KR20240003833A - 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치 - Google Patents

링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치 Download PDF

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(주)선재하이테크
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Abstract

본 발명은 다수의 정전기제거장치를 연결하여 하나의 컨트롤러로 제어 가능한 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치는 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치에 있어서, 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 복수 개의 정전기제거장치, 상기 정전기제거장치 간에 전기적으로 연결하기 위한 신호전송 케이블, 및 하나의 정전기제거장치에 연결되어 상기 신호전송 케이블로 연결된 복수 개의 정전기제거장치를 제어하는 컨트롤러를 포함한다.

Description

링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치 {Link type ionizer capable of switching individual modules of X-ray tube}
본 발명은 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 다수의 정전기제거장치를 연결하여 하나의 컨트롤러로 제어 가능한 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치에 관한 것이다.
일반적으로 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정에서는 전자기기, LCD, 반도체 웨이퍼에 미세한 먼지가 부착되거나 정전기에 의하여 소자가 훼손되는 등의 문제점을 미연에 방지하기 위하여 정전기제거장치를 설치하는 것이 일반적이다.
정전기제거장치는 크게 코로나 방전식 장치와 엑스선 방사식 장치로 구분할 수 있는데, 최근에는 코로나 방전식 장치가 갖는 고전압 방전에 의한 스퍼터링 현상, 오존가스 발생, 이온 밸런스 조정에 따른 불편 등의 단점을 극복한 엑스선 방사식 정전기제거장치가 주로 이용되고 있다.
상기 엑스선 방사식 정전기제거장치는 엑스선을 생성하고 이를 방사하여 기체 분자를 이온화함으로써 제전 대상 물체 표면의 정전기를 중화하는 장치로, 주로 연엑스선(Soft X-ray)을 조사하는 방식으로 구현된다. 이러한 엑스선 방사식 정전기제거장치는 미세먼지를 발생시키지 않고 공기를 대류시킬 필요도 없기 때문에 더욱 적합한 방식으로 각광받으며 바타입(막대형) 정전기제거장치와 같이 다양한 방식으로 개발되어 왔다.
그러나 종래기술의 정전기제거장치가 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인에 정전기 제거용으로 이용되는 상태에서는 엑스선관의 교체 및 수리가 필요할 경우, 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인을 모두 정지시킨 후에나 엑스선관 모듈의 교체 및 수리가 가능함으로써, 엑스선관의 교체 및 수리에 소요되는 시간만큼 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 시간이 지연될 뿐만 아니라 상기 엑스선관의 교체 및 수리에 인력이 소요되는 문제점이 있었다.
이러한 문제점을 개선하기 위하여, 본 출원인은 대한민국 등록특허 제10-2065346호에 'X선을 이용한 정전기 제거장치'라는 발명을 제안한 바가 있으며, 상기의 특허에서는 위의 문제점인 X선관의 고장이나 오작동에 의해 LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인이 모두 정지되는 문제점이 개선된 바가 있으나, 이러한 종래기술의 정전기제거장치는 제품 설치 시 설치 장소에 설비 등을 포함하는 장애물이 있는 경우 설치 제한의 문제점과 바타입(막대형) 정전기제거장치의 경우 무한정 길이를 연장하여 생산이 어려울뿐더러, 정전기제거장치가 설치되는 공정환경에 따라 정전기제거장치의 사이즈(길이) 또는 설치 형태를 알맞게 설치하기 힘든 문제점이 있었다.
대한민국 등록특허 제10-2065346호 (2020.01.07.)
본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 하나의 컨트롤러에 다수의 정전기제거장치를 연결 가능하도록 하고, 이를 통해 설치환경 제약 없이 설치가 가능한 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 지닌 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치는 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치에 있어서, 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 복수 개의 정전기제거장치, 상기 정전기제거장치 간에 전기적으로 연결하기 위한 신호전송 케이블 및 하나의 정전기제거장치에 연결되어 상기 신호전송 케이블로 연결된 복수 개의 정전기제거장치를 제어하는 컨트롤러를 포함한다.
또한, 상기 정전기제거장치는 일측에 상기 컨트롤러에 연결하거나 또는 추가적으로 연결되는 정전기제거장치를 연결하기 위한 컨트롤러용 커넥터와, 타측에는 추가적으로 정전기제거장치를 연결하기 위한 정전기제거장치용 커넥터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 신호전송 케이블은 일측이 상기 상기 정전기제거장치용 커넥터에 연결되고, 타측이 상기 컨트롤러용 커넥터에 연결되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 복수 개의 정전기제거장치는 상기 신호전송 케이블을 통해 복수 개가 연결 가능함으로써, 복수 개의 정전기제거장치를 통해'ㄱ'자, 'ㄴ'자, 'ㄷ'자, 'ㅁ'자 등을 포함하는 다양한 설치 형태를 가질 수 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 정전기제거장치는 외부에서 공급되는 전력으로 전압을 발생시키는 1개 이상의 전압발생모듈과, 상기 전압발생모듈 각각에 대응하여 전압을 공급받아 X선을 방사하는 1개 이상의 메인 엑스선관 모듈을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 정전기제거장치는 상기 메인 엑스선관 모듈 각각에 대응되는 위치에 병렬로 위치하여 대응하는 상기 메인 엑스선관 모듈의 조사영역과 동일한 조사영역을 지니며 상기 전압발생모듈 각각에 대응하여 전압을 공급받아 X선을 방사하는 1개 이상의 보조 엑스선관 모듈과, 특정 메인 엑스선관 모듈이 비정상 작동 중인 경우 상기 특정 메인 엑스선관 모듈에 대응하는 보조 엑스선관 모듈로 작동을 전환하는 전환부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 정전기제거장치는 상기 엑스선관 개별 모듈의 작동상태가 정상인지 여부를 감지하는 상태파악부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 컨트롤러는 복수 개의 정전기제거장치의 상태파악부로부터 감지된 엑스선관 개별 모듈의 이상 발생 신호를 감지하여 표시하는 상태표시부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치는 복수 개의 정전기제거장치를 링크 타입으로 연결 가능하도록 하여 하나의 컨트롤러를 통해 복수 개의 정전기제거장치를 제어할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치는 신호전송 케이블를 통해 복수 개의 정전기제거장치를 링크 타입으로 연결 가능함으로써 장애물과 같은 설치환경 제약에 영향을 받지 않고 설치가 가능한 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치는 신호전송 케이블를 통해 복수 개의 정전기제거장치를 링크 타입으로 연결 가능함으로써 다양한 설치환경에 맞추어 정전기제거장치를 설치하는 것이 가능하며, 이를 통해 제전효과를 극대화시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치를 나타낸 블록구성도이다.
도 2는 본 발명에 따른 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치를 구성하는 정전기제거장치를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치를 구성하는 정전기제거장치를 나타낸 블록구성도이다.
도 4는 본 발명에 따른 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치의 효과를 설명하기 위한 예시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치의 또 다른 효과를 설명하기 위한 예시도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
아래 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 상세히 설명한다. 도면에 관계없이 동일한 부재번호는 동일한 구성요소를 지칭하며, "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며, 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소 외에 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치를 나타낸 블록구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치는 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치에 있어서, 크게, 정전기제거장치(100), 신호전송 케이블(200) 및 컨트롤러(300)를 포함한다.
먼저, 정전기제거장치(100)는 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치로 복수 개가 마련된다.
상기 정전기제거장치(100)는 외부에서 공급되는 전력으로 전압을 발생시키는 전압발생모듈과, 상기 전압발생모듈에 대응하여 전압을 공급받아 X선을 방사하는 엑스선관 개별 모듈을 포함한다.
도 2는 본 발명에 따른 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치를 구성하는 정전기제거장치를 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치를 구성하는 정전기제거장치를 나타낸 블록구성도이다.
도 2 내지 3을 참조하여 상기 정전기제거장치(100)에 대하여 좀 더 구체적으로 설명하자면, 상기 정전기제거장치(100)는 몸체(10), 전압발생모듈(110), 메인 엑스선관 모듈(120), 보조 엑스선관 모듈(130) 및 전환부(140)를 포함한다.
먼저, 상기 몸체(10)는 전체적으로 일방향을 따라 긴 바 형상을 지니며, 정전기제거장치의 사양, 설치환경 및 공정환경에 따라 다양한 크기로 형성될 수 있다.
상기 몸체(10)는 일측에 컨트롤러(300)에 연결하거나, 또는 추가적으로 연결되는 정전기제거장치(100)를 연결하기 위한 컨트롤러용 커넥터(20)가 형성된다.
또한, 상기 몸체(10) 타측에는 추가적으로 정전기제거장치(100)를 연결하기 위한 정전기제거장치용 커넥터(30)가 형성되며, 상기 정전기제거장치용 커넥터(30)는 설치장소 환경에 따라 상기 몸체(10) 어느 일측에 형성될 수 있음은 물론이다.
상기 컨트롤러용 커넥터(20)는 컨트롤러(300) 또는 상기 정전기제거장치용 커넥터(30) 전력을 입력받을 수 있고, 상기 정전기제거장치용 커넥터(30)는 상기 컨트롤러용 커넥터(20)로 컨트롤러(300)로부터 받은 전력을 상기 컨트롤러용 커넥터(20)로 전달할 수 있도록 전기적으로 연결된다.
또한, 상기 컨트롤러용 커넥터(20)와 정전기제거장치용 커넥터(30)를 통해 통신적으로 연결될 수 있도록 구성됨은 물론이다.
상기 몸체(10) 하부면에는 메인 엑스선관 모듈(110) 또는 보조 엑스선관 모듈(120)에 대응되는 형상 및 크기의 개구(11)가 형성된다.
또한, 상기 개구(11)와 연통되어 몸체(10) 내부에는 수용공간(12)이 형성되되, 상기 개구(11) 및 상기 수용공간(12)은 메인 엑스선관 모듈(120) 또는 보조 엑스선관 모듈(130)의 수량에 대응되도록 형성된다.
다음, 상기 전압발생모듈(110)은 외부에서 공급되는 전력으로 전압을 발생시키는 것으로, 상기 전압발생모듈(110)은 상기 몸체(10) 내에 적어도 1개 이상 구비된다.
상기 각각의 몸체(10) 내 구비되는 상기 전압발생모듈(110)은 상기 컨트롤러용 커넥터(20) 통해 컨트롤러(300)와 전기적으로 또는 통신적으로 연결된다.
상기 전압발생모듈(110)에 대하여 좀 더 구체적으로 설명하자면, 상기 전압발생모듈(110)은 외부에서 공급되는 전력으로 전압을 발생시켜 메인 엑스선관 모듈(120)에 제공하도록 구성되며, 상기 전압발생모듈(110)은 상기 메인 엑스선관 모듈(120)의 수량에 대응되게 구비된다.
또한, 상기 전압발생모듈(110)은 제전 환경 등 각종 요인에 대응하여 그 용량을 기준으로 다양한 사양으로 구성될 수 있다.
다음, 메인 엑스선관 모듈(120)은 상기 전압발생모듈(110)에 대응하여 쌍을 이루며 상기 전압발생모듈(110)로부터 전압을 공급받아 X선을 방사한다.
상기 메인 엑스선관 모듈(120)은 적어도 한 개 이상 구비되어, 상기 몸체(10)에 탈부착되되, 상기 메인 엑스선관 모듈(120)은 상기 전압발생모듈(110) 개수만큼 구비되는 것이 바람직하다.
다음, 보조 엑스선관 모듈(130)는 상기 전압발생모듈(110) 대응하여 쌍을 이루며 상기 메인 엑스선관 모듈(120) 각각에 대응되는 위치에 병렬로 위치하여, 대응하는 상기 메인 엑스선관 모듈(120)의 조사영역과 동일한 조사영역을 지니며 상기 전압발생모듈(110)로부터 전압을 전달받아 X선을 방사한다.
상기 메인 엑스선관 모듈(120)과 상기 보조 엑스선관 모듈(130)은 병렬로 한 쌍을 이루며, 한 쌍 이루는 메인 엑스선관 모듈(120) 또는 보조 엑스선관 모듈(130)로 전압을 제공하는 전압발생모듈(110)로 구성된다.
즉, 상기 정전기제거장치(100)는 하나의 메인 엑스선관 모듈(120)과 하나의 보조 엑스선관 모듈(130) 및 하나의 전압발생모듈(110)이 한 쌍으로 이루어지는 것(전압발생모듈:엑스선관 개별 모듈 = 1:2 구성)을 의미한다.
한편, 상기 메인 엑스선관 모듈(120)과 상기 보조 엑스선관 모듈(130)은 상기 개구(11)를 통해 몸체(10) 내 상기 수용공간(12)으로 인입 및 인출될 수 있으며, 몸체(10)의 내측에 인입된 경우, 상기 전압발생모듈(110)과 물리적 또는 전기적으로 연결되어 상기 전압발생모듈(110)이 제공하는 전압을 제공받을 수 있다.
즉, 상기 메인 엑스선관 모듈(120)과 상기 보조 엑스선관 모듈(130)은 상술한 상기 개구(11)를 통해 일종의 카트리지 방식으로 간편히 교체될 수 있음을 의미한다.
다음, 상기 전환부(140)는 상기 몸체(10) 내부에 구비되며, 상기 메인 엑스선관 모듈(120) 또는 상기 보조 엑스선관 모듈(130)의 작동상태가 정상인지 여부를 감지하는 상태파악부(141)를 포함한다.
따라서, 상기 전환부(140)는 상기 상태파악부(141)로부터의 감지결과, 특정 메인 엑스선관 모듈(120)이 비정상 작동 중인 것으로 판단되는 경우, 상기 특정 메인 엑스선관 모듈(120)에 대응하는 보조 엑스선관 모듈(130)로 전환하는 역할을 한다.
상기 전환부(140)는 상기 메인 엑스선관 모듈(120) 또는 상기 보조 엑스선관 모듈(130)의 전압 인가를 제어함으로써, 상기 메인 엑스선관 모듈(120)에 대응하는 보조 엑스선관 모듈(130)로 전환이 가능하다.
여기서, 상기 정전기제거장치(100)는 하나의 메인 엑스선관 모듈(120)과 하나의 보조 엑스선관 모듈(130) 및 하나의 전압발생모듈(110)이 한 쌍으로 이루어지므로, 상기 전압발생모듈(110)의 전압 인가 방향을 메인 엑스선관 모듈(120) 또는 보조 엑스선관 모듈(130)로 제어함으로써 모듈 단위로의 작동 전환이 가능하다.
다음, 신호전송 케이블(200)은 정전기제거장치(100) 간에 전기적으로 연결하기 위한 연결 케이블로서, 컨트롤러(300)에 연결된 정전기제거장치(100)에 추가적으로 정전기제거장치(100)를 연결하기 위해 마련된다.
상기 신호전송 케이블(200)은 일측이 정전기제거장치(100)의 정전기제거장치용 커넥터(30)에 연결되고, 타측이 컨트롤러용 커넥터(20)에 연결된다.
따라서, 컨트롤러(300)에 직접 연결되는 정전기제거장치(100) 외 추가적으로 연결되는 정전기제거장치(100)는 상기 신호전송 케이블(200)을 통해 컨트롤러(300)와 전기적으로 또는 통신적으로 연결되는 것이 가능하다.
이를 통해 하나의 컨트롤러(300)에 복수 개의 정전기제거장치(100)가 링크(사슬) 방식으로 연결이 가능하게 되는 것이다.
다음, 컨트롤러(300)는 하나의 정전기제거장치(100)에 연결되어 전력을 공급및 상기 신호전송 케이블을 통해 링크된 복수 개의 정전기제거장치를 전력을 공급한다.
또한, 상기 컨트롤러(300)는 단일 정전기제거장치(100)는 물론 링크 타입으로 연결된 복수 개의 정전기제거장치(100)를 제어 가능하도록 구성된다.
상기 컨트롤러(300)는 도시되어 있지는 않지만, 복수 개의 정전기제거장치(100)의 상태파악부(141)로부터 감지된 엑스선관 개별 모듈의 이상 발생 신호를 감지하여 표시하는 상태표시부(미도시)를 포함하여 이루어질 수 있다.
이를 통해, 본 발명에 따른 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치는 특정 엑스선관 개별 모듈에 이상이 발생하면 그 신호를 감지해서 해당 고장 모듈 제품만 교체함으로써 유지보수가 편리하다.
도 4는 본 발명에 따른 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치의 효과를 설명하기 위한 예시도이다.
또한, 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치는, 일반적인 정전기제거장치를 설치하기 위한 설치장소에 설비(E)를 포함하는 장애물이 있는 경우, 설비 양측에 정전기제거장치(100)를 설치하고, 이를 신호전송 케이블(200)을 통해 링크(연결)함으로써, 설치환경 제약없이 제전환경을 형성할 수 있는 효과가 있다.
도 5는 본 발명에 따른 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치의 또 다른 효과를 설명하기 위한 예시도이다.
또한, 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치는, 상기 신호전송 케이블(200)을 통해 복수 개의 정전기제거장치(100)가 하나의 컨트롤러(300)에 링크(연결) 가능함으로써, 복수 개의 정전기제거장치를 통해'ㄱ'자, 'ㄴ'자, 'ㄷ'자, 'ㅁ'자 등을 포함하는 다양한 설치 형태를 가질 수 있는 효과가 있다. (여기서, 도 5 및 상술한 설치 형태는 설명을 위한 일례일뿐 이에 한정되지 않는다.)
따라서, 본 발명에 따른 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치는, 다양한 설치환경에 맞추어 정전기제거장치를 설치하는 것이 가능하며, 제전효과를 극대화할 수 있는 효과가 있다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해되어야 한다.
100: 정전기제거장치
10: 몸체
20: 컨트롤러용 커넥터
30: 정전기제거장치용 커넥터
110: 전압발생모듈
120: 메인 엑스선관 모듈
130: 보조 엑스선관 모듈
140: 전환부
141: 상태파악부
200: 신호전송 케이블
300: 컨트롤러

Claims (8)

  1. 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치에 있어서,
    엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 복수 개의 정전기제거장치;
    상기 정전기제거장치 간에 전기적으로 연결하기 위한 신호전송 케이블; 및
    하나의 정전기제거장치에 연결되어 상기 신호전송 케이블로 연결된 복수 개의 정전기제거장치를 제어하는 컨트롤러;를 포함하는 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 정전기제거장치는,
    일측에 상기 컨트롤러에 연결하거나, 또는 추가적으로 연결되는 정전기제거장치를 연결하기 위한 컨트롤러용 커넥터와,
    타측에는 추가적으로 정전기제거장치를 연결하기 위한 정전기제거장치용 커넥터를 포함하는 것을 특징으로 하는 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 신호전송 케이블은,
    일측이 상기 상기 정전기제거장치용 커넥터에 연결되고, 타측이 상기 컨트롤러용 커넥터에 연결되는 것을 특징으로 하는 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 복수 개의 정전기제거장치는,
    상기 신호전송 케이블을 통해 복수 개가 연결 가능함으로써, 복수 개의 정전기제거장치를 통해'ㄱ'자, 'ㄴ'자, 'ㄷ'자, 'ㅁ'자 등을 포함하는 다양한 설치 형태를 가질 수 있는 것을 특징으로 하는 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 정전기제거장치는,
    외부에서 공급되는 전력으로 전압을 발생시키는 1개 이상의 전압발생모듈과,
    상기 전압발생모듈 각각에 대응하여 전압을 공급받아 X선을 방사하는 1개 이상의 메인 엑스선관 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 정전기제거장치는,
    상기 메인 엑스선관 모듈 각각에 대응되는 위치에 병렬로 위치하여 대응하는 상기 메인 엑스선관 모듈의 조사영역과 동일한 조사영역을 지니며 상기 전압발생모듈 각각에 대응하여 전압을 공급받아 X선을 방사하는 1개 이상의 보조 엑스선관 모듈과,
    특정 메인 엑스선관 모듈이 비정상 작동 중인 경우, 상기 특정 메인 엑스선관 모듈에 대응하는 보조 엑스선관 모듈로 작동을 전환하는 전환부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 정전기제거장치는,
    상기 엑스선관 개별 모듈의 작동상태가 정상인지 여부를 감지하는 상태파악부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 컨트롤러는,
    복수 개의 정전기제거장치의 상태파악부로부터 감지된 엑스선관 개별 모듈의 이상 발생 신호를 감지하여 표시하는 상태표시부를 포함하는 것을 특징으로 하는 링크 타입의 엑스선관 개별 모듈의 전환이 가능한 정전기제거장치.
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