KR101255107B1 - 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치 - Google Patents

플렉서블 액정 디스플레이 제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치에 관한 것으로, 제1플렉서블기판을 이송시키는 텐션롤러부와, 제1플렉서블기판이 안착되는 하판부와, 하판부에 안착되고 제2플렉서블기판이 부착되는 상판부 및 상판부와 하판부 사이에 형성되는 진공챔버의 공기를 외부로 배출하는 진공부를 포함한다.
본 발명에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치는 텐션롤러부가 제1플렉서블기판의 텐션을 조절하여 제1플렉서블기판이 하판부에 안정적으로 안착될 수 있다.

Description

플렉서블 액정 디스플레이 제조장치{DEVICE FOR FABRICATING FLEXIBLE LIQUID CRYSTAL DISPLAY}
본 발명은 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 롤투롤(Roll to Roll) 방식의 진공 합착 공정에서 공정시간과 불량률을 낮추는 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치에 관한 것이다.
플렉서블 디스플레이(Flexible display)는 플라스틱 등 휠 수 있는 기판에 만들어진 평판 디스플레이로, 우수한 표시특성을 그대로 가지면서 접거나 구부리거나 두루마리 형태로 변형이 가능하기 때문에 현재의 평판 디스플레이 시장의 차세대 기술로 전세계적인 관심이 증대되고 있다.
플렉서블 디스플레이란 기존의 디스플레이 특성의 손실없이 종이와 같이 수 센티미터 이내로 휘거나, 구부리거나, 말 수 있는 얇고 유연한 기판을 사용하여 제조된 디스플레이이며, 기존의 유리기판 등을 사용하여 딱딱한 디스플레이와는 달리 가볍고, 얇고, 내충격성이 강하며, 구부림을 자유롭게 할 수 있는 디스플레이이다. 플렉서블 디스플레이는 용도 및 기능으로 깨지지 않는(rugged) 디스플레이, 굽혀지는(bending) 디스플레이, 두루마리가 가능한(rollable) 디스플레이로 구별할 수 있다. 가볍고, 견고하며, 구부림이 가능한 디스플레이는 DMB, WiBro, PDA 등 휴대화되고 있는 고품위 모바일용으로 적용될 수 있으며, 향후 두루마리형 디스플레이로 발전될 전망이다.
플렉서블 액정 디스플레이의 생산성을 개선하기 위해 롤투롤(roll to roll) 방식이 사용된다. 이러한 방식은 상판과 하판에 모두 롤을 적용한다.
한편, 본 발명의 배경기술은 대한민국 공개특허공보 2003-0077063호(2003.10.01 공개, 발명의 명칭: 액정표시소자의 진공 합착 장치)에 개시되어 있다.
종래의 롤투롤 방식에서는 진공 합착 과정에서 플렉서블기판이 안정적으로 고정되지 않아 플렉서블기판의 불량이 빈번하게 발생하는 문제점이 있다.
따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로서, 플렉서블기판이 안정적으로 고정되어 진공 합착 과정에서의 기판 불량을 억제하는 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 제1플렉서블기판을 이송시키는 텐션롤러부; 상기 제1플렉서블기판이 안착되는 하판부; 상기 하판부에 안착되고, 제2플렉서블기판이 부착되는 상판부; 및 상기 상판부와 상기 하판부 사이에 형성되는 진공챔버의 공기를 외부로 배출하는 진공부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치를 제공한다.
상기 텐션롤러부는 상기 제1플렉서블기판을 이송시키는 한 쌍의 지지롤러; 및 상기 지지롤러 사이에 위치되고, 상하 이동되어 상기 제1플렉서블기판의 텐션을 조절하는 상하롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 하판부는 상기 제1플렉서블기판이 안착되는 하부베이스; 및 상기 하부베이스에 구비되어 상기 제1플렉서블기판을 고정시키는 하부정전척을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 상판부는 상기 하부베이스에 안착되는 상부베이스; 상기 상부베이스에 장착되어 상하 이동되는 작동체; 상기 작동체의 하단부에 결합되고, 상기 상부베이스의 내부에 위치되는 작동판; 및 상기 작동판에 구비되어 상기 제2플렉서블기판을 고정시키는 상부정전척을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 진공부는 상기 하부베이스의 상측면에 노출되는 복수의 하부관; 상기 하부관 각각이 연통되는 수렴관; 상기 상부베이스를 관통하는 상부관; 상기 상부관에 밀착되는 밀착관; 상기 밀착관과 상기 수렴관에 연결되는 배출관; 및 상기 배출관과 연결되는 진공펌프를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 밀착관은 주름진 형상을 하여 길이가 가변되는 것을 특징으로 한다.
상기 진공부는 상기 상부베이스와 상기 하부베이스에 장착되어 상기 제1플렉서블기판과 밀착되는 실링부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 실링부는 상기 상부베이스와 상기 하부베이스에 각각 장착되는 오링인 것을 특징으로 한다.
상기 오링은 이중으로 이격되어 배치되고, 상기 하부베이스에는 상기 오링 사이의 공기를 배출하는 오링진공관이 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 실링부는 상기 상부베이스와 상기 하부베이스에 각각 장착되는 공압실링인 것을 특징으로 한다.
상기 공압실링은 이중으로 이격되어 배치되고, 상기 하부베이스에는 상기 공압실링 사이의 공기를 배출하는 공압진공관이 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치는 하판부에 정전척이 형성되어 제1플렉서블기판이 안정적으로 고정되는 효과가 있다.
본 발명에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치는 상판부에 정전척이 형성되어 제2플렉서블기판이 안정적으로 고정되는 효과가 있다.
본 발명에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치는 텐션롤러부에 의해 제1플렉서블기판의 텐션이 조절됨으로써, 제1플렉서블기판이 하판부에 안착되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치에서 제1플렉서블기판에 텐션이 가해진 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치에서 제1플렉서블기판에 텐션이 해제된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치에서 상판부가 하판부에 안착된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치에서 하부베이스의 상측에 하부정전척이 결합된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치에서 실링부가 오링인 것을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치에서 실링부가 이중 오링인 것을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치에서 실링부가 공압실링인 것을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치에서 실링부가 이중 공압실링인 것을 개략적으로 나타내는 도면이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치의 실시예를 설명한다. 이러한 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로써, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치에서 제1플렉서블기판에 텐션이 가해진 상태를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치에서 제1플렉서블기판에 텐션이 해제된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치에서 상판부가 하판부에 안착된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치에서 하부베이스의 상측에 하부정전척이 결합된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치에서 실링부가 오링인 것을 개략적으로 나타내는 도면이며, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치에서 실링부가 이중 오링인 것을 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치에서 실링부가 공압실링인 것을 개략적으로 나타내는 도면이며, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치에서 실링부가 이중 공압실링인 것을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치(1)에는 텐션롤러부(10), 하판부(20), 상판부(30) 및 진공부(40)가 구비된다.
텐션롤러부(10)는 제1플렉서블기판(110)을 이송시킨다. 이러한 제1플렉서블기판(110)은 두루마리 형상을 하며, 텐션롤러부(10)를 통해 가공공정으로 이송된다. 한편, 텐션롤러부(10)는 제1플렉서블기판(110)에 텐션을 가하거나 해제하여 제1플렉서블기판(110)이 하판부(20)에 안착되도록 유도한다.
하판부(20)에는 제1플렉서블기판(110)이 안착되고, 상판부(30)는 하판부(20)의 상측에 안착된다. 이러한 하판부(20)와 상판부(30) 사이에는 진공챔버(50)가 형성된다.
한편, 상판부(30)에는 제2플렉서블기판(120)이 부착된다. 이러한 제2플렉서블기판(120)은 기판투입기(130)에 의해 상판부(30)와 하판부(20) 사이에 위치된 후 상판부(30)에 부착된다.
진공부(40)는 진공챔버(50)의 공기를 외부로 배출하여 진공챔버(50)를 진공상태로 유지시킨다.
본 발명의 일 실시예에 따른 텐션롤러부(10)에는 지지롤러(11) 및 상하롤러(12)가 구비된다.
지지롤러(11)는 한 쌍으로 이루어져 하판부(20)의 양측방향에 각각 위치된다. 이러한 지지롤러(11)는 한 쌍이 서로 이격되어 배치되며, 제1플렉서블기판(110)을 받쳐준다. 이때, 지지롤러(11)의 회전으로 제1플렉서블기판(110)이 이송된다.
상하롤러(12)는 지지롤러(11) 사이에 위치된다. 이러한 상하롤러(12)는 상하 방향으로 이동되어 제1플렉서블기판(110)의 텐션을 조절한다.
즉, 상하롤러(12)가 지지롤러(11) 사이에 위치되어 제1플렉서블기판(110)을 눌러주면, 제1플렉서블기판(110)에 텐션이 가해진다. 이로 인해 제1플렉서블기판(110)은 수평하게 이송된다(도 1 참조).
한편, 상하롤러(12)가 상승하여 제1플렉서블기판(110)에 대한 가압을 해제하면, 제1플렉서블기판(110)에 가해진 텐션이 해제된다. 이로 인해 텐션롤러부(10) 사이에 위치되는 제1플렉서블기판(110)가 하방으로 처져 하판부(20)에 안착된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 하판부(20)에는 하부베이스(21) 및 하부정전척(22)이 구비된다.
하부베이스(21)는 별도의 승강장치에 의해 높낮이가 가변될 수 있으며, 상측면에 제1플렉서블기판(110)이 안착된다.
하부정전척(22)은 하부베이스(21)에 구비된다. 이러한 하부정전척(22)이 제1플렉서블기판(110)을 하부베이스(21)에 고정시킨다.
하부정전척(22)은 하부베이스(21)의 상측면에 근접되어 내장된다. 그 외 하부베이스(21)가 하부정전척(22)이 될 수 있다. 그리하면, 하부베이스(21) 자체가 정전척(ESC; electrostatic chuck)이 된다.
한편, 본 발명의 다른 실시예로, 하부정전척(22`)은 하부베이스(21`)의 상측에 결합될 수 있다(도 4 참조).
본 발명의 일 실시예에 따른 상판부(30)에는 상부베이스(31), 작동체(32), 작동판(33) 및 상부정전척(34)이 구비된다.
상부베이스(31)는 승강기에 의해 상하 이동되고, 하부베이스(21)의 상측면에 안착된다.
작동체(32)는 상부베이스(31)에 장착되어 상하 이동되고, 작동판(33)은 작동체(32)의 하단부에 결합된다. 이러한 작동판(33)은 상부베이스(31)의 내부에 위치되고, 작동체(32)의 구동에 의해 상하로 이동된다.
상부정전척(34)은 작동판(33)에 구비된다. 이러한 상부정전척(34)은 제2플렉서블기판(120)을 작동판(33)에 고정시킨다.
상부정전척(34)은 상부베이스(31)의 하측면에 근접되어 내장된다. 그 외 상부베이스(31)가 상부정전척(34)이 될 수 있다. 그리하면, 상부베이스(21) 자체가 정전척이 된다.
한편, 하부정전척(22)과 상부정전척(34)은 정전기의 힘을 사용해 기판을 고정시키는 것으로서, 전원이 인가됨에 따라 대상물에 해당되는 기판에는 반대의 전위가 대전되어 서로 끌어당기게 되는 원리를 이용한 것이다.
이러한 하부정전척(22)과 상부정전척(34)은 대상 기판에 반대 전위를 생성시키면 충분하므로 다양한 형상으로 제조될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 진공부(40)에는 하부관(41), 수렴관(42), 상부관(43), 밀착관(44), 배출관(45) 및 진공펌프(46)가 구비된다.
하부관(41)은 하부베이스(21)를 관통하여 하부베이스(21)의 상측면에 노출된다. 이러한 하부관(41)은 복수개로 이루어진다. 수렴관(42)은 각각의 하부관(41)과 연통된다.
본 발명의 다른 실시예로, 하부정전척(22`)이 하부베이스(21`)의 상측에 결합되는 경우, 하부관(41`)은 하부정전척(22`)을 관통하여 하부정전척(22`)의 상측면에 노출되고, 복수개로 이루어진다. 그리고, 수렴관(42`)은 각각의 하부관(41`)과 연통된다(도 4 참조).
상부관(43)은 상부베이스(31)의 측면을 관통하고, 밀착관(44)은 상부관(43)에 밀착되어 연결된 상태를 유지한다.
밀착관(44)은 주름진 관 형상을 하여 길이가 가변된다. 이로 인해 상부베이스(31)가 상하로 이동되더라도 밀착관(44)은 상부관(43)과 연결된 상태를 유지한다.
그 외 밀착관(44)은 상부베이스(31)가 하부베이스(21)에 안착된 후 상부관(43)으로 이동되어 상부관(43)과 연결된 상태를 유지할 수 있다.
배출관(45)은 수렴관(42)에 일단부가 연결되고 진공펌프(46)에 타단부가 연결된다. 또한, 배출관(45)은 밀착관(44)에 일단부가 연결되고 진공펌프(46)에 타단부가 연결된다.
진공펌프(46)는 공기를 흡입한다. 이러한 진공펌프(46)의 구동에 의해 진공챔버(50)의 공기가 외부로 배출되어 진공챔버(50)가 진공상태를 유지한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 진공부(40)에는 실링부(70)가 더 구비된다. 이러한 실링부(70)는 하부베이스(21)와 상부베이스(31)에 각각 장착되어 제1플렉서블기판(110)과 밀착됨으로써, 공기의 출입을 차단한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 실링부(70)로는 하부베이스(21)와 상부베이스(31)에 각각 장착되는 오링(71)을 사용한다(도 5 참조). 이러한 오링(71)은 제1플렉서블기판(110) 보다 작아 제1플렉서블기판(110)이 오링(71) 전체를 덮는 경우에 적합하다.
오링(71)은 하부베이스(21) 및 상부베이스(31)에 형성되는 설치홈(72)에 삽입되고 제1플렉서블기판(110)에 밀착된다.
이때, 오링(71)은 상하 수직선상에 배치되어 서로 마주보거나(도 5a 참조), 대각선상에 위치되도록 지그재그로 배치(도 5b 참조)될 수 있다.
한편, 제1플렉서블기판(110)이 오링(71) 보다 작아 제1플렉서블기판(110)이 오링(71) 전체를 덮지 못하는 경우, 제1플렉서블기판(110)이 오링(71)에 걸치게 되어 공기 출입이 발생할 가능성이 높으므로, 오링(71)은 이중으로 이격되어 배치된다(도 6 참조).
이때, 오링(71)은 각각 상하 수직선상에 배치되어 서로 마주보거나(도 6a 참조), 각각 대각선상에 위치되도록 지그재그로 배치(도 6b 참조)될 수 있다.
오링(71)이 이중으로 배치되는 경우, 하부베이스(21)에는 오링(71) 사이의 공기를 배출하여 진공상태를 유지하기 위한 오링진공관(73)이 형성된다. 이러한 오링진공관(73)에는 펌프가 연결되어 오링(71) 사이의 공기를 흡입한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 실링부(70)로는 하부베이스(21)와 상부베이스(31)에 각각 장착되는 공압실링(75)을 사용한다(도 7 참조). 이러한 공압실링(75)은 제1플렉서블기판(110) 보다 작아 제1플렉서블기판(110)이 공압실링(75) 전체를 덮는 경우에 적합하다.
공압실링(75)은 하부베이스(21) 및 상부베이스(31)에 형성되는 장착홈(76)에 삽입되고, 공압을 제공하는 공압관(77)과 연결된다.
따라서, 공압관(77)을 통해 공압이 공압실링(75)에 공급되면, 공압실링(75)은 팽창하여 제1플렉서블기판(110)에 밀착된다. 이러한 공압실링(75)은 장착홈(76)에 삽입되어 제1플렉서블기판(110)의 훼손을 억제한다.
공압실링(75)은 상하 수직선상에 배치되어 서로 마주보거나(도 7a 참조), 대각선상에 위치되도록 지그재그로 배치(도 7b 참조)될 수 있다.
한편, 제1플렉서블기판(110)이 공압실링(75) 보다 작아 제1플렉서블기판(110)이 공압실링(75) 전체를 덮지 못하는 경우, 제1플렉서블기판(110)이 공압실링(75)에 걸치게 되어 공기 출입이 발생할 가능성이 높으므로, 공압실링(75)은 이중으로 이격되어 배치된다(도 8 참조).
이때, 공압실링(75)은 각각 상하 수직선상에 배치되어 서로 마주보거나(도 8a 참조), 각각 대각선상에 위치되도록 지그재그로 배치(도 8b 참조)될 수 있다.
공압실링(75)이 이중으로 배치되는 경우, 하부베이스(21)에는 공압실링(75) 사이의 공기를 배출하여 진공상태를 유지하기 위한 공압진공관(78)이 형성된다. 이러한 공압진공관(78)에는 펌프가 연결되어 공압실링(75) 사이의 공기를 흡입한다.
상기와 같은 구조를 갖는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.
하판부(20)의 상방에 상판부(30)가 위치되고, 텐션롤러부(10)에 의해 이송되는 제1플렉서블기판(110)은 하판부(20)와 상판부(30) 사이를 통과한다. 이때, 텐션롤러부(10)는 한 쌍이 하판부(20)의 양측에 각각 배치된다.
제2플렉서블기판(120)은 기판투입기(130)에 의해 하판부(20)와 상판부(30) 사이에 위치된다.
텐션롤러부(10)의 지지롤러(11) 사이에 상하롤러(12)가 위치되어 제1플렉서블기판(110)을 눌러주면, 하판부(20)와 상판부(30) 사이를 통과하는 제1플렉서블기판(110)에는 텐션이 가해져 팽팽해진다(도 1 참조).
상기한 상태에서, 상하롤러(12)가 상방으로 이동되어 제1플렉서블기판(120)에 대한 가압이 해제되면, 제1플렉서블기판(110)에 대한 텐션이 해제되어 텐션롤러부(10) 사이에 위치되는 제1플렉서블기판(110)이 아래로 처진다(도 2 참조).
이로 인해, 제1플렉서블기판(110)은 하부베이스(21)에 안착되고, 하부정전척(22)에 의해 하판부(20)에 안착된 상태를 유지한다.
제1플렉서블기판(110)이 하부베이스(21)에 안착되어 고정되면, 상판부(30)가 하강하여 하판부(20)에 안착된다(도 3 참조).
이때, 기판투입기(130)에 안착된 제2플렉서블기판(120)은 상판부(30)에 구비되는 하부정전척(34)에 의해 작동판(33)에 부착되고, 작동판(33)이 하방 이동됨에 따라 제1플렉서블기판(110)에 밀착된다.
상판부(30)가 하판부(20)에 안착되어 진공챔버(50)가 형성되면, 진공펌프(46)가 구동된다. 이러한 진공펌프(46)의 구동으로, 진공챔버(50) 내부의 공기가 외부로 배출되어 진공챔버(50)가 진공상태로 유지된다.
한편, 실링부(70)는 제1플렉서블기판(110)에 밀착되어 공기의 출입을 제한한다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
10 : 텐션롤러부 11 : 지지롤러
12 : 상하롤러 20 : 하판부
21 : 하부베이스 22 : 하부정전척
30 : 상판부 31 : 상부베이스
32 : 작동체 33 : 작동판
34 : 하부정전척 40 : 진공부
41 : 하부관 42 : 수렴관
43 : 상부관 44 : 밀착관
50 : 진공챔버 110 : 제1플렉서블기판
120 : 제2플렉서블기판 130 : 기판투입기

Claims (11)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1플렉서블기판을 이송시키는 텐션롤러부;
    상기 제1플렉서블기판이 안착되는 하판부;
    상기 하판부에 안착되고, 제2플렉서블기판이 부착되는 상판부; 및
    상기 상판부와 상기 하판부 사이에 형성되는 진공챔버의 공기를 외부로 배출하는 진공부를 포함하고,
    상기 텐션롤러부는
    상기 제1플렉서블기판을 이송시키는 한 쌍의 지지롤러; 및
    상기 지지롤러 사이에 위치되고, 상하 이동되어 상기 제1플렉서블기판의 텐션을 조절하는 상하롤러를 포함하며,
    상기 하판부는
    상기 제1플렉서블기판이 안착되는 하부베이스; 및
    상기 하부베이스에 구비되어 상기 제1플렉서블기판을 고정시키는 하부정전척을 포함하고,
    상기 상판부는
    상기 하부베이스에 안착되는 상부베이스;
    상기 상부베이스에 장착되어 상하 이동되는 작동체;
    상기 작동체의 하단부에 결합되고, 상기 상부베이스의 내부에 위치되는 작동판; 및
    상기 작동판에 구비되어 상기 제2플렉서블기판을 고정시키는 상부정전척을 포함하며,
    상기 진공부는
    상기 하부베이스의 상측면에 노출되는 복수의 하부관;
    상기 하부관 각각이 연통되는 수렴관;
    상기 상부베이스를 관통하는 상부관;
    상기 상부관에 밀착되는 밀착관;
    상기 밀착관과 상기 수렴관에 연결되는 배출관; 및
    상기 배출관과 연결되는 진공펌프를 포함하고,
    상기 밀착관은 주름진 형상을 하여 길이가 가변되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치.
  6. 삭제
  7. 제 5항에 있어서, 상기 진공부는
    상기 상부베이스와 상기 하부베이스에 장착되어 상기 제1플렉서블기판과 밀착되는 실링부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 실링부는 상기 상부베이스와 상기 하부베이스에 각각 장착되는 오링인 것을 특징으로 하는 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 오링은 이중으로 이격되어 배치되고,
    상기 하부베이스에는 상기 오링 사이의 공기를 배출하는 오링진공관이 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치.
  10. 제 7항에 있어서,
    상기 실링부는 상기 상부베이스와 상기 하부베이스에 각각 장착되는 공압실링인 것을 특징으로 하는 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 공압실링은 이중으로 이격되어 배치되고,
    상기 하부베이스에는 상기 공압실링 사이의 공기를 배출하는 공압진공관이 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 액정 디스플레이 제조장치.
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