KR102236374B1 - 정전척, 기판 이송장치 및 이송방법 - Google Patents

정전척, 기판 이송장치 및 이송방법 Download PDF

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Abstract

정전척 및 정전척을 이용한 기판 이송장치 및 이송방법이 소개된다. 본 발명은 기판 이송의 자동화 및 클린 환경이 요구되는 제조공정에 활용될 수 있다. 정전척은 내부에 클램핑 전극이 마련된 유전체 플레이트; 클램핑 전극과 전기적으로 연결된 단자; 및 이 단자와 전원과의 연결이 끊긴 후에도 잔류 전하에 의해 일시적으로 안정적인 클램핑력을 유지할 수 있도록 단자와 클램핑 전극 사이에 마련된 커패시터를 포함한다.

Description

정전척, 기판 이송장치 및 이송방법{Electrostatic Chuck, Apparatus and Method for Carrying Substrates}
본 발명은 정전척, 정전척을 이용한 기판 이송장치 및 이송방법에 관한 것이다.
정전척은 유리, 웨이퍼 등의 피처리 대상 기판을 정전기력을 이용하여 클램핑한다. 정전척은 기판 오염의 가능성이 적고 기판에 물리적인 힘을 가하지 않으면서도 위치 및 온도 제어를 정확히 할 수 있어, 반도체, LED, 디스플레이 제조공정 등에서 광범위하게 사용된다.
상기 정전척은 전극 구조에 따라 모노폴라 타입과 바이폴라 타입으로 구분될 수 있으며, 재료나 제조방법에 따라 세라믹 정전척, 폴리이미드 정전척, 용사코팅 정전척 등으로 구분될 수 있다. 또한 정전척은 클램핑력의 유도 특성에 따라 쿨롱 타입과 존슨-라벡 타입으로 구분될 수 있다.
도 1에는 바이폴라 타입의 정전척 예가 도시되어 있다.
도 1을 참조하면 상기 바이폴라 정전척(20)은 유전체 플레이트(21) 내에 이격되어 전기적으로 서로 분리된 2개의 전극(22a,22b: 22)을 갖는다. 2개의 전극(22)에 전원이 연결되면 정전척(20) 위에 놓인 기판(1)에는 전극(22)과는 반대 극성의 전하가 대전되어 기판(1)이 정전기적으로 클램핑된다. 전원으로는 고전압의 직류 전원이 사용될 수 있다. 어떤 경우 교류 전원이 사용되기도 한다.
상기 정전척(20)은 전극(22)을 갖는 유전체 플레이트(21)와 바디(23)를 구비한다. 유전체 플레이트(21)는 척킹 플레이트로 불리거나 그 자체가 정전척이라고도 볼 수 있다. 바디(23)는 유전체 플레이트(21)를 타 부품에 조립 또는 안착시킬 수 있도록 구성되며, 전극(22)에 전원을 연결하기 위한 급전선, 냉각 채널, 기판의 냉각을 위한 냉매 공급채널 등이 마련될 수 있다.
바이폴라 정전척들은 자체적으로 완성된 회로를 구성할 수 있기 때문에 플라즈마의 유무에 상관없이 기판을 클램핑할 수 있다. 통상 정전척의 클램핑력은 전극의 면적에 비례하므로 바이폴라 정전척의 전극은 패턴의 형태로 형성된다. 하나의 전극을 갖는 모노폴라 정전척은 정전기력의 유도를 위해 기판에 전기적인 접촉을 시키거나 플라즈마가 그러한 접촉을 제공하도록 한다.
도 2에는 리니어 모션 시스템의 일례가 도시되어 있다. 이 시스템은 코일이 고정되고 마그넷이 이동하는 마그넷 무빙 타입이다.
도 2에서 보듯이, 상기 시스템은 전자기 코일(3)이 배열된 레일(R) 상에 마그넷(2)을 갖는 캐리어(20)가 주행하도록 구성된다. 코일(3)에는 전원(미도시)이 연결되며, 코일(3)과 마그넷(2) 간의 상호작용에 의해 캐리어(20)는 전원케이블 없이도 자유롭게 레일(R) 상을 이동할 수 있다. 코일(3)을 따라 센서(4)가 배열되며, 캐리어(20)의 위치나 속도는 매우 정밀하게 제어될 수 있다.
상기 리니어 모션 시스템은 캐리어(20)가 전원케이블 없이 자유롭게 이동할 수 있고 레일(R) 위의 공정환경에 전원케이블이 노출되지 않을 수 있기 때문에, 클린한 공정 환경의 유지가 가능하며 기판의 이송이 필요한 다양한 공정에 활용될 수 있다.
최근 플렉서블 디스플레이 장치로서 유기발광(OLED) 디스플레이 장치가 많은 주목을 받고 있다. 유기발광 디스플레이 장치를 포함하여 디스플레이 장치, 특히 모바일용 디스플레이 장치는 통상 서로 구획된 다수의 셀을 갖는 대면적 기판을 제작한 후 기판에서 개별 셀들(즉 패널들)로 절단하는 공정을 거쳐 제조된다. 기판의 절단에는 레이저빔이 사용된다.
디스플레이나 반도체 공정 등에서 자동화 및 생산성 향상을 위해 기판의 프로세싱은 인라인으로 이루어진다. 이를 위해서는 기판의 연속적인 이송이 필요한데, 하나의 예로서 기판은 벨트 컨베이어를 이용하여 이송될 수 있다. 한국특허 제0788199호에 공지된 기판 절단장치가 그 예이다. 그러나 벨트 컨베이어 방식은 기판 오염이 심각하기 때문에 바람직하지 않다.
본 발명은 위와 같은 종래기술에 대한 인식에 기초한 것으로, 기판을 오염시킬 가능성이 적고 클린 환경이 요구되는 제조공정에 적합한 기판 이송장치 및 방법을 제공함을 목적으로 한다.
본 발명은 또한 자동화된 기판 이송이 가능하도록 하기 위한 정전척, 기판 이송장치 및 이송방법을 제공하고자 한다.
본 발명에서 해결하고자 하는 과제는 반드시 위에 언급된 사항에 국한되지 않으며, 미처 언급되지 않은 또 다른 과제들은 이하 기재되는 사항에 의해서도 이해될 수 있을 수 있을 것이다.
위 목적을 달성하기 위해 본 발명에서는 기판의 이송에 정전척을 이용하는 것을 특징으로 한다.
상기 정전척을 이용하여 기판을 이송하는 경우에 있어 문제는 자유로운 기판 이송 및 클린 공정을 위해서 정전척은 기판 이송 중 전원케이블 없이 자유롭게 이동할 수 있어야 하는 반면, 기판 클램핑을 위해서는 이송 중에 클램핑 전극으로 전원이 공급되어야 한다는 것이다.
위 문제의 해결을 위해 정전척에 배터리를 배치하는 방안이 고려될 수 있다. 그러나 배터리는 충전을 위해 주기적으로 공정라인에서 빼내야 할 뿐만 아니라, 제품마다 충방전 성능이나 수명이 다를 수 있어 충전 필요 시점, 수명 등에 대해 각각의 배터리마다 상시 모니터링할 필요가 있다. 기술적으로는 가능할 수 있으나, 경제성이나 생산 효율성 면에서 한계가 있는 방안이다.
본 발명은 위의 모순 해결방안으로, 공정라인을 따라 이동 또는 프로세싱을 위해 이동하는 정전척을 전기적으로 플로팅 또는 절연시켜 정전척에 잔류하는 전하에 의해 기판을 클램핑하도록 하는 방안을 제안한다. 이동 시간이 긴 경우 이동 중간에 전원을 연결되어 정전척에 전하를 공급할 수 있으며, 기판 처리가 이루어지는 스테이지에서는 안정적인 기판 고정을 위해 정전척에 전원이 공급될 수 있다.
최근 각광을 받고 있는 유기발광(OLED) 디스플레이 장치의 제조에 사용되는 기판은 상당히 얇고 가벼워서 클램핑력이 없는 경우 이송 중 정위치에서 이탈되기 쉽다. 자동화된 인라인 공정을 위해서는 이송장치에 로딩되었던 위치는 이송 중 그리고 기판 프로세싱 시까지 그대로 유지될 필요가 있다.
본 발명의 실시예에 의하면 정전척은 내부에 클램핑 전극이 마련된 유전체 플레이트; 클램핑 전극과 전기적으로 연결된 제1 단자; 및 제1 단자와 전원 간의 전기적인 연결이 끊긴 후 잔류 전하에 의해 일시적으로 안정적인 클램핑력을 유지할 수 있도록 제1 단자와 클램핑 전극 사이에 마련된 커패시터를 포함할 수 있다.
상기 정전척은 베이스를 이루는 바디를 구비하거나 또는 구비하지 않을 수 있다. 제1 단자는 바디에 마련되거나 또는 유전체 플레이트에 마련될 수 있다. 유전체 플레이트는 세라믹, 수지, 필름 등으로 이루어질 수 있다. 예로서 정전척은 폴리이미드 필름 내부에 클램핑 전극이 마련된 것일 수 있다.
상기 정전척은 바이폴라 타입일 수 있다. 그러나 반드시 이에 한정되지 않는다. 정전척은 하나 또는 2개 이상의 클램핑 전극을 구비할 수 있으며, 쿨롱 타입이거나 또는 존슨-라벡 타입일 수 있으며 기타 본 발명의 적용이 가능한 다양한 형태의 정전척일 수 있다.
상기 정전척은 이송체에 의해 이동될 수 있다. 이송체는 레일을 따라 이동하는 캐리어이거나, 기판 프로세싱 장치, 이송모듈 또는 이송로봇 등에서 이송을 위해 기판이 로딩되는 핸드부일 수 있다. 정전척은 제1 위치에서 전원에 연결되어 차징이 된 후 제2 위치로 이동하는 동안 플로팅될 수 있다. 제1 위치 또는 이송체에는 제1 단자와 전원과의 연결 및 단절을 위한 접속장치 또는 접속단자가 마련될 수 있다.
상기 정전척은 일례로서 마그넷 무빙 타입의 캐리어에 얹혀져 이동될 수 있다. 정전척 자체에 리니어 모션을 위한 코일 또는 마그넷이 마련될 수 있을 것이나, 바람직하게는 정전척은 코일 또는 마그넷을 갖는 캐리어에 착탈 가능하게 조립되어 이동된다.
본 발명에 의하면 상기 정전척의 이송 중 정전척 또는 클램핑 전극의 플로팅을 위한 커패시터는 정전척에 하나 이상 마련되거나 또는 정전척 외부에 하나 이상 마련될 수 있다. 필요한 경우 정전척과 정전척 외부에 각각 커패시터가 마련될 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면 기판 이송장치는 유전체 플레이트와 이 유전체 플레이트 내에 마련된 클램핑 전극을 갖는 정전척; 정전척이 안착되며, 전원과의 연결을 위한 제2 단자를 구비하며, 정전척 안착 시 제2 단자와 클램핑 전극 간의 전기적인 연결이 가능하게 구성된 이송체; 및 정전척 또는 이송체 중 적어도 어느 하나의 영역에 마련되며, 제2 단자와 전원과의 연결이 끊긴 후 잔류 전하에 의해 정전척이 일시적으로 안정적인 클램핑력을 유지할 수 있도록 제2 단자와 클램핑 전극 사이에 마련된 커패시터를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면 기판 이송장치는 유전체 플레이트와 이 유전체 플레이트 내부에 마련된 클램핑 전극을 구비하는 정전척; 정전척이 안착되는 이송체; 전원과의 전기적인 연결이 끊긴 후 잔류 전하에 의해 정전척이 일시적으로 안정적인 클램핑력을 유지할 수 있도록 정전척 또는 이송체 중 적어도 어느 하나의 영역에 마련된 커패시터를 포함할 수 있다.
상기 정전척의 클램핑 전극에 전원을 연결하기 위한 단자는 정전척에 직접 마련되거나 또는 이송체에 마련될 수 있다. 클램핑 전극에 전원을 연결하기 위한 단자가 이송체에 마련되는 경우, 이송장치는 정전척을 이송체에 안착시킬 때 정전척의 클램핑 전극이 이송체에 마련된 단자와 접속될 수 있도록 구성될 필요가 있다.
본 발명에 따른 기판 이송방법은 상기된 정전척 및/또는 기판 이송장치를 이용한다. 실시예에 의하면 기판 이송방법은 정전척의 클램핑 전극에 전원을 연결하여 정전척 상에 놓인 기판을 정전기적으로 클램핑 하는 단계; 및 정전척의 클램핑 전극과 전원 간의 연결을 끊고 이송체를 이동시키며, 이송체 이동 중 기판은 정전척에 잔류하는 전하에 의해 클램핑되도록 하는 단계를 포함할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명은 기판 이송에 정전척이 이용되므로 공정 중 기판 오염 가능성이 적고 클린 환경이 요구되는 제조공정에 유용하게 활용될 수 있다.
또한 본 발명에 의하면 자동화된 기판 이송 및 인라인 프로세싱이 가능하다.
도 1은 정전척의 예를 보인 도면,
도 2는 리니어 모션 시스템의 예를 보인 도면,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 정전척의 개념도,
도 4는 본 발명의 또 하나의 실시예에 따른 정전척의 개략도,
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 이송장치의 개략도,
도 6은 본 발명의 또 하나의 실시예에 따른 기판 이송장치의 개략도,
도 7은 본 발명의 또 하나의 실시예에 따른 기판 이송장치의 개략도이다.
이하 본 발명의 여러 특징적인 측면을 이해할 수 있도록 실시예를 들어 보다 상세히 살펴보기로 한다. 첨부된 도면들에서 동일 또는 동등한 구성요소들 또는 부품들은 설명의 편의를 위해 가능한 한 동일한 참조부호로 표시될 수 있고, 도면들은 본 발명의 특징에 대한 명확한 이해와 설명을 위해 과장되게 그리고 개략적으로 도시될 수 있다.
본 발명에 대한 설명에서, 별도 한정이 없는 한, 제2 요소가 제1 요소 '상'에 배치되거나 두 요소가 서로 '연결'된다고 하는 것은, 두 요소가 서로 직접 접촉하는 것은 물론 제1 및 제2 요소의 요소 사이에 제3의 요소가 개재된 것을 허용하는 의미로 이해될 필요가 있다. 전후, 좌우 또는 상하 등의 방향 표현은 설명의 편의를 위한 것이라는 점도 이해될 필요가 있다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 정전척에 대한 개념적인 설명을 위한 도면이다.
도 3을 참조하면 상기 정전척(20)은 바이폴라 타입으로서 유전체 플레이트(21) 내에 이격된 2개의 클램핑 전극(22a,22b: 22)이 마련된 구조를 갖는다. 클램핑 전극(22)을 갖는 유전체 플레이트(21)는 다양한 소재를 이용하여 다양한 형태로 마련될 수 있다. 예로서 유전체 플레이트(21)는 폴리이미드(PI) 필름, 수지 성형물, 세라믹이거나 또는 세라믹 용사 코팅에 의해 마련될 수 있다.
상기 정전척(20)은 핸들링이나 타부재와의 조립 등을 위해 베이스 또는 바디(미도시)를 구비할 수 있고, 이외에 정전척에 요구되는 기본적인 구성요소나 필요에 따른 다양한 구성요소가 선택적으로 구비될 수 있다. 이하의 실시예에서도 마찬가지이다.
상기 2개의 클램핑 전극(22)은 유전체 플레이트(21) 내에서 서로 전기적으로 단절되고, 이 전극(22)에 전원에 연결되어 정전기적인 클램핑력이 발생한다. 제1 전극(22a)에 전원의 마이너스 전극이 연결되고 제2 전극(22b)에 플러스 전극이 연결될 수 있다.
상기 정전척(20)은 클램핑 전극(22)이 전원과의 연결이 끊겼을 때 클램핑 전극(22)이 플로팅되어 외부와는 절연될 수 있도록 구성되며, 전원과의 연결이 끊겼을 때에도 잔류 전하에 의해 클램핑력을 유지할 수 있도록 하기 위한 커패시터(C1)를 구비할 수 있다. 도 3에서 보듯이 커패시터(C1)의 일단은 제1 전극(22a)과 마이너스 전극의 연결라인에 연결되며, 타단은 제2 전극(22b)과 플러스 전극 간의 연결라인에 연결될 수 있다. 클램핑 전극(22)과 전원 간의 연결이 끊어질 경우(S1,S2가 off), 커패시터(C1)에 인해 클램핑 전극(22)에 의해 축적되었던 전하는 한꺼번에 소산되지 않고 한정적인 시간 동안이지만 비교적 안정적으로 유지 또는 잔류될 수 있다. 이 잔류 전하에 의해 정전척(20)은 클램핑력을 유지할 수 있다.
도 4는 본 발명의 또 하나의 실시예에 따른 정전척을 보인 것이다.
도 4를 참조하면 상기 정전척(20)은 내부에 2개의 클램핑 전극(22a,22b:22)이 마련된 유전체 플레이트(21)와 클램핑 전극(22a,22b)과 전기적으로 연결된 제1 단자(24a,24b: 24)를 구비한다. 제1 단자(24a,24b)를 통해 전원으로부터 클램핑 전극(22a,22b)에 전원이 공급된다.
상기 제1 단자(24a,24b)와 클램핑 전극(22a,22b) 사이에는, 제1 단자(24a,24b)와 전원과의 연결이 끊긴 후에도 잔류 전하에 의해 일시적으로 안정적인 클램핑력을 유지할 수 있도록 커패시터(C1)가 마련된다. 제1 단자(24a,24b)에 전원이 연결되어 있는 동안 커패시터(C1)에도 전하가 축적된다. 제1 단자(24a,24b)와 전원 간의 연결이 끊긴 경우, 커패시터(C1)에 축적된 전하에 의해 클램핑 전극(22a,22b)에 축적되었던 잔류 전하는 한꺼번에 소산되지 않을 수 있다.
상기 커패시터(C1)는 정전척(20)에 마련되거나 또는 정전척(20) 외부에 마련될 수 있다. 필요한 경우 정전척(20) 및 정전척(20) 외부에 각각 마련될 수도 있을 것이다.
상기 정전척(20)은 이송체에 안착되어 이동한다. 이송체는 리니어 모션을 위한 코일 또는 마그넷을 갖는 캐리어일 수 있으며, 프로세싱 장치, 이송모듈 또는 이송로봇 등에서 이송을 위해 기판이 로딩되는 핸드부일 수 있다. 하나의 예로서 이송모듈은 복수의 핸드부를 가질 수 있고, 핸드부는 이송모듈에 마련된 회전축을 중심으로 회전방향 이동되도록 구성될 수 있다. 제1 위치에서 기판이 로딩되며, 제2 위치에서 기판은 프로세싱 장치로 이송되거나 제2 위치에서 프로세싱될 수 있다. 제1 위치에서 정전척(20)의 클램핑 전극(22)에 전원이 연결되고, 전원과의 연결이 끊긴 후 이송체가 이동한다. 이송체가 제1 위치에서 제2 위치로 이동하는 중 기판은 플로팅된 정전척(20)에 의해 정전기적으로 클램핑된다.
도 5에는 실시예에 따른 기판 이송장치가 도시되어 있다.
도 5를 참조하면 상기 기판 이송장치는 정전척(20)과 정전척(20)이 안착된 이송체를 구비한다. 이송체는 정전척(20)을 이송하기 위한 요소로서, 바람직하게는 정전척(20)을 조립 및 분리 가능하게 구성된다. 이송체는 타부재에 기구적으로 연결되어 이동하거나 타부재와의 비접촉적인 상호작용에 의해 이동될 수 있다. 예로서 이송체는 이송체는 이송로봇이나 공정장비의 한 구성부이거나, 또는 마그넷 무빙 타입의 캐리어(10)일 수 있다.
상기 정전척(20)은 내부에 2개의 클램핑 전극(22a,22b: 22)이 마련된 유전체 플레이트(21) 및 클램핑 전극(22)과 전기적으로 연결된 제1 단자(24a,24b: 24)를 구비한다. 정전척(20)은 분리 가능하게 캐리어(10)에 조립된다. 정전척(20)에 손상이 있는 경우 캐리어(10)에서 분리하여 수리 또는 교체될 수 있다.
상기 캐리어(10)는 전원과의 연결을 위한 제2 단자(12a,12b: 12) 및 정전척(20)의 제1 단자(24)와 연결하기 위한 제3 단자(11a,11b: 11)를 구비한다. 제2 단자(12)는 제1 및 제3 단자(24,11)를 통해 클램핑 전극(22)과 연결된다.
상기 제2 단자(12)와 제3 단자(24,11) 사이에는 제2 단자(12)와 전원과의 연결이 끊긴 후에도 잔류 전하에 의해 일시적으로 안정적인 클램핑력을 유지할 수 있도록 하기 위한 커패시터(C2)가 마련된다.
한편 다른 예로서 전원과의 연결을 위한 단자는 캐리어(10)가 아닌 정전척(20)에 마련될 수도 있다. 또한 커패시터(C2)는 정전척(20)에 마련되거나, 또는 이송체와 정전척(20) 모두에 마련될 수 있다. 예로서 클램핑 전극(22a,22b)과 제1 단자(24a,24b)의 사이에 커패시터가 마련될 수 있다.
도 6에는 본 발명의 또 하나의 실시예에 따른 기판 이송장치가 도시되어 있다.
도 6을 참조하면 상기 기판 이송장치는 정전척(미도시)이 안착된 이송체(30), 정전척에 전원을 연결하기 위한 접속장치(40)를 포함할 수 있다.
상기 이송체(30) 또는 정전척에는 전원의 연결을 위한 접속단자(31)가 마련되며, 접속단자(31)는 정전척의 클램핑 전극과 전기적으로 연결된다. 정전척과 이송체(30) 적어도 어느 하나에는 기판 클램핑용 잔류 전하의 유지를 위한 커패시터(C3)가 마련된다.
상기 접속장치(40)는 접속단자(31)에 연결하기 위한 접속전극(41)을 구비하며, 나아가 이 접속전극(41)이 접속단자(31)와 선택적으로 연결 또는 단절될 수 있도록 하기 위한 액츄에이터(미도시)와 같은 수단을 구비할 수 있다.
상기 접속장치(40)는 전원(50)과 연결되며, 접속장치(40)와 전원(50) 사이에는 스위치(S3,S4)가 마련된다. 이 스위치(S3,S4)는 접속장치(40)에 마련될 수도 있을 것이다.
상기 정전척에 전원(50)을 연결하는 경우, 먼저 스위치(S3,S4)가 개방된 상태에서 접속전극(41)이 접속단자(31)와 연결되며 그 후 스위치(S3,S4)가 닫혀 정전척으로 전력이 공급된다. 정전척과 전원 간의 연결을 차단하는 경우, 먼저 스위치(S3,S4)가 개방되며 그 후 접속전극(41)과 접속단자(31) 간의 연결이 해제된다. 이에 의하면 정전척에 전력을 공급하거나 차단하는 과정에 장치의 손상을 야기할 수 있는 아크 발생이 방지된다.
도 7에는 본 발명의 또 하나의 실시예에 따른 기판 이송장치가 도시되어 있다.
도 7을 참조하면 상기 기판 이송장치는 전원(50) 대신 방전소자(60)가 접속장치(40)에 연결되는 것을 제외하면 도 6에 따른 이송장치와 동일 유사한 구성을 가질 수 있다. 방전소자(60)는 정전척에 잔류하는 전하를 원활히 방전시키기 위한 것으로 저항 등 다양한 요소들이 사용될 수 있다.
상기 접속장치(40)와 방전소자(60) 사이 또는 접속장치(40)에 스위치(S5,S6)가 마련될 수 있다. 정전척에 잔류하는 저하를 방전시키고자 하는 경우, 먼저 스위치(S5,S6)가 개방된 상태에서 접속전극(41)이 접속단자(31)에 기구적으로 연결되며 그 후 스위치(S5,S6) 닫혀 정전척 내 잔류 전하의 방전이 이루어진다. 이에 의하면 잔류 전하의 방전 과정에 아크의 발생 등으로 인해 장치의 손상이 방지된다.
본 발명의 실시예에 의하면 기판 이송은 상기된 정전척이나 기판 이송장치를 이용하여 수행될 수 있다.
실시예에 의한 기판 이송방법은 제1 위치에서 정전척(20)의 클램핑 전극(22)에 전원(50)을 연결하여 정전척(20) 상에 놓인 기판을 정전기적으로 클램핑 하는 단계; 및 정전척(20)의 클램핑 전극(22)과 전원(50) 간의 연결을 끊고 이송체(30)를 제2 위치로 이동시키는 단계를 포함할 수 있다. 제1 위치에서 제2 위치로 이송체(30)가 이동하는 중 기판은 정전척(20)에 잔류하는 전하에 의해 클램핑된다.
상기 이송체(30)가 제2 위치로 이동해 오면 정전척(20)에 놓인 기판에 대한 프로세싱이 수행될 수 있다. 안정적인 기판 프로세싱을 위해 제2 위치에서 정전척(20)은 전원에 연결될 수 있다. 셀 커팅 등의 프로세싱 중에 기판은 정위치될 필요가 있으므로 기판은 정전기적인 클램핑을 포함하여 하나 이상의 방법으로 프로세싱 위치에서 고정될 수 있다.
상기 기판의 프로세싱이 완료된 이후 정전척(20)으로부터 기판을 언로딩하는 경우, 정전척(20)에 잔류하는 전하를 완전히 방전시킬 필요가 있을 수 있으며, 이를 위해 접속단자(31)에 방전소자(60)가 연결된다. 접속단자(31)에 방전소자(60)가 연결 시, 먼저 스위치(S5,S6)가 개방된 상태에서 접속전극(41)이 접속단자(31)에 기구적으로 연결되며 그 후 스위치(S5,S6)가 닫혀 방전이 이루어진다.
이상 본 발명의 특정 실시예에 관하여 도시하고 설명하였지만, 하기의 특허청구범위에 기재된 발명의 기술적 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명은 다양하게 수정 또는 변형될 수 있다는 것이 이해될 필요가 있다.
10: 캐리어 20: 정전척
21: 유전체 플레이트 22a,22b: 클램핑 전극
C1~C3: 커패시터 30: 이송체
40: 접속장치 50: 전원

Claims (8)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 내부에 클램핑 전극이 마련된 유전체 플레이트, 상기 클램핑 전극과 전기적으로 연결된 제1 단자 및 상기 제1 단자와 전원 간의 전기적인 연결이 끊긴 후 잔류 전하에 의해 일시적으로 안정적인 클램핑력을 유지할 수 있도록 제1 단자와 클램핑 전극 사이에 마련된 커패시터를 포함하는 정전척;
    상기 정전척이 안착되며, 전원과의 연결을 위한 제2 단자를 구비하며, 정전척 안착 시 제2 단자와 클램핑 전극 간의 전기적인 연결이 가능하게 구성된 이송체; 및
    상기 정전척 또는 이송체 중 적어도 어느 하나의 영역에 마련되며, 제2 단자와 전원과의 연결이 끊긴 후 잔류 전하에 의해 정전척이 일시적으로 안정적인 클램핑력을 유지할 수 있도록 제2 단자와 클램핑 전극 사이에 마련된 커패시터를 포함하고,
    기판 이송장치는,
    상기 제2 단자에 연결 가능한 접속전극;
    상기 접속전극과 전원 사이에 마련된 제1 스위치;
    상기 접속전극과 연결 가능한 방전소자; 및
    상기 접속전극과 방전소자 사이에 마련된 제2 스위치;를 더 포함하고,
    기판 이송장치는,
    제1 위치에 기판이 로딩되는 경우, 제1 위치에서 정전척의 클램핑 전극에 전원이 연결되어, 정전척 상에 놓인 기판이 정전기적으로 클램핑되고,
    상기 정전척의 클램핑 전극과 전원 간의 연결이 끊어지면, 이송체가 제1 위치에서 제2 위치로 이동되도록 하며,
    상기 제1 위치에서 제2 위치로 이동되는 기판은, 이동 중 정전척에 잔류하는 전하에 의해 클램핑 되고,
    기판 이송장치는,
    기판이 제2 위치에 이동한 이후, 제2 위치에서 정전척에 놓인 기판이 프로세싱되는 경우, 프로세싱되는 기판이 제2 위치에 고정되도록 하고,
    기판의 프로세싱이 완료되면, 정전척에 잔류하는 전하가 완전히 방전되도록, 접속단자가 방전소자에 연결되도록 하고,
    접속단자가 방전소자에 연결 시, 제2 스위치가 개방된 상태에서 접속전극이 접속단자에 기구적으로 연결되며, 이후 제2 스위치가 닫혀 방전이 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 내부에 클램핑 전극이 마련된 유전체 플레이트, 상기 클램핑 전극과 전기적으로 연결된 제1 단자 및 상기 제1 단자와 전원 간의 전기적인 연결이 끊긴 후 잔류 전하에 의해 일시적으로 안정적인 클램핑력을 유지할 수 있도록 제1 단자와 클램핑 전극 사이에 마련된 커패시터를 포함하는 정전척;
    상기 정전척이 안착되며, 전원과의 연결을 위한 제2 단자를 구비하며, 정전척 안착 시 제2 단자와 클램핑 전극 간의 전기적인 연결이 가능하게 구성된 이송체; 및
    상기 정전척 또는 이송체 중 적어도 어느 하나의 영역에 마련되며, 제2 단자와 전원과의 연결이 끊긴 후 잔류 전하에 의해 정전척이 일시적으로 안정적인 클램핑력을 유지할 수 있도록 제2 단자와 클램핑 전극 사이에 마련된 커패시터를 포함하고,
    상기 제2 단자에 연결 가능한 접속전극;
    상기 접속전극과 전원 사이에 마련된 제1 스위치;
    상기 접속전극과 연결 가능한 방전소자; 및
    상기 접속전극과 방전소자 사이에 마련된 제2 스위치;를 더 포함하는 기판 이송장치를 이용한 기판 이송방법으로서,
    상기 정전척의 클램핑 전극에 전원을 연결하여 정전척 상에 놓인 기판을 정전기적으로 클램핑 하는 단계; 및
    상기 정전척의 클램핑 전극과 전원 간의 연결을 끊고 이송체를 이동시키는 단계를 포함하고,
    클램핑 단계는,
    제1 위치에 기판이 로딩되는 경우, 제1 위치에서 정전척의 클램핑 전극에 전원이 연결되어, 정전척 상에 놓인 기판이 정전기적으로 클램핑되도록 하고,
    이동 단계는,
    상기 정전척의 클램핑 전극과 전원 간의 연결이 끊어지면, 이송체가 제1 위치에서 제2 위치로 이동되도록 하며,
    상기 제1 위치에서 제2 위치로 이동되는 기판은,
    이동 중 정전척에 잔류하는 전하에 의해 클램핑 되고,
    기판 이송방법은,
    기판이 제2 위치에 이동한 이후, 제2 위치에서 정전척에 놓인 기판이 프로세싱되는 경우, 프로세싱되는 기판이 제2 위치에 고정되도록 하는 단계;
    기판의 프로세싱이 완료되면, 정전척에 잔류하는 전하가 완전히 방전되도록, 접속단자가 방전소자에 연결되도록 하는 단계; 및
    접속 단자가 방전소자에 연결 시, 제2 스위치가 개방된 상태에서 접속전극이 접속단자에 기구적으로 연결되며, 이후 제2 스위치가 닫혀 방전이 이루어지도록 하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송방법.
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