JP2016143785A - 減圧処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、シャッター開閉手段26を構成するシリンダ261がピストンロッド262を下降させることによりシャッター25を下降させ、開閉口24を開ける。そして、図示しない搬送手段がウエーハWを保持して開閉口24からチャンバー2の内部に進入する。ウエーハWの下面にはテープTが貼着されており、ウエーハWの被加工面W1が上方に向けて露出している。テープTが貼着されたウエーハWがチャンバー2に進入すると、テープT側がチャックテーブル3の吸着面320に載置され、被加工面W1を上方に露出させた状態でウエーハWを載置する。
次に、図2に示すように、極性切換手段61のスイッチ610を直流電源72の負極側に接続する。そうすると、下部電極を構成する第1の電極331には負電圧が印加され、下部電極を構成する第2の電極332には正電圧が印加される。こうして極性切換手段61において極性を切換えた後に、バルブ341を遮断して吸着面32における吸引を停止する。。
次に、図1に示す減圧手段53は、チャンバー2の内部を減圧して真空とする。そして、ガス切換バルブ52を介して不活性ガス供給源54とガス流通路43とを連通させ、不活性ガス供給源54からガス流通路43にArガスなどの不活性の反応ガスを供給し、ガス噴出孔420から反応ガスを噴出させる。反応ガスの噴出後、高周波電源71をオンとし、チャックテーブル3に高周波電圧を印加させ反応ガスをプラズマ化する。なお、このときの高周波電力は、後の処理工程でプラズマエッチングを行う際の電力よりも弱い電力とする。
このようにしてウエーハWがチャックテーブル3に保持されると、ガス切換バルブ52を介してガス流通孔43とエッチングガス供給源55とを連通させ、上部電極4のガス噴出孔420からウエーハWをエッチング処理するSF6などの反応ガス(エッチングガス)を噴出するとともに、高周波電源71における出力を上昇させて反応ガスをプラズマ化させる。この場合、第2の静電保持工程よりチャンバー2内の真空圧をマイナス方向に高くしている。そうすると、第2の静電保持工程と同様にウエーハWが静電チャックされた状態が維持され、プラズマによってウエーハWの被加工面W1がエッチングされる。
2:チャンバー
20:ハウジング 21:上壁 211:絶縁体
22:下壁 221:絶縁体 222:開閉口
23:側壁 24:開閉口
25:シャッター
26:シャッター開閉手段 261:シリンダ 262:ピストン
3:チャックテーブル 30:軸部 31:テーブル部 32:吸着面
331:第1の電極 332:第2の電極 34:吸引路 35:冷却水流通路
361:第1の導電部 362:第2の導電部
4:上部電極
40:軸部 41:板状部 42:吸着面 420:ガス噴出孔 43:ガス流通路
44:昇降手段 441:シリンダ 442:ピストンロッド 443:ブラケット
50:冷却水流通路 51:冷却水供給手段 52:ガス切換バルブ 53:減圧手段
54:不活性ガス供給源 55:エッチングガス供給源 56:反応ガス供給手段
6:電圧印加手段
61:極性切換手段 610:スイッチ
62:制御部
71:高周波電源 72,73:直流電源
9:静電吸着保持手段
W:ウエーハ W1:被加工面 T:テープ
Claims (3)
- 吸引保持手段と静電吸着保持手段とを用いてウエーハを吸着保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに吸着保持されたウエーハの処理が行われるチャンバーと、該チャンバー内を減圧する減圧手段と、該チャンバー内に反応ガスを供給する反応ガス供給手段と、該減圧手段によって減圧された該チャンバー内に供給した該反応ガスをプラズマ化させる高周波電圧印加手段と、該チャックテーブルに対面し該チャックテーブルの上方に配設しアースに接続された上部電極と、を備え、該チャックテーブルが吸着保持するウエーハを処理する減圧処理装置であって、
該吸引保持手段は、該チャックテーブルの上面の吸着面と吸引源とを連通させる吸引路と、該吸引路を開放および遮断するバルブと、を備え、
該静電吸着保持手段は、該チャックテーブル内部に配設する第1の電極と第2の電極とからなる下部電極と、該下部電極に直流電圧を印加する直流電源と、該第1の電極と該第2の電極とに印加する直流電圧の極性を切り換える極性切換手段と、を備え、
該チャックテーブルによるウエーハの保持を、該吸引源の吸引力による吸引保持と、該下部電極の該第1の電極と該第2の電極とに異なる極性の直流電圧を印加して静電チャックする第1の静電保持と、該下部電極の該第1の電極と該第2の電極とに同じ極性の電圧を印加し該高周波電圧印加手段により該反応ガスに高周波電圧を印加してプラズマ化した該反応ガスを介して該下部電極から該上部電極に通電させ静電チャックする第2の静電保持とに切り換える減圧処理装置。 - 請求項1記載の減圧処理装置を用いたウエーハの処理方法であって、
前記吸引源を前記吸着面と連通させ該吸引源の吸引力でウエーハを保持する吸引保持工程と、
該吸引保持工程の後、前記第1の電極と前記第2の電極とに異なる極性の電圧を印可し該吸着面にウエーハを静電チャックする第1の静電保持工程と、
該第1の静電保持工程の後、前記極性切換手段を用いて該第1の電極と該第2の電極とに同じ極性の電圧を印加し前記高周波電圧印加手段により該反応ガスに高周波電圧を印加してプラズマ化した反応ガスを介して該下部電極から該上部電極に通電させ該吸着面でウエーハを静電チャックする第2の静電保持工程と、
該第2の静電保持工程で保持されたウエーハをプラズマ化された該反応ガスで処理する処理工程と、
から少なくとも構成されるウエーハの処理方法。 - 該反応ガス供給手段は、不活性ガスを供給する不活性ガス供給源と、エッチングガスを供給するエッチングガス供給源と、該不活性ガス供給源と該エッチングガス供給源とを切換えるガス切換バルブと、を備え、
該ガス切換バルブは、該第2の静電保持工程では前記チャンバーに供給するガスを不活性ガスとし、該処理工程では該チャンバーに供給するガスをエッチングガスとする請求項2記載のウエーハの処理方法。
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