JP3381216B2 - 塗布ノズルの洗浄装置 - Google Patents
塗布ノズルの洗浄装置Info
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- JP3381216B2 JP3381216B2 JP17757996A JP17757996A JP3381216B2 JP 3381216 B2 JP3381216 B2 JP 3381216B2 JP 17757996 A JP17757996 A JP 17757996A JP 17757996 A JP17757996 A JP 17757996A JP 3381216 B2 JP3381216 B2 JP 3381216B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウェーハやガ
ラス基板等の板状被処理物表面に塗布液を一定幅で塗布
するための塗布ノズルを洗浄する装置に関する。
ラス基板等の板状被処理物表面に塗布液を一定幅で塗布
するための塗布ノズルを洗浄する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェーハやガラス基板等の板状被
処理物表面にレジスト液等を塗布するには、スピンナー
上に載置した被処理物の中心部にノズルから塗布液を滴
下し、スピンナーによって被処理物を回転させることで
発生する遠心力で塗布液を外方に向けて拡散せしめるよ
うにしている。
処理物表面にレジスト液等を塗布するには、スピンナー
上に載置した被処理物の中心部にノズルから塗布液を滴
下し、スピンナーによって被処理物を回転させることで
発生する遠心力で塗布液を外方に向けて拡散せしめるよ
うにしている。
【０００３】上述した方法では、被処理物表面に残る塗
布液が僅かであり、殆どが飛散してしまうので無駄があ
る。そこで、スピンナー塗布の代わりにノズル自体に所
定幅の塗布液吐出口を開口せしめ、ノズルを移動するこ
とで被処理物表面に所定幅で塗布液を塗布することが考
えられている。
布液が僅かであり、殆どが飛散してしまうので無駄があ
る。そこで、スピンナー塗布の代わりにノズル自体に所
定幅の塗布液吐出口を開口せしめ、ノズルを移動するこ
とで被処理物表面に所定幅で塗布液を塗布することが考
えられている。
【０００４】上述した所定幅の塗布液吐出口を有するノ
ズルを用いれば、塗布液の無駄をなくし且つ効率的に塗
布を行えるのであるが、幅広となる分、ノズル先端の周
辺部に塗布液の回り込み量も多く、これが乾燥すると異
物発生の原因となる。このため、塗布後の洗浄によって
ノズル先端及びその周辺部の塗布液を除去しなければな
らない。
ズルを用いれば、塗布液の無駄をなくし且つ効率的に塗
布を行えるのであるが、幅広となる分、ノズル先端の周
辺部に塗布液の回り込み量も多く、これが乾燥すると異
物発生の原因となる。このため、塗布後の洗浄によって
ノズル先端及びその周辺部の塗布液を除去しなければな
らない。
【０００５】そこで、図１１に示すように、洗浄液Ｑを
ローラ１００の表面に付着せしめ、このローラ１００に
てノズル１０１先端に付着した異物を除去する方法が考
えられている。
ローラ１００の表面に付着せしめ、このローラ１００に
てノズル１０１先端に付着した異物を除去する方法が考
えられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述したローラによる
洗浄では、ローラの表面に十分な量の洗浄液を供給する
ことができず、ノズル先端部に付着した塗布液を短時間
のうちに除去することができない。また、ローラによる
洗浄では、異物を溶解した洗浄液が再び洗浄液溜まりに
戻ってしまい、洗浄液が汚れてしまう。
洗浄では、ローラの表面に十分な量の洗浄液を供給する
ことができず、ノズル先端部に付着した塗布液を短時間
のうちに除去することができない。また、ローラによる
洗浄では、異物を溶解した洗浄液が再び洗浄液溜まりに
戻ってしまい、洗浄液が汚れてしまう。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明に係る所定幅の塗布液吐出口が開口したノズルを洗
浄する装置は、ノズル受台を備え、このノズル受台には
ノズルの幅と略等しい幅で洗浄部が形成され、この洗浄
部には洗浄液供給源につながるスリットおよび吸引装置
につながる排気孔を開口せしめ、かつ前記スリットは前
記洗浄部の幅方向に沿って連続、若しくは一定間隔で形
成される。前記洗浄部にはノズル先端に向けてガスを噴
出するガス噴出孔を形成することが可能である。
発明に係る所定幅の塗布液吐出口が開口したノズルを洗
浄する装置は、ノズル受台を備え、このノズル受台には
ノズルの幅と略等しい幅で洗浄部が形成され、この洗浄
部には洗浄液供給源につながるスリットおよび吸引装置
につながる排気孔を開口せしめ、かつ前記スリットは前
記洗浄部の幅方向に沿って連続、若しくは一定間隔で形
成される。前記洗浄部にはノズル先端に向けてガスを噴
出するガス噴出孔を形成することが可能である。
【０００８】尚、前記洗浄液供給源とスリットとの間
に、スリットからの洗浄液の吐出圧をスリットの幅方向
において均一にするための圧力調整室を設けること、前
記ノズル受台をベースに対しスプリングを介して上下動
可能に支持すること、前記ノズル受台にノズルを洗浄位
置に載置した際にノズル先端面と洗浄部表面との間に若
干の隙間を形成するための位置決め部材を設けること、
交換可能な交換ブロックにて前記スリットの一部を形成
し、当該ブロックを交換することでスリットの流路容積
を可変とすること、或いは、前記ノズル受台に、洗浄部
とは別に塗布ノズル先端を長期間浸漬しておくための洗
浄液の溜り部を形成することが可能である。
に、スリットからの洗浄液の吐出圧をスリットの幅方向
において均一にするための圧力調整室を設けること、前
記ノズル受台をベースに対しスプリングを介して上下動
可能に支持すること、前記ノズル受台にノズルを洗浄位
置に載置した際にノズル先端面と洗浄部表面との間に若
干の隙間を形成するための位置決め部材を設けること、
交換可能な交換ブロックにて前記スリットの一部を形成
し、当該ブロックを交換することでスリットの流路容積
を可変とすること、或いは、前記ノズル受台に、洗浄部
とは別に塗布ノズル先端を長期間浸漬しておくための洗
浄液の溜り部を形成することが可能である。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。ここで、図１は第１実施例に
係る塗布ノズルの洗浄装置の側面図、図２は同洗浄装置
の拡大側面図、図３はノズル受台の拡大断面図、図４は
図１のＡ方向矢視図、図５は図１のＢ方向矢視図であ
る。
図面に基づいて説明する。ここで、図１は第１実施例に
係る塗布ノズルの洗浄装置の側面図、図２は同洗浄装置
の拡大側面図、図３はノズル受台の拡大断面図、図４は
図１のＡ方向矢視図、図５は図１のＢ方向矢視図であ
る。
【００１０】塗布ノズルの洗浄装置はノズルの受台１を
備え、この受台１の下面四隅にはベース２を下方から貫
通するボルト３が結合し、このボルト３の周囲にカラー
を介してスプリング４が縮装され、受台１がベース２に
対し若干上下動可能に支持されている。
備え、この受台１の下面四隅にはベース２を下方から貫
通するボルト３が結合し、このボルト３の周囲にカラー
を介してスプリング４が縮装され、受台１がベース２に
対し若干上下動可能に支持されている。
【００１１】このように、スプリング４を介して受台１
を支持することで、ノズル５を相対的に下降せしめて、
受台１の上面に形成される洗浄部６にノズル５をセット
する際に、多少ノズル５が傾斜して受台に片当りしても
それに追従して受台１が沈むことで、ノズル５を傷つけ
ることがないようにしている。
を支持することで、ノズル５を相対的に下降せしめて、
受台１の上面に形成される洗浄部６にノズル５をセット
する際に、多少ノズル５が傾斜して受台に片当りしても
それに追従して受台１が沈むことで、ノズル５を傷つけ
ることがないようにしている。
【００１２】一方、前記洗浄部６は洗浄するノズル５の
幅と略等しい幅で形成され、その形状は図３に示すよう
に、対向する側面６ａ，６ａが上方で広がるように傾斜
し、夫々の側面６ａ，６ａに洗浄液供給源につながるス
リット７が開口し、また、夫々の側面６ａ，６ａにはノ
ズル先端に付着した洗浄液を除去する窒素ガス等の噴出
孔２０を形成している。尚、図示例にあっては洗浄部６
の幅と略等しい幅で連続してスリット７を形成している
が、一定間隔で複数の開口を形成しこれをスリットとし
てもよい。同様に、窒素ガス等の噴出孔２０についても
一定間隔で複数の孔を形成したものでもよい。
幅と略等しい幅で形成され、その形状は図３に示すよう
に、対向する側面６ａ，６ａが上方で広がるように傾斜
し、夫々の側面６ａ，６ａに洗浄液供給源につながるス
リット７が開口し、また、夫々の側面６ａ，６ａにはノ
ズル先端に付着した洗浄液を除去する窒素ガス等の噴出
孔２０を形成している。尚、図示例にあっては洗浄部６
の幅と略等しい幅で連続してスリット７を形成している
が、一定間隔で複数の開口を形成しこれをスリットとし
てもよい。同様に、窒素ガス等の噴出孔２０についても
一定間隔で複数の孔を形成したものでもよい。
【００１３】また、スリット７は固定ブロック８と交換
ブロック９とで形成され、これら固定ブロック８と交換
ブロック９間にスリット７からの洗浄液の吐出圧をスリ
ットの幅方向において均一にするための圧力調整室１０
を形成している。
ブロック９とで形成され、これら固定ブロック８と交換
ブロック９間にスリット７からの洗浄液の吐出圧をスリ
ットの幅方向において均一にするための圧力調整室１０
を形成している。
【００１４】ここで、図６（ａ）及び（ｂ）はスリット
７を形成する交換ブロックを交換する前後の状態を示す
断面図であり、（ａ）に示す交換ブロック９ａを（ｂ）
に示す交換ブロック９ｂに交換することで、スリット７
の流路容積を広くすることができる。
７を形成する交換ブロックを交換する前後の状態を示す
断面図であり、（ａ）に示す交換ブロック９ａを（ｂ）
に示す交換ブロック９ｂに交換することで、スリット７
の流路容積を広くすることができる。
【００１５】更に、交換ブロック９の上面には、洗浄部
６を挟んで左右に位置決め部材１１が設けられている。
この位置決め部材１１は塗布ノズル５を洗浄部６に載置
した際に、ノズル先端面と洗浄部表面との間に若干の隙
間を形成するためのものであり、ノズルの機種変更等が
あった場合には、位置決め部材１１のみを交換すること
で足りるようにしている。
６を挟んで左右に位置決め部材１１が設けられている。
この位置決め部材１１は塗布ノズル５を洗浄部６に載置
した際に、ノズル先端面と洗浄部表面との間に若干の隙
間を形成するためのものであり、ノズルの機種変更等が
あった場合には、位置決め部材１１のみを交換すること
で足りるようにしている。
【００１６】また、洗浄部６の底部には排気孔１２が開
口している。この排気孔１２はダクト１３を介して図示
しない吸引装置につながっており、その幅は前記洗浄部
６の幅と略等しくされている。尚、排気孔１２の形状に
ついては、一定間隔で複数形成してもよく、幅広の排気
孔を１本形成してもよい。
口している。この排気孔１２はダクト１３を介して図示
しない吸引装置につながっており、その幅は前記洗浄部
６の幅と略等しくされている。尚、排気孔１２の形状に
ついては、一定間隔で複数形成してもよく、幅広の排気
孔を１本形成してもよい。
【００１７】一方、受台１の上面部には、前記洗浄部６
とは別に塗布ノズル５の先端を長期間浸漬しておくため
の洗浄液の溜り部１４が形成されている。
とは別に塗布ノズル５の先端を長期間浸漬しておくため
の洗浄液の溜り部１４が形成されている。
【００１８】以上において、塗布ノズル５の先端を洗浄
するには、先ず、塗布ノズル５を洗浄部６の位置決め部
材１１上に載置する。すると、この状態で前記したよう
に塗布ノズル５の先端面と洗浄部６の側面６ａとの間に
は若干の隙間が形成されるように設定しているので、当
該隙間に毛細管現象によりスリット７内に入っていた洗
浄液が保持され、この洗浄液にて塗布ノズル５の先端に
付着している塗布液及びその乾燥物等が洗浄液に溶解す
る。
するには、先ず、塗布ノズル５を洗浄部６の位置決め部
材１１上に載置する。すると、この状態で前記したよう
に塗布ノズル５の先端面と洗浄部６の側面６ａとの間に
は若干の隙間が形成されるように設定しているので、当
該隙間に毛細管現象によりスリット７内に入っていた洗
浄液が保持され、この洗浄液にて塗布ノズル５の先端に
付着している塗布液及びその乾燥物等が洗浄液に溶解す
る。
【００１９】この後、吸引装置を駆動し、排気孔１２内
を減圧する。すると、塗布液成分が溶解した洗浄液及び
スリット７内の洗浄液が排気孔１２を介して外部に排出
される。そして、この排出工程でスリット７から新鮮な
洗浄液が塗布ノズル５の先端部に供給され、塗布ノズル
５の先端部及びその周辺部に残っている塗布液及びその
乾燥物等を洗浄する。尚、スリット７への洗浄液の供給
は圧力調整室１０を介して行われるので、スリット７か
らの洗浄液の吐出圧はノズルの幅方向において均一にな
る。
を減圧する。すると、塗布液成分が溶解した洗浄液及び
スリット７内の洗浄液が排気孔１２を介して外部に排出
される。そして、この排出工程でスリット７から新鮮な
洗浄液が塗布ノズル５の先端部に供給され、塗布ノズル
５の先端部及びその周辺部に残っている塗布液及びその
乾燥物等を洗浄する。尚、スリット７への洗浄液の供給
は圧力調整室１０を介して行われるので、スリット７か
らの洗浄液の吐出圧はノズルの幅方向において均一にな
る。
【００２０】以上の如くして、洗浄が終了したならば、
スリット７への洗浄液の供給を停止する一方、排気は継
続し、噴出孔２０から窒素ガスを塗布ノズル５の先端に
向けて噴出する。すると、空気のみが塗布ノズル５の先
端と洗浄部６の側面６ａとの間を流れ、塗布ノズル５の
先端が乾燥し、塗布準備が完了する。
スリット７への洗浄液の供給を停止する一方、排気は継
続し、噴出孔２０から窒素ガスを塗布ノズル５の先端に
向けて噴出する。すると、空気のみが塗布ノズル５の先
端と洗浄部６の側面６ａとの間を流れ、塗布ノズル５の
先端が乾燥し、塗布準備が完了する。
【００２１】図７は別実施例に係る塗布ノズルの洗浄装
置の側面図、図８は図７の要部拡大断面図、図９は図７
のＣ方向矢視図、図１０は図７のＤ方向矢視図であり、
前記第１実施例と同一の部材については同一の番号を付
して説明を省略する。
置の側面図、図８は図７の要部拡大断面図、図９は図７
のＣ方向矢視図、図１０は図７のＤ方向矢視図であり、
前記第１実施例と同一の部材については同一の番号を付
して説明を省略する。
【００２２】この実施例にあっては、シリンダユニット
１５の動作により受台１の上下位置を調整可能に支持す
るとともに、洗浄液供給源からの洗浄液を配管１６、ジ
ョイント１７及び孔１８を介してスリット７に供給する
ようにしている。この実施例にあっても洗浄の手順は前
記第１実施例と同様である。
１５の動作により受台１の上下位置を調整可能に支持す
るとともに、洗浄液供給源からの洗浄液を配管１６、ジ
ョイント１７及び孔１８を介してスリット７に供給する
ようにしている。この実施例にあっても洗浄の手順は前
記第１実施例と同様である。
【００２３】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
所定幅の塗布液吐出口が開口したノズルを洗浄する装置
として、ノズルの幅と略等しい幅で洗浄部が形成された
ノズル受台を設け、この洗浄部に洗浄液供給源につなが
るスリットおよび吸引装置につながる排気孔を開口せし
め、かつ前記スリットは前記洗浄部の幅方向に沿って連
続、若しくは一定間隔で形成され、スリットから供給さ
れた洗浄液でノズル先端及びその周辺部に付着した塗布
液及びその乾燥物等を溶解するとともに、塗布液の成分
が溶解した洗浄液を排気孔から排出するようにしたの
で、常に新鮮な洗浄液をノズル先端に供給できるととも
に効率よく洗浄することができる。
所定幅の塗布液吐出口が開口したノズルを洗浄する装置
として、ノズルの幅と略等しい幅で洗浄部が形成された
ノズル受台を設け、この洗浄部に洗浄液供給源につなが
るスリットおよび吸引装置につながる排気孔を開口せし
め、かつ前記スリットは前記洗浄部の幅方向に沿って連
続、若しくは一定間隔で形成され、スリットから供給さ
れた洗浄液でノズル先端及びその周辺部に付着した塗布
液及びその乾燥物等を溶解するとともに、塗布液の成分
が溶解した洗浄液を排気孔から排出するようにしたの
で、常に新鮮な洗浄液をノズル先端に供給できるととも
に効率よく洗浄することができる。
【００２４】また、洗浄液供給源とスリットとの間に、
スリットからの洗浄液の吐出圧をスリットの幅方向にお
いて均一にするための圧力調整室を設けることで、洗浄
ムラなく均一に洗浄することができる。
スリットからの洗浄液の吐出圧をスリットの幅方向にお
いて均一にするための圧力調整室を設けることで、洗浄
ムラなく均一に洗浄することができる。
【００２５】また、ノズル受台をベースに対しスプリン
グを介して上下動可能に支持することで、洗浄部にノズ
ルを載置する際に、多少ノズルが傾斜して受台に片当り
してもそれに追従して受台が沈むので、ノズルの傷付き
を防止できる。
グを介して上下動可能に支持することで、洗浄部にノズ
ルを載置する際に、多少ノズルが傾斜して受台に片当り
してもそれに追従して受台が沈むので、ノズルの傷付き
を防止できる。
【００２６】また、ノズル受台にノズルを洗浄位置に載
置した際にノズル先端面と洗浄部表面との間に若干の隙
間を形成するための位置決め部材を設けるようにすれ
ば、洗浄液をノズル先端及びその周辺部の表面に効果的
に供給することができる。
置した際にノズル先端面と洗浄部表面との間に若干の隙
間を形成するための位置決め部材を設けるようにすれ
ば、洗浄液をノズル先端及びその周辺部の表面に効果的
に供給することができる。
【００２７】また、スリットの一部を交換可能な交換ブ
ロックにて形成し、当該ブロックを交換することでスリ
ットの流路容積を可変とすることで、ノズルの機種変更
及び塗布液の変更等に容易に対処することができる。
ロックにて形成し、当該ブロックを交換することでスリ
ットの流路容積を可変とすることで、ノズルの機種変更
及び塗布液の変更等に容易に対処することができる。
【００２８】更に、ノズル受台に洗浄部とは別に塗布ノ
ズル先端を長期間浸漬しておくための洗浄液の溜り部を
形成することで、待機ノズルの先端及びその周辺部に塗
布液が乾燥して付着することを未然に防止することがで
きる。
ズル先端を長期間浸漬しておくための洗浄液の溜り部を
形成することで、待機ノズルの先端及びその周辺部に塗
布液が乾燥して付着することを未然に防止することがで
きる。
【図１】本発明に係る塗布ノズルの洗浄装置の側面図
【図２】同洗浄装置の拡大側面図
【図３】ノズル受台の拡大断面図
【図４】図１のＡ方向矢視図
【図５】図１のＢ方向矢視図
【図６】（ａ）及び（ｂ）はスリットを形成するブロッ
クを交換する前後の状態を示す断面図
クを交換する前後の状態を示す断面図
【図７】別実施例に係る塗布ノズルの洗浄装置の側面図
【図８】図７の要部拡大断面図
【図９】図７のＣ方向矢視図
【図１０】図７のＤ方向矢視図
【図１１】従来の洗浄方法を説明した図
１…ノズル受台、２…ベース、４…スプリング、５…ノ
ズル、６…洗浄部、６ａ…洗浄部の側面、７…スリッ
ト、１０…圧力調整室、１１…位置決め部材、１２…排
気孔、１４…洗浄液の溜り部、２０…ガス噴出孔。
ズル、６…洗浄部、６ａ…洗浄部の側面、７…スリッ
ト、１０…圧力調整室、１１…位置決め部材、１２…排
気孔、１４…洗浄液の溜り部、２０…ガス噴出孔。
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フロントページの続き
(72)発明者 佐合 宏仁
神奈川県川崎市中原区中丸子150番地
東京応化工業株式会社内
(56)参考文献 特開 平７−335527（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−318543（ＪＰ，Ａ)
特開 昭64−8621（ＪＰ，Ａ)
実開 平６−44137（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/027
B05C 5/00
Claims (6)
- 【請求項１】 所定幅の塗布液吐出口が開口したノズル
を洗浄する装置であって、この装置はノズル受台を備
え、このノズル受台にはノズルの幅と略等しい幅で洗浄
部が形成され、この洗浄部には洗浄液供給源につながる
スリットおよび吸引装置につながる排気孔が開口し、か
つ前記スリットは前記洗浄部の幅方向に沿って連続、若
しくは一定間隔で形成され、さらに前記洗浄液供給源と
前記スリットとの間に、前記スリットからの洗浄液の吐
出圧を前記幅方向において均一にするための圧力調整室
を設けたことを特徴とする塗布ノズルの洗浄装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の塗布ノズルの洗浄装置
において、前記洗浄部にはノズル先端に向けてガスを噴
出するガス噴出孔が開口していることを特徴とする塗布
ノズルの洗浄装置。 - 【請求項３】 請求項１に記載の塗布ノズルの洗浄装置
において、前記ノズル受台はベースに対しスプリングを
介して上下動可能に支持されていることを特徴とする塗
布ノズルの洗浄装置。 - 【請求項４】 請求項１に記載の塗布ノズルの洗浄装置
において、前記ノズル受台には、ノズルを洗浄位置に載
置した際にノズル先端面と洗浄部表面との間に若干の隙
間を形成するための位置決め部材が設けられていること
を特徴とする塗布ノズルの洗浄装置。 - 【請求項５】 請求項１に記載の塗布ノズルの洗浄装置
において、前記スリットは、交換可能なブロックにてそ
の一部が形成され、当該ブロックを交換することでスリ
ットの流路容積が可変とされることを特徴とする塗布ノ
ズルの洗浄装置。 - 【請求項６】 請求項１に記載の塗布ノズルの洗浄装置
において、前記ノズル受台には、洗浄部とは別に塗布ノ
ズル先端を長期間浸漬しておくための洗浄液の溜り部が
形成されていることを特徴とする塗布ノズルの洗浄装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17757996A JP3381216B2 (ja) | 1996-04-09 | 1996-07-08 | 塗布ノズルの洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8628696 | 1996-04-09 | ||
| JP8-86286 | 1996-04-09 | ||
| JP17757996A JP3381216B2 (ja) | 1996-04-09 | 1996-07-08 | 塗布ノズルの洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09330876A JPH09330876A (ja) | 1997-12-22 |
| JP3381216B2 true JP3381216B2 (ja) | 2003-02-24 |
Family
ID=26427441
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17757996A Expired - Fee Related JP3381216B2 (ja) | 1996-04-09 | 1996-07-08 | 塗布ノズルの洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3381216B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3645686B2 (ja) * | 1997-05-01 | 2005-05-11 | 東京応化工業株式会社 | 塗布ノズルの洗浄装置及び洗浄方法 |
| KR100780718B1 (ko) | 2004-12-28 | 2007-12-26 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 도포액 공급장치를 구비한 슬릿코터 |
| KR100700180B1 (ko) | 2004-12-31 | 2007-03-27 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 예비토출부를 구비한 슬릿코터 및 이를 이용한 코팅방법 |
| KR100675643B1 (ko) | 2004-12-31 | 2007-02-02 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 슬릿코터 |
| KR100700181B1 (ko) | 2004-12-31 | 2007-03-27 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 노즐대기부를 구비한 슬릿코터 및 이를 이용한 코팅방법 |
| JP6714346B2 (ja) * | 2015-11-10 | 2020-06-24 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | ノズル待機装置および基板処理装置 |
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