KR101877339B1 - 기판처리시스템의 기판캐리어 및 그를 가지는 기판처리시스템 - Google Patents

기판처리시스템의 기판캐리어 및 그를 가지는 기판처리시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판처리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 기판캐리어에 안착시킨 후 기판캐리어를 이동시키면서 기판처리를 수행하는 기판처리시스템에 관한 것이다.
본 발명은, 안착된 기판을 정전기력에 의하여 고정하는 정전척이 설치되며 안착된 기판을 이송하는 기판처리시스템의 기판캐리어로서, 기판처리시스템에 설치된 이송경로를 따라서 이동되는 캐리어본체와; 상기 캐리어본체에 설치되어 상기 이송경로에 설치된 접지연결부에 전기적으로 연결되어 접지되는 접지부와; 상기 캐리어본체의 상면을 이루도록 상기 캐리어본체에 설치되며 전극이 상기 접지부와 전기적으로 연결되는 정전척과; 상기 캐리어본체에 결합되어 상기 정전척에 DC전원을 공급하는 전원공급부와; 상기 정전척에 대한 상기 전원공급부의 전원공급이 선택적으로 이루어지도록 상기 캐리어본체에 설치된 하나 이상의 스위치부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 기판캐리어를 개시한다.

Description

기판처리시스템의 기판캐리어 및 그를 가지는 기판처리시스템 {Substrate carrier and substrate processing system having the same}
본 발명은 기판처리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 기판캐리어에 안착시킨 후 기판캐리어를 이동시키면서 기판처리를 수행하는 기판처리시스템에 관한 것이다.
기판처리시스템, 기판이 로딩되는 로딩모듈과, 기판처리를 수행하는 기판처리모듈 및 기판처리된 기판을 언로딩하는 언로딩모듈을 포함하여 기판의 기판처리면에 식각, 증착 등 기판처리를 수행한다.
그리고 종래의 기판처리시스템은, 일예로서 로봇 등을 이용하여 기판처리모듈의 챔버 내에 설치된 기판지지대에 기판을 안착시킨 후 기판처리를 수행하는 것이 일반적이다.
또한 종래의 기판처리시스템은 다른 예로서 기판처리의 종류에 따라서 기판을 안정적으로 지지하는 기판캐리어에 안착시켜 기판을 이송하도록 구성하고 기판캐리어를 기판처리모듈의 챔버 내로 이동시킨 후 기판처리를 수행하는 기판처리시스템이 있다.
그런데 기판을 기판캐리어에 안착시켜 이송하면서 기판처리를 수행하는 기판처리시스템의 경우 기판캐리어 상에서 기판이 고정되지 않는 경우 이송과정에서 기판캐리어 상의 기판위치가 변경되어 정밀한 기판처리가 불가능해지는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 정전기력에 의하여 기판을 고정하는 정전척이 설치된 기판처리시스템의 기판캐리어 및 그를 가지는 기판처리시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 정전척이 설치된 기판캐리어에서 기판이 언로딩된 후 정전척 내에 잔류하는 전하를 외부로 방전시켜 정전척에 전하가 잔류할 경우 잔류된 전하에 의하여 새로 안착되는 TFT미세회로와 같은 기판표면에 형성된 패턴이 파손되는 것을 방지할 수 있는 기판처리시스템의 기판캐리어 및 그를 가지는 기판처리시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 안착된 기판을 정전기력에 의하여 고정하는 정전척이 설치되며 안착된 기판을 이송하는 기판처리시스템의 기판캐리어로서, 기판처리시스템에 설치된 이송경로를 따라서 이동되는 캐리어본체와; 상기 캐리어본체에 설치되어 상기 이송경로에 설치된 접지연결부에 전기적으로 연결되어 접지되는 접지부와; 상기 캐리어본체의 상면을 이루도록 상기 캐리어본체에 설치되며 전극이 상기 접지부와 전기적으로 연결되는 정전척과; 상기 캐리어본체에 결합되어 상기 정전척에 DC전원을 공급하는 전원공급부와; 상기 정전척에 대한 상기 전원공급부의 전원공급이 선택적으로 이루어지도록 상기 캐리어본체에 설치된 하나 이상의 스위치부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 기판캐리어를 개시한다.
상기 접지부와 상기 정전척의 전극 사이에는, 저항소자가 추가로 설치될 수 있다.
상기 스위치부는, 상기 정전척의 전극과 연결되고 상기 전원공급부 및 상기 접지부 중 어느 하나를 선택적으로 전기적으로 연결하도록 작동될 수 있다.
상기 접지부는, 상기 캐리어본체에 설치되며 상기 정전척의 전극과 전기적으로 연결되는 하나 이상의 전도성부재를 포함하며, 상기 접지연결부에 의하여 접촉에 의하여 지지됨으로써 접지될 수 있다.
상기 전도성부재 또는 상기 접지연결부 중 어느 하나는 롤러로 구성될 수 있다.
상기 스위치부는, 상기 기판처리시스템에 설치된 구동부재에 의하여 작동되도록 상기 캐리어본체에 설치될 수 있다.
상기 정전척은, 단일극성의 전극이 설치되거나, +전극 및 -전극이 쌍을 이루어 설치될 수 있다.
본 발명은 또한 상기 기판캐리어에 적재된 하나 이상의 기판에 대하여 기판처리를 수행하는 하나 이상의 기판처리모듈과; 상기 기판처리모듈의 전방에 설치되어 하나 이상의 기판이 상기 기판캐리어에 적재된 상태로 상기 기판처리모듈에 전달하는 로딩모듈과; 상기 기판처리모듈의 후방에 설치되어 기판처리를 마친 기판이 상기 기판캐리어에 적재된 상태로 전달받는 언로딩모듈을 포함하며, 상기 로딩모듈, 상기 기판처리모듈 및 상기 언로딩모듈을 따라서 상기 기판캐리어가 이동되는 이송경로가 설치되며, 상기 이송경로 중 적어도 일부에는, 상기 기판캐리어의 접지부와 전기적으로 연결되는 접지연결부가 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템을 개시한다.
상기 로딩모듈은, 상기 기판캐리어에 안착되어 기판이 로딩되며, 상기 언로딩모듈은, 상기 기판캐리어로부터 기판이 언로딩되며, 상기 언로딩모듈로부터 기판이 언로딩된 상기 기판캐리어를 상기 로딩모듈로 전달하도록 상기 이송경로가 연장되어 설치되는 기판전달모듈을 추가로 포함하며, 상기 접지연결부는 상기 이송경로 중 상기 언로딩모듈로부터 상기 로딩모듈까지의 경로 중 적어도 일부에 설치될 수 있다.
상기 정전척은, 단일극성의 전극이 설치되거나, +전극 및 -전극이 쌍을 이루어 설치될 수 있다.
상기 로딩모듈에서 상기 정전척이 상기 전원공급부와 전기적으로 연결되도록 상기 스위치부가 온 상태가 되며, 상기 언로딩모듈에서 상기 정전척이 상기 전원공급부와 전기적으로 단락되도록 상기 스위치부가 오프 상태가 될 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리시스템의 기판캐리어 및 그를 가지는 기판처리시스템은, 정전기력에 의하여 기판을 고정하는 정전척을 추가로 구비함으로써 간단한 구성에 의하여 기판을 안정적으로 고정한 상태에서 기판을 이송할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 기판처리시스템의 기판캐리어 및 그를 가지는 기판처리시스템은, 정전척이 설치된 기판캐리어에서 기판이 언로딩된 후 정전척 내에 잔류하는 전하를 외부로 방전시켜 정전척에 전하가 잔류할 경우 잔류된 전하에 의하여 새로 안착되는 TFT미세회로와 같은 기판표면에 형성된 패턴을 파손하는 것을 방지할 수 있는 이점이 있다.
구체적으로, 기판캐리어의 정전척은 기판고정을 위하여 일정한 DC전압이 인가된 상태에 있다가 기판이 언로딩된 경우 DC전압이 개방되는데 이때 정전척의 전극에는 일정한 전하가 잔류하게 된다.
그런데 기판이 언로딩된 기판캐리어는 새로운 기판이 로딩되는데 이때 정전척의 전극에 전하가 잔류하는 경우 잔류하는 전하에 의하여 TFT미세회로와 같은 기판표면에 형성된 패턴을 파손하게 되는 문제가 있다.
이에 본 발명에 본 발명에 따른 기판처리시스템의 기판캐리어 및 그를 가지는 기판처리시스템은, 정전척이 설치된 기판캐리어에서 기판이 언로딩된 후 정전척의 전극을 접지되도록 함으로써 정전척 내에 잔류하는 전하를 외부로 방전시켜 기판표면에 형성된 패턴을 파손하는 것을 방지하게 되는 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 기판처리시스템의 구성을 보여주는 개념도이다.
도 2는 본 발명에 따른 기판캐리어를 보여주는 측면도이다.
도 3은 도 2의 기판캐리어에 설치된 정전척 및 전원공급부의 등가회로의 개념을 보여주는 등가회로도이다.
이하 본 발명에 따른 기판처리시스템의 기판캐리어 및 그를 가지는 기판처리시스템에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저 본 발명에 따른 기판처리시스템은, 기판(1)이 안착된 기판캐리어(100)에 의하여 기판(1)이 이송되는 것을 특징으로 하며 기판처리의 종류에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
본 발명에 따른 기판처리시스템은, 일예로서, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판캐리어(100)에 적재된 하나 이상의 기판(1)에 대하여 기판처리를 수행하는 하나 이상의 기판처리모듈(41, 42, 43)과; 기판처리모듈(41, 42, 43)의 전방에 설치되어 하나 이상의 기판(1)이 기판캐리어(100)에 적재된 상태로 기판캐리어(100)를 기판처리모듈(41)로 전달하는 로딩모듈(21)과; 기판처리모듈(43)의 후방에 설치되어 기판처리를 마친 기판(1)이 기판캐리어(100)에 적재된 상태로 기판캐리어(100)를 전달받는 언로딩모듈(22)을 포함한다.
여기서 기판처리의 대상인 기판(1)은 반도체 기판, LCD 패널용 유리기판, AMOLED 패널용 기판, 태양전지용 기판 등 후술하는 기판캐리어(100)에 안착되어 이송될 수 있는 기판이면 어떠한 기판도 가능하다.
상기 기판처리모듈(41, 42, 43)은, 기판캐리어(100)에 안착된 기판(1)을 증착, 식각 등 기판처리를 수행하는 모듈로서, 기판처리의 종류에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
상기 기판처리모듈(41, 42, 43)의 일예로서, 밀폐된 처리공간이 형성되며 기판캐리어(100)의 도입 또는 배출을 위한 하나 이상의 게이트가 형성된 공정챔버(10)를 포함하여 구성될 수 있다.
그리고 상기 기판처리모듈(41, 42, 43)은, 기판처리의 종류에 따라서 다양한 장치들이 설치될 수 있으며, 예로서, 기판(1)이 하측을 향하도록 기판캐리어(100)가 반전된 상태에서 기판표면에 증착물질이 증착되도록 증착물질이 증발하는 하나 이상의 증착원이 설치될 수 있다.
한편 상기 기판처리모듈(41, 42, 43)은, 기판처리의 종류에 따라서 하나 이상이 설치될 수 있으며 예로서, 도 1에 도시된 바와 같이, 세 개의 상기 기판처리모듈(41, 42, 43)들이 순차적으로 설치될 수 있다.
또한 상기 기판처리모듈(41, 42, 43)은, 기판(1)의 기판처리면이 상측으로 향하거나, 하측으로 향하거나 하향경사를 이루는 등 다양한 상태로 기판처리의 수행이 가능하다.
여기서 상기 기판처리모듈(41, 42, 43)이 하측으로 향하거나 하향경사를 이루는 등 기판처리면의 방향이 변경되는 경우 이를 위하여 기판(1)의 임시저장, 기판(1)의 로딩, 기판(1)의 기판캐리어(100) 상의 기판얼라인, 기판캐리어(100)의 반전 등 기판처리모듈(41, 42, 43)에 기판(1)이 도입되어 기판처리 전에 필요한 작업들이 이루어지는 구성으로서 다양한 모듈(미도시)들이 설치될 수 있다.
상기 로딩모듈(21)은, 기판처리모듈(41, 42, 43)의 전방에 설치되어 하나 이상의 기판(1)이 기판캐리어(100)에 적재된 상태로 기판캐리어(100)를 기판처리모듈(41)로 전달하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 로딩모듈(21)은, 하나 이상의 기판(1)이 기판캐리어(100)에 적재된 상태로 외부 또는 별도의 모듈(미도시)로부터 전달받을 수 있으며, 기판(1)이 없는 기판캐리어(100) 상에 기판(1)이 로딩될 수 있다.
상기 언로딩모듈(22)은, 기판처리모듈(43)의 후방에 설치되어 기판처리를 마친 기판(1)이 기판캐리어(100)에 적재된 상태로 기판캐리어(100)를 전달받는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 언로딩모듈(22)은, 기판처리를 마친 기판(1)이 기판캐리어(100)에 적재된 상태로 외부 또는 별도의 모듈(미도시)로 전달할 수 있으며, 기판캐리어(100)로부터 기판(1)이 언로딩될 수 있다.
한편 상기 기판캐리어(100)가 언로딩모듈(22)에서 기판(1)이 언로딩된 후 빈 기판캐리어(100)가 언로딩모듈(22)로부터 로딩모듈(21)로 전달될 수 있으며, 기판처리시스템은, 도 1에 도시된 바와 같이, 언로딩모듈(22)로부터 로딩모듈(21)로 기판캐리어(100)를 전달하는 기판전달모듈(13)을 추가로 포함할 수 있다.
상기 기판전달모듈(13)은, 언로딩모듈(22)로부터 로딩모듈(21)로 기판캐리어(100)를 전달하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하며, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판처리모듈(41, 42, 43)에 챔버로서 설치되는 등 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기 기판처리시스템은, 로딩모듈(21), 기판처리모듈(41, 42, 43) 및 언로딩모듈(22)을 따라서 기판캐리어(100)가 이동되는 이송경로(미도시)가 설치된다. 이때 상기 이송경로는, 기판전달모듈(13)이 설치된 경우 기판전달모듈(13)에도 설치되며, 로딩모듈(21), 기판처리모듈(41, 42, 43) 및 언로딩모듈(22)을 거쳐 기판전달모듈(13)을 통하여 다시 로딩모듈(21)로 이르는 순환경로를 형성할 수 있다.
그리고 상기 이송경로는, 기판캐리어(100)의 이송방식에 따라서, 기판캐리어(100)를 지지하여 회전에 의하여 기판캐리어(100)를 이송하는 복수의 롤러(160)들로 구성되는 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 롤러(160)는, 기판캐리어(100)를 지지하여 회전에 의하여 기판캐리어(100)를 이송하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하며, 도 2에 도시된 바와 같이, 각 모듈(13, 21, 22, 41, 42, 43)을 이루는 챔버(10)에 다양한 구조에 의하여 설치될 수 있다.
특히 상기 이송경로는, 적어도 일부에 후술하는 기판캐리어(100)에 설치된 접지부(150)와 전기적으로 연결됨으로써 정전척(130)의 전극(131)에 잔류하는 전하를 방전시키는 접지연결부가 설치된다.
상기 접지연결부는 후술하는 기판캐리어(100)에 설치된 접지부(150)와 전기적으로 연결됨으로써 정전척(130)의 전극(131)에 잔류하는 전하를 방전시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서 상기 접지연결부는, 이송경로에 복수의 롤러(160)가 설치된 경우 롤러(160)를 챔버(10)와 전기적으로 연결하는 등 접지되도록 하고, 롤러(160)를 기판캐리어(100)에 설치된 접지부(150)와의 접촉됨으로써 전기적으로 연결되도록 하여 정전척(130)의 전극(131)에 잔류하는 전하를 방전시킬 수 있다.
한편 상기 이송경로 중, 접지부의 접지가 필요한 구간은 정전척(130)이 오프되는 구간인 언로딩모듈(22) 이후임을 고려하여 접지연결부는 이송경로 중 언로딩모듈(22) 이후의 구간에 설치됨이 바람직하다.
여기서 상기 이송경로가, 기판전달모듈(13)에도 설치된 경우 언로딩모듈(22)로부터 로딩모듈(21)까지의 경로 중 적어도 일부에 설치됨이 바람직하다.
또한 상기 정전척(130)의 전극(131) 및 접지부(150) 사이에 후술하는 저항소자(151)가 설치된 경우 이송경로 전구간에 설치될 수도 있음은 물론이다.
한편 상기 기판캐리어(100)는, 정전기력에 의하여 기판(1)을 고정한 상태에서 이송하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 기판캐리어(100)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 기판처리시스템에 설치된 이송경로를 따라서 이동되는 캐리어본체(110)와; 캐리어본체(110)에 설치되어 이송경로에 설치된 접지연결부와 전기적으로 연결되어 접지되는 접지부(150)와; 캐리어본체(110)의 상면을 이루도록 캐리어본체(110)에 설치되며 전극(141)이 접지부(150)와 전기적으로 연결되는 정전척(130)과; 캐리어본체(110)에 결합되어 정전척(130)에 DC전원을 공급하는 전원공급부(120)와; 정전척(130)에 대한 전원공급부(120)의 전원공급이 선택적으로 이루어지도록 캐리어본체(110)에 설치된 하나 이상의 스위치부(140)를 포함할 수 있다.
상기 캐리어본체(110)는, 기판캐리어(100)의 본체를 구성하는 구성으로서 기판캐리어(100)의 종류, 정전척(130)의 구조 등에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
또한 상기 캐리어본체(110)는, 기판처리시스템에 설치된 이송경로를 따라서 이동되도록 그 이동방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
특히 상기 캐리어본체(110)는, 후술하는 이송경로와 전기적으로 연결되어 접지되는 접지부(150)가 설치된다.
상기 접지부(150)는, 정전척(130)과 전기적으로 연결됨과 아울러 이송경로에 설치된 접지연결부와 전기적으로 연결되어 접지되어 정전척(130)에서 전원인가부(120)의 전원인가가 해제되었을 때 정전척(130)의 전극(131)에 잔류하는 전하를 방전시키는 구성으로서 이송경로와의 연결방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 접지부(150)는, 캐리어본체(110)의 저면의 적어도 일부에 설치되어 정전척(130)의 전극(131)과 전기적으로 연결되는 하나 이상의 전도성부재(151)를 포함할 수 있다.
그리고 상기 전도성부재(151)는, 이를 지지하도록 이송경로를 따라서 설치된 앞서 설명한 접지연결부에 의하여 접촉에 의하여 지지됨으로써 접지될 수 있다.
상기 전도성부재(151) 및 접지연결부는 이송방식 및 접지방식에 따라서 롤러, 가이드 등 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 접지연결부는 캐리어본체(110)의 저면에 설치된 전도성부재(151)를 지지하도록 설치되고, 회전에 의하여 기판캐리어(100)를 이송하도록 기판처리시스템에 설치된 롤러(160)로 구성될 수 있다. 여기서 상기 롤러(160)는 전기전도성이 있는 금속재질을 가지며 기판처리시스템 중 챔버와 같은 접지된 구성에 전기적으로 연결됨으로써 접지부(150)를 접지시킨다.
또한 물론 전도성부재(151)가 캐리어본체(110)에 설치된 롤러이며 접지연결부는 롤러를 접촉에 의하여 지지함과 아울러 그 이동을 가이드하는 가이드부재로 구성될 수 있음은 물론이다.
한편 상기 기판처리시스템은, 기판(1)의 이송경로 중 접지가 필요한 구간이 기판(1)이 기판캐리어(100)에서 언로딩된 후 기판캐리어(100)가 새로운 기판(1)이 로딩될 때까지로서, 도 1의 기판처리시스템의 경우 언로딩모듈(22)로부터 기판전달모듈(13) 및 로딩모듈(21)에서 접지부(150)가 접지되는 것이 바람직하다. 여기서 상기 로딩모듈(21) 중 기판(1)이 기판캐리어(100) 상에 로딩되는 구간에서는 접지부(150)가 접지되지 않는 것이 바람직함은 물론이다.
또한 상기 접지부(150)는 정전척(130)에 대한 전원인가와 관계없이 기판캐리어(100)가 이송되는 동안 접지된 상태를 유지할 수 있으며, 이 경우 도 3에 도시된 바와 같이, 접지부(150)와 정전척(130) 사이에 충분한 전압차를 유지하도록 접지부(150)와 정전척(130)의 전극(131) 사이에는, 정전척(130)의 전극(131)과 전위차가 형성되도록 하나 이상의 저항소자(151)가 추가로 설치될 수 있다.
상기 저항소자(151)는, 접지부(150)와 정전척(130) 사이에 충분한 전압차를 유지할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하며, 정전척(130)에 인가되는 전압에 따라서 적절한 저항값이 선택될 수 있다.
특히 상기 저항소자(151)는, 정전척(130)의 전극(131)과 접지부(150)가 상시 연결된 경우 접지부(150)와 정전척(130) 사이에 충분한 전압차를 유지할 수 있도록 함으로써 정전척(130)의 전극(131)에 전원이 인가될 때 접지부(150) 쪽으로 전하가 방전되는 것을 방지한다.
상기 정전척(130)은, 캐리어본체(110)에 설치되어 정전기력에 의하여 기판(1)을 고정하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 정전척(130)은, 단일의 극성을 가지는 구조, 도 3에 도시된 바와 같이, +전극 및 -전극이 쌍을 이루어 설치되는 bipolar 구조 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 스위치부(140)는 정전척(130)에 대한 전원공급부(120)의 전원공급이 선택적으로 이루어지도록 캐리어본체(110)에 설치되는 구성으로서 무선 통신에 의한 제어가 가능한 구성, 기판처리시스템의 적절한 위치에 설치된 구동부재(미도시)에 의하여 온오프(ON/OFF) 작동하는 기계적 구성 등 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 스위치부(140)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 스위치의 작동에 의하여 정전척(130)의 전극(131)과 선택적으로 연결될 수 있다.
또 다른 예로서, 상기 스위치부(140)는, 정전척(130)의 전극(131)과 연결되고 전원공급부(120) 및 접지부(150) 중 어느 하나를 선택적으로 전기적으로 연결하도록 작동될 수 있다.
한편 상기 스위치부(140)는, 온오프에 의하여 정전척(130)으로의 전원인가 또는 그 해제를 위한 구성으로서, 로딩모듈(21)에서, 특히 기판(1)이 기판캐리어(100)에 안착된 후에, 정전척(130)이 전원공급부(120)와 전기적으로 연결되도록 스위치부(140)가 온(on) 상태가 되며, 언로딩모듈(22)에서 특히 기판(1)이 기판캐리어(100)로부터 언로딩하기 전에, 정전척(130)이 전원공급부(120)와 전기적으로 단락되도록 스위치부(140)가 오프(off) 상태가 될 수 있다.
상기 전원인가부(120)은, DC전원으로서 정전척(130)에 기판(1)의 흡착고정이 가능할 정도의 DC전압을 인가하도록 구성되며, 기판캐리어(100)가 이송될 때 함께 이송됨을 고려하여 리튬이온충전지 등이 사용될 수 있다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
1 : 기판 100 : 기판캐리어
110 : 캐리어본체 111 : 전극
120 : 전원공급부 130 : 스위치부

Claims (11)

  1. 안착된 기판을 정전기력에 의하여 고정하는 정전척이 설치되며 안착된 기판을 이송하는 기판처리시스템의 기판캐리어로서,
    기판처리시스템에 설치된 이송경로를 따라서 이동되는 캐리어본체와;
    상기 캐리어본체에 설치되어 상기 이송경로에 설치된 접지연결부에 전기적으로 연결되어 접지되는 접지부와;
    상기 캐리어본체의 상면을 이루도록 상기 캐리어본체에 설치되며 전극이 상기 접지부와 전기적으로 연결되는 정전척과;
    상기 캐리어본체에 결합되어 상기 정전척에 DC전원을 공급하는 전원공급부와;
    상기 정전척에 대한 상기 전원공급부의 전원공급이 선택적으로 이루어지도록 상기 캐리어본체에 설치된 하나 이상의 스위치부를 포함하며,
    상기 접지부는, 상기 정전척과 전기적으로 연결됨과 아울러 상기 이송경로에 설치된 상기 접지연결부와 전기적으로 연결되어 상기 정전척에서 전원공급부의 전원인가가 해제되었을 때 상기 정전척에 잔류하는 전하를 방전시키는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 기판캐리어.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 접지부와 상기 정전척의 전극 사이에는,
    저항소자가 추가로 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 기판캐리어.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 스위치부는, 상기 정전척의 전극과 연결되고 상기 전원공급부 및 상기 접지부 중 어느 하나를 선택적으로 전기적으로 연결하도록 작동되는 것을 특징으로 하는 기판캐리어.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 접지부는
    상기 캐리어본체에 설치되며 상기 정전척의 전극과 전기적으로 연결되는 하나 이상의 전도성부재를 포함하며,
    상기 접지연결부에 의하여 접촉에 의하여 지지됨으로써 접지되는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 기판캐리어.
  5. 안착된 기판을 정전기력에 의하여 고정하는 정전척이 설치되며 안착된 기판을 이송하는 기판처리시스템의 기판캐리어로서,
    기판처리시스템에 설치된 이송경로를 따라서 이동되는 캐리어본체와;
    상기 캐리어본체에 설치되어 상기 이송경로에 설치된 접지연결부에 전기적으로 연결되어 접지되는 접지부와;
    상기 캐리어본체의 상면을 이루도록 상기 캐리어본체에 설치되며 전극이 상기 접지부와 전기적으로 연결되는 정전척과;
    상기 캐리어본체에 결합되어 상기 정전척에 DC전원을 공급하는 전원공급부와;
    상기 정전척에 대한 상기 전원공급부의 전원공급이 선택적으로 이루어지도록 상기 캐리어본체에 설치된 하나 이상의 스위치부를 포함하며,
    상기 접지부는, 상기 캐리어본체에 설치되며 상기 정전척의 전극과 전기적으로 연결되는 하나 이상의 전도성부재를 포함하며,
    상기 접지연결부에 의하여 접촉에 의하여 지지됨으로써 접지되며,
    상기 전도성부재 또는 상기 접지연결부 중 어느 하나는 롤러인 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 기판캐리어.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 스위치부는, 상기 기판처리시스템에 설치된 구동부재에 의하여 작동되도록 상기 캐리어본체에 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 기판캐리어.
  7. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 정전척은,
    단일극성의 전극이 설치되거나, +전극 및 -전극이 쌍을 이루어 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템의 기판캐리어.
  8. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 하나의 항에 따른 기판캐리어에 적재된 하나 이상의 기판에 대하여 기판처리를 수행하는 하나 이상의 기판처리모듈과;
    상기 기판처리모듈의 전방에 설치되어 하나 이상의 기판이 상기 기판캐리어에 적재된 상태로 상기 기판처리모듈에 전달하는 로딩모듈과;
    상기 기판처리모듈의 후방에 설치되어 기판처리를 마친 기판이 상기 기판캐리어에 적재된 상태로 전달받는 언로딩모듈을 포함하며,
    상기 로딩모듈, 상기 기판처리모듈 및 상기 언로딩모듈을 따라서 상기 기판캐리어가 이동되는 이송경로가 설치되며,
    상기 이송경로 중 적어도 일부에는, 상기 기판캐리어의 접지부와 전기적으로 연결되는 접지연결부가 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 로딩모듈은, 상기 기판캐리어에 안착되어 기판이 로딩되며,
    상기 언로딩모듈은, 상기 기판캐리어로부터 기판이 언로딩되며,
    상기 언로딩모듈로부터 기판이 언로딩된 상기 기판캐리어를 상기 로딩모듈로 전달하도록 상기 이송경로가 연장되어 설치되는 기판전달모듈을 추가로 포함하며,
    상기 접지연결부는 상기 이송경로 중 상기 언로딩모듈로부터 상기 로딩모듈까지의 경로 중 적어도 일부에 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  10. 청구항 8에 있어서,
    상기 정전척은,
    단일극성의 전극이 설치되거나, +전극 및 -전극이 쌍을 이루어 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  11. 청구항 8에 있어서,
    상기 로딩모듈에서 상기 정전척이 상기 전원공급부와 전기적으로 연결되도록 상기 스위치부가 온 상태가 되며,
    상기 언로딩모듈에서 상기 정전척이 상기 전원공급부와 전기적으로 단락되도록 상기 스위치부가 오프 상태가 되는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
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