WO1992016970A1 - Method of manufacturing two-layer tab tape - Google Patents

Description

明 細

2層 T A Bテープの製造方法 技術分野

本発明は、 半導体素子実装用の T A B ( T a p e A u t o m a t e d B o n d i n g ) テープの製造方 法に関 し、 よ り詳細には 2層 T A Bテープの製造方法に 関する ものである。

背景技術

近年の半導体実装技術の進歩は著しいが、 中でも T A Bは、 極めて高密度に導体パター ンが形成できるために 多 ピン化に容易に対応でき、 またボンディ ン グの際には ワ イ ヤーを用いる事な く 、 リ ー ド全体を一度に半導体素 子と配線接続する こ と （ギャ ングボンディ ン グ） が可能 であるため、 高密度実装技術が必要と されている現在、 活発に開発が進められている。

T A Bテープと しては、 2層構造と 3層構造との 2種 類あるが、 3層構造 （以下、 3層 T A B と略す） は一般 的に銅箔等の導体箔と耐熱性の樹脂フ ィ ルムを接着剤で 張り合わせた ものであ り、 フ イ ルム と して耐熱性及び耐 薬品性等の優れた特性を持つポ リ イ ミ ドを用いて も耐熱 性に劣る接着剤層を持っため、 その特性を充分に生かす こ とが出来なかっ た。

一方、 一般に 2曆構造 T A B (以下、 2層 T A B と略 す） は、 ベースフ ィ ルムに接着剤層を持たないために T Α Β と しての耐熱性に優れるが、 その製造法の困難さ故 に実用に供される こ とが少なかった。 すなわち 2層 T A B は、 ポリ イ ミ ド等の耐熱フ ィ ルム上に、 ス ノ、' ッ タ リ ン グ、 蒸着、 メ ツキ等の薄膜形成技術を用いて導体層を設 けた後、 ベースフ ィ ル厶及び導体層にエッチング処理を 施しデバイスホールゃスプロケ ッ ト ホールといった所定 の開孔部、 及び導体パター ンを形成する方法と、 銅箔等 の導体箔上にポ リ イ ミ ド等耐熱樹脂のワニスを直接塗布, 乾燥させ 2層基板を形成した後、 樹脂層及び導体箔にェ ツ チング処理を施して所定の開孔部ゃ導体パターンを形 成する方法の 2種類の方法で製造されている。 しかし、 前者では、 屈曲性の優れた圧延箔ゃ強度の優れた F e — N i 合金箔等を使用できないといった問題点や、 ベース フ ィ ルム開孔部の形成にエッ チ ング法を用いて開孔部を 設けな く てはな らないために、 3 曆 T A Bの打ち抜き法 と比較して生産性が著し く 低下して しま う。 一方、 後者 においても、 カールやシヮの発生を防ぐために、 用いる 樹脂の線膨張係数を導体層である銅箔と一致させる必要 があるが、 この様な樹脂は、 一般に剛直で酎溶剤性に優 れるためアル力 リ エッチングが困難なものが多 く 、 フ ィ ル厶層に開孔部を設けるためにエキシマ レーザ一等の ド ライエッ チン グを行わな く てはな らず、 生産性ゃコス ト が不利である といった問題点を有している。

一方、 接着剤層を持たない 2層フ レキシブル印刷回路 用基板と して見た場合、 電子機器の小形 · 軽量化が進む につれ、 ますます用途が拡大し、 同様に接着剤層を持た ないフ イ ルムカバ一 レイ開発、 さ らに最近では従来の様 な配線基板と してだけでな く 、 上述のよ う な T A B用キ ャ リ アテープの様な支持フ ィ ル厶に穴のあいた基板の利 用 も増大してきている。

しかし、 ポ リ ア ミ ッ ク酸を導体箔に塗布後、 焼成を加 える方法によ る 2 層フ レキ シブル印刷回路基板では、 接 着剤層に起因する問題点は解決されるが、 一般の延伸 し て製造されるポ リ イ ミ ドフ イ ルム と同等のフ ィ ルム特性 を持つまでには至っていない。

2層フ レキシブル印刷回路基板の接着剤層を持たない カバー レ イ の製造方法について も、 2 層フ レキ シブル印 刷回路基板上にポ リ イ ミ ド前駆体イ ン クをス ク リ ー ン印 刷法等で直接塗布 ， 乾燥させる方法等が試みられている が、 ポ リ イ ミ ド前駆体ワニスをイ ン ク と して使用するに は、 チキソ性を上げるためにフ イ ラ一等を混入させる必 要があ り、 基材である フ イ ラ一を持たないポ リ イ ミ ドフ イ ルム層 と フ ィ ラ ーの入 っ たポ リ イ ミ ドカノく一 レ イ層間 でバラ ンスを取る こ とが難し く 、 このため得られたカバ — レ ィ付き フ レキシブル印刷回路基板は耐折性の充分な ものが得られなかった。

従来用い られている これらの方法においては、 それぞ れ耐熱性、 密着力、 加工性、 耐薬品性に欠点を有してい る。 先ず、 接着剤層を持つ 3 層フ レキシブル印刷回路用 基板では、 接着剤層の酎熟性が低いため、 支持フ ィ ルム にポリ イ ミ ドを用いても、 フ レキシブル印刷回路用基板 と しての耐熱性は接着剤層の耐熱性によって決定される という欠点を有している。 導体層を蒸着やスパッ タ リ ン グ法で形成した場合、 支持フ ィ ルム層 と導体層の密着力 が低いという欠点、 あるいは樹脂層を厚く していった場 合た とえば直接ポ リ ア ミ ッ ク酸を塗布 ' 乾燥させ、 厚膜 を形成させる とイ ミ ド化に伴う収縮による応力が導体層 の支持力を上回り、 乾燥中に大きなカールを生じる。 ま た、 導.体層にポ リ ア ミ ッ ク酸溶液を直接何度か繰り返し 塗布 ' 乾燥し、 さ らにイ ミ ド化する と工程中のカールは 軽減されるが、 導体層に近い部分と導体層の反対側の部 分では熱履歴が異なるためフ ィ ルム中のイ ミ ド化率及び 溶剤残留量に差が生じ、 銅箔エッチング後のフ ィ ルムの カール ' 寸法変化率等が大き く なる。 また レーザ一を用 いる場合、 特にエキシマ レーザーを用いる と微細加工性 に優れ鋦箔へのダメ ージも少ないが、 強固なイ ミ ド結合 を切断しなければな らず、 加工に時間を要し生産性が低 いため、 ラ ンニン グコス トが高いという 問題点を有して いる。 あるいはイ ミ ド化後にアルカ リ エッ チ ング可能な 分子構造をもつポ リ イ ミ ドは、 耐溶剤性が若干落ち、 か つエ ッ チング液と して強アル力 リ性溶液を用いるために 危険性が高 く 、 また安易に廃液処理ができないという欠 点を有している 0

本発明の目的とする と こ ろは、 接着剤層のない 2層 T A B の本来持っている耐熱性、 酎アルカ リ 性、 耐溶剤性 電気特性を低下させる こ とな く 、 生産性の優れた 2 層 T A B テープの製造法を提供する ものである。

更にカールの無い、 銅箔と フ ィ ルム との密着性の良好 な 2 層 T A B テープの製造法を提供する ものである。

今一つの本発明の目的とする と こ ろは、 位置合わせ特 性に優れた微細線化ができ、 高密度配線の可能な 2 層 T A B テープの製造法を提供する ものである。

更に本発明の目的とする と こ ろは、 従来のワニスキヤ スティ ング法では実現できなかった、 延伸された一般の ポ リ イ ミ ドフ イ ルムの持つ耐折性、 耐アルカ リ性、 耐溶 剤性、 耐熱性、 電気特性、 機械特性を有するポ リ イ ミ ド 層を持ち、 しかも蒸着法では選択する こ とができない圧 延箔等、 自由な導体箔を用いる こ とが出来る、 接着剤層 のない 2 層フ レキシブル印刷回路板を作製可能とする、 所定の厚みを有し、 また必要によ り孔加工された、 延伸 を施したポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムの製造法を提供する も のであ る。

更に本発明の目的とする と こ ろは、 導体箔、 又は接着 剤層を持たない 2層フ レ キ シブル基板上に所定の開孔部 を有する延伸されたポ リ イ ミ ドフ ィ ルムを圧着後、 イ ミ ド化する こ とによ り、 ボ リ イ ミ ドフ ィ ルムが本来持って いる酎折性、 耐アルカ リ 性、 耐溶剤性、 耐熱性、 電気特 性、 機械特性を低下させる こ とな く 、 孔加工されたポ リ イ ミ ド絶縁被覆を、 接着剤を用いずに直接形成する こ と によ り、 高密度配線を可能と し、 耐熱性が著し く 優れた フ レキシブル印刷回路用基板乃至カバー レイ フ ィ ル厶付 フ レキシブル印刷回路板を提供する ものである。

発明の開示

本発明は、 離型フ ィ ルム上に半硬化させたポリ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムを形成させ、 こ のポリ ア ミ ッ ク酸フ ィ ゾレム にデバイスホール等所定の開孔部を設けた後、 導体萡に ポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム面を合わせて圧着し、 離型フ ィ ルムを剝離した後、 イ ミ ド化を完結させ、 次いで導体箔 にエッチング処理等によ り所要のパター ンを形成する こ とを特徴とする 2層 T A Bテープの製造方法である。 本発明は、 導体箔上に形成された半硬化状態の光透過 性ポリ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム と、 離型フ ィ ルム上に形成さ れた所定の開孔部を有する半硬化状態のポ リ ア ミ ッ ク酸 フ イ ルム とをポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム面を合わせて加熱

• 圧着し、 離型フ ィ ルムを剝雜した後、 イ ミ ド化を完結 させ、 次いで導体箔に所要のパターンを形成する こ とを 特徵とする、 光透過性ポ リ イ ミ ド層を下層に持つ部分的 にフ ィ ル厶厚みの異なる支持フ ィ ル厶層を有する 2層 T A B テープの製造方法である。

本発明は、 1 0 %以上延伸を施した半硬化状態のポ リ ァ ミ ッ ク酸フ ィ ル厶にデバイスホール等所定の開孔部を 設けた後、 導体箔にフ ィ ルムを圧着し、 イ ミ ド化を完結 させ、 導体箔にエッ チン グ処理等を施すこ とによ り所要 のパターンを形成する こ とを特徴とする 2層 T A B テ一 プの製造方法であ り、 ベースフ ィ ルム上に所定の導体パ タ ー ンを形成する 2 層 T A Bテープの製造方法において 延伸ポ リ ア ミ ッ ク酸フ イ ルムに、 打ち抜き、 切断、 アル カ リ エッ チ ン グ、 レーザ一加工を施すこ とによ って、 デ バイ スホール等所定の開孔部を設けた後、 銅箔等の導体 萡にフ ィ ルムを圧着 し、 加熱処理する こ とによ り イ ミ ド 化を完結させ、 次いで該開孔部に所要の穴埋め材を充塡 した後、 導体箔上に所定の レ ジス トパター ンを形成 し、 エ ッ チ ン グ処理を施すこ とによ り導体パター ンを形成し 導体箔上に残留する レ ジス ト及び穴埋め材を除去し、 打 ち抜き加工によ り スブロケ ッ ト ホールを設ける こ とを特 徴とする 2層 T A Bテープの製造方法である。

本発明における、 1 0 %以上延伸を施した半硬化状態 のポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムの製造方法は、 離型フ ィ ルム も し く は離型 ドラ ム上にポ リ ア ミ ッ ク酸溶液を塗布し、 タ ッ ク フ リ ー状態になる まで乾燥させ、 ポ リ ア ミ ッ ク酸 フ ィ ルムを形成する。 その後こ のフ イ ルムは、 離型フ ィ ルム も し く は離型 ドラムから剝雜し、 ポ リ ア ミ ッ ク酸フ イ ル ム のみを特定の温度及び張力下で 1 0 %以上延伸さ せる。 ポ リ ア ミ ッ ク酸の種類によ って硬化の大き さ は異 なるが、 一般に 1 0 %以上延伸させる こ とで引張強度、 弾性率等のフ イ ル ム特性が向上する。 さ らに同一組成ま たは異な組成の他のポ リ ア ミ ッ ク酸フ イ ルムをポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム面を合わせて、 必要によ り この間にポ リ 了 ミ ッ ク酸フ ィ ルムを所定の枚数挿入 し 2 枚以上同時に 加熱 ' 圧着し、 厚みの厚いポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムと し た後、 延伸を施すこ と も出来る。

本発明においては、 延伸されたポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ル 厶を導体萡に加熱 · 圧着後、 充分にィ ミ ド化を行う こ と によ り、 2曆フ レキシブル印刷回路用基板とする こ とが 出来る。

本発明は、 所定の開孔部を有する 1 0 %以上延伸を施 した半硬化状態のポリ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムであ り、 これ を導体箔に圧着し、 次いでイ ミ ド化を完結させる こ とに よ り、 開孔部を有する フ レキシブル印刷回路用基板を得 る こ とができ、 また接着剤層を持たないポ リ イ ミ ドフ ィ ル厶層のみを有する 2層フ レキシブル印刷回路板に圧着 し、 次いでイ ミ ド化を完結させる こ とによ り カバー レイ フ ィ ルム付フ レキシブル印刷回路板を得る こ とができ る。

図面の簡単な説明

第 1 図 a〜hは、 本発明の工程を示す断面図である。 図中、 1 〜 8 の示す意味は次の通りである。

1 …ポ リ エステル離型フ ィ ルム

2 ·'·ポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ゾレム

3 …デバイ スホール

4 …銅箔

5 …フ ォ ト レ ジス ト

6 …ポ リ イ ミ ドフ ィ ルム

7 …スプロケ ッ ト ホ一ル

8 …穴埋め材 第 2 図 a 〜 ： [ は、 光透過性ポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムを 用いた場合の本発明の工程を示す断面図である。 図中 1 〜 7 及び 1 ' 〜 2 ' の示す意味は次の通りである。

1 …光透過性ポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム 1

…光透過性ポ リ イ ミ ド曆

2 …ポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ゾレム 2

2 ' …ボ リ イ ミ ド層

3 …ポ リ エステル離型フ ィ ルム

4 …デバイ スホ一ル

5 …銅箔

6 … レ ジス ト

7 …スプロケ ッ トホ一ル

発明の詳細な説明

ポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムにデバイ スホール等の所定の 開孔部を設ける方法と しては、 打ち抜き、 切断、 アル力 リ エ ッ チ ン グ、 レーザー加工な どを用いる こ とができ る , 導体箔上に所定の レ ジス トパター ンを形成し、 エ ツ チ ン グ処理を施す際には、 開孔部に所要の例えばレ ジス ト と 同様の組成の穴埋め材を充填して開孔部からのエ ツ チ ン グを防止してお く 必要がある。 導体パター ンを形成した 後、 導体箔上に残留する レ ジス ト及び穴埋め材を除去し , 打ち抜き加工によ り スプロケ ッ ト ホールを形成する。

離型フ ィ ルム上に半硬化状態のポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ル 厶を形成させる方法は、 離型フ ィ ルムにポ リ ア ミ ッ ク酸 ワニスを直接塗布 · 乾燥 した も のの他、 必要によ り以下 のよ う な形のものを利用する こ と もできる。 同一組成ま たは異なる組成の他の離型フ ィ ルム上に形成されたポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムをボリ ア ミ ッ ク酸フ イ ルム面を合わ せて、 あるいはこの間にポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムを所定 の枚数挿入し 2枚以上同時に加熱 ' 圧着し、 厚みの厚い ポ リ ア ミ ッ ク酸フ イ ルム と してもかまわない。

即ち、 離型フ ィ ルム上にポ リ ア ミ ッ ク酸溶液を塗布し、 タ ッ ク フ リ一状態になる まで乾燥し、 ポ リ ア ミ ッ ク酸フ イ ルムを形成する。 その後、 ポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム面 を重ね合わせポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム同士を加熱 ' 圧着 し、 最初に塗布 ' 乾燥した厚みの整数倍のポ リ ア ミ ッ ク 酸フ ィ ルムを作製する。 このとき、 必要に応じてポリ ア ミ ッ ク酸の面同士が重ねられる よ う に、 離型フ ィ ルムか ら剝離したボリ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムを所定の枚数間に揷 入 してよ り厚いボ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムを得る こ と も出 来る。 また圧着後片側の離型フ ィ ルムを剥し、 同様のこ とを繰り返して更に厚いものを得る こ と もでき る。

次に、 その離型フ イ ルムのついたポリ ア ミ ッ ク酸フ ィ ル厶を通常の方法、 例えば、 打ち抜き、 切断、 アルカ リ エ ッ チング、 レーザー等につて離型フ ィ ル厶 と共に或い はポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムのみを開孔させて孔加工を行 うが、 生産性、 コス トの面から打ち抜き加工が好ま しい。 孔加工が終了 した後、 導体箔にポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム を加熱 ， 圧着後、 離型フ ィ ル ムを剝離し、 次いで充分に ィ ミ ド化を行う。 _u

本発明において、 雜型フ イ ルム上でポ リ ア ミ ッ ク酸溶 液を乾燥させ、 半硬化状態のポ リ ア ミ ッ ク酸フ イ ルムを 形成させる条件と しては、 8 0 〜 2 0 0 で、 5 〜 3 0 分 が適当である。 これよ り温度が低 く 時間が短い場合、 導 体箔と加熱圧着する際、 流動性が大き く 、 開孔部でのに じみ、 しみ出 しが大き く 、 フ ィ ルム厚のバラ ツキも大き く な り、 イ ミ ド化後の寸法変化が大き く なる。 またこれ よ り温度が高 く 時間が長い場合、 導体箔と加熱 · 圧着す る際、 流動性が小さすぎ、 導体箔との ピール強度が低下 し、 ボイ ドの発生が多 く なる。

ポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムの状態におけるィ ミ ド化率は 1 0 〜 5 0 % , 望むべ く は 2 0 〜 4 0 %が望ま しい。 ィ ミ ド化率が 1 0 %未潢ではタ ッ ク性が残り作業性が悪い ばかりか、 巻取った後に、 離型フ ィ ルム背面に接着しフ イ ルムを一枚ずつ単離する こ とが難し く な り、 また 5 0 %以上ィ ミ ド化を施すと溶融特性が悪 く な り ポ リ ア ミ ッ ク酸面を合わせて熱圧着して も充分に一体化しな く なる ₍ ポ リ ア ミ ッ ク酸溶液を塗布してフ ィ ルム とする際、 ポ リ ア ミ ッ ク酸フ イ ルム 1 枚の塗布厚みと しては、 イ ミ ド 化後の厚み 5 0 m以下が適当である。 これよ り厚い場 合は、 イ ミ ド化に伴う収縮によ る応力が離型フ ィ ルムの 支持力を上回 り、 乾燥中に大きなカールを生 じさせる。 またフ イ ルム層が厚いため溶剤の蒸発速度が遅 く 、 生産 性が著 し く 低下する。

光透過性ポ リ ア ミ ッ ク酸を適用する場合には、 導体箔 上の光透過性ポ リ ア ミ ッ ク酸の塗布厚みと しては、 イ ミ ド化後の厚み 2 0 〃 m以下好ま し く は 3〜 1 0 /z mが適 当である。 これよ り厚い場合は、 光透過率が落ちるばか りか、 ギャ ングボンディ ング時の熱伝達が不充分とな り ボンディ ング特性が低下する。

ポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム同士を、 またフ ィ ルム と導体 萡とを加熱 ' 圧着する条件と しては、 プレス形式の場合 は 7 0 〜 2 0 0て、 5 〜 1 0 0 kgZcn、 5〜 3 0分、 口 —ル式ラ ミ ネ一夕の場合は 7 0 〜 2 0 0 で、 1 〜 5 0 0 kgZoi、 0. 1 〜 5 0 mZ分の条件が適当であ り、 特に 温度と してはボ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムの乾燥温度よ り 1 0 〜 3 0 で低い温度で実施する こ とが揮発物の発生もな く 望ま しい。 イ ミ ド化の条件は、 通常ボ リ イ ミ ドの製造 においてと られる方法でよい。

ポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムを延伸する方法と しては、 口 ールを用いる 1 軸延伸、 テンターを用いる同時又は逐次 2軸延伸、 ロールとテンターを併用する 2軸延伸など、 従来よ り知られている装置を用いて行なう こ とができる。 ただ、 X， Y軸方向の寸法安定性を揃えるには、 同時 2 軸延伸が好ま しい。

延伸する条件は、 室温から 2 0 0 °C、 好ま し く は 5 0 〜 1 7 0 。Cの温度、 張力 2〜 2 0 0 0 0 g /mm² 、 延伸 連度 0 . 1 〜 3 0 0 %/分で、 延伸倍率 5 〜 1 0 0 %好 ま し く は 1 0 %以上延伸する。 温度が室温以下である と 分子鎖の自由度が低く なつて配向し難 く な り、 2 0 0 °C 丄 よ り 高い と、 イ ミ ド化が進み、 ポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム の接着強度が低下 して し ま う 。 ま た延伸倍率が 5 %以下 では、 延伸の効果が全 く 現れず、 1 0 0 %以上であ る と 引裂強度が低 く な つ て く る とい っ た欠点が出て く る。 延 伸を行な う 際に、 ポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムをジ メ チルァ セチ ト ア ミ ドな どの有機溶剤で膨潤させて延伸 し易 く し て、 緩和された条件で延伸する こ と もでき る。

本発明における ポ リ ア ミ ッ ク酸溶液は、 通常酸無水物 と ジア ミ ン とを反応させる こ と に よ り得 られる ポ リ ア ミ ッ ク酸の有機溶媒溶液である。

酸無水物 と しては、 ト リ メ リ ッ ト酸無水物、 ピロ メ リ ッ ト酸二無水物、 3 , 3 ' ， 4 , 4 ' ー ビフ エ二ルテ ト ラ カ ルボ ン酸二無水物、 2 , 3 , 3 ' ， 4 ' ー ビフ エ二 ルテ ト ラ カ ルボン酸二無水物、 3 , 3 ' ， 4 , 4 ' 一べ ン ゾフ ヱ ノ ンテ ト ラ カ ルボン酸二無水物、 3， 3 ' ， 4， 4 ' 一 p — テルフ エニルテ ト ラ カ ルボ ン酸二無水物、 2， 3， 6 , 7 — ナフ タ レ ンテ ト ラ カ ルボ ン酸二無水物、 4 , 4 ' —へキサフ ルォロ イ ソ プロ ピ リ デン ビス （ フ タ ル酸 無水物） 等の種々 の酸無水物を単独で又は 2 種以上を併 用 して用いる こ とが出来る。

ジァ ミ ン と しては、 ノ、。ラ フ ェ ニ レ ン ジァ ミ ン、 4，

4 ' ー ジア ミ ノ ジ フ エニルエーテル、 4 , 4 ' ー ジア ミ ノ ジ フ エ ニルスルホ ン、 4 , 4 ' ー ジア ミ ノ ジ フ エ ニル メ タ ン、 3， 3 ' - ジ メ チルベ ン ジ ジ ン、 4， 4 ' ー ジ ア ミ ノ ー p — テル フ エ ニル、 4 , 4 ' — ジァ ミ ノ 一 p — ク ォ ーターフ エニル、 2， 8 — ジア ミ ノ ジフ エ二 レ ンォ キサイ ドな どの種々 のジア ミ ンを単独で又は 2種以上を 併用 して用いる こ とができ る。

本発明で用いられるポ リ ア ミ ッ ク酸溶液は、 フ ィ ルム 形成能があり、 金属箔との密着性があればよいが、 次に 示すよ う なポ リ ア ミ ッ ク酸溶液が最も 目的にかなってい る。 即ち、 酸無水物成分と ジァ ミ ン成分とを反応させる に当たり、 3 , 3 ' , 4 , 4 ' — ビフ エニルテ ト ラカル ボン酸二無水物とパラ フ ヱニレ ンジア ミ ン とを反応させ て得られたポ リ 了 ミ ッ ク酸溶液 （ A ) と、 ピロ メ リ ッ ト 酸二無水物と 4 , 4 ' — ジア ミ ノ ジフ エニルエーテルを 反応させて得られたポリ ア ミ ッ ク酸溶液 （ B ) とを、 固 形分比で A Z B = 5 5 / 4 5〜 7 5 Z 2 5 の割合で混合 攪拌して得られるポ リ ア ミ ッ ク酸混合溶液である。 Aの 比率が上述の場合よ り も少ないときにはカールが発生し、 逆に多いときには剛直にな りすぎ柔軟性がな く な り、 銅 箔との密着性が損われる。

光透過性のポ リ イ ミ ドを得るために使用でき るモノ マ 一 と しては、 酸無水物では 2， 2 — ビス （ジカルボキシ フ エニル） へキサフルォロプロパン二無水物、 ォキシジ フタ几酸無水物、 ビフ ヱニルテ ト ラカルボン酸二無水物 な どであ り、 ジァ ミ ン と しては、 酸無水物との組合せに よ り若干変わる ものの、 スルホ ン基を含有した m —置換 ジァ ミ ン、 エーテル結合の m —置換ジァ ミ ン及びへキサ フ几ォ口プロ ピ レ ン基を含有したジァ ミ ンな どが挙げら れる。 光透過性ポ リ イ ミ ド層は、 イェローネスイ ンデッ ク ス （ J I S K 7 1 0 3 ) 力 3 0 以下、 望むべ く は 2 0 以下が好ま しい。

酸無水物成分と ジア ミ ン成分との反応は酸無水物成分 /ジァ ミ ン成分 （モル比） の比が 0 . 9 0〜 1 . 0 0 で 行う のが好ま し く 、 0 . 9 0 よ り低い と重合度が上がら ず硬化後の皮膜特性が悪い。 1 . 0 0 よ り大きいと、 硬 化時にガスを発生し、 平滑な皮膜を得る こ とが出来ない 反応は通常、 酸無水物またはジァ ミ ン類と反応しない 有機極性溶媒中で行われる。 こ の有機極性溶媒は、 反応 系に対 して不活性であり、 かつ生成物に対して溶媒であ る こ と以外に、 反応成分の少な く と も一方、 好ま し く は 両者に対して良溶媒でなければな らない。 こ の種の溶媒 と して代表的な ものは、 N， N— ジ メ チルホルムア ミ ド N， N— ジ メ チルァセ ト ア ミ ド、 ジ メ チノレスノレホ ン、 ジ メ チルスルホキ シ ド、 N— メチル一 2 — ピロ リ ド ン等が あ り、 これらの溶媒は単独または組み合わせて使用され る。 こ の他に も溶媒と して組み合わせて用いられる もの と して、 ベ ンゼン、 ジォキサ ン、 キ シ レ ン、 ト ルエ ン、 シ ク ロへキサ ン等の非極性溶媒が、 原料の分散媒、 反応 調節剤あるいは生成物からの揮散調節剤、 皮膜平滑剤等 と して使用される。

反応は一般的.に無水の条件下で行う こ とが好ま しい。 これは酸無水物が水によ り 開環し、 不活性化し、 反応を 停止させる恐れがあるためである。 こ のため仕込原料中 の水分も溶媒中の水分も除去する必要がある。 しかし一 方、 反応の進行を調節し、 樹脂重合度をコ ン ト ロールす るためにあえて水を添加する こ と も行われる。 また反応 は不活性ガス雰囲気中で行われる こ とが好ま しい。 これ はジァ ミ ン類の酸化を防止するためである。 不活性ガス と しては一般的に乾燥窒素ガスが使用される。

反応温度は、 0 〜 1 0 0 °Cである こ とが望ま しい。 0 で以下だと反応の速度が遅く 、 1 0 0 °c以上である と生 成したポリ ア ミ ッ ク酸の閉環反応および解重合反応が開 始するためである。 通常、 反応は 2 0 で前後で行なわれ る o

離型フ イ ルム と して用いる こ とのでき る材料と しては、 ポリ プロ ピレ ン、 ポリ エステル、 ポ リ エーテルサルフ ォ ン、 ポ リ イ ミ ド、 ポリ エチレ ン等のプラスチ ッ ク フ ィ ル ムがあげられる。

導体層と して用いる こ とのできる材料と しては、 銅、 アル ミ ニウム、 ニッケル等の単体の金属箔に加え F e — N i 合金、 F e — C r — A 1 合金等の金属箔が挙げられ o

接着剤層を持たないポリ イ ミ ドフ ィ ルム層のみを有す る 2層フ レキシブル印刷回路基板と して用いる こ とので き る材料と しては、 通常のア ク リ ル系やエポキシ系の接 着剤曆を持たないポリ イ ミ ドと導体金属箔層からなる も のであれば、 キャスティ ン グ法、 メ ツ キ法など製造方法 は限定されない。 本発明によれば、 デバイ スホールを設けた耐熱性、 耐 荬品性等に優れた 2層 T A Bを生産性よ く 得る こ とがで き、 さ らに蒸着法等では使用する こ との出来なかった圧 延箔を用いた 2層 T A B も作製する こ とが可能となった またカールのない、 銅箔と フ ィ ルム との密着性の良好な 2 層 T A Bテープを得る こ とができ る。

一方、 光透過性のポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムを適用 して 得られた 2曆 T A B テープを用いれば、 透明なポ リ イ ミ ド層の上にィ ンナ一 リ 一 ドパター ンが形成されているた め、 回路パター ンを細線化して もばらける こ とな く 、 し かもデバイ スホールに相当する部分は透明なボ リ イ ミ ド 層のみから構成され、 厚みが薄 く なつているので、 裏側 (ポ リ イ ミ ド基板側） から C C Dカ メ ラ等で容易に位置 合せができ、 さ らに耐熱性の優れた透明ポ リ イ ミ ド層を 介 して裏面から ヒー トバーを当てる こ とによ り、 容易に 精度よ く 、 ギャ ングボンディ ングを行う こ とが可能とな ο

更に延伸フ ィ ルムを用いて、 本発明の製造方法によ り， 従来と同様の工程で、 連続工程に も容易に適用でき る優 れた特性を有する フ レ キシブル印刷回路用基板、 開孔部 を有する フ レキシブル印刷回路用基板又はカバ一 レ イ フ イ ルム付フ レキシブル印刷回路板を得る こ とができ る。 本発明は、 連続工程に も容易に適用でき るな ど、 工業 的な 2 層 T A Bの製造方法と して好適な ものである。

発明を実施するための最良の形態 (実施例 1 )

第 1 図に、 本発明に係る 2層 T A B テープの製造工程 ( a ) 〜 （ h ) を示す。

温度計、 攪拌装置、 還流コ ンデンサー及び乾燥窒素ガ ス吹込み口を備えた 4 っロセパラブルフ ラスコに、 精製 した無水のノ、⁰ラ フ ェニレ ンジア ミ ン 1 0 8 g と 4， 4 ' ー ジア ミ ノ ジフ エニルエーテル 2 0 0 gをと り、 これに 無水の N— メチルー 2 — ピロ リ ドン 9 0 重量％ と トルェ ン 1 0 重量％の混合溶剤を、 全仕込原料中の固形分割合 が 2 0 重量％になるだけの量加えて溶解した。 乾燥窒素 ガスは反応の準備段階よ り生成物取り 出 しまでの全工程 にわたり流しておいた。 次いで、 精製した無水の 3，

3， ， 4， 4 ' ー ビフ エニルテ ト ラカルボン酸二無水物 2 9 4 g と ピロ メ リ ッ ト酸二無水物 2 1 8 gを攪拌しな がら少量ずつ添加するが、 発熱反応であるため、 外部水 槽に約 1 5 °Cの冷水を循環させてこれを冷却した。 添加 後、 内部温度を 2 0 °Cに設定し、 5 時間攪拌し、 反応を 終了 してポリ ア ミ ッ ク酸溶液を得た。

市販の離型フ ィ ルム 1 (ポ リ エステルフ ィ ルム） 上に、 このポ リ ア ミ ッ ク酸溶液をロールコ一夕一でィ ミ ド化後 の厚みが 2 5 〃 mになる よ う に塗布し、 1 1 0 ° (：、 1 5 分乾燥を行い、 離型フ イ ルムのついたポ リ ア ミ ッ ク酸フ イ ルム 2 を得た （ b ) 。 金型を用いてデバイ スホール 3 を設け （ c ) 、 市販の銅箔 4 の粗化面上にポ リ ア ミ ッ ク 酸フ イ ルム面を重ね合わせ、 9 0 °C、 4 0 kg X cnf , 1 5 分加熱 ' 圧着を行った。 その後、 離型フ ィ ルム 1 を剝 し 3 8 0 °Cで 1 時間加熱を行い、 イ ミ ド化を完結してポ リ イ ミ ドフ イ ルム 6 と し、 デバイ ス ホ ー ルを持つ 2層基板 ( d ) を得た。 得られた 2 層基板 （ d ) を用い、 導体箔 上に所定の レ ジス トパター ン 5 及び穴埋め材 8 を施 し ( e ) 、 エ ッ チ ング処理を施すこ とによ り導体パター ン ( f ) を形成 した後、 導体箔上に残留する レ ジス ト 5 及 び穴埋め材 8 を除去し （ g ) 、 打ち抜き加工によ り スブ ロケ ッ ト ホール 7 を設ける こ とによ り 2 層 T A Bテープ を得た （ h ) 。

(実施例 2 )

実施例 1 と同様の離型フ ィ ルム上のポ リ ア ミ ッ ク酸フ イ ルム 2 枚を用い、 ポ リ ア ミ ッ ク酸フ イ ルム面同士が向 かい合う よ う に重ね合わせ、 プレスを用いて、 1 0 0 て. 2 0 kg Z cnf で、 1 0 分間、 加熱 · 圧着を行い、 ポ リ ア ミ ッ ク酸積層フ ィ ルム と した。 その後、 一方の離型フ ィ ル 厶を剝離したポ リ ア ミ ッ ク酸積層フ ィ ルムを使用 し、 実 施例 1 と同様に して 2 層 T A Bテープを得た。

(実施例 3 )

市販のポ リ エステルフ イ ルム上に、 実施例 1 と同様の ポ リ ア ミ ッ ク酸溶液をロールコ一夕一でイ ミ ド化後の厚 みが 2 5 〃 mになる よ う に塗布し、 1 1 0 ° (：、 1 5 分乾 燥を行い、 離型フ イ ルムのついたポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ル 厶を得た。 次に、 こ のポ リ ア ミ ッ ク酸フ イ ルム面同士を 重ね合わせ、 ロール式のラ ミ ネ一 夕を用いて、 9 0 ° (：、 1 S kg Z cnfで、 0 . 2 m Z分で、 加熱 · 圧着を行った後- 金型を用いて孔加工を行い、 片面側の離型フ ィ ルムを剝 し市販の銅箔粗化面上にポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム面を重 ね合わせ、 プレスを用いて 9 0 °C、 4 0 kg Z cnf、 1 5 分 加熱 ' 圧着を行った。 その後、 離型フ ィ ル厶を剝し、 3 8 0 °Cで 1 時間加熱を行い、 イ ミ ド化を完結した。 その 後は、 実施例 1 と同様の方法で 2層 T A Bテープを得た。

(実施例 4 )

温度計、 撹拌装置、 還流コ ンデンサー及び乾燥窒素ガ ス吹込み口を備えた 4 っロセパラブルフ ラスコに、 精製 した無水の 4 , 4 ' ー ジア ミ ノ ジフ エニルエーテル

2 0 0 gをと り、 これに無水の N — メ チル— 2 — ピロ リ ドン 9 0 重量％と ト ルエン 1 0 重量％の混合溶剤を、 全 仕込原料中の固形分割合が 2 0 重量％になるだけの量加 えて溶解した。 乾燥窒素ガスは反応の準備段階よ り生成 物取り 出 しまでの全工程にわたり流しておいた。 次いで、 精製した無水の ピロ メ リ ッ ト酸ニ無水物 2 1 8 gを撹拌 しながら少量ずつ添加するが、 発熱反応であるため、 外 部水槽に約 1 5 °Cの冷水を循環させてこれを冷却 した。 添加後、 內部温度を 2 0 てに設定し、 5 時間撹拌し、 反 応を終了 してポ リ ア ミ ッ ク酸溶液を得た。

市販のポ リ エステルフ イ ルム上に、 このポ リ ア ミ ッ ク 酸溶液をロールコ一ターでィ ミ ド化後の厚みが 2 5 m になる よ う に塗布し、 1 1 0 で、 1 0 分乾燥を行い、 離 型フ ィ ルムのついたポ リ ア ミ ッ ク酸フ イ ルムを得た （フ イ ルム ] [ とする） 。 次に、 本フ イ ルムの離型フ イ ルムを 剝離 し、 実施例 1 で作製 した離型フ ィ ルムの付いたポ リ 了 ミ ッ ク酸フ ィ ゾレム （ フ イ ブレム I ) 2 枚の閭にァ ミ ッ ク 酸の面同士が向かい合う よ う フ ィ ルム Eを挟み、 これら 3 枚のポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム同士を重ね合わせ、 プレ スを用いて、 1 0 0 °C、 2 5 kgZcnf で、 1 5 分の条件で 加熱 ， 圧着を行った。 その後、 金型を用いて孔加工を行 レ、、 離型フ ィ ルムの一方を剝離し、 市販の銅箔粗化面上 にポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム側を重ねあわせ、 ブレスを用 いて 9 0 °C、 4 0 kg / cnf . 1 5 分加熱 ■ 圧着を行った。 最後に離型フ ィ ルムを剝 し、 3 8 0 でで 1 時間加熱を行 い、 イ ミ ド化を完結した。 その後は、 実施例 1 と同様の 方法で 2 層 T A Bテープを得た。

(実施例 5 )

温度計、 撹拌装置、 環流コ ンデンサ一及び乾燥窒素ガ ス吹込み口を備えた 4 っロセパラブルフ ラスコに精製 し た無水のパラ フ エ二 レ ン ジァ ミ ン 1 0 8 gをと り、 これ に無水の N— メ チル一 2 — ピロ リ ドン 9 0 重量％ と ト ル ェ ン 1 0 重量％の混合溶剤を、 全仕込原料中の固形分割 合が 2 0 重量％になるだけの量加えて溶解した。 乾燥窒 素ガスは反応の準備段階よ り生成物取り 出 しまでの全ェ 程にわた り流しておいた。 次いで精製 した無水の 3 , 3 ' , 4 , 4 ' — ビフ ヱ ニルテ ト ラ カ ルボン酸二無水物 2 9 4 gを撹拌しながら少量ずつ添加するが、 発熱反応 であるため、 外部水槽に約 1 5 °Cの冷水を循環させてこ れを冷却した。 添加後、 内部温度を 2 0 でに設定し、 5 時間撹拌し反応を終了 してポ リ ア ミ ッ ク酸溶液 （ A と する） を得た。 次に上記と同様の装置及び方法で無水の 4 , 4 ， ー ジア ミ ノ ジフ エ二ルェ一テル 2 0 O g と精製 した無水の ピロ メ リ ッ ト酸ニ無水物 2 1 8 gを反応させ てポ リ ア ミ ッ ク酸溶液 （ B とする） を得た。 次に Aおよ び Bを、 固形分比で A/ B = 6 0 Z 4 0 になる よ う に 混合撹拌した。

こ のポ リ ア ミ ッ ク酸溶液を用いて、 実施例 1 と同様に してポリ ア ミ ッ ク酸フ イ ルムを得、 次いで 2層 T A Β テ ープを得た。

(実施例 6 )

実施例 5 と同様のポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムを用い、 ポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム面同士が向かい合う よ う に重ね合 わせ、 プレスを用いて、 1 0 0 。 (：、 2 0 kg/cnf で、 1 0 分間、 加熱 · 圧着を行い、 ポ リ ア ミ ッ ク酸積層フ ィ ルム と した。 このポ リ ア ミ ッ ク酸積層フ ィ ルムを使用 し、 実 施例 1 と同様に して 2層 T A Bテープを得た。

(実施例 7 )

実施例 5 と同様のポ リ ア ミ ッ ク酸溶液を使用 し、 実施 例 3 と同様に して 2層 T A Bテープを得た。

(実施例 8 )

実施例 5 と同様な装置及び方法で、 パラ フ 二レ ン ジ ァ ミ ン と 3 ， 3 ' ， 4 ， 4 ' — ビフ エニルテ ト ラ カルボ ン酸ニ無水物からなるポ リ ア ミ ッ ク酸溶液 （ A とする） と、 4， 4 ' ー ジア ミ ノ ジ フ エ 二ルェ一 テノレ と ピ ロ メ リ ッ ト酸ニ無水物からなるボ リ ア ミ ッ ク酸溶液 （ B とす る） を合成した。 次に、 A と Bを固形分比で 7 0 Z 3 0 になる よ う に混合撹拌した。 得られたポ リ ア ミ ッ ク酸溶 液を使用 して、 実施例 4 と同様に して 2 層 T A Bテープ を得た。

(実施例 9 )

実施例 5 と同様な装置及び方法で、 バ ラ フ ヱ二 レ ン ジ ァ ミ ン と 3， 3 ' , 4， 4 ' — ビ フ エ ニルテ ト ラ カ ルボ ン酸ニ無水物からなるポ リ ア ミ ッ ク酸溶液 （ A とする） と、 4， 4 ' ー ジア ミ ノ ジ フ エ 二ルェ一 テノレ と ピ ロ メ リ ッ ト酸ニ無水物からなるボ リ ア ミ ッ ク酸溶液 （ B とす る） を合成した。 次に A と Bを固形分比で 8 0 / 2 0 に なる よ う に混合撹拌した。 その後は、 実施例 1 と同様の 方法で 2層 T A B テープを得た。

実施例 5〜 9 で製造された 2 層 T A B テープの評価結 果を表 1 に示す。

表 1

10

注） * 1 : C H₂ C 1 ₂ 処理 ◎ : 優

15 銅箔とポ リ イ ミ ド層 との接着強度 〇 ： 良

* 3 ： 3 0 0 "C/ 3 min △ : 可

(実施例 1 0 )

第 2図に、 光透過性ポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムを用いた 場合の 2層 TA Bテープの製造工程 （ a ) （ j ) を示

20 す。

温度計、 撹拌装置、 還流コ ンデンサー及び乾燥窒素ガ ス吹込み口を備えた 4つロ セ ノ、。ラ ブルフ ラ ス コ に、 3 , 3 ' — ジア ミ ノ ジフ エニルスルフ ォ ンを 1 乇ル と り 、 こ れに無水の N— メ チル— 2 — ピロ リ ド ン 9 0重量％ と ト or U. 几ェ ン 1 0重量％の混合溶剤を、 全仕込原料中の固形分 割合が 2 0 重量 になるだけの量加えて溶解した。 乾燥 窒素ガスは反応の準備段階よ り生成物取り 出 しまでの全 工程にわた り流 しておいた。 次いで、 精製 した無水の 3 3 ' , 4， 4 ' ー ビフ エニルテ ト ラカルボン酸二無水物 を 1 モル撹拌しながら少量ずつ添加するが、 発熱反応で あるため、 外部水槽に約 1 5 °Cの冷水を循環させてこれ を冷却 した。 添加後、 内部温度を 2 0 でに設定し、 5 時 間撹拌 し、 反応を終了 してポ リ ア ミ ッ ク酸溶液

(ィ） を得た。

また、 同様な装置及び方法を用いて、 精製 した無水の ノ、'ラ フ エ二 レ ン ジァ ミ ン 1 モル と 4 , 4 ' ー ジア ミ ノ フ ェニルエーテル 1 モルをと り、 これに無水の N — メ チル 一 2 — ピロ リ ドン 9 0 重量％ と トルエン 1 0 重量％の混 合溶剤を、 全仕込原料中の固形分割合が 2 0 重量％にな るだけの量加えて溶解した。 乾燥窒素ガスは反応の準備 段階よ り生成物取り 出 しまでの全工程にわた り流してお いた。 次いで、 精製 した無水の 3 , 3 ' , 4， 4 ' ー ビ フ エ ニルテ ト ラ カ ルボン酸二無水物 1 モル と ピロ メ リ ッ ト酸ニ無水物 1 モルを撹拌しながら少量ずつ添加するが、 発熱反応であるため、 外部水槽に約 1 5 °Cの冷水を循環 させてこれを冷却 した。 添加後、 内部温度を 2 0 °Cに設 定 し、 5 時間撹拌 し、 反応を終了 してポ リ ア ミ ッ ク酸溶 液 （ 口） を得た。

3 5 ；/ mの圧延銅箔 5 上にポ リ ア ミ ッ ク酸溶液 （ィ） をロールコ一 夕 一でィ ミ ド化後の厚みが 1 0 〃 mになる よ う に塗布し、 1 1 0 で、 1 0 分乾燥を行い、 銅箔 5 の 付いた光透過性ポ リ ア ミ ッ ク酸フ イ ルム 1 ( b ) を得た 次に市販のポ リ エステル離型フ イ ルム 3 上に、 ポ リ ア ミ ッ ク酸溶液 （口） をロールコーターでィ ミ ド化後の厚み 力く 2 5 〃 mになる よ う に塗布し、 1 1 0 °C、 1 5 分乾燥 を行い、 離型フ ィ ルム 3 の付いたポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ル 厶 2 ( d ) を得た。 こ の離型フ イ ルム付ポリ ア ミ ッ ク酸 フ ィ ルム 2 ( d ) に金型を用いてデバイスホール 4 等に 相当する部分に孔加工を行い （ e ) 、 銅箔付光透過性ボ リ ア ミ ッ ク酸フ イ ルム 1 ( b ) とポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ル ム面を重ね合わせ、 9 0 で、 4 0 kg/cnf. 1 5 分加熟 ' 圧着を行った （ f ) 。 その後、 雜型フ イ ルム 3 を剝し、 3 8 0 °Cで 1 時間加熱を行い、 イ ミ ド化を完結し、 デバ イスホール 4 等に相当する孔を有するポリ イ ミ ド層 2 ' と光透過性ポ リ イ ミ ド層 1 ' を持つ 2層基板 （ g ) を得 た。

得られた 2層基板 （ g ) を用い、 導体箔上に所定の レ ジス ト 6 を施し、 露光、 現像処理を行う こ とによ り導体 パター ンを形成した （ h ) 後、 導体箔上に残留する レ ジ ス ト 6 を除去し （ i ) 、 打ち抜き加工によ り スプロケ ッ ト ホール 7 を設ける こ とによ り 2層 T A Bテープを得た

( j ) o

(実施例 I 1 )

実施例 1 0 と同様のポ リ 了 ミ ッ ク酸フ ィ ルム 2 を用い、 離型フ イ ルム付のポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム 2 面同士が向 かい合う よ う に重ね合わせ、 プレスを用いて、 1 0 0 °C 2 0 kg / cnf で、 1 0 分間、 加熱 · 圧着を行い、 ポ リ ア ミ ッ ク酸積層 フ イ ノレム と した。 こ のポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ル ムを （ d ) と して、 実施例 1 0 と同様に して 2層 T A B テープを得た。

(実施例 1 2 )

市販のポ リ エステルフ イ ルム上に、 実施例 1 0 と同様 のポ リ ア ミ ッ ク酸溶液 （口） をロールコ一夕 一でイ ミ ド 化後の厚みが 2 5 〃 mになる よ う に塗布し、 1 1 0 ° ( 、 1 5 分乾燥を行い、 離型フ イ ルムの付いたポ リ ア ミ ッ ク 酸フ ィ ルムを得た。 次に、 こ のポリ ア ミ ッ ク酸フ ィ ゾレム 面同士を重ね合わせ、 ロール式のラ ミ ネ一夕を用いて、 9 0 °C、 l S kgZcnf で、 0 . 2 mノ分で、 加熱 ， 圧着を 行った後、 金型を用いて孔加工を行い、 片面側の離型フ イ ルムを剝 し実施例 1 と同様な銅箔付のポ リ ア ミ ッ ク酸 フ ィ ルムにポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム面を重ね合わせ、 プ レ スを用いて 9 0 、 4 0 kgZcnf で、 1 5 分加熱 ' 圧着 を行った。 その後、 離型フ ィ ルムを剝 し、 3 8 0 ^eCで 1 時間加熱を行い、 ィ ミ ド化を完結 した。 その後は、 実施 例 1 0 と同様の方法で 2 層 T A B テープを得た。

(実施例 1 3 )

温度計、 撹拌装置、 還流コ ンデンサ—及び乾燥窒素ガ ス吹込み口を備えた 4 っロセパラ ブルフ ラス コ に、 1 ， 3 — ビス （ 3 — ア ミ ノ フ エ ノ キ シ） ベ ンゼ ンを 1 モ ルと り 、 これに無水の N — メ チルー 2 — ピロ リ ドン 9 0 重量％ と ト ルエン I 0 重量％の混合溶剤を、 全仕込原料 中の固形分割合が 2 0重量 になるだけの量加えて溶解 した。 乾燥窒素ガスは反応の準備段階よ り生成物取り 出 しまでの全工程にわたり流しておいた。 次いで、 精製し た無水の 3 , 3 ' ， 4 , 4 ' ー ビフ エニルテ ト ラカルボ ン酸ニ無水物を 1 モル撹拌しながら少量ずつ添加するが- 発熱反応であるため、 外部水槽に約 1 5 ての冷水を循環 させてこれを冷却した。 添加後、 内部温度を 2 0 °Cに設 定し、 5 時間撹拌し、 反応を終了 してポリ ア ミ ッ ク酸溶 液 （ハ） を得た。

また、 同様な装置及び方法を用いて、 精製した無水の ノ ラフ エ二レ ンジア ミ ンを 1 モルと り、 これに無水の N— メ チルー 2 — ピロ リ ドン 9 0 重量％ と ト ルエン 1 0 重量％の混合溶剤を、 全仕込原料中の固形分割合が 2 0 重量％になるだけの量加えて溶解した。 乾燥窒素ガスは 反応の準備段階よ り生成物取り 出 しまでの全工程にわた り流しておいた。 次いで、 精製した無水の 3， 3 ' , 4 , 4 ' 一 ビフ ヱニルテ ト ラカルボン酸二無水物 1 モルを撹 拌しながら少量ずつ添加するが、 発熱反応であるため、 外部水槽に約 1 5 °Cの冷水を循環させてこれを冷却した。 添加後、 内部温度を 2 0 °Cに設定し、 5 時間撹拌し、 反 応を終了 してポ リ ア ミ ッ ク酸溶液 （二） を得た。 ポ リ ア ミ ッ ク酸溶液 （ィ） の代わり にポ リ ア ミ ッ ク酸溶液

(ハ） を用い、 ポ リ ア ミ ッ ク酸溶液 （口） の代わり にボ リ ア ミ ッ ク酸溶液 （二） を用い、 実施例 1 0 と同様の方 法で 2 屨 T A Bテープを得た。

(実施例 1 4 )

ステ ン レ ス ドラム上に、 実施例 1 と同様に して得たポ リ ア ミ ッ ク酸溶液をバー コ 一ターでィ ミ ド化後の厚みが 5 0 ΙΏになる よ う に塗布し、 1 1 0 °C、 1 5 分乾燥を 行っ た後 ドラムから剝離し、 1 1 0 てで 2 kg Z cm

( 4 0 0 O g /腿 ² ) の張力を加え、 1 8 %Z分の速度 で 4 0 %同時 2 軸延伸 しポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムを得た ついでこ のフ ィ ルムに金型を用いてデバイ スホールを設 け、 市販の銅箔粗化面上に重ね合わせ、 9 0 で、

4 0 kg X cnf , 1 5 分加熱 · 圧着を行った。 その後 3 8 0 °Cで 1 時間加熱を行い、 イ ミ ド化を完結し、 デバイスホ —ルを持つ 2 層基揮を得た。

得られた 2層基板を用い、 導体萡上に所定の レ ジス ト パター ン及び穴埋め処理を施し、 エ ッ チ ング処理を施す こ とによ り導体パター ンを形成した後、 導体箔上に残留 する レ ジス ト及び穴埋め材を除去し、 打ち抜き加工によ り スプロケ ッ ト ホールを設ける こ とによ り 2層 T A Bテ ープを得た。

(実施例 1 5 )

延伸条件を 1 5 0 °C、 0 . 5 kg / cm ( 1 0 0 O g / 画 ² ) 、 1 %ノ分で 1 0 %延伸 した以外は、 実施例 1 4 と同様に して 2 層 T A B テープを得た。 尚、 こ の時のフ イ ルムの線膨張係数は、 8 . 5 X 1 0 ⁶ Z °Cであった。 (実施例 1 6 ) 0 実施例 1 4 と同様の延伸ポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムを用 い、 ポ リ ア ミ ッ ク酸フイ ルムを重ね合わせ、 ブレスを用 いて、 1 0 0 °C、 2 0 kg Z cnfで、 1 0 分間、 加熱 ' 圧着 を行い、 ポ リ ア ミ ッ ク酸積層フ イ ルム と した。 こ のポリ ァ ミ ッ ク酸積層フ ィ ルムを使用 し、 実施例 1 4 と同様に して 2層 T A Bテープを得た。

(実施例 1 7 )

市販のポ リ エステルフ ィ ルム上に、 実施例 1 と同様に して得たポ リ ア ミ ッ ク酸溶液をロールコ ーターでイ ミ ド 化後の厚みが 7 5 mになる よ う に塗布し、 1 1 0 ° ( 、 1 5 分乾燥を行い、 離型フ ィ ルムのついたポ リ ア ミ ッ ク 酸フ ィ ルムを得た。 次に、 こ のポリ ア ミ ッ ク酸をフ ィ ル ム面同士を重ね合わせ、 ロール式のラ ミ ネ一夕一を用い て、 9 0 °C、 1 5 kg / cnf . 0 . 2 m /分で加熱 ， 圧着後、 雜型フ ィ ル厶を剝離し、 1 2 0 でで 3 1¾ノ011

( 4 0 0 0 g /mm ² ) の張力を加え 1 8 % 分の速度で 4 0 %同時 2軸延伸 しポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムを得た。 ついで金型を用いて孔加工を行い、 市販の銅箔粗化面上 に重ね合わせ、 プレスを用いて 9 ひで、 4 0 kg / cm .

1 5 分加熱 · 圧着を行った後、 3 8 0 でで 1 時間加熱を 行い、 イ ミ ド化を完結した。 その後は、 実施例 1 4 と同 様の方法で 2 層 T A Bテープを得た。

(実施例 1 8 )

ステン レス ドラム上に、 実施例 1 と同様に して得たポ リ ア ミ ッ ク酸溶液をダイ コーターでィ ミ ド化後の厚みが 5 0 〃 mになる よ う に塗布し、 1 1 0 °C、 1 5 分乾燥を 行った後、 ドラム力、ら剝離 し 1 1 0 °Cで 2 kg / cm ( 4 0 0 O g Z匪 ² ) の張力を加え 1 8 % Z分の速度で 4 0 % 同時 2 軸延伸 しポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムを得た。 次いで 市販の銅箔粗化面上にこ のポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムを重 ね合わせ、 9 0 °C、 4 0 kg / cnf , 1 5 分加熱 · 圧着を行 つた。 その後、 3 8 0 °Cで 1 時間加熱を行い、 イ ミ ド化 を兀結 した。

得られた 2 層フ レキシブル印刷回路用基板の特性は、 通常の方法で銅箔上に直接塗布、 乾燥、 ィ ミ ド化を行い 作製 した もの と同等以上の特性を有していた。

(実施例 1 9 )

市販のポ リ エステルフ イ ルム上に、 実施例 1 と同様に して得たポ リ ア ミ ッ ク酸溶液をロールコーターでィ ミ ド 化後の厚みが 2 5 mになる よ う に塗布 し、 1 1 0 で、 1 5 分乾燥を行い、 離型フ ィ ルムのついたポ リ ア ミ ッ ク 酸フ イ ルムを得た。 次に、 こ のポ リ ア ミ ッ ク酸フ イ ルム 面同士を重ね合わせ、 ロール式のラ ミ ネーターを用いて、 9 0 °C , 1 5 kg / cnf、 0 . 2 m Z分で加熱 ， 圧着を行つ た後、 離型フ イ ルムから剝離 し、 1 3 0 °Cで 2 kg cm

( 0 0 0 g /腿 ² ) の張力を加え 1 分の速度で 3 0 %同時 2 軸延伸 しポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム と した。 次いで市販の銅箔粗化面上にポ リ ア ミ ッ ク酸フ イ ルム面 を重ね合わせ、 プレ スを用いて 9 0 °C , 4 0 kg / cnf , 1 5 分加熱 · 圧着を行った。 その後、 3 8 0 °Cで 1 時間加 熱を行い、 イ ミ ド化を完結し、 2層フ レキシブル印刷回 路用基板を得た。

(実施例 2 0 )

ステ ン レ ス ドラム上に、 実施例 1 と同様に して得たポ リ 了 ミ ッ ク酸溶液をバー コ 一ターでイ ミ ド化後の厚みが 2 5 mになる よ う に塗布し、 1 1 0 で、 1 5 分乾燥を 行った後、 ドラムから剝離し、 1 1 0 °Cで 1 kg Z cm ( 4 0 0 0 匪 ² ) の張力を加え 4 0 %同時 2軸延伸 しポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムを得た。 次いで金型を用いて 孔加工を行い、 市販の銅箔粗化面上と 2曆フ レキシブル 印刷回路基板 （ A— 1 F L E X ： 住友べ一 ク ライ ト社 製） にそれぞれポリ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム面を重ね合わせ、 9 0 で、 4 0 kg / cnf . 1 5 分加熱 · 圧着を行った。 その 後、 3 8 0 °Cで 1 時間加熱を行い、 イ ミ ド化を完結した。

このよ う に して得られた試験片について、 銅箔との ピ ール強度、 半田耐熱性、 鏑箔の表面接鐃部における しみ 出 し量を調べた。

鏔箔との ピール強度及び半田耐熱性について、

J I S C 5 0 1 6 に準拠した方法で測定した と こ ろ、 ピール強度は 1 . 1 kgノ cmと良好な結果を示し、 半田酎 熱性は、 3 0 0 でで全 く 異常が認められなかった。 しみ 出 し量については、 直径 5 mmで開口 しているべき表面接 続用穴の直径の減少量を調べたと こ ろ、 しみ出 しは認め られなかった。

酎折性については、 M I T耐折試験 0 . 8 Rで銅箔が 切断する までの回数を測定 した と こ ろ、 5 0 0 0 回であ つた。

産業上の利用可能性

本発明によ る T A B テープはカ メ ラ、 液晶表示素子等 に利用 される半導体実装フ レ キシブル印刷回路板の製造 における半導体実装の面で極めて高密度の実装方式と し て使用される。

また本発明による延伸ポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムは寸法 安定性の良いフ レキシブル印刷回路板と して、 或いは力 バー レイ フ イ ルム付フ レキシブル印刷回路板と して使用 される。

Claims

70 34 求 の 範 囲

1. 離型フ ィ ルム上に形成された半硬化ポ リ ア ミ ッ ク 酸フ ィ ルムに所定の開孔部を設けた後、 導体箔にポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム面を合わせて圧着し、 離型フ ィ ルムを 剝雜した後、 イ ミ ド化を完結させ、 導体箔に所要のバタ ー ンを形成する こ とを特徴とする 2層 T A B テープの製 造方法。

2. ポ リ ア ミ ッ ク酸フ イ ノレム力く、 3 , 3 ' , 4 , 4 ' ― ビフ ヱニルテ ト ラカ ルボン酸二無水物とパラ フ エニレ ン ジア ミ ン とを反応させて得られたポ リ ア ミ ッ ク酸溶液

( A ) と、 ピロ メ リ ッ ト酸二無水物と 4 , 4 ' ー ジア ミ ノ ジフ ヱニルエーテルを反応させて得られたポ リ ア ミ ッ ク酸溶液 （ B ) とを、 固形分比で AZ B - 5 5 / 4 5 〜 7 5 X 2 5 の割合で混合 したワニスによ り形成されたも のである請求の範囲 1 記載の 2 層 T A Bテープの製造方

3. 導体箔上に形成された半硬化状態の光透過性ポ リ 了 ミ ッ ク酸フ イ ルム と、 離型フ ィ ルム上に形成された所 定の開孔部を有する半硬化状態のポリ ア ミ ッ ク酸フ ィ ル 厶 とをポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム面を合わせて加熱 ' 圧着 し、 離型フ ィ ルムを剝離した後、 イ ミ ド化を完結させ、 次いで導体箔に所要のパター ンを形成する こ とを特徴と する、 光透過性ボ リ イ ミ ド層を下層に持つ部分的にフ ィ ル 厶厚みの異なる支持フ ィ ルム層を有する 2層 T A B テ PCT/JP92/00286

35 ープの製造方法。

4. 開孔部を有するポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムが、 3 , 3 ' ， 4 ， 4 ' — ビフ ヱ ニルテ ト ラ カ ル'ボ ン酸二無水物 と ノ、 'ラ フ ヱ二 レ ン ジァ ミ ン とを反応させて得 られたボ リ

5 ァ ミ ッ ク酸溶液 （ A ) と、 ピロ メ リ ッ ト酸二無水物と 4 ' — ジア ミ ノ ジ フ ヱ ニルエーテルを反応させて得 られ たポ リ ア ミ ッ ク酸溶液 （ B ) とを、 固形分比で

A / B = 5 5 ノ 4 5 〜 7 5 / 2 5 の割合で混合 したヮニ スによ り形成された ものである請求の範囲 3 記載の 2 層 10 T A B テープの製造方法。

5. 1 0 %以上延伸を施した半硬化状態のポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムに所定の開孔部を設けた後、 導体箔に該フ イ ルムを圧着 し、 イ ミ ド化を完結させ、 次いで導体箔に 所要のパター ンを形成する こ とを特徴とする 2層丁 A B 15 テープの製造方法。

6. 延伸されたポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムが、 3 ， 3 * , 4 ， 4 ' — ビフ エニルテ ト ラ カ ルボ ン酸二無水物とノ、'ラ フ エ二 レ ン ジア ミ ン とを反応させて得られたポ リ ア ミ ッ ク酸溶液 （ A ) と、 ピロ メ リ ッ ト酸二無水物 と 4 ， 4 ' 20 ー ジァ ミ ノ ジフ エニルエーテルを反応させて得られたポ リ ア ミ ッ ク酸溶液 （ B ) とを、 固形分比で A / B = 5 5 / 4 5 〜 7 5 / 2 5 の割合で混合 したワニスによ り形成 された ものである請求の範囲 5 記載の 2 層 T A B テープ の製造方法。

25 7. イ ミ ド化完結後、 開孔部に所要の穴埋め材を充塡 し、 パター ン形成後穴埋め材を除去する こ とを特徴とす る請求の範囲 1 ， 2 , 5 及び 6 記載の 2層 T A Bテープ の製造方法。

8. 離型フ ィ ルム も し く は離型 ドラム上にポ リ ア ミ ツ ク酸溶液を塗布し、 タ ッ ク フ リ ー状態になる まで乾燥さ せ、 ポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムを形成し、 次いで離型フ ィ ルム も し く は離型 ドラムから剝離したア ミ ッ ク酸フ ィ ル ムを 1 0 %以上延伸させる こ とを特徴とする半硬化状態 の延伸されたポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムの製造方法。

9. 同一組成または異なる組成の 2枚以上のポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムをポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルム面を合わせて、 同時に加熟 ' 圧着し、 厚いポ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムと し た後、 1 0 %以上延伸を施すこ とを特徴とする半硬化状 態の延伸されたボ リ ア ミ ッ ク酸フ ィ ルムの製造方法。

1 0. 請求の範囲 8 又は 9 で得られた延伸ポ リ ア ミ ッ ク 酸フ ィ ルムを導体箔に圧着し、 次いでイ ミ ド化を完結さ せる こ とを特徵とする フ レキシブル印刷回路用基板の製 造方法。

1 1 . 請求の範囲 8 又は 9 で得られた延伸ポ リ ア ミ ッ ク 酸フ イ ルムに所定の開孔部を設けてカバー レイ フ イ ルム と し、 これを接着剤層を持たないボリ イ ミ ドフ イ ルム層 のみを有する 2層フ レキシブル印刷回路板に圧着し、 次 いでイ ミ ド化を完結させる こ とを特徴とするカバ一 レイ フ ィ ルム付フ レキシブル印刷回路板の製造方法。