KR20130037897A - 기판 이송 장치 및 그를 이용한 박막증착 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로서, 특히, 반송롤러에 의해 이송되는 캐리어와 접촉될 수 있도록 반송롤러와 인접되게 정전기 방전용 브러쉬가 장착되어 있는, 기판 이송 장치 및 그를 이용한 박막증착 장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다. 이를 위해 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 회전력을 이용하여 캐리어를 이송시키기 위한 복수의 반송롤러; 상기 복수의 반송롤러를 지지하고 있는 지지대; 및 상기 반송롤러들 중 적어도 어느 하나에 장착되어, 상기 캐리어에서 생성되는 정전기를 상기 지지대를 통해 외부로 방전시키기 위한 정전기 방전용 브러쉬를 포함한다.

Description

기판 이송 장치 및 그를 이용한 박막증착 장치{APPARATUS FOR TRANSPORTING A SUBSTRATE AND APPRATUS FOR DEPOSITING THIN FILM USING THE SAME}
본 발명은 이송 장치에 관한 것으로서, 특히, 디스플레이장치의 제조 공정에 이용되는 기판을 이송시키기 위한 기판 이송 장치에 관한 것이다.
이동통신 단말기, 노트북 컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용될 수 있는 평판표시장치(Flat Panel Display Device)와 같은 디스플레이장치에 대한 요구가 점차 증대되고 있다.
이러한 디스플레이장치로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display), 전계방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시장치(Plasma Display Panel), 유기전계발광 표시장치(Organic electro luminescence Display device) 및 전기영동 표시장치(EPD) 등이 있다.
한편, 상기한 바와 같은 디스플레이장치들은 투명플라스틱 또는 투명유리와 같은 기판에 각종 회로소자들을 형성하여 구성되는 것으로서, 이러한 기판들은 일반적으로 캐리어(Carrier)에 장착된 상태에서 각 챔버로 이송된다.
도 1은 종래의 기판 이송 장치를 통해 기판이 장착되어 있는 캐리어가 이송되고 있는 상태를 나타낸 예시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치의 반송롤러의 캐리어 반송전과 반송후의 회전 상태를 나타낸 예시도이며, 도 3은 도 1에 도시된 기판 이송 장치에 의해 이송된 기판의 증착 불량 상태를 나타낸 예시도이다.
종래의 기판 이송 장치(10)는 도 1에 도시된 바와 같이, 회전력을 이용하여 캐리어를 이송시키기 위한 복수의 반송롤러(12) 및 복수의 반송롤러를 지지하고 있는 지지대(11)를 포함하여 구성되어 있다.
또한, 상기한 바와 같은 디스플레이장치에 적용되는 기판(40)은 고정기(30)에 의해 캐리어(20)에 고정된 상태로, 도 1에 도시된 바와 같은 기판 이송 장치(10)를 따라, 다양한 공정이 수행되는 챔버들로 이송된다.
한편, 상기한 바와 같은 종래의 기판 이송 장치(10)는 세라믹(Ceramic)으로 제조된 반송롤러(12)의 회전력 및 스텐레스(SUS)로 구성되어 캐리어(20)의 하부를 형성하는 하단 샤프트(Shaft)(21)와 반송롤러(12)의 마찰력을 이용하여 캐리어(20)를 반송시키고 있다.
따라서, 캐리어(20) 반송 중, 캐리어의 하단 샤프트(21)와 반송롤러(12)와의 마찰에 의해 정전기가 발생되고 있으며, 이러한, 정전기를 제거하기 위해 반송롤러(12)를 지지하고 있는 지지대(12)는 접지되어 있다.
그러나, 상기한 바와 같이 반송롤러(12)가 부도체인 세라믹(Ceramic)으로 형성되어 있기 때문에, 반송롤러(12)와 하단 샤프트(21) 사이에서 발생된 정전기를 지지대(11)를 통해 방전시키는 것에는 한계가 있다.
한편, 반송롤러(12)와 하단 샤프트(21) 간에 정전기가 발생하는 이유는 반송롤러(12)와 하단 샤프트(21) 간에 마찰력이 작용하기 때문이며, 이러한 마찰력은 반송롤러의 회전상태가 각 반송롤러(12) 마다 차이가 있기 때문이다.
예를 들어, 도 2는 반송롤러의 캐리어 반송전과 반송후의 회전 상태를 나타낸 것으로서, 반송전의 반송롤러(12)들의 마킹 위치는 일정하게 정렬되어 있으나, 반송후의 반송롤러(12)들의 마킹 위치는 서로 어긋나 있음을 알 수 있다.
즉, 복수의 반송롤러(12)들이 동일한 회전속도로 일정하게 회전되어야 마찰력을 최소로한 상태에서 캐리어(20)를 이송시킬 수 있으나, 이송 동작이 지속됨에 따라, 각 반송롤러(12)들의 회전상태 및 회전속도가 변하게 되고, 이러한 상태 변화가 반송롤러(12)와 하단 샤프트(21) 간의 마찰력을 증대시키고 있으며, 이로 인해 정전기가 발생되고 있다.
한편, 상기한 바와 같이 세라믹으로 형성되어 있는 반송롤러(12)는 마찰에 의해 발생된 정전기를 지지대(11)를 통해 외부로 방전시킬 수 없다. 따라서, 반송롤러(12)와 캐리어(20)의 하단 샤프트(21) 간에 발생된 정전기는 캐리어의 하단부에 대전된다.
상기와 같이 캐리어 하단부에 정전기가 대전되어 있는 상태의 캐리어가 증착 공정을 수행하는 챔버(Chamber) 내부로 투입되어 공정이 수행되면, 챔버 내의 이물질들이, 캐리어 하단부에 포집될 수 있으며, 이에 따라, 캐리어(20)에 장착된 상태에서 증착공정이 수행되고 있는 기판의 하단부에도 도 3에 도시된 바와 같이 이물질이 포집될 수 있다.
또한, 챔버 내부에서 증착공정이 수행되지 않더라도, 하단부에 정전기가 대전되어 있는 상태의 캐리어에 장착된 상태로 이송되는 기판(40)의 하단부 역시, 상기한 바와 같은 원리에 의해 이송 중 다양한 종류의 이물질들이 포집될 수 있다.
따라서, 종래의 기판 이송 장치에 의해 이송되는 기판에는 증착공정 중 이물질이 하단부에 포집되는 증착(SP) 불량이 급증하고 있다.
또한, 상기한 바와 같은 증착(SP) 불량의 증가에 따라, CRP 로딩(Loading)율이 증가하고 있으며, 증착장비(Sputter)의 PD 손실(Loss)이 증가하고 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반송롤러에 의해 이송되는 캐리어와 접촉될 수 있도록 반송롤러와 인접되게 정전기 방전용 브러쉬가 장착되어 있는, 기판 이송 장치 및 그를 이용한 박막증착 장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 회전력을 이용하여 캐리어를 이송시키기 위한 복수의 반송롤러; 상기 복수의 반송롤러를 지지하고 있는 지지대; 및 상기 반송롤러들 중 적어도 어느 하나에 장착되어, 상기 캐리어에서 생성되는 정전기를 상기 지지대를 통해 외부로 방전시키기 위한 정전기 방전용 브러쉬를 포함한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 상기 기판 이송 장치; 및 상기 캐리어에 장착된 상태에서 상기 기판 이송 장치를 통해 이송되는 기판에 박막을 증착하기 위하여, 상기 기판 이송 장치를 따라 형성되어 있는 복수의 챔버를 포함한다.
상술한 해결 수단에 따라 본 발명은 다음과 같은 효과를 제공한다.
즉, 본 발명은 반송롤러에 의해 이송되는 캐리어와 접촉될 수 있도록 반송롤러와 인접되게 정전기 방전용 브러쉬를 장착함으로써, 캐리어와 반송롤러 간의 마찰에 의해 발생되는 정전기를 정전기 방전용 브러쉬를 통해 외부로 방전시킬 수 있다는 효과를 제공한다.
또한, 본 발명은 캐리어와 반송롤러 간에 발생되는 정전기를 정전기 방전용 브러쉬를 통해 외부로 방전시킴으로써, 캐리어에 장착된 상태로 이송되고 있는 기판에 이물질이 포집되는 현상을 방지할 수 있으며, 이를 통해 증착 공정 중에 발생되는 증착 불량을 줄일 수 있다는 효과를 제공한다.
또한, 본 발명은 증착 불량을 줄임으로써, CRP 로딩율을 감소시킬 수 있으며, 증착장비의 PD 손실을 저감시킬 수 있다는 효과를 제공한다.
도 1은 종래의 기판 이송 장치를 통해 기판이 장착되어 있는 캐리어가 이송되고 있는 상태를 나타낸 예시도.
도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치의 반송롤러의 캐리어 반송전과 반송후의 회전 상태를 나타낸 예시도.
도 3은 도 1에 도시된 기판 이송 장치에 의해 이송된 기판의 증착 불량 상태를 나타낸 예시도.
도 4는 본 발명에 따른 기판 이송 장치가 적용되는 인라인형(In-line type) 박막증착 장치의 일실시예 평면도.
도 5는 본 발명에 따른 기판 이송 장치를 통해 기판이 장착되어 있는 캐리어가 이송되고 있는 상태를 나타낸 정면도.
도 6은 도 5에 도시된 기판 이송 장치의 반송롤러와 정전기 방전용 브러쉬의 장착 상태를 나타낸 사시도.
도 7은 도 4에 도시된 기판 이송 장치를 통해 기판이 장착되어 있는 캐리어가 이송되고 있는 상태를 나타낸 사시도.
도 8은 본 발명에 따른 기판 이송 장치를 통해 정전기가 외부로 방전되는 상태를 나타낸 예시도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대해 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 기판 이송 장치가 적용되는 인라인형(In-line type) 박막증착 장치의 일실시예 평면도로서, 정전기 방전용 브러쉬가 위치되어 있는 곳이 별표(★)로 도시되어 있다. 또한, 도 5는 본 발명에 따른 기판 이송 장치를 통해 기판이 장착되어 있는 캐리어가 이송되고 있는 상태를 나타낸 정면도이고, 도 6은 도 5에 도시된 기판 이송 장치의 반송롤러와 정전기 방전용 브러쉬의 장착 상태를 나타낸 사시도이며, 도 7은 도 4에 도시된 기판 이송 장치를 통해 기판이 장착되어 있는 캐리어가 이송되고 있는 상태를 나타낸 사시도이다. 또한, 도 8은 본 발명에 따른 기판 이송 장치를 통해 정전기가 외부로 방전되는 상태를 나타낸 예시도이다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치(100)는 디스플레이장치의 제조 공정에 이용되는 것으로서, 특히, 도 4에 도시된 바와 같은 인라인형(In-line Type) 박막증착 장치에 적용되는 것이다.
본 발명이 적용되는 박막증착(스퍼터링, Sputtering) 장치(200)는 플라즈마에 의해 이온을 가속시켜 이온을 타겟에 충돌하게 하여 기판에 타겟 물질을 증착시키는 장치이다. 이와 같은, 박막증착(스퍼터링) 장치(200)는 비교적 간단한 구조로 짧은 시간에 박막을 형성할 수 있기 때문에 반도체 소자 생산 또는 디스플레이장치의 기판 제조에 널리 이용되고 있다.
한편, 상기한 바와 같은 박막증착 장치(200)는 도 4에 도시된 바와 같이, 박막증착 장치로 이송되어온 캐리어(20)를 도 5에 도시된 바와 같이 수직하게 세우거나 또는 수직한 상태로 공정을 마친 캐리어(20)를 수평 상태로 배치시키기 위한 L-Position(250) 및 다수개의 챔버들을 포함한다. 여기서 다수개의 챔버들로는, 기판을 순차적으로 이송시키기 위한 버터링 기능을 수행하고 있는 로딩 챔버(210), 기판을 가열시키기 위한 히팅 챔버(220) 및 복수의 증착 챔버(230, 240) 등이 포함될 수 있다.
이러한 박막증착 장치(200)는 박막증착 장치를 구성하는 상기한 바와 같은 챔버들의 배치에 따라 클러스터형(Cluster type)과 인라인형(In-Line type)으로 분류될 수 있으며, 도 4에는 인라인형(In-Line type) 박막증착 장치의 개략적인 평면도가 도시되어 있다.
즉, 기판의 크기가 대형화되는 추세에 따라, 클러스터형에 비해 설치되는 장소의 구애를 덜 받는 인라인형 박막증착 장치에 대한 사용자의 요구가 높아지고 있다.
한편, 본 발명에 따른 기판 이송 장치가 적용되는 인라인형(In-line type) 박막증착 장치(200)는 도 4에 도시된 바와 같이, 복수의 챔버들이 일렬로 배치되어 있다. 이때, 도 4에 도시된 바와 같은 인라인형 박막증착 장치(200)는 도 5에 도시된 바와 같이 롤러방식으로 구성되어 있는 본 발명에 따른 기판 이송 장치(100)를 이용하여, 기판(40) 탑재되어 있는 캐리어(20)를 각 챔버로 이송시키고 있다.
즉, 도 4에서 A라인(Line)과 B라인(Line)으로 표시되어 있는 구성은 도 5에 도시된 기판 이송 장치(100)를 나타낸 것으로서, A라인의 L-Position(250)으로 유입된 기판은, 이후, 본 발명에 따른 기판 이송 장치를 따라 로딩 챔버(210), 히팅 챔버(220) 및 증착 챔버(230, 240)를 차례대로 거치면서 박막증착 공정을 수행한 후, B라인의 L-Position으로 배출된 상태에서 언로딩되어 다른 공정 장치로 이송된다.
한편, 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 상기한 바와 같은 인라인형 박막증착 장치(In-line type Sputtering System)에서의 캐리어(20) 이동 중, 반송롤러(Roller)(120)와 캐리어(20)의 하단 샤프트(Shaft)(21)의 마찰로 발생하는 정전기를 장치 외부로 방전시킬 수 있다는 특징을 가지고 있다.
이를 위해 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 도 5 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 회전력을 이용하여 캐리어(20)를 이송시키기 위한 복수의 반송롤러(120), 복수의 반송롤러를 지지하고 있는 지지대(110) 및 반송롤러에 의해 이송되는 캐리어(20)와 접촉될 수 있도록 반송롤러와 인접되게 장착되어 있는 정전기 방전용 브러쉬(130)를 포함하여 구성될 수 있다.
우선, 본 발명에 따른 기판 이송 장치(100)를 설명하기에 앞서, 본 발명에 따른 기판 이송 장치(100)에 의해 박막증착 장치의 각 챔버로 이송되는 캐리어(20)에 대하여 간단히 설명하면 다음과 같다.
캐리어(20)는 상기한 바와 같이 기판(40)을 고정시킨 상태에서, 기판 이송 장치(100)에 의해 각 챔버로 이송되는 것으로서, 기판(40)은 고정기(30)에 의해 캐리어(20)에 고정된 상태로 장착될 수 있다.
이러한 캐리어(20)는 본 발명이 적용되는 인라인형 박막증착 장치에서 이송되는 경우, 도 5에 도시된 바와 같이, 박막이 증착되는 기판(40)의 평면이 지면에 대해 수직한 방향으로 놓여질 수 있도록 세워진 상태로, 기판 이송 장치의 반송롤러(120)와 접촉하게 된다.
즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 캐리어(20)가 세워진 상태로 반송롤러(120)에 의해 이송되는 경우, 캐리어의 하단을 형성하는 하단 샤프트(21)가 반송롤러(120)와 접촉하게 된다.
한편, 캐리어는 스텐레스(SUS)와 같은 금속을 이용하여 제작되고 있으며, 따라서, 캐리어(20)의 하단 샤프트(21) 역시 스텐레스(SUS)로 구성될 수 있다. 이러한 스텐레스(SUS)는 일반적으로 도전성을 가지고 있다.
다음으로, 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 구성들에 대한 설명은 다음과 같다.
반송롤러(120)는 회전력 및 캐리어의 하단 샤프트(21)와의 마찰력을 이용하여 캐리어(20)를 이송시키기 위한 것으로서, 지지대(120) 상에 복수개가 연속적으로 배열되어 있다.
이러한 반송롤러(120)는 도 6에 도시된 바와 같이, 실질적으로 캐리어(20)의 하단 샤프트(21)와 접촉되어 캐리어를 이송시키기 위해 회전하고 있는 롤러(121) 및 지지대(110)에 의해 지지되고 있는 상태에서 롤러를 지지하고 있는 프레임(122)을 포함하여 구성되어 있다.
여기서, 롤러(121)는 미도시된 제어부 및 제어부에 의해 구동되는 모터에 의해 회전되고 있으며, 세라믹(Ceramic)으로 구성되어 있다. 이러한 세라믹은 부도체의 특성을 가지고 있다.
또한, 프레임(122)의 측면에는 이하에서 설명될 정전기 방지용 브러쉬(130)가 부착되어 있다. 한편, 프레임(122)은 정전기 방전용 브러쉬(130)로부터 전송되어온 정전기를 지지대(110)로 전송하기 위하여 도전성을 가진 금속재료로 구성될 수 있다.
정전기 방지용 브러쉬(130)는 도 6에 도시된 바와 같이, 캐리어의 하단 샤프트(21)와 접촉될 수 있도록, 반송롤러(120)의 프레임(122) 측면에 장착되어 있다.
즉, 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 인라인형 박막증착 장치에서 캐리어(20)의 반송 중, 캐리어의 하단 샤프트(21)와 반송롤러(120)의 롤러(121) 간의 마찰에 의해 발생되는 정전기를 지지대(110)를 통해 외부로 방전시키기 위한 것으로서, 이러한 기능을 위해 정전기 방지용 브러쉬(130)가 구비되어 있다.
특히, 부도체인 세라믹(Ceramic)으로 구성되어 있는 롤러(121)를 통해서는 상기한 바와 같은 정전기가 전달될 수 없기 때문에, 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 도체로 구성된 정전기 방지용 브러쉬(130)가 도체로 구성되어 있는 캐리어(20)의 하단 샤프트(21)와 접촉될 수 있도록, 정전기 방지용 브러쉬(130)를 반송롤러(120)의 프레임(122)에 장착시키고 있다.
한편, 상기에서는 프레임(122)이 반송롤러(120)의 구성요소로 설명되었으나, 프레임(122)은 지지대(110)의 구성요소로 볼 수도 있다. 즉, 반송롤러(120)를 구성하는 롤러(121)는 지지대(110)의 일부인 프레임(122)에 장착된 상태로 회전되는 것으로 볼 수도 있다.
정전기 방지용 브러쉬(130)는 도 6에 도시된 바와 같이, 도전성을 가지고 있는 브러쉬(131) 및 브러쉬를 일정한 형태로 고정시키고 있으며 반송롤러의 프레임(122)에 장착되어 있는 도전성을 가진 브러쉬 고정기(132)를 포함하여 구성될 수 있다.
여기서, 브러쉬(131)는 스텐레스(SUS), 금속섬유, 도전성 고분자 섬유, 도전성 폴리머 재질 등과 같이 도전성을 가지고 있는 물질로 제조될 수 있으며, 캐리어(20)의 하단 샤프트(21)에 접촉되도록 반송롤러(120)에 장착된다.
따라서, 캐리어의 하단 샤프트(21)와 롤러(121)의 마찰에 의해 발생된 후, 하단 샤프트(21)에 잔존하고 있던 정전기들은, 도 8에 도시된 바와 같이, 하단 샤프트(21)와 접촉하고 있는 브러쉬(131)로 전송된 후, 다시, 브러쉬 고정기(132), 프레임(122) 및 지지대(110)를 거쳐 외부로 방전될 수 있다.
한편, 브러쉬 고정기(132)는 단순히 브러쉬(131)를 반송롤러(120)에 고정시키는 기능만을 하는 것이 아니라, 상기한 바와 같이, 브러쉬(131)를 통해 전송되어온 정전기를 도전성 물질로 구성되어 있는 반송롤러의 프레임(122)으로 전송시키기 위하여 도전성 물질로 구성될 수 있다.
그러나, 브러쉬 고정기(132)가 브러쉬(131)들이 반송롤러의 프레임(122)에 접촉되도록 하는 기능을 수행하고 있는 경우, 브러쉬 고정기(132)는 도전성 물질로 구성될 필요는 없다.
브러쉬 고정기(132)는 용접 또는 볼트와 너트 등을 이용하여 반송롤러(120)의 프레임(121)에 장착될 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 특징을 정리하면 다음과 같다.
즉, 본 발명에 따른 기판 이송 장치(100)는, 캐리어(20)의 하단 샤프트(21)와 접촉되는 롤러(121)를 지지대(110)에 고정시키기 위한 프레임(122)에 스텐레스(SUS)/금속섬유/도전성 고분자 섬유 등과 같은 도전성을 가진 브러쉬(131)를 브러쉬 고정기(132)를 통해 장착시킴으로써, 롤러(121)와 하단 샤프트(21) 간의 마찰에 의해 발생되어 하단 샤프트(21)에 머물고 있는 정전기를, 브러쉬(131), 프레임(122) 및 지지대(110)를 거쳐 외부로 방전시킬 수 있다는 특징을 가지고 있다.
이를 위해 지재대(110)는 접지되어 있다.
또한, 브러쉬(131)를 고정시키기 위한 브러쉬 고정기(132)가 도전성 물질로 구성된 경우에는, 상기한 바와 같은 정전기 전송 과정 중 브러쉬(131)와 프레임(122) 사이에 브러쉬 고정기(132)가 더 추가될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 디스플레이장치를 제조하기 위한 다양한 종류의 공정 장비들 중에서, 특히, 기판 상에 박막을 증착하기 위한 박막증착 장치에 적용되는 것이며, 박막증착 장치 중에서도 특히, 인라인형 박막증착 장치에 적용되는 것이다.
즉, 인라인형과 같이 기판의 평면이 지면과 수직한 상태로 캐리어에 장착된 상태에서 이송되는 경우, 기판 이송 장치와 캐리어의 마찰에 의해 특정 부위, 즉, 캐리어의 하단 샤프트(21)에만 정전기가 발생하게 되며, 이로 인해, 기판의 하단에만 공정 장비에 존재하는 이물질들이 부착되므로써, 증착 공정 중에 불량을 발생시킬 수 있다.
또한, 기판(40)의 특정 부위에만 이물질이 부착됨으로써 불량이 발생될 수 있는 공정은, 박막을 기판 상에 증착시키는 공정이 될 수 있다.
따라서, 본 발명은 인라인형 박막증착 장치에 적용되는 것이 바람직하다.
그러나, 인라인형 박막증착 장치 이외에도, 캐리어와 기판 이송 장치와의 마찰에 의한 정전기에 의해 불량이 발생될 수 있는 다른 공정 장비에도 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 적용될 수 있다.
한편, 다시 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 구성을 설명하면 다음과 같다.
상기한 바와 같이, 도 4에 도시된 인라인형 박막증착 장치(200)는 L-Position(250) 및 복수의 챔버들(210 내지 240)을 가지고 있다.
그러나, 도 4에 도시된 인라인형 박막증착 장치(200) 중, 박막증착 장치로 이송되어온 캐리어(20)를 수직하게 세우거나 또는 수직한 상태로 박막증착 공정을 마친 캐리어(20)를 수평 상태로 배치시키기 위한 L-Position(250) 및 기판을 순차적으로 이송시키기 위한 버퍼링 기능을 수행하고 있는 로딩 챔버(210)는 박막증착과는 직접적인 관련이 없는 것으로서, 이러한 위치들에서는 캐리어(20)의 하단 샤프트(21)에 정전기가 형성되어 있다고 하더라도, 실질적으로 박막증착 공정의 불량 발생에 미치는 영향은 없다고 볼 수 있다.
따라서, 이러한 위치에 형성되어 있는 기판 이송 장치(100)에는, 도 4에 도시된 바와 같이 정전기 방전용 브러쉬(130)가 구비되어 있을 필요가 없다.
그러나, 히팅 챔버(220) 및 증착 챔버(230, 240)는 캐리어(20)를 외부와 격리시킨 상태에서 기판을 히팅하거나 박막을 증착시키는 곳으로서, 이러한 공정 중에 이물질이 기판에 부착되면, 기판의 불량을 초래할 수도 있다.
따라서, 이러한 챔버를 통과하는 기판 이송 장치에는 도 4에 도시된 바와 같이, 정전기 방전용 브러쉬(130)가 구비되어야 한다. 도 4에서 정전기 방전용 브러쉬(130)가 장착되어 있는 위치는 별표(★)로 표시되어 있다.
한편, 도 4에서는 상기한 바와 같이 정전기 방전용 브러쉬(130)가 필요한 챔버에, 두 개의 정전기 방전용 브러쉬(130)가 구비되어 있는 박막증착용 장치가 도시되어 있으나, 정전기 방전용 브러쉬(130)의 숫자는 각 챔버의 구성 및 특징에 따라 다양하게 설정될 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따른 기판 이송 장치에 의한 효과를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치에 의하면, CRP 로딩율을 저감시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 정전기에 기인한 박막증착 불량률을 줄일 수 있기 때문에, 디스플레이장치의 수율 향상에 기여할 수 있다.
즉, 본 발명에 따른 기판 이송 장치에 의해, GO_SP 불량이 종전의 2.55%에서 0.57%로 저감되었고, DO_SP 불량이 2.3%에서 0.44%로 저감되었으며, PD Loss가 10%에서 0.4%로 개선되었다.
본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.　 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100 : 기판 이송 장치 110 : 지지대
120 : 반송롤러 121 : 롤러
122 : 프레임 130 : 정전기 방전용 브러쉬
131 : 브러쉬 132 : 브러쉬 고정기
20 : 캐리어 30 : 고정기
40 : 기판

Claims (11)

  1. 회전력을 이용하여 캐리어를 이송시키기 위한 복수의 반송롤러;
    상기 복수의 반송롤러를 지지하고 있는 지지대; 및
    상기 반송롤러들 중 적어도 어느 하나에 장착되어, 상기 캐리어에서 생성되는 정전기를 상기 지지대를 통해 외부로 방전시키기 위한 정전기 방전용 브러쉬를 포함하는 기판 이송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 반송롤러는,
    상기 캐리어의 하단 샤프트와 접촉되어 상기 캐리어를 이송시키기 위해 회전하고 있는 롤러; 및
    상기 지지대에 의해 지지되고 있는 상태에서 상기 롤러를 지지하고 있는 프레임을 포함하며,
    상기 정전기 방전용 브러쉬는 상기 프레임에 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 정전기 방전용 브러쉬와, 상기 프레임과, 상기 지지대는 도전성 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 정전기 방전용 브러쉬는, 용접 또는 볼트와 너트를 이용하여 상기 프레임에 장착되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 정전기 방전용 브러쉬는,
    상기 캐리어의 하단 샤프트와 접촉될 수 있도록 상기 반송롤러에 배치되는 도전성을 가지고 있는 브러쉬; 및
    상기 브러쉬를 상기 반송롤러에 고정시키기 위한 브러쉬 고정기를 포함하는 기판 이송 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 브러쉬 고정기는 용접 또는 볼트와 너트를 이용하여 상기 프레임에 장착되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 브러쉬, 상기 브러쉬 고정기, 상기 프레임과, 상기 지지대는 도전성 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 브러쉬는,
    스텐레스(SUS), 금속섬유, 도전성 고분자 섬유, 도전성 폴리머 재질 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지대는 접지되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 기재되어 있는 기판 이송 장치; 및
    상기 캐리어에 장착된 상태에서 상기 기판 이송 장치를 통해 이송되는 기판에 박막을 증착하기 위하여, 상기 기판 이송 장치를 따라 형성되어 있는 복수의 챔버를 포함하는 박막증착 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 정전기 방전용 브러쉬는,
    상기 챔버들 중에서 상기 기판을 가열시키기 위한 히팅챔버 또는 상기 기판에 박막을 증착시키기 위한 증착 챔버에 구비되어 있는 반송롤러들 중 적어도 어느 하나에 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 박막증착 장치.
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