JP2013544035A - 内部空気プレナムから隔離されたｅｈｄエアムーバの通気経路を備えた電子システム - Google Patents

Abstract

筐体と、筐体内に内部空気プレナムとを含む電子システムを提供する。筐体内の電子システムの少なくとも１つの要素は、熱を発生するとともに、内部空気プレナムに晒される表面を有する。筐体は、入口通気境界および出口通気境界がＥＨＤエアムーバとともに内部に配置されており、入口通気境界と出口通気境界との間の流路に沿って気流を誘導する。流路は、バリアによって内部空気プレナムから実質的に遮断される。

Description

背景
多くの装置またはシステムは、電子的、光学的、機械的なもののいずれであっても、空気または他の何らかの周囲流体の強制的な流れを含み得るか、供給し得るかまたは必要とし得る。場合によっては、強制的な流れは、装置またはシステム内の熱源が発した熱を冷却するかまたは適温にするのに有用である。このような場合、冷却または熱の適温化は、装置の過熱を防ぐか、高温の箇所を減らすか、温度に影響され易い装置に対して所望の熱安定性をもたらすか、長期信頼性を向上させるか、または、他の利点を提供する役割を果たし得る。場合によっては、強制的な流れが装置またはシステムの主な機能となる。

ファン、送風機または他の同様の気流発生型の機械装置を用いて冷却気流を供給することは当該技術において公知であるが、このような装置は、一般に、動作寿命が限られているか、不所望な雑音もしくは振動を発生させる傾向があるか、電力を消費するか、または他の設計上の問題を抱えている。加えて、このような装置は、しばしば、冷却気流を供給すべきシステムの幾何学的なフォームファクタおよび／またはレイアウトに対して制約を課す可能性がある。これらの制約は、サイズおよび「薄さ」が市場において重要な差別化とみなされる現代の家電機器には特に問題となる可能性がある。

いくつかの応用例においては、電気流体力学（ＥＨＤ：electrohydrodynamic）装置または電気−流体力学（ＥＦＤ：electro-fluid dynamic）装置などのイオン流エアムーバ装置を用いることにより、結果として、冷却効率が改善され、振動、電力消費、電子装置の温度および騒音発生が抑制され得る。このような展開例においては、ＥＨＤエアムーバによってコストが削減され、装置サイズ、厚さまたは体積を減じるよう設計することが可能となり、場合によっては、電子装置性能および／または使用者の熟練度を向上させ得る。

ＥＨＤ型エアムーバおよび他の同様の装置は、イオン、荷電微粒子およびオゾンや、さらには電磁干渉（ＥＭＩ：electromagnetic interference）を発生させる可能性がある。電子システム構成要素の中には、システムまたは筐体の全体にわたって移動するかまたは拡散するイオン、荷電微粒子またはオゾンによって悪影響を受ける可能性があるものもある。同様に、一時的なアーク発生または火花発生により、ＥＭＩの軽減といった課題が生じる可能性がある。場合によっては、システムフォームファクタおよびスタンドオフが低下する場合、および、ＥＨＤ型エアムーバまたは他の同様の装置がこのような設計において必要に応じて気流を正確に供給するよう有利に配置されている場合には、悪影響を受ける可能性が大きくなるかもしれない。したがって、電子システム構成要素をイオン、荷電微粒子、オゾンおよび／またはＥＭＩに晒すことを抑制するかまたは晒されたことによる影響を軽減するよう改善が求められる。

概要
本発明は、概して、ＥＨＤ型エアムーバを電子システムと一体化することに関し、特に、動作中に発生する可能性のあるイオン、荷電微粒子および／またはオゾンから電子部品および／または高感度材料を隔離することに関する。特に、電気流体力学（ＥＨＤ）エアムーバを用いて電子システムを冷却し得る一方で、電子システムの構成要素を囲む内部空気プレナムをＥＨＤエアムーバの気流から実質的に封止することが発見された。

本発明に従ったいくつかの実施例においては、電子システムは、筐体と、筐体内の内部空気プレナムとを含む。筐体内の少なくとも１つの要素は、内部空気プレナムに晒される表面を有する。筐体は、入口通気境界および出口通気境界がＥＨＤエアムーバとともに内部に配置されており、入口通気境界と出口通気境界との間の流路に沿って気流を誘導する。流路は、たとえばバリアによって内部空気プレナムから実質的に遮断されるかまたは封止される。

いくつかの実現例においては、少なくとも１つの要素は、電子システムの動作中に熱を発生する熱源を構成する。システムは、いくつかの実現例においては、熱源から封止部またはバリアにわたって流路に至る伝熱経路を含む。いくつかの実現例においては、封止部は、ＥＨＤエアムーバまたは流路から内部空気プレナム内にオゾンが浸入するのを実質的に妨げる。

いくつかの実現例においては、電子システムはさらに、電子システムの動作中に内部空気プレナムを確実に正圧にするよう構成された機械的エアムーバを含む。

いくつかの実現例においては、電磁界を変化させる影響を軽減するために、ＥＭＩシールドが内部空気プレナムとＥＨＤエアムーバとの間に設けられる。いくつかの実現例においては、内部空気プレナムは、イオン、液体または気体のうち少なくとも１つが流路から侵入するのを防ぐよう実質的に封止される。

いくつかの実現例においては、気流と内部空気プレナムとの間のバリアまたは封止部におけるほんのわずかな裂け目が、ＥＨＤエアムーバの上流に位置付けられる。場合によっては、このほんのわずかな裂け目は、内部空気プレナムを通る約５パーセント未満の空気をもたらす主な要因となる。

いくつかの実現例においては、内部空気プレナムは、気流に投入される洗浄剤および滅菌剤のうち少なくとも１つが侵入するのを防ぐよう実質的に封止される。いくつかの応用例においては、電子システムは、医療環境およびクリーンルーム環境のうちの１つにおいて使用されるよう構成され、ＥＨＤエアムーバおよび気流は、その稼働寿命中に定期的にまたは連続的に滅菌されるよう構成および配置される。いくつかの実現例においては、ＥＨＤエアムーバは、たとえば、電子システムとは別個にＥＨＤエアムーバを滅菌できるようにするために取外し可能かつ交換可能である。

いくつかの実現例においては、内部空気プレナム内に気流が拡散するのを実質的に軽減するために、動作中に内部空気プレナムと気流との圧力差が流体口にわたって維持される。

いくつかの実現例においては、バリアの一部は、第１の状態では選択的に流体透過可能であり、電子システムの運転期間および電子システムが滅菌剤に晒される期間のうち少なくとも１つの期間中に選択的に閉鎖可能である。

いくつかの実現例においては、ヒートパイプは、要素に熱的に接続され、内部空気プレナムと気流との間にバリアの一部を形成する。

いくつかの実現例においては、１つ以上の電子部品がバリアの一部を形成する。
いくつかの実現例においては、気流のうち少なくとも一部が、内部空気プレナムの中心領域を通って延在するダクトを通って流れる。

いくつかの実現例においては、気流は内部空気プレナムの主表面上を通る。
いくつかの実現例においては、オゾン低減材料が、ＥＨＤエアムーバの下流で気流に晒される。

本発明の別の局面は、いくつかの応用例においては、電子システムを通る気流を誘導する方法を特徴とする。当該方法は、筐体と筐体内の内部空気プレナムとを設けるステップと、筐体内の電子システムの少なくとも１つの要素を動作させるステップとを含む。要素は、熱を発生するとともに、内部空気プレナムに晒される表面を有する。当該方法は、筐体内に配置されたＥＨＤエアムーバを動作させて、入口通気境界と出口通気境界との間の流路に沿って気流を誘導して、要素が発生した熱を除去するステップを含む。流路は、バリアによって内部空気プレナムから実質的に遮断される。

いくつかの応用例においては、バリアは、内部空気プレナム内の空気と気流との圧力差によって少なくとも部分的に定義される。

いくつかの応用例においては、当該方法は、気流を遮断するよう内部空気プレナムを正圧にするステップを含む。

いくつかの応用例においては、当該方法は、ＥＨＤエアムーバの上流において気流と内部空気プレナムとの間でのわずかな混流を可能にするステップを含む。

いくつかの応用例においては、当該方法は、流路のうち少なくとも一部を滅菌剤に晒すステップを含む。バリアは、内部空気プレナムから滅菌剤を実質的に遮断する。

いくつかの応用例においては、当該方法は、ＥＨＤエアムーバを別個に滅菌または交換するために電子システムからＥＨＤエアムーバを取外すステップを含む。

これらおよび他の実施例は、この明細書中の記載、添付の図面および添付の特許請求の範囲に関連付けて理解されるだろう。

図面の簡単な説明
本発明は、添付の図面を参照することにより、よりよく理解することができ、その多数の目的、特徴および利点が当業者にとって明らかになるだろう。

電気流体力学（ＥＨＤ）流体の流れについてのいくつかの基本原理を示す図である。 例示的なＥＨＤエアムーバ装置を示す側断面図である。 さまざまなＥＨＤエアムーバ、気流および内部空気プレナムの実現例を示す具体的な上面図である。 さまざまなＥＨＤエアムーバ、気流および内部空気プレナムの実現例を示す具体的な上面図である。 さまざまなＥＨＤエアムーバ、気流および内部空気プレナムの実現例を示す具体的な上面図である。

異なる図面において同じ参照符号を用いる場合、同様の要素または同一の要素を示す。
説明
流体のイオン運動の原理を用いて構築された装置は、文献においては、イオン風装置、電気風装置、コロナ風ポンプ、電気−流体力学（ＥＦＤ）装置、静電流体加速器（ＥＦＡ：electrostatic fluid accelerator）、電気流体力学（ＥＨＤ）スラスタおよびＥＨＤガスポンプとさまざまに称される。技術のいくつかの局面はまた、静電空気清浄器または電気集塵器と称される装置で活用されてきた。一般に、ＥＨＤ技術は、流体（たとえば空気分子）を移動させるためにイオン流の原理を用いる。ＥＨＤの流体流れについての基本原理は、当業者によってある程度は理解される。したがって、単純な２つの電極システムにおいてコロナ放電原理を用いてイオン流を簡単に例示することにより、より詳細な説明を以下に展開する。

図１Ａの例示を参照すると、ＥＨＤ原理は、第１の電極１０（しばしば「コロナ電極」、「コロナ放電電極」、「エミッタ電極」または単に「エミッタ」と称される）と第２の電極１２との間に高強度電界を印加することを含む。エミッタ放電領域１１付近にある周囲空気の分子などの流体分子は、イオン化され、第２の電極１２に向かって加速するイオン１６の流れ１４を形成して、中性の流体分子１７と衝突する。これらの衝突中、運動量がイオン１６の流れ１４から中性の流体分子１７に与えられ、これに対応して、流体分子１７を、矢印１３によって示される第２の電極１２に向かう所望の流体流れ方向へと移動させる。第２の電極１２は、「加速」電極、「誘引」電極、「目標」電極または「コレクタ」電極とさまざまに称されてもよい。イオン１６の流れ１４が第２の電極１２に誘引され、第２の電極１２によって概ね中和される一方で、中性の流体分子１７は引き続き一定の速度で第２の電極１２を通り過ぎる。ＥＨＤ原理によって生じた流体の動きは、「電気」風、「コロナ」風または「イオン」風とさまざまに称され、高圧放電電極１０の付近からイオンの動きによって引起こされる気体の動きとして規定されてきた。

一般に、実用的なＥＨＤエアムーバの実現例は、所与の応用例または展開例に適合させた電極形状、チャンネル設計および電界形成特徴、ＥＭＩシールドおよび／またはダクト作用および伝熱面を含み得る。図１Ｂは、薄いフォームファクタの家電装置向けに開発された例示的なＥＨＤエアムーバの側断面図を示す。本発明に従った実施例は、図１Ｂに例示されるかまたはこの明細書中の他の箇所に記載されるのと類似のＥＨＤエアムーバ設計を用いる必要はないが、当業者であれば、代替的な設計のＥＨＤエアムーバを含むシステムに対してこの明細書中に記載される技術を好適に適合させた例を認識するだろう。

したがって、上記を考慮して、但しそれらに限定されることなく、図１Ｂに例示されるＥＨＤエアムーバにおいて、エミッタ電極１１０と１対のコレクタ電極１１２との間に高強度電界を生じさせる。明瞭にするために電源接続は省かれているが、例示的な電界線は、個々のイオンが下流における正味の流体流れ１３を誘導するよう加速される方向を示す。図示される基本的なＥＨＤエアムーバ設計についてのさらなる詳細および変形例を、図２、図３および図４を参照しつつ以下に述べる。

図２を参照すると、電子システム２００は筐体２０２を含み、筐体２０２は、さまざまな電子部品、たとえば、マイクロプロセッサ２０４、ビデオグラフィックスカード２０６、電池２０８およびディスプレイ照明源２１０（これらのいずれかまたはすべてが電子システム２００の動作中に熱を発生し得る）を収容する。筐体２０２はさらに、電子部品のうち１つ以上を収容する内部空気プレナム２１２を含む。ヒートパイプ２１４または他の熱経路は、内部空気プレナム２１２内の１つ以上の電子部品からの熱を、ＥＨＤエアムーバ２２０によって誘導される気流２１８内に位置する伝熱面２１６に伝える。ヒートパイプ２１４が、概略的に、この明細書中の記載に基づいて例示されていることに留意すると、当業者であれば、特定のシステムについての熱伝達の要求に適したトポロジーの変形例を認識するだろう。筐体２０２は、入口通気境界２２２および出口通気境界２２４を有し、ＥＨＤエアムーバ２０２は、入口通気境界２２２と出口通気境界２２４との間の流路に沿って気流を誘導する。流路または気流２１８は、たとえばバリア２２６によって内部空気プレナム２１２ｅから実質的に遮断または封止される。

封止部またはバリアは、内部空気プレナム２１２と気流２１８との間にバリア２２６を規定する硬質または半硬質の壁によって設けられてもよい。いくつかの実現例においては、バリア２２６は、実質的に流体を透過させない可撓性のあるバリアであってもよい。いくつかの実現例においては、内部空気プレナム内の圧力、または内部空気プレナムと気流との圧力差は、内部空気プレナム２１２への気流２１８の侵入をさらに抑制する役割を果たし得る。

内部空気プレナム２１２は、気流２１８から実質的に封止される。このため、熱は、バリア２２６を通ってまたはバリア２２６にわたって内部空気プレナム外および気流内に有効に伝達されるが、イオン、荷電微粒子およびオゾンの侵入は内部空気プレナム２１２から実質的に遮断される。ＥＭＩシールドが、ＥＨＤエアムーバ２２０と内部空気プレナム２１２との間にさらに設けられてもよい。場合によっては、気流２１８と内部空気プレナム２１２との間、好ましくはＥＨＤエアムーバ２２０の上流において、わずかな量だけ拡散することまたは他の流れが可能となり得ることに留意されたい。たとえば、いくつかの実施例においては、ごくわずかな（約５％未満の）気流２１８が、バリア２２６における偶発的に生じた裂け目または意図的に設けられた裂け目を通って内部空気プレナム２１２を横切る可能性がある。

さまざまな気流構成のうちのいずれが設けられてもよい。たとえば、図２を参照すると、気流２１８は、内部空気プレナム２１２の１つ以上の端縁部分と実質的に平行に進み得る。気流２１８は、内部空気プレナム２１２の複数の端縁または側部に沿って進み得る（たとえば図３を参照）。いくつかの実施例においては、気流２１８が、筐体２０２を通って短い経路を移動し得る。たとえば、図４に図示のとおり、筐体２０２の主表面上にある１つ以上の入口通気境界２２２から入って、隣接する端縁上にある１つ以上の出口通気境界２２４を出ていく。いくつかの変形例（具体的には図示せず）においては、気流２１８（またはその一部）が、内部空気プレナム２１２の広い表面上にわたって方向付けられてもよく、または内部空気プレナムを通って延在する中心チャンバを通じて方向付けられてもよい。

ＥＭＩシールドは、ＥＨＤエアムーバ２２０の電極に隣接して設けられてもよい。図３に図示のとおり、ＥＨＤエアムーバ２２０は、入口通気境界２２２と出口通気境界２２４との間で気流２１８を押し込んだり引き込んだりするのに設けられてもよい。オゾン低減材料がＥＨＤエアムーバ２２０の下流に設けられてもよい。

いくつかの実現例においては、流路に沿った筐体および／またはダクト面にオゾン低減材料を施すことができる。いくつかの応用例においては、オゾン触媒または反応材料を内部空気プレナムに晒された表面上に施すことができる。同様に、オゾンに抵抗力のあるコーティングまたはオゾンに耐性のあるコーティングを、内部空気プレナムに晒された表面上に施すことができる。オゾン低減材料は、オゾン触媒、オゾンバインダ、オゾン反応物を含み得るか、または、オゾンに反応するか、オゾンに結合するかもしくはオゾンを減少させるかもしくはオゾンを隔離するのに適した他の材料を含み得る。いくつかの実現例においては、オゾン低減材料は、マンガン（Ｍｎ）、二酸化マンガン（ＭｎＯ_２）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、酸化銀（Ａｇ_２Ｏ）、ニッケル（Ｎｉ）の酸化物、およびマンガン調合物の酸化物を含む群から選択される触媒である。オゾン低減材料は、筐体内面および／または筐体内の電子部品の表面に施すことができる。オゾン低減材料は、加えて、電子システム構成要素に適用することができる。同様に、筐体内における任意の数の電子部品の表面と、さらには筐体内面とに対して、オゾンに耐性のあるコーティングまたはオゾンに抵抗力のあるコーティングを施して、オゾンの影響を軽減させることができる。

いくつかの応用例においては、電子システム２００は、医療環境、クリーンルームまたは他の最適に滅菌された環境において用いられてもよい。気流経路およびＥＨＤエアムーバ２２０は、たとえば異なる環境間での相互汚染を防ぐために、アルコールなどの滅菌剤への浸漬またはＵＶ光などへの暴露に対応するよう設計することができる。内部空気プレナム内の空気と気流とを隔離することによって、内部空気プレナム内の構成要素が滅菌剤に晒されることを防ぐことが望ましいかもしれない。

いくつかの実現例においては、ＥＨＤエアムーバ２２０は、たとえばＥＨＤエアムーバ２２０を別々に滅菌または交換することを可能にするために、取外し可能および／または交換可能である。

付加的な実施例
この明細書中に記載される熱管理システムのいくつかの実現例は、コロナ放電の結果生じたイオンの加速に基づいて流体の流れ、典型的には空気、を誘導するためにＥＦＡ装置またはＥＨＤ装置を用いる。他の実現例は、他のイオン生成技術を用いる可能性もあるが、この明細書中に記載される説明的文脈で理解されるだろう。伝熱面を用いると、電子機器（たとえばマイクロプロセッサ、グラフィックスユニットなど）および／または他の電子システム構成要素によって放散される熱を流体の流れに伝達して消耗させることができる。伝熱経路、たとえばヒートパイプを設けることにより、内部プレナム内の熱源からの熱が、筐体内においてＥＨＤ装置によって誘導される気流が伝熱面上を流れる位置にまで伝わって、この熱が放散される。

いくつかの実現例においては、ＥＦＡもしくはＥＨＤ空気冷却システムまたは他の同様のイオン作用装置が、ラップトップ、タブレットまたはデスクトップコンピュータ、プロジェクタまたは映像表示機器などの動作システムに組込まれてもよいが、他の実現例がサブアセンブリの形を採ってもよい。さまざまな特徴は、ＥＦＡ装置またはＥＨＤ装置、たとえばエアムーバ、膜セパレータ、膜処理装置、微粒子エアクリーナ、コピー機、ならびにコンピュータ、ラップトップおよび携帯型装置などの電子装置のための冷却システムを含むさまざまな装置で用いられてもよい。１つ以上のＥＨＤ冷却装置は、演算装置、プロジェクタ、コピー機、ファクシミリ装置、プリンタ、ラジオ、録音または録画装置、音声または映像再生装置、通信装置、充電装置、電力変換器、光源、ヒータ、医療用装置、家電、電動工具、玩具、ゲーム機、セットトップコンソール、テレビ、および映像表示機器のうちの１つを含み得る。

上記において本発明のさまざまな実現例を説明してきたが、添付の特許請求の範囲が本発明の特徴を記載していること、および上述に具体的には記載されていない他の実現例が本発明の範囲内に収まることが理解されるはずである。

Claims (23)

1. 電子システム（２００）であって、
   筐体（２０２）と、
   前記筐体内の内部空気プレナム（２１２）と、
   前記筐体内に前記電子システムの少なくとも１つの要素（２０４，２０６，２１０）とを備え、前記少なくとも１つの要素は前記内部空気プレナムに晒される表面を有し、
   前記筐体は、入口通気境界および出口通気境界（２２２，２２４）がＥＨＤエアムーバ（２２０）とともに内部に配置されており、入口通気境界と出口通気境界との間の流路（２１８）に沿って気流を誘導し、
   前記流路は、バリア（２２６）によって前記内部空気プレナムから実質的に遮断される、電子システム。
2. 前記少なくとも１つの要素は、前記電子システムの動作中に熱を発生させる熱源を構成し、前記電子システムはさらに、
   前記内部空気プレナム内の前記熱源から前記流路への伝熱経路を備える、請求項１に記載の電子システム。
3. 前記バリアは、前記ＥＨＤエアムーバが発生させるオゾンが前記流路から前記内部空気プレナム内に浸入するのを実質的に妨げる、請求項１に記載の電子システム。
4. 前記電子システムの動作中に前記内部空気プレナムを確実に正圧にするよう構成された機械的エアムーバをさらに備える、請求項１に記載の電子システム。
5. 前記内部空気プレナムと前記ＥＨＤエアムーバとの間にＥＭＩシールドをさらに備える、請求項１に記載の電子システム。
6. 前記内部空気プレナムは、イオン、液体および気体のうち少なくとも１つが前記流路から侵入することを防ぐよう実質的に封止される、請求項１に記載の電子システム。
7. 気流と前記内部空気プレナムとの間の前記バリアにおけるほんのわずかな裂け目は前記ＥＨＤエアムーバの上流に位置する、請求項１に記載の電子システム。
8. 前記ほんのわずかな裂け目は、前記内部空気プレナムを通る約５パーセント未満の空気をもたらす主な要因となる、請求項７に記載の電子システム。
9. 前記内部空気プレナムは、気流に投入された洗浄剤および滅菌剤のうち少なくとも１つの侵入を防ぐよう実質的に封止される、請求項１に記載の電子システム。
10. 前記電子システムは、医療環境およびクリーンルーム環境のうちの１つにおいて使用されるよう構成され、前記ＥＨＤエアムーバおよび気流は、定期的に滅菌されるよう構成および配置される、請求項９に記載の電子システム。
11. 前記ＥＨＤエアムーバは、交換、メンテナンスおよび滅菌のうち少なくとも１つのためにシステムから取外し可能である、請求項１に記載の電子システム。
12. 圧力差は、動作中に前記内部空気プレナムと気流との間で流体口にわたって維持されて、前記内部空気プレナム内への気流の拡散を実質的に減ずる、請求項１に記載の電子システム。
13. 前記バリアの一部は、第１の状態では選択的に流体透過可能であり、前記電子システムの動作期間および滅菌剤に前記電子システムを晒す期間のうち少なくとも１つの期間中、選択的に閉鎖可能である、請求項１に記載の電子システム。
14. ヒートパイプが前記要素に熱的に接続されて、前記内部空気プレナムと気流との間の前記バリアの一部を形成する、請求項１に記載の電子システム。
15. 前記要素が前記バリアの一部を形成する、請求項１に記載の電子システム。
16. 気流のうち少なくとも一部は、前記内部空気プレナムの中心領域を通って延在するダクトを通って流れる、請求項１に記載の電子システム。
17. 気流は前記内部空気プレナムの主表面上を通る、請求項１に記載の電子システム。
18. 前記ＥＨＤエアムーバの下流で気流に晒されるオゾン低減材料をさらに含む、請求項１に記載の電子システム。
19. 電子システムを通る気流を誘導する方法であって、
    筐体（２０２）と、前記筐体内に内部空気プレナム（２１２）とを設けるステップと、
    前記筐体内の前記電子システムの少なくとも１つの要素（２０４，２０６，２１０）を動作させるステップとを含み、前記要素は熱を発生するとともに、前記内部空気プレナムに晒される表面を有し、前記方法はさらに、
    前記筐体内に配置されたＥＨＤエアムーバ（２２０）を動作させて、入口通気境界（２２２）と出口通気境界（２２４）との間の流路（２１８）に沿って気流を誘導して、前記要素が発生した熱を除去するステップを含み、流路は、バリア（２２６）によって前記内部空気プレナムから実質的に遮断される、方法。
20. 前記バリアは、前記内部空気プレナム内の空気と気流との圧力差によって少なくとも部分的に定義される、請求項１９に記載の方法。
21. 前記内部空気プレナムを正圧にして気流を遮断するステップをさらに含む、請求項１９に記載の方法。
22. 前記ＥＨＤエアムーバの上流において気流と内部空気プレナムとの間でのわずかな混流を可能にするステップをさらに含む、請求項１９に記載の方法。
23. 流路のうち少なくとも一部を滅菌剤に晒すステップをさらに含み、
    前記バリアは、前記内部空気プレナムから前記滅菌剤を実質的に遮断する、請求項１９に記載の方法。