TW202301522A

TW202301522A - 一種光離子發生器

Info

Publication number: TW202301522A
Application number: TW111123416A
Authority: TW
Inventors: 李東勳; 李炳俊; 許時煥
Original assignee: 南韓商禪才高科技股份有限公司
Priority date: 2021-06-25
Filing date: 2022-06-23
Publication date: 2023-01-01
Also published as: KR20230000757A; WO2022270938A1

Abstract

本發明涉及一種光離子發生器，包括：裝有發射除電用電磁波的多個照射部的離子發生器單元和，爲上述離子發生器單元供電的機身，以及用於連接上述離子發生器單元和上述機身的單元電纜，上述多個照射部以串聯連接。

Description

一種光離子發生器

本發明涉及一種使1用除電用電磁波來去除靜電的光離子發生器。

隨著電子設備和通信技術的發展，近年來，半導體、液晶顯示器(LCD)、有機發光二極管(OLED)等顯示設備的使用迅速增加。

在半導體和顯示器件的製造過程中，由於晶片被靜電帶電，可能會出現細粉塵附著或器件損壞等問題，導致半導體和顯示器件的生產良率下降。

為了消除靜電，在半導體和顯示裝置的製造過程中，通常使用晶片等能夠去除靜電的靜電消除裝置。

靜電放電裝置主要分為電暈放電裝置和X射線照射裝置，最近，X射線放射裝置，克服了高壓放電引起的濺射、臭氧氣體的產生、離子平衡調整帶來的不便等電暈放電裝置的缺點，即X射線照射型的光離子發生器。

X射線照射型的光離子發生器是通過產生X射線使氣體分子電離並照射它們以使氣體分子電離，從而中和待放電物體表面上的靜電的裝置。這些光離子發生器以各種方式開發，受到更多關注，因為它們不會產生細粉塵並且不需要空氣對流。

專利文獻 1（註冊專利公開 KR10-2138092 號）公開了一種光離子發生器，包括多個產生高壓的電壓產生組件和多個 X 射線管模塊，這些 X 射線管模塊將軟 X 射線照射到身體中，以消除靜電，耦合到身體。

專利文獻1中公開的光離子發生器具有能夠容易地裝卸X射線管模塊並確保足夠的爬電距離的優點，但是安裝了多個電壓產生組件和多個X射線管模塊由於它們組合在一起，光離子發生器的整體體積增加，難以佈置在狹窄或難以接近的地方。此外，為了以高密度重疊照射區域，它變得更加龐大，從而減少了安裝空間。存在X射線管模塊難以在狹窄的地方設置，以及重疊高密度照射的問題。

[待解決問題]

本發明是為了解決上述問題而發明的，目的在於提供一種光離子發生器，無論是狹窄的空間還是難以接近的地方，都可以安裝，且可以高密度疊加除電用電磁波。

此外，本發明不限於上述目的，本領域普通技術人員通過以下描述可以清楚地理解其他未提及的目的。 [課題的解決手段]

為瞭解決上述問題，根據本發明實施方式的光離子發生器包括：其特徵在於，裝有發射除電用電磁波的多個照射部的離子發生器單元和，爲上述離子發生器單元供電的機身，以及用於連接上述離子發生器單元和上述機身的單元電纜，上述多個照射部以串聯連接。

而且，上述多個照射部電連接到安裝在上述離子發生器單元上的電路板，

上述電路板上形成以上述多個照射部串聯的電路圖。

而且，上述多個照射部安裝在上述離子發生器單元上,以便在上述離子發生器單元中與上述單元電纜接觸的方向相同的方向上輻射除電用電磁波。

而且，上述多個照射部安裝在上述離子發生器單元上,以便在上述離子發生器單元中與上述單元電纜接觸的方向串聯的方向上輻射除電用電磁波。

而且，上述機身為可連接多個離子發生器單元的構造。

而且，上述單元電纜，可與上述機身及上述離子發生器單元拆卸連接。

而且，上述單元電纜連接到上述機身的側端部形成可連接到上述機身的連接口，為了使上述連接口連接到上述機身，在上述機身形成可將上述連接口的一部分插入的連接孔。

而且，上述單元電纜由第一單元電纜及第二單元電纜構成，可相互連接或分離。

而且，上述離子發生器單元包括裝有上述多個照射部的盒體，上述盒體由第一殼體和第二殼體結合組成，內部形成空間部，上述多個照射部在上述空間部串聯連接。

而且，上述離子發生器單元包括裝有上述多個照射部的盒體，上述盒體由第一殼體和第二殼體結合組成，內部形成空間部，上述電路板收容在上述空間部。 [發明效果]

本發明的光離子發生器即使在狹窄的空間或難以接近的地方也能夠容易地設置，且具有能夠對對象物體照射高密度除電用電磁波的效果。

本發明的目的、具體優點和新穎特徵將通過下面的詳細描述和結合附圖的實施方式變得更加清楚。在本說明書中，在對各圖的構成要素附加標號的情況下，即使在不同的附圖中表示，也盡可能僅對相同的構成要素賦予相同的標號。此外，諸如第一和第二之類的術語可用於描述各種構成要素，但這些構成要素不應受這些術語的限制。上述術語僅用於區分一個組件與另一個組件的目的。此外，在描述本發明時，如果確定相關已知技術的詳細描述可能不必要地混淆本發明的主題，則將省略其詳細描述。

下面，將參照附圖詳細描述本發明的示例性實施方式。

圖1係顯示本發明一實施方式的光离子发生器的立體圖，圖2係顯示本發明的一實施方式的光離子發生器（1）中連接了控制裝置的狀態圖。

根據本發明的一實施方式，一種光離子發生器（1），包括：裝有發射除電用電磁波的多個照射部（110）的離子發生器單元（100）和，爲上述離子發生器單元（100）供電的機身（200），以及用於連接上述離子發生器單元（100）和上述機身（200）的單元電纜（300）。

根據本發明的一實施方式，一種光離子發生器（1）的機身（200）從外部裝置（控制單元（500））接收電源，通過安裝在機身（200）的高電壓發生模塊（210）生成高電壓電源，通過上述單元電纜（300）向上述離子發生器單元（100）提供電源，接收到高壓電源的離子發生器單元（100）通過照射部（110）生成除電用電磁波進行照射。

下面，將對各各結構進行詳細說明。

參照圖3至圖6，對本發明的第一實施方式的上述離子發生器單元（100）進行詳細說明。

圖3係顯示本發明的第一實施方式中離子發生器單元（100）、單元電纜（300）及接入口（400）組合狀態下的立體圖，圖4係顯示本發明的第一實施方式的離子發生器單元（100）的分解立體圖，圖5係顯示本發明的第一實施方式的離子發生器單元（100）的截面圖，圖6係顯示本發明的一實施方式的電路板（150）的正面（圖6之（a））及背面（圖6之（b））的圖。

根據本發明的第一實施方式的離子發生器單元（100）與上述機身（200）通過上述單元電纜（300）連接，設置有多個照射除電用電磁波的照射部（110），上述多個照射部（110）是串聯連接結構。圖3至圖5中，顯示為2個照射部（110）的設置僅為示例，也可設置3個以上的照射部（110）。

上述照射部（110）僅為生成除電用電磁波進行照射的手段，除電用電磁波對於可除電的電磁波沒有特別限制，但通常生成並照射的是軟X射線。

X射線(X-ray)是相當於可見光波長約1/1000的電磁波,在電子與核碰撞時，因快速減速或原子內深處的空軌道捕獲電子時產生。X射線一般根據物質的透射性分爲軟X射線(軟X線)和硬X射線(硬X線)，即使被薄薄的空氣層也容易吸收的透射性低的放射線稱爲軟X射線，用於葉黃素等的透射性高的放射線稱爲硬X射線。軟X射線比硬X射線低幾十分之一左右，直接照射的影響也更小。軟X射線波長爲1~1000Å，能量爲1~10keV左右，用於去除靜電。

根據本發明的實施方式，作爲上述照射部（110），可以使用由產生軟X射線的軟X射線管構成，軟X射線管基本上由玻璃或陶瓷材料的管體、發射電子的燈絲、聚焦電子的聚焦管、電子碰撞放射軟X射線的目標窗構成。

而且，兩個端子（111）暴露於外部,並且可以通過單元電纜（300）從安裝在機身（200）上的高電壓發生模塊（210）施加數以kV至數十kV的高電壓。

目標窗可以由鈹(Be)材料製成，並且當從燈絲髮射的電子與燈絲碰撞時，可以施加產生X線的目標物質。另外，目標物質可以以0.5μm至1μm的厚度施加到鈹窗，並且其材料可以是金(Au)或鎢(W)。

根據本發明的第一實施方式的离子发生器单元包括多個上述照射部（110），盒體（130），電路板（150）及電纜接口（160）。

上述盒體（130）由第一殼體（131）和第二殼體（132）構成，上述第一殼體（131）和上述第二殼體（132）結合後內部形成空間部。上述第一殼體（131）和上述第二殼體（132）通過殼體連接螺栓（140）結合。

第一殼體（131）和第二殼體（132）可以是導電的金屬材料製成，而且也可以僅是上述第一殼體（131）為導電的金屬材料製成。

第一殼體（131）中，為了安裝多個上述照射部（110）（例如，軟X射線管），與第二殼體（132）結合的相對側面形成多個照射部安裝孔（133）。為了使多個相鄰的上述照射部（110）按照預定間隔安裝，上述多個照射部安裝孔（133）按照預定間隔形成。

上述多個照射部（110）耦合到上述第一殼體（131），以便以相同方向照射電磁波（例如：照射部（110）為圓柱形的軟X射線管時，所有軟X射線管的中心軸相互平行的耦合），上述間隔可以設置在預定值以下，以便在將電磁波照射到照射對象時重疊電磁波的照射區域。上述間隔可以優選地設置在50毫米以下，且上述間隔是指照射單元安裝孔(133)的中心之間的距離。

照射部（110）安裝在上述第一殼體（131）的照射部安裝孔（133），設有電磁波從照射部（110）通過貫通口（121）的照射部固定板（120），覆蓋上述照射部（110）的一部分，通過固定螺栓（122）緊固在上述第一殼體（131）。通過上述結構，照射部（110）的目標窗與上述第一殼體（131）形成電連接，如後敘中，第一殼體（131）接地同時，上述照射部（110）的目標窗也隨之接地。

上述照射部（110）連接到上述第一殼體（131）時，上述第一殼體（131）內側的每個照射部（110）各露出2個端子（111），露出的端子（111）與上述照射部（110）形成串聯，且為了與上述照射部（110）串聯連接，露出的端子（111）與形成電路圖的電路板（150）電聯。上述單元電纜（300）中包含的2個電源供給線連接上述電路板（150）以向照射部（110）提供電源。

下面，參照圖6，將詳細說明上述電路板（150）的詳細構造。

圖6的（a）是電路板（150）的正面，（b）是電路板（150）的背面。電路板（150）可以是例如PCB（印刷電路板（150））。

上述電路板（150）的左側及右側（以圖6的（a）為準）各形成兩個貫通孔（151），在左側的2個貫通孔（151）中，從一個照射部（110）露出的2個端子（111）從電路板（150）的背面插入並通過焊接方法耦合，右側的2個貫通孔（151）中，從另一個照射部（110）露出的2個端子（111）從電路板（150）的背面插入並通過焊接方法耦合。

而且，第一模式線（154）形成在電路板（150）中，使得左側的一個貫通孔（151）和右側的一個貫通孔（151）電連接。在圖6中，雖然圖面上顯示左側貫通孔（151）和右側貫通孔（151）連接於第一模式線（154）上，但是這只是一個實施方式，只要是左側貫通孔（151）中的一個和右側貫通孔（151）中一個連接的形式，則不受特別限制。

通過上述第一模式線（154）沒有連接的左右側貫通孔（151）分別電聯於形成在電路板（150）正面的第一電源模式（152）和第二電源模式（153），第一電源模式（152）和第二電源模式（153）分別焊接連接於上述單元電纜（300）的兩個電源供給線上。

按照上述結構例如，從第一電源模式（152）供給的電源通過第一模式線（154）流向第二電源模式（153）（當然，也可設置成電流逆流的結構），此時通過電路板（150）將多個上述照射部（110）串聯連接。

在本發明的一實施方式中，通過電路板（150）將多個照射部（110）串聯連接，可以提高加工性。

但是，通過電路板（150）將多個照射部（110）串聯連接的結構只是本發明的一實施方式而已，只要是將多個照射部（110）串聯的結構下，可以是鋼絲線連接方式，連接器連接方式等多種方式，不受特別限制。

在本發明中，由於多個照射部（110）串聯連接，所以與多個照射部（110）流過相同電流的條件下，與並聯連接的構造相比，可以減少總消耗電流量。另外，隨着總電流消耗量的減少，可以抑制設置在上述機身（200）的高電壓發生模塊（210）的膨脹。

接地螺栓（134）螺釘結合在第一殼體（131）的內側。上述接地螺栓（134）將連接至離子發生器單元（100）的單元電纜（300）的接地線固定在上述第一殼體（131）上，起到使上述第一殼體（131）接地的作用，如上所述，可以使與上述第一殼體（131）連接的上述照射部（110）的目標窗口處於接地狀態。

在第一殼體（131）的外表面上，可以形成用於有效地向外部散熱的散熱器結構。作爲一實施方式，如圖3所示，可以在第一殼體（131）的外表面上形成增加與外部空氣接觸的增加表面積的凹凸結構（137）。但是，這種凹凸結構（137）只是作為一實施方式，只要是能夠有效散熱的結構，就不會受到特別限制。

另外，散熱器結構可以分別形成在第一殼體（131）和第二殼體（132）中或任一方。

通過這種散熱器結構，可以有效地散熱從離子發生器單元（100）產生的熱量，並且可以抑制由於多個照射部（110）相鄰地安裝在具有小體積的盒體（130）上的而引起的離子發生器單元（100）的過度的溫度升高。

在上述第二殼體（132）與上述第一殼體（131）結合的一側的相反側，形成用於向殼體內部注入絕緣材料的注入孔（135）和與電纜接口（160）結合的電纜連接孔（136）。

電纜連接孔（136）與電纜接口（160）連接，單元電纜（300）通過電纜連接口被引入到第二殼體（132）的內側。如上所述，包括引入的單元電纜（300）中的兩個電源線分別連接到電路板（150）的第一電源模式（152）和第二電源模式（153），並且接地線通過接地螺栓（134）連接到第一殼體（131）。

上述單元電纜（300）的兩個電源線和接地線分別與上述電路板（150）和上述第一殼體（131）結合的狀態下，上述第二殼體（132）和上述第一殼體（131）通過殼體連接螺栓（140）結合。隨着第一殼體（131）和第二殼體（132）的結合，在盒體（130）內部形成空間部分，並且電路板（150）佈置在空間部分以串聯連接多個照射部（110）。

將上述第一殼體（131）和上述第二殼體（132）通過上述殼體連接螺栓（140）結合後，通過上述注入孔（135）5)將絕緣材料注入盒體（130）內部的空間中進行模製。當絕緣材料填充並模製殼體內部的空間時，可以防止由於盒體（130）內部的高電壓放電現象而產生短路。

將上述絕緣材料注入盒體（130）內部空間進行模製後，將收尾板（170）與第二殼體（132）結合以覆蓋上述注入孔（135），關閉上述注入孔（135）。在上述收尾板（170）上形成使上述電纜接口（160）能夠通過的貫通口（121），上述收尾板（170）可以通過單獨的截止板結合螺栓（171）與上述第二殼體（132）結合。

如上所述，本發明的第一實施方式的離子發生器單元（100）被配置爲通過具有高電壓發生模塊（210）的機身（200）和單元電纜（300）連接，因此離子發生器單元（100）本身不具備單獨的高電壓產生構造，因此可以體積最小化。因此，本發明的第一實施方式的離子發生器單元（100）可以容易地安裝在狹窄的場所或難以接近的場所。

此外，當多個照射部（110）向物體照射電磁波時，以預定間隔將照射區域重疊並安裝在離子發生器單元（100）上，從而減小了體積的同時生成和照射高密度的除電用電磁波(例如,X射線)，從而使除電效率最大化。

下面，參照圖7和圖8對本發明的第二實施形態的離子發生器單元（100）進行說明。

如圖3和圖4所示，由於上述第一實施方式的離子發生器單元（100）的多個照射部（110）的照射方向與上述單元電纜（300）連接到上述殼體的方向相同，因此，沿着與上述單元電纜（300）導入方向正交的方向，設置在需要照射電磁波的場所可能並不容易。

圖7和圖8的本發明的第二實施方式的離子發生器單元（100）被配置爲使得多個照射部（110）的照射方向與單元電纜（300）連接到盒體（130）的方向正交。

具體來說，第二實施方式的離子發生器單元（100）在第二殼體（132）的一側上形成電纜接口（160）的電纜連接孔（136），以使耦合到第一殼體（131）的照射部（110）的照射方向和單元電纜（300）與盒體（130）在第二殼體（132）的一側側面形成電纜接口（160）耦合到第一殼體（131）的照射部（110）的照射方向與上述盒體（130）的照射方向正交。

在這種情況下，由於形成有第二殼體（132）的電纜連接孔（136）的上述一側側面的厚度可能不足以牢固地固定上述電纜接口（160），因此，也可以在上述側面上形成向外側以預定高度突出的突出部分，並在突出部分形成上述電纜連接孔（136）。

另外，在第二實施方式的離子發生器單元（100）中，可以構造成使形成上述第二殼體（132）的電纜連接孔（136）的面的相反側打開，並且可以將上述第一殼體（131）和上述第二殼體（132）結合後，向上述第二殼體（132）的開放側注入絕緣材料，並通過收尾板（170）覆蓋上述第二殼體（132）的開放側並關閉。

但是，這只是一個實施方式，與上述第一實施方式的離子發生器單元（100）相同，可以在第二殼體（132）的一側上形成單獨的注入孔（135），注入絕緣材料。在這種情況下，與第一實施方式相同，也可以通過單獨的收尾板（170）封閉注入孔（135）。

在本發明的第二實施方式的離子發生器單元（100）中，隨著離子發生器單元（100）與單元電纜（300）耦合的方向與電磁波的照射方向正交，在單元電纜（300）導入方向與電磁波照射方向正交的場所也可以容易地安裝離子發生器單元（100）。

第一實施方式的離子發生器單元（100）和第二實施方式的離子發生器單元（100）可以根據安裝場所適當地選擇離子發生器單元（100），並且第一實施方式的離子發生器單元（100）和第二實施方式的離子發生器單元（100）可以一起連接到一個機身（200）上。

接下來，參考圖9和圖10，根據本發明的一個實施方式，對機身（200）進行說明。

上述機身（200）具有條形主體殼（220），並且在其內部安裝有用於產生提供給離子發生器單元（100）的電源的高電壓發生模塊（210）。在圖9和圖10中，上述主體殼（220）被設計爲條形，但這只是一個實施方式，並且上述主體殼（220）的形狀不受特別限制。

在上述主體殼（220）的一側上形成單元電纜（300）可以聯接的連接孔（221）。單元電纜（300）直接插入到連接孔（221）中，可以使單元電纜（300）和機身（200）聯接，還可以由與單元電纜（300）結合的接入口（400）插入到連接孔（221）中，使單元電纜（300）和機身（200）連接。根據單元電纜（300）的連接方法，上述連接孔（221）可以是各種形狀。

在上述機身（200）上可以連接多個離子發生器單元（100），在這種情況下，可以在主體殼（220）上形成與離子發生器單元（100）連接的同等數量的連接孔（221）。另外，根據實施方式，可以在一個連接孔（221）上連接多個離子發生器單元（100）。

上述機身（200）向上述高電壓發生模塊（210）供電，上述高電壓發生模塊（210）和控制上述離子發生器單元（100）的控制單元（500）可以連接。上述控制單元（500）通過單獨的控制電纜（510）連接到上述機身（200），上述控制電纜（510），可拆卸地聯接至上述控制單元（500）和上述機身（200）。

另外，根據實施方式，上述控制單元（500）可以與上述機身（200）一體形成。

上述高電壓發生模塊（210）安裝在主體殼（220）內部，其數量與離子發生器單元（100）的數量相同。但是，本發明並不限定於此，根據實施方式，一個高電壓發生模塊（210）可以向多個離子發生器單元（100）供電。

另外，上述機身（200）可以被設置為通過其他機身（200）和電纜(機身連接電纜（250）)等連接。

具體地，如圖10所示，機身（200）的長度方向的一側端部和另一機身（200）的長度方向的一側端部可以通過機身連接電纜（250）連接，並且機身連接電纜（250）可以被構造成可以拆卸到機身（200）上。利用這種配置，一個控制單元（500）可以控制多個機身（200）。

接下來，將參考圖11和圖12，詳細說明本發明的一個實施方式的單元電纜（300）。

上述單元電纜（300）是連接上述離子發生器單元（100）和上述機身（200）的結構。另外，上述單元電纜（300）包括兩條電源線和一條接地線，兩條電源線和一條接地線被絕緣材料一起覆蓋，形成一個單元電纜（300）線。另外，兩條電源線和一條接地線分別由單獨的絕緣材料覆蓋。

如上所述，在本發明的一個實施方式中，上述兩條電源線通過焊接方法與上述離子發生器單元（100）的電路板（150）連接，上述接地線通過接地螺栓（134）固定在第一殼體（131）上，上述單元電纜（300）與上述離子發生器單元（100）電連接。

根據實施方式，上述單元電纜（300）和上述離子發生器單元（100）可以拆卸地連接。例如，在上述單元電纜（300）和上述離子發生器單元（100）上分別形成可相互結合的連接用連接器，以相互拆卸連接器的形式，上述單元電纜（300）和離子發生器單元（100）可以拆卸。但是，這只是一個實施方式，只要單元電纜（300）和上述離子發生器單元（100）是可拆卸的結構，則沒有特別限制。

在上述單元電纜（300）的與上述機身（200）結合的側端部，可以形成接入口（400），以便可以拆卸到上述機身（200）。上述接入口（400）的一部分插入到形成在上述主體殼（220）中的連接孔（221），上述插入的一部分形成的端子的凸起與上述機身（200）的主體殼（220）內部形成的端子槽結合，使上述單元電纜（300）和上述機身（200）連接。

如圖11和圖12所示，上述單元電纜（300）可以由可彼此分離和聯接的第一單元電纜（310）和第二單元電纜（320）構成。在這種情況下，在第一單元電纜（310）的第二單元電纜（320）側端部和第二單元電纜（320）的第一單元電纜（310）側端部中的一方形成突起型端子，在另一方形成凹槽型端子，使上述突起型端子和上述凹槽型端子結合和分離，從而上述第一單元電纜（310）和上述第二單元電纜（320）可以分離和結合。通過上述突起型端子和上述槽型端子，上述第一單元電纜（310）和上述第二單元電纜（320）中分別包含的兩個電源線和一條接地線可以電氣連接或切斷。

本發明的優點在於，在將單元電纜（300）分離爲第一單元電纜（310）和第二單元電纜（320）的狀態下，將離子發生器單元（100）安裝在安裝位置之後，可以通過組合第一單元電纜（310）和第二單元電纜（320）向離子發生器單元（100）供電，因此，即使在連接長電纜的情況下，也可以容易地在難以安裝的地方安裝離子發生器單元（100）。

以上通過代表性實施例對本發明進行了詳細說明，但在本發明所屬的技術領域具有通常知識的人，可以理解在上述實施方式不脫離本發明範疇的限度內可以進行多種變形。因此，本發明的權利範圍不能侷限於說明的實施方式，不僅要根據後述的專利請求範圍，還要根據該專利請求範圍和均等來確定。

1:光離子產生器 100:離子產生器單元 110:照射部 111:端子 120:照射部固定板 121:貫通口 122:固定螺栓 130:盒體 131:第一殼體 132:第二殼體 133:照射部安裝孔 134:接地螺栓 135:注入孔 136:電纜連接孔 137:凹凸結構 140:連接螺栓 150:電路板 151:貫通孔 152:第一電源模式 153:第二電源模式 154:第一模式線 160:電纜接口 170:收尾板 171:截止板結合螺栓 200:機身 210:高電壓發生模塊 220:主體殼 250:機身連接電纜 300:單元電纜 310:第一單元電纜 320:第二單元電纜 400:接入口 500:控制單元 510:控制電纜

圖1係顯示本發明一實施方式的光离子发生器的立體圖。圖2係顯示本發明的一實施方式的光離子發生器中連接了控制裝置的狀態圖。圖3係顯示本發明的第一實施方式中離子發生器單元、單元電纜及接入口組合狀態下的立體圖。圖4係顯示本發明的第一實施方式的離子發生器單元的分解立體圖。圖5係顯示本發明的第一實施方式的離子發生器單元的截面圖。圖6係顯示本發明的一實施方式的電路板的正面及背面的圖。圖7係顯示本發明的第二實施方式的離子發生器單元、單元電纜及接入口組合狀態下的立體圖。圖8係顯示本發明的第二實施方式的離子發生器單元的分解立體圖。圖9係顯示本發明的一實施方式的機身的截面圖。圖10係顯示本發明的一實施方式的機身與其他機身連接的結構圖。圖11係顯示本發明的一實施方式的單元電纜的截面圖。圖12係顯示本發明的一實施方式的第一單元電纜和第二單元電纜連接及分離的狀態圖。

1:光離子產生器

100:離子產生器單元

200:機身

300:單元電纜

Claims

一種光離子發生器，包括：裝有發射除電用電磁波的多個照射部的離子發生器單元和，爲上述離子發生器單元供電的機身，以及用於連接上述離子發生器單元和上述機身的單元電纜；上述多個照射部以串聯連接。
如請求項1的光離子發生器，其中上述多個照射部電連接到安裝在上述離子發生器單元上的電路板，上述電路板上形成以上述多個照射部串聯的電路圖。
如請求項1或者請求項2的光離子發生器，其中上述多個照射部安裝在上述離子發生器單元上,以便在上述離子發生器單元中與上述單元電纜接觸的方向相同的方向上輻射除電用電磁波。
如請求項1或者請求項2的光離子發生器，其中上述多個照射部安裝在上述離子發生器單元上,以便在上述離子發生器單元中與上述單元電纜接觸的方向串聯的方向上輻射除電用電磁波。
如請求項1或者請求項2的光離子發生器，其中上述機身為可連接多個離子發生器單元的構造。
如請求項1或者請求項2的光離子發生器，其中上述單元電纜，可與上述機身及上述離子發生器單元拆卸連接。
如請求項1或者請求項2的光離子發生器，其中上述單元電纜連接到上述機身的側端部形成可連接到上述機身的連接口，為了使上述連接口連接到上述機身，在上述機身形成可將上述連接口的一部分插入的連接孔。
如請求項1或者請求項2的光離子發生器，其中上述單元電纜由第一單元電纜及第二單元電纜構成，可相互連接或分離。
如請求項1的光離子發生器，其中上述離子發生器單元包括裝有上述多個照射部的盒體，上述盒體由第一殼體和第二殼體結合組成，內部形成空間部，上述多個照射部在上述空間部串聯連接。
如請求項1的光離子發生器，其中上述離子發生器單元包括裝有上述多個照射部的盒體，上述盒體由第一殼體和第二殼體結合組成，內部形成空間部，上述電路板收容在上述空間部。