JP7398553B2 - 異なる基板のための共通静電チャック - Google Patents

Description

本発明の実施形態は、概して、基板を静電気的にチャッキングするための装置、方法、およびコントローラに関する。本開示のいくつかの実施形態は、静電チャックに変更を加えることなく、異なる基板材料のチャックを可能にする。

異なるタイプの基板は、基板処理中に支持するために複数のタイプの静電チャックの使用が必要となる異なる性質を有する。既存の静電チャック（ｅｃｈｕｃｋｓ：ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ ｃｈｕｃｋｓ）は、特定の種類の基板に限定されており、効果がないか、または他のタイプの基板と互換性がない。

既存の静電チャックは、一意に双極または単極のいずれかである。パッケージ基板を現行の静電チャックによってチャッキングすることは、基板の固有の特性が単極型または双極型のチャック方法を必要とし得るので、課題となる可能性がある。場合によっては、チャック方法の組み合わせを使用して、基板をデチャックできる。

したがって、双極型静電チャックと単極型静電チャックの両方として動作することができる静電チャックが必要とされている。

本発明の１つまたは複数の実施形態は、第１の電源によって第１の電力で電力供給される第１の電極、第２の電源によって第２の電力で電力供給される第２の電極、ならびに第１の電源および第２の電源に接続されたコントローラを備える静電チャックに関する。第１の電力は、第１の電圧および基板を基準として正または負の極性を有する。第２の電力は、第２の電圧および基板を基準として正または負の極性を有する。コントローラは、第１の電力の極性を制御し、第１の電力の電圧を制御し、第２の電力の極性を制御し、および／または第２の電力の電圧を制御するように構成される。

本開示の追加の実施形態は、基板をチャッキングする方法に関する。本方法は、単極性材料または双極性材料を含む第１の基板を、いくつかの実施形態の静電チャックに近接して配置することを含む。第１の電力および第２の電力が一致する極性を有する場合には、第１の基板は単極性材料を含み、第１の電力および第２の電力が反対の極性を有する場合には、第１の基板は双極性材料を含む。静電チャックが作動して、第１の基板を静電チャックにチャッキングする。第１の基板は、静電チャックからデチャックされる。単極性材料または双極性材料を備える第２の基板は、静電チャックに近接して配置される。第１の基板が単極性材料を含む場合、第２の基板は、双極性材料を含むか、またはその逆である。第１の電源または第２の電源の極性は切り替わる。静電チャックが作動して、第２の基板を静電チャックにチャッキングする。

本開示のさらなる実施形態は、静電チャックのコントローラによって実行されるときに、第１の電力が第１の極性および第１の電圧を有し、第１の電極に第１の電力を供給する動作、第２の電力が第２の極性および第２の電圧を有し、第２の電力を第２の電極に供給する動作、およびチャックされる材料に基づいて第１の極性および第２の極性を変更する動作を静電チャックに実行させる命令を含むコンピュータ可読媒体に関する。

本開示の上記の特徴を詳細に理解することができるように、上記で簡単に要約した本開示のより具体的な説明を、添付の図面に示されるいくつかの実施形態を参照して行い得る。しかしながら、添付の図面は本開示の典型的な実施形態のみを示し、したがって、本開示は他の等しく有効な実施形態を認め得るので、本開示の範囲を限定すると見なされるべきではないことに留意されたい。

本開示の１つまたは複数の実施形態による単極型静電チャックの例示的な図を示す。 本開示の１つまたは複数の実施形態による双極型静電チャックの例示的な図を示す。 本開示の１つまたは複数の実施形態によるセンタータップ式電圧フィードバック部を備える静電チャックの例示的な図を示す。 本発明の１つまたは複数の実施形態による処理方法を示す。 本発明の１つまたは複数の実施形態による処理方法を示す。

本開示の例示的ないくつかの実施形態を説明する前に、本開示は、以下の説明に記載される構造または処理工程の細部に限定されないことを理解されたい。本開示は、他の実施形態が可能であり、かつ様々な方法で実践しまたは実行されることが可能である。

本明細書および添付の特許請求の範囲で使用されるように、「基板」という用語は、プロセスが作用する表面または表面の一部を指す。また、基板への言及は文脈上特に明確に示さない限り、基板の一部のみを指すことができることも当業者には理解されるのであろう。

本明細書で使用される「基板」は、任意の基板または処理が実行される基板上に形成される材料表面を指す。例えば、処理を実行できる基板表面には、用途に応じて、ケイ素、酸化ケイ素、ストレインドシリコン、シリコンオンインシュレータ（ＳＯＩ）、炭素ドープ酸化ケイ素、アモルファスシリコン、ドープドシリコン、ゲルマニウム、ヒ化ガリウム、ガラス、サファイヤ、および金属、金属窒化物、合金のような任意の他の材料、ならびに他の導電性または非導電性材料のような材料が挙げられる。

本開示の実施形態は、様々な材料の基板をチャッキングおよびデチャッキングするための装置、方法、およびコントローラに関する。本開示のいくつかの実施形態は、有利なことに、単極構成と双極構成との間を容易に変更することができる静電チャックを提供する。いくつかの実施形態では、静電チャックは、単極性材料と双極性材料の両方をチャッキング／デチャッキングすることが可能である。

本開示のいくつかの実施形態は、有利なことに、単独で可逆的な電源を提供する。いくつかの実施形態では、各電源は電極に接続されている。各電極に供給される電力の極性が同じである場合、静電チャックは単極型静電チャックとして動作する。各電極に供給される電力の極性が異なる場合、静電チャックは双極型静電チャックとして動作する。

本開示のいくつかの実施形態は、有利なことに、センタータップ式フィードバック部を提供する。理論に束縛されることではないが、プラズマまたは他の処理方法を使用することで、静電チャックを基準として基板にバイアスをかけ得ると考えられる。いくつかの実施形態では、センタータップ式フィードバック部は、静電チャックを基準として基板上の任意のバイアスを測定する。各電極に供給される電圧（特に、双極型静電チャックにおいて）は、各電極でほぼ同じチャック力を与えるためにオフセットされ得る。

図１を参照すると、単極型静電チャック１１０の例示的な図が示されている。静電チャック１１０は、静電チャックを基準として基板１２０を定位置に保つ。基板１２０は、単極性材料を含む。この点に関して使用される場合、「単極性材料」は、単極型静電チャックによって定位置に保持されることが可能な任意の材料である。

図１に示される静電チャックは、第１の電極１４２および第２の電極１４４を備える。当業者であれば、すべての単極型静電チャックが２つの電極を必要とするとは限らないことを理解するのであろう。しかしそれでも、本開示のいくつかの実施形態では、静電チャックは少なくとも２つの電極を備える。

第１の電極１４２は、第１の電源１３２によって電力供給される。第１の電源１３２は、第１の極性および第１の電圧を有する第１の電力を第１の電極１４２に供給する。同様に、第２の電極１４４は、第２の電源１３４によって電力供給される。第２の電源１３４は、第２の極性および第２の電圧を有する第２の電力を第２の電極１４４に供給する。

以下でさらに論じられるように、図２とは対照的に、単極型静電チャックについては、第１の極性および第２の極性は同一である。図１において電極では正極性が示されるが、正極性または負極性のいずれも本開示の範囲内である。いくつかの実施形態では、第１の電圧および第２の電圧も、ほぼ同一である。

図２を参照すると、双極型静電チャック２１０の例示的な図が示されている。静電チャック２１０は、静電チャック２１０を基準として基板２２０を定位置に保つ。基板２２０は、双極性材料を含む。この点に関して使用される場合、「双極性材料」は、双極型静電チャックによって定位置に保持されることが可能な任意の材料である。

理論に束縛されるものではないが、多くの材料は単極性材料または双極性材料のいずれかであると考えられる。いくつかの材料は、単極型静電チャックと双極型静電チャックの両方によって処理することが可能であるが、これらの材料はわずかであると考えられる。いずれの静電チャックタイプによって処理可能であるかに関係なく、すべての材料は、単極または双極型静電チャックのいずれかに有利に働く処理の容易さを示すと考えられる。

図２に示される静電チャックは、第１の電極２４２および第２の電極２４４を備える。いくつかの実施形態では、静電チャック２１０は少なくとも２つの電極を備える。

第１の電極２４２は、第１の電源２３２によって電力供給される。第１の電源２３２は、第１の極性および第１の電圧を有する第１の電力を第１の電極２４２に供給する。同様に、第２の電極２４４は、第２の電源２３４によって電力供給される。第２の電源２３４は、第２の極性および第２の電圧を有する第２の電力を第２の電極２４４に供給する。

上述のように、双極型静電チャックについては、第１の極性と第２の極性は異なっている。図２において第１の電極２４２では負極性を示すと共に第２の電極２４４では正極性を示しているが、反対の極性も本開示の範囲内である。いくつかの実施形態では、第１の電圧および第２の電圧も、ほぼ同一である。

図３は、図２と同様の双極型静電チャックを示す。図３では、センタータップ式電圧フィードバック部３１０が追加されている。センタータップ式電圧フィードバック部３１０は、基板２２０上に存在する任意のバイアスを測定する。

いくつかの実施形態では、センタータップ式電圧フィードバック部３１０は、第１の電極２４２と第２の電極２４４の上方の領域との間の基板２２０上に配置される。理論に拘束されるものではないが、センタータップ式電圧フィードバック部３１０を第１の電極２４２と第２の電極２４４との間に位置決めする際に、センタータップ式電圧フィードバック部３１０の読み取りに関して第１の電力および第２の電力に影響がある場合には、その影響は最小限に抑えられると考えられる。

いくつかの実施形態では、静電チャックが双極型静電チャックとして動作しているとき、センタータップ式電圧フィードバック部３１０は第１の電源２３２および第２の電源２３４の共通の接地点を基準とする。いくつかの実施形態では、静電チャックが単極型静電チャックとして動作しているとき、センタータップ式電圧フィードバック部３１０は第１の電源２３２および第２の電源２３４から絶縁される。

バイアスは、どんな理由にせよ基板２２０上に存在し得る。いくつかの実施形態では、基板２２０の上方の処理空間におけるプラズマの使用により基板２２０にバイアスがかけられる。

いくつかの実施形態では、各電極でほぼ同一のチャック力を維持するために、センタータップ式電圧フィードバック部３１０の出力を使用して、第１の電力および第２の電力を調整する。

チャック力は電圧に比例する。したがって、基板がバイアスを持たない場合には、ほぼ同一の電圧を供給することにより、各電極でほぼ同一のチャック力が供給される。双極型静電チャックに対しては、第１の電力および第２の電力は反対の極性を有するが、ほぼ同一の電圧を有することになる。例えば、＋１５０Ｖの第１の電力および－１５０Ｖの第２の電力は、各電極でほぼ同一のチャック電力をもたらすことが期待されるであろう。

しかし、基板にバイアスをかけると、バイアスが不均一に電圧に影響し、したがって各電極で不均一にチャック力に影響を及ぼすことになる。例えば、前例が－３０Ｖでバイアスがかけられた基板を有する場合、第１の電力は＋１２０Ｖに相当し、その一方で、第２の電力は－１８０Ｖに相当するであろう。いくつかの実施形態では、第１の電力および第２の電力は任意の基板バイアスを相殺するように独立して制御され得る。上記の例を続けると、第１の電力は＋１８０Ｖに調整され、第２の電力は－１２０Ｖに調整され得る。したがって、各電極における実効電圧は、それぞれ＋１５０Ｖおよび－１５０Ｖとなる。

本開示のいくつかの実施形態は、第１の電極および第２の電極を備える静電チャックを提供する。第１の電極は、第１の電源によって第１の電力で電力供給される。第１の電力は、第１の電圧および正または負の極性を有する。第２の電極は、第２の電源によって第２の電力で電力供給される。第２電力は、第２電圧および正または負の極性を有する。

第１の電源および第２の電源は、独立して制御可能である。いくつかの実施形態では、第１の電力および／または第２の電力の極性を制御し得る。いくつかの実施形態では、第１の電力および第２の電力の極性は同一である。これらの実施形態では、静電チャックは単極型静電チャックとして動作する。いくつかの実施形態では、第１の電力および第２の電力の極性は異なっている。これらの実施形態では、静電チャックが双極型静電チャックとして動作する。

いくつかの実施形態では、第１の電圧および／または第２の電圧を制御し得る。いくつかの実施形態では、第１の電圧および第２の電圧は、ほぼ同一である。いくつかの実施形態では、第１の電圧および第２の電圧は約３ｋＶ以下である。

いくつかの実施形態の静電チャックは、第１の電力および第２の電力の極性に応じて、単極および双極型静電チャックとして動作し得る。このようにして、いくつかの実施形態の静電チャックは、単極性材料および双極性材料を含む基板を処理することが可能である。

いくつかの実施形態では、静電チャックは、センタータップ式電圧フィードバック部を備える。いくつかの実施形態では、センタータップ式電圧フィードバック部は、ＲＦフィルタを備える。いくつかの実施形態では、第１の電源および／または第２の電源は、ＲＦフィルタを備える。いくつかの実施形態では、ＲＦフィルタは、センタータップ式電圧フィードバック部、第１の電源、および第２の電源に共通である。いくつかの実施形態では、ＲＦフィルタは、１３．５６ＭＨｚ、４０ＭＨｚまたは６０ＭＨｚのうち１つまたは複数で動作する。

本開示のいくつかの実施形態は、いくつかの実施形態の静電チャックを動作するための方法に関する。図４を参照すると、本開示の方法４００は、静電チャックに近接して第１の基板を配置することによって、４１０から開始する。第１の基板は、単極性材料または双極性材料を含む。静電チャックは第１の電源および第２の電源によって上述され、第１の電力および第２の電力をそれぞれ第１の電極および第２の電極に供給する。

方法４００は、静電チャックに第１の基板をチャッキングするために、静電チャックを作動させることによって４２０に続く。上述したように、第１の基板が単極性材料を含む場合、第１の電力および第２の電力は一致する極性を有し、静電チャックは単極型チャックとして動作する。あるいは、第１の基板が双極性材料を含む場合、第１の電力および第２の電力は反対の極性を有し、静電チャックは双極型チャックとして動作する。

このようにして、いくつかの実施形態の静電チャックを使用して、単極性材料または双極性材料のいずれかのうち第１の基板をチャッキングすることができる。本開示のいくつかの装置および方法は、単極性材料を含む基板または双極性材料を含む基板のいずれかを、静電チャックにいかなる物理的変化も必要とせずにチャッキングすることができる。

いくつかの実施形態では、方法４００は、第１の基板をデチャッキングすることによって４３０に続く。４４０では、第２の基板が静電チャックに近接して配置される。第１の基板が単極性材料を含む場合、第２の基板は双極性材料を含むか、またはその逆である。４５０では、第１の電源または第２の電源の極性が切り替わる。当業者は、工程４４０および４５０が任意の順序で実行され得ることを認めるであろう。方法４００は、静電チャックに第２の基板をチャッキングするために、静電チャックを作動させることによって４６０に続く。

このようにして、いくつかの実施形態の静電チャックは、単極性材料を含む基板、および双極性材料を含む基板をチャッキングするために使用することができる。本開示のいくつかの装置および方法は、単極性材料を含む基板と双極性材料を含む基板の両方を、静電チャックにいかなる物理的変化も必要とせずにチャッキングすることができる。

図５を参照すると、本開示の別の方法５００は、静電チャックに近接して基板を配置することによって５１０から開始する。静電チャックは、双極型静電チャックおよびセンタータップ式電圧フィードバック部を備える。５２０では、静電チャックが作動して基板をチャッキングする。５３０では、基板がプラズマに曝される。プラズマに曝された後、基板は静電チャックを基準としてバイアスを発生させる。５４０では、基板と静電チャックとの間のバイアスが測定され、Ｃ－Ｔ電圧が印加される。最後に、５５０では、第１の電圧および第２の電圧がＣ－Ｔ電圧によってオフセットされる。

いくつかの実施形態では、センタータップ式電圧フィードバック部が断続的に動作する。いくつかの実施形態では、静電チャックは、センタータップ式電圧フィードバック部を有効化および無効化するためのゲートまたはスイッチを備える。理論に束縛されるものではないが、Ｃ－Ｔ電圧を絶縁するには、センタータップ式電圧フィードバック部を連続的ではなく断続的に動作させる必要があると考えられる。

本開示のいくつかの実施形態は、開示された方法を実効するための一般的な静電チャックに関する。いくつかの実施形態では、静電チャックが第１の電源、第２の電源、またはセンタータップ式電圧フィードバック部のうち１つまたは複数に連結された少なくとも１つのコントローラを備える。いくつかの実施形態では、個々の構成要素に接続された２つ以上のコントローラがあり、主要な制御プロセッサは、静電チャックを制御するために別々のコントローラまたはプロセッサの各々に連結される。コントローラは、様々な要素および／またはサブプロセッサを制御するために工業用の設定で使用することができる、任意の形態の汎用コンピュータプロセッサ、マイクロコントローラ、マイクロプロセッサなどのうちの１つであり得る。

少なくとも１つのコントローラは、プロセッサ、プロセッサに連結されたメモリ、プロセッサに連結された入出力装置、および異なる電子構成要素間で通信するための支援回路を有することができる。メモリは、一時メモリ（例えば、ランダムアクセスメモリ）および非一時メモリ（例えば、ストレージ）のうち１つまたは複数を含むことができる。

プロセッサのメモリまたはコンピュータ可読媒体は、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、読み取り専用メモリ（ＲＯＭ）、フロッピーディスク、ハードディスク、もしくは任意の他の形式のデジタルストレージ、ローカルまたはリモートなどの、１つまたは複数の容易に利用可能なメモリであり得る。メモリは、静電チャックのパラメータおよび構成要素を制御するためにプロセッサによって操作可能な命令セットを保有することができる。支援回路は、従来の方法でプロセッサを支援するためにプロセッサに連結される。回路は、例えば、キャッシュ、電源、クロック回路、入力／出力回路、サブシステムなどを含み得る。

プロセスは、一般的に、プロセッサによって実行されると、静電チャックに本開示のプロセスを実行させるソフトウェアルーチンとしてメモリに保存され得る。ソフトウェアルーチンはまた、プロセッサによって制御されるハードウェアから遠隔に位置する第２のプロセッサ（図示せず）によって記憶および／または実行され得る。本開示の方法の一部またはすべてはまた、ハードウェアで実行され得る。このように、本プロセスはソフトウェアに実装され、コンピュータシステムを用いて、例えば、特定用途向け集積回路または他のタイプのハードウェア実装としてのハードウェア、またはソフトウェアとハードウェアの組み合わせとしてのハードウェアにて実行され得る。ソフトウェアルーチンは、プロセッサによって実行されると、汎用コンピュータを、開示されたプロセスを実行するように静電チャックの動作を制御する特定用途コンピュータ（コントローラ）に変換する。

いくつかの実施形態では、コントローラは、開示された方法を実行するために、個々のプロセスまたはサブプロセスを実行するための１つまたは複数の構成を有する。コントローラは、本方法の機能を実行するために中間構成要素に接続され、動作するように構成することができる。例えば、コントローラは、ガスバルブ、アクチュエータ、電源、ヒータ、バキューム制御などのうち１つまたは複数を制御するように接続し、構成することができる。

いくつかの実施形態のコントローラまたは非一時的コンピュータ可読媒体は、第１の電力の極性を制御するための構成、第１の電力の電圧を制御するための構成、第２の電力の極性を制御するための構成、第２の電力の電圧を制御するための構成、静電チャックを基準として基板上のバイアスを測定するための構成、センタータップ式電圧フィードバック部を作動／停止させるための構成、第１の電極および第２の電極でチャック力のバランスをとるための構成、および／または基板をチャッキング／デチャッキングするための構成から選択される１つまたは複数の構成を有する。

本明細書全体を通して、「一実施形態」、「特定の実施形態」、「１つまたは複数の実施形態」または「ある実施形態」への言及は、実施形態に関連して記載された特定の特徴、構造、材料、または特性が本開示の少なくとも１つの実施形態に含まれることを意味する。このように、本明細書全体の様々な箇所における「１つまたは複数の実施形態では」、「特定の実施形態では」、「一実施形態では」、または「ある実施形態では」といった語句の出現は、必ずしも本開示の同一の実施形態を指すものではない。そのうえ、特定の特徴、構造、材料、または特性は、任意の適切な方法で１つまたは複数の実施形態に組み込まれ得る。

本明細書の開示は特定の実施形態を参照して記載されてきたが、当業者は、記載された実施形態が本開示の原理および出願の単なる例示であることを理解するのであろう。本開示の趣旨および範囲から逸脱することなく、本開示の方法および装置に様々な変更および変形ができることは、当業者には明らかであろう。このように、本開示は、添付の特許請求の範囲およびそれらの均等物の範囲内にある変更および変形を含むことができる。

Claims (15)

1. 静電チャックであって、
   第１の電源によって第１の電力で電力供給される第１の電極であって、前記第１の電力が第１の電圧および基板を基準として正または負の極性を有する、第１の電極と、
   第２の電源によって第２の電力で電力供給される第２の電極であって、前記第２の電力が第２の電圧および前記基板を基準として正または負の極性を有する、第２の電極と、
   前記基板と前記静電チャックとの間のバイアスを測定するセンタータップ式電圧フィードバック部と、
   前記第１の電源および前記第２の電源に接続されたコントローラであって、前記コントローラが前記第１の電力の前記極性、前記第１の電圧、前記第２の電力の前記極性、または前記第２の電圧のうち１つまたは複数を制御することによって、前記第１の電力の極性と前記第２の電力の極性とを同一または異なる極性に切り替えるように、かつ、前記センタータップ式電圧フィードバック部の出力を使用して、前記第１の電極および前記第２の電極のチャック力のバランスをとるように構成される、コントローラと、を備え、
   前記第１の電力および前記第２の電力の前記極性が同一の場合、前記センタータップ式電圧フィードバック部は、前記第１の電源および前記第２の電源から絶縁される、静電チャック。
2. 前記第１の電圧および前記第２の電圧は、３ｋＶ以下である、請求項１に記載の静電チャック。
3. 前記第１の電力および前記第２の電力の前記極性が同一の場合、前記第１の電圧と前記第２の電圧は、ほぼ同一である、請求項１に記載の静電チャック。
4. 前記第１の電力および前記第２の電力の前記極性が異なる場合、前記センタータップ式電圧フィードバック部は、前記第１の電源および前記第２の電源の共通の接地点を基準とする、請求項１に記載の静電チャック。
5. 前記センタータップ式電圧フィードバック部は、ＲＦ周波数フィルタを備える、請求項１に記載の静電チャック。
6. 前記ＲＦ周波数フィルタは、１３．５６ＭＨｚまたは６０ＭＨｚのうち１つまたは複数で動作する、請求項５に記載の静電チャック。
7. 基板をチャッキングする方法であって、
   静電チャックに近接して基板を配置することであって、前記静電チャックは、
   第１の電源によって第１の電力で電力供給される第１の電極であって、前記第１の電力が第１の電圧および前記基板を基準として正または負の極性を有する、第１の電極と、
   第２の電源によって第２の電力で電力供給される第２の電極であって、前記第２の電力が第２の電圧および前記基板を基準として正または負の極性を有する、第２の電極と、
   前記基板と前記静電チャックとの間のバイアスを測定するセンタータップ式電圧フィードバック部であって、前記センタータップ式電圧フィードバック部の出力を使用して、前記第１の電極および前記第２の電極のチャック力のバランスをとるように構成される、センタータップ式電圧フィードバック部と、
   前記第１の電源および前記第２の電源に接続されたコントローラであって、前記コントローラが前記第１の電力の前記極性、前記第１の電圧、前記第２の電力の前記極性、または前記第２の電圧のうち１つまたは複数を制御することによって、前記第１の電力の極性と前記第２の電力の極性とを同一または異なる極性に切り替えるように構成される、コントローラと、を備える、静電チャックに近接して基板を配置することと、
   前記静電チャックを作動させることと、
   前記基板をプラズマに曝すことと、
   前記基板と前記静電チャックとの間のバイアスを測定することと、
   前記第１の電極および前記第２の電極のチャック力のバランスをとるために、前記第１の電圧および前記第２の電圧を、測定した前記バイアスに基づいてオフセットすることと
   を含み、
   前記第１の電力および前記第２の電力の前記極性が同一である場合、前記センタータップ式電圧フィードバック部は、前記第１の電源および前記第２の電源から絶縁される、基板をチャッキングする方法。
8. 前記センタータップ式電圧フィードバック部は、ＲＦ周波数フィルタを備える、請求項７に記載の方法。
9. 前記ＲＦ周波数フィルタは、１３．５６ＭＨｚまたは６０ＭＨｚのうち１つまたは複数で動作する、請求項８に記載の方法。
10. 前記センタータップ式電圧フィードバック部は、断続的に動作する、請求項７に記載の方法。
11. 前記第１の電力および前記第２の電力の前記極性が同一である場合、前記第１の電圧および前記第２の電圧は、ほぼ同一である、請求項７に記載の方法。
12. 前記第１の電力および前記第２の電力の前記極性が異なる場合、前記センタータップ式電圧フィードバック部は、前記第１の電源および前記第２の電源の共通の接地点を基準とする、請求項７に記載の方法。
13. 基板をチャッキングする方法であって、
    単極性材料または双極性材料を含む第１の基板を静電チャックに近接して配置することであって、前記静電チャックは、
    第１の電源によって第１の電力で電力供給される第１の電極であって、前記第１の電力が第１の電圧および基板を基準として正または負の極性を有する、第１の電極と、
    第２の電源によって第２の電力で電力供給される第２の電極であって、前記第２の電力が第２の電圧および前記基板を基準として正または負の極性を有する、第２の電極と、を備える、第１の基板を配置することと、
    前記静電チャックを作動させることと、
    センタータップ式電圧フィードバック部が、前記基板と前記静電チャックとの間のバイアスを測定することと、
    コントローラが、前記第１の電極および前記第２の電極のチャック力のバランスをとるために、前記第１の電圧および前記第２の電圧を、測定した前記バイアスに基づいてオフセットすることと
    を含み、
    前記第１の電力および前記第２の電力が一致する極性を有する場合には、前記第１の基板は単極性材料を含み、前記第１の電力および前記第２の電力が反対の極性を有する場合には、前記第１の基板は双極性材料を含み、
    前記第１の電力および前記第２の電力が一致する極性を有する場合には、前記センタータップ式電圧フィードバック部は、前記第１の電源および前記第２の電源から絶縁される、基板をチャッキングする方法。
14. 前記第１の基板が単極性材料を含む場合、前記第１の電圧および前記第２の電圧は、ほぼ同一である、請求項１３に記載の方法。
15. 前記第１の基板をデチャッキングすることと、
    前記第１の基板とは異なる単極性材料または双極性材料を含む第２の基板を前記静電チャックに近接して配置することと、
    前記第１の電源または前記第２の電源の前記極性を切り替えることと、
    前記静電チャックを作動させることと、をさらに含む、請求項１３に記載の方法。

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