KR20100078028A - 웨이퍼 정전기 제거 장치 및 그 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 정전기 제거 장치 및 그 방법에 관한 것이다.

본 발명의 웨이퍼 정전기 제거 장치는, 카세트(10)에 적재된 웨이퍼(W)의 정전기를 제거하기 위한 웨이퍼 정전기 제거 장치에 있어서, 카세트 플래이트(20)의 하단에 설치되어 카세트(10)의 무게 변화를 감지하는 센서(100); 일측 끝단에는 통공형으로 형성되는 이온분사구(230)가 구비되어 웨이퍼에 이온화된 가스를 분사하는 이온 분사 유닛(200); 및 상기 센서(100)와 이온 분사 유닛(200) 사이에 전기적으로 연결되어 상기 이온 분사 유닛(200)을 구동하기 위한 전원의 공급을 제어하는 릴레이(300);를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 웨이퍼 정전기 제거 장치 및 그 방법에 의하면, 웨이퍼 표면에 이온을 분사하여 웨이퍼 표면에 존재하는 정전기를 제거할 수 있다.

웨이퍼, 정전기, 제거, 이온

Description

웨이퍼 정전기 제거 장치 및 그 방법{apparatus and method for removing static electricity of wafer}

본 발명은 웨이퍼 정전기 제거 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 웨이퍼 표면에 이온을 분사하여 웨이퍼 표면에 존재하는 정전기를 제거할 수 웨이퍼 정전기 제거 장치 및 그 방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조 공정에 있어서, 카세트에 적재된 웨이퍼를 소정의 위치로 운반할 경우에는 그 웨이퍼가 반드시 일정한 방향으로 정렬(align)되어 있어야 한다.

이는 웨이퍼의 결정이 일정한 방향으로 성장되어 있으며, 각 제조 공정마다 웨이퍼가 결정 성장 방향에 대해 일정하게 정렬된 것으로 간주하고 작업하기 때문이다.

따라서, 반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 정렬하는 작업이 필수적으로 이루어지고 있다.

웨이퍼의 정렬 작업은 웨이퍼의 일측에 형성된 플랫존(plat zone)이나 노치(notch)를 감지하여 일정 방향으로 재배열하는 것이며, 정렬이 완료된 웨이퍼에 고유번호 판독 작업을 수행하여 웨이퍼에 입력된 고유번호 순으로 카세트에 적재하는 것이다.

이러한 작업이 수행되는 분류장치는 분류되기 전의 웨이퍼가 적재되는 입력카세트, 분류된 웨이퍼가 적재되는 출력카세트, 웨이퍼를 정렬시키는 정렬기, 웨이퍼의 고유번호를 인식하는 판독기, 웨이퍼를 각 장치로 이동시키는 로봇을 포함하여 구성된다.

여기서, 웨이퍼를 상기 입력카세트 또는 출력카세트로 이송하는 과정에서 웨이퍼에 정전기가 발생하여 웨이퍼가 로봇암 쪽으로 쏠리게 된다.

이로 인해 웨이퍼가 파손되는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 상술한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 웨이퍼 표면에 이온을 분사하여 웨이퍼 표면에 존재하는 정전기를 제거할 수 웨이퍼 정전기 제거 장치 및 그 방법을 제공함에 그 목적이 있다.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 웨이퍼 정전기 제거 장치는, 카세트에 적재된 웨이퍼의 정전기를 제거하기 위한 웨이퍼 정전기 제거 장치에 있어서, 카세트 플래이트의 하단에 설치되어 카세트의 무게 변화를 감지하는 센서; 일측 끝단에는 통공형으로 형성되는 이온분사구가 구비되어 웨이퍼에 이온화된 가스를 분사하는 이온 분사 유닛; 및 상기 센서와 이온 분사 유닛 사이에 전기적으로 연결되어 상기 이온 분사 유닛을 구동하기 위한 전원의 공급을 제어하는 릴레이(300);를 포함하는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 가스 분사 유닛의 내부에는 모터가 추가로 구비되어 상기 가스분사구를 상하로 이동시키는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 일 측면으로서, 본 발명의 웨이퍼 정전기 제거 방법은 카세트 플레이트 하단에 설치된 센서에 의해 웨이퍼가 카세트에 적재된 것을 감지하 는 단계; 릴레이에 의해 이온 분사 장치에 전원이 공급되는 단계; 이온 분사 유닛에서 웨이퍼의 표면에 이온을 분사하여 웨이퍼의 표면에 존재하는 정전기를 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 웨이퍼 정전기 제거 장치 및 그 방법에 의하면, 웨이퍼 표면에 이온을 분사하여 웨이퍼 표면에 존재하는 정전기를 제거할 수 있다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 웨이퍼 정전기 제거 장치의 개략도이다.

먼저, 도 1에서 도면부호 (10)은 웨이퍼 분류 장치에서 분류된 웨이퍼(W)가 적재되는 카세트를 나타내고, 20은 카세트가 안착되는 카세트 플래이트를 나타낸다.

본 발명의 웨이퍼 정전기 제거 장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 센서(100), 이온 분사 유닛(200), 릴레이(300) 및 전원부(400)를 포함한다.

먼저, 센서(100)는 카세트 플래이트(20)의 하단에 설치되어, 웨이퍼가 카세 트 (10)에 수납되는 것을 감지한다. 예를 들어, 센서(100)가 압력 센서인 경우에는 웨이퍼(W)가 카세트(10)에 수납되는 순간 압력의 변화에 대응되는 신호를 출력하고 제어부(미도시)는 해당 압력 변화에 대한 신호를 릴레이(300)에 전송한다.

릴레이(300)는 제어부의 출력단, 이온 분사 유닛(200) 및 전원부(400)과 전기적으로 연결되어 있다. 릴레이(300)는 제어부의 출력단의 신호를 입력 신호로 하여 이온 분사 유닛(200)과 전원부(400)가 개폐되도록 스위칭한다.

이온 분사 유닛(200)은 본체(210) 및 이온분사구(230)을 포함한다. 본체(210)는 내부에 방전으로 이온을 발생시키는 고전압을 공급하는 고압케이블(미도시)이 구비된다. 그리고, 본체는 외부로 컴프레셔(compressor)와 같은 압축공기 수단이 연결된다. 컴프레셔에 의해 공급된 압축공기는 고압케이블을 흐르는 전류에 의해 발생되는 코로나 방전으로 양이온과 음이온으로 이온화되고, 압축공기의 압력에 위해 이온분사구(230)을 통하여 웨이퍼를 향하여 분사된다.

여기서, 카세트(10)에 적층되는 웨이퍼(W)에 순차로 이온을 분사하기 위해 이온분사구(230)는 본체 내부에 모터(미도시)를 추가로 구비하여 상하로 이동가능하게 하는 것이 바람직하다.

이하 상기와 같은 구조를 가지는 본 발명의 웨이퍼 정전기 제거 장치의 동작 순서에 대하여 설명한다.

도 2는 본 발명의 웨이퍼 정전기 제거 장치의 동작 순서도이다.

가장 먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 카세트 플레이트(20) 하단에 설치된 센서(100)에 의해 웨이퍼가 카세트(10)에 적재된 것을 감지한다.(S1)

센서(100)는 각 웨이퍼(W)가 적층되는 순간마다 카세트플래이트(20)에 전달되는 압력의 변화를 감지하고, 이는 제어부에 의해 소정의 연산 과정을 거쳐 릴레이에 신호를 출력한다.

그 다음, 릴레이(300)에 의해 이온 분사 장치(200)에 전원이 공급된다.(S2)

릴레이(300)는 스위칭 소자로서, 웨이퍼가 적층되는 순간 마다 제어부에 의해 공급되는 신호에 의해 전원부(400)와 이온 분사 유닛(200)을 전기적으로 단락시킴으로써 이온 분사 유닛(200)에 전원을 공급한다.

그리고, 이온 분사 유닛(200)에서 웨이퍼(W)의 표면에 이온을 분사하여 웨이퍼(W)의 표면에 존재하는 정전기를 제거한다.(S3)

이온 분사 유닛(200)은 본체(210)의 내부에 설치된 방전 수단에 의해 이온화된 압축공기를 이온분사구(230)를 통하여 분사한다. 이때 양이온 또는 음이온으로 이온화된 압축공기는 웨이퍼(W) 표면에 존재하는 정전기를 제거한다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정·변경되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.

도 1은 본 발명의 웨이퍼 정전기 제거 장치의 개략도,

도 2는 본 발명의 웨이퍼 정전기 제거 장치의 동작 순서도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

W : 웨이퍼

10 : 카세트

20 : 카세트 플래이트

100 : 센서

200 : 이온 분사 유닛

210 : 본체

230 : 이온 분사구

300 : 릴레이

400 : 전원부

Claims (3)

1. 카세트에 적재된 웨이퍼의 정전기를 제거하기 위한 웨이퍼 정전기 제거 장치에 있어서,

   카세트 플래이트의 하단에 설치되어 카세트의 무게 변화를 감지하는 센서;

   일측 끝단에는 통공형으로 형성되는 이온분사구가 구비되어 웨이퍼에 이온화된 가스를 분사하는 이온 분사 유닛; 및

   상기 센서와 이온 분사 유닛 사이에 전기적으로 연결되어 상기 이온 분사 유닛을 구동하기 위한 전원의 공급을 제어하는 릴레이;

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정전기 제거 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 가스 분사 유닛의 내부에는 모터가 추가로 구비되어 상기 가스분사구를 상하로 이동시키는 것을 웨이퍼 정전기 제거 장치.
3. 카세트 플레이트 하단에 설치된 센서에 의해 웨이퍼가 카세트에 적재된 것을 감지하는 단계;

   릴레이에 의해 이온 분사 장치에 전원이 공급되는 단계; 및

   이온 분사 유닛에서 웨이퍼의 표면에 이온을 분사하여 웨이퍼의 표면에 존재하는 정전기를 제거하는 단계;

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정전기 제거 방법.

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