CN1799707A - 具有预涂敷单元的狭缝涂布机以及使用其的涂布方法 - Google Patents

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Abstract

具有预涂敷单元的狭缝涂布机以及使用其的涂布方法，其通过使用涂布溶液分离装置将附着于预涂敷辊的涂布溶液从清洗溶液分离，从而最小化清洗溶液使用量并改善了对辊的清洗效果。所述狭缝涂布机包括：待处理对象安装于其上的操作台；狭缝喷嘴，将涂布溶液涂敷到所述对象的表面上；预涂敷单元，狭缝喷嘴对其预涂敷涂布溶液；以及涂布溶液分离单元，其分离从狭缝喷嘴预涂敷涂布溶液时散布的涂布溶液并排出分离的涂布溶液。

Description

具有预涂敷单元的狭缝涂布机以及使用其的涂布方法
技术领域
本发明总体上涉及于狭缝涂布机(slit coater)，更具体地，涉及用于将诸如感光溶液、显影剂溶液、以及滤色剂的涂布溶液涂敷到诸如半导体晶片、平板显示(FPD)器件的玻璃基板或者塑料基板的待处理对象上的狭缝涂布机和使用该狭缝涂布机的涂布方法。
背景技术
当制造平板显示器件或者半导体器件时，多次执行薄膜淀积工艺、对在薄膜中选择的区域进行曝光的光刻工艺、以及去除所选择区域的薄膜的刻蚀工艺。特别地，光刻工艺包括用于在基板或者晶片上形成诸如光刻胶的感光溶液的感光膜的涂布工艺、以及用于通过使用具有预定图案的掩模对感光膜进行构图的曝光和显影工艺。
通常，用于在基板和晶片上形成感光膜的涂布工艺使用喷涂方法、辊涂方法、旋涂方法等。
因为喷涂方法和辊涂方法不适于实现涂布膜均匀性和膜厚度调节的高精度，所以将旋涂方法用于形成高精度图案。
现在参照附图详细地描述旋涂方法中使用的旋涂机。
图1是例示出普通旋涂机的结构的剖面图。
如图所示，旋涂机包括连接到转轴6的旋转夹具5。罩7包围旋转夹具5并且可以打开和关闭。喷嘴4设置于旋转夹具5的上方并且在罩7打开时移动到罩7中。
待处理并被涂布感光膜的对象10安装在旋转夹具5上，在罩7的下部安装有用于将诸如光刻胶的感光溶液排出到外部的排出阀(未示出)。
为了在预定对象10上形成涂布膜，首先，具有上述结构的旋涂机的喷嘴4降低并向置于旋转夹具5上的对象10的表面上喷射将感光溶液。
当向对象10上喷射感光溶液时，密闭罩7，使电机(M)旋转，使与其连接的转轴6旋转，由此使具有对象10的旋转夹具5旋转一定次数。
当使旋转夹具5旋转时，通过离心力使对象10的表面上的感光溶液散布开，从而将感光溶液涂敷在对象10的整个表面上。
在将感光溶液涂敷在对象10的整个表面上之后，使所涂敷的感光溶液硬化。然后，通过使用光掩模等进行曝光和显影，在对象10的表面上形成预定图案。
尽管使用旋涂机的旋涂方法适合于对诸如晶片的小对象涂布感光膜，但是它不适合于对大且重的基板(例如具有用作液晶显示板的玻璃基板的平板显示器件)涂布感光膜。
这是因为随着基板变得更大且更重，高速旋转基板变得越来越困难。此外，当以高速旋转基板时可能发生对基板的损坏并且消耗大量能量。
此外，旋涂方法的不利之处在于：与在光刻工艺中使用的感光溶液量相比，浪费了相当量的感光溶液。具体地，在高速旋转的时候，大量感光溶液散落到旋转夹具之外并且浪费掉。实际上，浪费的溶液量远大于用于涂布的溶液量，并且散落的感光溶液可能形成污染薄膜形成工艺之后的光刻胶的颗粒。这些颗粒还可能导致环境污染。
发明内容
为了实现这些和其它优点并且根据本发明，如在此具体实施并广义描述的那样，提供了一种狭缝涂布机，包括：操作台(table)，待处理对象安装于其上；狭缝喷嘴，被构成为将涂布溶液涂敷到对象的表面上；预涂敷单元，其中狭缝喷嘴预涂敷涂布溶液；以及涂布溶液分离单元，被构成为分离预涂敷的涂布溶液并且排出预涂敷的涂布溶液。
为了实现这些和其它优点并且根据本发明，如在此具体实施并广义描述的那样，提供了一种使用狭缝涂布机来制造LCD基板的方法。该方法包括以下步骤：设置待处理对象安装于其上的操作台，并且设置被配置为向LCD基板的表面上涂敷涂布溶液的狭缝喷嘴。设置预涂敷单元，其包括：充有清洗溶液的清洗容器；设置在清洗容器中并被构成为从狭缝喷嘴接收预涂敷的涂布溶液的旋转辊；以及第一清洗溶液喷射喷嘴、第二清洗溶液喷射喷嘴和第三清洗溶液喷射喷嘴，各自被构成为分别向旋转辊的一侧、相对侧、以及下表面喷射清洗溶液。在预涂敷单元中设置涂布溶液分离单元，其中，涂布溶液分离单元的一个端部邻近旋转辊的表面、并且被构成为将旋转辊的表面上的涂布溶液与清洗溶液分离并排出分离的涂布溶液。设置清洗溶液提供单元，其被构成为向预涂敷单元提供清洗溶液。所述狭缝涂布机将涂布溶液涂敷到LCD基板。
根据本发明的另一方面，制造LCD器件的方法包括以下步骤：将基板装载到狭缝涂布机的操作台上，其中该狭缝涂布机包括狭缝喷嘴，并且将该狭缝喷嘴移动到预涂敷单元并预涂敷涂布溶液。该方法进一步包括分离并排出预涂敷的涂布溶液的步骤。将狭缝喷嘴移动到基板，使用狭缝喷嘴向基板涂布涂布溶液。
本发明的上述和其它目的、特征、方面以及优点将从以下结合附图的对本发明的详细描述中变得显而易见。
附图说明
附图被包括以提供对本发明的进一步理解，并且被并入并构成说明书的一部分，附图例示出本发明的实施例，并且与说明一起用于解释本发明的原理。
在图中：
图1是例示出普通旋涂机的结构的剖面图；
图2A和2B是例示出狭缝涂布机和狭缝涂布机对感光溶液的涂敷的基本概念的立体图；
图3是例示出根据本发明实施例的具有预涂敷单元的狭缝涂布机的示意性正视图；
图4是例示出图3的预涂敷单元的示意性剖面图；
图5是例示出狭缝喷嘴的结构的示意性剖面图；以及
图6是根据本发明实施例的包括预涂敷单元的线路系统的示意性平面图。
具体实施例
现在详细说明本发明的优选实施例，其示例在附图中例示出。
如上所述，通常，在半导体制造领域和平板显示器件的领域中需要光刻工艺，以将执行特定功能的薄膜(例如绝缘膜、金属薄膜、半导体薄膜等)构图为希望的形状。在此，在光刻工艺中使用与光发生化学反应的诸如光刻胶的感光溶液。
在其上形成有薄膜的基板上应该形成具有均匀厚度的感光膜，以便在处理期间不出现缺陷。例如，如果感光膜具有比指定厚度大的厚度，则不会刻蚀到应该被刻蚀的一部分薄膜，并且如果感光膜具有比指定厚度小的厚度，则过度地刻蚀薄膜。
此外，随着基板由于液晶显示(LCD)器件的液晶显示板的尺寸增加而变大，感光溶液的均匀涂敷已经成为最重要的问题之一。
根据本发明，采用其中通过使用狭缝喷嘴来涂敷一定量的感光溶液的喷嘴方法来代替旋转器。因为不再使用旋转器，所以将采用这种喷嘴方法的涂布装置称作不旋转涂布机。另选地，因为通过狭缝来涂敷感光溶液，所以使用术语“狭缝涂布机”。狭缝涂布机通过其长度大于宽度的具有狭缝形状的喷嘴来提供感光溶液，并且按平面形式将感光溶液涂敷到基板表面上，这使得狭缝涂布机适合于向大LCD器件涂敷感光溶液。
图2A和2B是例示出狭缝涂布机和狭缝涂布机对感光溶液的涂敷的基本概念的示例图。
如图所示，根据本发明的实施例，狭缝涂布机设置有具有狭长缝隙的狭缝喷嘴22。通过该狭缝喷嘴22提供感光溶液30，由此按平面形式将感光溶液30涂敷到基板100的表面上。
狭缝涂布机是通过条状的长狭缝喷嘴22将一定量的感光溶液30涂敷到基板100等的装置。狭缝涂布机通过精细的狭缝喷嘴22涂敷均匀量的感光溶液30，按恒定的速度从基板100的一侧向其另一侧移动，由此在基板100的表面上形成均匀的感光膜。
此外，因为狭缝涂布机可以将感光溶液30仅涂敷到基板100的希望表面上，所以与前述的旋涂机相比，可以没有浪费地使用涂布溶液。此外，因为狭缝涂布机可以按宽度长的平面形式来涂敷涂布溶液，所以其适用于大基板或者四边形基板。
标号40表示基板100安装于其上的操作台，箭头表示沿着狭缝喷嘴22移动的方向涂敷感光溶液30的方向。
由于根据本发明的狭缝涂布机具有用于在将涂布溶液涂敷到诸如玻璃基板的待处理对象之前或者之后执行预涂敷操作的预涂敷单元，所以稳定地保持散布条件以获得最佳散布条件。现在参照附图对此进行描述。
图3是根据本发明实施例的具有预涂敷单元的狭缝涂布机的示意性正视图。
如图所示，根据本实施例的狭缝涂布机包括：基板100安装于其上的操作台140；将诸如感光溶液的涂布溶液涂敷到基板100上的狭缝喷嘴单元120；以及安装在狭缝喷嘴单元120的两端并被配置为按恒定速度移动狭缝喷嘴120的驱动单元150。
驱动单元150包括安装在狭缝喷嘴单元120的两端并且使狭缝喷嘴单元120上下移动的一对Z轴驱动装置151，以及使狭缝喷嘴单元120按恒定速度在操作台140上前后移动以将感光溶液均匀地涂敷到基板100的表面的一对Y轴驱动装置152。
这里，各个Y轴驱动装置152可以包括电机(未示出)和诸如传送轨道和导轨的传送单元(未示出)。可以将非接触型线性电机用作所述电机。
将诸如玻璃基板的对象100安装到操作台140上，在操作台140内安装有用于将基板100从操作台140举起的多个腿(pin)141。设置于操作台140下方的板142支承腿141以通过板142的垂直运动将基板100安装到操作台140上或者从操作台140举起基板100。
狭缝喷嘴单元120包括位于基板100上方并横过基板100的喷嘴122和安装狭缝喷嘴122的头部121，并且所述喷嘴122具有长度与基板100的宽度对应的狭缝的形状。
尽管在附图中没有详细地示出，但狭缝喷嘴122包括喷嘴体、入口和出口，其中喷嘴体在其中具有用于存储感光溶液的容纳空间。入口形成在喷嘴体，出口形成在喷嘴体的面向基板100的表面。出口具有长度长于其宽度的狭缝形状。
狭缝喷嘴122涂敷感光溶液，通过Y轴驱动装置152从基板100的一侧向另一侧移动，由此将感光溶液均匀地涂敷到基板100的表面上。此外，也可以通过使基板100相对于保持在固定位置的狭缝喷嘴122滑动而向基板涂敷感光溶液。
尽管在附图中没有示出，但是在狭缝喷嘴单元120的头部121的顶端可以包括用于除去狭缝喷嘴122内的气泡的气泡出口。
当通过使用狭缝涂布机连续向多个基板的表面涂敷涂布溶液时，在涂敷处理之间的等待时段内狭缝喷嘴122内的涂布溶液的浓度增加。如果在这种状态下对下一基板100进行涂敷处理，则可能出现涂敷缺陷，例如在高浓度涂布溶液涂敷的涂布膜上产生垂直线或者裂缝。
因此，根据本发明的狭缝涂布机附加地包括用于进行预涂敷以使得在涂敷处理之前或者之后排出并丢弃狭缝喷嘴122内的高浓度涂布溶液的预涂敷单元160。因此，可以防止有缺陷的涂敷。现在参照附图对此进行详细描述。在附图中，采用预涂敷单元160安装在操作台140的前部的情况作为示例，但是本发明不限于此，本发明的预涂敷单元160可以安装在操作台140的后部或者侧面。
图4是根据本发明实施例的预涂敷单元160的示意性剖面图，它是从图3的预涂敷单元侧观察的。
如图所示，根据本实施例的预涂敷单元160包括：充有清洗溶液的清洗容器168；相对于清洗容器168水平设置的旋转辊165，其中旋转辊165的下部浸入清洗容器中的清洗溶液中并且其上部露出为靠近狭缝喷嘴122；以及向旋转辊165的表面喷射清洗溶液的清洗溶液喷射喷嘴166A至166C。
圆柱形旋转辊165的两端可旋转地安装在彼此面对并垂直地形成在清洗容器的底部的两个侧壁上。尽管在附图中未示出，但是在旋转辊165的轴的一端安装有驱动轮(pulley)，驱动轮与电机的旋转轴通过皮带耦合在一起，从而通过皮带将电机的驱动力传送到旋转辊165。
旋转辊165可以由诸如不锈钢、铝、钛等的金属形成。
如上所述，预涂敷单元160的清洗容器168中充有诸如高挥发性有机溶剂的清洗溶液，旋转辊165的下部浸入清洗溶液中。
此外，用于向旋转辊165的表面喷射清洗溶液的第一清洗溶液喷射喷嘴166A和第二清洗溶液喷射喷嘴166B安装在预涂敷单元160的两个侧壁上。第三清洗溶液喷射喷嘴166C安装在清洗容器168内旋转辊165的下方。
参照图5，将一定量的感光溶液预涂敷到预涂敷单元160的狭缝喷嘴122包括第一喷嘴体123A、第二喷嘴体123B、入口125以及出口126。
狭缝喷嘴122具有如下结构：其中，两个喷嘴体123A和123B相耦合，在第一喷嘴体123A与第二喷嘴体123B之间形成有用于临时存储一定量的感光溶液的容纳空间124，以均匀地喷射通过泵单元加压的感光溶液。
在例示出的实施例中，入口125形成在第二喷嘴体123B的上部并将感光溶液提供给容纳空间124，出口126具有长度长于其宽度的狭缝形状并形成在喷嘴体123A和123B的面对基板的下部，由此按平面形式将感光溶液涂敷到基板100的表面上。
通过非常薄的不锈钢垫片(shim)127来确定并维持第一喷嘴体123A与第二喷嘴体123B之间的间隙。
在涂敷处理之前或者之后，本实施例的预涂敷单元160可以防止前述的有缺陷涂敷。返回参照图4，在一个方法中，狭缝喷嘴122的出口126靠近旋转辊165的表面，将高浓度的感光溶液130’涂敷到预涂敷单元160，因此使具有特定浓度的感光溶液可以保留在狭缝喷嘴122中。
为了总是维持最佳的喷散条件，在将感光溶液涂敷到玻璃基板100之前或者之后，在狭缝喷嘴122的出口126与旋转辊165之间维持均匀间距的状态下通过出口126涂敷高浓度的感光溶液130’。
在例示出的实施例中，通过从第一清洗溶液喷射喷嘴166A喷射的清洗溶液来稀释涂敷到旋转辊165的表面上的感光溶液130’，然后通过形成在清洗容器168的左侧下端的感光溶液分离单元170将其排出到感光溶液排出部(第一排出部)。感光溶液分离单元170的一个端部与旋转辊165的表面相邻以将散布的感光溶液130’从清洗溶液中分离并排出感光溶液。
尽管在附图中采用将感光溶液分离单元170安装在清洗容器168的左侧下端的情况作为示例，但是本发明不限于此，其安装位置由旋转辊165旋转的方向确定。具体地，如果旋转辊165逆时针方向旋转，则感光溶液分离单元170如图4所示地安装在左侧，如果旋转辊165顺时针方向旋转，则感光溶液分离单元170可以安装在右侧。此外，感光溶液分离单元170可以安装在上侧或下侧以将感光溶液130’从清洗溶液中分离。
因为在预涂敷单元160的清洗容器168中总是停留一定量的清洗溶液，所以旋转辊165的一部分浸入清洗溶液中，从而可以清洗尚未被感光溶液分离单元170除去的一些感光溶液130’。
安装在清洗容器168下部的第三清洗溶液喷射喷嘴166C和安装在预涂敷单元160的右侧的第二清洗溶液喷射喷嘴166B用于稀释并且去除一些残留的感光溶液130’。分别安装在第二清洗溶液喷射喷嘴166B下方和上方的第一感光溶液去除单元167A和第二感光溶液去除单元167B用于去除残留的感光溶液130’和最后喷射的清洗溶液。
尽管在附图中采用第一感光溶液去除单元167A安装在清洗容器168的右侧壁的情况作为示例，但是本发明不限于此，第一感光溶液去除单元167A可以像第二感光溶液去除单元167B一样安装在预涂敷单元160的右侧壁。在预涂敷单元160的侧壁与安装有第一感光溶液去除单元167A的清洗容器168之间安装有用于排出清洗容器168内的多余清洗溶液的排出部(第二排出部)。
可以通过使用螺钉(screw)构件(未示出)作为介质将第一清洗溶液喷射喷嘴166A和第二清洗溶液喷射喷嘴166B安装在预涂敷单元160的侧壁上，可以将起泡喷嘴用作安装在清洗容器168的第三清洗溶液喷射喷嘴166C。
在一种起泡喷嘴清洗方法中，通过像放喷泉那样喷出一定量的清洗溶液并使用包括气体的气泡状清洗溶液来洗掉感光溶液130’，从而洗掉附着于旋转辊165的感光溶液130’。
在本实施例的预涂敷单元160中，感光溶液分离单元170的一个端部与预涂敷单元中的旋转辊165相邻，以将散布到旋转辊165表面的高浓度感光溶液130’从清洗溶液中分离并排出分离出的感光溶液130’。于是，高浓度感光溶液130’不与清洗溶液相混和，由此防止了感光溶液污染清洗溶液。结果，当再次使用清洗溶液时可以改善对旋转辊165的清洗效果，并且增加了重复使用清洗溶液的次数。
图6是根据本发明实施例的包括预涂敷单元的线路系统的示意性平面图。
如图所示，预涂敷单元160的系统包括：第一存储槽190A，用于存储新的干净的清洗溶液；第二存储槽190B，用于存储需要被收集和排出的用过的清洗溶液；多个泵195A至195C，用于在存储槽190A和190B与预涂敷单元160之间传送清洗溶液；以及各种控制装置，包括多个传感器197A和197B以及多个阀180A至180G。根据用户的选择，可以重复使用清洗溶液。
通过供给泵195A、以及安装在供给泵195A与第二清洗溶液喷射喷嘴166B之间的用于过滤杂质的第一过滤器196A和第一阀180A的操作，将存储在第一存储槽190A中的新清洗溶液提供给预涂敷单元160的第二清洗溶液喷射喷嘴166B。
在例示出的实施例中，用于测量清洗溶液的剩余量的第一液面传感器197A附接到第一存储槽190A，并且在检测到清洗溶液不足时向控制装置(未示出)发送信号。当控制装置向第七阀180G发送该信号时，第一存储槽从清洗溶液提供单元接收新的清洗溶液。
将通过清洗溶液提供单元充入第一存储槽190A的新清洗溶液提供给第二清洗溶液喷射喷嘴166B，以仅仅用于对旋转辊165的最后清洗。
将第二清洗溶液喷射喷嘴166B喷射的一些清洗溶液引入排出部(图4所示的第二排出部)，并且通过排出泵195B将其收集在第二存储槽190B中。清洗容器168内的用过的清洗溶液也通过排出泵195B存储在第二存储槽190B中。
可以通过传送泵195C将排出泵195B收集在第二存储槽190B中的清洗溶液提供给用于清洗旋转辊165的下部的第三清洗溶液喷射喷嘴166C，或者通过将其提供给形成在左侧上端的第一清洗溶液喷射喷嘴166A来对其进行重复使用以稀释感光溶液。
已经用于通过第一清洗溶液喷射喷嘴166A以稀释高浓度感光溶液的清洗溶液在进行了稀释之后立即排出。
在例示出的实施例中，第三阀180C和用于对提供给排出泵195B的清洗溶液进行过滤的第二过滤器196B安装在传送泵195C与第三清洗溶液喷射喷嘴166C之间。第四阀180D安装在清洗容器168与排出泵195B之间，并且第五阀180E安装在第二排出部与排出泵195B之间。
此外，第二阀180B和第六阀180F安装在第二过滤器196B与第一清洗溶液喷射喷嘴166A之间。根据用户的选择，清洗溶液可以通过第六阀180F排出到清洗溶液排出部(第三排出部)而不是被重复使用。
与现有技术相比，本发明的预涂敷单元通过根据对清洗溶液的使用来进行分离清洗，可以大大地改善清洗效率。此外，仅将曾经用于清洗旋转辊的清洗溶液中的用于稀释感光溶液的清洗溶液排出，并且总是仅用新的干净的清洗溶液来进行最后的清洗，从而可以最大化清洗效果。
此外，因为用于旋转辊的下部的清洗溶液也处于过滤了感光溶液的状态，所以可以将清洗溶液保持得更干净。
由于本发明可以在不脱离其精神或者本质特性的情况下实现为多种形式，所以应该理解，上述实施例不受上述描述的任何细节所限，而是应该广义地理解为处于如所附权利要求所限定的其精神和范围之内，因此所附权利要求旨在包括落入权利要求的边界和范围内或者这种边界和范围的等同物内的全部修改和变化。

Claims (32)

1、一种狭缝涂布机，包括：
待处理对象被安装于其上的操作台；
狭缝喷嘴，被构成为将涂布溶液涂敷到所述对象的表面上；
预涂敷单元，在该预涂敷单元中狭缝喷嘴预涂敷涂布溶液；以及涂布溶液分离单元，其分离出预涂敷的涂布溶液并排出所述预涂敷的涂布溶液。
2、根据权利要求1所述的狭缝涂布机，进一步包括：清洗容器和存储槽，所述存储槽被构成为从所述清洗容器收集用过的清洗溶液并存储所述用过的清洗溶液；以及
传送泵，被构成为将所述用过的清洗溶液提供给预涂敷单元中的清洗溶液喷射喷嘴。
3、根据权利要求1所述的狭缝涂布机，其中，涂布溶液包括感光溶液、显影溶液、或者滤色剂中的一种。
4、根据权利要求1所述的狭缝涂布机，其中，狭缝喷嘴包括长度长于其宽度的缝隙。
5、根据权利要求1所述的狭缝涂布机，其中，预涂敷单元安装在从操作台的前面或者后面中的一个选择的位置。
6、根据权利要求1所述的狭缝涂布机，其中，预涂敷单元包括：
清洗容器，充有清洗溶液；
设置在清洗容器中的旋转辊，从狭缝喷嘴向其预涂敷涂布溶液；以及
至少一个清洗溶液喷射喷嘴，被构成为将清洗溶液喷射到旋转辊上。
7、根据权利要求6所述的狭缝涂布机，其中，旋转辊相对于清洗容器水平地设置，并且其中，旋转辊的下部浸入清洗溶液中，上部露出以能够靠近狭缝喷嘴。
8、根据权利要求6所述的狭缝涂布机，其中，所述至少一个清洗溶液喷射喷嘴包括第一清洗溶液喷射喷嘴，所述第一清洗溶液喷射喷嘴设置在预涂敷单元的侧壁、并且被构成为对从狭缝喷嘴预涂敷到旋转辊的表面的涂布溶液进行稀释。
9、根据权利要求6所述的狭缝涂布机，其中，预涂敷单元进一步包括在预涂敷单元中的涂布溶液分离单元，其中所述涂布溶液分离单元的一个端部与旋转辊的表面相邻并且被构成为将旋转辊的表面上的涂布溶液从清洗溶液中分离并排出分离出的涂布溶液。
10、根据权利要求6所述的狭缝涂布机，其中，所述至少一个清洗溶液喷射喷嘴进一步包括第二清洗溶液喷射喷嘴，所述第二清洗溶液喷射喷嘴在清洗容器内、并且被构成为在涂布溶液分离单元分离了预涂敷的涂布溶液之后对残留在旋转辊的表面上的涂布溶液进行稀释。
11、根据权利要求10所述的狭缝涂布机，其中，所述至少一个清洗溶液喷射喷嘴进一步包括第三清洗溶液喷射喷嘴，所述第三清洗溶液喷射喷嘴被构成为在第二清洗溶液喷射喷嘴进行了稀释操作之后对残留在旋转辊的表面上的涂布溶液进行稀释。
12、一种使用狭缝涂布机制造液晶显示器基板的方法，所述方法包括以下步骤：
设置液晶显示器基板被安装于其上的操作台；
设置狭缝喷嘴，将所述狭缝喷嘴构成为将涂布溶液涂敷到液晶显示器基板的表面上；
设置预涂敷单元，所述预涂敷单元包括：充有清洗溶液的清洗容器；设置在清洗容器中并被构成为从狭缝喷嘴接收预涂敷的涂布溶液的旋转辊；以及第一清洗溶液喷射喷嘴、第二清洗溶液喷射喷嘴和第三清洗溶液喷射喷嘴，各自被构成为分别向旋转辊的一侧、相对侧、和下表面喷射清洗溶液；
在预涂敷单元中设置涂布溶液分离单元，其中涂布溶液分离单元的一个端部与旋转辊的表面相邻、并且被构成为将旋转辊的表面上的涂布溶液从清洗溶液分离并排出分离出的涂布溶液；
设置清洗溶液提供单元，将所述清洗溶液提供单元构成为向预涂敷单元提供清洗溶液；以及
将涂布溶液涂敷到液晶显示器基板。
13、根据权利要求12所述的方法，进一步包括以下步骤：
设置存储槽，将所述存储槽构成为从清洗溶液提供单元接收清洗溶液并存储所述清洗溶液；以及
设置供给泵，将所述供给泵构成为将所述清洗溶液提供给第二清洗溶液喷射喷嘴。
14、根据权利要求13所述的方法，进一步包括以下步骤：
设置将供给泵连接到第二清洗溶液喷射喷嘴的线路；以及
在所述线路中设置过滤器，将所述过滤器构成为基本上去除清洗溶液中的杂质。
15、根据权利要求12所述的方法，进一步包括以下步骤：
设置存储槽，将所述存储槽构成为从清洗容器收集用过的清洗溶液并存储所述用过的清洗溶液；以及
设置传送泵，将所述传送泵构成为将所述用过的清洗溶液提供给第一清洗溶液喷射喷嘴和第三清洗溶液喷射喷嘴。
16、根据权利要求15所述的方法，进一步包括以下步骤：
设置将传送泵连接到第三清洗溶液喷射喷嘴的线路；以及
在所述线路中设置过滤器，将所述过滤器构成为基本上从清洗溶液中去除杂质。
17、根据权利要求15所述的方法，进一步包括设置清洗溶液排出部的步骤，将所述清洗溶液排出部构成为排出用过的清洗溶液。
18、根据权利要求12所述的方法，其中，将旋转辊构成为按逆时针方向旋转，并且其中，将涂布溶液分离单元设置于预涂敷单元的左下部。
19、根据权利要求12所述的方法，其中，将旋转辊构成为按顺时针方向旋转，并且其中，将涂布溶液分离单元设置于预涂敷单元的右下部。
20、根据权利要求12所述的方法，进一步包括在清洗容器与预涂敷单元的侧壁之间设置排出部的步骤，将所述排出部构成为排出清洗容器内的多余清洗溶液。
21、根据权利要求12所述的方法，其中，清洗溶液包括高挥发性有机溶剂。
22、一种用于制造液晶显示器件的方法，所述方法包括以下步骤：
(a)将基板装载到狭缝涂布机的操作台上，其中所述狭缝涂布机包括狭缝喷嘴；
(b)将狭缝喷嘴移动到预涂敷单元并预涂敷涂布溶液；
(c)分离并排出预涂敷的涂布溶液；
(d)将狭缝喷嘴移动到基板；以及
(e)使用狭缝喷嘴将涂布溶液涂布到基板。
23、根据权利要求22所述的方法，其中，在步骤(b)和(c)之后执行步骤(a)、(d)以及(e)。
24、根据权利要求22所述的方法，其中，所述方法进一步包括将涂布溶液预涂敷到位于预涂敷单元中的旋转辊的步骤，从狭缝喷嘴将涂布溶液预涂敷到旋转辊的表面上。
25、根据权利要求24所述的方法，其中，所述方法进一步包括使用对预涂敷到旋转辊的表面的涂布溶液进行稀释的第一清洗溶液喷射喷嘴来稀释涂布溶液的步骤。
26、根据权利要求25所述的方法，其中，预涂敷单元包括涂布溶液分离单元，所述涂布溶液分离单元分离旋转辊的表面上的涂布溶液并将分离出的涂布溶液排出到涂布溶液排出部。
27、根据权利要求26所述的方法，其中，所述方法进一步包括通过充有清洗溶液的清洗溶液容器在涂布溶液分离单元的分离操作之后对残留在旋转辊的表面上的涂布溶液进行稀释的步骤。
28、根据权利要求26所述的方法，其中，预涂敷单元进一步包括第二清洗溶液喷射喷嘴，所述第二清洗溶液喷射喷嘴在清洗容器内并被构成为在分离了预涂敷的涂布溶液之后对残留在旋转辊表面上的涂布溶液进行稀释。
29、根据权利要求28所述的方法，其中，预涂敷单元进一步包括第三清洗溶液喷射喷嘴，所述第三清洗溶液喷射喷嘴被构成为在利用第二清洗溶液喷射喷嘴稀释了涂布溶液之后对残留在旋转辊表面上的涂布溶液进行稀释。
30、根据权利要求22所述的方法，进一步包括设置驱动单元并且在基板上按预定方向驱动狭缝喷嘴的步骤。
31、根据权利要求22所述的方法，进一步包括以下步骤：
设置存储槽，将所述存储槽构成为从清洗容器收集用过的清洗溶液并存储所述用过的清洗溶液；以及
设置传送泵，将所述传送泵构成为将所述用过的清洗溶液提供给第一清洗溶液喷射喷嘴和第二清洗溶液喷射喷嘴。
32、根据权利要求31所述的方法，进一步包括在连接传送泵与第二清洗溶液喷射喷嘴的线路中设置过滤器的步骤，将所述过滤器构成为从所述用过的清洗溶液中基本上去除杂质。
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