CN117043836A - 显示基板的贴合装置及贴合方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种即使不利用特别的对准标记或布线等也能够高精度地贴合显示体构成要素图案形成到基板端部附近的显示基板的装置及方法。一种显示基板的贴合装置,其进行显示体构成要素图案形成到基板端部附近的第一基板与显示体构成要素图案形成到基板端部附近的第二基板的贴合,其特征在于,具备摄像机构、图像识别机构及位置对准调整机构,所述图像识别机构根据所述摄像机构拍摄到的所述第一基板的特征及所述第二基板的特征计算第一基板的第一基准点和第二基板的第二基准点,所述位置对准调整机构进行使两个基板的位置在平面方向上偏移的状态下的预备处理,以便能够同时观察所述第一基准点和所述第二基准点,然后完成位置对准,并且进行贴合。

Description

显示基板的贴合装置及贴合方法
技术领域
本发明是有关一种显示体构成要素图案形成到基板端部附近的显示基板、所谓无边框型显示基板的贴合装置及贴合方法。
背景技术
以往,作为LED阵列显示体,有通过将驱动电路基板或显示体发光基板与彩色滤光片基板或颜色转换功能基板贴合来实现的LED阵列显示体。此时,作为用于贴合构成显示器的薄板基板或薄膜的位置对准的方法,可看到利用设置于两个基板的对准标记进行位置对准的方法(参照专利文献1)、以配置于传感器薄膜上的引线为基准进行位置对准的方法(参照专利文献2)。
另一方面,关于如何将隔开大型显示器画面与现实世界的边界线即边框(bezel)缩小而设计性优异的窄边框化的竞争近年来正在加剧。并且,这种窄边框化趋势也适用于如智能手机和平板电脑之类的小型设备的显示面板。此外,当通过Micro LED构建大型显示器时,由于将许多的Micro LED以瓷砖状铺设成一片显示器,因此需要消除所有边框以实现规则排列,所需的不仅是窄边框化,实际上可以毫不夸张地说是无边框化。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2019-138949号公报
专利文献2:日本特开2017-102713号公报
发明内容
发明要解决的问题
然而,在专利文献1的方法中,由于在无边框型的情况下无法配置对准标记,因此无法应对,而专利文献2的方法可能有助于窄边框化,但是也无法应对无边框基板。除此之外,显示体发光基板的驱动布线通常配置于发光元件的下表面,未必在周边部存在引导布线,本来就不能像专利文献2那样总是以布线为基准来利用。
在这样的状况下,本发明的目的为提供一种即使不利用特别的对准标记或布线等也能够高精度地贴合显示体构成要素图案形成到基板端部附近的显示基板的装置及方法。
用于解决问题的方案
为了解决该问题,本发明所涉及的显示基板的贴合装置进行显示体构成要素图案形成到基板端部附近的第一基板与显示体构成要素图案形成到基板端部附近的第二基板的贴合,其特征在于,具备摄像机构、图像识别机构及位置对准调整机构,所述图像识别机构根据所述摄像机构拍摄到的所述第一基板的特征及所述第二基板的特征计算第一基板的第一基准点和第二基板的第二基准点,所述位置对准调整机构进行使两个基板的位置在平面方向上偏移的状态下的预备处理,以便能够同时观察所述第一基准点和所述第二基准点,然后完成位置对准,并且进行贴合。
并且,为了解决该问题,本发明所涉及的显示基板的贴合方法进行显示体构成要素图案形成到基板端部附近的第一基板与显示体构成要素图案形成到基板端部附近的第二基板的贴合,其特征在于,至少包括:在使两个基板的位置偏移的状态下以使平面方向的偏移量成为规定值的方式进行预备的位置调整,以便能够同时观察所述第一基板的特征及所述第二基板的特征的工序;接着,以使偏移量成为零的方式移动工作台的工序。
附图说明
图1是本发明的实施方式所涉及的装置的贴合对象的显示基板的剖视图,图1的(a)是仅示出第二基板者,图1的(b)是示出使第一基板位于第二基板的上方的贴合前的状态,图1的(c)是示出第一基板及第二基板的贴合完成的状态。
图2是表示本发明的第1实施方式所涉及的显示基板的贴合装置的说明图。
图3是表示通过本发明的实施方式所涉及的显示基板的贴合装置进行预备处理时的情况的说明图。
图4是表示本发明的实施方式所涉及的显示基板的贴合装置计算第一基准点或第二基准点的计算方法的一例的说明图。
图5是表示本发明的实施方式所涉及的显示基板的贴合装置计算第一基准点或第二基准点的计算方法的另一例的说明图。
图6是表示本发明的第1实施方式所涉及的显示基板的贴合方法中的第1工序及第2工序的说明图。
图7是表示本发明的第1实施方式所涉及的显示基板的贴合方法中的第3工序及第4工序的说明图。
图8是表示本发明的另一实施方式所涉及的显示基板的贴合装置的说明图,图8的(a)示出设置有单一结构的真空腔室的结构,图8的(b)示出设置有分割腔室的结构。
图9是用于说明本发明的应用例的图。
具体实施方式
(关于显示基板)
首先,对在本发明的实施方式所涉及的显示基板的贴合装置中作为其贴合对象的第一基板及第二基板进行说明。图1的(a)仅示出第二基板,图1的(b)示出使第一基板位于第二基板的上方的贴合前的状态,图1的(c)示出第一基板及第二基板的贴合完成的状态。
如图1的(a)等所示,在作为第二基板2的基底基板的显示用布线基板24上所形成的电极(电极形成层23)上经由粘结层22配置有分别形成为平滑的矩形(包含正方形及长方形的角为直角的四边形)的薄板状的LED21。LED21中配置白色的单色基板,或配置有色(蓝色或紫色以外)的单色基板,或以与光的三原色对应的RGB这3个LED重复的形式配置。在此,绘制为配置白色的单色基板。
另一方面,如图1的(b)等所示,在作为第一基板1的基底基板的透明基板12上(但是,图面以上下颠倒的状态绘制),为了改善第一基板1与第二基板2贴合时的取向特性,或者为了防止使用RGB的LED时作为三原色的构成要素的光的混色,配置有低折射率材料的混色防止用隔壁11。如后所述,在贴合时向由混色防止用隔壁11隔开的各空间填充树脂,由此抑制配光上的损失。在LED21相对的位置配置有彩色滤光片13,将白色光转换为红色·绿色·蓝色。当LED21为有色(蓝色或紫色以外)的单色基板时,在相对的位置配置颜色转换元件,通过颜色转换元件进行向红色·绿色·蓝色的颜色转换。在RGB的LED21的情况下,隔壁基板、护罩玻璃中的任一个相对配置,透明基板12也可以替换为黑矩阵基板。
作为LED21的具体例,主要可以举出被称为Micro LED的50μm×50μm以下且厚度小于50μm的LED芯片。除此之外,本发明也能够适用于例如被称为Mini LED的100μm见方左右的LED芯片、200~300μm见方等一般的LED芯片、以及LD芯片等一般尺寸的半导体二极管。
(第1实施方式)
接着,对本发明的实施方式所涉及的显示基板的贴合装置进行说明。图2是表示本发明的第1实施方式所涉及的显示基板的贴合装置100的说明图。本发明的第1实施方式所涉及的显示基板的贴合装置100具有:装卸自如地保持第一基板1的上底板3及装卸自如地保持第二基板2的下底板4及多个摄像机构5。上底板3及下底板4形成为不会因金属等刚体而翘曲(挠曲)变形的厚度的平板状,作为装卸自如的构成,使用真空吸附等差压卡盘或机械卡盘等。并且,本发明的第1实施方式所涉及的显示基板的贴合装置100具有:在上底板3和下底板4之间插入第一基板1及第二基板2的投入机构(未图示)、用于移动上底板3及下底板4的上下的底板驱动机构(未图示)及驱动控制这些机构部的控制机构(未图示)。上下的底板驱动机构和控制机构构成本发明的第1实施方式所涉及的显示基板的贴合装置100中的位置对准调整机构。
上底板3及下底板4通过未图示的上下的底板驱动机构能够在平面内向x轴及y轴方向进行前后或平移移动,并且能够进行向θ方向的旋转移动(绕z轴转动)。并且,上底板3及下底板4也能够向z轴方向上下移动,以使它们能够彼此接近或分离。通过这些平面内的x轴方向移动、y轴方向移动、θ轴旋转移动进行预备处理或位置调整处理,通过z轴方向上下移动来进行贴合。另外,由于需要用摄像机构5拍摄第一基板1及第二基板2,因此在上底板3上,在摄像机构5的视野部分穿有小孔。
摄像机构5只要为CCD相机或CMOS图像传感器等具有位置对准所需的分辨率的机构,则能够使用任意的摄像机构。并且,在能够观察到位于第一基板1及第二基板2的对角线上的2个顶点的位置设置有2个摄像机构5。作为该原因,若为单眼,则位置对准精度不够,虽说如此,但如后所述,在3个顶点上配置3个摄像机构或在4个顶点上配置4个摄像机构也并不是那么有效。因此,摄像机构5在第1实施方式中设为2个。
(关于位置对准步骤和预备处理)
位置对准步骤的概要大致如下。首先,(1)在进行对准动作之前,在第一基板1和第二基板2的高度方向上具有间隙的状态下,使第一基板1和第二基板2在平面方向上偏移而投入到装置内。接着,(2)设定或测定第一基板1的显示体构成要素的一部分和应与此对应的第二基板2的显示体构成要素的一部分的偏移量。(3)然后,使第一基板1或第二基板2或其两者在平面方向上偏移以抵消该偏移量,从而进行准确地位置对准的贴合。进行上述(2)的偏移量的设定或测定相当于本发明的实施方式所涉及的显示基板的贴合装置100所执行的动作中的预备处理,或者相当于本发明的实施方式所涉及的显示基板的贴合方法的一个工序中的预备处理。
图3是用于说明进行预备处理时的情况的图。在该说明图中,第一基板1的基底基板被绘制为黑矩阵基板,并且,夸大地绘制出两个基板的平面内θ方向的偏移(绕z轴的转动偏移)。第一基板1及第二基板2以预先偏移而伴有偏移的状态被投入到装置内。表示该状态的是绘制于图3上方的图。对通过拍摄两个基板的边缘部分或显示体构成要素图案而得到的图像进行图像识别处理,并进行旋转校正。作为图像识别处理,能够使用规则库、聚类、决策树、随机森林、CNN(Convolutional Neural Network:卷积神经网络)等已知的方法。总之,只要能够识别两个基板的边缘和图案是否平行即可。在第一基板1和第二基板2呈平行的状态下,根据作为第一基板1的特征的混色防止用隔壁11和作为第二基板2的特征的LED21分别计算第一基板1的第一基准点GF和第二基板2的第二基准点GR。对此将在后面进行叙述。使第一基板1或第二基板2或其两者在平面方向上移动,以使第一基准点GF和第二基准点GR在x方向上的偏移即δx与第一基准点GF和第二基准点GR在y方向上的偏移即δy成为预定的规定值。使该偏移量成为规定值的处理是本发明的预备处理的一种方法。作为另一方法,可以在第一基板1和第二基板2平行的状态下,测定第一基准点GF和第二基准点GR在x方向上的偏移即δx与第一基准点GF和第二基准点GR在y方向上的偏移即δy,并暂时存储测定值。在此情况下,不进行将偏移量设为规定值的动作。该方法也包括在本发明的预备处理的概念中。通过使第一基板1或第二基板2或其两者在平面方向上移动以使该设定或测定的偏移量被消除而成为零来完成位置对准。
如图3所示,观察的位置为第一基板1及第二基板2的左上和右下的对角线上的2个顶点。这是因为,如图3的下方所绘制的图的左下的顶点位置所示,观察第二基板2被第一基板1完全遮住的状态的部位是没有意义的,且如右上的顶点位置所示,在作为第一基板1外缘的上边及右片两者都收在作为第二基板2外缘的上边及右片的内侧的状态下,在图像识别上多少会有些不利。因此,为了减少浪费,摄像机构5设为2个。在设为该构成的情况下,第一基板1及第二基板2投入时的偏移的方向设为预先规定的位置。在图3的例子中,第一基板1以相对于第二基板2在纸面上向下且向左偏移的状态投入。
另一方面,并不妨碍不考虑成本地配置3个或4个摄像机构5。若具备4个摄像机构5,则随机地投入第一基板1及第二基板2的偏移方向,即使第二基板2被第一基板1完全遮住的状态在4个顶点的哪个位置发生,只要使用能够观察第二基板2的摄像机构5来应对即可,因此充分具有意义。
(基准点的计算方法)
在图3中,δx和δy的尺寸线被绘制为第一基板1及第二基板2的边缘之间的尺寸线,但那是用于说明,实际上是设定或测定第一基准点GF与第二基准点GR的间隔。用于说明这一点的图为图4。LED21通过安装器配置于基底基板,根据该配置精度,各LED21的配置位置有时会产生细微的偏差。若选择整个基板中例如左上端的唯一的LED21作为获取基准点的对象,则在偶尔与原本应该配置于该端的LED21的地点产生位置偏移的情况下,这会对整个基板的位置对准带来不良影响。因此,计算安装于第二基板2的许多LED21的一部分中的多个LED21的重心位置并以此为基准。在图4中,根据构成RGB的LED21的4组,即12个LED21计算重心位置。当计算重心位置时,可以根据是配置于最外缘的LED21还是配置于内侧的LED21的差异所导致的配置偏移产生的期望值并通过加权平均来求出。以此方式求出的基准点是综合了图4所示的4个角处显示有“+”的地点与4个角的“+”的基准点MG。为了说明,图4被绘制为一个基准点MG,但实际上,在具有2个摄像机构5的情况下,使用左上的基准点和右下的基准点,设定或测定偏移量δx及δy。理论上,左上的基准点的偏移量δx及δy与右下的基准点的偏移量δx及δy应该相同,但是由于最初的旋转校正不完全,或基板出现翘曲,或上述安装器中的LED21的配置的偏差,左上与右下之间的值可能存在差异。在此情况下,再次施加旋转校正,使左上与右下之间的值之差成为最小。
图5是表示基准点的另一计算方法的说明图。若基于安装器的LED21在基底基板上的配置精度极高,则可以仅以最外端的一个LED21作为基准。在此情况下,如图5所示,基准点是综合了4个角处显示有“+”的地点与4个角的“+”的基准点ME。为了说明,图5被绘制为一个基准点ME,但实际上,在具有2个摄像机构5的情况下,使用左上的基准点和右下的基准点,设定或测定偏移量δx及δy。理论上,左上的基准点的偏移量δx及δy与右下的基准点的偏移量δx及δy应该相同,但是由于最初的旋转校正的不完全或基板的翘曲,左上与右下之间的值可能存在差异。在此情况下,再次施加旋转校正,使左上与右下之间的值之差成为最小。
(贴合步骤)
图6及图7是表示显示基板的贴合方法的一系列工序的说明图,在左侧绘制出第一基板1及第二基板2的状态,在右侧绘制出本发明的第1实施方式所涉及的显示基板的贴合装置100的状态。
在第1工序中,第一基板1及第二基板2以预先偏移并伴有偏移的状态被投入到装置内,并分别吸附于上底板3及下底板4。图6(a)示出第一基板1及第二基板2吸附于上底板3及下底板4的状态。另外,两个基板的平面内θ方向上的偏移(绕z轴转动偏移)被夸大地绘制出,实际上,并不伴有这种程度的偏移,可能的话,优选θ方向的偏移在为零的状态下被投入。当θ方向存在偏移时,对通过拍摄两个基板的边缘部分等而得到的图像进行图像识别处理并在上底板3及下底板4之间进行旋转校正。在2个摄像机构5的观察下,当出现无法同时观察第一基板1和第二基板2的边缘部分的意外情况时,平行移动工作台直到能够同时观察为止。若摄像机构5有4个,则首先不会发生这种意外情况。若发生这种情况,则其为两个基板从一开始就准确对齐时。
在第2工序中,根据第一基板1的特征和第二基板2的特征计算第一基板1的第一基准点和第二基板2的第二基准点,接着,使上底板3或下底板4或其两者在平面方向上移动,以使第一基准点和第二基准点在x方向上的偏移即δx与第一基准点和第二基准点在y方向上的偏移即δy成为预定的规定值。图6(b)示出该情况。另外,若能够以高精度投入基板,则可以暂时存储所测定的δx和δy,而不是使δx和δy以成为预定的规定值的方式移动。
在第3工序中,使上底板3或下底板4或其两者在平面方向上移动,以使在第2工序中设定为规定值的偏移量、或在第2工序被测定并暂时存储的偏移量被消除成为零。图7(c)示出偏移量成为零的状态。
如图7(d)所示,在第4工序中,为了贴合已准确地对准位置的第一基板1和第二基板2,使上底板3或下底板4或其两者在z轴方向上上下移动从而完成贴合。
另外,也能够同时并行地进行第3工序和第4工序。即,可以在缩小基板之间间隙的同时实施对准。对于将第3工序的位置对准控制时的残留偏差最小化而需要时间的情况等时是有效的。
(另一实施方式)
对本发明的另一实施方式进行说明。若在由混色防止用隔壁11隔开的空间存在空气层,则在取向上会发生损失。因此,为了减少配光上的损失,有时会在贴合时向由混色防止用隔壁11隔开的空间填充树脂。但是,若在树脂中混入气泡,则不仅损失减少效果会减弱,还反而对配光曲线产生变形等不良影响。因此,期望在真空状态下进行贴合。
图8中示出适于真空状态下的基板贴合的结构。图8的(a)是设置真空腔室6,使得能够在真空状态的环境下进行基板贴合的结构。为了不妨碍摄像机构5的视野,在真空腔室6的位于摄像机构5的正下方的上面部分设置有透明窗。
图8的(b)是将腔室分割成上下两个部分的结构,并由上腔室部件61和下腔室部件62构成。为了不妨碍摄像机构5的视野,在上腔室部件61的位于摄像机构5的正下方的上面部分设置有透明窗。
并且,虽未图示,但若由透明腔室构成腔室,则能够无需在腔室中设置窗户而不妨碍摄像机构5的视野。能够省略腔室和透视窗的组装作业,所以有利。
(本发明的应用例)
图4中所说明的根据12个LED21计算中心位置并将其作为基准的方法、或图5中所说明的仅将最外端的一个LED21作为基准的方法,无论哪种方法均以能够检测基板边缘,并能够检测配置于边缘附近的LED21为前提。但是,在某些情况下,也会发生无法检测边缘的情况。对这种情况的应对进行说明。
首先,关于旋转校正,对通过拍摄两个基板的显示体构成要素图案而得到的图像应用规则库、聚类、决策树、随机森林、CNN(Convolutional Neural Network:卷积神经网络)等已知的图像处理来旋转控制上底板3或下底板4或其两者以使两个基板平行即可,因此即使无法检测边缘也不会成为问题。
会成为问题的是偏移量δx及δy的校正。本发明利用在显示基板上整齐排列有显示体构成要素图案来进行位置对准,但是若因排列整齐而假设无法检测边缘的状态,则会有发生误将矩阵的第2行识别为第1行或误将第2列识别为第1列的情况的忧虑。图9示出发生了这种情况的状况,绘制成虚线的线段表示配置于第一基板1的下方并被遮住的第二基板2的边缘。图9的(a)示出由于第二基板2的第1行的LED21配置于第一基板1的第2行的混色防止用隔壁11上,因此对第一基板1的第1行的混色防止用隔壁11未配置LED21的情况。并且,图9的(b)示出由于第二基板2的第1列的LED21配置于第一基板1的第2列的混色防止用隔壁11上,因此对第一基板1的第1列的混色防止用隔壁11未配置LED21的情况。
图9的(a)及图9的(b)的LED21的一部份以实心涂色表示,这表示LED21通过附加到本发明的实施方式所涉及的显示基板的贴合装置100的附加功能结构而发光。该附加功能结构是设置于装置内的照明夹具(未图示)。在该照明夹具中连接有作为LED21的阵列显示体的第一基板1的驱动电路(未图示),当进行位置对准后的动作确认时,驱动驱动电路而点亮LED21的元件的一部分。在图9的(a)及图9的(b)中,仅点亮第1行和第1列的R的LED21。由此,能够检测出被认为位置对准完成的第一基板1和第二基板2实际上是在伴有相当于1行的偏移或相当于1列的偏移的状态下相对。如此,照明夹具(未图示)在无法检测基板边缘的情况下发挥对基板赋予地址的作用。
具有这种附加功能结构的本发明的实施方式所涉及的显示基板的贴合装置100的动作工序大致如下。
(1)预先使第二基板2(LED阵列显示体)的驱动电路与设置于测定装置内的照明夹具连接,
(2)在定位动作时及/或定位后的确认动作时,驱动第二基板2(LED阵列显示体)的驱动电路而点亮LED的一部分,
(3)将所点亮的一部分LED作为元件地址的指标,进行第一基板(彩色滤光片基板或颜色转换功能基板)的预备处理,
(4)沿着基板表面的方向上偏移,以消除设定或测定暂时存储的偏移量,
(5)视需要,将所点亮的一部分LED作为元件地址的指标,进行对准后的验证确认,
(6)贴合第一基板和第二基板。
如此,即使在无法很好地检测第二基板2的边缘的情况下,也能够适当地进行位置对准。另外,关于第一基板1的边缘,由于其配置于摄像机构5的近位侧,因此通过第二基板2的地址点亮来提高对比度,从而能够充分地检测边缘。
以上,参照图式对本发明的实施方式所涉及的显示基板的贴合装置及贴合方法进行了详细说明,但是具体的结构并不限于这些实施例,在不脱离本发明主旨的范围内的设计变更等也包含在本发明中。
例如,本发明作为对象的显示体构成要素图案形成到基板端部附近的基板并不限定于无边框基板,也可以为窄边框的基板。即,不仅在无法设置对准标记的基板上,难以设置对准标记的基板也视为本发明的对象。换言之,只要是利用基板原本具有的固有特征(LED或混色防止用隔壁)进行位置对准的方式,则包含在本发明的技术思想中。
如此,应当充分理解,本发明的技术思想在于利用在显示基板上整齐排列显示体构成要素图案来进行位置对准。
符号说明
100-显示基板的贴合装置,1-第一基板,11-混色防止用隔壁,12-透明基板(黑矩阵基板),13-彩色滤光片(颜色转换元件),2-第二基板,21-LED,22-粘结层,23-电极形成层,24-显示用布线基板,3-上底板,4-下底板,5-摄像机构,6-真空腔室,61-上腔室部件,62-下腔室部件。

Claims (9)

1.一种显示基板的贴合装置,其进行显示体构成要素图案形成到基板端部附近的第一基板与显示体构成要素图案形成到基板端部附近的第二基板的贴合,其特征在于,
具备摄像机构、图像识别机构及位置对准调整机构,
所述图像识别机构根据所述摄像机构拍摄到的所述第一基板的特征及所述第二基板的特征计算第一基板的第一基准点和第二基板的第二基准点,
所述位置对准调整机构进行使两个基板的位置在平面方向上偏移的状态下的预备处理,以便能够同时观察所述第一基准点和所述第二基准点,然后完成位置对准,并且进行贴合。
2.根据权利要求1所述的显示基板的贴合装置,其特征在于,
所述预备处理是以使所述第一基准点与所述第二基准点的平面方向的偏移量成为规定值的方式移动工作台的位置调整处理,
所述位置对准调整机构以使所述规定值的偏移量成为零的方式移动工作台,并且进行贴合。
3.根据权利要求1所述的显示基板的贴合装置,其特征在于,
所述预备处理是检测所述第一基准点和所述第二基准点的平面方向的偏移量的处理,
所述位置对准调整机构以使检测到的偏移量成为零的方式移动工作台,并且进行贴合。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的显示基板的贴合装置,其特征在于,
当所述摄像机构无法同时观察所述第一基板和所述第二基板的特征时,所述位置对准调整机构移动工作台以便能够同时观察它们的特征。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的显示基板的贴合装置,其特征在于,
所述第一基板的特征和所述第二基板的特征的其中一个是发光元件,另一个是彩色滤光片、颜色转换元件、护罩玻璃、混色防止用隔壁、黑矩阵基板中的至少一个。
6.根据权利要求5所述的显示基板的贴合装置,其特征在于,
所述第一基准点和所述第二基准点根据位于所述第一基板的基板端部的一个特征及位于所述第二基板的基板端部的一个特征来计算。
7.根据权利要求5所述的显示基板的贴合装置,其特征在于,
所述第一基准点和所述第二基准点根据位于所述第一基板的基板端部的多个特征及位于所述第二基板的基板端部的多个特征来计算。
8.一种显示基板的贴合装置,其进行形成有显示体构成要素图案的第一基板与形成有显示体构成要素图案的第二基板的贴合,其特征在于,
具备摄像机构、图像识别机构及位置对准调整机构,
所述图像识别机构根据所述摄像机构拍摄到的所述第一基板原本具有的固有的特征及所述第二基板原本具有的固有的特征计算第一基板的第一基准点和第二基板的第二基准点,
所述位置对准调整机构进行使两个基板的位置在平面方向上偏移的状态下的预备处理,以便能够同时观察所述第一基准点和所述第二基准点,然后完成位置对准,并且进行贴合。
9.一种显示基板的贴合方法,其进行显示体构成要素图案形成到基板端部附近的第一基板与显示体构成要素图案形成到基板端部附近的第二基板的贴合,其特征在于,至少包括:
在使两个基板的位置偏移的状态下以使平面方向的偏移量成为规定值的方式进行预备的位置调整,以便能够同时观察所述第一基板的特征及所述第二基板的特征的工序;
接着,以使偏移量成为零的方式移动工作台的工序。
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