KR101686821B1 - X선 발생기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 고전압 발생기와 상호 탈부착 가능한 X선 발생기의 구조에 관한 것이다.
본 발명에서 제안하는 고전압 발생기와 탈부착 가능한 X선 발생기는, 한쌍의 도전성 와이어를 통하여 고전압을 수신하여 X선을 방사하는 X선 튜브와, 후단부가 한쌍의 상기 도전성 와이어와 결합되며 소정 길이를 갖는 한쌍의 도전성 핀과, 제 1 단부를 통하여 한쌍의 상기 도전성 핀의 전단부를 삽입 가능하게 하고 제 2 단부를 통하여 상기 제 1 단부를 통하여 삽입된 한쌍의 상기 도전성 핀의 상기 전단부를 노출시키는 관통 내관이 형성되어 있는 원통형의 커넥터와, 상호 결합된 상기 X선 튜브, 한쌍의 상기 도전성 핀 및 상기 커넥터를 일체로 내장하기 위한 제 1 중공부가 형성되어 있는 몰딩 케이스와, 상기 몰딩 케이스를 내장하는 제 2 중공부가 형성되어 있는 외장 케이스를 구비한다.
본 발명의 경우, X선 튜브와 결합되는 소정 길이를 갖는 한쌍의 도전성 핀이 외력 또는 고전압 발생기의 암 체결부 전극과의 결합시 휘어지거나 절곡될 수 있는 위험을 제거하기 위하여 외력에 의한 휘어짐 등을 방지하기 위하여 도전성 핀을 삽입시켜 고정 안착시킬 수 있는 커넥터를 제공함으로써 단품으로 제공되는 X선 발생기의 도전성 핀 훼손 가능성을 사전에 차단할 수 있다 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 X선 발생기는 고전압 발생기와 상호 분리하여 선택적인 납품이 가능하므로 정전기 제거 장치의 교체 비용이 절감되는 효과도 있다.

Description

X선 발생기{X-ray generator}

본 발명은 X선을 발생하는 장치에 사용하는 X선 발생기에 관한 것으로, 보다 구체적으로 고전압 발생기와 상호 탈부착 가능한 X선 발생기의 구조에 관한 것이다.

일반적으로 액정판넬(LCD), PDP 및 반도체 제조공정 등에는 정전기 발생으로 인하여 미세한 먼지가 LCD, PDP 및 반도체 wafer에 부착되거나 정전기 방전으로 인하여 소자의 훼손이 야기되어 제품의 수율이 저하되고 이로 인하여 제조원가가 상승하는 부작용이 발생하고 있다.

이 때문에 반도체 공정 등이 이루어지는 클린룸에서는 정전기 제거를 위한 장치가 설치되는 것이 일반적이다.

이러한 정전기 제거를 위한 종래 기술로 코로나 방전을 이용한 정전기 제거 장치가 있다.

이 장치는 코로나 방전에 의해 이온을 발생시키고 이온화된 공기를 불어내기 위하여 Fan을 사용하여 공기를 대류시키는 방식을 채택하고 있다.

그런데, 이러한 정전기 제거 장치의 경우 고전압 방전에 의한 스퍼터링 현상으로 방전 전극의 끝 부분에 0.01㎛ 이하의 금속미립자가 엄청나게 (수만 개/ft 3 ) 발생하여 부착되었다가 팬에 의한 강제대류로 떨어지면서 반도체, PDP 및 LCD 패턴 주위에 부착되어 많은 불량을 야기하고 있다.

또한 코로나 방전을 이용한 정전기 제거 장치의 경우, 고전압 방전시 발생하는 오존 가스가 4 ~ 10ppm 정도나 되어 분진의 부착을 유발하는 역할을 할 뿐만 아니라 생성된 ＋이온과 －이온의 Balance가 수시로 바뀌어 그때마다 이온 Balance를 재조정해 주어야 하는 불편함이 있다.

이에 대한 대책으로 최근에는 연X선(soft X-ray)의 공기전리 작용을 이용하여 공기를 이온화함으로써 피대전체의 정전기를 중화 또는 완화시키는 방법이 제안되고 있다.

연X선 조사식의 경우 미세먼지가 발생하지 않고 공기를 대류시킬 필요도 없없기 때문에 평판 디스플레이 제조 공정 및 반도체 제조 공정의 정전기 제거에 적합한 방식으로 알려지고 있다.

연X선 조사식의 정전기 제거 장치의 일예로 미국특허 제 5,949,849 호가 있다.

이 특허에 따른 정전기 제거장치는 보호케이스, 연X-선을 발생하는 X-선관, 전원장치를 구비하고 있고, X-선관은 벌브, 캐소드, 출력창, 출력창 지지부, 플랜지부, 타겟을 구비하고 있고, 이들 X-선관 내부 구성요소들과 보호케이스는 서로 열적 및 전기적으로 연결되어 있다.

연X선 조사식의 정전기 제거 장치의 다른 일예로 일본특허 제 2951477 호가 있다.

이 특허는 정전기 제거 기술에 대한 것으로, 정전기를 제거할 소정의 대전물체가 배치된 분위기에 대해서 X선을 조사하는 위치에, 소정의 타겟 전압 및 타겟 전류가 부여되는 타겟을 내장함과 동시에 베릴륨(Be) 창을 갖는 X선관을 배치하고, 상기 베릴륨창으로부터 주파장이 2 옹스트론 이상 20 옹스트론 이하 범위의 상기 X선이 조사되는 영역의 상기 분위기에 포함되는 원소를 이온화하는 것에 의해, 상기 이온을 포함하는 상기 분위기 중에 어떤 상기 소정 대전물체의 정전기를 제거하는 기술이다.

연X선 조사식의 정전기 제거 장치의 또 다른 일예로 일본회사인 하마마츠 포토닉스가 출원한 발명의 명칭이 "Ｘ선 발생 장치 및 이것을 사용한 정전기 제어기(한국특허출원번호 제10-2004-0089634호)가 있다.

이 발명에서 개시된 X-선 발생 장치는, 벌브의 선단에 설치된 도전성 및 열전도성의 출력창 지지부에 고정된 출력창의 내면에, 접지 전위를 가지는 표적이 고착되고, 상기 표적에 향하여 전자빔을 조사하는 음극을 가진 X-선관과, 이 X-선관을 구동하는 전원부를 보호 용기내에 수용하고, 상기 출력창 지지부에 형성되어 외측으로 돌출하는 플랜지부를, 열전도성을 가지는 상기 보호 용기에 접촉시키고 또한 고정시킨 것을 기술적 사상의 일 요지로 제안하고 있다.

도 1은 하마마츠 포토닉스가 특허출원한 도면에 개시되어 있는 정전기 제거 장치의 일예를 보여준다(도 1에서 부호 22 는 전원 용기, 부호 8은 X-선관, 부호 15는 축핀, 부호 32는 음극인입선을 나타내며, 나머지 도 1에 표기된 부호에 대한 설명은 www.kipris.or.kr을 통하여 조회 가능하므로 본 발명의 출원에서는 그 설명을 생략하기로 한다).

참고로, 도 1의 전원 용기(22)는 후술하는 본 발명의 고전압 발생부에 대응하고 X-선관(8)은 본 발명의 X선 발생부에 대응하고, 이들을 상호 연결하는 도전성 연결선인 축핀(15)와 음극 인입선(32)은 본 발명의 기술적 사상인 탈부착 가능한 연결 접속부에 대응하는 부분으로 이에 대하여는 본 발명의 상세한 설명에서 후술될 것이다.

다음, 도 2 내지 도 5는 종래 정전기 제거 장치의 실사 도면으로 도 2는 전체 외관도, 도 3 및 도 4는 상부 케이스를 개봉한 경우의 내부 구성도, 그리고 도 5는 도 3 및 도 4에서 도시된 고전압 발생부와 X선관(X선 발생부)를 연결 부위인 전선을 확대한 사진이다.

참고로 도 3 내지 도 4에 도시된 바와 같이 대부분의 정전기 제거 장치의 구성은 크게 촤측에 설치되는 고전압 발생부와 우측에 설치되는 X선 발생부로 구분할 수 있다.

이러한 종래의 연X선 조사식(이하, X선 조사식이라고 약칭하기로 한다)은 그 구성의 일부 차이에도 불구하고 기본적으로 외부전원을 공급받아 고전압을 발생시키는 전장부인 고전압 발생부와 이 고전압 발생부에서 출력되는 소정의 고전압을 공급받아 X선을 발생시키는 X선관(이하, X선 발생부라고 한다)으로 이루어진다.

그런데 위에서 설명한 종래의 연X선 조사식의 정전기 제거 장치들은 외부 전원을 인가받아 고전압을 발생시키는 고전압 발생부와 고전압 발생부의 고전을 공급받는 X선관이 하나의 케이스내에 일체로 구성되어 시판되는 까닭에 다음과 같은 문제점을 안고 있다.

첫째, 고전압 발생부와 X선 발생부중 어느 하나에 하자가 발생한 경우 하자가 발생한 부분에 대한 교체가 불가능하여 제품 전체를 교체하여야 하는 문제점이 있었고,

둘째, 고전압 발생부와 X선 발생부가 일체형인 까닭에 정전기 제거 장치를 설치한 상태에서 X선의 조사 위치나 방향을 변경하는 경우 설치 장소에서 정전기 제거 장치를 분리하여 이동시켜야 하는 문제점이 있었고,

셋째, X선 발생부에서 발생하는 높은 열로 인하여 고전압 발생부의 전장부가 오동작으로 일으킬 우려가 있었다.

이에 본 출원인은 2013년02월15일 특허출원번호가 제10-2013-0016626호이고 발명의 명칭이 "탈부착 가능한 고전압 발생부와 X선 발생부를 갖는 X선 발생 장치 및 정전기 제거 장치 및 이를 구성하는 고전압 발생부와 X선 발생부"인 선행특허문헌에서 탈부착 가능한 고전압 발생부와 X선 발생부를 갖는 정전기 제거 장치와 이러한 분리 가능한 형태의 고전압 발생부 및 X선 발생부에 대한 기술적 사상을 개시한 바 있다.

도 6a~ 도 6c는 상기 선행특허문헌에 개시되어 있는 분리형 X선 조사식 정전기 제거 장치(이하, 정전기 제거 장치라고 한다)의 일 실시예의 개념을 설명하는 도면이다.

도시된 바와 같이, 선행특허문헌에 개시된 정전기 제거 장치의 구성은 크게 고전압 발생부(200)와 X선 발생부(300)로 이루어진다.

고전압 발생부(200)는 X선 발생부에서 소정의 X선을 발생시키기 위하여 필요한 소정 전압 발생시키는 전장부를 통칭하며, X선 발생부(300)은 고전압 발생부(200)로부터 소정의 고전압을 공급받아 X선을 발생시키는 X선관(주지된 바와 같이, X선관에는 고전압 수신용 전극 단자가 존재하며 이 전극 단자는 전선(31)의 일종단부가 납땜 등에 의하여 결합되어 있다)을 의미하며 X선이 방사되는 조사창 등을 포함하는 개념이다.

종래의 경우 고전압 발생부와 X-선관 등이 하나의 케이스내에 일체로 구성되어 있었으나 본 선행특허문헌에서는 도 6a~ 도 6c에 도시된 바와 같이 서로 다른 케이스에 고전압 발생부(200)와 X선 발생부(300)를 각기 내장시킨 다음 이들을 상호 연결시키는 방식을 제안한다.

즉, 본 선행특허문헌에 개시된 정전기 제거 장치는 고전압 발생부(200)와 X선 발생부(300)가 상호 분리 가능한 구조로 되어 있다.

도 6a ~ 도 6c에 도시된 바와 같이, 선행특허문헌은 고전압 발생부(200)와 X선 발생부(300) 각각에는 소정의 접속부(20, 30)가 형성되고, 상기 접속부(20, 30)를 이용하여 고전압 발생부(200)와 X선 발생부(300)의 탈부착을 용이하게 하는 구조가 개시되어 있음을 알 수 있다.

그러나, 이러한 선행특허문헌에는 고전압 발생부와 탈부착 가능한 X선 발생부를 제작함에 있어서 실제 환경에 적합한 X선 발생부의 구조에 대한 구체적인 실시예를 보여주고 있지는 않았다.

1. 미국특허 제 5,949,849 호 2. 일본특허 제 2951477 호 3. 한국특허출원번호 제10-2004-0089634호 4. 한국특허출원번호 제10-2013-0016626호

이에 본 발명에서는 고전압 발생기와 탈부착 가능한 구조를 갖는 X선 발생기의 구체적인 실시예를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명에서는 X선 발생기를 제작함에 있어 발생할 수 있는 제품 결함을 제거할 수 있는 구조를 갖춘 X선 발생기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에서 제안하는 고전압 발생기와 탈부착 가능한 X선 발생기는,

한쌍의 도전성 와이어를 통하여 고전압을 수신하여 X선을 방사하는 X선 튜브와, 후단부가 한쌍의 상기 도전성 와이어와 결합되며 소정 길이를 갖는 한쌍의 도전성 핀과, 제 1 단부를 통하여 한쌍의 상기 도전성 핀의 전단부를 삽입 가능하게 하고 제 2 단부를 통하여 상기 제 1 단부를 통하여 삽입된 한쌍의 상기 도전성 핀의 상기 전단부를 노출시키는 관통 내관이 형성되어 있는 원통형의 커넥터와, 상호 결합된 상기 X선 튜브, 한쌍의 상기 도전성 핀 및 상기 커넥터를 일체로 내장하기 위한 제 1 중공부가 형성되어 있는 몰딩 케이스와, 상기 몰딩 케이스를 내장하는 제 2 중공부가 형성되어 있는 외장 케이스를 구비한다.

본 발명에 있어서, 상기 커넥터의 내관을 관통하여 노출되는 한쌍의 상기 도전성 핀의 상기 전단부는 상기 외장 케이스 외부로 노출되어 상기 고전압 발생기에 형성되어 있는 암 체결부 전극과 체결되는 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서, 상기 커넥터의 제 2 단부는 상기 외장 케이스 외부로 노출되어 있으며, 노출되어 있는 상기 제 2 단부의 외관에는 상기 고전압 발생기와 일정한 방향으로 삽입 체결 가능하도록 상기 고전압 발생기와의 체결 부위에 대응하는 적어도 하나 이상의 평탄부가 형성되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 상기 커넥터의 외주면 일측에는 탄성 재질의 링이 체결되어 상기 고전압 발생기와의 체결시 밀폐성을 기할 수 있도록 구성하는 것이 바람직할 수 있다.

본 발명에서 제안하는 고전압 발생부와 탈부착이 가능한 X선 발생기는 다음과 같은 효과를 가지고 있다.

고전압 발생기 또는 X 선 발생기 중에서 어느 하나의 부품에 하자가 발생한 경우, 종래의 경우 제품 전체를 교체하여야 하는 경우가 있었다. 그러나, 본 발명의 경우 하자가 발생한 고전압 발생기 또는 X 선 발생기를 개별적으로 교체할 수 있으므로 이오나이저 등과 같은 정전기 제거 장치를 사용하는 업체에서는 경제적 부담을 줄일 수 있다.

또한, 본 발명에서는 X선 튜브와 결합되는 소정 길이를 갖는 한쌍의 도전성 핀이 외력 또는 고전압 발생기의 암 체결부 전극과의 결합시 휘어지거나 절곡될 수 있는 위험을 제거하기 위하여 외력에 의한 휘어짐 등을 방지하기 위하여 도전성 핀을 삽입시켜 고정 안착시킬 수 있는 커넥터를 제공함으로써 단품으로 제공되는 X선 발생기의 도전성 핀의 훼손 가능성을 사전에 차단할 수 있다는 이점도 있다.

도 1은 종래의 X선 조사식 정전기 제거 장치의 일예이다.
도 2내지 도 5는 고전압 발생부와 X선 발생부로 이루어지는 종래의 X선 조사식 정전기 제거 장치의 실물의 일예이다.
도 6a~도 6c는 종래의 분리형 X선 조사식 정전기 제거 장치의 개념을 설명하는 도면이다.
도 7 내지 도 8은 본 발명에서 제안하는 X선 발생부의 외관 사시도의 일예이다.
도 9는 도 7 및 도 8에 도시된 본 발명에 따른 X선 발생부의 내부 단면도의 일예이다.
도 10은 도 7 내지 도 9에 도시된 본 발명에 따른 X선 발생부의 분해도이다.
도 11은 도 10에 도시된 본 발명에 따른 X선 발생부의 결합 단면도이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에서 제안하는 X선 발생기에 대하여 설명하기로 한다.

참고로, 본 발명에서 제안하는 X선 발생기는 X선 발생기와 탈부착 가능한 고전압 발생기와 결합하여 정전기를 제거하는 정전기 제거 장치(즉, 이오나이저)의 일 구성 요소로 사용될 수 있다.

먼저, 본 발명에서 제안하는 X선 발생부의 전체 외관 시시도 및 그 내부 단면도 그리고 각 구성 요소를 분해한 분해도를 제시한 후 본 발명에 따른 X선 발생부의 상세한 구조 및 그 기능에 대하여 설명하기로 한다.

도 7 및 도 8은 본 발명에서 제안하는 X선 발생부의 외관 사시도의 일예이고, 도 9는 도 7 및 도 8에 도시된 본 발명에 따른 X선 발생부의 내부 단면도의 일예이고, 도 10은 도 7 내지 도 9에 도시된 본 발명에 따른 X선 발생부의 분해도이고, 도 11은 도 10에 도시된 본 발명에 따른 X선 발생부의 결합 단면도이다.

도 10 또는 도 11을 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 X선 발생기는 X선 튜브(700)와, 한쌍의 도전성 핀(720)과, 커넥터(740)와, 몰딩 케이스(760)와, 외장 케이스(780)를 구비한다.

도시된 바와 같이, X선 튜브(700)는 대략 원통형 형상 구조를 구비하고 있으며, 한쌍의 도전성 와이어(71)를 통하여 공급되는 고전압을 수신하여 X선을 방사(조사)하는 기능을 수행한다. 참고로, 본 발명에서 언급되는 X선 튜브(700)의 구조는 제품의 종류에 따라 차이가 있을 수 있으나, 필라멘트에서 방출되는 음전하를 타켓으로 방출하여 X선을 방사하여 정전기 제전 효과를 얻어고 하는 모든 종류의 이오나이저에 사용되는 장치이다.

그리고, X선 튜브(700)의 일측에는 외부로부터 공급되는 고전압을 수신하기 위하여 한쌍의 도전성 와이어(71)가 노출되어 있다.

다음, 도전성 와이어(71)와 결합되는 소정 길이를 갖는 한쌍의 도전성 핀(720)이 제공된다.

한쌍의 도전성 핀(720) 후단부(76)는 X선 튜브(700)에서 연장되어 노출된 한쌍의 도전성 와이어(71)와 결합된다.

결합 방식은 다양하게 선택할 수 있으나, 본 발명에서는 도전성 와이어(71)의 전단부가 삽입되는 소정의 홈을 한쌍의 도전성 핀(720) 후단부(76)에 형성하였다.

이는 한쌍의 도전성 와이어(71)를 한쌍의 도전성 핀(720)의 후단부(76)에 형성된 홈에 삽입하고 압착한 후 납땜 처리하기 위함이다.

다음, 본 발명에서는 소정 길이를 갖는 원통형의 커넥터(740)를 제공한다.

커넥터(740)의 내부에는 커넥터(740)의 길이 방향으로 형성되는 관통 내관(72)이 한쌍 제공된다. 참고로, 설명의 편의를 위하여, 커넥터(740)의 좌측 단부를 제 1 단부라 하고 우측 단부를 제 2 단부라 부르기로 한다.

도 10 및 도 11에서 알 수 있듯이, 한쌍의 도전성 핀(720)의 전단부(75)는 커넥터(740)의 제 1 단부에 형성되는 관통 내관 입구로 삽입되어 제 2 단부에 형성되어 있는 관통 내관 출구를 통과하여 노출된다.

본 발명에서 제안하는 커넥터(740)는 한쌍의 도전성 핀(720)의 휘어짐 등을 방지하고 일정한 방향으로 고정될 수 있도록 지지하는 역할을 함으로써 도전성 와이어(71)로 안정된 고전압이 전송될 수 있도록 하는 기능을 수행한다.

한편, 몰딩 케이스(760) 및 이를 감싸는 외장 케이스(780)는 본 발명에 따른 X선 발생기의 내부 구성 요소들을 보호하기 위한 기능을 수행한다.

도면으로부터 알 수 있듯이, 몰딩 케이스(760)는 위에서 설명한 순서에 의하여 상호 결합된 X선 튜브(700), 한쌍의 도전성 핀(720) 및 커넥터(740)를 일체로 내장하기 위한 중공부가 형성되어 있으며, 외장 케이스(780)는 몰딩 케이스를 다시 내장하기 위한 중공부가 형성되어 있다.

지금까지 설명한 본 발명에 따른 X선 발생기의 구성 요소들이 결합된 상태의 외관은 도 7 및 도 8과 같으며, 그 단면은 도 9 또는 도 11과 같을 수 있다.

도면에서 알 수 있듯이, 커넥터(740)의 내관을 관통하여 노출되는 한쌍의 도전성 핀(720)의 전단부(75)는 외장 케이스(780) 외부로 노출되어 있으며 따라서 노출된 도전성 핀(720)의 전단부(75)는 고전압 발생기(미도시)의 암 체결부 전극(도전성 재질로 이루어짐)에 삽입되어 고전압 발생기에서 제공되는 소정 레벨의 고전압을 X선 튜브(700)으로 공급 가능하도록 하여 X선 튜브(700)의 조사창으로부터 X선의 조사를 가능하게 한다.

본 발명에 따른 X선 발생기의 도전성 핀(720)의 전단부(75)와 결합되는 고전압 발생기의 암 체결부 전극의 형상은 도전성 핀(720)의 전단부(75)에 대응하도록 구성하는 것이 바람직할 것이다.

한편, 본 발명에서는 대략 원통형의 커넥터(740)의 전단부(고전압 발생기와 체결되는 방향에 근접한 부분)의 외관에 적어도 하나 이상의 평탄부를 형성하여 놓음으로써 상기 고전압 발생기에 형성된 암 체결부와 항상 일정한 방향으로 삽입 체결 가능하도록 하였다.

또한, 본 발명에서는 커넥터(740)의 외주면 일측(74)에 탄성 재질의 링(73: 예컨대, 오링)을 체결시켜 놓음으로써 고전압 발생기와의 체결시 유입될 수 있는 외기를 차단하는 효과를 얻을 수 있도록 하였다.

전술한 커낵터(740)의 외주면에 형성되는 평탄부 또는 탄성 재질의 링(73)이 위치하는 커넥터(740)의 일측(74)은 본 발명에 따른 X선 발생기와 탈부착 가능하도록 체결되는 고전압 발생기의 수납부의 형상이나 구조에 따라 다양하게 설계 변경할 수 있는 사항으로 도면에 도시된 형상 내지 위치에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니될 것이다.

지금까지 설명한 본 발명에 따른 X선 발생기는 고전압 발생기와 탈부착 가능하여 고잔압 발생기와 상호 분리하여 납품 가능하도록 한 것으로 이러한 방식으로 제품을 생산하는 경우 정전기제거 장치(이오나이저)의 교체 비용을 절감할 수 있다는 이점이 있다.

또한 본 발명에서는 X선 튜브(700)와 결합되는 소정 길이를 갖는 한쌍의 도전성 핀(720)이 외력 또는 고전압 발생기의 암 체결부 전극과의 결합시 휘어지거나 절곡될 수 있는 위험을 제거하기 위하여 외력에 의 휘어짐 등을 방지하기 위하여 도전성 핀(720)을 삽입시켜 고정 안착시킬 수 있는 커넥터(740)를 제공함으로써 단품으로 제공되는 X선 발생기의 훼손 가능성을 사전에 차단할 수 있다는 이점도 있다.

더불어, 본 발명의 기술적 사상은 X선을 발생시켜 정전기를 제거하는 장치에 관하여 주로 설명하였으나 고전압을 공급받아 X 선을 발생하는 X선 발생기를 구비하는 모든 종류의 X선 발생 장치에도 동일하게 적용될 수 있다.

따라서 본 발명의 기술적 사상 즉 고전압 발생기와 X 선 발생기간의 상호 탈부착 가능하게 구성하여 X선을 발생시키는 모든 장치의 경우 그 용도와 무관하게 본 발명의 특허청구범위에 기재되는 구성의 범주 내에서 본 발명의 보호 범위내에 속하는 것으로 해석하여야 할 것이다.

700: X선 튜브
720: 도전성 핀
740: 커넥터
760: 몰딩 케이스
780: 외장 케이스
71: 도전성 와이어
73: 탄성 재질의 링(오링)

Claims (3)

1. 고전압 발생기와 탈부착 가능한 X선 발생기에 있어서,
   한쌍의 도전성 와이어를 통하여 고전압을 수신하여 X선을 방사하는 X선 튜브와,
   후단부가 한쌍의 상기 도전성 와이어와 결합되며 소정 길이를 갖는 한쌍의 도전성 핀과,
   제 1 단부를 통하여 한쌍의 상기 도전성 핀의 전단부를 삽입 가능하게 하고 제 2 단부를 통하여 상기 제 1 단부를 통하여 삽입된 한쌍의 상기 도전성 핀의 상기 전단부를 노출시키는 관통 내관이 형성되어 있는 원통형의 커넥터와,
   상호 결합된 상기 X선 튜브, 한쌍의 상기 도전성 핀 및 상기 커넥터를 일체로 내장하기 위한 제 1 중공부가 형성되어 있는 몰딩 케이스와,
   상기 몰딩 케이스를 내장하는 제 2 중공부가 형성되어 있는 외장 케이스를 구비하며,
   상기 커넥터의 내관을 관통하여 노출되는 한쌍의 상기 도전성 핀의 상기 전단부는 상기 외장 케이스 외부로 노출되어 상기 고전압 발생기에 형성되어 있는 암 체결부 전극과 체결되는 것을 특징으로 하는 X선 발생기.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 커넥터의 제 2 단부는 상기 외장 케이스 외부로 노출되어 있으며,
   노출되어 있는 상기 제 2 단부의 외관에는 상기 고전압 발생기와 일정한 방향으로 삽입 체결 가능하도록 상기 고전압 발생기와의 체결 부위에 대응하는 적어도 하나 이상의 평탄부가 형성되어 있는 것을 특징으로 X선 발생기.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 커넥터의 외주면 일측에는 탄성 재질의 링이 체결되어 상기 고전압 발생기와의 체결시 밀폐성을 기할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 X선 발생기.
   

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