TWI242394B - Ionized air flow discharge type non-dusting ionizer - Google Patents

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1242394 A7 ____B7 五、發明説明（1 ) 〔技術領域〕 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係有關用來除去靜電之靜電消除機；特別是關 於朝向除電對象物放出經離子化氣流的型式之靜電消除機 ’且是能用於防爆設施或裝置之離子化氣流釋出型無發塵 靜電消除機。 〔背景技術〕 近年，操作危險物設施等的防爆設施，可燃粉體造成 空氣輸出時的塞網或篩具的塞網，內面塗上鐵弗龍之有機 溶劑等的攪拌槽內會有帶電及放電的問題。過去，此種攪 拌槽內的帶電及放電，由於以N 2氣體將空氣純化而除去有 助於著火的氧氣，因而防止有機溶劑著火。但是此種除去 方法由於給排氣設等其附帶設備的初期成本及運轉成本爲 高價，因而不是期望的方法。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此外，過去以來，除去製造半導體或液晶顯示器（以 下，以L C D表示）等時淸淨室等的生產環境中的靜電之 裝置，採用以離子中和帶電體的電荷之空氣離子化裝置。 此種的空氣離子化裝置廣泛使用電暈放電式靜電消除機； 此電暈放電式靜電消除機經由在正或負的電極分別施加正 或負的高電壓而使電暈放電產生；上述電極先端周圍的空 氣成正及負離子化，以氣流輸送此離子而以相反極性的離 子中和帶電體上的電荷。 不過，半導體或液晶製造裝置逐年演進爲小型化，過 去所用的靜電消除機，對確保最適的設置空間會有困難。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4- 1242394 A7 B7 五、發明説明（2 ) 另外，有關卡匣內玻璃基板的間隙等的狹小空間對於靜對 策也提高要求。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 〔欲解決的課題〕 因此針對上述過空氣離子化裝置的小型化以及防爆設 施或裝置的適用性進行檢討，而區分爲以下的問題點。即 是過去所泛用之電暈放電式靜電消除機，由於電暈放電自 體成爲著火源的危險性升高，因而無法用於操作危險物設 施等的防爆設施。 另外，電暈放電式靜電消除機，容易產生離子；爲了 防止所產生離子的消耗，在除電對象物的附近露出電極的 狀態下將空氣離子化，而產生以下的問題。 (1 )臭氧的產生 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 以電暈放電將除電對象物近旁的空氣離子化，而空氣 中的氮氣或水蒸氣離子化，此外也引起氧氣變爲臭氧的反 應。經由此臭氧的氧化作用，氧化矽晶圓的表面，且又與 空氣中微量的不純物起反應而形成爲產生2次粒子的原因 (2 )電磁噪音的產生 . 放電時放電極所產生不規則的電磁波形成爲引起內藏 半導體元件的靜密機器或電腦等的誤動作之原因。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -5- 1242394 A7 B7__ 五、發明説明（3 ) (3 )從離子產生電極引起的發塵 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 使電暈放電產生時電極消耗’該消耗的電極材飛散。 另外空氣中的微量氣體成分以電暈放電而粒子化後析出到 離子產生電極上，此成分成爲一定程度的大小則再度飛散 。此樣的發塵，降低良品率。 另外，近年，以軟X線爲離子化源之靜電消除機正在 開發中，不過靜電消除機與電纜的連接部或離子化源的控 制裝置並不是防爆規格，所以無法用於操作危險物設施等 的防爆設施。 〔發明之目的〕 本發明係爲了解決上述過過去技術上的問題點而被提 案；其目的則是提供不會引起臭氧或電磁雜音以及發塵等 的產生，對於狹小的空間的靜電能採取對策；進而能用於 防爆設施或裝置之離子化氣流釋出型無發塵靜電消除機。 〔發明槪要〕 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明係針對由將供應到容器內之離子輸送氣體的一 部分離子化之離子化部、及具備具有朝向帶電體供應離子 輸送氣體的吹出部之容器，前述離子化部內藏於前述容器 內之離子化源、及設在前述容器的外部，介由高電壓電纜 控制前述離子化源的離子產生量之控制裝置等所構成之離 子化氣流釋出型無發塵靜電消除機；其特徵爲：前述離子 化源爲軟X線產生裝置的產生部、低能量電子線產生裝置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X 297公釐） -6 - 1242394 A7 _____ B7_____ 五、發明説明（4 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 的產生部或是紫外線產生裝置的產生部的其中1種；前述 控制裝置、前述控制裝置與高電壓纜線的連接部以及前述 離子化源與高電壓電纜的連接部爲防爆構造。 依據具有上述構成之本發明的離子化氣流釋出型無發 麈靜電消除機，由於離子化源不是採用成爲著火要因之電 暈放電，所以能防止有機溶劑造成可燃物著火。另外控制 裝置爲防爆構造，所以能防止設置在控制裝置內的電源及 控制基板造成有機溶劑等燃著可燃物。 〔圖面之簡單說明〕 第1圖爲表示本發明離子化氣流釋出型無發塵靜電消 除機其第1實施形態的構成之模式圖。第2 ( A )圖爲表 示高電壓電纜與控制裝置的連接部其構成之斷面圖；第2 (B )圖爲表示在電極支承部的基端部設置容器的狀態之 圖；第2 (C)圖爲表示離子化源與高電壓電纜的連接部 其構成之斷面圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第3圖爲表示本發明離子化氣流釋出型無發塵靜電消 除機其第2實施形態的構成之模式圖。第4圖爲表示本發 明離子化氣流釋出型無發塵靜電消除機其第3實施形態的 構成之模式圖。第5圖爲表示本發明離子化氣流釋出型無 發塵靜電消除機其第4實施形態的構成之模式圖。 第6圖爲表示本發明離子化氣流釋出型無發塵靜電消 除機其第5實施形態之模式圖。第了圖爲表示本發明離子 化氣流釋出型無發塵靜電消除機其第6實施形態的構成之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇'〆297公釐） 1242394 a7 B7 五、發明説明（5 ) 模式圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第8圖爲表示本發明離子化氣流釋出型無發塵靜電消 除機其第7實施形態的構成之模式圖。第9圖爲表示本發 明離子化氣流釋出型無發塵靜電消除機其第8實施形態的 構成之模式圖。 第10圖爲表示本發明離子化氣流釋出型無發塵靜電 消除機其第9實施形態的構成之模式圖。第1 1圖爲表示 本發明第9實施形態其吹出口的遮蔽部之構成圖；第1 1 (A )圖表示遮蔽部由2片的冲孔板所構成的狀況，第 1 1 ( B )圖表示在遮蔽部設置鋁整流柵的狀況，第1 1 (C )圖表示在遮蔽部設置附套管冲孔板的情況。第1 2 圖爲表示本發明離子化氣流釋出型無發塵靜電消除機其別 種實施形態的構成之模式圖。 主要元件對照表 7 隔板 l〇a 冲孔板 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 l〇b 冲孔板 11 細孔 2 0 噴嘴 3 0 可撓性膠管 3 1 噴嘴 4 0 開口 4 1 導管 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） n 242394 A7 B7 五、發明説明（6 4 6 4 6 5 7 2 7 3 7 4 8 1 8 2 8 3 8 4 8 5 8 6a 8 6b 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 9 4 絕緣性樹脂 電極支承部 電極 螺旋部 袋狀螺帽 插入孔 電極 螺旋部 吹出口 容器 管路 遮蔽部 細孔 冲孔板 冲孔板 層流形成用濾網 鋁整流柵 冲孔板 供氣用風扇 〔發明之最佳實施形態〕 以下，參照圖面說明本發明的具體實施形態 第1實施形態 本紙悵尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ29<7公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -9- 1242394 Μ Β7 五、發明説明（7 ) (1 — 1 )構成 (1 一 1 — 1 )全體構成 第1圖爲表示本實施形態其離子化氣流釋出型無發塵 靜電消除機的全體構成之模式圖。同圖中，圖號1爲圓柱 狀的離子化容器（以下，稱爲容器）；由鋁、不銹鋼等的 金屬及氯乙烯等的樹脂所構成。另外此容器1大體上由離 子化部、遮蔽部以及吹出部所構成；在容器1的內部裝配 離子化源4 ;此離子化源4連接到介由高電壓電纜6控制 離子化源4的離子產生量之控制裝置5。 然而，本發明的離子化氣流釋出型無發塵靜電消除機 其特徵爲：具有控制裝置5之構成、控制裝置5與高電壓 電纜6的連接部（第1圖的A部）之構成、上述離子化源 4與高電壓電纜6的連接部（第1圖的B部）之構成。以 下，詳述各部的構成。 (1 一 1 一 2 )控制裝置的構成 控制裝置5如第1圖所示由具有防爆功能之氣密容器 5 1所構成。另外在控制裝置5的內部設置用來使其從上 述離子化源4產生軟X線、低能量電子線或是紫外線的控 制部之控制基板5 3、及使經冷却的空氣等循環之循環風 扇5 4、及裝置內部控制在一定溫度之冷却裝置5 5。進 而在前述控制基板5 3連接電源電纜5 6，可以連接到設 在外部的防爆插座（未圖示）。然而在於本實施形態，上 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 f 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -10- 1242394 A7 ______B7 五、發明説明（8 ) 述冷却裝置5 5例如構成爲在鋁製的放熱板安裝熱電冷凍 元件。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (1 - 1 - 3 )高電壓電纜與控制裝置其連接部的構成 第2 (A)圖爲表示上述控制裝置5與高電壓電纜6 的連接部（第1圖的A部）其構成之擴大斷面圖。然而此 連接部如以下所述爲防爆規格。 即是在高電壓電纜6的先端部安裝插頭6 1 ，能插拔 地與裝配在控制裝置5的側壁連接。另外前述插頭6 1爲 芯構造’在具有一定長度、、L 〃之電極支承部6 2的先端 安裝電極6 3。另外在前述插頭6 1其基部6 1 a的外側 ’能旋轉地安裝內壁形成有螺旋部6 4的袋狀螺帽6 5。 此外，在裝設於控制裝置的側壁之插座7 1 ，設置與 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 形成在前述插頭6 1之電極支承部6 2卡合之插入孔7 2 ;在其最深處部設置與插頭側的電極6 3連接之電極7 3 。另外’插座7 1的凸緣部7 1 a ，其外周面形成螺旋部 7 4 ’與安裝在前述插座6丨之袋狀螺帽6 5的螺旋部 6 4卡合。

然而，插入孔7 2的長度對應於插頭側的電極支承部 6 2而設爲、、l 〃 ，此長度、、L 〃設定爲能在以插頭6 1 的電極支承部6 2及插座7 1的插入孔7 2所構成的具有 氣密性的空間進行而電極的插拔之長度。另外如第2 ( B )圖所示，爲了保持插頭6 1與插座7 1其連接部的氣密 性’在電極支承部6 2的基端部設置〇封圈等的墊圈6 6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNs ) A4規格（210X297公釐） -11 - 1242394 A7 B7 i、發明説明（9 亦可。 (1 - 1 - 4 )離子化源與高電壓電纜其連接部的構成 離子化源與高電壓電纜6的連接部（第1圖的B部） ’如第2 ( C )圖所示，構成爲具有電絕緣性的氯乙烯、 聚丙烯、丙烯基等樹脂製的導管4 1貫通配置在容器1的 側面，在該導管的內部埋入環氧樹脂等的絕緣性樹脂4 2 請 閲 讀 背 Φ 之 注

I 頁 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (1 — 1 - 5 )離子化部的構成 如第1圖所示，在容器1的側端部（圖中的右側側端 部），介由軟管套裝件2連接細軟管（未圖示），通過此 軟管，對容器1內供應除電對象室內的空氣或高純度N 2氣 體等的非反應性氣體（以下，稱爲離子輸送氣體）。然而 此處「局純度N 2氣體」則是指包含形成負離子程度的氧氣 或水蒸氣，且其氧氣濃度爲不產生臭氧的程度之N2氣體。 另外，在容器1內的軟管套裝件2的裝配位置近旁設 置離子化源4。然而此離子化源4及上述控制裝置5構成 爲離子產生裝置。 另外’前述離子化源4，由軟X線產生裝置的產生部 、低#重電子線產生裝置的產生部或是紫外線產生裝置的 生ί=ίβ所形成’將流過谷:gj 1內之離子運送氣體離子化。 (1 一 1 一 6 )遮蔽部的構成 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210、X 297公釐） -12- 1242394 A7 B7 五、發明説明（10 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如第1圖所示’在於本實施形態，容器1的遮蔽部由 設置有多數個直徑爲3 4程度的細孔1 1之2片的冲孔板 1 0 a 、1 0 b所構成；此2片的冲孔板1 0 a 、1 0 b ’相互間隔離3 m m程度，且細孔偏離設置使其不相重疊 〇 (1 — 1 一 7 )吹出部的構成 容器1的先端部開放，配置在成爲除電對象之帶電體 的近旁，朝向此帶電體供應上述離子產生裝置所產生的正 負離子。 (1 一 1 一 8 )離子化源 其次，說明離子化源4。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 軟X線爲具有3〜9 · 5 k e V程度的能量之微弱X 線，以2 m m厚度程度的氯乙烯板就能容易遮蔽。另外低 能量電子線例如爲利由日本u s h i 〇電機株式會社製的超小型 電子束照射管軟管等以數1 〇 k V的較低動作電壓所取出 電子束；空氣中只有5 c m程度的到達距離，將該領域的 空氣或是氣體離子化。 然而’低能量電子線，由於在含有氧氣的氣體中產生 臭氧則同時也產生軟X線，因而遮蔽爲必要。然而離子化 源採用低能量電子線的情況，則期望是離子輸送氣體採用 如同高純度N 2氣體等含有不產生臭氧程度的氧氣之非反應 性氣體。另外紫外線產生裝置所產生的紫外線爲4 〇 〇 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13- 1242394 A7 B7 五、發明説明（11 ) n m以下的短波長亦爲3 0 w程度的輸出。 離子化源4當爲軟X線的產生部時則供應到容器1的 離t輸送氣體採用空氣及非反應性氣體的其中1種亦可， 不過離子化源4爲低能量電子線的產生部或是紫外線的產 生部時則期望是採用如同高純度N 2氣體含有不產生臭氧程 度的氧氣之非反應性氣體。 (1 一 2 )作用•效果 接著，說明具有上述構成之本實施形態其離子化氣流 釋出型無發塵靜電消除機的作用·效果。 本實施形態的離子化氣流釋出型無發塵靜電消除機， 不將成爲著火原因的電暈放電作爲離子化源使用而將軟X 線產生裝置的產生部、低能量電子線產生裝置的產生部、 紫外線產生裝置的產生部等作爲離子化源使用，因而能防 止有機溶劑等燃著可燃物。 另外，本實施形態的離子化氣流釋出型無發塵靜電消 除機，由於在控制上述離子化源的離子產生量之控制裝置 5內裝配由熱電冷却元件所形成的冷却裝置5 5 ，因而吸 收設置在控制裝置內之電源及控制基板所造成的發熱，能 將裝置內控制在一定溫度，所以能將控制裝置設爲氣密構 造。其結果：能防止設置在裝置內的電源及控制基板造成 有機溶劑等燃著可燃物。 進而，由於高電壓電纜6與控制裝置5的連接部爲第 2圖所示的防爆構造，因而能在插頭6 1的電極支承部 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 f 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -14- 1242394 A7 B7 五、發明説明（12 ) 6 2與插座7 1的插入孔7 2具有氣密性的空間進行電極 的裝卸，所以能防止插頭裝卸時的放電造成有機溶劑等燃 著可燃物。另外由於離子化源4與高電壓電纜6的連接部 也是第1圖所示的防爆構造’因而防止連接部造成有機溶 劑燃著可燃物° 另外，針對本實施形態的離子化氣流釋出型無發塵靜 電消除機，介由軟管（未圖示）及軟管套裝件2供應到容 器1之離子輸送氣體由於以內藏於容器1內的離子化源4 照射軟X線、低能量電子線、紫外線等因而成爲正負的離 子。然後此正負離子通過設在離子化部的下流側之遮蔽部 ，從容器1的先端部供應成爲除電對象的帶電體，而能將 帶電體上其正負相反極性的電荷分別中和。 此樣本實施形態的離子化氣流釋出型無發塵靜電消除 機，當離子化源4爲軟X線的產生部時，即使離子輸送氣 體採用空氣或是非反應性氣體的其中1種也不會產生臭氧 。另外沒有電極材的飛散或空氣中雜質的堆積及再飛散之 發塵且電磁雜音也不會產生。 另外’當離子化源4爲低能量電子線或是紫外線的產 生部時，離子輸送氣體採用如同高純度N 2氣體等含有不產 生臭氧程度的氧氣之非反應性氣體，因而進行離子化時不 會產生臭氧；發塵及電磁雜音也不會發生。 進而，軟X線及低能量電子線，以薄的氯乙烯板等就 能充分遮蔽’反射幾乎沒有，因而以第1圖所示的簡單構 造就成加以遮蔽。另外由於從離子化源4到容器出口的距 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 f 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -15- 1242394 A7 B7 五、發明説明（13 ) 離較短，所以具有幾乎沒有減少正負離子再結合所形成的 離子之優點。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 另外，因設置上述的遮蔽部所以能減小從容器吹出口 的氣流亂流’因而也達到能減少因氣體亂流所形成的離子 量之效果。 進而，離子化源4及也是電源部和控制部的控制裝置 5介由高電壓電纜另外設置，只有離子化源4設置在容器 1內，而能減小容器1的內徑’所以能在極狹窄的場所使 離子產生，並且例如也達到收容於卡匣內的玻璃基板其間 隙等狹小的空間也能除去靜電之效果。 如上述過，依據本實施形態的離子化氣流釋出型無發 塵靜電消除機，不會引起產生臭氧或電磁雜音以及發塵， 對狹小空間的靜電能採取對策；進而可以達到能用於防爆 設施或裝置之靜電消除機。 (2 )第2實施形態 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本實施形態爲變更上述第1實施形態其遮蔽部的構成 之變形例。 如第3圖所示，在於本實施形態，容器1的遮蔽部由 半圓狀的2片隔壁7、7所構成，此兩片隔壁7、7隔著 一定的間隔交互形成在容器1的上部及下部。即是當離子 化源4爲軟X線的產生部或是低能量電子線的產生部時’ 構成爲使直進的軟X線或是電子線碰觸隔壁7、7，而形 成爲這些軟X線及電子線被遮蔽使其不外漏到外部之構成 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -16- 1242394 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ______B7_五、發明説明（14 ) 。然而當離子化源4爲紫外線的產生部時，不需此遮蔽部 。其他的構成與上述第1實施形態同樣，其說明則省略。 具有上述構成之本實施形態的離子化氣流釋出型無發 塵靜電消除機，具有與上述第1實施形態同樣的作用•效 果’可以用於防爆設施或裝置，並且以簡易的構成，就能 將容器1其離子化部的下流側周邊形成爲遮蔽構造。 (3 )第3實施形態 本實施形態爲變更上述第1實施形態其吹出部的構成 之變形例。然而本實施形態的吹出部當然能用於上述第2 實施形態。 如第4圖所示，本實施形態，在容器1其遮蔽部的下 流側設置爲了使離子化氣流噴出之噴嘴2 0。此噴嘴2 0 例如採用S I L V E N T社製的噴嘴2 1 6、扁平噴嘴 92〇、氣簾302〜306、氣刀392〜396等。 具有上述構成之本實施形態的離子化氣流釋出型無發 塵靜電消除機，不單是達到與上述第1實施形態或是第2 實施形態同樣的作用•效果，由於在吹出部安裝具有所期 望的形狀•大小之噴嘴，因而高速將離子化氣流吹送到帶 電體.，能高效率地除電並且除去附著在帶電體的雜物。另 外經選擇種種的噴嘴，離子化氣流呈圓錐狀廣角地擴散且 又呈氣簾狀擴散，所以能夠配合除電對象控制離子化氣流 。進而使用能調整開口度的噴嘴就能容易地變更離子化氣 流的噴出速度。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 f 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -17- 1242394 A7 A7 B7 五、發明説明（15 ) (4 )第4實施形態 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本實施形態爲更加變更上述第3實施形態其吹出部的 構成之變形例。 如第5圖所示，本實施形態，在容器1的吹出部安裝.. 可撓性膠管3 0，在其先端安裝噴嘴3 1。然而此噴嘴 3 1與上述第3實施形態同樣地，例如採用 S I LVENT社製的噴嘴2 1 6、扁平噴嘴920、氣 簾302〜306、氣刀392和396等。然而此可撓 性膠管3 0與乙烯軟管等不同，形成爲能保持經設定過的 形狀之構造。 具有上述構成之本實施形態的離子化氣流釋出型無發 塵靜電消除機，在吹出部安裝可撓性膠管3 0，進而在其 先端安裝噴嘴3 1 ，因而不單是達到與上述第1〜第3實 施形態同樣的作用•效果，離子化氣流高速吹送到帶電體 ，能夠除電且又高效率地除去附著在帶電體的雜物。另外 經選擇種種的噴嘴3 1 ，離子化氣流就能呈圓錐狀廣角地 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 擴散且又呈氣簾狀擴散，所以能夠配合除電對象控制離子 化氣流。進而使用能夠調整噴嘴的開口之噴嘴就能容易地 變更離子化氣流的噴出速度。 (5 )第5實施形態 本實施形態爲遮蔽部及吹出部成一體化所構成。 如第6圖所示，本實施形態，在離子化源4其下流側 之容器的一部分（例如，側面），配合除電對象形成1個 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） -18- 1242394 A7 A7 B7 五、發明説明（16 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 或複數個能遮蔽X線等程度的開口（直徑1 4程度的孔） 4 0。然而本實施形態’這些個開口 4 0具有作爲遮蔽部 及吹出部的功能。 具有上述構成之本實施形態的離子化氣流釋出型無發 塵靜電消除機，在離子化源4其下流側之容器的一部分形 成複數個能夠遮蔽X線等程度的開口 4 0，因而遮蔽同時 能朝向除電對象物噴出離子化氣流。然而本實施形態，如 以下所述，在卡匣內玻璃基板間隙等較狹窄的處所，直到 深處吹送離子化氣流加以除電時則非常有效。 (6 )第6實施形態 本實施形態的離子化氣流釋出型無發塵靜電消除機其 特徵爲具有吹出口的構成。即是本實施形態的吹出口 8 1 ，如第7圖所示，形成爲圓柱狀或是角柱狀，在其上流側 連接容器8 2及管路8 3。另外管路8 3則是介由前述容 器8 2及吹出口8 1 ，將空氣或是高純度氣體等的非反 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 應性氣體（以下，稱爲離子運送氣體）供應到防爆設施的 除電對象之配管；另外容器8 2，其下流側的斷面積比上 流側還大，例如形成爲圓錐狀或四角錐狀，其上流側的端 部連結到前述管路8 3，下流側的端部則連結到前述吹出 口 8 1。然而當然也能成一體構成容器8 2與吹出口 8 1 〇 另外在即述吹出口 8 1的先端部近旁設置遮蔽部8 4 。此遮蔽部8 4，例如如第7圖所示，由直徑約爲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -19- 1242394 A7 _B7___ 五、發明説明（17 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 5 m m 0 ，多數個設有開口間距1 2 m m程度的細孔8 5 之厚度1 m m的2.片冲孔板8 6 a、8 6 b所構成；該2 片冲孔板8 6 a 、8 6 b相互間隔離3 m m程度，前述細 孔8 5偏離使其不重疊而設置。進而吹出口 8 1的先端部 開放，配置在帶電體S的近旁；構成爲朝向該帶電體S供 應離子產生裝置所產生的正負離子。 另外，在前述吹出口 8 1的側部設置離子產生裝置。 此離子產生裝置由配置在吹出口 8 1的側部之離子化源4 及控制此離子化源4的離子產生量之控制裝置5所構成。 然而此控制裝置5由配置在吹出口 8 1的外部，從離子化 源4使其產生軟X線或是紫外線之電源部及控制部所形成 ，以高電壓電纜連接離子化源4。 然而，此控制裝置5的構成、高電壓電纜6與控制裝 置5之連接部的構成、離子化源4與高電壓電纜6之連接 部的構成與上述第1實施形態同樣，其說明則省略。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 具有上述構成之實施形態的離子化氣流釋出型無發塵 靜電消除機，能用於防爆設施或裝置，並且在吹出口 8 1 的出口部近旁內離子化源4 ，因而能在吹出口 8 1的近旁 將離子輸送氣體離子化，經離子化的空氣等供應到所期望 的除電對象。另外在吹出口 8 1的側部內藏離子化源4， 與吹出口成水平照射X線等的放射線，因而能以1個離子 化源含蓋廣泛的範圍。進而由於在吹出口 8 1其吹出部的 近旁內藏離子化源，所以從離子化源4到吹出口的出口爲 止的距離較短，也達到減少因正負離子的再結合而造成的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） -20- 1242394 Λ7 Α7 Β7 五、發明説明（18 ) 離子減少之效果。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (7 )第7實施形態 本實施形態爲變更上述第6實施形態其離子化源的設 置位置之變形例。即是本實施形態，如第8圖所示，離子 化源4設置在形成爲圓錐狀或四角錐狀之容器8 2的中央 部。其他的構成與上述第6實施形態同樣，其說明則省略 。然而如第8圖所示能配置之離子化源爲軟X線及紫外線 產生部。 具有上述構成之本實施形態的離子化氣流釋出型無發 塵靜電消除機，不只是達到與上述第6實施形態同樣的作 用·效果；當可以廣角地放射軟X線之離子化源時，可以 以較少的離子化源將廣泛的範圍離子化所以離子化效率良 好；產生離子量增多所以提高除電性能。另外對遮蔽板其 放射線的入射角，比在遮蔽板的近旁成水平照射時還大， 所以容易遮蔽，不需要具有豎孔的遮蔽板等。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (8 )第8實施形態 本實施形態爲上述第6實施形態的變形例，且是在吹 出口的上流側設置Η E P A濾網或是U L P A濾網之情況 。即是本實施形態，如第9圖所示，在吹出口 8 1的上流 側配置Η E P A濾網或是U L P A濾網等的層流形成用濾 網9 1 ;構成爲能將介由管路8 3及容器8 2所送進來的 離子輸送氣體形成爲經過全面而具有均等流速分佈的氣流 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -21 - 1242394 Δ7 Α7 ___Β7_ 五、發明説明（彳9 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 。然而本實施形態，離子化源4設置在前述層流形成用濾 網9 1與遮蔽部8 4之間的側壁部近旁。其他的構成與上 述第6實施形態同樣，其說明則省略。 具有上述構成之本實施形態的離子化氣流釋出型無發 麈靜電消除機，不只是達到與上述第6實施形態同樣的作 用·效果；在吹出口 8 1的上流側裝配層流形成用濾網 8 1就能將容器8 2所送進來的離子輸送氣體形成爲層流 。其結果：當亂流（噴流）供應到吹出口時，可以防止因 該混合效應而促進正負離子的再結合所以離子量減少，除 電牲能降低之不完備點，所以能夠實施更有效率的離子化 ，而能達到優越的除電性能。 (9 )第9實施形態 本實施形態的離子化氣流釋出型無發塵靜電消除機爲 上述第6實施形態的變形例，且是如第1 0圖及第1 1圖 所示，在吹出口 8 1的上流側設置Η E P A濾網或是 U L P A濾網等的層流形成用濾網9 1 ，並且在裝配於吹 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 出口 8 1的遮蔽部8 4之2片冲孔板8 6 a 、8 6 b的上 流側，裝配具有豎孔的鋁整流柵9 2。然而取代設置具有 豎孔的鋁整流柵9 2，改而裝配如第1 1 ( C )圖所示附 套管冲孔板9 3亦可。其他的構成與上述第6實施形態同 樣，其說明則省略。 具有上述構成之本實施形態的離子化氣流釋出型無發 塵靜電消除機’能用於防爆δ受施或置’並且由於在吹出 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐1 ^ -22 - 1242394 1 A7 B7 —^___________—____ 五、發明説明（20 ) D 8 1的上流側裝配層流形成用濾網9 1 ，因而能將從容 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 器8 2所送進來的離子輸送氣體形成爲層流。其結果：當 亂流（噴流）供應到吹口時，防止因該混合效應而促進正 負離子的再結合所以離子量減少，除電性能降低之不完備 點，所以能夠實施更有效率的離子化，而能達到優越的除 電性能。 另外，如第1 1 ( A )圖所示，當隔著一定的間隔設 ® 2片冲孔板8 6 a、8 6 b而分別所形成的細孔偏離使 其不重疊時，完全遮蔽由斜上方射入到冲孔板8 6 a、 8 6 b的細孔之軟X線等的放射線會有困難。但是針對第 1 0圖所示本實施形態的吹出口，由斜方所射入的軟X線 等，如第1 1 ( B )圖所示，由於抵觸到鋁整流柵9 2其 豎孔部的側壁所以完全被遮蔽；另外如第1 1 ( C )圖所 示，由於抵觸到附套管冲孔板9 3其套管的側壁所以完全 被遮蔽。 (1 〇 )其他的實施形態 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 然而，本發明並不侷限此上述過的實施形態，也能是 以下所示的各種形態。即是具體性各構件的形狀或是安裝 位置以及方法皆能適度變更。例如，遮蔽部的形狀不侷限 於上述各實施形態所示的冲孔板，只要是直進的軟X線或 是低能量電子線等不漏到外部且得以輸送所產生的正負離 子之形狀皆可。 另外，離子化源4，不侷限於軟X線、低能量電子線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇χ297公釐） -23- 1242394 A7 B7 五、發明説明（21 ) 、紫外線，只要是經由離子化而不產生臭氧、及不產生發 塵和電磁噪音，則能夠使用其他的電磁波或射線等。進而 如第1 2圖所示，形成爲內藏供氣用風扇9 4之構成亦可 〇 〔產業上利用的可能性〕 如以上所說明過，依據本發明，提供不會引起產生臭 氧或電磁噪音以及發塵等，對於狹窄空間的靜電能採取對 策；進而能用於防爆設施或裝置之離子化氣流釋出S _發 塵靜電消除機。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -24 -

Claims (1)

1242394 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 懈Q丨3日修(更)正替麵 第9 1 1 1 1 344號專利申- 中文申請專利範圍修正本 民國94年5月13日修正 1 · 一種離子化氣流釋出型無發塵靜電消除機，係由 :將供應到容器內之離子輸送氣體的一部分離子化之離子 化部；和具備具有可朝帶電體供應離子輸送氣體之吹出部 的容器，並且在前述容器中內藏有前述離子化部的離子化 源；及設置在前述容器的外部，可經由高電壓電纜控制前 述離子化源之離子產生量的控制裝置所構成之離子化氣流 釋出型無發塵靜電消除機，其特徵爲： 前述離子化源爲軟X線產生裝置之產生部、低能量電 子線產生裝置之產生部或是紫外線產生裝置之產生部當中 的其中一種， 前述容器形成圓柱形，可由其側端部將前述離子輸送 氣體供應至前述容器內的離子化源附近， 在前述離子化源與吹出部之間，形成有用來遮蔽前述 離子化源所產生之軟X線或低能量電子線的遮蔽部， 前述遮蔽部係由具有複數個使從前述離子化源所產生 的離子通過的開口部之複數個遮蔽構件所構成，複數個遮 蔽構件係以鄰接的遮蔽構件的開口部彼此不會重疊的方式 ，於離子的流動方向排列配置著。 2 · —種離子化氣流釋出型無發麈靜電消除機，係由 :將供應到容器內之離子輸送氣體的一部分離子化之離子 化部；和具備具有可朝帶電體供應離子輸送氣體之吹出部 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）~ 1 - (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1242394 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 的容器，並且在前述容器中內藏有前述離子化部的離子化 源；及設置在前述容器的外部，可經由高電壓電纜控制前 述離子化源之離子產生量的控制裝置所構成之離子化氣流 釋出型無發塵靜電消除機，其特徵爲： 前述離子化源爲軟X線產生裝置之產生部、低能量電 子線產生裝置之產生部或是紫外線產生裝置之產生部當中 的其中一種， 前述容器係形成下流側之截面積大於上流側截面積的 圓錐形或角錐形，並在前述容器的下流側設置圓柱形或角 柱形的吹出部，且將前述離子化源配設於前述吹出部的吹 出口附近， 在前述吹出部的前端部附近，形成有用來遮蔽前述離 子化源所產生之軟X線或低能量電子線的遮蔽部， 前述遮蔽部係由具有複數個使從前述離子化源所產生 的離子通過的開口部之複數個遮蔽構件所構成，複數個遮 蔽構件係以鄰接的遮蔽構件的開口部彼此不會重疊的方式 ，於離子的流動方向排列配置著。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 · —種離子化氣流釋出型無發塵靜電消除機，係由 :將供應到容器內之離子輸送氣體的一部分離子化之離子 化部；和具備具有可朝帶電體供應離子輸送氣體之吹出部 的容器，並且在前述容器中內藏有前述離子化部的離子化 源；及設置在前述容器的外部，可經由高電壓電纜控制前 述離子化源之離子產生量的控制裝置所構成之離子化氣流 釋出型無發塵靜電消除機，其特徵爲： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-2 - ABCD 1242394 六、申請專利範圍 前述離子化源爲軟X線產生裝置之產生部、低能量電 子線產生裝置之產生部或是紫外線產生裝置之產生部當中 的其中一種， 前述容器係形成下流側之截面積大於上流側截面積的 圓錐形或角錐形，並在前述容器的下流側設置圓柱形或角 柱形的吹出部，且將前述離子化源配設於前述容器的中央 部， 在前述吹出部的前端部附近，形成有用來遮蔽前述離 子化源所產生之軟X線或低能量電子線的遮蔽部， 前述遮蔽部係由具有複數個使從前述離子化源所產生 的離子通過的開口部之複數個遮蔽構件所構成，複數個遮 蔽構件係以鄰接的遮蔽構件的開口部彼此不會重疊的方式 ，於離子的流動方向排列配置著。 4 ·如申請專利範圍第1、2或3項之其中任何一項 的離子化氣流釋出型無發塵靜電消除機，其中前述控制裝 置具備具有氣密構造並且可將裝置內保持在一定溫度的冷 卻手段。 5 ·如申請專利範圍第4項之離子化氣流釋出型無發 塵靜電消除機，其中前述冷卻手段由熱電冷凍元件所構成 〇 6 .如申請專利範圍第1、2或3項之其中任何一項 的離子化氣流釋出型無發麈靜電消除機，其中前述高電壓 電纜與控制裝置的連接部，是由可自由插拔的插頭及插座 所構成，並在前述插頭設置具有一定長度的電極支承部， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-3 - -- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 、^1 L#. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1242394 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 在該電極支承部的先端部裝配電極，在前述插頭上形成可 供前述電極支承部插入的插入孔，並在該插入孔的最深處 部裝配著電極， 在前述插頭的基部外側，配設有用來保持與前述插座 間之卡合關係的防止分離用構件，並在前述電極支持部的 基端外側，配設氣密性保持構件， 前述高電壓電纜與控制裝置之間的電氣性接，是由裝 配在前述插頭先端的電極及裝配在插座之插入孔最深處部 的電極所形成， 前述電極的插拔，是在前述插頭之電極支承部在插座 的插入孔內保持氣密性的狀態下進行。 7 ·如申請專利範圍第1、2或3項之其中任何一項 的離子化氣流釋出型無發塵靜電消除機，其中前述離子化 源與高電壓電纜的連接部，是由具有絕緣性之筒狀的樹脂 、及充塡到其內部之絕緣性的樹脂所構成。 8 .如申請專利範圍第第1、2或3項之其中任何一 項的離子化氣流釋出型無發塵靜電消除機，其中前述遮蔽 部是由隔著一定的間隔地交互裝配在前述容器的內壁之複 數片隔壁所構成。 9 .如申請專利範圍第1、2或3項之其中任何一項 的離子化氣流釋出型無發塵靜電消除機，其中前述遮蔽部 是由形成有複數個細孔的至少2片遮蔽板所構成，並且以 不會使前述細孔形成重疊的方式配置前述遮蔽板。 1 0 .如申請專利範圍第2或3項之其中任何一項的 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格（210X297公釐)~^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 n/f42 2 ABCD 六、申請專利範圍 離子化氣流釋出型無發塵靜電消除機，其中前述遮蔽部’ 是由具有整流柵結構的遮蔽板所構成。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 1 ·如申請專利範圍第2或3項之其中任何一項的 離子化氣流釋出型無發塵靜電消除機，其中前述遮蔽部’ 是由具有套管的遮蔽板所構成。 1 2 ·如申請專利範圍第1、2或3項之其中任何一 項的離子化氣流釋出型無發塵靜電消除機’其中前述吹出 部是由安裝在前述容器的開口端之具有一定形狀的噴嘴所 構成。 1 3 ·如申請專利範圍第1、2或3項之其中任何一 項的離子化氣流釋出型無發塵靜電消除機，其中前述吹出 部是由：安裝在前述容器的開口端之可自由彎曲的膠管、 及安裝在其先端之具有一定形狀的噴嘴所構成。 1 4 ·如申請專利範圍第1項之離子化氣流釋出型無 發塵靜電消除機，其中在前述容器之下流側側面的局部形 成複數個開口，該複數個開口可遮蔽前述離子化源所產生 之軟X線或低能量電子線，並可透過該開口，對帶電體供 應離子輸送氣體。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 5 ·如申請專利範圍第2項之離子化氣流釋出型無 發塵靜電消除機，其中在前述離子化源的上流側，配設有 層流形成用濾網。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-5 -