KR101882230B1 - 듀얼 x선관이 구비된 정전기 제거 장치 및 그것의 제어 방법 - Google Patents

듀얼 x선관이 구비된 정전기 제거 장치 및 그것의 제어 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 정전기 제거 장치가 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인에 정전기 제거용으로 이용되는 상태에서 정전기 제거 장치의 메인X선관을 작동시키되, 메인X선관이 고장이나 오작동으로 인해 정지되면 보조X선관을 즉시 작동시켜서, 메인X선관의 고장이나 오작동에 의해 LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인이 모두 정지시키는 것을 방지할 수 있는 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치 및 그것의 제어 방법에 관한 것이다.

Description

듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치 및 그것의 제어 방법{Static electricity removing device provided with dual X-ray tube and control method thereof}
본 발명은 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치 및 그것의 제어 방법에 관한 것으로, X선관의 고장이나 오작동에 의해 LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인이 모두 정지시키는 것을 방지할 수 있는 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치 및 그것의 제어 방법에 관한 것이다.
일반적으로 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정에서는 전자기기, LCD, 반도체 웨이퍼에 미세한 먼지가 부착되거나 정전기에 의하여 소자가 훼손되는 등의 문제점을 미연에 방지하기 위하여 정전기 제거 장치를 설치하는 것이 일반적이다.
정전기 제거 장치는 크게 코로나 방전식 장치와 엑스선 방사식 장치로 구분할 수 있는데, 최근에는 코로나 방전식 장치가 갖는 고전압 방전에 의한 스퍼터링 현상, 오존가스 발생, 이온 밸런스 조정에 따른 불편 등의 단점을 극복한 엑스선 방사식 장치, 즉 엑스선 이오나이저가 주로 이용되고 있다.
상기 엑스선 이오나이저는 엑스선을 생성하고 이를 방사하여 기체 분자를 이온화함으로써 제전 대상 물체 표면의 정전기를 중화하는 장치로, 주로 연엑스선(soft x-ray)을 조사하는 방식으로 구현된다. 이러한 엑스선 이오나이저는 미세먼지를 발생시키지 않고 공기를 대류시킬 필요도 없기 때문에 더욱 적합한 방식으로 각광받으며 다양한 방식으로 개발되어 왔다.
한편, 본 출원인은 한국등록특호 메인656781호의 X선관과, 상기 X선관과 연결된 메인 커넥터 및, 중앙을 기준으로 상기 메인 커넥터와 대향된 부위에 형성되어 바디의 암나사 홀에 선택적으로 결합되는 것으로 헤드 둘레에 요철부를 형성하여 작업자에 의해 수작업으로 회동되는 체결 볼트를 포함하는 복수의 X선관 모듈, 외부 전압을 공급받아 고전압을 발생시키는 전압발생부와, 내부에 상기 전압발생부를 수용하도록 형성되되 일 측에 상기 X선관 모듈이 삽입되는 모듈 삽입홈이 구비된 몰드 및, 상기 모듈 삽입홈 내부에 노출되어 상기 메인 커넥터와 물리적으로 탈부착됨으로써 상기 고전압을 전달하고 물리적 결합력을 제공하는 보조 커넥터를 구비한 복수의 전압 발생 어셈블리 및 내부에 상기 전압 발생 어셈블리를 상호 이격되게 수용한 바 형상의 케이스로서, 상기 모듈 삽입홈과 대응되는 부위가 관통된 모듈 관통공을 복수 개 형성한 바디를 포함하여, 상기 체결 볼트와 상기 메인 커넥터를 매개로 상기 바디 및 상기 전압 발생 어셈블리로부터 상기 X선관 모듈이 조립식으로 탈착되며, 상기 X선관 모듈은 상기 X선관과 상기 메인 커넥터를 감싸 지지하는 지지 커버와, 상기 X선관과 접촉한 상태로 상기 지지 커버의 하부에 적층 고정되는 접지 플레이트 및, 상기 지지 커버의 하부와 상기 접지 플레이트를 차례로 관통하여 형성된 볼트 거치공에 걸림식으로 거치되는 체결 볼트를 추가로 포함하며, 상기 체결 볼트는 헤드와, 헤드로부터 수직하게 연장된 환봉 및, 상기 환봉의 끝단에서 상기 환봉보다 두껍게 연장되되 외주면에 나사산이 형성된 나사봉을 포함하고, 상기 볼트 거치공은 상기 환봉과 같거나 크고 상기 나사봉보다 작은 지름을 갖도록 형성되어 상기 환봉이 볼트 거치공에 삽입된 상태로 상기 헤드 및 상기 나사봉에 의해 걸림식으로 거치되며, 상기 볼트 거치공은 내주면에 상기 나사봉과의 결합이 가능하도록 하는 나사산이 형성되며, 상기 지지 커버는 내부에 상기 X선관 및 상기 메인 커넥터가 각각 삽입 고정될 수 있도록 마련된 공간을 구비한 통 형상의 측벽부와, 상기 측벽부의 하부를 커버하는 패널로서 상기 측벽부의 X선관 삽입 공간과 대응되는 부위가 관통된 바닥부 및 상기 메인 커넥터의 일 측을 노출시킨 상태로 상기 측벽부의 상부를 커버하는 지붕부를 포함하며, 상기 메인 커넥터는 일단이 상기 X선관의 상부와 연결된 상태에서 측부 하방으로 절곡 연장되는 메인전극부와, 상기 메인 전극부의 연장 끝단의 상측에 배치되며 볼트 체결 방식으로 연결되어 상기 보조 커넥터와 선택적으로 탈착 접속되는 보조 전극부를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선관의 교체가 용이한 바형 엑스선 이오나이저를 개시한 적이 있었다.
그러나 종래기술의 엑스선 이오나이저가 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인에 정전기 제거용으로 이용되는 상태에서는 X선관의 교체 및 수리가 필요할 경우, 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인을 모두 정지시킨 후에나 X선관 모듈의 교체 및 수리가 가능함으로써, X선관의 교체 및 수리에 소요되는 시간만큼 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 시간이 딜레이 될 뿐만 아니라 상기 X선관 의 교체 및 수리에 인력이 소요되는 문제점이 있었다.
한국등록특허 메인656781호(2016.09.06)
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 정전기 제거 장치가 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인에 정전기 제거용으로 이용되는 상태에서 정전기 제거 장치의 메인X선관을 작동시키되, 메인X선관이 고장이나 오작동으로 인해 정지되면 보조X선관을 즉시 작동시켜서, 메인X선관의 고장이나 오작동에 의해 LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인이 모두 정지시키는 것을 방지할 수 있는 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치 및 그것의 제어 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인에 정전기 제거용으로 이용되는 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치로서, 하우징(100); 상기 하우징(100)의 내부에 수납되는 메인고전압팩(210) 및 보조고전압팩(220); 상기 하우징(100)의 내부에 수납되며 상기 메인고전압팩(210) 및 보조고전압팩(220)에서 전달된 고전압 인가에 의해 각각 X선을 방사할 수 있는 메인X선관(310) 및 보조X선관(320)을 포함하는 X선모듈(300); 상기 메인고전압팩(210) 및 보조고전압팩(220)과 전기적으로 연결되는 커넥터(400); 및 상기 커넥터(400)와 통신망을 통해 연결되어 상기 메인고전압팩(210)이 상기 메인X선관(310)에 고전압을 인가하여 상기 메인X선관(310)이 작동되도록 제어한 후, 상기 메인X선관(310)이 정지되면 상기 보조고전압팩(220)이 상기 보조X선관(320)에 고전압을 인가하여 상기 보조X선관(320)이 작동되도록 제어하는 제어부(500);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제어부(500)는 상기 메인고전압팩(210)이 상기 메인X선관(310)에 고전압을 지속적으로 인가하도록 제어하는 메인전압제어부(501)와, 상기 메인X선관(310)의 작동상태/정지상태 여부를 확인하는 메인작동확인부(502)와, 상기 메인작동확인부(502)를 피드백하여 상기 메인X선관(310)이 작동상태인 것을 확인하면 메인수명확인부(504)로 메인수명확인신호를 전송하고 상기 메인X선관(310)이 고장이나 오작동으로 인해 정지상태인 것을 확인하면 메인알람부(505)로 경고신호를 전송하는 메인피드백부(503)와, 상기 메인피드백부(503)에서 메인수명확인신호가 전송되면 상기 메인X선관(310)의 수명초과 여부를 확인하여 상기 메인X선관(310)의 수명이 초과된 상태를 확인하면 메인알람부(505)로 경고신호를 전송하는 메인수명확인부(504)와, 상기 메인피드백부(503)에서 경고신호가 전송되면 알람을 발생시키며 상기 보조고전압팩(220)이 상기 보조X선관(320)에 고전압을 인가하도록 제어하는 메인알람부(505)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제어부(500)는 상기 메인알람부(505)에서 알람이 발생되면 상기 메인알람부(505)의 제어를 받아서 상기 보조고전압팩(220)이 상기 보조X선관(320)에 고전압을 지속적으로 인가하도록 제어하는 보조전압제어부(506)와, 상기 보조X선관(320)의 작동상태/정지상태 여부를 확인하는 보조작동확인부(507)와, 상기 보조작동확인부(507)를 피드백하여 상기 보조X선관(320)이 작동상태인 것을 확인하면 보조수명확인부(509)로 보조수명확인신호를 전송하고 상기 보조X선관(320)이 정지상태인 것을 확인하면 보조알람부(510)로 경고신호를 전송하는 보조피드백부(508)와, 상기 보조피드백부(508)에서 보조수명확인신호가 전송되면 상기 보조X선관(320)의 수명초과 여부를 확인하여 상기 보조X선관(320)의 수명이 초과된 상태를 확인하면 보조알람부(510)로 경고신호를 전송하는 보조수명확인부(509)와, 상기 보조피드백부(508)에서 경고신호가 전송되면 알람을 발생시키며 상기 제조 공정 라인을 정지시키는 보조알람부(510)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 통신망은 RS-485 방식인 것을 특징으로 한다.
다른 본 발명은 하우징(100); 상기 하우징(100)의 내부에 수납되는 메인고전압팩(210) 및 보조고전압팩(220); 상기 하우징(100)의 내부에 수납되며 상기 메인고전압팩(210) 및 보조고전압팩(220)에서 전달된 고전압 인가에 의해 각각 X선을 방사할 수 있는 메인X선관(310) 및 보조X선관(320)을 포함하는 X선모듈(300); 상기 메인고전압팩(210) 및 보조고전압팩(220)과 전기적으로 연결되는 커넥터(400);을 포함하는 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치의 제어 방법으로서, 상기 메인고전압팩(210)이 상기 메인X선관(310)에 고전압을 인가하여 상기 메인X선관(310)이 작동되게 한 후, 상기 메인고전압팩(210)이 고장이나 오작동으로 인해 정지되면 상기 보조고전압팩(220)에 고전압을 공급하여 상기 보조X선관(320)이 작동되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 메인고전압팩(210)이 상기 메인X선관(310)에 고전압을 지속적으로 인가하도록 제어하는 제1단계(S10)와, 상기 메인X선관(310)의 작동상태/정지상태 여부를 확인하는 제2단계(S20)와, 상기 메인X선관(310)의 작동상태/정지상태 여부를 피드백하는 제3단계(S30)와, 상기 제3단계(S30)에서 상기 메인X선관(310)이 작동상태인 것을 확인하면 상기 메인X선관(310)의 수명초과 여부를 확인하는 제4단계(S40)와, 상기 제3단계(S30)에서 상기 메인X선관(310)이 정지상태인 것을 확인하거나 상기 제4단계(S40)에서 상기 메인X선관(310)의 수명이 초과된 상태를 확인하면 알람을 발생시키며 상기 보조고전압팩(220)이 상기 보조X선관(320)에 고전압을 인가하도록 제어하는 제5단계(S50)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 보조고전압팩(220)이 상기 보조X선관(320)에 고전압을 지속적으로 인가하도록 제어하는 제6단계(S60)와,상기 보조X선관(320)의 작동상태/정지상태 여부를 확인하는 제7단계(S70)와, 상기 보조X선관(320)의 작동상태/정지상태 여부를 피드백하는 제8단계(S80)와, 상기 제7단계(S70)에서 상기 보조X선관(320)이 작동상태인 것을 확인하면 상기 보조X선관(320)의 수명초과 여부를 확인하는 제9단계(S90)와, 상기 제8단계(S80)에서 상기 보조X선관(320)이 정지상태인 것을 확인하거나 상기 제9단계(S90)에서 상기 보조X선관(320)의 수명이 초과된 상태를 확인하면 알람을 발생시키고 상기 제조 공정 라인을 정지시키는 제10단계(S100)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 본 발명에 따른 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치 및 그것의 제어 방법은 정전기 제거 장치가 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인에 정전기 제거용으로 이용되는 상태에서 정전기 제거 장치의 메인X선관을 작동시키되, 메인X선관이 고장이나 오작동으로 인해 정지되면 보조X선관을 즉시 작동시켜서, 메인X선관의 고장이나 오작동에 의해 LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인이 모두 정지시키는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치의 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치의 분해사시도.
도 3은 본 발명에 따른 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치의 제어부를 나타낸 블록구성도.
도 4는 본 발명에 따른 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치의 제어 방법을 나타낸 개념도.
이하, 본 발명의 기술적 사상을 첨부된 도면을 사용하여 더욱 구체적으로 설명한다.
첨부된 도면은 본 발명의 기술적 사상을 더욱 구체적으로 설명하기 위하여 도시한 일예에 불과하므로 본 발명의 기술적 사상이 첨부된 도면의 형태에 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명에 따른 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치의 사시도, 도 2는 본 발명에 따른 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치의 분해사시도이다.
도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명은 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인에 정전기 제거용으로 이용되는 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치로서, 하우징(100), 메인고전압팩(210), 보조고전압팩(220), X선모듈(300), 커넥터(400), 제어부(500)를 포함한다.
상기 하우징(100)은 본 발명의 기본몸체로서, 메인바디(110), 보조바디(120), 스페이서(130), 메인연결플레이트(140), 보조연결플레이트(140)를 포함한다.
상기 메인바디(110)와 보조바디(120)는 일면이 개구된 케이스로서, 상하방향으로 나란히 적층된다.
상기 스페이서(130)는 상기 메인바디(110) 및 보조바디(120) 사이에 설치되어 상기 메인바디(110)와 보조바디(120)의 간격을 유지하는 역할을 한다.
상기 연결플레이트(140)는 상기 메인바디(110)와 보조바디(120)를 고정하는 역할을 하는 것으로, 상기 메인바디(110) 및 보조바디(120)의 양면에 결합된다. 이 때, 상기 연결플레이트(140)는 상기 메인바디(110) 및 보조바디(120)의 좌우방향 양면에 탈착가능하게 나사결합될 수 있다.
상기 메인고전압팩(210) 및 보조고전압팩(220)은 상기 메인바디(110) 및 보조바디(120)의 내부에 각각 수납되며 외부에서 전원을 공급받아서 상기 X선모듈(300)로 고전압을 인가하는 역할을 한다. 이때, 전원을 공급하는 장치는 공지된 기술로서, 자세한 설명은 생략한다.
상기 X선모듈(300)은 상기 메인바디(110) 및 보조바디(120)의 내부에 각각 수납되며 상기 메인고전압팩(210) 및 보조고전압팩(220)에서 전달된 고전압 인가에 의해 각각 X선을 방사할 수 있는 메인X선관(310) 및 보조X선관(320)을 포함한다. 이 때, 상기 메인X선관(310) 및 보조X선관(320)의 X선 방사에 의해 정전기를 제거할 수 있는 코로나 방전이 수행되는데, 이는 공지된 기술로서, 자세한 설명은 생략한다. 또한, 상기 X선모듈(300)은 상기 메인X선관(310) 및 보조X선관(320)이 각각 결합되어 상기 메인바디(110) 및 보조바디(120)에 각각 탈착가능하게 결합되는 메인플레이트(330) 및 보조플레이트(340)를 더 포함할 수 있다.
상기 커넥터(400)는 상기 메인고전압팩(210) 및 보조고전압팩(220)과 전기적으로 연결되어 상기 연결플레이트(140)의 외면에 결합된다.
상기 제어부(500)는 마이컴과 같은 제어장치로서, 상기 커넥터(400)와 통신망을 통해 연결되어 상기 메인고전압팩(210)이 상기 메인X선관(310)에 고전압을 인가하여 상기 메인X선관(310)이 작동되도록 제어한 후, 상기 메인X선관(310)이 고장이나 오작동으로 인해 정지되면 상기 보조고전압팩(220)이 상기 보조X선관(320)에 고전압을 인가하여 상기 보조X선관(320)이 작동되도록 제어한다.
이에 따라, 본 발명에 따른 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치 및 그것의 제어 방법은 정전기 제거 장치가 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인에 정전기 제거용으로 이용되는 상태에서 정전기 제거 장치의 메인X선관(310)을 작동시키되, 메인X선관(310)이 고장이나 오작동으로 인해 정지되면 보조X선관(320)을 즉시 작동시켜서, 메인X선관(310)의 고장이나 오작동에 의해 LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인이 모두 정지시키는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
도 3은 본 발명에 따른 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치의 제어부(500)를 나타낸 블록구성도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제어부(500)는 상기 메인고전압팩(210)이 상기 메인X선관(310)에 고전압을 지속적으로 인가하도록 제어하는 메인전압제어부(501)와, 상기 메인X선관(310)의 작동상태/정지상태 여부를 확인하는 메인작동확인부(502)와, 상기 메인작동확인부(502)를 피드백하여 상기 메인X선관(310)이 작동상태인 것을 확인하면 메인수명확인부(504)로 메인수명확인신호를 전송하고 상기 메인X선관(310)이 고장이나 오작동으로 인해 정지상태인 것을 확인하면 메인알람부(505)로 경고신호를 전송하는 메인피드백부(503)와, 상기 메인피드백부(503)에서 메인수명확인신호가 전송되면 상기 메인X선관(310)의 수명초과 여부를 확인하여 상기 메인X선관(310)의 수명이 초과된 상태를 확인하면 메인알람부(505)로 경고신호를 전송하는 메인수명확인부(504)와, 상기 메인피드백에서 경고신호가 전송되면 알람을 발생시키며 상기 보조고전압팩(220)이 상기 보조X선관(320)에 고전압을 인가하도록 제어하는 메인알람부(505)를 더 포함할 수 있다.
즉, 상기 제어부(500)는 상기 메인X선관(310)의 작동상태/정지상태 여부와 수명초과 여부를 지속적으로 피드백하여 상기 메인X선관(310)이 고장이나 오작동으로 인해 정지되거나 수명초과되면 상기 보조고전압팩(220)이 상기 보조X선관(320)에 고전압을 인가하여 상기 보조X선관(320)이 작동되록 제어하는 것이다.
또한, 상기 제어부(500)는 상기 메인알람부(505)에서 알람이 발생되면 상기 메인알람부(505)의 제어를 받아서 상기 보조고전압팩(220)이 상기 보조X선관(320)에 고전압을 지속적으로 인가하도록 제어하는 보조전압제어부(506)와, 상기 보조X선관(320)의 작동상태/정지상태 여부를 확인하는 보조작동확인부(507)와, 상기 보조작동확인부(507)를 피드백하여 상기 보조X선관(320)이 작동상태인 것을 확인하면 보조수명확인부(509)로 보조수명확인신호를 전송하고 상기 보조X선관(320)이 정지상태인 것을 확인하면 보조알람부(510)로 경고신호를 전송하는 보조피드백부(508)와, 상기 보조피드백부(508)에서 보조수명확인신호가 전송되면 상기 보조X선관(320)의 수명초과 여부를 확인하여 상기 보조X선관(320)의 수명이 초과된 상태를 확인하면 보조알람부(510)로 경고신호를 전송하는 보조수명확인부(509)와, 상기 보조피드백부(508)에서 경고신호가 전송되면 알람을 발생시키며 상기 제조 공정 라인을 정지시키는 보조알람부(510)를 더 포함할 수 있다.
즉, 상기 제어부(500)는 상기 보조X선관(320)의 작동상태/정지상태 여부와 수명초과 여부를 지속적으로 피드백하여 상기 보조X선관(320)이 고장이나 오작동으로 인해 정지되거나 수명초과되면 상기 메인X선관(310) 및 보조X선관(320)의 수리 및 교체가 수행되도록 상기 제조 공정 라인이 정지되도록 제어하는 것이다.
또한, 상기 통신망은 RS-485 방식으로 구성될 수 있다. 이 때, 상기 RS-485는 모든 장치들이 같은 라인에서 데이터 전송 및 수신을 할 수 있으므로, 통신망 구축공간을 최소화할 수 있다.
본 발명에 따른 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치의 제어 방법은 메인바디(110) 및 보조바디(120) 사이에 각각 설치되는 스페이서(130)와, 상기 메인바디(110) 및 보조바디(120)의 좌우방향 양면에 결합되는 연결플레이트(140)를 포함하는 하우징(100), 상기 메인바디(110) 및 보조바디(120)의 내부에 각각 수납되는 메인고전압팩(210) 및 보조고전압팩(220), 상기 메인바디(110) 및 보조바디(120)의 내부에 각각 수납되며 상기 메인고전압팩(210) 및 보조고전압팩(220)에서 공급된 전압에 의해 각각 X선을 방사할 수 있는 메인X선관(310) 및 보조X선관(320)을 포함하는 X선모듈(300) 및 상기 메인X선관(310) 및 보조X선관(320)과 전기적으로 연결되어 상기 연결플레이트(140)의 외면에 결합되는 커넥터(400)를 포함하는 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치의 제어 방법으로서, 상기 메인고전압팩(210)이 상기 메인X선관(310)에 고전압을 인가하여 상기 메인X선관(310)이 작동되게 한 후, 상기 메인고전압팩(210)이 고장이나 오작동으로 인해 정지되면 상기 보조고전압팩(220)에 고전압을 공급하여 상기 보조X선관(320)이 작동되도록 제어할 수 있다.
이때, 상기 제어는 마이컴이나 MCU(Micro controller unit)같은 제어장치가 수행할 수 있다.
도 4는 본 발명에 따른 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치의 제어 방법을 나타낸 개념도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치의 제어 방법은 상기 메인고전압팩(210)이 상기 메인X선관(310)에 고전압을 지속적으로 인가하도록 제어하는 제1단계(S10)와, 상기 메인X선관(310)의 작동상태/정지상태 여부를 확인하는 제2단계(S20)와, 상기 메인X선관(310)의 작동상태/정지상태 여부를 피드백하는 제3단계(S30)와, 상기 제3단계(S30)에서 상기 메인X선관(310)이 작동상태인 것을 확인하면 상기 메인X선관(310)의 수명초과 여부를 확인하는 제4단계(S40)와, 상기 제3단계(S30)에서 상기 메인X선관(310)이 정지상태인 것을 확인하거나 상기 제4단계(S40)에서 상기 메인X선관(310)의 수명이 초과된 상태를 확인하면 알람을 발생시키며 상기 보조고전압팩(220)이 상기 보조X선관(320)에 고전압을 인가하도록 제어하는 제5단계(S50)를 포함할 수 있다.
즉, 상기 제1단계(S10) 내지 제5단계(S50)는 상기 보조X선관(320)의 작동상태/정지상태 여부와 수명초과 여부를 지속적으로 피드백하여 상기 보조X선관(320)이 고장이나 오작동으로 인해 정지되거나 수명초과되면 상기 메인X선관(310) 및 보조X선관(320)의 수리 및 교체가 수행되도록 상기 제조 공정 라인이 정지되도록 제어하는 것이다.
또한, 상기 보조고전압팩(220)이 상기 보조X선관(320)에 고전압을 지속적으로 인가하도록 제어하는 제6단계(S60)와, 상기 보조X선관(320)의 작동상태/정지상태 여부를 확인하는 제7단계(S70)와, 상기 보조X선관(320)의 작동상태/정지상태 여부를 피드백하는 제8단계(S80)와, 상기 제7단계(S70)에서 상기 보조X선관(320)이 작동상태인 것을 확인하면 상기 보조X선관(320)의 수명초과 여부를 확인하는 제9단계(S90)와, 상기 제8단계(S80)에서 상기 보조X선관(320)이 정지상태인 것을 확인하거나 상기 제9단계(S90)에서 상기 보조X선관(320)의 수명이 초과된 상태를 확인하면 알람을 발생시키고 상기 제조 공정 라인을 정지시키는 제10단계(S100)를 더 포함할 수 있다.
즉, 상기 제6단계(S60) 내지 제10단계(S100)는 상기 보조X선관(320)의 작동상태/정지상태 여부와 수명초과 여부를 지속적으로 피드백하여 상기 보조X선관(320)이 고장이나 오작동으로 인해 정지되거나 수명초과되면 상기 메인X선관(310) 및 보조X선관(320)의 수리 및 교체가 수행되도록 상기 제조 공정 라인이 정지되도록 제어하는 것이다.
이때, 상기 제1단계(S10) 내지 제10단계(S100)는 마이컴이나 MCU(Micro controller unit)같은 제어장치가 수행할 수 있다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.
100 : 하우징
110 : 메인바디
120 : 보조바디
130 : 스페이서
140 : 연결플레이트
210 : 메인고전압팩
220 : 보조고전압팩
300 : X선모듈
310 : 메인X선관
320 : 보조X선관
330 : 메인플레이트
340 : 보조플레이트
400 : 커넥터
500 : 제어부
501 : 메인전압제어부
502 : 메인작동확인부
503 : 메인피드백부
504 : 메인수명확인부
505 : 메인알람부
506 : 보조전압제어부
507 : 보조작동확인부
508 : 보조피드백부
509 : 보조수명확인부
510 : 보조알람부

Claims (7)

  1. 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인에 정전기 제거용으로 이용되는 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치로서,
    하우징(100);
    상기 하우징(100)의 내부에 수납되는 메인고전압팩(210) 및 보조고전압팩(220);
    상기 하우징(100)의 내부에 수납되며 상기 메인고전압팩(210) 및 보조고전압팩(220)에서 전달된 고전압 인가에 의해 각각 X선을 방사할 수 있는 메인X선관(310) 및 보조X선관(320)을 포함하는 X선모듈(300);
    상기 메인고전압팩(210) 및 보조고전압팩(220)과 전기적으로 연결되는 커넥터(400); 및
    상기 커넥터(400)와 통신망을 통해 연결되어 상기 메인고전압팩(210)이 상기 메인X선관(310)에 고전압을 인가하여 상기 메인X선관(310)이 작동되도록 제어한 후, 상기 메인X선관(310)이 정지되면 상기 보조고전압팩(220)이 상기 보조X선관(320)에 고전압을 인가하여 상기 보조X선관(320)이 작동되도록 제어하는 제어부(500);를 포함하며,
    상기 제어부(500)는 상기 메인고전압팩(210)이 상기 메인X선관(310)에 고전압을 지속적으로 인가하도록 제어하는 메인전압제어부(501)와, 상기 메인X선관(310)의 작동상태/정지상태 여부를 확인하는 메인작동확인부(502)와, 상기 메인작동확인부(502)를 피드백하여 상기 메인X선관(310)이 작동상태인 것을 확인하면 메인수명확인부(504)로 메인수명확인신호를 전송하고 상기 메인X선관(310)이 고장이나 오작동으로 인해 정지상태인 것을 확인하면 메인알람부(505)로 경고신호를 전송하는 메인피드백부(503)와, 상기 메인피드백부(503)에서 메인수명확인신호가 전송되면 상기 메인X선관(310)의 수명초과 여부를 확인하여 상기 메인X선관(310)의 수명이 초과된 상태를 확인하면 메인알람부(505)로 경고신호를 전송하는 메인수명확인부(504)와, 상기 메인피드백부(503)에서 경고신호가 전송되면 알람을 발생시키며 상기 보조고전압팩(220)이 상기 보조X선관(320)에 고전압을 인가하도록 제어하는 메인알람부(505)를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 제어부(500)는
    상기 메인알람부(505)에서 알람이 발생되면 상기 메인알람부(505)의 제어를 받아서 상기 보조고전압팩(220)이 상기 보조X선관(320)에 고전압을 지속적으로 인가하도록 제어하는 보조전압제어부(506)와,
    상기 보조X선관(320)의 작동상태/정지상태 여부를 확인하는 보조작동확인부(507)와,
    상기 보조작동확인부(507)를 피드백하여 상기 보조X선관(320)이 작동상태인 것을 확인하면 보조수명확인부(509)로 보조수명확인신호를 전송하고 상기 보조X선관(320)이 정지상태인 것을 확인하면 보조알람부(510)로 경고신호를 전송하는 보조피드백부(508)와,
    상기 보조피드백부(508)에서 보조수명확인신호가 전송되면 상기 보조X선관(320)의 수명초과 여부를 확인하여 상기 보조X선관(320)의 수명이 초과된 상태를 확인하면 보조알람부(510)로 경고신호를 전송하는 보조수명확인부(509)와,
    상기 보조피드백부(508)에서 경고신호가 전송되면 알람을 발생시키며 상기 제조 공정 라인을 정지시키는 보조알람부(510)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 통신망은
    RS-485 방식인 것을 특징으로 하는 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치.
  5. 하우징(100); 상기 하우징(100)의 내부에 수납되는 메인고전압팩(210) 및 보조고전압팩(220); 상기 하우징(100)의 내부에 수납되며 상기 메인고전압팩(210) 및 보조고전압팩(220)에서 전달된 고전압 인가에 의해 각각 X선을 방사할 수 있는 메인X선관(310) 및 보조X선관(320)을 포함하는 X선모듈(300); 상기 메인고전압팩(210) 및 보조고전압팩(220)과 전기적으로 연결되는 커넥터(400);을 포함하는 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치의 제어 방법으로서,
    상기 메인고전압팩(210)이 상기 메인X선관(310)에 고전압을 인가하여 상기 메인X선관(310)이 작동되게 한 후, 상기 메인고전압팩(210)이 고장이나 오작동으로 인해 정지되면 상기 보조고전압팩(220)에 고전압을 공급하여 상기 보조X선관(320)이 작동되도록 제어하며,
    상기 메인고전압팩(210)이 상기 메인X선관(310)에 고전압을 지속적으로 인가하도록 제어하는 제1단계(S10)와,
    상기 메인X선관(310)의 작동상태/정지상태 여부를 확인하는 제2단계(S20)와,
    상기 메인X선관(310)의 작동상태/정지상태 여부를 피드백하는 제3단계(S30)와,
    상기 제3단계(S30)에서 상기 메인X선관(310)이 작동상태인 것을 확인하면 상기 메인X선관(310)의 수명초과 여부를 확인하는 제4단계(S40)와,
    상기 제3단계(S30)에서 상기 메인X선관(310)이 정지상태인 것을 확인하거나 상기 제4단계(S40)에서 상기 메인X선관(310)의 수명이 초과된 상태를 확인하면 알람을 발생시키며 상기 보조고전압팩(220)이 상기 보조X선관(320)에 고전압을 인가하도록 제어하는 제5단계(S50)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치의 제어 방법.
  6. 삭제
  7. 제5항에 있어서,
    상기 보조고전압팩(220)이 상기 보조X선관(320)에 고전압을 지속적으로 인가하도록 제어하는 제6단계(S60)와,
    상기 보조X선관(320)의 작동상태/정지상태 여부를 확인하는 제7단계(S70)와,
    상기 보조X선관(320)의 작동상태/정지상태 여부를 피드백하는 제8단계(S80)와,
    상기 제7단계(S70)에서 상기 보조X선관(320)이 작동상태인 것을 확인하면 상기 보조X선관(320)의 수명초과 여부를 확인하는 제9단계(S90)와,
    상기 제8단계(S80)에서 상기 보조X선관(320)이 정지상태인 것을 확인하거나 상기 제9단계(S90)에서 상기 보조X선관(320)의 수명이 초과된 상태를 확인하면 알람을 발생시키는 제10단계(S100)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 X선관이 구비된 정전기 제거 장치의 제어 방법.
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