JP2016520959A - Ｘ線発生装置と、これを構成するｘ線発生部及び高電圧発生部 - Google Patents

Abstract

本発明が提案する着脱可能なＸ線発生装置は、Ｘ線を照射するＸ線発生チューブ及び前記Ｘ線発生チューブと電線を介して連結されている第１の連接部を有するＸ線発生部と、外部供給電圧を受信して所定の高電圧を生成し、このようにして生成した前記高電圧が出力される第２の連接部を有する高電圧発生部と、を備え、前記第１の連接部及び前記第２の連接部間の相互結合により前記高電圧は前記Ｘ線発生チューブに供給される。本発明による静電気除去装置は、これを構成する高電圧発生部及びＸ線発生部を互いに分離することができるので、取り替えコストの節減、取り付け場所の選択し易さ及び熱遮断などの効果が得られる。【選択図】図４

Description

本発明は、Ｘ線発生装置に係り、高電圧発生部及びＸ線発生部を分離してそれぞれ別々に納品可能なようにした着脱方式の分離型のＸ線発生装置と、これを構成するＸ線発生部及び高電圧発生部に関する。

一般に、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）及び半導体の製造工程などに当たっては、静電気の発生により微細な塵埃が液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）及び半導体ウェーハに付着したり、静電気の放電により素子が毀損されたりして製品の歩留まり率が低下し、これにより、製造コストが高騰するという副作用が生じている。
この理由から、一般に、半導体工程などが行われるクリーンルームには、静電気の除去のための装置が設けられる。
この種の静電気の除去のための従来の技術による装置として、コロナ放電を用いた静電気除去装置が挙げられる。
この装置は、コロナ放電によりイオンを発生させ、イオン化した空気を噴き出すためにファンを用いて空気を対流させる方式を採択している。

ところが、このような静電気除去装置（Ｘ線発生装置とも呼ばれる。）の場合、高電圧放電によるスパッターリング現象により放電電極の先端部に０．０１μｍ以下の金属微粒子が膨大に（数万個／ｆｔ３）発生して付着していて、ファンによる強制対流により落下しながら半導体、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）及び液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パターンの周りに付着して多くの不都合を生じている。
また、コロナ放電を用いた静電気除去装置の場合、高電圧の放電時に発生するオゾンガスが約４〜１０ｐｐｍであって、粉塵の付着を引き起こす役割を果たすだけではなく、生成されたプラス（＋）イオン及びマイナス（−）イオンのバランスが随時変わり、その度にイオンのバランスを再調整せねばならないという不都合がある。
これに対する対策として、近年、軟Ｘ線の空気電離作用を用いて空気をイオン化させることにより、被帯電体の静電気を中和又は緩和させる方法が提案されている。
軟Ｘ線照射式の場合、微細な塵埃が発生せず、しかも、空気を対流させる必要もないため、フラットパネルディスプレイの製造工程及び半導体の製造工程における静電気の除去に好適に使用可能であることが知られている。

軟Ｘ線照射式の静電気除去装置の一例として、特許文献１に記載の静電気除去装置が挙げられる。
同公報に記載の静電気除去装置は、保護ケース、軟Ｘ線を発生するＸ線管及び電源装置を備えており、Ｘ線管は、バルブ、カソード、出力ウィンドウ、出力ウィンドウ支持部、フランジ部及びターゲットを備えており、これらのＸ線管の内部の構成要素及び保護ケースは互いに熱的及び電気的に接続されている。

軟Ｘ線照射式の静電気除去装置の他の例として、特許文献２に記載の静電気除去技術が挙げられる。
同特許公報には、静電気除去技術が開示されており、静電気を除去する所定の帯電物体が配置された雰囲気に対してＸ線を照射する位置に、所定のターゲット電圧及びターゲット電流が与えられるターゲットを内蔵すると共に、ベリリウム（Ｂｅ）ウィンドウを有するＸ線管を配置し、前記ベリリウムウィンドウから主波長が２Å以上２０Å以下の範囲の前記Ｘ線が照射される領域の前記雰囲気に含まれる元素をイオン化させることにより、前記イオンを含む前記雰囲気中にある前記所定の帯電物体の静電気を除去する技術である。

軟Ｘ線照射式の静電気除去装置のさらに他の例として、日本の会社である浜松ホトニクス株式会社（登録商標）が出願した、発明の名称「Ｘ線発生装置及びこれを用いた静電気制御器」（特許文献３）が挙げられる。
同公報に開示されているＸ線発生装置は、バルブの先端に設けられた導電性及び熱伝導性の出力ウィンドウ支持部に固定された出力ウィンドウの内面に、接地電位を有する標的が固着され、前記標的に向かって電子ビームを照射する負極を有するＸ線管と、このＸ線管を駆動する電源部を保護容器内に収容し、前記出力ウィンドウ支持部に形成されて外側に突き出るフランジ部を、熱伝導性を有する前記保護容器に接触させ、且つ、固定することを技術的思想の要旨としているが、Ｘ線管及び前記Ｘ線管を駆動する電源部が一体に形成されている。

次いで、図１から図３は、従来の静電気除去装置の実写図であり、図１は、全体の外観図であり、図２及び図３は、上部ケースを開封した場合の内部構成図である。図２及び図３に示すように、高電圧発生部２００が電線１０を介してＸ線管３００（Ｘ線発生部）と一体に形成されていることが分かる。
参考までに、図２及び図３に示すように、ほとんどの静電気除去装置は、大きく、左側に設けられる高電圧発生部と、右側に設けられるＸ線発生部と、を備える。
このような従来の軟Ｘ線照射式（以下、Ｘ線照射式とも略称する）は、その構成の一部の相違点にも拘わらず、基本的に外部電源を供給されて高電圧を発生させる電装部である高電圧発生部と、この高電圧発生部から出力される所定の高電圧を供給されてＸ線を発生させるＸ線管（以下、Ｘ線発生部とも呼ばれる）と、を備える。

ところが、上述した従来の軟Ｘ線照射式の静電気除去装置は、外部電源を供給されて高電圧を発生させる高電圧発生部と、高電圧発生部の高電圧を供給されるＸ線管が一つのケース内に一体に形成されて市販されるが故に、下記の問題を抱えている。
まず、第一に、高電圧発生部及びＸ線発生部のうちのいずれか一方に瑕疵が発生した場合、瑕疵が発生した部分に対する取り替えが不可能であるため製品全体を取り替えなければならないという問題がある。
第二に、高電圧発生部及びＸ線発生部が一体形であるが故に、静電気除去装置を設けた状態でＸ線の照射位置や方向を変更する場合、設置場所から静電気除去装置を取り外して移動させなければならないという問題がある。
第三に、Ｘ線発生部から発せられる高い熱により高電圧発生部の電装部が誤動作を引き起こす虞がある。

米国特許第５，９４９，８４９号公報 特許登録第２９５１４７７号公報 大韓民国特許出願番号第１０−２００４−００８９６３４号公報

本発明は、上述した問題を解消するために提案されたものであり、Ｘ線発生装置に関するものであり、Ｘ線を用いて静電気を除去する装置を構成する高電圧発生部及びＸ線発生部を分離して提供することを目的とする。
すなわち、本発明は、高電圧発生部及びＸ線発生部に所定の連接部を配設し、必要に応じて、着脱可能なようにして上述した問題を解消することを目的とする。
このために、本発明は、着脱可能な高電圧発生部及びＸ線発生部を有するＸ線発生装置と、このような分離可能なタイプの高電圧発生部及びＸ線発生部をそれぞれ提供することを目的とする。

本発明において提案する着脱可能なＸ線発生装置は、Ｘ線を照射するＸ線発生チューブ及び前記Ｘ線発生チューブと電線を介して連結されている第１の連接部を有するＸ線発生部と、外部供給電圧を受信して所定の高電圧を生成し、このようにして生成した前記高電圧が出力される第２の連接部を有する高電圧発生部と、を備え、前記第１の連接部及び前記第２の連接部間の相互結合により前記高電圧は前記Ｘ線発生チューブに供給されることを特徴とする。
本発明において、前記Ｘ線発生部及び前記高電圧発生部を互いに連結する前記第１の連接部と前記第２の連接部とが互いに分離された場合、前記Ｘ線発生部及び前記高電圧発生部は物理的に互いに分離される。
また、前記Ｘ線発生部は、前記Ｘ線発生チューブ及び前記第１の連接部が載置される第１のケースを備え、前記高電圧発生部は、前記第２の連接部が載置される第２のケースを備え、前記第１及び第２のケースは、独立している。

本発明において提案する着脱可能な高電圧発生部及びＸ線発生部を有するＸ線発生装置と、これを構成するＸ線発生部及び高電圧発生部は、従来の静電気除去装置に比べて下記の効果を有している。
まず、第一に、高電圧発生部又はＸ線発生部のうちのいずれか一方に瑕疵が発生した場合、製品全体を取り替えなければならない従来の場合とは異なり、本発明の場合には、瑕疵が発生した高電圧発生部又はＸ線発生部をそれぞれ別々に取り替えることができるので、静電気除去装置を用いる会社にとっては経済的な負担を軽減することができる。
第二に、本発明の場合には、高電圧発生部及びＸ線発生部は、接続部を介して着脱可能なように連結されるので、高電圧発生部の設置位置を問わずにＸ線発生部の光照射方向に自由に選択可能である。例えば、半導体クリーンルーム内に設けられた製造ラインが変更されたり、一部の装備の配置位置が変更されたりする場合には、必要に応じて、Ｘ線発生部の設置場所及び方向を自由に調整することができる。
第三に、多くの熱を放出するＸ線発生部を高電圧発生部から離して自由に設けることができるので、Ｘ線発生部から放出される熱による高電圧発生の電子回路の誤作動を減らすことができる。特に、従来の一体型高電圧発生部の場合、絶縁構造に対する設計が重大であったが、本発明のように分離型静電気除去装置により構成する場合、絶縁構造をより手軽に構成することができる。

高電圧発生部及びＸ線発生部を備える従来のＸ線照射式静電気除去装置の実物写真である。 高電圧発生部及びＸ線発生部を備える従来のＸ線照射式静電気除去装置の実物写真である。 高電圧発生部及びＸ線発生部を備える従来のＸ線照射式静電気除去装置の実物写真である。 本発明において提案する分離型Ｘ線発生装置の一例である。 図４において説明するＸ線発生装置の構成をより詳細に説明する参考図である。 図４において説明するＸ線発生装置の構成をより詳細に説明する参考図である。 図４において説明するＸ線発生装置の構成をより詳細に説明する参考図である。 図４において説明するＸ線発生装置の構成をより詳細に説明する参考図である。 図４において説明するＸ線発生装置の構成をより詳細に説明する参考図である。 図４において説明するＸ線発生装置の構成をより詳細に説明する参考図である。 図４において説明するＸ線発生装置の構成をより詳細に説明する参考図である。 図４において説明するＸ線発生装置の構成をより詳細に説明する参考図である。 図４において説明するＸ線発生装置の構成をより詳細に説明する参考図である。 本発明において提案する分離型Ｘ線照射式Ｘ線発生装置の概念を説明する一実施形態である。 本発明において提案する分離型Ｘ線照射式Ｘ線発生装置の概念を説明する一実施形態である。 本発明において提案する分離型Ｘ線照射式Ｘ線発生装置の概念を説明する一実施形態である。 本発明において提案する分離型Ｘ線照射式Ｘ線発生装置の概念を説明する他の実施形態である。 本発明において提案する分離型Ｘ線照射式Ｘ線発生装置の概念を説明する他の実施形態である。 本発明において提案する分離型Ｘ線照射式Ｘ線発生装置の概念を説明する他の実施形態である。 本発明において提案する分離型Ｘ線照射式Ｘ線発生装置の概念を説明するさらに他の実施形態である。 本発明において提案する分離型Ｘ線照射式Ｘ線発生装置の概念を説明するさらに他の実施形態である。 本発明において提案する分離型Ｘ線照射式Ｘ線発生装置の概念を説明するさらに他の実施形態である。

以下、添付図面に基づき、本発明において提案する互いに着脱可能な分離型のＸ線発生装置について説明する。
本発明において提案する静電気除去装置であるＸ線発生装置は、Ｘ線を照射するＸ線発生部と、Ｘ線発生部に所定の高圧を印加（供給）する高電圧発生部を互いに着脱可能なようにして選択的に取り替え可能なようにすることを目的とする。
これにより、本発明においては、高電圧発生部の出力端及びＸ線発生部の入力端に所定の連接部を配設し、必要に応じて、着脱可能なようにする様々な形状の構造を提案する。

図４は、本発明において提案するＸ線発生装置の分解斜視図である。
図４に示すように、本発明のＸ線発生装置は、Ｘ線を照射するＸ線発生部３００と、高電圧発生部２００と、を備える。
図５及び図６は、図４に示すＸ線発生装置を構成するＸ線発生部３００及び高電圧発生部２００の拡大図である。

図５に示すように、Ｘ線発生部３００は、上部が密閉されている半円筒状のケース３１０と、ケース３１０の右側の開放領域を組み立てにより密閉する右側遮断板３２０と、ケース３１０の下側の開放領域を組み立てにより密閉する下側遮断板３３０と、を備え、ケース３１０の外側には放熱板３１２が形成されたデザインを有し、半円筒状のケース３１０の内側には、Ｘ線発生チューブ３４０及びＸ線発生チューブ３４０と導電線３４２により連結される連接部３５０が載置される。

次いで、図６に示すように、高電圧発生部２００は、左右が開放されているボックス状のケース２１０と、ケース２１０の左側の開放領域を組み立てにより密閉する左側遮断板２２０と、ケース２１０の右側の開放領域を組み立てにより密閉する右側遮断板２３０と、を備える外形を有するように形成され、ボックス状のケース２１０の内部には、外部電源を供給されて高電圧を生成する高電圧発生器２４０が載置される。
高電圧発生器２４０の上部には、同図に示すように、連接部２５０が形成されており、連接部２５０は、Ｘ線発生部３００の連接部３５０と互いに結合されてＸ線発生部３００に高電圧を印加する。

以下、図４から図６に基づき、本発明において提案するＸ線発生装置の構造について敷衍説明する。
本発明のＸ線発生装置は、Ｘ線発生部３００及び高電圧発生部２００を選択的に分離するか、あるいは、これらのうちのいずれか一方に瑕疵が発生した場合には、瑕疵が発生した構成要素のみを取り替えることにより、取り替え時間を節減すると共に、経済的な効果を奏するために提案されるものである。
同図に示すように、Ｘ線発生部３００の連接部３５０及び高電圧発生部２００の連接部２５０が互いに嵌合及び分離可能なようになっている。
このため、必要に応じて、いつでも取り替え易いというメリットがある。

参考までに、図５において、Ｘ線発生部３００の内側に載置される連接部３５０の一方の終端部は、右側遮断板３２０に形成されている開口部ｈ１を介して一部突き出た形状を呈する。
結合時に、Ｘ線発生部３００の右側遮断板３２０は、高電圧発生部２００の左側遮断板２２０と互いに密着されて結合され、連接部３５０は、連接部２５０に嵌め込まれる。すなわち、左側遮断板２２０に形成された開口部ｈ２は、右側遮断板３２０の開口部ｈ１と合致する構造を有し、連接部３５０は、開口部ｈ２内に導かれて嵌め込まれる。
本発明の場合には、連接部３５０が高電圧発生部の連接部２５０に嵌め込まれた場合、外部空気の流入などを防ぐために、連接部３５０が嵌め込まれた状態で左側遮断板２２０と当接する部分を封止するために、連接部３５０にＯリングが取り付けられるように連接部の外周面に沿ってＯリング取付用溝が形成されてもよい。

参考までに、図４には、本発明において提案するコネクター機能を行う連接部３５０及び連接部２５０に対する断面構造が例示されている。
同図に示すように、連接部３５０は、雄性連結コネクター状を呈しており、連接部２５０は、雌性連結コネクター状を呈している。
これらの連接部３５０、２５０の組み合わせは、Ｘ線発生部３００及び高電圧発生部２００を電気的に互いに連結するための様々な形式により実現可能である。
参考までに、本発明において提案するＸ線発生チューブ３４０については、本社において製造した製品に限らず、既に特許出願された様々な構造のＸ線発生チューブなどを網羅すると共に、軟Ｘ線の発生のためのあらゆる種類のＸ線発生チューブを含む概念である。
本発明において提案する高電圧発生部２００の高電圧発生器２４０は、外部から電源を供給されて所定の高電圧を生成する電子回路などを備えているが、本発明の核心的な事項ではないため、具体的な図示は省略する。

次いで、図７及び図８は、図４に示す連接部３５０の側面図及び側面図をＡ−Ａ線に沿って切り取った断面図である。
同図に示すように、本発明の連接部３５０には導電線３４２が形成されており、導電線３４２の終端部は導電端子と連結されている。導電端子は連接部３５０の外側に露出されており、このため、連接部２５０の内部への嵌め込みにより連接部２５０の内部に形成される他の導電端子に嵌め込み可能なように構成される（図４参照）。

図９ａ、図９ｂ及び図９ｃは、本発明において一実施形態として提案したＸ線発生部３００の分解図を様々な角度から眺めた図である。
同図に示すように、半円筒状のケース３１０の内部空間にＸ線発生チューブ３４０及び連接部３５０が載置される。

最後に、本発明において提案する連接部３５０は様々な形状に製造可能であるが、図１０及び図１１には、連接部３５０の他の実施形態が示されている。
図１０及び図１１に示す連接部３５０の形状を有する場合、高電圧発生部２００の連接部２５０は、これらの連接部３５０と係合可能な形状に形成されることが好ましい。
すなわち、本発明において説明された連接部３５０は、突出型構造を有する二つの導電性電極により構成可能であり、それに対応する連接部２５０は、二つの収納型導電性電極により構成可能である。

上述したように、本発明による静電気除去装置であるＸ線発生装置は、これを構成するＸ線発生部３００及び高電圧発生部２００を互いに分離して納品可能なようにしたものであり、このような方式により製品を生産する場合、上述したように、取り替えコストの節減、設置場所の選択し易さ及び熱遮断などの効果が得られる。
一方、本発明において説明した接続部は、基本的に突出型導電性電極及びこれを収容する収納型導電性電極であることを想定したが、これは単に本発明の技術的思想を実現するための一例に過ぎず、着脱可能な分離型静電気除去装置を構成するに当たって機能の低下を招かない範囲内において多種多様な雌雄係合構造を有するように製作することも可能である。
例えば、同軸ケーブル構造や螺合構造にも変形可能であり、このような接続部の単なる構造の変更は、本発明の技術的思想である分離型の着脱可能な構造である限り、本願発明において提案する接続部にいずれも相当すると見なすべきである。

次いで、図１２から図１４を参照して本発明の他の実施形態について説明する。
図１２から図１４は、本発明において提案する分離型のＸ線発生装置の他の実施形態の技術的思想を説明する図である。
同図に示すように、本発明において提案するＸ線発生装置は、大きく、高電圧発生部２００及びＸ線発生部３００を備える。
本発明において、高電圧発生部２００は、Ｘ線発生部において所定のＸ線を発生させるために必要な所定の電圧を発生させる電装部を通称し、Ｘ線発生部３００とは、高電圧発生部２００から所定の高電圧を供給されてＸ線を発生させるＸ線管（周知の如く、Ｘ線管には高電圧受信用電極端子が存在し、この電極端子は、後述する電線３１の一方の終端部が半田付けなどに結合される）を意味し、Ｘ線が放射される照射ウィンドウなどを含む概念である。

一般に、従来の場合には、上述したように、高電圧発生部及びＸ線管などが一つのケース内に一体に形成されていたが、本発明においては、図１２から図１４に示すように、互いに異なるケースに高電圧発生部２００及びＸ線発生部３００をそれぞれ内蔵した後、これらを互いに連結する方式を提案する。
すなわち、本発明において提案するＸ線発生装置は、高電圧発生部２００及びＸ線発生部３００が互いに分離可能なようになっており、換言すれば、「着脱可能である」と同じ意味である。

参考までに、本発明において、高電圧発生部２００は、Ｘ線発生部３００においてＸ線を照射するために必要な所定の電圧を発生させる構成要素であるため、高電圧が出力される部分を出力端と定義し、前記高電圧を供給される部分をＸ線発生部３００の入力端と定義する。
これらの出力端及び入力端という用語は、後述する接続部２０、３０と略同じ概念として用いられるが、後述する電線２１、３１などを有する概念であると理解されるべきである。
図１２から図１４に示すように、高電圧発生部２００及びＸ線発生部３００のそれぞれには所定の接続部２０、３０が形成され、本発明においては、前記接続部２０、３０を用いて高電圧発生部２００及びＸ線発生部３００を脱着し易くすることをその技術的思想としている。

図１２から図１４において、高電圧発生部２００において生成された高電圧は、高電圧出力端である接続部２０を介してＸ線発生部３００の接続部３０に供給され、このようにして供給された高電圧は、電線３１を介してＸ線発生部３００に供給される。
図１２から図１４において、高電圧発生部２００の接続部２０は、高電圧発生部のケースの一方の側に形成されることが好ましく、Ｘ線発生部３００の接続部３０は、一方の終端部がＸ線発生部３００と連結されている電線３１の他方の終端部に連結されることが好ましい。
本発明の場合には、電線３１の長さを適当に略１ｍ内外にすることにより、必要に応じて、Ｘ線発生部３００を設けようとする位置を高電圧発生部２００の設置位置とは無関係に選定することができる。

概念的に、図１２から図１４の場合には、高電圧発生部２００の接続部２０は雌性接続部であり、Ｘ線発生部３００の接続部３０は雄性接続部である。
すなわち、雄性接続部であるＸ線発生部３００の接続部３０は、雌性接続部である高電圧発生部２００の接続部２０に嵌着可能であり、必要に応じて、着脱可能な構造である。
より具体的に、雄性接続部であるＸ線発生部３００の接続部３０は、プラグタイプ又はジャックタイプなど様々な方式により実現される突出型導電性電極により実現可能であり、これに対応する高電圧発生部２００の接続部２０は、これらを収容して導電状態を維持する構造を有するように形成することが好ましい。

次いで、図１５から図１７は、本発明において提案する着脱可能なＸ線発生装置の他の実施形態であり、接続部の形状が互いに置換された場合について説明する。
すなわち、図１２から図１４の場合には、雌性接続部が高電圧発生部２００に形成され、雄性接続部がＸ線発生部に形成されたのに対し、図１５から図１７に示す実施形態は、雄性接続部が高電圧発生部２００に形成され、雌性接続部がＸ線発生部に形成された場合について説明する。
図１５から図１７に示すように、高電圧発生部２００の接続部２０は、一方の終端部が高電圧発生部２００と連結されている電線３１の他方の終端部に連結されており、Ｘ線発生部３００の接続部３０は、Ｘ線発生部のケースの一方の側に形成されることが好ましい。

図１２から図１４と同様に、図１５から図１７の場合には、高電圧発生部２００の接続部２０は雄性接続部であり、Ｘ線発生部３００の接続部３０は雌性接続部である。
すなわち、雄性接続部である高電圧発生部２００の接続部２０は、雌性接続部であるＸ線発生部３００の接続部３０と嵌合可能であり、必要に応じて、着脱可能な構造である。
より具体的に、雄性接続部である高電圧発生部２００の接続部２０は、プラグタイプ又はジャックタイプなど様々な方式により実現可能であり、これに対応するＸ線発生部３００の接続部３０は、これらを収容して導電状態を維持する構造を有するように形成することが好ましい。
図１２から図１４と同様に、図１５から図１７において説明された接続部２０、３０は、両方とも導電性材質の電極よりなることが好ましい。

次いで、図１８から図２０は、図１２から図１４及び図１５から図１７において説明した電線３１、２１が取り外された構造（コードレス構造）を有する着脱可能な静電気制御装置であるＸ線発生装置のさらに他の実施形態を示す。
このため、図１８から図２０に示す着脱可能な分離型のＸ線発生装置の場合には、高電圧発生部２００及びＸ線発生部３００が係合された場合に、見掛け上一体形の製品である。
参考までに、上述した本発明の接続部は、交流電圧が印加されるため雄性接続部は突出型構造を有する二つの導電性電極により構成可能であり、それに対応する雌性接続部は二つの収納型導電性電極により構成可能である。

上述した本発明によるＸ線発生装置は、これを構成する高電圧発生部２００及びＸ線発生部３００を互いに分離して納品可能なようにしたものであり、このような方式を用いて製品を生産する場合、上述したように、取り替えコストの節減、設置場所の選択し易さ及び熱遮断などの効果が得られる。
一方、本発明において説明した接続部は、基本的に突出型導電性電極及びこれを収容する収納型導電性電極であることを想定したが、これは単に本発明の技術的思想を実現するための一例に過ぎず、着脱可能な分離型静電気除去装置を構成するに当たって機能の低下を招かない範囲内において多種多様な雌雄係合構造を有するように製作することも可能である。
例えば、同軸ケーブル構造や螺合構造にも変形可能であり、このような接続部の単なる構造の変更は、本発明の技術的思想である分離型の着脱可能な構造である限り、本願発明において提案する接続部にいずれも相当すると見なすべきである。

一方、図１２から図２０を参照して説明された高電圧発生部及びＸ線発生部が本発明の技術的思想により個別的な接続部を備えた状態で単品として提供される場合には、高電圧発生装置及びＸ線発生装置とも表現可能である。
すなわち、本発明において高電圧発生部及びＸ線発生部が組み合わせられて静電気除去装置又はＸ線発生装置と命名されることもあれば、これらの高電圧発生部及びＸ線発生部が単品として商取引の対象となる場合には高電圧発生装置及びＸ線発生装置と命名されることもある。

上述した本発明による技術的思想は、Ｘ線を発生させて静電気を除去する装置に関するものであるが、高電圧を供給されてＸ線を発生させるＸ線発生部を備えるあらゆる種類のＸ線発生装置にも同様に適用可能であるということはいうまでもない。
よって、本発明の技術的概念、すなわち、Ｘ線発生部及び高電圧発生部を互いに着脱可能なように構成してＸ線を発生させる装置の場合には、その用途を問わずに特許請求の範囲に記載される構成の範囲内において本発明の保護範囲内に当然のことながら含まれる。
例えば、本発明の場合には、Ｘ線を発生させる装置の用途（例えば、静電気除去又は空気浄化など）を問わずに、高電圧を供給されるＸ線管（Ｘ線チューブ）を用いるあらゆる種類のＸ線発生装置にも同様に適用可能であるものと理解して且つ解釈しなければならない。

Claims (13)

1. Ｘ線発生装置において、
   Ｘ線を照射するＸ線発生チューブ及び前記Ｘ線発生チューブと電線を介して連結されている第１の連接部を有するＸ線発生部と、
   外部供給電圧を受信して所定の高電圧を生成し、このようにして生成した前記高電圧が出力される第２の連接部を有する高電圧発生部と、を備え、
   互いに着脱可能な前記第１の連接部及び前記第２の連接部間の相互結合により前記高電圧が前記Ｘ線発生チューブに供給されることを特徴とする、
   Ｘ線発生装置。
2. 前記Ｘ線発生部及び前記高電圧発生部を互いに連結する前記第１の連接部と前記第２の連接部とが互いに分離された場合、前記Ｘ線発生部及び前記高電圧発生部は物理的に互いに分離されることを特徴とする請求項１に記載のＸ線発生装置。
3. 前記Ｘ線発生部は、前記Ｘ線発生チューブ及び前記第１の連接部が載置される第１のケースを備え、前記高電圧発生部は、前記第２の連接部が載置される第２のケースを備え、前記第１及び第２のケースは、独立していることを特徴とする請求項２に記載のＸ線発生装置。
4. 前記第１のケースの外側には、放熱板が形成されていることを特徴とする請求項３に記載のＸ線発生装置。
5. 着脱可能な高電圧発生部及びＸ線発生部を有するＸ線発生装置であって、
   前記高電圧発生部の出力端と連結される前記Ｘ線発生部の入力端は、着脱可能な構造を有することを特徴とする、
   Ｘ線発生装置。
6. 前記Ｘ線発生部の入力端は、前記高電圧発生部の出力端に嵌着可能な第１の接続部を有することを特徴とする請求項５に記載のＸ線発生装置。
7. 前記高電圧発生部の出力端は、前記第１の接続部と係合される第２の接続部を有することを特徴とする請求項６に記載のＸ線発生装置。
8. 前記第１の接続部は、二つの導電性電極を備えることを特徴とする請求項７に記載のＸ線発生装置。
9. 前記第２の接続部は、前記第１の接続部である前記二つの導電性電極と着脱自在に係合される二つの導電性電極を備えることを特徴とする請求項８に記載のＸ線発生装置。
10. Ｘ線発生装置に用いられるＸ線発生部において、
    前記Ｘ線発生部は、
    前記Ｘ線発生部に高電圧を供給する高電圧発生部と着脱可能な接続部を有することを特徴とする、
    Ｘ線発生部。
11. 前記接続部は、前記高電圧発生部の出力端と着脱自在に連結されて前記高電圧を供給されることを特徴とする請求項１０に記載のＸ線発生部。
12. Ｘ線発生装置用高電圧発生部において、
    前記高電圧発生部の出力端は、高電圧を供給されるＸ線発生部と着脱可能な接続部を有することを特徴とする、
    高電圧発生部。
13. 前記高電圧発生部の接続部は、前記Ｘ線発生部の入力端と着脱自在に連結されて前記高電圧を供給することを特徴とする請求項１２に記載の高電圧発生部。

Images