KR20240058555A - 내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저 - Google Patents

Abstract

본 발명은 내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 본 발명에 따른 내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저는, 제전용 전자기파를 방사하는 조사부가 장착되는 이오나이저 유닛, 상기 이오나이저 유닛에 전원을 공급하도록 구성되는 몸체, 상기 이오나이저 유닛과 상기 몸체를 연결하도록 구성되는 케이블 유닛, 및 상기 이오나이저 유닛의 부식 방지 및 상기 이오나이저 유닛에서 발생하는 열을 외부와 차단하기 위한 내부식성 케이스를 포함한다.

Description

내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저 {Photo ionizer having corrosion-resistant case}

본 발명은 내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 내부식성 케이스를 통해 이오나이저 유닛의 부식을 방지 및 발생하는 열을 차단할 수 있는 내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저에 관한 것이다.

전자 기기 및 통신 기술의 발전에 따라, 최근 들어, 반도체와 LCD(Liquid Cristal Display), OLED(Organic Light Emitting Diode) 등의 디스플레이 장치의 사용이 급증하고 있다.

반도체와 디스플레이 장치의 제조 공정에서는 웨이퍼가 정전기에 의해 대전됨에 따라, 미세한 먼지가 부착되거나 소자가 훼손되는 등의 문제점이 발생할 수 있으며, 반도체 및 디스플레이 장치 등의 생산 수율 저하로 이어지게 된다.

이러한, 정전기를 제전하기 위해 반도체와 디스플레이 장치의 제조 공정에서는 웨이퍼 등의 정전기를 제거할 수 있는 제전 장치가 사용되는 것이 일반적이다.

제전 장치는 크게 코로나 방전식 장치와 엑스선 방사식 장치로 구분되며, 최근에는 코로나 방전식 장치가 갖고 있는 고전압 방전에 의한 스퍼터링 현상, 오존가스 발생, 이온 밸런스 조정에 따른 불편 등의 단점을 극복한 엑스선 방 사식 장치, 즉 엑스선 조사식의 광 이오나이저(Photo Ionizer)가 주로 사용되고 있다.

엑스선 조사식의 광 이오나이저는 엑스선(X-ray)을 생성하고 이를 방사하여 기체 분자를 이온화함으로써 제전 대상 물체 표면의 정전기를 중화하는 장치로, 주로 연엑스선(Soft X-ray)을 조사하는 방식으로 구현된다. 이러한 광 이오나이저는 미세먼지를 발생시키지 않고 공기를 대류시킬 필요도 없기 때문에 더욱 각광을 받으며 다양한 방식으로 개발되어 왔다.

이러한 문제점을 개선하기 위하여, 본 출원인은 엑스선관 모듈이 간편하게 탈착되도록 한 것이 특징인 대한민국 등록특허 제10-1656781호 '엑스선관의 교체가 용이한 엑스선 이오나이저'라는 발명을 제안한 바가 있으나,

상기의 특허에서는 복수 개의 전압 발생 어셈블리와 복수 개의 엑스선관 모듈이 바 타입의 바디에 결합함에 따라, 전체적인 이오나이저의 부피가 커지게 되어, 협소한 장소나 접근이 곤란한 장소에 배치하기 어려운 문제점이 있으며, 또한, 조사 영역을 고밀도로 중첩시키기 위해서는 더욱 부피가 커지게 되어 설치 공간이 협소한 장소에서 실질적으로 엑스선관 모듈의 조사 영역을 고밀도로 중첩시키기 어려운 문제점이 있었다.

대한민국 등록특허 제10-1656781호 (2016.09.06.)

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로, 협소한 공간이나 접근 곤란한 장소 등과 같이 장소에 구애받지 않고 설치가 가능함과 동시에 제전용 전자기파를 고밀도로 중첩시킬 수 있는 광 이오나이저를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 제전용 전자기파를 방사하는 조사부가 이오나이저 유닛으로부터 간편하게 탈부착 가능한 광 이오나이저를 제공하는 것을 목적으로 한다.

더불어, 상기 이오나이저 유닛의 부식을 방지하고, 상기 이오나이저 유닛에서 발생되는 열이 외부 제전 대상물(웨이퍼 또는 디스플레이 패널)에 영향을 미치지 못하도록 특수 재질의 내부식성 케이스를 통해 상기 이오나이저 유닛에서 발생되는 열을 외부와 차단하는 내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 지닌 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저는, 제전용 전자기파를 방사하는 조사부가 장착되는 이오나이저 유닛, 상기 이오나이저 유닛에 전원을 공급하도록 구성되는 몸체, 상기 이오나이저 유닛과 상기 몸체를 연결하도록 구성되는 케이블 유닛, 및 상기 이오나이저 유닛의 부식 방지 및 상기 이오나이저 유닛에서 발생하는 열을 외부와 차단하기 위한 내부식성 케이스를 포함한다.

또한, 상기 이오나이저 유닛은, 복수 개의 조사부가 장착 가능한 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 몸체는, 적어도 하나 이상의 이오나이저 유닛을 연결할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 이오나이저 유닛은, 상기 케이블 유닛과 연결될 수 있도록 일측에 형성되는 케이블 접속구를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 몸체는, 상기 케이블 유닛이 상기 몸체에 결합될 수 있도록 접속구를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 내부식성 케이스는, 내부식성이 높은 폴리에테르에테르케톤(Polyether Ether Ketone, PEEK)재질로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 내부식성 케이스는, 내부에 상기 이오나이저 유닛이 수용되는 수용공간이 마련되고 전면에 수용되는 이오나이저 유닛의 조사부로부터 방사되는 전자기파가 통과하기 위한 제1 조사 구멍이 형성되는 하부 수용체와, 상기 제1 조사 구멍 전면에 마련되며 상기 조사부로부터 방사되는 전자기파가 투과되는 투과창과, 상기 투과창을 상기 하부 수용체 전면에 고정하기 위한 전면 커버와, 상기 케이블 유닛이 삽입되는 케이블 삽입부가 형성되며 상기 이오나이저 유닛을 내부에 수용한 하부 수용체의 상부를 커버하기 위한 상부 커버를 포함한다.

또한, 상기 투과창은, 운모 재질로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저는, 내부식성이 높은 특수 재질로 이루어지는 내부식성 케이스를 통해 이오나이저 유닛의 부식을 방지하고, 이오나이저 유닛에서 발생되는 열이 외부로 발산되는 것을 방지하여 이오나이저 유닛에서 발생되는 열이 외부 제전 대상물에 영향을 미치지 못하도록 방지하는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따른 내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저는, 내부식성 케이스를 통해 이오나이저 유닛에 제조 공정상의 미세 수분 등이 스며드는 등 방수 효과를 가짐으로써, 이를 통해 상기 이오나이저 유닛의 오동작을 막을 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 광 이오나이저를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 광 이오나이저를 구성하는 이오나이저 유닛과 내부식성 케이스와의 결합 형태를 나타낸 분해사시도이다.
도 3은 본 발명 따른 이오나이저 유닛과 케이블 유닛 및 접속구가 결합된 형태를 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명 따른 이오나이저 유닛을 나타낸 분해사시도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이오나이저 유닛을 설명하기 위해 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 케이블 유닛을 설명하기 위해 나타낸 사시도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 내부식성 케이스를 나타낸 분해사시도이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

아래 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 상세히 설명한다. 도면에 관계없이 동일한 부재번호는 동일한 구성요소를 지칭하며, "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.

비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도있음은 물론이다.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며, 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소 외에 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 광 이오나이저를 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 광 이오나이저를 구성하는 이오나이저 유닛과 내부식성 케이스와의 결합 형태를 나타낸 분해사시도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저는, 크게, 제전용 전자기파를 조사하는 이오나이저 유닛(100)과, 상기 이오나이저 유닛(100)에 전원을 공급하도록 구성되는 몸체(200)와, 상기 이오나이저 유닛(100)과 상기 몸체(200)를 연결하는 케이블 유닛(300) 및 상기 이오나이저 유닛(100)의 부식 방지 및 상기 이오나이저 유닛(100)에서 발생하는 열을 외부와 차단하기 위한 내부식성 케이스(400)를 포함한다.

따라서, 본 발명의 실시예에 따른 내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저는, 몸체(200)가 외부 장치(미도시)로부터 전원을 공급받아 고전압 전원을 생성하고, 케이블 유닛(300)을 통해 이오나이저 유닛(100)에 전원을 공급하며, 고전압 전원을 공급받은 이오나이저 유닛(100)은 조사부(110)에 의해 제전용 전자기파를 생성하여 조사한다.

이때, 상기 이오나이저 유닛(100)에 내부식성 케이스(400)를 적용시킴으로써, 상기 이오나이저 유닛(100)에 발생되는 열이 외부 제전 대상물(예: 웨이퍼 또는 디스플레이 패널 등)에 영향을 미치지 못하도록 방지하는 것을 기술적 요지로 한다.

이와 같은 본 발명의 실시예에 따른 내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저에 대하여 좀 더 구체적으로 설명하자면, 먼저, 이오나이저 유닛(100)은 몸체(200)에 케이블 유닛(300)에 의해 연결되며, 제전용 전자기파를 조사하는 조사부(110)가 탈부착할 수 있도록 구성된다.

이때, 상기 이오나이저 유닛(100)은 단일 조사부(110)뿐만 아니라, 복수 개의 조사부(110)가 설치되도록 구성될 수 있으며, 복수 개의 조사부(110)가 전기적으로 직렬로 연결되도록 구성될 수 있다.

상기 이오나이저 유닛(100)은 도 1 및 도 2와 같이 2개의 조사부(110)가 설치되는 것이 바람직하나, 이는 일례일 뿐 1개 또는 3개 이상의 조사부(110)가 설치되어도 무방하다.

상기 조사부(110)는 제전용 전자기파를 생성하여 조사하는 수단이며, 제전용 전자기파는 제전할 수 있는 전자기파라면 특별히 제한되지 않으나, 일반적으로 연엑스선을 생성하여 조사한다.

상기 조사부(110)는 연엑스선을 발생하도록 구성되는 연엑스선 튜브가 사용될 수 있으며, 연엑스선 튜브는 기본적으로 유리 또는 세라믹 재질의 튜브 몸체와, 전자를 방출하는 필라멘트와, 전자를 집속하는 집속관과, 전자가 충돌하여 연엑스선을 방사하는 타겟창에 의해 구성된다.

또한, 상기 조사부(110)는 상기 이오나이저 유닛(100)에 탈부착이 용이하도록 상기 2개의 단자가 플러그 형태로 마련될 수 있으며, 외부로 2개의 단자가 노출되어 상기 몸체(200)에 설치되는 고전압 발생 모듈로부터 상기 케이블 유닛(300)을 통해 수kV ~ 수십kV의 고전압이 인가될 수 있다.

상술한 실시예에 대한 상기 조사부(110)의 단자는 일반적인 플러그 형상에 비유하여 설명하기 위하여 2개의 단자로 한정하였으나, 상기 조사부(110)의 단자의 개수는 한정되지 않으며, 1개 또는 3개 이상의 단자로 변경되어 적용될 수 있음은 물론이다.

상기 타겟창은 일례로서 베릴륨(Be) 재질로 이루어질 수 있으며, 내면에 필라멘트로부터 방출된 전자가 충돌하면 엑스선을 발생하는 타겟물질이 도포될 수 있다. 또한, 타겟물질은 베릴륨 창에 0.5㎛ 내지 1㎛의 두께로 도포될 수 있으며, 그 소재는 금(Au) 또는 텅스턴(W)일 수 있다.

도 3은 본 발명 따른 이오나이저 유닛과 케이블 유닛 및 접속구가 결합된 형태를 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명 따른 이오나이저 유닛을 나타낸 분해사시도이다.

도 3 및 도 4를 더 참조하여, 본 발명 따른 이오나이저 유닛(100)에 대하여 좀 더 구체적으로 설명하자면, 상기 이오나이저 유닛(100)은, 조사부(110), 조사부 고정판(120), 케이스(130), 회로기판(140), 케이블 접속구(150) 및 마감 플레이트(160)를 포함한다.

상기 케이스(130)는 제1 하우징(131)과 제2 하우징(132)에 의해 구성될 수 있으며, 제1 하우징(131)과 제2 하우징(132)이 결합하여 내부에 공간부가 형성된다. 이때, 제1 하우징(131)과 제2 하우징(132)은 결합 부재에 의해 결합된다.

제1 하우징(131)과 제2 하우징(132)은 모두 도전성을 가진 금속재로 이루어 질 수 있으며, 제1 하우징(131)만 도전성을 가진 금속재로 이루어질 수도 있다.

제1 하우징(131)에는 상기 제2 하우징(132)과 결합되는 측의 반대측면에 복수개의 조사부(110, 예를 들어, 연엑스선 튜브)가 장착되기 위한 조사부 장착 구멍(133)이 복수개 형성된다. 복수의 조사부 장착 구멍(133)은 서로 인접하는 조사부(110)가 소정 간격을 가지고 장착될 수 있도록 형성된다.

상기 제1 하우징(131)의 조사부 장착 구멍(133)에 상기 조사부(110)가 장착되고, 조사부(110)로부터 전자기파가 통과하는 관통구멍(121)을 갖는 조사부 고정판(120)이 상기 조사부(110)의 일부를 덮도록 결합 부재에 의해 상기 제1 하우징(131)에 결합된다. 상기와 같은 구성에 의해 조사부(110)의 타겟창이 상기 제1 하우징(131)과 전기적으로 접속하게 되며, 후술하는 바와 같이 제1 하우징(131)이 접지됨에 따라, 상기 조사부(110)의 타겟창도 함께 접지될 수 있다.

상기 제1 하우징(131)에 상기 조사부(110)가 결합되면 상기 제1 하우징(131) 내측에 조사부(110) 마다 단자가 노출되며, 노출된 단자는 상기 조사부(110)를 전기적으로 직렬로 연결하도록 회로 패턴이 형성되는 회로 기판(150)에 전기적으로 접속된다.

상기 회로 기판(140)에는 상기 케이블 유닛(300)에 포함되는 2개의 전원공급선이 접속되어 상기 조사부(110)에 전원이 공급된다.

또한, 상기 제1 하우징(131)의 외측면에는 외부로 열을 효과적으로 방열하기 위한 히트 싱크 구조가 형성될 수 있다. 예컨대 도 4에 도시된 바와 같이 제1 하우징(131)의 외측면에 외부공기와의 접촉하는 표면적을 넓히는 형태의 요철 구조(135)을 형성할 수 있다. 다만, 이러한 요철 구조(135)는 일례일 뿐이고 열을 효과적을 방열할 수 있는 구조라면 특별히 제한되지 않는다.

또한, 상기 히트 싱크 구조는 제1 하우징(131)과 제2 하우징(132) 각각 또는 어느 일방에 형성될 수 있음은 물론이다.

이러한 히트 싱크 구조에 의해 이오나이저 유닛(100)에서 발생하는 열을 효과적으로 방열할 수 있고, 작은 부피의 케이스(130)에 복수의 조사부(110)를 인접하여 설치함에 따른 이오나이저 유닛(100)의 과도한 온도 상승을 억제할 수 있다.

또한, 상기 제2 하우징(132)은 케이블 접속구(150)가 결합되는 케이블 결합 구멍(134)이 형성된다.

따라서, 상기 케이블 결합 구멍(134)에는 케이블 접속구(150)가 결합되고, 케이블 접속구(150)를 통해 상기 케이블 유닛(300)이 제2 하우징(132)의 내측으로 도입된다.

이때, 제2 하우징(132)의 케이블 결합 구멍(134)이 형성되는 상기 일측 옆면의 두께가 상기 케이블 접속구(150)를 견고하게 고정하기에 충분하지 않을 수 있으므로, 상기 옆면에 외측으로 소정 높이로 돌출하는 돌출부를 형성하고, 돌출부에 상기 케이블 결합 구멍(134)을 형성하여도 된다.

한편, 상기 제2 하우징(132)의 케이블 결합 구멍(134)이 형성되는 면의 반대측이 개방되도록 구성할 수 있으며, 상기 제1 하우징(131)과 상기 제2 하우징(132)을 결합한 후 상기 제2 하우징(132)의 개방된 측으로 절연 물질을 주입하고, 마감 플레이트(160)에 의해 상기 제2 하우징(132)의 개방된 측을 덮어 폐쇄하도록 구성될 수 있다.

이는, 일례일 뿐이며, 상기 제2 하우징(132)의 일측에 케이스 내부(130)에 절연 물질을 주입하기 위한 주입 구멍(미도시)이 별도로 형성되고, 마감 플레이트(160)가 상기 주입 구멍을 폐쇄하도록 구성될 수 있음은 물론이다.

이오나이저 유닛(100)은 복수 개의 조사부(110)의 조사 방향과 상기 이오나이저 유닛(100)에 상기 케이블 유닛(300)이 접속되는 방향이 직교하도록 구성될 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니다.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이오나이저 유닛을 설명하기 위해 나타낸 사시도이다.

한편, 도 5를 더 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 이오나이저 유닛(100b, 100c)은 같이 복수 개의 조사부(110b, 110c)의 조사 방향이 상기 이오나이저 유닛(100b, 100c)에 상기 케이블 유닛(300)이 접속되는 방향과 동일하도록 구성될 수 있음은 물론이다.

이와 같이, 상기 이오나이저 유닛(100, 100b, 100c)은 장소나 목적에 따라 전자기파 조사 방향 및 크기, 형상 및 사양이 일부 변경되어 적용될 수 있다.

다음으로, 도 1 내지 4를 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 몸체(200)에 대해 설명하도록 한다.

상기 몸체(200)는 바(bar) 형상으로, 내부에 상기 이오나이저 유닛(100)에 공급하는 전원을 발생하는 고전압 발생 모듈을 포함한다. 도 1에서 상기 몸체(200)가 바 형상으로 도시되어 있으나, 이는 일례일 뿐이며 이에 한정되는 것은 아니다.

상기 몸체(200)의 일측면에는 케이블 유닛(300)이 결합할 수 있는 체결 구멍(미도시)이 형성된다. 상기 체결 구멍에는 케이블 유닛(300)에 결합되는 접속구(210)가 삽입되어 케이블 유닛(300)과 몸체(200)가 결합되도록 구성된다.

한편, 이는 일례로, 상기 체결 구멍을 통해 케이블 유닛(300)이 직접 삽입되어 케이블 유닛(300)과 몸체(200)가 결합될 수 있도록 구성될 수 있다.

상기 체결 구멍은 상기 케이블 유닛(300)이 접속되는 방식에 따라, 다양한 형상일 수 있다.

또한, 상기 몸체(200)에는 복수 개의 이오나이저 유닛(100)이 연결될 수 있으며, 이 경우 상기 몸체(200)에는 연결되는 이오나이저 유닛(100)의 개수만큼의 상기 체결 구멍이 형성될 수 있다.

또한, 실시형태에 따라 하나의 체결 구멍에 복수 개의 이오나이저 유닛(100)이 연결되도록 구성될 수 있음은 물론이다.

상기 고전압 발생 모듈은 상기 이오나이저 유닛(100)의 개수 만큼 상기 몸체(200) 내부에 마련되며, 실시형태에 따라서 하나의 고전압 발생 모듈이 복수 개의 이오나이저 유닛(100)에 전원을 공급하도록 구성될 수 있다.

다음으로, 도 1 내지 5를 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 케이블 유닛(300)에 대해 설명하도록 한다.

상기 케이블 유닛(300)은 상기 이오나이저 유닛(100)과 상기 몸체(200)를 연결하기 위한 것으로, 상기 케이블 유닛(300)은 상기 이오나이저 유닛(100)과 상기 몸체(200)와 전기적으로 결합된다.

상기 케이블 유닛(300)과 상기 이오나이저 유닛(100)은 탈착 가능하게 접속될 수 있도록 이루어질 수 있으며, 예컨대, 상기 케이블 유닛(300)과 상기 이오나이저 유닛(100)에 서로 결합가능한 접속용 커넥터가 각각 형성되어 당해 접속용 커넥터를 서로 탈착하는 형태로 상기 케이블 유닛(300)과 상기 이오나이저 유닛(100)이 탈착될 수 있다. 다만, 이는 일 실시형태일 뿐이며 케이블 유닛(300)과 상기 이오니아저 유닛(100)이 탈착 가능한 구조라면 특별히 제한되지 않는다.

또한, 상기 케이블 유닛(300)은 상기 몸체(200) 또는 몸체의 접속구(210)에 탈착가능하도록 케이블 그랜드(310)가 형성된다.

상기 케이블 그랜드(310)는 부식을 방지할 수 있도록 내부식성이 높은 폴리에테르에테르케톤(Polyether Ether Ketone, PEEK)재질로 이루어지는 내식성 케이블 그랜드를 의미한다.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 케이블 유닛을 설명하기 위해 나타낸 사시도이다.

도 6을 참조하면, 상기 케이블 유닛(300)은 서로 분리 및 결합 가능한 제1 케이블 유닛(301)과 제2 케이블 유닛(302)에 의해 구성될 수 있다.

이 경우, 제1 케이블 유닛(301)의 제2 케이블 유닛측 단부와 제2 케이블 유닛(302)의 제1 케이블 유닛측 단부 중 일방에 돌기형 단자가 형성되고, 타방에 홈형 단자가 형성되어, 상기 돌기형 단자와 상기 홈형 단자가 결합 및 분리됨으로써, 상기 제1 케이블 유닛(301)과 상기 제2 케이블 유닛(302)이 분리 및 결합될 수 있다.

따라서, 상기 케이블 유닛(300)을 제1 케이블 유닛(301)과 제2 케이블 유닛(302)로 분리한 상태에서 이오나이저 유닛(100)을 설치 장소에 설치한 후에, 제1 케이블 유닛(301)과 제2 케이블 유닛(302)을 결합하여 이오나이저 유닛에 전원을 공급하는 것이 가능하기 때문에, 긴 케이블을 연결한 상태로는 설치가 곤란한 장소에도 용이하게 이오나이저 유닛(100)을 설치할 수 있다는 장점이 있다.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 내부식성 케이스를 나타낸 분해사시도이다.

다음으로, 도 7을 더 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 내부식성 케이스(400)에 대해 설명하도록 한다.

상기 내부식성 케이스(400)는 상기 이오나이저 유닛(100)의 부식 방지 및 상기 이오나이저 유닛(100)에서 발생하는 열을 외부와 차단하기 위해 크게, 하부 수용체(410), 투과창(420), 전면 커버(430) 및 상부 커버(440)를 포함하여 이루어질 수 있다.

먼저, 상기 하부 수용체(410)는 내부에 상기 이오나이저 유닛(100)이 수용되는 수용공간(411)이 마련된다.

또한, 상기 하부 수용체(410)는 전면에 상기 이오나이저 유닛의 조사부(110)로부터 방사되는 전자기파가 통과하기 위한 제1 조사 구멍(412)이 형성된다. 상기 제1 조사 구멍(412)은 상기 조사부(110)와 대응되는 위치에 형성되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 하부 수용체(410)는 내면에 내부에 삽입되어 수용되는 이오나이저 유닛(100)을 고정하기 위한 고정부(413)가 형성될 수 있다.

상기 고정부(413)는 상기 이오나이저 유닛(100)에 형성되는 요철 구조(135)의 홈에 삽입되어 고정될 수 있으며, 이는 설명을 위한 일례로 상기 이오나이저 유닛(100)에 상기 고정부(413)가 삽입되는 고정홈(미도시)이 형성되어 상기 상부 수용체(410) 내부에 상기 이오나이저 유닛(100)이 고정된 상태로 수용될 수 있도록 한다.

다음, 상기 투과창(420)은 내부식성 케이스(400)의 제전용 전자기파 투과용으로 마련되는 것으로, 보다 상세하게는, 상기 투과창(420)은 상기 제1 조사 구멍(412) 전면에 마련되며, 상기 조사부(110)로부터 방사되는 전자기파가 투과된다.

상기 투과창(420)은 운모 재질로 이루어질 수 있으며, 운모는 유리보다 엑스선의 투과율이 좋으며, 내열성, 방수성 및 내부식성 등이 높은 특성을 가짐으로써, 엑스선 투과율, 제품의 부식 방지 및 열 차단 기능을 갖출 수 있는 투광창을 형성할 수 있게 되는 것이다.

다음, 상기 전면 커버(430)는 상기 하부 수용체(410) 전면에 결합부재를 통해 결합되는 것으로, 상기 결합을 통해 상기 전면 커버(430)는 상기 하부 수용체의 제1 조사 구멍(412) 전면에 마련되는 상기 투과창(420)을 상기 하부 수용체(410) 전면에 고정시킨다.

상기 전면 커버(430)는 제전용 전자기파가 통과할 수 있도록 제2 조사 구멍(431)이 형성된다. 상기 제2 조사 구멍(431)은 상기 제1 조사 구멍(412)와 대응되는 위치에 형성되는 것이 바람직하다.

다음, 상기 상부 커버(440)는 이오나이저 유닛(100)을 내부에 수용하기 위해 상부가 개방된 하부 수용체(410)의 상부를 커버하기 위해 마련되는 것으로, 상기 상부 커버(440)는 결합 부재를 이용하여, 상기 하부 수용체(410) 상부와 결합되도록 이루어질 수 있다.

또한, 상기 상부 커버(440)는 상기 케이블 유닛(300)이 삽입될 수 있도록 케이블 삽입부(441)가 형성된다.

상기 케이블 삽입부(441)는 예컨대, 상기 케이스(130)가 케이블 접속구(150)를 견고하게 고정하기 위해 소정 높이로 돌출된 상기 돌출부를 형성한 경우, 상기 돌출부가 삽입 가능하도록 상기 상부 커버(440) 외측으로 소정 높이로 돌출되어 형성될 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니다.

이와 같은, 상기 내부식성 케이스(400)는 바람직하게는, 내부식성이 높은 폴리에테르에테르케톤(Polyether Ether Ketone, PEEK)재질로 이루어질 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니며, 내부식성이 높은 재질로 이루어질 수 있음은 물론이다.

상기 폴리에테르에테르케톤 재질은 기계적 특성, 내화학성, 내마모성, 피로 저항, 크리프 저항 및 최대 260°C의 매우 높은 내열성을 가진다.

따라서, 폴리에테르에테르케톤 재질을 이용하여 내부식성이 높은 상기 내부식성 케이스(400)는 상기 이오나이저 유닛(100)을 케이싱하여 일차적으로 상기 이오나이저 유닛(100)을 보호하고, 상기 이오나이저 유닛(100)의 부식 방지 및 상기 이오나이저 유닛(100)에서 발생하는 열이 외부에 영향을 끼치지 못하도록 방지할 수 있다.

한편, 상기 내부식성 케이스(400)는 도 2 또는 도 7과 같은 형상으로 제한되는 것은 아니며, 도 3 및 도 5와 같은 다양한 형상 및 크기를 가지는 이오나이저 유닛(100, 100b, 100c)에 따라 다양하게 변경되어 형성될 수 있음은 물론이다.

이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해되어야 한다.

100, 100b, 100c: 이오나이저 유닛
110, 110b, 110c: 조사부
120: 조사부 고정판
121: 관통구멍
130: 케이스
131: 제1 하우징
132: 제2 하우징
133: 조사부 장착 구멍
134: 케이블 결합 구멍
135: 요철 구조
140: 회로 기판
150: 케이블 접속구
160: 마감 플레이트
200: 몸체
210: 접속구
300: 케이블 유닛
301: 제1 케이블 유닛
302: 제2 케이블 유닛
310: 케이블 그랜드
400: 내부식성 케이스
410: 하부 수용체
411: 수용공간
412: 제1 조사 구멍
413: 고정부
420: 투과창
430: 전면 커버
431: 제2 조사 구멍
440: 상부 커버
441: 케이블 삽입부

Claims (8)

1. 제전용 전자기파를 방사하는 조사부가 장착되는 이오나이저 유닛;
   상기 이오나이저 유닛에 전원을 공급하도록 구성되는 몸체;
   상기 이오나이저 유닛과 상기 몸체를 연결하도록 구성되는 케이블 유닛; 및
   상기 이오나이저 유닛의 부식 방지 및 상기 이오나이저 유닛에서 발생하는 열을 외부와 차단하기 위한 내부식성 케이스;를 포함하는 내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저.
2. 제1항에 있어서,
   상기 이오나이저 유닛은,
   복수 개의 조사부가 장착 가능한 것을 특징으로 하는 내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저.
3. 제1항에 있어서,
   상기 몸체는,
   적어도 하나 이상의 이오나이저 유닛을 연결할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저.
4. 제1항에 있어서,
   상기 이오나이저 유닛은,
   상기 케이블 유닛과 연결될 수 있도록 일측에 형성되는 케이블 접속구를 포함하는 것을 특징으로 하는 내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저.
5. 제1항에 있어서,
   상기 몸체는,
   상기 케이블 유닛이 상기 몸체에 결합될 수 있도록 접속구를 포함하는 것을 특징으로 하는 내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저.
6. 제1항에 있어서,
   상기 내부식성 케이스는,
   내부식성이 높은 폴리에테르에테르케톤(Polyether Ether Ketone, PEEK)재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저.
7. 제1항에 있어서,
   상기 내부식성 케이스는,
   내부에 상기 이오나이저 유닛이 수용되는 수용공간이 마련되고, 전면에 수용되는 이오나이저 유닛의 조사부로부터 방사되는 전자기파가 통과하기 위한 제1 조사 구멍이 형성되는 하부 수용체와,
   상기 제1 조사 구멍 전면에 마련되며, 상기 조사부로부터 방사되는 전자기파가 투과되는 투과창과,
   상기 투과창을 상기 하부 수용체 전면에 고정하기 위한 전면 커버와,
   상기 케이블 유닛이 삽입되는 케이블 삽입부가 형성되며, 상기 이오나이저 유닛을 내부에 수용한 하부 수용체의 상부를 커버하기 위한 상부 커버를 포함하는 내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저.
8. 제7항에 있어서,
   상기 투과창은,
   운모 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 내부식성 케이스를 갖춘 광 이오나이저.