KR20230081115A - X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치는, 외부에서 공급되는 전력으로 전압을 발생시키는 1개 이상의 전압발생모듈, 상기 전압발생모듈 각각에 대응하여 전압을 공급받아 X선을 방사하는 1개 이상의 메인 X선 모듈, 상기 메인 X선 모듈 각각에 대응되는 위치에 병렬로 위치하여 대응하는 상기 메인 X선 모듈의 조사영역과 동일한 조사영역을 지니며 상기 전압발생모듈 각각에 대응하여 전압을 공급받아 X선을 방사하는 1개 이상의 보조 X선 모듈 및 특정 메인 X선 모듈이 비정상 작동 중인 경우, 상기 특정 메인 X선 모듈에 대응하는 보조 X선 모듈로 작동을 전환하는 전환부를 포함한다.

Description

X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치 {Bar-type ionizer capable of switching individual modules of X-ray tube}

본 발명은 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 바타입 정전기제거장치 사용에 있어서 X선관의 고장이나 오작동으로 인해 LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인이 모두 정지되는 것을 방지할 수 있는 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치에 관한 것이다.

일반적으로 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정에서는 전자기기, LCD, 반도체 웨이퍼에 미세한 먼지가 부착되거나 정전기에 의하여 소자가 훼손되는 등의 문제점을 미연에 방지하기 위하여 정전기제거장치를 설치하는 것이 일반적이다.

정전기제거장치는 크게 코로나 방전식 장치와 엑스선 방사식 장치로 구분할 수 있는데, 최근에는 코로나 방전식 장치가 갖는 고전압 방전에 의한 스퍼터링 현상, 오존가스 발생, 이온 밸런스 조정에 따른 불편 등의 단점을 극복한 엑스선 방사식 장치, 즉 엑스선 이오나이저가 주로 이용되고 있다.

상기 엑스선 이오나이저는 엑스선을 생성하고 이를 방사하여 기체 분자를 이온화함으로써 제전 대상 물체 표면의 정전기를 중화하는 장치로, 주로 연엑스선(soft x-ray)을 조사하는 방식으로 구현된다. 이러한 엑스선 이오나이저는 미세먼지를 발생시키지 않고 공기를 대류시킬 필요도 없기 때문에 더욱 적합한 방식으로 각광받으며 바타입(막대형) 이오나이저와 같이 다양한 방식으로 개발되어 왔다.

그러나 종래기술의 엑스선 이오나이저가 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인에 정전기 제거용으로 이용되는 상태에서는 X선관의 교체 및 수리가 필요할 경우, 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인을 모두 정지시킨 후에나 X선관 모듈의 교체 및 수리가 가능함으로써, X선관의 교체 및 수리에 소요되는 시간만큼 전자기기, LCD, 반도체 등의 제조 공정 시간이 지연될 뿐만 아니라 상기 X선관의 교체 및 수리에 인력이 소요되는 문제점이 있었다.

이러한 문제점을 개선하기 위하여, 본 출원인은 대한민국 등록특허 제10-2065346호에 ‘X선을 이용한 정전기 제거장치’라는 발명을 제안한 바가 있으며, 상기의 특허에서는 위의 문제점인 X선관의 고장이나 오작동에 의해 LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인이 모두 정지되는 문제점이 개선된 바가 있으나, 기존의 바타입 이오나이저를 포함하는 이오나이저 제품을 활용할 수 없는 문제점이 있었다. 또한, 오버랩 시간을 두고 순차적으로 메인 X선 모듈과 서브 X선 모듈을 제어함으로써 미세한 시간적 간격으로 발생할 수 있는 X선이 조사되지 않는 미세한 간격을 제거하고자 하였으나, 메인 X선 모듈 전원이 갑자기 Off 되는 경우, 전원 인가가 불가능하여 오버랩 시간 적용이 불가능한 문제점이 있었다.

대한민국 등록특허 제10-0759587호 (2007.09.11.) 대한민국 등록특허 제10-2065346호 (2020.01.07.)

본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 바타입 정전기제거장치 사용에 있어서 X선관의 고장이나 오작동으로 인해 LCD, 반도체 등의 제조 공정 라인이 모두 정지되는 것을 방지할 수 있는 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 지닌 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치는, 외부에서 공급되는 전력으로 전압을 발생시키는 1개 이상의 전압발생모듈, 상기 전압발생모듈 각각에 대응하여 전압을 공급받아 X선을 방사하는 1개 이상의 메인 X선 모듈, 상기 메인 X선 모듈 각각에 대응되는 위치에 병렬로 위치하여 대응하는 상기 메인 X선 모듈의 조사영역과 동일한 조사영역을 지니며 상기 전압발생모듈 각각에 대응하여 전압을 공급받아 X선을 방사하는 1개 이상의 보조 X선 모듈 및 특정 메인 X선 모듈이 비정상 작동 중인 경우, 상기 특정 메인 X선 모듈에 대응하는 보조 X선 모듈로 작동을 전환하는 전환부를 포함한다.

또한, 상기 메인 X선 모듈 또는 상기 보조 X선 모듈의 작동상태가 정상인지 여부를 감지하는 상태파악부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 상태파악부는 상기 각각의 메인 X선 모듈 및 보조 X선 모듈의 On/Off 상태를 감지하는 작동확인부와, 상기 각각의 메인 X선 모듈 및 보조 X선 모듈의 누적 작동 시간을 이용하여 수명을 확인하는 수명확인부를 포함하여, X선 모듈의 Off 상태를 감지하거나, 누적 작동 시간이 기설정된 수명시간을 초과하는 경우 중 중 적어도 하나 이상을 감지하면 비정상 작동 중으로 판단하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 상태파악부는 상기 각각의 메인 X선 모듈 및 보조 X선 모듈의 조사량이 기설정된 X선 조사량 대비 실제 X선 조사량을 비교하는 조사량확인부를 포함하여, 실제 X선 조사량이 기설정된 X선 조사량보다 작은 경우, 비정상 작동 중으로 판단하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 메인 X선 모듈과 상기 보조 X선 모듈 각각의 위치를 지칭하는 주소값을 설정하는 위치설정부를 더 포함하되, 상기 전환부는, 상기 주소값에 기초하여 상기 특정 메인 X선 모듈에 대응하는 보조 X선 모듈로 작동을 전환하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 전환부는 특정 메인 X선 모듈과, 상기 특정 메인 X선 모듈에 대응하는 보조 X선 모듈을 동시에 작동되도록 제어 가능한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치는 특정 메인 X선 모듈이 비정상 작동 중인 경우(수명이 다하거나 고장 시), 상기 특정 메인 X선 모듈에 대응하는 보조 X선 모듈로 작동을 전환하도록 하여 전자기기 또는 전자부품의 정전기를 끊김 없이 연속적으로 제거할 수 있으며, 이로 인해 해당 전자기기 또는 전자제품의 생산 수율 및 생산 속도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치의 구성을 개략적으로 나타낸 블록구성도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 메인 X선 모듈과 보조 X선모듈을 나타낸 분해사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치를 나타낸 개념도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치를 나타낸 개념도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치를 구성하는 상태파악부를 나타낸 블록구성도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치를 나타낸 개념도이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

아래 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 상세히 설명한다. 도면에 관계없이 동일한 부재번호는 동일한 구성요소를 지칭하며, "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.

비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도있음은 물론이다.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며, 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소 외에 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치의 구성을 개략적으로 나타낸 블록구성도이다.

도 1 내지 도 2를 참조하면, X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치(1000)는, 크게, 몸체(10), 전압발생모듈(100), 메인 X선 모듈(200), 보조 X선 모듈(300) 및 전환부(400)를 포함한다.

먼저, 상기 몸체(10)는 전체적으로 일방향을 따라 긴 바 형상으로 형성되고, 일단에 커넥터가 구비된다.

또한, 상기 몸체(10) 하부면에는 메인 X선 모듈(200) 또는 보조 X선 모듈(300)에 대응되는 형상 및 크기의 개구(11)가 형성되고, 상기 개구(11)와 연통되어 몸체(10) 내부에 수용공간(12)이 형성되되, 상기 개구(11) 및 상기 수용공간(12)은 메인 X선 모듈(200) 또는 보조 X선 모듈(300)의 수량에 대응되도록 형성된다.

다음, 전압발생모듈(100)은 외부에서 공급되는 전력으로 전압을 발생시키는 것으로, 상기 전압발생모듈(100)은 상기 몸체(10) 내에 적어도 1개 이상 구비된다.

상기 각각의 몸체(10) 내 구비되는 상기 전압발생모듈(100)은 상기 커넥터를 통해 외부(컨트롤러(C))와 전기적으로 또는 통신적으로 연결된다.

상기 전압발생모듈(100)에 대하여 좀 더 구체적으로 설명하자면, 상기 전압발생모듈(100)은 외부에서 공급되는 전력으로 전압을 발생시켜 메인 X선 모듈(200)에 제공하도록 구성되며, 상기 전압발생모듈(100)은 상기 메인 X선 모듈(200)의 수량에 대응되게 구비된다.

상기 전압발생모듈(100)은 제전 환경 등 각종 요인에 대응하여 그 용량을 기준으로 다양한 사양으로 구성될 수 있다.

다음, 메인 X선 모듈(200)은 상기 전압발생모듈(100)에 대응하여 쌍을 이루며 상기 전압발생모듈(100)로부터 전압을 공급받아 X선을 방사한다.

상기 메인 X선 모듈(200)은 적어도 한 개 이상 구비되어, 상기 몸체(10)에 탈부착되되, 상기 메인 X선 모듈(200)은 상기 전압발생모듈(100) 개수만큼 구비되는 것이 바람직하다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 메인 X선 모듈과 보조 X선모듈을 나타낸 분해사시도이다.

도 3을 참조하여 상기 메인 X선 모듈(200)에 대해 좀 더 구체적으로 설명하자면, 상기 메인 X선 모듈(200)은 X선 모듈 케이스(210)와 상기 X선 모듈 케이스(210)내에 구비되어 상기 전압발생모듈(100)로부터 공급된 전압으로 X선을 방사하는 X선관(220)을 포함한다.

상기 메인 X선 모듈(200)은 상기 개구(11)를 통해 몸체(10) 내 상기 수용공간(12)으로 인입 및 인출될 수 있으며, 상기 메인 X선 모듈(200)이 몸체(10)의 내측에 인입된 경우, 상기 메인 X선 모듈(200)은 상기 전압발생모듈(100)과 물리적 또는 전기적으로 연결되어 상기 전압발생모듈(100)이 제공하는 전압을 제공받을 수 있다.

즉, 상기 메인 X선 모듈(200)은 상술한 상기 개구(11)를 통해 일종의 카트리지 방식으로 간편히 교체될 수 있는 것으로, 이에 따라 상기 메인 X선 모듈(200)에 구비되는 X선관(220) 또한 상술한 카트리지 방식으로 용이하게 교체될 수 있게 되는 것이다.

다음, 보조 X선 모듈(300)는, 상기 전압발생모듈(100) 대응하여 쌍을 이루며 상기 메인 X선 모듈(200) 각각에 대응되는 위치에 병렬로 위치하여, 대응하는 상기 메인 X선 모듈(200)의 조사영역과 동일한 조사영역을 지니며 상기 전압발생모듈(100)로부터 전압을 전달받아 X선을 방사한다.

상기 보조 X선 모듈(300)은 도 3을 참조하면, X선 모듈 케이스(310)와, 상기 X선 모듈 케이스(320) 내에 구비되어 상기 전압발생모듈(100)로부터 공급된 전압으로 X선을 방사하는 X선관(320)을 포함한다.

상기 보조 X선 모듈(300) 또한, 전술한 상기 메인 X선 모듈(200)과 같은 카트리지 형식으로 몸체(10)와 탈부착 가능하며, 상기 개구(11)를 통해 삽입되어 상기 몸체(10) 내 수용공간(12)에 수용된다.

상기 보조 X선 모듈(300)은 상술한 메인 X선 모듈(200)과 동일한 구성이므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.

상기 메인 X선 모듈(200)과 상기 보조 X선 모듈(300)은, 바람직하게는, 도 1과 같이 상기 메인 X선 모듈(200)은 상부에 위치한 몸체(10)에 일렬로 삽입되고, 상기 보조 X선 모듈(300)은 상기 메인 X선 모듈(200)과 병렬되게 하부에 위치한 몸체(10)에 일렬로 삽입된다.

다시 정리하자면, 상기 메인 X선 모듈(200)과 상기 보조 X선 모듈(300)이 병렬로 한 쌍을 이루어 한 쌍의 메인 X선 모듈(200) 또는 보조 X선 모듈(300)로 전압을 제공하는 전압발생모듈(100)로 구성된다. 즉, 하나의 메인 X선 모듈(200)과 하나의 보조 X선 모듈(300) 및 하나의 전압발생모듈(100)이 한 쌍으로 이루어지는 것(전압발생모듈:X선 모듈 = 1:2 구성)을 의미한다.

다음, 상기 전환부(400)는 상기 몸체(10) 내부에 구비되며, 상기 메인 X선 모듈(200) 또는 상기 보조 X선 모듈(300)의 작동상태가 정상인지 여부를 감지하는 상태파악부(410)를 포함한다.

또한, 상기 전환부(400)는 상기 상태파악부(410)로부터의 감지결과, 특정 메인 X선 모듈(200)이 비정상 작동 중인 것으로 판단되는 경우, 상기 특정 메인 X선 모듈(200)에 대응하는 보조 X선 모듈(300)로 전환하는 역할을 한다.

상기 전환부(400)는 상기 메인 X선 모듈(200) 또는 상기 보조 X선 모듈(300)의 전압 인가를 제어함으로써, 상기 메인 X선 모듈(200)에 대응하는 보조 X선 모듈(300)로 전환이 가능하다.

여기서, 하나의 메인 X선 모듈(200)과 하나의 보조 X선 모듈(300) 및 하나의 전압발생모듈(100)이 한 쌍으로 이루어지므로, 상기 전압발생모듈(100)의 전압 인가 방향을 메인 X선 모듈(200) 또는 보조 X선 모듈(300)로 제어함으로써 모듈 단위로의 작동 전환이 가능하다.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치를 나타낸 개념도이다.

따라서, 도 4를 참조하면, 상기 전환부(400)는 상기 상태파악부(410)로부터의 감지결과, 특정 메인 X선 모듈(200)이 비정상 작동 중인 것으로 판단되는 경우, 상기 전환부(400)는 상기 특정 메인 X선 모듈(200)의 전압 인가를 차단하고, 상기 특정 메인 X선 모듈(200)에 대응하는 보조 X선 모듈(300)로 전압을 인가하여 상기 보조 X선 모듈(300)로 작동을 전환한다. 즉, 비정상 작동 중인 특정 메인 X선 모듈(200)에 대한 전압 인가가 차단되고, 상기 특정 메인 X선 모듈(200)에 대응하는 보조 X선 모듈(210)에 전압이 인가됨으로써, X선관 개별 모듈 단위로 전환한다.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치를 나타낸 개념도이다.

또한, 도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치(1000)는 전환부(400`)가 도 2 또는 도 4와 같이 몸체(10) 내부에 구비되는 것이 아닌, 외부의 컨트롤러(C`) 상에 구비되어 구성될 수 있다.

정리하자면, 도 2 또는 도 4는 전환부(400)가 정전기제거장치 제품 내에 추가로 구비되는 구성을 의미하고, 도 5는 정전기제거장치 제품 외부에 위치하는 컨트롤러(C`)에 전환부(400`)가 포함되는 구성을 의미한다.

한편, 추가적인 예시로, 도 2를 참조하면, 상기 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치(1000)는 복수 개의 메인 X선 모듈(200)과 보조 X선 모듈(300) 각각의 위치를 지칭하는 주소값을 설정하는 위치설정부(420)를 더 포함할 수 있다.

상기 위치설정부(420)는 상기 전환부(400) 내에 구성되는 것이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니다.

따라서, 상기 전환부(400)는 복수 개의 상기 메인 X선 모듈(200) 중 적어도 하나 이상 비정상으로 판단되는 경우, 상기 주소값에 기초하여, 비정상 작동중인 특정 메인 X선 모듈(200)에 대응하는 보조 X선 모듈(300)로 작동을 전환하도록 구성될 수 있다.

이에 대해, 도 2 및 도 4를 참조하여 예를 들어 설명하자면, X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치(1000)는 n개의 복수 개의 메인 X선 모듈(200)과, 상기 n개의 메인 X선 모듈(200)에 대응하는 n개의 보조 X선 모듈(300)로 구성된다(여기서, n은 2보다 큰 양의 정수를 의미하고, 1부터 n개의 구성을 나타낸다).

또한, 상기 전압발생모듈(100)도 상기 n개의 메인 X선 모듈(200)과 대응하도록 n개 마련됨은 물론이다.

먼저, 상기 위치설정부(420)는 제1 메인 X선 모듈(200)의 주소값을 ‘1_1’, 제2 메인 X선 모듈(200)의 주소값을 ‘1_2’ 및 제n 메인 X선 모듈(200)의 주소값을 ‘1_n’과 같이 설정하고, 제1 보조 X선 모듈(300)의 주소값을 ‘2_1’, 제2 보조 X선 모듈(300)의 주소값을 ‘2_2’ 및 제n 보조 X선 모듈(300)의 주소값을 ‘2_n’과 같이 설정한다.

다음, 상기 전환부(400)는 n개의 메인 X선 모듈(200)에 전압을 인가하도록 n개의 전압발생모듈(100)을 제어하여 메인 X선 모듈(200)들을 작동 후, 상기 상태파악부(410)에서 n개의 메인 X선 모듈(200) 중 제2 메인 X선 모듈(200)의 비정상 작동을 감지하게 되면, 상기 전환부(400)는 상기 제2 메인 X선 모듈(200)의 전압 인가를 차단하고, 상기 제2 메인 X선 모듈(200)의 주소값인 ‘1_2’에 대응하는 주소값인 ‘2_2’인 제2 보조 X선 모듈(300)로 전압을 인가하도록 제2 전압발생모듈(100)을 제어하여 작동을 전환하게 된다.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치를 구성하는 상태파악부를 나타낸 블록구성도이다.

한편, 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치(1000)의 상태파악부(410)는 작동확인부(411) 및 수명확인부(412)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 작동확인부(411)는 상기 각각의 메인 X선 모듈(200) 및 보조 X선 모듈(300)의 On/Off 상태를 감지한다.

상기 수명확인부(412)는 상기 각각의 메인 X선 모듈(200) 및 보조 X선 모듈(300)의 누적 작동 시간을 이용하여 수명을 확인한다. 바람직하게는, 상기 수명확인부(412)는 상기 메인 X선 모듈(200)의 잔여수명이 미고갈상태인 안전허용수명 미만인 경우, 해당 메인 X선 모듈(200)의 잔여수명이 불충분한 것으로 판단할 수 있다. 여기서, 상기 안전허용수명은 각 메인 X선 모듈(200)의 기설정된 작동수명의 5% 내지 10%일 수 있다.

예를 들어, 메인 X선 모듈(200)의 기설정된 작동수명이 5,000 시간이고, 안전허용수명은 250시간(예를 들어, 작동수명의 5%)인 경우, 상기 수명확인부(412)는 상기 메인 X선 모듈(200)의 잔여수명이 300시간이면 잔여수명이 충분하다고 판단할 수 있으나, 상기 메인 X선 모듈(200)의 잔여수명이 200시간이면 잔여수명이 불충분하다고 판단할 수 있다.

따라서, 상기 상태파악부(410)는 각각의 상기 메인 X선 모듈(200)의 Off 상태를 감지하거나, 누적 작동 시간이 기설정된 수명시간을 초과하는 경우 중 적어도 하나 이상을 감지하면 비정상 작동 중으로 판단한다.

또한, 상기 상태파악부(410)는 조사량확인부(413)를 더 포함하여 구성될 수 있다. 상기 조사량확인부(413)는 상기 각각의 메인 X선 모듈(200) 및 보조 X선 모듈(300)의 조사량이 기설정된 X선 조사량 대비 실제 X선 조사량을 비교하는 역할을 한다.

따라서, 상기 상태파악부(410)는 각각의 상기 메인 X선 모듈(200)의 실제 X선 조사량이 기설정된 X선 조사량보다 작은 경우 중 적어도 하나 이상을 감지하면 비정상 작동 중으로 판단한다.

이로 인해, 상기 상태파악부(410)는 메인 X선 모듈(200)의 비정상 작동 상황에 대하여 보다 정밀하게 판단할 수 있고, 이로 인해 비정상 작동 중인 메인 X선 모듈(200)에 대해서는 작동을 정지하여 점검을 받을 수 있도록 하고 제조공정 라인에는 보조 X선 모듈(300)을 이용하여 연속적으로 X선을 조사할 수 있다.

상술한 바와 같은 상기 상태파악부(410)에 대해서 메인 X선 모듈(200)을 기준으로 설명하였지만, 반대의 경우인 보조 X선 모듈(300) 기준으로 적용 가능한 것은 물론이다.

또한, 추가 실시예로서, 상기 전환부(400)는 상기 상태파악부(410)로부터의 감지결과가 특정 메인 X선 모듈(200)이 비정상 작동 중인 경우, 상기 전압발생모듈(100)의 전압이 특정 메인 X선 모듈(200) 및 상기 특정 메인 X선 모듈(200)에 대응하는 보조 X선 모듈(300) 모두에 인가되도록 한 뒤, 기설정된 오버랩 시간이 경과하면, 상기 특정 메인 X선 모듈(200)로의 전압 인가를 차단하도록 상기 전압발생모듈(100)을 제어할 수 있다.

특정 메인 X선 모듈(200)의 비정상 작동 중인 경우, 특정 메인 X선 모듈(200)로의 전압 인가가 차단되는 시점과 상기 특정 메인 X선 모듈에 대응하는 보조 X선 모듈(300)로의 전압 인가가 시작되는 시점 사이의 미세한 시간적 간격이 발생할 우려가 있고, 이러한 미세한 시간적 간격이 발생한 상태에서도 정전기 제거 대상인 전자기기 또는 전자부품이 이송 컨베이어를 따라 후방에서 전방으로 연속적으로 이송하므로, 결과적으로 정전기 제거 대상이 일부 구간에서 정전기가 제거되지 않은 상태에서 전방으로 이송되는 사고가 발생할 수 있다.

이렇게 오버랩 시간을 두고 순차 제어함으로써, 메인 X선 모듈(200)의 비정상 작동 중인 경우, 본 발명은 전술한 바와 같은 미세한 시간적 간격(즉, 메인 X선 모듈(200)로의 고전압 인가가 차단되는 시점과 보조 X선 모듈(300)로의 전압 인가가 시작되는 시점 사이의 미세한 시간적 간격) 및 제품의 연속적인 전방 이송으로 인한 정전기 미제거 구간 발생 문제를 원천적으로 해결할 수 있는 장점이 있다.

또한, 상기 전환부(400)는 상기 상태파악부(410)에서 특정 메인 X선 모듈(200)의 Off 상태를 감지하는 순간, 피제전체를 이송하는 수단을 기설정된 일정시간(보조 X선 모듈 전압 인가에 걸리는 시간만큼) 정지 후 다시 재동작하도록 구성될 수 있다. 바람직하게는, 상기 피제전체를 이송하는 수단은 컨베이어 벨트로 구성되어 상기 컨베이어 벨트를 상기 일정시간 정지 후 재동작하도록 구성된다. 이는, 상기 특정 메인 X선 모듈(200)이 Off 상태이기 때문에 상기 특정 메인 X선 모듈(200)로의 전압 인가가 불가능해질 뿐만 아니라, 상기 오버랩 시간이 의미가 없어지기 때문에 상기 특정 메인 X선 모듈(200)에 대응하는 보조 X선 모듈(300)로의 전압 인가 시간을 확보하기 위함이다. 이로써, 미세한 상기 시간적 간격 및 제품의 연속적인 전방 이송으로 인한 정전기 미제거 구간 발생 문제를 더욱 보완하여 원천적으로 해결할 수 있다.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치를 나타낸 개념도이다.

도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치(1000)는 감지 결과를 출력하는 출력부(500)와 외부 장비와 유선 또는 무선 통신하도록 구성되는 통신부(600)를 더 포함하여 구성될 수 있다.

상기 출력부(500)는 사용자가 직관적으로 확인 가능한 디스플레이부, 음향출력부 및 알람부를 포함하며, 상기 출력부(500)를 통하여 상기 상태파악부(410)에서 특정 메인 X선 모듈(200)의 비정상 작동 중을 판단하는 경우에 대한 이상상황을 상기 디스플레이부, 상기 음향출력부 및 상기 알람부를 포함하여 적어도 하나 이상을 통해 사용자에게 알릴 수 있다.

또한, 상기 이상상황 정보를 상기 통신부(600)를 통하여 상기 제조 공정 라인의 담장자의 휴대용 단말기(20)로 전송하는 것이 가능하다.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치(1000)는 메인 X선 모듈(200)에서 보조 X선 모듈(300)로의 작동 전환에 대한 구성에 대하여 기술하였지만, 보조 X선 모듈(300)에서 메인 X선 모듈(200)로 작동 전환이 가능한 것은 물론이고, 전환부(400, 400`) 또는 컨트롤러(C, C`)를 통해 메인 X선 모듈(200)에 대응하는 상기 보조 X선 모듈(300)을 동시 작동이 가능하도록 구성될 수 있음은 물론이다.

이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해되어야 한다.

1000: X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치
10: 몸체
11: 개구
12: 수용공간
100: 전압발생모듈
200: 메인 X선 모듈
300: 보조 X선 모듈
400, 400`: 전환부
410: 상태파악부
411: 작동확인부
412: 수명확인부
413: 조사량확인부
500: 출력부
600: 통신부
C, C`: 컨트롤러

Claims (6)

1. 외부에서 공급되는 전력으로 전압을 발생시키는 1개 이상의 전압발생모듈;
   상기 전압발생모듈 각각에 대응하여 전압을 공급받아 X선을 방사하는 1개 이상의 메인 X선 모듈;
   상기 메인 X선 모듈 각각에 대응되는 위치에 병렬로 위치하여 대응하는 상기 메인 X선 모듈의 조사영역과 동일한 조사영역을 지니며 상기 전압발생모듈 각각에 대응하여 전압을 공급받아 X선을 방사하는 1개 이상의 보조 X선 모듈; 및
   특정 메인 X선 모듈이 비정상 작동 중인 경우, 상기 특정 메인 X선 모듈에 대응하는 보조 X선 모듈로 작동을 전환하는 전환부;를 포함하는 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 메인 X선 모듈 또는 상기 보조 X선 모듈의 작동상태가 정상인지 여부를 감지하는 상태파악부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치.
3. 제2항에 있어서,
   상기 상태파악부는,
   상기 각각의 메인 X선 모듈 및 보조 X선 모듈의 On/Off 상태를 감지하는 작동확인부와,
   상기 각각의 메인 X선 모듈 및 보조 X선 모듈의 누적 작동 시간을 이용하여 수명을 확인하는 수명확인부를 포함하여,
   X선 모듈의 Off 상태를 감지하거나, 누적 작동 시간이 기설정된 수명시간을 초과하는 경우 중 중 적어도 하나 이상을 감지하면 비정상 작동 중으로 판단하는 것을 특징으로 하는 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치.
4. 제2항에 있어서,
   상기 상태파악부는,
   상기 각각의 메인 X선 모듈 및 보조 X선 모듈의 조사량이 기설정된 X선 조사량 대비 실제 X선 조사량을 비교하는 조사량확인부를 포함하여,
   실제 X선 조사량이 기설정된 X선 조사량보다 작은 경우, 비정상 작동 중으로 판단하는 것을 특징으로 하는 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치.
5. 제1항에 있어서,
   상기 메인 X선 모듈과 상기 보조 X선 모듈 각각의 위치를 지칭하는 주소값을 설정하는 위치설정부를 더 포함하되,
   상기 전환부는,
   상기 주소값에 기초하여 상기 특정 메인 X선 모듈에 대응하는 보조 X선 모듈로 작동을 전환하는 것을 특징으로 하는 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치.
6. 제1항에 있어서,
   상기 전환부는,
   특정 메인 X선 모듈과, 상기 특정 메인 X선 모듈에 대응하는 보조 X선 모듈을 동시에 작동되도록 제어 가능한 것을 특징으로 하는 X선관 개별 모듈의 전환이 가능한 바 타입의 정전기제거장치.

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