KR200467097Y1 - 슬릿코터의 예비토출장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 슬릿코터의 예비토출장치에 관한 것으로, 슬릿코터의 토출단부가 접속가능한 접속면을 구비한 접속부재; 및 지정변위 및 속도로 상기 슬릿코터의 토출단부와 접속부재 사이를 통과하며 일측으로 연속공급되는 예비토출용 비닐;을 포함하여 구성됨을 기술적 요지로 하여, 접속부재와 예비토출용 비닐로 이루어진 간단한 구조로써 구현가능하여 예비토출장치의 제작원가를 낮출 수 있을 뿐 아니라, 장치자체의 유지 및 관리 또한 용이하게 이루어질 수 있으며, 세정액의 지속적인 공급 및 교체처리가 이루어질 필요가 없어 유지·관리 또한 용이하게 이루어질 수 있는 슬릿코터의 예비토출장치에 관한 것이다.

슬릿코터 노즐 예비토출 롤러 비닐

Description

슬릿코터의 예비토출장치{Preliminary dispensing apparatus of slit coater}

본 고안은 슬릿코터의 예비토출장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 슬릿코터을 이용하여 도포하기 직전에 슬릿코터의 토출단부에 괴어있던 도포액을 예비토출시키는 데 사용되는 슬릿코터의 예비토출장치에 관한 것이다.

슬릿코터는 슬릿노즐을 이용하여 평판형의 기판에 도포액을 도포하는 장치로, 슬릿노즐 토출단부에 위치하는 도포액은 슬릿노즐을 이용한 도포공정 사이의 대기시간 동안 공기와의 접촉에 의해 농도가 보다 상승하게 되는데, 그대로 다음 도포공정으로 도입되어 기판에 도포액을 공급하게 되면, 도포액의 농도 및 도포막의 두께가 균일하지 못하여 불량이 발생하게 된다.

종래에는 이러한 원인으로 인한 도포막의 불량을 방지하기 위하여, 슬릿노즐에 접속된 상태로 롤러를 회전시킴으로써 도포 직전에 슬릿노즐 내에 괴어있는 도포액을 버리는 예비토출을 행하고 롤러를 세정액으로 세정시키는 작동구조를 가지는 예비토출장치 다수가 개시되어 있다.

이러한 예비토출장치로써 대한민국특허청 공개특허공보 제2004-41012호의 슬 릿 코팅기의 예비 토출장치에 대해 간단히 설명하기로 한다. 도 1은 상기 종래기술의 구조를 도시한 개략도이다.

상기 종래기술은 세척액을 보유하는 세척조(11)와, 상기 세척조(11) 내에 배치되어 토출노즐(9)로부터 도포액을 표면에 부착시켜 제거하는 회전롤러(12)와, 상기 회전롤러(12)의 표면을 향해 세척액을 분출하는 샤워노즐(15, 18, 21)과, 회전롤러의 표면에 건조가스를 분출하는 가스분출노즐(16)과, 회전롤러의 표면에 부착되어 있는 도포액을 긁어서 떨어뜨리는 스퀴즈(17, 20)와, 상기 세척조(11) 내에서 상기 회전롤러(12)에 접촉하는 브러쉬롤러(19)를 구비한 구조를 가진다.

종래에는 상기와 같이 회전롤러(12)상에의 도포액의 예비토출과 상기 회전롤러(12)의 세척이 동시에 지속적으로 이루어지도록 하기 위해서, 상기 회전롤러(12)의 명확한 세척을 위해 세척조(11), 다수의 샤워노즐(15, 18, 21) 및 스퀴즈(17, 20), 가스분출노즐(16), 브러쉬롤러(19)를 구비한 복잡한 구조를 가짐에 따라 예비토출장치의 제작에 고가의 비용이 소요되었다.

또한, 상기 구성요소 중 하나의 구성요소라도 손상되거나 기능이 원활하지 못하면 예비토출 및 세척기능이 제대로 이루어질 수 없어 큰 손실이 발생하게 되므로, 사용자가 다수의 구성요소 전부를 유지·관리하는 데 노력을 기울여야 하는 불편함이 있었다.

그리고, 상기 세척조(11)내로 도입되는 도포액이 많아질수록 상기 세척조(11)내에 수용된 세정액의 오염이 가중되는데, 상기 세척조(11)내에 수용된 세정액의 오염정도에 따라 세정성능 또한 차이가 발생하게 되며, 세정액이 지정농도 이 상으로 오염되면 상기 회전롤러(12)의 세척이 제대로 이루어질 수 없어 세정액을 정기적으로 공급 및 교체 처리시켜 주어야 하는데 그때마다 상기 세척조(11) 내에 수용된 세정액의 전체의 교체가 이루어져야 함에 따른 비용부담 또한 크다는 문제점이 있었다.

상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 고안은, 슬릿노즐의 예비토출이 이루어짐에 있어서 보다 간단한 구조로써 구현가능하며, 세정액의 지속적인 공급 및 교체처리가 이루어질 필요가 없어 유지·관리 또한 용이하게 이루어질 수 있는 슬릿코터의 예비토출장치를 제공하는 데 목적이 있다.

상술한 바와 같은 목적 달성을 위한 본 고안은, 슬릿노즐의 토출단부가 접속가능한 접속면을 구비한 접속부재; 및 지정변위 및 속도로 상기 슬릿노즐의 토출단부와 접속부재 사이를 통과하며 일측으로 연속공급되는 예비토출용 비닐;을 포함하여 구성되는 슬릿코터의 예비토출장치를 기술적 요지로 한다.

여기서, 상기 접속부재는, 상기 슬릿노즐의 토출단부가 접속된 상태로 정위치 회전가능하게 설치되는 회전롤러인 것이 바람직하다.

그리고, 상기 접속부재는, 상기 슬릿노즐의 토출단부가 접속된 상태로 직선이동가능한 접속면을 제공하는 받침판인 것이 바람직하다.

또한, 상기 받침판은, 상기 슬릿노즐의 예비토출을 위한 이동변위 보다 확장된 가로폭을 가지는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 슬릿노즐과 접속부재 사이를 통과한 상기 예비토출용 비닐의 일측부를 감아 돌리며 당겨 이송시키는 와인드롤러; 및 상기 와인드롤러를 회전조정시키는 구동모터;를 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 슬릿노즐과 접속부재 사이를 통과한 상기 예비토출용 비닐의 일측부가 담겨지는 오염부수용조;를 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.

상술한 바와 같은 구성에 의한 본 고안은, 접속부재와 예비토출용 비닐로 이루어진 간단한 구조로써 노즐의 예비토출이 연속적, 반복적으로 이루어질 수 있도록 함으로써, 예비토출장치의 제작원가를 낮출 수 있을 뿐 아니라, 장치자체의 유지 및 관리 또한 용이하게 이루어질 수 있다는 효과가 있다.

또한, 예비토출용 비닐을 원주형 드럼상에 연속권취된 상태로 공급하고, 구동모터나 노즐이송장치에 의해 비닐이나 노즐의 이동변위를 조정시킴으로써, 노즐의 예비토출이 명확하게 이루어질 수 있다는 다른 효과가 있다.

그리고, 도포액이 도포된 예비토출용 비닐의 일측부를 감아서 오염부수용조의 한정된 공간부내에서 깔끔하게 처리가능하다는 다른 효과가 있다.

또한, 사용된 예비토출용 비닐을 수거하여 별도로 세척처리하면 재사용이 가능하다는 다른 효과가 있다.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 고안을 다음의 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 도 2는 본 고안에 따른 슬릿코터의 예비토출장치의 제1실시예를 도시한 개략도이며, 도 3은 본 고안에 따른 슬릿코터의 예비토출장치의 제2실시예를 도시한 개략도이다.

본 고안에 따른 슬릿코터의 예비토출장치는, 크게 접속부재(100)와 예비토출 용 비닐(200)로 이루어지며, 상기 예비토출용 비닐(200)을 상기 접속부재(100) 상측에 두고 슬릿노즐(10)의 토출단부를 상기 예비토출용 비닐(200)에 접속시킨 상태로 도포액의 예비토출 내지 예비토출된 도포액의 처리가 이루어지도록 한다.

상기 접속부재(100)는 슬릿노즐(10)의 토출단부가 상측에서 상기 예비토출용 비닐(200)에 접속가능한 접속면을 제공하는 구성요소로, 상기 접속부재(100)의 상면상에 상기 예비토출용 비닐(200)과 슬릿노즐(10)이 차례로 적층된 상태로 슬릿노즐(10)의 예비토출이 이루어지게 되므로, 상기 접속부재(100)의 상면의 형상이나 면적에 따라 상기 슬릿노즐(10)과 상기 예비토출용 비닐(200)간의 접속형태가 달라지게 된다.

상기 예비토출용 비닐(200)은 상기 슬릿노즐(10)의 토출단부에서 토출되는 도포액의 도포가 이루어지는 도포대상물로써, 상기 접속부재(100)가 위치하게 되는 지정된 위치에서 상기 접속부재(100)의 상단에 대응되는 지정형태로 유연하게 변형되며, 지정변위 및 속도로 상기 슬릿노즐(10)의 토출단부와 접속부재(100) 사이를 통과하도록 설치된다.

본 고안의 제1실시예는 상기 접속부재(100)가 회전롤러(100a)로 이루어지는 구조를 가짐에 따라, 상기 슬릿노즐(10)과 예비토출용 비닐(200)이 상기 회전롤러(100a) 원주면의 상단부에 해당되는 면적에서만 접속이 이루어지게 되며, 상기 슬릿노즐(10)의 토출단부와 예비토출용 비닐(200)이 접속가능하도록 상기 슬릿노즐(10)이 상기 회전롤러(100a) 상측으로 이동된 상태에서 상기 슬릿노즐(10)과 회전롤러(100a)사이로 상기 예비토출용 비닐(200)을 통과시키면, 상기 예비토출용 비 닐(200)의 이동변위만큼 상기 슬릿노즐(10)의 예비토출이 이루어지게 된다.

상기 회전롤러(100a)는 일정한 직경을 가지고 상기 슬릿노즐(10)의 토출단부와 평행한 연장방향을 가지는 회전축상에 중심부가 끼워져 결합됨으로써, 상기 슬릿노즐(10)의 토출단부가 상기 회전롤러(100a)의 상단부상에 연속되게 접속 내지 인접하게 위치된 상태로 정위치 회전가능하게 된다.

상기 회전롤러(100a)의 표면을 형성함에 있어서, 상기 슬릿노즐(10) 보다 큰 마찰력으로 상기 예비토출용 비닐(200)과 접촉이 이루어질 수 있는 소재나 표면형상을 적용하면, 상기 슬릿노즐(10)와 회전롤러(100a) 사이에 끼워진 상기 예비토출용 비닐(200)의 일측부를 잡아당길 시, 상기 예비토출용 비닐(200)이 당겨지는 이동변위만큼 상기 회전롤러(100a)가 상기 회전축을 중심으로 회전되면서 상기 예비토출용 비닐(200)의 손상을 최소화하면서 상기 예비토출용 비닐(200)의 이송을 보조하게 된다.

본 고안의 제2실시예는 상기 접속부재(100)가 받침판(100b)으로 이루어지는 구조를 가짐에 따라, 상기 슬릿노즐(10)과 예비토출용 비닐(200)이 상기 받침판(100b)의 상면에 해당되는 면적에 걸쳐 접속이 가능하며, 상기 슬릿노즐(10)의 토출단부와 예비토출용 비닐(200)이 접속가능하도록 상기 슬릿노즐(100)이 상기 받침판(100b) 상측으로 이동된 상태에서, 상기 받침판(100b) 상면과 일정한 이격거리를 유지시키며 상기 슬릿노즐(10)을 일측으로 이동시키면, 상기 슬릿노즐(10)의 이동변위만큼 상기 슬릿노즐(10)의 예비토출이 이루어지게 된다.

상기 받침판(100b)은 상기 슬릿노즐(10)의 토출단부가 접속된 상태로 직선이 동가능하도록 상면이 평탄한 형상을 가지며, 상기 슬릿노즐(10)이 상기 받침판(100b)의 상면 중 일측에 치우치도록 초기위치를 가지는 상태에서 상기 슬릿노즐(10)이 예비토출을 위한 지정된 이동변위로 이동가능하도록, 상기 슬릿노즐(10)의 예비토출을 위한 지정된 이동변위 이상의 가로폭을 가지도록 형성된다.

상기 받침판(100b) 위에 상기 예비토출용 비닐(200)을 안착시키고, 그 상측에서 상기 슬릿노즐(10)을 이동시킴으로써 상기 예비토출용 비닐(200)상에 예비토출이 이루어지고 나면, 상기 받침판(100b) 상측에 도포가 이루어지지 않은 부분이 위치하도록 상기 예비토출용 비닐(200)을 일측으로 당기며 이동시키는 것을 반복함으로써 예비토출이 지속적으로 이루어질 수 있다.

상기 제1, 2실시예는 상기 예비토출용 비닐(200)을 지정변위 및 속도로 연속되게 공급 내지 이송시키기 위해 와인드롤러(300)와 구동모터(미도시)를 구비한 구조를 가지며, 상기 와인드롤러(300)는 상기 예비토출용 비닐(200)을 원주형 롤러상에 감아서 권취시킨 상태로 상기 구동모터에 의해 회전조정되는 작동구조를 가진다.

상기 와인드롤러(300)는 상기 슬릿노즐(10)와 접속부재(100) 사이를 통과한 상기 예비토출용 비닐(200)의 일측부를 감아 돌리며 당겨 이송시키는 구성요소로, 상기 회전롤러(100a)와 같이 회전축상에 결합되어 정위치에서 회전되나, 구동모터에 의해 온오프 작동조정과, 지정된 이동변위 및 속도로 자동회전이 이루어지며 상기 예비토출용 비닐(200)의 일측부를 권취시키게 된다.

상기와 같이 상기 예비토출용 비닐(200)의 일측부에 상기 와인드롤러(300)를 추가로 구비하는 간단한 구조로써 예비토출공정이 자동으로 이루어질 수 있으며, 상기 와인드롤러(300)에 의해 구속되지 않은 상기 예비토출용 비닐(200)의 타측부 또한 상기 와인드롤러(300)의 회전에 따른 권취형태와 동일한 형태로 공급이 이루어질 수 있으면서도 일정한 텐션을 유지할 수 있도록 상기 와인드롤러(300)와 평행하게 설치된 롤러부재상에 권취되거나 텐션을 부여할 수 있는 공급부재를 통과하도록 설치하는 것이 바람직하다.

상기 슬릿노즐(10)와 접속부재(100) 사이를 통과하면서 예비토출이 이루어진 상기 예비토출용 비닐(200)의 일측부는 외부에 그대로 노출되면 주변기기를 오염시킬 수 있으므로, 상기 예비토출용 비닐(200)의 사용된 일측부가 담겨질 수 있는 공간부를 제공하면서도 주변기기와 공간적으로 차단시킬 수 있는 격벽을 제공하는 오염부수용조(400)를 구비하는 것이 바람직하다.

본 고안에 따르면, 상기 예비토출용 비닐(200)을 원주형 롤러 내지 드럼상에 연속권취된 상태로 공급시키면서, 상기 와인드롤러(300), 구동모터와 같은 비닐이송장치나 노즐이송장치에 의해 상기 예비토출용 비닐(200)이나 슬릿노즐(10)의 이동변위를 조정시킴으로써 상기 슬릿노즐(10)의 예비토출이 명확하게 이루어질 수 있다.

상기 접속부재(100)와 예비토출용 비닐(200)로 이루어진 간단한 구조로써 상기와 같이 슬릿노즐(10)의 예비토출이 지속적으로 이루어질 수 있도록 함으로써, 스퀴즈, 샤워노즐, 가스분출노즐, 브러쉬롤러와 같은 다수의 구성요소를 복합적으로 구비하여야 하던 기존의 구조와 비교하여 예비토출장치의 제작원가를 낮출 수 있을 뿐 아니라, 다수의 구성요소를 지속적으로 유지·관리하기 위한 불편함을 줄여 장치자체의 유지 및 관리 또한 보다 용이하게 이루어질 수 있다.

그리고, 기존에는 세정액을 사용하지 않고서는 도포액의 처리가 불가능함에 따라, 세정액의 오염상태와, 세정액으로 인한 주변기기의 오염상태 또한 유지·관리의 대상이 되었는데, 본 고안에 따르면 도포액이 도포된 예비토출용 비닐(200)의 일측부를 감아서 상기 오염부수용조(400)의 한정된 공간부내에서 깔끔하게 처리가능함에 따라, 상기 예비토출용 비닐(200)의 교체만으로 상기와 같은 세정액의 처리에 관련된 불편함을 간단하게 해결할 수 있다.

사용된 상기 예비토출용 비닐(200)은, 세척처리가 이루어질 경우, 상기 와인드롤러(300)에 권취된 상태로 별도의 공간부로 용이하게 이송시킬 수 있어, 예비토출공정과 별도의 공정을 통해 처리가 용이하게 이루어질 수 있으며, 별도로 세척처리한 후에는 재사용 또한 가능하여 자원 소모를 줄일 수 있다.

이상에서는 본 고안의 바람직한 실시예를 들어 설명한 것으로, 본 고안은 이러한 실시예에 한정되는 것이 아니고 상기 실시예들을 기존의 공지기술과 단순히 조합적용한 실시예와 함께 본 고안의 실용신안등록청구범위와 상세한 설명에서 본 고안이 속하는 기술분야의 당업자가 변형하여 이용할 수 있는 균등한 기술범위를 당연히 포함한다고 보아야 할 것이다.

도 1 - 종래기술에 따른 슬릿 코팅기의 예비 토출장치를 도시한 개략도

도 2 - 본 고안에 따른 슬릿코터의 예비토출장치의 제1실시예를 도시한 개략도

도 3 - 본 고안에 따른 슬릿코터의 예비토출장치의 제2실시예를 도시한 개략도

<도면에 사용된 주요 부호에 대한 설명>

10 : 슬릿코터 100 : 접속부재

100a : 회전롤러 100b : 받침판

200 : 예비토출용 비닐 300 : 와인드롤러

400 : 오염부수용조

Claims (6)

1. 삭제
2. 슬릿 노즐(10)의 토출 단부 하측을 통과하도록 일측으로 연속 공급되는 예비토출용 비닐(200); 및

   상기 예비토출용 비닐(200)의 저면에 그 상면이 접촉하도록 적층 위치하여, 슬릿 노즐(10)의 토출 단부가 상기 예비 토출용 비닐(200)에 접속 가능한 접속면을 그 상면의 형상대로 제공하는 접속 부재(100);

   를 포함하고, 상기 접속부재(100)는,

   상기 슬릿노즐(10)의 토출단부가 접속된 상태로 정위치 회전가능하게 설치되는 회전롤러(100a)임을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치
3. 삭제
4. 슬릿 노즐(10)의 토출 단부 하측을 통과하도록 일측으로 연속 공급되는 예비토출용 비닐(200); 및

   상기 예비토출용 비닐(200)의 저면에 그 상면이 접촉하도록 적층 위치하여, 슬릿 노즐(10)의 토출 단부가 상기 예비 토출용 비닐(200)에 접속 가능한 접속면을 그 상면의 형상대로 제공하는 접속 부재(100);

   를 포함하고, 상기 접속부재는 상기 슬릿노즐(10)의 토출단부가 접속된 상태로 직선이동가능한 접속면을 제공하는 받침판(100b)이고, 상기 받침판(100b)은 상기 슬릿노즐(10)의 예비토출을 위한 이동변위 보다 확장된 가로폭을 가짐을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치
5. 삭제
6. 슬릿 노즐(10)의 토출 단부 하측을 통과하도록 일측으로 연속 공급되는 예비토출용 비닐(200); 및

   상기 예비토출용 비닐(200)의 저면에 그 상면이 접촉하도록 적층 위치하여, 슬릿 노즐(10)의 토출 단부가 상기 예비 토출용 비닐(200)에 접속 가능한 접속면을 그 상면의 형상대로 제공하는 접속 부재(100);

   상기 슬릿노즐(10)과 접속부재(100) 사이를 통과한 상기 예비토출용 비닐(200)의 일측부가 담겨지는 오염부수용조(400);

   를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치

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