JP2016171291A - 減圧処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエーハWの加工処理後に静電チャック3と上部電極との間への高周波電圧の印加を停止し、搬送パッド8の吸引保持面81を加工処理したウエーハWの上面W1に接触させてウエーハWをアースに接続しウエーハWの上面W1側に帯電した正電荷を除去するとともに吸引保持面81を吸引源86に連通させてウエーハWを吸引保持し、駆動手段87が静電チャック3から板状ワークWを離反させチャンバからウエーハWを搬出する。
【選択図】図8
Description
なお、下部電極33に印加する電圧は負電圧でも良い。
2:チャンバ
20:ハウジング 21:上壁 211:絶縁体
22:下壁 221:絶縁体 222:開閉口
23:側壁 24:開閉口
25:シャッター
26:シャッター開閉手段 261:シリンダ 262:ピストン
3:静電チャック 30:軸部 31:テーブル部 32:吸着面 320:吸引孔
33:下部電極 34:吸引路 35:冷却水流通路 36:導電部
4:上部電極
40:軸部 41:板状部 42:下面 420:ガス噴出孔 43:ガス流通路
44:昇降手段 441:シリンダ 442:ピストンロッド 443:ブラケット
50:吸引源 51:冷却水供給手段 52:バルブ 53:減圧手段
55:反応ガス供給源
71:高周波電源 72:直流電源 720:スイッチ
8:搬出手段
81:吸引保持面 82:搬送パッド 83:枠体 84:アーム部 85:導通手段
86:吸引源 87:駆動手段 88:昇降移動手段 89:入出移動手段
W:ウエーハ W1:上面 W2:下面
Claims (1)
- 下部電極を有しウエーハの下面を静電吸着により吸着保持する静電チャックと、該静電チャックの吸着面に対面して該静電チャックの上方に配設される上部電極と、該静電チャックと該上部電極とを収容するチャンバと、該チャンバ内を減圧する減圧手段と、該チャンバ内に反応ガスを供給するガス供給手段と、該静電チャックに高周波電圧を印加し該チャンバ内に供給された該反応ガスをプラズマ化させることにより上面が加工処理されたウエーハを該静電チャックから離反させ該チャンバから搬出する搬出手段と、を備える減圧処理装置であって、
該搬出手段は、ウエーハの上面を吸引保持する吸引保持面を有する導電性の搬送パッドと、該吸引保持面をアースに導通させる導通手段と、該吸引保持面に吸引保持したウエーハを該静電チャックから離反させる駆動手段と、を備え、
ウエーハの加工処理後に高周波電圧の印加を停止し、該搬送パッドの該吸引保持面を該加工処理したウエーハの上面に接触させてウエーハをアースに接続しウエーハの上面側に帯電した電荷を除去するとともに該吸引保持面を吸引源に連通させてウエーハを吸引保持し、該駆動手段が該静電チャックから板状ワークを離反させ該チャンバからウエーハを搬出することを特徴とする減圧処理装置。
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Citations (6)
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2015
- 2015-03-16 JP JP2015051884A patent/JP2016171291A/ja active Pending
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