和下部壁部件的上部照相机和下部照相机来分别对上部标记板和下部标记板进行拍照(S210)，所述上部标记板和所述下部标记板分别与上部照相机和下部照相机相对。可通过使用上部照相机和下部照相机来分别对上部标记板和下部标记板(其分别与上部照相机和下部照相机相对)进行拍照，以便分析由上部照相机和下部照相机分别捕捉的上部标记板和下部标记板的标记图案图像。
可分析由上部照相机和下部照相机分别捕捉的上部标记板和下部标记板的标记图案图像(S220)。关于上部壁部件和下部壁部件的具有高精度的位置信息可简单地通过以下步骤来获取：通过使用上部照相机和下部照相机分别对(分别设置在上部壁部件和下部壁部件上的)上部标记板和下部标记板进行拍照；以及分析所拍照的标记图案图像。
接下来，可获取关于上部壁部件的位置信息和关于下部壁部件的位置信息(S230)。可通过分析标记图案图像来获取关于上部壁部件的位置信息和关于下部壁部件的位置信息，且可在所获取的关于上部壁部件的位置信息和所获取的关于下部壁部件的位置信息的基础上，运算上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息。标记图案图像中的每一个中的标记图案的形状根据上部照相机和/或下部照相机的光轴与图案表面之间的角度或倾斜来改变。因此，可通过分析来自标记图案图像的标记图案的形状，来得出上部壁部件与下部壁部件之间的错位，例如倾斜。因此，可获取关于上部壁部件的位置信息和关于下部壁部件的位置信息。
接着，可在所获取的关于上部壁部件的位置信息和所获取的关于下部壁部件的位置信息的基础上，生成上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息(S240)。可通过计算所获取的关于上部壁部件的位置信息与所获取的关于下部壁部件的位置信息之间的差，来运算上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息。
根据另一示范性实施例，层压方法可进一步包含：通过使用上部照相机和下部照相机来分别对第一附接构件的特征点和第二附接构件的特征点进行拍照的操作(S250)；以及通过分析对第一附接构件的特征点进行拍照的第一特征点图像和对第二附接构件的特征点进行拍照的第二特征点图像，来获取第一附接构件和第二附接构件的特征点之间的相对位置信息的操作(S260)，在所述第二特征点图像中。可通过在上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息中反映从第一特征点图像和第二特征点图像所获取的特征点之间的相对位置信息来进行操作(c)(S300)。
可通过使用上部照相机和下部照相机来分别对第一附接构件的特征点和第二附接构件的特征点进行拍照(S250)。可对第一附接构件的特征点和第二附接构件的特征点进行拍照，以经由通过对第一附接构件的特征点进行拍照来获得的第一特征点图像和通过对第二附接构件的特征点进行拍照来获得的第二特征点图像来比较第一附接构件的特征点和第二附接构件的特征点的位置。
接下来，可通过分析通过对第一附接构件的特征点进行拍照来获得的第一特征点图像和通过对第二附接构件的特征点进行拍照来获得的第二特征点图像，来获取第一附接构件和第二附接构件的特征点之间的相对位置信息(S260)。可通过分析第一特征点图像和第二特征点图像来识别第一附接构件的特征点与第二附接构件的特征点之间的错位，所述第一特征点图像通过对第一附接构件的特征点进行拍照来获得，所述第二特征点图像经由对第二附接构件的特征点进行拍照并通过比较第一附接构件的特征点和第二附接构件的特征点的位置来获得。
举例来说，可通过分析第一特征点图像和第二特征点图像来得出相对于参考轴的关于第一附接构件的特征点的位置信息和关于第二附接构件的特征点的位置信息。可根据第一附接构件的特征点的位置与第二附接构件的特征点的位置之间的差，来获取第一附接构件和第二附接构件的特征点之间的相对位置信息。
可通过在上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息中反映所获取的特征点之间的相对位置信息来进行操作(c)(S300)。需要使第一附接构件与第二附接构件彼此平行，且通过使上部壁部件与下部壁部件对准来使第一附接构件与第二附接构件水平地对准，以便在第一附接构件与第二附接构件之间没有对准误差的情况下，将第一附接构件精确地附接到第二附接构件。因此，可通过反映所获取的第一附接构件的特征点与所获取的第二附接构件的特征点之间的相对位置信息来使一个壁部件相对地移动。因此，第一附接构件与第二附接构件可精确地彼此对准，且可在第一附接构件与第二附接构件之间没有对准误差的情况下精确地彼此附接。
操作(b)(S200)可包含：相对于上部壁部件和下部壁部件中的每一个分别提取根据存在于一个平面上的第一轴和第二轴所确定的第一轴线性位置信息和第二轴线性位置信息的操作(S225)；以及相对于上部壁部件和下部壁部件中的每一个提取指示平面的倾斜度的倾斜信息的操作(S226)。
可相对于上部壁部件和下部壁部件中的每一个分别提取根据存在于一个平面上的第一轴和第二轴所确定的第一轴线性位置信息和第二轴线性位置信息(S225)。可从所提取的第一轴线性位置信息和第二轴线性位置信息获取关于上部壁部件和下部壁部件的位置信息。
可相对于上部壁部件和下部壁部件中的每一个提取指示平面的倾斜度的倾斜信息(S226)。可从关于上部壁部件和下部壁部件的位置信息获取指示平面的倾斜度的倾斜信息。
同时，操作(b)(S200)可进一步包含相对于上部壁部件和下部壁部件中的每一个提取指示平面的未对准度的旋转位置信息的操作(S227)。
也可相对于上部壁部件和下部壁部件中的每一个提取指示平面的未对准度的旋转位置信息(S227)。可从关于上部壁部件和下部壁部件的位置信息获取指示平面的未对准度的所提取的旋转位置信息。
通过使用第一轴线性位置信息、第二轴线性位置信息以及倾斜信息来使一个壁部件在第一轴方向和第二轴方向上线性地移动。可通过旋转一个壁部件来使上部壁部件与下部壁部件对准，使得调节由第一轴线性位置信息、第二轴线性位置信息以及倾斜信息确定的平面的未对准度。在这种情况下，也可通过使用旋转位置信息来旋转一个壁部件。另外，也可通过使用倾斜信息来使一个壁部件倾斜，使得调节平面的倾角。
同时，操作(c)(S300)可包含：在上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息的基础上，计算一个壁部件的移动方向和移动距离的操作(S310)；以及使一个壁部件在计算出的移动方向上相对地移动计算出的移动距离的操作(S320)。
可在上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息的基础上，计算一个壁部件的移动方向和移动距离(S310)。可在通过分析标记图案图像来获得的关于上部壁部件和下部壁部件的位置信息的基础上，计算一个壁部件的移动方向和移动距离。可得出需要在任何方向上使一个壁部件相对地移动多少距离。举例来说，可在关于上部壁部件和下部壁部件的位置信息的基础上，运算上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息，且可在上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息的基础上，计算一个壁部件的移动方向和移动距离。
可使一个壁部件在计算出的移动方向上相对地移动计算出的移动距离(S320)。因此，可使上部壁部件与下部壁部件对准。可在上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息的基础上，计算一个壁部件的移动方向和移动距离。可使一个壁部件在计算出的移动方向上相对地移动计算出的移动距离，以使上部壁部件与下部壁部件对准。
通过使一个壁部件在三个轴方向(x方向、y方向以及θ方向)上相对地移动来进行使一个壁部件相对地移动的操作(S320)。可使一个壁部件在三个轴方向(x方向、y方向以及θ方向)上相对地移动，且可使一个壁部件在θ方向上(以及在x方向和y方向上)相对于另一个壁部件对准。当上部壁部件未与下部壁部件对准时，可进行以下对准操作：在使一个壁部件在x方向、y方向以及θ方向上精细地调节时，使上部壁部件与下部壁部件对准。在对准操作完成之后，第一附接构件和第二附接构件可以不水平地移动或旋转，且其对准位置不大可能改变。
也可在使一个壁部件相对地移动的操作中使一个壁部件在
Figure BDA0002181593620000241
方向上相对地移动(S320)。一个壁部件可通过在
Figure BDA0002181593620000242
方向上相对地移动来倾斜，且可使第一附接构件与第二附接构件彼此平行。
根据另一示范性实施例，层压方法可进一步包含移动上部照相机和下部照相机使，得上部照相机和下部照相机在上部壁部件与下部壁部件之间的空间的外部的操作(S270)。
在上部壁部件连接到下部壁部件之前，可使上部照相机和下部照相机移动，使得上部照相机和下部照相机在上部壁部件与下部壁部件之间的空间的外部(S270)。当上部照相机和下部照相机在上部壁部件与下部壁部件之间的空间的外部时，上部照相机和下部照相机可以不干扰上部壁部件与下部壁部件的连接。因此，上部壁部件与下部壁部件的连接可很好地在其内部形成真空，且可很好地将第一附接构件附接到第二附接构件12。
标记图案可包含：标记矩阵，具有呈矩阵形式布置的多个标记；以及多个圆形轨迹标记，安置在标记矩阵外部，且定位在一个圆形轨迹上。标记矩阵可具有具有相同形状且呈矩阵形式布置的多个标记，多个标记之间的间隙可在第一方向上相同，且多个标记之间的间隙可在与第一方向相交的第二方向上相同。当通过对包含标记矩阵的标记图案进行拍照来获取标记图案图像时，可通过测量来自所获取的标记图案图像的标记的形状变化和未对准来计算上部照相机和/或下部照相机的光轴与图案表面之间的角度。另外，可在上部照相机和/或下部照相机的光轴与图案表面之间的角度和上部标记板和/或下部标记板的定位坐标的基础上，获取相对于参考轴的关于上部壁部件和下部壁部件的位置信息。因此，可计算上部壁部件与下部壁部件之间的错位。
多个圆形轨迹标记可安置在标记矩阵外部且可定位在一个圆形轨迹上。可通过连接在上部标记板和下部标记板中的相同标记板上形成的多个圆形轨迹标记来形成一个圆形。可通过所形成的圆形的中心来提取上部壁部件和下部壁部件(相同标记板设置在其上)中的一个壁部件的旋转中心。在这种情况下，由多个圆形轨迹标记形成的圆形的中心可与一个壁部件(相同标记板设置在其上)的旋转中心相同。在这种情况下，因旋转一个壁部件(相同标记板设置在其上)而导致的倾角变化可很好地反映在相同标记板的倾角变化中，且可很好地计算θ方向。
分析标记图案图像的操作可包含：根据标记图案图像测量多个圆形轨迹标记的位置的操作(S221)；以及计算上部壁部件和下部壁部件中的至少一个的旋转中心的操作(S222)。
可根据标记图案图像来测量多个圆形轨迹标记的位置(S221)。可根据标记图案图像来测量多个圆形轨迹标记的位置，以便得出由多个圆形轨迹标记形成的圆形的中心。可通过根据标记图案图像测量多个圆形轨迹标记的位置来识别由多个圆形轨迹标记形成的圆形的中心。
可计算上部壁部件和下部壁部件中的至少一个的旋转中心(S222)。当由多个圆形轨迹标记形成的圆形的中心与一个壁部件(相同标记板设置在其上)的旋转中心相同时，可提取由多个圆形轨迹标记形成的圆形的中心作为一个壁部件(相同标记板设置在其上)的旋转中心。当由多个圆形轨迹标记形成的圆形的中心不同于一个壁部件(相同标记板设置在其上)的旋转中心时，可通过由多个圆形轨迹标记形成的圆形的中心的位置与一个壁部件(相同标记板设置在其上)的旋转中心的位置之间的差来计算上部壁部件和下部壁部件中的至少一个的旋转中心。当至少一个壁部件围绕其旋转中心旋转时，由多个圆形轨迹标记形成的圆形的中心的位置与一个壁部件(相同标记板设置在其上)的旋转中心的位置之间的差可能改变。通过反映位置差，即使在至少一个壁部件围绕其旋转中心旋转时也可计算上部壁部件和下部壁部件中的至少一个的旋转中心。因此，可通过至少一个壁部件的旋转中心来计算一个壁部件(相同标记板设置在其上)的倾角变化，且可很好地计算θ方向。
根据另一示范性实施例，层压方法可进一步包含：通过调节上部壁部件与下部壁部件之间的间隙来使上部壁部件与下部壁部件彼此分离的操作(S500)；以及实施其中第一附接构件附接到第二附接构件的附接组件的操作(S600)。
接下来，可通过调节上部壁部件与下部壁部件之间的间隙来使上部壁部件与下部壁部件彼此分离(S500)。可在第一附接构件附接到第二附接构件之后通过调节上部壁部件与下部壁部件之间的间隙来使上部壁部件与下部壁部件分离。
可实施其中第一附接构件附接到第二附接构件的附接组件(S600)。其中第一附接构件附接到第二附接构件的附接组件可由上部壁部件或下部壁部件实施，以便将新的或另一第一附接构件附接到新的或另一第二附接构件。
可重复操作(a)(S100)到操作(d)(S400)。因此，可进行持续附接工艺，且可持续生产附接组件。
根据另一示范性实施例，层压方法可进一步包含在重复操作(a)(S100)之前，识别第一附接构件与第二附接构件的附接状态的操作(S700)。当识别出第一附接构件与第二附接构件的对准附接时，可省略操作(b)(S200)，且可通过使用先前运算出的上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息来进行操作(c)(S300)。当识别出第一附接构件与第二附接构件的未对准附接时，可进行操作(b)(S200)，且可通过使用重新运算出的上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息来进行操作(c)(S300)。
可识别第一附接构件与第二附接构件的附接状态(S700)。举例来说，可识别附接组件的附接状态。当上部壁部件和下部壁部件的位置因较长工艺而改变时，关于上部壁部件和下部壁部件的位置信息(例如，上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息)需要改变。因此，当识别出第一附接构件与第二附接构件的未对准附接时，通过在持续附接工艺期间识别来自附接组件的第一附接构件与第二附接构件的附接状态以及重复操作(b)(S200)，可实时(real time)地重新运算和更新上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息，且可进行持续附接工艺。
当识别出第一附接构件与第二附接构件的对准附接时，可省略操作(b)(S200)，且可通过使用先前运算出的上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息来进行操作(c)(S300)。当后续第一附接构件附接到后续第二附接构件时，可省略操作(b)(S200)。可在未重新运算上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息的情况下进行持续附接工艺。
当识别出第一附接构件与第二附接构件的未对准附接时，可重复操作(b)(S200)，且可通过使用重新运算出的上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息来进行操作(c)(S300)。另外，可更新上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息，使得在后续第一附接构件附接到后续第二附接构件时通过重复操作(b)(S200)来使后续第一附接构件与后续第二附接构件对准。
举例来说，在运算上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息之后，可通过重复以下操作来持续生产附接组件：操作(a)(S100)、分别拍照操作(S250)、获取特征点之间的相对位置信息的操作(S260)、操作(c)(S300)、操作(d)(S400)、使上部壁部件与下部壁部件彼此分离的操作(S500)以及实施附接组件的操作(S600)。在上部标记板和下部标记板设置成分别固定到上部壁部件和下部壁部件且运算上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息一次之后，可通过重复以下操作来进行持续附接工艺：操作(a)(S100)、分别拍照操作(S250)、获取特征点之间的相对位置信息的操作(S260)、操作(c)(S300)、操作(d)(S400)、使上部壁部件与下部壁部件彼此分离的操作(S500)以及实施附接组件的操作(S600)。因此，可持续生产附接组件，且可提高附接组件的生产率。
换句话说，可周期性地或即刻识别第一附接构件与第二附接构件的附接状态，且当第一附接构件与第二附接构件的附接状态较差时，可即时进行和应用上部照相机和下部照相机的校准。因此，可更新上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息。
同时，根据另一示范性实施例，层压方法可进一步包含识别上部照相机与下部照相机的紧固状态(fastened state)和/或螺钉未拧紧状态(screw loosening state)的操作(S710)。可能出现上部照相机与下部照相机的紧固状态下的缺陷(例如螺钉未拧紧)，且可周期性地或即刻检查上部照相机与下部照相机的紧固状态和/或螺钉未拧紧状态。因此，可维持上部照相机与下部照相机的紧固状态和/或螺钉未拧紧状态，且可通过上部照相机与下部照相机的紧固状态和/或螺钉未拧紧状态下的缺陷来间接识别第一附接构件与第二附接构件的附接状态下的缺陷。
以此方式，在示范性实施例中，可经由在上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息的基础上使上部壁部件和下部壁部件中的一个相对于另一个相对地移动，通过使上部壁部件与下部壁部件对准来使第一附接构件与第二附接构件精确地对准，所述相对位置信息通过获取关于上部壁部件的位置信息和关于下部壁部件的位置信息来运算。另外，第一附接构件与第二附接构件可在第一附接构件与第二附接构件之间没有对准误差的情况下精确地彼此附接。关于上部壁部件和下部壁部件的具有高精度的位置信息可简单地通过以下步骤来获取：通过使用上部照相机和下部照相机对(分别设置在上部壁部件和下部壁部件上的)上部标记板和下部标记板进行拍照，以及分析所拍照的标记图案图像。另外，通过在第一支撑部件外部安置上部标记板且在第二支撑部件外部安置下部标记板，可以不在上部壁部件连接到下部壁部件时出现干扰。因此，上部标记板和下部标记板可设置成分别固定到上部壁部件和下部壁部件，且可取决于上部标记板和下部标记板的移动和安装来防止出现组件误差、移动误差以及振动。因此，可进一步提高关于上部壁部件和下部壁部件的位置信息的精确度。同时，可通过在由石英材料形成的上部标记板和下部标记板中的每一个上印刷标记图案来提高标记图案的精确度。另外，具有高精度的标记图案可提高标记图案图像的分辨率或分辨力，且也可显著提高关于上部壁部件和下部壁部件的位置信息的精确度。
以上描述中所使用的术语“在......上(on)”意味着“与......直接接触”和“在不与......直接接触的情况下与上部部件或下部部件相对”，且还意味着“与整个上部表面或下部表面相对”、“与上部表面或下部表面部分地相对”、“在不同位置与上部表面或下部表面相对”或“与上部表面或下部表面直接接触”。
根据示范性实施例，层压设备可通过在上部壁部件与下部壁部件之间的相对位置信息的基础上使上部壁部件与下部壁部件对准来使第一附接构件与第二附接构件精确地对准，所述相对位置信息通过获取关于上部壁部件的位置信息和关于下部壁部件的位置信息来运算。另外，第一附接构件可在第一附接构件与第二附接构件之间没有对准误差的情况下精确地附接到第二附接构件。
关于上部壁部件和下部壁部件的具有高精度的位置信息可简单地通过以下步骤来获取：通过使用上部照相机和下部照相机对(分别设置在上部壁部件和下部壁部件上的)上部标记板和下部标记板进行拍照，以及分析所拍照的标记图案图像。
另外，通过在第一支撑部件外部安置上部标记板且在第二支撑部件外部安置下部标记板，可以不在上部壁部件连接到下部壁部件时出现干扰。因此，上部标记板和下部标记板可分别设置成固定到上部壁部件和下部壁部件，且可取决于上部标记板和下部标记板的移动和安装来防止出现组件误差、移动误差以及振动。因此，可进一步提高关于上部壁部件和下部壁部件的位置信息的精确度。
同时，可通过在由石英材料形成的上部标记板和下部标记板中的每一个上印刷标记图案来提高标记图案的精确度。另外，具有高精度的标记图案可提高标记图案图像的分辨率或分辨力，且也可显著提高关于上部壁部件和下部壁部件的位置信息的精确度。
虽然已示出和描述本发明的示范性实施例，但本发明不应解释为限于所述实施例。本领域的普通技术人员应理解，可在不脱离由所附权利要求书所界定的本发明的精神和范围的情况下对本发明作出各种修改和等效方案。因此，本发明的技术范围应由所附权利要求书界定。

Claims (18)

1.一种用于将第一附接构件附接到第二附接构件的层压设备，所述层压设备包括：
上部壁部件，包括第一支撑部件，所述第一附接构件由所述第一支撑部件支撑；
下部壁部件，包括第二支撑部件，与所述第一附接构件相对的所述第二附接构件由所述第二支撑部件支撑，且所述下部壁部件配置成通过连接到所述上部壁部件来形成处理腔室；
位置信息获取部件，配置成获取关于所述上部壁部件的位置信息和关于所述下部壁部件的位置信息，且配置成根据所获取的关于所述上部壁部件的位置信息和所述所获取的关于所述下部壁部件的位置信息来运算所述上部壁部件与所述下部壁部件之间的相对位置信息；
控制部件，配置成在所述上部壁部件与所述下部壁部件之间的所述相对位置信息的基础上，生成用于使所述上部壁部件与所述下部壁部件对准的控制信息；
驱动部件，配置成从所述控制部件接收所述控制信息，以使所述上部壁部件和所述下部壁部件中的至少一个相对于另一个相对地移动；以及
间隙调节部件，配置成调节所述上部壁部件与所述下部壁部件之间的间隙，且在对准状态下将所述上部壁部件连接到所述下部壁部件。
2.根据权利要求1所述的层压设备，其中所述位置信息获取部件包括：
上部标记板和下部标记板，各自包括图案表面，所述图案表面包括标记图案，且所述上部标记板和所述下部标记板分别设置在所述上部壁部件和所述下部壁部件上；
上部照相机和下部照相机，设置成分别面对所述上部壁部件和所述下部壁部件，以分别对所述上部标记板和所述下部标记板进行拍照，所述上部标记板和所述下部标记板分别与所述上部照相机和所述下部照相机相对；以及
位置信息分析部件，配置成通过分析由所述上部照相机和所述下部照相机分别捕捉的所述上部标记板和所述下部标记板的标记图案图像来分别获取关于所述上部壁部件的所述位置信息和关于所述下部壁部件的所述位置信息，且配置成在所获取的关于所述上部壁部件的所述位置信息和所获取的关于所述下部壁部件的所述位置信息的基础上，生成所述上部壁部件与所述下部壁部件之间的所述相对位置信息。
3.根据权利要求2所述的层压设备，其中所述上部照相机对所述第一附接构件的特征点进行拍照，
所述下部照相机对所述第二附接构件的特征点进行拍照，
所述位置信息分析部件通过分析对所述第一附接构件的所述特征点进行拍照的第一特征点图像和对所述第二附接构件的所述特征点进行拍照的第二特征点图像来获取所述第一附接构件的所述特征点与所述第二附接构件的所述特征点之间的相对位置信息，且
所述控制部件通过在所述上部壁部件与所述下部壁部件之间的所述相对位置信息中反映由所述位置信息分析部件所获取的所述特征点之间的所述相对位置信息来生成所述控制信息。
4.根据权利要求1所述的层压设备，其中所述位置信息包括：
第一轴线性位置信息和第二轴线性位置信息，根据存在于一个平面上的第一轴和第二轴来确定；以及
倾斜信息，指示所述平面的倾斜度。
5.根据权利要求1所述的层压设备，其中所述间隙调节部件在将所述上部壁部件连接到所述下部壁部件时，将所述第一附接构件附接到所述第二附接构件。
6.根据权利要求1所述的用层压设备，其中所述第一支撑部件和所述第二支撑部件中的至少一个包括按压部件，所述按压部件配置成通过向所述第一附接构件或对应于所述第一附接构件的所述第二附接构件施加压力来将所述第一附接构件附接到所述第二附接构件。
7.根据权利要求2所述的层压设备，其中所述标记图案包括：
标记矩阵，包括呈矩阵形式布置的多个标记；以及
多个圆形轨迹标记，安置在所述标记矩阵外部，且定位在一个圆形轨迹上。
8.根据权利要求7所述的层压设备，其中所述位置信息分析部件通过从所述标记图案图像测量所述多个圆形轨迹标记的位置来计算所述上部壁部件和所述下部壁部件中的至少一个的旋转中心。
9.根据权利要求2所述的层压设备，其中所述上部标记板安置在所述第一支撑部件外部，且所述下部标记板安置在所述第二支撑部件外部。
10.根据权利要求2所述的层压设备，其中所述上部标记板和所述下部标记板由石英材料形成，且所述标记图案通过印刷来形成。
11.一种用于将第一附接构件附接到第二附接构件的层压方法，所述层压方法包括以下操作：
操作a：在上部壁部件的第一支撑部件上设置第一附接构件，且在下部壁部件的第二支撑部件上设置第二附接构件；
操作b：获取关于所述上部壁部件的位置信息和关于所述下部壁部件的位置信息，且根据所获取的关于所述上部壁部件的位置信息和所获取的关于所述下部壁部件的位置信息来运算所述上部壁部件与所述下部壁部件之间的相对位置信息；
操作c：在所述上部壁部件与所述下部壁部件之间的所述相对位置信息的基础上使所述上部壁部件与所述下部壁部件对准；以及
操作d：通过调节所对准的上部壁部件与下部壁部件之间的间隙来将所述上部壁部件连接到所述下部壁部件。
12.根据权利要求11所述的层压方法，进一步包括以下操作：分别在所述上部壁部件和所述下部壁部件上设置各自包括图案表面的上部标记板和下部标记板，所述图案表面包括标记图案，
其中所述操作b包括：
通过使用设置成分别面对所述上部壁部件和所述下部壁部件的上部照相机和下部照相机，来分别对分别与所述上部照相机和所述下部照相机相对的所述上部标记板和所述下部标记板进行拍照的操作；
分析由所述上部照相机和所述下部照相机分别捕捉的所述上部标记板和所述下部标记板的标记图案图像的操作；
分别获取关于所述上部壁部件的所述位置信息和关于所述下部壁部件的所述位置信息的操作；以及
在所获取的关于所述上部壁部件的所述位置信息和所获取的关于所述下部壁部件的所述位置信息的基础上，生成所述上部壁部件与所述下部壁部件之间的所述相对位置信息的操作。
13.根据权利要求12所述的层压方法，进一步包括：
通过使用所述上部照相机和所述下部照相机来分别对所述第一附接构件的特征点和所述第二附接构件的特征点进行拍照的操作；以及
通过分析对所述第一附接构件的所述特征点进行拍照的第一特征点图像和对所述第二附接构件的所述特征点进行拍照的第二特征点图像来获取所述第一附接构件的所述特征点与所述第二附接构件的所述特征点之间的相对位置信息的操作，
其中所述操作c通过以下操作来进行：在所述上部壁部件与所述下部壁部件之间的所述相对位置信息中反映从所述第一特征点图像和所述第二特征点图像所获取的所述特征点之间的所述相对位置信息。
14.根据权利要求11所述的层压方法，其中所述操作b包括：
相对于所述上部壁部件和所述下部壁部件中的每一个，分别提取根据存在于一个平面上的第一轴和第二轴所确定的第一轴线性位置信息和第二轴线性位置信息的操作；以及
相对于所述上部壁部件和所述下部壁部件中的每一个，提取指示所述平面的倾斜度的倾斜信息的操作。
15.根据权利要求11所述的层压方法，其中所述第一附接构件在所述操作d期间附接到所述第二附接构件。
16.根据权利要求11所述的层压方法，进一步包括以下操作：在所述操作d之后将所述第一附接构件附接到所述第二附接构件。
17.根据权利要求12所述的层压方法，其中所述标记图案包括：
标记矩阵，包括呈矩阵形式布置的多个标记；以及
多个圆形轨迹标记，安置在所述标记矩阵外部，且定位在一个圆形轨迹上，且
分析所述标记图案图像的所述操作包括：
从所述标记图案图像测量所述多个圆形轨迹标记的位置的操作；以及
计算所述上部壁部件和所述下部壁部件中的至少一个的旋转中心的操作。
18.根据权利要求11所述的层压方法，其中重复所述操作a到所述操作d，
所述层压方法进一步包括以下操作：在重复所述操作a之前，识别所述第一附接构件与所述第二附接构件的附接状态，
当识别出所述第一附接构件与所述第二附接构件的对准附接时，省略所述操作b，且通过使用先前运算出的所述上部壁部件与所述下部壁部件之间的所述相对位置信息来进行所述操作c，且
当识别出所述第一附接构件与所述第二附接构件的未对准附接时，进行所述操作b，且通过使用重新运算出的所述上部壁部件与所述下部壁部件之间的所述相对位置信息来进行所述操作c。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102472252B1 (ko) * 2020-12-28 2022-11-30 주식회사 테스 기판접합장치의 예비정렬장치 및 예비정렬방법
WO2023002550A1 (ja) * 2021-07-20 2023-01-26 信越エンジニアリング株式会社 表示基板の貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法
CN114203945B (zh) * 2021-12-10 2023-12-01 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示器盖板贴附方法和贴附装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1853320A (zh) * 2003-09-22 2006-10-25 株式会社村田制作所 用于安装发光元件的方法和设备
JP2007012698A (ja) * 2005-06-28 2007-01-18 Sharp Corp アライメントマーク付き基板、位置合わせ方法、プログラムおよび記録媒体
US20090133801A1 (en) * 2007-11-23 2009-05-28 Seok Hee Shim Substrate attaching apparatus
CN104347451A (zh) * 2013-07-29 2015-02-11 三星显示有限公司 基板处理系统、包含在系统中的层压装置及基板处理方法
CN104898310A (zh) * 2014-03-06 2015-09-09 Nlt科技股份有限公司 基板层叠装置、基板层叠方法及立体显示装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3542956B2 (ja) * 2000-10-30 2004-07-14 信越エンジニアリング株式会社 液晶パネル用基板の貼り合わせ装置
KR100710156B1 (ko) * 2002-03-15 2007-04-20 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시소자의 진공 합착 장치
JP4234479B2 (ja) * 2003-04-02 2009-03-04 富士通株式会社 貼合せ基板製造装置及び貼合せ基板製造方法
KR101256711B1 (ko) * 2004-01-07 2013-04-19 가부시키가이샤 니콘 적층 장치 및 집적 회로 소자의 적층 방법
KR101367661B1 (ko) * 2006-08-25 2014-02-27 엘아이지에이디피 주식회사 척의 평행도 및 평편도 조절유닛을 가진 기판 합착장치
KR101292803B1 (ko) * 2006-12-06 2013-08-02 엘아이지에이디피 주식회사 기판 합착장치의 간격유지유닛
KR101073558B1 (ko) 2009-10-08 2011-10-17 삼성모바일디스플레이주식회사 기판 합착 장치 및 기판 합착 방법
KR20160006436A (ko) * 2014-07-09 2016-01-19 안성룡 진공 합착장치
JP2016205958A (ja) * 2015-04-21 2016-12-08 日置電機株式会社 Ｘ−ｙ基板検査装置の可動ヘッド位置補正方法およびｘ−ｙ基板検査装置
JP6596330B2 (ja) * 2015-12-25 2019-10-23 東京エレクトロン株式会社 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体
KR101882395B1 (ko) * 2016-11-16 2018-07-26 주식회사 엠에스텍 기판 위치정렬 방법 및 그 방법을 사용하는 합착기
KR101887394B1 (ko) * 2016-12-20 2018-08-10 주식회사 에스에프에이 진공 라미네이터

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1853320A (zh) * 2003-09-22 2006-10-25 株式会社村田制作所 用于安装发光元件的方法和设备
JP2007012698A (ja) * 2005-06-28 2007-01-18 Sharp Corp アライメントマーク付き基板、位置合わせ方法、プログラムおよび記録媒体
US20090133801A1 (en) * 2007-11-23 2009-05-28 Seok Hee Shim Substrate attaching apparatus
CN104347451A (zh) * 2013-07-29 2015-02-11 三星显示有限公司 基板处理系统、包含在系统中的层压装置及基板处理方法
CN104898310A (zh) * 2014-03-06 2015-09-09 Nlt科技股份有限公司 基板层叠装置、基板层叠方法及立体显示装置

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