TWI525738B - 氣體注入裝置、氣體排出裝置、氣體注入方法及氣體排出方法 - Google Patents

氣體注入裝置、氣體排出裝置、氣體注入方法及氣體排出方法 Download PDF

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Description

氣體注入裝置、氣體排出裝置、氣體注入方法及氣體排出方法
本發明係關於一種氣體注入裝置、氣體排出裝置、氣體注入方法及氣體排出方法，係在製造使用了半導體元件或玻璃基板之元件等時，可將氣體注入至收納有半導體晶圓基板或玻璃基板的載置匣等容器內。
製造半導體元件時，為了於製造裝置之間搬送半導體晶圓，會使用一種能收納複數個晶圓的載置匣。載置匣係亦有以填充防止晶圓表面氧化用的非活性氣體的方式所構成之被稱為FOUP(Front Opening Unified Pod，前開口式通用容器)的密閉型結構者。
專利文獻1中，揭露一種將非活性氣體注入至設置在載入埠上之FOUP等容器內的技術。該技術中，載入埠處設置有門扉及用於開啟/關閉的門扉開關機構，門扉可保持容器之蓋體，藉由門扉開關機構來將門扉開放時便可將蓋體從容器本體分離，並從露出之容器開口供給非活性氣體(例如，參考專利文獻1之說明書段落[0018]、[0020]、[0024])。
近年來，隨著配線圖案之微細化，為了提高容器內非活性氣體的濃度，係開始採用一種於容器底部設置有非活性氣體注入部(注入口)，經由該注入部而從噴出非活性氣體用噴嘴將非活性氣體注入至容器內的技術。
先前技術文獻
專利文獻1：日本專利特開2009-38074號公報
採用了如前述非活性氣體注入技術之裝置中，係在載入埠處的容器載置台上設置有噴嘴。當容器載置於載置台上且噴嘴抵接至注入部之後，將非活性氣體注入容器內。為了能將容器載置至載置台之特定位置處，載置台上會設置有定位銷，藉由讓定位銷嵌卡至容器底部所設置之溝來定位容器。又，注入非活性氣體時，為了提高容器注入部與噴嘴之緊密性，會從載置台處突出之方式來設置噴嘴，又，可藉由彈簧來將噴嘴彈性地設置於載置台處。具體而言，當容器載置於載置台時，容器之注入部會抵接至噴嘴，並藉由容器自身重量來抵抗該彈簧力用以將噴嘴押下。
但是，當容器載置於載置台上時，藉由定位銷來將容器定位之前，會發生噴嘴勾到注入部或注入部周邊，使得容器無法定位至所期望之位置處的問題。
又，係藉由彈簧力來讓噴嘴密接至容器之注入部處，當彈簧力過強時，會造成無法高精度地進行容器上下方向定位之虞。
有鑑於以上情事，本發明之目的係提供一種氣體注入裝置、排出裝置、注入方法及排出方法，係在載置容器用之載置台處，搭載有將氣體注入容器內或從容器內將氣體排出用的噴嘴之裝置中，可讓容器於載置台上確實進行定位。
為了達成前述目的，本發明之一形態的氣體注入裝置係可將氣體注入至收納有被收納體之容器的裝置，該容器具有底部、設置在該底部處之定位溝、及設置在該底部處 之氣體注入部。氣體注入裝置具備有載置台、定位銷、噴嘴、及驅動部。
該容器載置於該載置台處。
該定位銷係設置成從該載置台處突出且可卡合至該容器之該定位溝。
該噴嘴係用以經由該容器之該注入部而將該氣體注入該容器內。
該驅動部係以在當該定位銷卡合至該容器之該定位溝之狀態下，使得該噴嘴接觸該容器之該注入部而驅動該噴嘴。
本發明中，當容器載置於載置台時，定位銷會卡合至容器底部所設置之定位溝處，而讓容器於載置台上進行定位，於該狀態下藉由驅動部使噴嘴接觸至容器之注入部。因此，於載置台上將容器定位完成之前，不會發生噴嘴勾到注入部的問題。即，依本發明可讓容器於載置台上確實進行定位。
又，例如藉由彈簧將噴嘴彈性地設置於載置台時，即使該彈簧力過強之情況，藉由適當地控制驅動部之驅動力，便可於載置台上之上下方向對容器進行定位。另一方面，假若當該彈簧力太弱之情況，如前述般容器之注入部與噴嘴之間的密接度則會不足。即，於噴嘴處設置彈簧之情況下，關於彈簧力必須具備高度之設計精度，但依本發明，因為無需彈簧故不會發生彈簧設計的問題。又，即便使用了彈簧亦無需前述般高度之設計精度。
該驅動部係在待機位置、及該噴嘴接觸該容器之該注入部的接觸位置之間驅動該噴嘴。於此情況下，在當該定 位銷卡合至該容器之該定位溝而將該容器載置於該載置台之狀態下，該噴嘴亦可於該待機位置處待機，並使該噴嘴之上端位在較該容器之該注入部位置更低的位置處。
本發明中，位於待機位置處之噴嘴上端之位置會較容器(完成定位之狀態下)底部更低，於載置台處當容器完成定位時，噴嘴與容器不會相互干擾。因此，可確實地於載置台上將容器定位。
本發明之氣體排出裝置係可從收納有被收納體之容器將氣體排出的裝置，該容器具有底部、設置在該底部處之定位溝、及設置在該底部處之氣體的排出部。該氣體排出裝置具備有載置台、定位銷、噴嘴及驅動部。
該容器可載置於該載置台處。
該定位銷係設置成從該載置台處突出且可卡合至該容器之該定位溝。
該噴嘴係用以經由該容器之該排出部而將該容器內之氣體排出。
該驅動部係以在當該定位銷卡合至該容器之該定位溝之狀態下，使得該噴嘴接觸該容器之該排出部而驅動該噴嘴。
本發明中，將容器載置於載置台時，當定位銷卡合至容器底部所設置之定位溝而讓容器於載置台上定位完成後，讓噴嘴接觸至容器之排出部。因此，在容器於載置台上定位完成之前，不會發生噴嘴勾到排出部的問題。即，依本發明，可讓容器於載置台上確實進行定位。
又，例如藉由彈簧將噴嘴彈性地設置於載置台時，當該彈簧力太弱之情況，會發生容器之排出部與噴嘴之間的 密接度不足的問題，因此，關於彈簧力必須具備高度之設計精度。但依本發明，因為無需彈簧故不會發生彈簧設計的問題。又，即便使用了彈簧亦無需前述般高度之設計精度。
本發明之氣體注入方法係為了將收納被收納體用之容器載置於載置台處，而使得設置成從該載置台處突出的定位銷，卡合至設置在該容器底部之定位溝。
在當該定位銷卡合至該容器之該定位溝之狀態下，使得噴出該氣體用之噴嘴接觸被設置在該容器之該底部的注入部。
可從該噴嘴經由該注入部而將該氣體注入該容器內。
本發明中，將容器載置於載置台時，定位銷會卡合至容器底部所設置之定位溝處而讓容器於載置台上定位完成後，讓噴嘴接觸至容器之注入部。因此，於載置台上將容器定位完成之前，不會發生噴嘴勾到注入部的問題。即，依本發明，可讓容器於載置台上確實進行定位。又，如前述般，無需高精度之彈簧設計。
本發明之氣體排出方法係為了將收納被收納體用的容器載置於載置台，而使得設置成從該載置台處突出的定位銷，卡合至設置在該容器底部的定位溝。
在當該定位銷卡合至該容器之該定位溝的狀態下，使得排出該氣體用之噴嘴接觸至設置在該容器之該底部的排出部。
經由該排出部而將該容器內之氣體從該噴嘴排出。
本發明中，將容器載置於載置台時，定位銷會卡合至容器底部所設置之定位溝而讓容器於載置台上定位完成 後，讓噴嘴接觸至容器之排出部。因此，當容器於載置台上完成定位之前，不會發生噴嘴勾到排出部的問題。即，依本發明，可讓容器於載置台上確實進行定位。又，如前述般，無需高精度之彈簧設計。
以上，依本發明，載置容器用之載置台處，搭載有用以將氣體注入容器內或從容器內將氣體排出之噴嘴的裝置中，可讓容器於載置台上確實地進行定位。
用以實施發明之形態
以下，參考圖式來說明本發明之實施形態。
第1實施形態
圖1係本發明第1實施形態之氣體注入裝置(載入埠)的立體圖。圖2係該載入埠100之平面圖。
載入埠100具有能做為半導體元件之各種製造工程中所使用的製造裝置之間的介面部功能。
載入埠100具有載置台2，其可載置做為收納複數個半導體晶圓基板(以下稱作晶圓)W之容器的載具10(載置匣)。載具10係可用作密閉容器之FOUP(Front Opening Unified Pod，前開口式通用容器)。
載置台2具有基座殼體22、及設置於該基座殼體22上的板狀載具座21。並使載具10載置於載具座21上。載具座21上所載置之載具10的前面側(即，圖1中Y軸方向之深度方向側)設置有能讓晶圓W通過的通過口16。面向通過口16般地設置有將載具10之蓋105開啟/關閉用的開關裝置15。
開關裝置15搭載有鍵，其可插入至載具10之蓋105 所設置之圖中未顯示的鍵孔處。開關裝置15係使用該鍵來進行開鎖及上鎖，藉此將載具10之蓋105開啟/關閉，以使得蓋105從載具10本體處拆除或安裝。開關裝置15係可例如使得從載具10本體處拆下之蓋105朝下方或横向移動之結構。藉此，將通過口16開啟，並經由通過口16來將圖中未顯示之製造裝置內部與載具10內部相互連通。
載具座21係可藉由基座殼體22內部所設置之圖中未顯示的滑動機構，而朝Y軸方向移動。藉此，載具座21係可使載具座21上所載置之載具10，移動至如前述般開關裝置15對載具10之蓋105進行開啟/關閉的動作之位置處。
載具座21之周緣部配置有將非活性氣體注入至載具座21上所載置之載具10內部用的3個注入噴嘴5(5a、5b、5c)，又，配置有將載具10內部氣體排出用的1個排出噴嘴5’。注入噴嘴5及排出噴嘴5’係各自藉由噴嘴座6來加以保持。噴嘴座6處連接有安裝組件9，噴嘴座6係藉由安裝組件9而各自安裝至載具座21周緣部之特定位置處。藉此，注入噴嘴5及排出噴嘴5’可藉由前述滑動機構與載具座21一體地進行移動。
圖3係從側面所見之載置台2主要部份的示意剖面圖。載置台2之基座殼體22的上方面處設置有開口221，係通過該開口221而讓注入噴嘴5及排出噴嘴5’從基座殼體22內部朝上方露出之結構。該等注入噴嘴5處連接有圖中未顯示之氣體氣瓶(Bombe)等的非活性氣體供給源、連接至該供給源的配管、及連接至該配管的開關閥等等，係連 接有供給非活性氣體所必需的要素。配管之一部份或開關閥等被收納於基座殼體22內。又，排出噴嘴5’處經由配管及開關閥而連接有鼓風機或真空泵。做為非活性氣體可使用氮、氦、氬等。
圖4係顯示於例如3個注入噴嘴5a、5b及5c之中，例如載入埠100前方側(載具10後方側)所設置之注入噴嘴5a附近的放大剖面圖。該載入埠100則各自具備有讓注入噴嘴5a昇降的昇降驅動單元4。
另外，3個注入噴嘴(5a、5b及5c)、噴嘴座6及昇降驅動單元4之結構係各自相同。排出噴嘴5’處亦具備有與前述相同之噴嘴座6及昇降驅動單元4。注入噴嘴5與排出噴嘴5’於功能上雖有若干差異，但實質上皆為相同。
如圖4所示，昇降驅動單元4係具有安裝於噴嘴座6之兩側部的藉由流體壓力所驅動之缸筒驅動機構(氣壓缸41)。氣壓缸41之作用端處連接有安裝板42，安裝板42處安裝有注入噴嘴5a。因此，藉由讓氣壓缸41來對該安裝板42進行昇降驅動，便可驅動注入噴嘴5a來進行昇降。
噴嘴座6具有於其下部處設置有圓柱狀凹部62a的本體62、及封閉該凹部62a般設置於本體62上的蓋體61，且可昇降般地保持有注入噴嘴5a。注入噴嘴5a於側面具有凸緣部51，該凸緣部51被保持於噴嘴座6處，而配置於噴嘴座6之凹部62a內部。關於蓋體61與注入噴嘴5a凸緣部51之間的關係，在藉由氣壓缸41之驅動來讓注入噴嘴5進行上昇移動時，蓋體61具有做為其上限位置(阻擋部)的功能。注入噴嘴5a內部設置有流道52，該流道52 下部則連接有圖中未顯示之配管。
另外，配置於基座殼體22內的配管可使用如軟管等組件。又，注入噴嘴5a之凸緣部51之下方面側，亦可設置有做為支撐注入噴嘴5a用之支撐組件(彈簧)。此時，該彈簧之功能並非是如過去般將注入噴嘴壓抵於載具10之注入部102(參考圖5)，其單純是用來支撐注入噴嘴，而無需如後述般設計適當而平衡之彈簧常數等，無需高精度的設計。
如圖2至圖4所示，載具座21設置有複數個活動銷7，其可做為將載具10定位用的定位銷，且從載具座21朝上方突出之結構。活動銷7例如可設置有3個，但並非限定於此。又，載具座21上設置有裝卸感測器8，其可檢測出載具10是否已載置於載具座21上且定位。裝卸感測器8亦可具有複數個。
圖5係顯示載具10底部之圖式。載具10之底部103處，各自對應於活動銷7之配置，設置有能讓該等活動銷7嵌入而卡合的定位溝101。又，於底部103處，各自對應於噴嘴5、5’之配置，設置有能各自與注入噴嘴5及排出噴嘴5’接觸的注入部102及排出部102’。
如圖4所示，例如於注入部102處設置有：設置於載具10底部103的開口1021、及嵌入該開口1021的扣眼封環1022(grommetseal)。扣眼封環1022之外徑及內徑係根據注入噴嘴5之流道52內徑或外徑之間的關係而事先加以決定。排出部102’之結構亦與注入部102之結構實質相同。
如圖4所示，定位溝101之剖面呈V字型，讓活動銷 7之上部曲面與相對向之定位溝101內壁面平均而良好地抵接，藉以讓載具10進行定位。
關於設置於載入埠100處之注入噴嘴5、排出噴嘴5’、及活動銷7的個數與配置方式，只要能與設置於載具10處之注入部102、排出部102’、及定位溝101的個數或配置方式達成整合性，其可為任意形態。該等之個數或配置方式會依規格而改變。
說明具以上結構之載入埠100的動作。
例如，圖中未顯示之OHT(Over Head Transportation，高架運輸)，或其他之搬送機器人來將收納有晶圓W之載具10從別處搬送至該載入埠100後，將載具10載置於該載入埠100之載置台2。此時如圖3所示，載具座21位在前方側(圖3中右側)位置。又，此時如圖4所示，注入噴嘴5a(及其他之注入噴嘴5b、5c與排出噴嘴5’)係於待機位置之高度位置處待機。
將載具10從搬送機器人搬送給載具座21時，藉由活動銷7與載具10之定位溝101之相互作用，讓載具10定位至特定位置處。此時，藉由裝卸感測器8來檢測出載具10已載置至載具座21之特定位置處。即使如前述載具10已定位之狀態下，如圖4所示，注入噴嘴5之上端部仍尚未接觸至載具10底部103之注入部102。即，關於注入噴嘴5之待機位置，當活動銷7卡合至定位溝101而將載具10載置於載具座21上之狀態下，相較於載具10底部103(特別是注入部102)之位置，注入噴嘴5之上端係位在更低位置處。
當載具10定位完成後，即，藉由裝卸感測器8確認 到載具10之安裝狀態後，如圖6所示，藉由昇降驅動單元4之驅動來讓注入噴嘴5上昇，注入噴嘴5之上端接觸至注入部102之扣眼封環1022。接著，開啟前述之開關閥，將從圖中未顯示之供給源所供給之非活性氣體經由注入噴嘴5及注入部102而注入載具10內部。又，與該注入動作時點在實質相同的時點，亦經由排出部102’及排出噴嘴5’而將載具10內之氣體排出。或者，亦可先經由排出噴嘴5’，相當程度地將載具10內之氣體排出而使載具10內部呈減壓狀態後，再將非活性氣體注入載具10內。
在將非活性氣體注入至載具10內部之後，或者在實施注入之期間內，藉由讓載具座21沿Y軸方向朝後方側(圖3中左側)移動，便可讓載具10之蓋105接觸至通過口16。接著，開關裝置15會將載具10之蓋105的鎖定解除，從載具10之本體處將蓋105拆下，便可經由通過口16來讓載具10內部與製造裝置內部相互連通。如此一來，用製造裝置內之搬送機器人(圖中未顯示)來將載具10內之晶圓W取出，藉由製造裝置來對晶圓W施以特定處理。
又，晶圓W處理完成後，該製造裝置內之搬送機器人會經由通過口16而將處理後晶圓W收納至載具10內部。將特定個數之晶圓W收納至載具10內部後，藉由開關裝置15將蓋105安裝至載具10之本體處，並加以鎖定。接著，藉由讓載具座21沿Y軸方向朝前方側移動，讓載具10回到最初載置於載具座21的位置處。
如前述般，本實施形態中，將載具10載置於載具座21時，活動銷7會卡合至載具10底部103所設置之定位 溝101而讓載具10於載置台2上進行定位。接著從前述狀態，再藉由昇降驅動單元4來讓注入噴嘴5及排出噴嘴5’各自接觸至載具10之注入部102及排出部102’。因此，當載具10於載置台2上完成定位之前，不會發生注入噴嘴5(或排出噴嘴5’)勾到載具10之注入部102(或排出部102’)的問題。即，依本實施形態，可讓載具10於載置台2上確實地進行定位。
又，假如注入噴嘴5係藉由前述支撐用彈簧等而相對於載具座21呈彈性設置，且該彈簧力過強之情況下，亦可藉由適當地控制氣壓缸41之驅動力，於載具座21上之上下方向讓載具10進行定位。另一方面，當該彈簧力太弱時，如前述般，載具10之注入部102與注入噴嘴5之問的密接力便會不足。即，於注入噴嘴處設置有彈簧之情況，關於彈簧力需要高設計精度，但依本實施形態，由於只要對氣壓缸41之驅動力進行控制即可，故不會發生前述問題。
特別是使用OHT從上方將載具10搬送至載入埠100而載置於載置台2之情況，載具10主要會沿左右方向搖晃，噴嘴因彈簧力而從載置台大幅突出之習知載入埠構造中便會發生前述問題，故定位困難。本實施形態中，藉由OHT來搬送載具10且載具10左右搖晃之情況，在定位前注入噴嘴5亦不會接觸至載具10。
又特別是於注入部102(或排出部102’)處使用了橡膠製扣眼封環1022之情況，注入噴嘴5及扣眼封環1022之間的摩擦係數會大於活動銷7及載具10之定位溝101之間的摩擦係數。因此，於習知技術中，注入噴嘴很容易會 勾到載具之注入部。順帶一提，注入噴嘴5為金屬製，活動銷7為金屬或樹脂製，載具10之本體為樹脂製。
本實施形態中，如圖4所示，於待機位置處之注入噴嘴5(或排出噴嘴5’)之上端部位置係較定位完成狀態下之載具10之注入部102更低。因此，於載置台2處進行載具10之定位時，注入噴嘴5(或排出噴嘴5’)不會與載具10造成干擾。藉此，可確實地將載具10置於載置台2處。
本實施形態中，於昇降驅動單元4使用了氣壓缸41。與彈簧力不同，無論是多少行程量，藉由氣壓缸41皆可獲得一定之驅動力，故可輕易地以所期望之力量來讓注入噴嘴5(或排出噴嘴5’)接觸至載具10之注入部102(或排出部102’)。又，相較於使用電磁式馬達之其他驅動源，氣壓缸41之結構單純，又，由於是氣壓驅動，控制亦單純，故具有輕量性、可維護性、耐久性等優點。
第2實施形態
圖7係與前述相同適用於載入埠之本發明第2實施形態之昇降驅動單元的剖面圖。該第2實施形態之說明中，關於已包含於前述第1實施形態之載入埠100的組件或功能等，將簡略化或省略相同之說明，以相異點為中心來進行說明。
該昇降驅動單元54具有讓注入噴嘴55昇降用的筐體541。注入噴嘴55係設置成會從筐體541上方面所設置之開口541a處露出其一部份之結構。注入噴嘴55之外周面形成有凸緣部551。注入噴嘴55之凸緣部551與筐體541之內壁面所形成之接續部547之間處，連接有支撐注入噴嘴55之昇降移動的圓筒狀伸縮管(bellows)542。藉由該伸 縮管542來將筐體541內部劃分而形成2個壓力室(第1及第2壓力室)545及546。2個壓力室545及546處，各自設置有將非活性氣體導入壓力室545內部的導入部543、及將壓力室546內部氣體排出的排氣部544。注入噴嘴55內所設置之非活性氣體的流道552會連通至壓力室545內部。
前述昇降驅動單元54中，將非活性氣體導入至壓力室545內，又，從壓力室546將氣體排出。如此一來，2個壓力室545及546會產生壓力差。於此情況，導入部543及排氣部544係具有壓力差產生機構的功能。只要將注入噴嘴55內之流道552的流動阻礙設定於較高數值，便可讓2個壓力室545及546產生壓力差。
當2個壓力室545及546產生壓力差時，注入噴嘴55便會上昇並使伸縮管542伸長，進而接觸至載具10之底部103的注入部102。又此時，由於壓力室545內部氣壓較高，於壓力室545內的非活性氣體會經由注入噴嘴55內之流道552及注入部102而注入載具10內。
如前述，於本實施形態中，藉由讓壓力室545及546產生壓力差，連接至伸縮管542的注入噴嘴55便會因該壓力差而驅動。藉此，注入噴嘴55本自便會形成缸筒之活塞，故可達成昇降驅動單元54整體之小型化。
又，該昇降驅動單元54係利用將非活性氣體朝載具10內部注入之動作來驅動注入噴嘴55，故無需額外之壓力傳達媒體。
其他實施形態
本發明之實施形態並不限定於以上所述實施形態，亦 可實行其他各種實施形態。
前述各實施形態係針對將非活性氣體注入載具10內之形態來進行說明，但亦可取代非活性氣體，而將乾燥空氣注入載具10內。
前述各實施形態係使用氣壓缸41來做為昇降驅動單元4之驅動源，但亦可使用導螺桿、皮帶、齒輪與齒條(rack and pinion)、或電磁式線性致動器等。又，該驅動源(前述實施形態中為氣壓缸41)之個數並不限定為2個，亦可為單個或3個以上。
前述各實施形態係針對將氣體注入及排出裝置適用於載入埠100之情況來進行說明，但亦可將前述氣體注入裝置適用於暫時保管載具10用的收納架(stocker)或其他沖洗站等。
前述各實施形態係舉出了半導體晶圓基板之範例來做為被收納於載具10的被收納體，但並非限定於此，亦可使用顯示元件或光電變換元件等所使用的玻璃基板。
前述第2實施形態中，使壓力室545及546產生壓力差之情況，亦可不從排氣部544處積極地進行排氣，而僅是將非活性氣體導入至壓力室545。即，壓力室546亦可處於自然排氣之形態。或者，不從導入部543導入非活性氣體，而從排氣部544處進行排氣，且於注入噴嘴55處經其它途徑來供給非活性氣體之結構。又，前述第2實施形態之昇降驅動單元亦可適用為排出氣體用的排出噴嘴。
2‧‧‧載置台
4、54‧‧‧昇降驅動單元(相當於驅動部)
5、5a、5b、5c、55‧‧‧注入噴嘴(相當於噴嘴)
5’‧‧‧排出噴嘴(相當於噴嘴)
6‧‧‧噴嘴座
7‧‧‧活動銷(相當於定位銷)
8‧‧‧裝卸感測器
9‧‧‧安裝組件
10‧‧‧載具(相當於容器)
15‧‧‧開關裝置
16‧‧‧通過口
21‧‧‧載具座
22‧‧‧基座殼體
41‧‧‧氣壓缸
42‧‧‧安裝板
51‧‧‧凸緣部
52‧‧‧流道
54‧‧‧昇降驅動單元
55‧‧‧注入噴嘴
61‧‧‧蓋體
62‧‧‧本體
62a‧‧‧凹部
100‧‧‧載入埠(相當於搭載有氣體注入裝置之裝置)
101‧‧‧定位溝
102‧‧‧注入部
102’‧‧‧排出部
103‧‧‧底部
105‧‧‧蓋
221‧‧‧開口
541‧‧‧筐體
541a‧‧‧開口
542‧‧‧伸縮管
543‧‧‧導入部
544‧‧‧排氣部
545、546‧‧‧壓力室
547‧‧‧接續部
551‧‧‧凸緣部
552‧‧‧流道
1021‧‧‧開口
1022‧‧‧扣眼封環
W‧‧‧晶圓
圖1係本發明第1實施形態之氣體注入裝置(載入埠)的立體圖。
圖2係該載入埠之平面圖。
圖3係從側面所見之載置台主要部份的示意剖面圖。
圖4係設置於載入埠前方側之注入噴嘴附近的放大剖面圖。
圖5係顯示載具底部之圖式。
圖6係藉由昇降驅動單元之驅動來讓注入噴嘴上昇而使得注入噴嘴上端接觸至注入部扣眼(grommet)的狀態圖。
圖7係適用於載入埠之本發明第2實施形態之昇降驅動單元的剖面圖。
4‧‧‧昇降驅動單元(相當於驅動部)
5、5a‧‧‧注入噴嘴(相當於噴嘴)
6‧‧‧噴嘴座
7‧‧‧活動銷(相當於定位銷)
10‧‧‧載具(相當於容器)
21‧‧‧載具座
41‧‧‧氣壓缸
42‧‧‧安裝板
51‧‧‧凸緣部
52‧‧‧流道
61‧‧‧蓋體
62‧‧‧本體
62a‧‧‧凹部
101‧‧‧定位溝
102‧‧‧注入部
103‧‧‧底部
1021‧‧‧開口
1022‧‧‧扣眼封環

Claims (7)

  1. 一種氣體注入裝置，其係具備：載置台，係可載置收納被收納體用的容器，該容器具有底部、設置在該底部處之定位溝、及設置在該底部處之氣體注入部；定位銷，係設置成從該載置台處突出且可卡合至該容器之該定位溝；噴嘴，係用以經由該容器之該注入部而將該氣體注入該容器內；以及驅動部，係可以在當該定位銷卡合至該容器之該定位溝之狀態下，獨立地驅動該噴嘴而使得該噴嘴接觸該容器之該注入部。
  2. 如申請專利範圍第1項之氣體注入裝置，其中該驅動部係在待機位置、及該噴嘴接觸該容器之該注入部的接觸位置之間驅動該噴嘴，且該噴嘴係構成為在當該定位銷卡合至該容器之該定位溝而將該容器載置於該載置台之狀態下，該噴嘴係於該待機位置處待機，以使該噴嘴之上端位在較該容器之該注入部位置更低的位置處；該氣體注入裝置更具備：感測器，檢測出該容器是否已藉由該定位銷定位而載置於該載置台；以及配管與開關閥，係連接於該噴嘴，用以供給該氣體；當該感測器檢測出該容器已被定位時，藉由該驅動部的驅動而使該噴嘴移動至該接觸位置，於該噴嘴移動至該接觸位置後，開啟該開關閥而開始該氣體的注入。
  3. 如申請專利範圍第1項之氣體注入裝置，其中該注入部、該噴嘴以及該驅動部係設置為複數個；該複數個驅動部係以使該複數個噴嘴分別接觸該容器的該複數個注入部的方式分別驅動該複數個噴嘴。
  4. 一種氣體排出裝置，其係具備：載置台，係可載置收納被收納體用的容器，該容器具有底部、設置在該底部處之定位溝、及設置在該底部處之氣體的排出部；定位銷，係設置成從該載置台處突出且可卡合至該容器之該定位溝；噴嘴，係用以經由該容器之該排出部而將該容器內之氣體排出；以及驅動部，係可以在當該定位銷卡合至該容器之該定位溝之狀態下，獨立地驅動該噴嘴而使得該噴嘴接觸該容器之該排出部。
  5. 一種氣體排出裝置，其係具備：載置台，係可載置收納被收納體用的容器，該容器具有底部、設置在該底部處之定位溝、及設置在該底部處之氣體的複數個排出部；定位銷，係設置成從該載置台處突出且可卡合至該容器之該定位溝；複數個噴嘴，係用以經由該容器之該複數個排出部而將該容器內之氣體排出；以及複數個驅動部，係可以在當該定位銷卡合至該容器之該定位溝之狀態下，分別驅動該複數個噴嘴而使得該複數個噴嘴分別接觸該容器之該複數個排出部。
  6. 一種氣體注入方法，其係為了將收納被收納體用的容器載置於載置台，而使得設置成從該載置台處突出的定位銷，卡合至設置在該容器底部之定位溝；在當該定位銷卡合至該容器之該定位溝之狀態下，使得噴出該氣體用之噴嘴獨立地被驅動而接觸至設置在該容器之該底部的注入部；且從該噴嘴經由該注入部而將該氣體注入該容器內。
  7. 一種氣體排出方法，其係為了將收納被收納體用的容器載置於載置台，而使得設置成從該載置台處突出的定位銷，卡合至設置在該容器底部的定位溝；在當該定位銷卡合至該容器之該定位溝之狀態下，使得排出該氣體用之噴嘴獨立地被驅動而接觸至設置在該容器之該底部的排出部；且經由該排出部而將該容器內之氣體從該噴嘴排出。
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