JP5128656B2

JP5128656B2 - 流管装置

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Publication number: JP5128656B2
Application number: JP2010279125A
Authority: JP
Inventors: マクドナルドマーク; ケイ．モンジアラジヴ; ビー．ゴーデイヴィッド
Original assignee: インテルコーポレイション
Priority date: 2009-12-24
Filing date: 2010-12-15
Publication date: 2013-01-23
Anticipated expiration: 2030-12-15
Also published as: TWI434479B; DE102010054613A1; JP2011135074A; CN102157463B; KR20110074470A; US20110157813A1; TW201140979A; KR101206578B1; US8274228B2; CN102157463A

Description

本発明の実施形態は、流管装置に関する。

電子部品及びシステムは、より速い速度で動作する。１又はそれ以上のコアを備えるプロセッサ等で見られるこのような及び他の発展は、より良い性能を提供し、部品のサイズ及び重さを低減し、部品密度を高める。これらの要因は、電子部品及びそれらが備わるシステムによって発生した熱を増大させることがある。これは、特に、モバイル機器や小型のコンピュータ環境等に当てはまり、かかる要因は、ユーザ性能等の性能に悪影響を及ぼし且つバッテリ寿命を著しく短縮しうる過熱を生じさせる可能性がある。

電子部品（又は回路）の冷却は、ヒートスプレッダー及びヒートシンクを介してチップ等の電子部品から熱を取り去り、ヒートシンクを強制対流（すなわち、ファン）により冷却することによって達成される。

しかし、上述したような冷却方法は、部品の縮小及び冷却の必要性がより厳しいものとなるので、困難である場合がある。加えて、ファン及びヒートシンクは、モバイルインターネットデバイス（ＭＩＤ（mobile internet device））とともに使用されるには適さないことがある。

従って、本発明は、ヒートシンクやファン等の機械部品によらずに電子部品及び回路を冷却することができる流管装置、電子装置及び方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、開口を有する流管と、コロナ電極と、前記コロナ電極とともに前記流管内でイオンの運動を与える集電極と、前記開口に向かって前記イオンを導くよう前記流管に設けられる少なくとも１つの集束電極とを有する流管装置が提供される。

また、上記目的を達成するために、熱を発生させる電子部品と、第１の開口から第２の開口への気流を提供する流管装置と、前記電子部品及び前記流管装置に電力を供給する電圧源とを有する電子装置であって、前記流管装置は、流管と、前記流管内の気体分子をイオン化するコロナ電極及び集電極と、イオン化された前記気体分子にアシスト放電を提供する少なくとも１つの集束電極とを有する、電子装置が提供される。

また、上記目的を達成するために、コロナ電極と集電極との間に電界を印加することによって、流管内でコロナ放電を提供する段階と、少なくとも１つの集束電極に電圧を印加することによって、前記流管内の気体分子をイオン化するようアシスト放電を提供する段階とを有する方法が提供される。

本発明の実施形態によれば、ヒートシンクやファン等の機械部品によらずに電子部品及び回路を冷却することが可能となる。

例となる配置に従う静電界流体加速器のイオンストリームを示す。実施例に従う、流管と３つの異なったタイプの電極とを有する流管装置を示す。コロナ電極及び集電極を示す。実施例に従う流管装置を示す。本発明の実施例に従う第１の構成の集束電極を有する流管の上面図である。本発明の実施例に従う第２の構成の集束電極を有する流管の上面図である。本発明の実施例に従う第３の構成の集束電極を有する流管の上面図である。本発明の実施例に従う第４の構成の集束電極を有する流管の上面図である。本発明の実施例に従う、流管を備える電子装置の正面図を示す。図５Ａの電子装置の側面図を示す。

図面において、同じ参照符号は同じ要素を表す。

以下の詳細な記載で、同じ参照番号及び符号は、異なる図において同一の、対応する及び／又は類似する構成要素を表すために使用されてよい。更に、以下の詳細な記載で、例となるサイズ／モデル／値／範囲が与えられることがあるが、実施形態はそのようなものに限られない。具体的な詳細が実施例を記載するために挙げられるが、当業者には当然ながら、その実施形態はこれらの具体的な詳細によらずに実行されてよい。

電子部品（及び回路）の冷却は、エレクトロハイドロダイナミック流管（ＥＦＴ（electrohydrodynamic flow tube））を用いてイオン風（又は気流）を発生させることによって達成され得る。一例として、ＥＦＴは、例えば、２ｍｍに満たないダクト高さを有してよい。

イオン風は、電子装置内の電子部品（及び回路）を冷却することができる。イオン風（又は気流）の発生は、気相エレクトロハイドロダイナミックスの原理に基づいてよい。イオン風は、動的な気流プロファイル及び制御可能な気流速度を伴った空気推進を提供することができる。イオン風推進は、機械部品を動かすことなく達成され、柔軟な設計を可能にする。イオン風は、電子部品の対流冷却を改善することができる。

図１は、例となる配置に従う静電界流体加速器（electrostatic fluid accelerator）のイオンストリームを示す。他の配置も提供されてよい。この図は、コロナによって誘発されるイオン風推進を示す。静電界流体加速器、すなわちイオン風ポンプが、空気推進のために使用されてよい。

より具体的に、図１には、コロナ電極１０及び集電極２０と、正にイオン化された空気粒子（符号＋）及びイオン化されていない中性の空気粒子とが示されている。コロナ放電領域１５はコロナ電極１０の近くであってよい。一例として、コロナ電極１０は、高いチップ曲率を有するコロナ電極であってよく、集電極２０は、低いチップ曲率を有する集電極であってよい。

ここでは、空気推進について記載する。コロナ放電領域１５にある又はその近くの気体分子は、高密度電界がコロナ電極１０と集電極２０との間に印加される場合に、イオン化される。イオン化された気体分子は、中性の空気分子に衝突しながら、集電極２０に向かって移動する。分子同士の衝突に基づいて、運動量がイオン化された気体分子から中性の空気分子に移動し、集電極２０に向かう気体の移動が生じる。これは、気流又はイオン風と考えられる。コロナによって誘発される気流は、コロナ電極１０又は集電極２０のいずれか一方に印加される正電圧と、コロナ電極１０又は集電極２０のいずれか他方に印加される負電圧とに基づいて提供されてよい。極性の選択は、電極の材質、デバイス配置、オゾン発生制約等の要因に依存してよい。

図１は、２つの異なったタイプの電極、すなわちコロナ電極１０及び集電極２０を用いてイオン風又は気流が生成されることを示す。このようなイオン風発生の原理は、以下で記載されるように、エレクトロハイドロダイナミック流管に適用されてよい。

図２Ａは、本発明の実施例に従う、流管と３つの異なったタイプの電極とを有する流管装置を示す。図２Ｂは、コロナ放電を生成するコロナ電極及び集電極を示す。他の実施形態及び構成も、本発明の適用範囲内に含まれてよい。図２Ａに示される流管装置は、イオン風（又は気流）を発生するために使用されてよい。

図２Ａ及び以降の図（例えば、図３、４Ａ〜４Ｄ及び５Ａ〜５Ｂ）で、気流（又はイオン風）は、例えば流管入口（すなわち、第１の開口）から流管出口（すなわち、第２の開口）への、矢印によって示される方向における移動として記載される。記載の簡単のために、流管は、以下で、４側面管又は４辺管として記載される。しかし、他の側面数及び形状の流管も本発明の適用範囲内にある。流管は、エレクトロハイドロダイナミック流管（ＥＦＴ）と考えられてよい。

より具体的に、図２Ａは、３つの異なったタイプの電極、すなわち、コロナ電極６０、集電極７０、及び複数の集束電極８０を用いることによってイオン風（又は気流）を発生させる流管５０（又はＥＦＴ）を示す。コロナ電極６０及び集電極７０は、集合的にコロナ放電（又はイオン発生）電極と呼ばれることがある。コロナ放電電極は、図１に関して上述されたのと同様に、気体分子をイオン化し、（図２Ａ中に矢印によって示される左から右の方向で）流管５０を通る気流を加速することができる。気体分子のイオン化及びそれらの移動は、コロナ電極６０及び集電極７０に印加される正電圧及び負電圧によって達成される。コロナ電極６０及び集電極７０は、イオン（又は気体分子）の移動を提供する。

コロナ電極６０は流管５０に設けられてよく、集電極７０は流管５０に設けられてよい。コロナ電極６０は、流管５０の側壁（又は側面）間に延在する薄い横方向のコロナワイヤであってよく、集電極７０は、流管５０の上下の壁（面）の間に延在する閉塞性の縦方向の収集ワイヤであってよい。集電極７０は、第１の開口から第２の開口へ向かう方向においてコロナ電極６０の下流にあってよい。コロナ電極６０はメッシュ（又は複数のメッシュ）として形成されてよく、集電極７０は、別個のメッシュとして形成されてよい。コロナ電極及び集電極７０の他の構成も提供されてよい。

集束電極８０は、流管５０の長手方向の長さに沿って設けられている一連の電極であってよい。集束電極８０は、コロナ電極６０及び集電極７０の下流に設けられてよい。集束電極８０は、第１の開口から第２の開口へ向かう方向にあってよい。集束電極８０の夫々は電位（すなわち、電圧）を受けて、イオン（又はイオン化された気体分子）が流管５０の中央領域に集まり又は導かれるようにするとともに、イオン（又はイオン化された気体分子）が流管出口（すなわち、第２の開口）に向かう方向において流管５０の長手方向の長さに沿って移動することができるようにする。従って、集束電極８０は、第２の開口に向かう方向においてイオンを導くよう流管に設けられてよい。従って、流管５０でのイオンの滞留時間は増大し、より大きな運動量が空気に移動することが可能となる。

集束電極８０は多電極構成であってよい。集束電極８０は、流管５０の壁面（すなわち、上壁、下壁及び側壁又は面）に対するイオン損失を減らすことができる。集束電極８０は、イオンと中性の空気分子との間の更なる衝突を通じてイオンドラッグ効果（ion drag effect）を最大限とする（又は高める）ことができる。集束電極８０は、流管出口（すなわち、第２の開口）に向かって流管５０の長手方向の長さに沿って気流（又はイオン風）を増大させることができる。集束電極８０は、流管５０の壁（又は面）からイオンを離しておくよう流管５０の中央領域へイオンを集め又は導くことができる。集束電極８０は、流管５０を通るイオン流量を増大させることができる。このイオン風又は気流は、熱的に流管５０に結合されている（熱を発生させる）電子部品を冷却する空気推進であってよい。

集束電極８０は、イオンを引き付け又は導くようアシスト放電（assisted discharge）を生成してよい。すなわち、コロナ放電電極は一次コロナ放電を生成し、一方、アシスト放電は、集電極７０から第２の開口へ向かってイオンを引き付け又は導くよう集束電極８０によって生成されてよい。集束電極８０は、イオン化された気体分子にアシスト放電を提供してよい。これは、コロナ放電領域１５から出力されるイオン正味電流を増大させることができる。集束電極８０によって生成されるアシスト放電は、より速い流速を生みだすとともに、コロナ電極６０と集電極７０との間の放電よりも消費電力が少ない。集束電極８０は、また、集電極７０の下流にある領域において増大した空間電荷密度を提供することができ、これにより、より高い質量流量が得られる。３つの異なったタイプの電極を有する流管（又はＥＦＴ）は、コロナ放電電極しか有さない（すなわち、集束電極を有さない）２つの異なったタイプの電極を有する流管に比べて、消費電力が小さく且つ電気効率が高い。

コロナ放電は、コロナ電極と集電極との間に電界を印加することによって、流管５０内で生成され得る。アシスト放電は、流管５０内に配置されている少なくとも１つの集束電極に電圧を印加することによって、気体分子をイオン化するよう提供されてよい。アシスト放電は、流管５０の中央領域へとイオン化された気体分子を導くことができる。アシスト放電は、流管５０に沿って流管の開口に向かってイオン化された気体分子を導くことができる。

図３は、本発明の実施例に従う、３つのタイプの電極を有する流管（又はＥＦＴ）を備えた流管装置を示す。他の実施形態及び構成も本発明の適用範囲内にある。

より具体的に、図３は、領域５５で流管５０に設けられているコロナ放電電極（図３には図示せず。）と、流管５０の長手方向の長さに沿って設けられている複数の集束電極８１、８３、８５、８７及び８９とを有する流管５０を示す。集束電極の夫々は、流管５０の内面領域の周囲の異なった領域に設けられた別個の電極であってよい。集束電極の夫々は、互いに平行であってよい。更に、集束電極の夫々は、電圧源５７から異なる電圧を受け取ってよい。電圧源５７は、流管装置の一部として考えられても、又は考えられなくてもよい。図３は、また、第１の開口５１から第２の開口５３へ向かうイオン風（又は気流）を示す。

図３は、集束電極が第１の集束電極８１、第２の集束電極８３、第３の集束電極８５、第４の集束電極８７及び第５の集束電極８９を有してよいことを示す。より多くの又はより少ない数の集束電極が流管５０に沿って設けられてよい。

異なる電圧が、電圧源（電源）５７又は複数の電圧源（電源）を用いることによって集束電極８１、８３、８５、８７及び８９の夫々に供給されてよい。例えば、第１の集束電極８１はＶボルトの電圧を受け、第２の集束電極８３は（３／４）Ｖボルトの電圧を受け、第３の集束電極８５は（１／２）Ｖボルトの電圧を受け、第４の集束電極８７は（１／４）Ｖボルトの電圧を受け、第５の集束電極８９は（０／４）Ｖボルトの電圧を受けてよい。このようにして、集束電極は、イオン風効果を改善するよう、徐々に小さくなっていく電圧を受け取ってよい。他の電圧も本発明の適用範囲内である。

他の例として、第１の集束電極８１は高電圧を受け、第２の集束電極８３は低電圧を受け、第３の集束電極８５は高電圧を受け、第４の集束電極８７は低電圧を受け、第５の集束電極８９は高電圧を受けてよい。このようにして、集束電極は、集束効果を生じるよう、高−低−高−低電圧を受け取ってよい。他の電圧が複数の集束電極に印加されてもよい。

集束電極８１、８３、８５、８７及び８９へのこのような電圧の印加は、また、流管５０の壁（又は面）から離してイオンの向きを変える働きをすることもできる。これは、イオン滞留時間を増大させるとともに、イオンと中性分子との間の運動量の交換を増大させて、気流を増大させることができる。集束電極へのこのような電圧の印加は、また、集束領域（すなわち、集束電極の近く）での電界を強めて、気流を増大させることもできる。このような電圧の印加は、アシスト放電を生成して、第２の開口５３に向かう方向においてイオン電流を増大させるよう電界を変える働きをすることができる。

集束電極は金属から成ってよい。一例として、集束電極は銅テープであってよい。他のタイプの集束電極も使用されてよい。

図３は、流管５０の内壁（又は面）の周囲の平行な集束電極を示す。一方、他の構成の集束電極が提供されてもよい。図４Ａ〜４Ｄは、本発明の実施例に従って集束電極８０の様々な構成を示す流管５０の上面図である。記載の簡単のために、流管５０は、４つの壁（又は面）、すなわち、上壁、下壁、及び２つの側壁を有するものとして記載される。しかし、壁又は面の数はこれに限られない。更に、流管５０は、円形状等の異なる形状で設けられてよい。

図４Ａは、集束電極８１ａが集電極６２ａ（及びコロナ電極８３）の下流において流管５０の同じ面に設けられているところの流管５０を示す。図４Ｂは、集束電極８１ａが集電極６２ａの下流において流管５０の１つの側壁に設けられ、集束電極８１ｂが集電極６２ｂの下流において対向する側壁に設けられているところの流管５０を示す。図４Ｃは、集束電極８１ａが集電極６２ａの下流において集電極６２ａとは異なる側壁に設けられているところの流管５０を示す。図４Ｄは、集電極６２ａがコロナ電極８３の上流にあり且つ集束電極８１ａがコロナ電極８３の下流において同じ面に設けられているところの流管５０を示す。

３つの異なったタイプの電極を有する流管５０を備える流管装置は、電子装置内に設けられてよく、発生したイオン風に基づいて電子装置内の電子部品の冷却を提供することができる。例えば、流管装置は、例えば、ウルトラモバイルコンピュータ、モバイルインターネットデバイス、ラップトップ、ノートブック、ネットブック、ネットトップ、及び／又は他の電子機器等の携帯型の電子装置内に設けられてよい。流管５０は、外部環境からの電子機器の分離を保つように、電子装置（又はシステム）のチャネル内に埋め込まれてよい。

流管５０は、例えば、ウルトラモバイルコンピュータプラットフォームに埋め込まれてよい。流管５０は可動部を有さずに、空気分子をイオン化して、ダクト内の通路に沿ってイオンを集めて導くカスケード接続された一連の電極を通ったイオン化された分子を加速することによって、バルク気流を生成することができる。流管５０は、システム筐体を通る狭いダクトであってよい。一例として、流管５０は、高さ（又は厚さ）が１ｍｍであって、幅が３０ｍｍであってよい。他の例として、流管５０は、２ｍｍに満たない高さを有してよい。

（電子装置内の）熱生成電子部品は、流管５０の壁（又は面）に熱的に結合されており、熱を流管５０に伝えることがある。流管５０は、電子装置の内部部品に対して如何なる開口も有さなくてよく、電子装置（又はシステム）の全長（例えば、第１の開口から第２の開口まで）にわたって真っ直ぐ延在してよい。流管装置は、電子装置内の電子部品を冷却するよう気流（又はイオン風）を生成してよい。

図５Ａ及び５Ｂは、本発明の実施例に従う流管装置を有する電子装置を示す。他の実施形態及び構成も本発明の適用範囲内にある。

より具体的に、図５Ａは、正面にディスプレイ１１０を備える電子装置１００を示す。電子装置１００は、その内部に、内部で熱を発生させる他の電子部品（図５Ａには図示せず。）と、流管５０とを有する。流管５０の集束電極は、電子装置１００の他の部品と同じ電源（例えば、バッテリ）から電力又は電圧を受け取ってよい。図５Ａは、第１の開口５２から入って第２の開口５４から出力される気流を示す。

図５Ｂは、電子装置１００の側面図を示す。図示されるように、電子部品は、回路基板１２４上に設けられているプロセッサ１２２及び電圧源５７を有してよい。他の部品及び回路基板も設けられてよい。流管５０は、流管５０を通る気流に基づいてプロセッサ１２２及び／又は他の部品を冷却するように、プロセッサ１２２に隣接して設けられてよい。流管５０の外壁（又は面）は、流管５０とプロセッサ１２２との間の熱結合を提供するように、プロセッサ１２２に隣接して設けられてよい。流管５０は、熱インターフェース材及びスプレッダー、及び／又は熱インターフェース材及び熱パイプを介して電子部品に熱的に結合されても、且つ／あるいは、熱インターフェース材又はギャップ充填材の使用により電子部品と直接に接してもよい。

上述されるように、気流（又はイオン風）は、流管５０及び３つの異なったタイプの電極によって生成され得る。気流は、流管５０を通る熱い空気を除去し及び／又はより冷たい空気を循環させることによって、プロセッサ１２２及び他の部品に冷却効果を提供することができる。空気は、システム全体を通って流れ、冷たい空気を生じ、その空気を熱し、その熱い空気を除去してよい。

流管５０は、電子装置１００の全体の高さ、幅、奥行き又は長さにわたって延在してよい。図５Ａ及び５Ｂに図示されるように、流管５０は、流管入口（すなわち、第１の開口５２）及び流管出口（すなわち、第２の開口５４）を有してよい。

流管装置は、例えば、オンボードのプロセッシング電源と無線通信機能とを備え、燃料電池又はバッテリ等の電源（又は電圧源）によって給電されるラップトップ型コンピュータ、携帯電話機、パーソナルデジタルアシスタント、及び／又は他の同様の装置等のモバイルコンピュータデバイス内に設けられてよい。

本願における「実施形態」、「一実施形態」又は「実施例」等の参照はいずれも、その実施形態又は実施例に関して記載される特定の機能、構成又は特徴が本発明の少なくとも１つの実施形態に含まれることを意味するものである。本明細書中の様々な箇所における当該表現の出現は、必ずしも、全てが同じ実施形態を参照しているわけではない。更に、特定の機能、構成又は特徴が何らかの実施形態に関して記載される場合に、このような機能、構成又は特徴を他の実施形態に関して生ずることは、当該技術分野における通常の知識の範囲内にあると思われる。

本発明の実施形態について多数の例となる実施形態を参照して記載してきたが、当然に、本発明の技術的範囲に包含される多種多様な変形例及び実施例が当業者によって考えられてよい。より具体的に、適当な変更及び改良が、本発明の技術的範囲を外れることなく本明細書、図面及び特許請求の範囲の適用範囲内の主たる組合せ配置の構成部品及び／又は配置において可能である。構成部品及び／又は配置における変更及び改良に加えて、代替の使用も当業者には明らかであろう。

１０，６０，８３コロナ電極
１５コロナ放電領域
２０，６２ａ，６２ｂ，７０集電極
５０流管
５１第１の開口
５３，５４第２の開口
５７電圧源
８０，８１，８１ａ，８１ｂ，８３，８５，８７，８９集束電極
１００電子装置
１１０ディスプレイ
１２２プロセッサ
１２４回路基板

Claims

開口を有する流管と、
コロナ電極と、
前記コロナ電極とともに前記流管内でイオンの運動を与える集電極と、
前記開口に向かって前記イオンを導くよう前記流管に設けられる複数の集束電極と
を有し、
前記複数の集束電極のうち第１の集束電極は第１の電圧を受け、前記複数の集束電極のうち第２の集束電極は第２の電圧を受ける、流管装置。
前記複数の集束電極の前記第１の集束電極に前記第１の電圧を供給し、前記複数の集束電極の前記第２の集束電極に前記第２の電圧を供給する少なくとも１つの電圧源を更に有する、請求項１に記載の流管装置。
前記複数の集束電極は、前記流管の中央領域へと前記イオンを導く、請求項１に記載の流管装置。
前記複数の集束電極は、前記集電極から前記開口へと前記流管に沿って前記イオンを導く、請求項１に記載の流管装置。
前記コロナ電極及び前記集電極は、前記コロナ電極と前記集電極との間に印加される電界に基づいて気体分子をイオン化する、請求項１に記載の流管装置。
前記流管は２ｍｍに満たない高さを有する、請求項１に記載の流管装置。
前記流管はエレクトロハイドロダイナミック流管である、請求項１に記載の流管装置。
熱を発生させる電子部品と、
第１の開口から第２の開口への気流を提供する流管装置と、
前記電子部品及び前記流管装置に電力を供給する電圧源と
を有し、
前記流管装置は、
流管と、
前記流管内の気体分子をイオン化するコロナ電極及び集電極と、
イオン化された前記気体分子にアシスト放電を提供する複数の集束電極と
を有し、
前記複数の集束電極のうち第１の集束電極は前記電圧源から第１の電圧を受け、前記複数の集束電極のうち第２の集束電極は前記電圧源から第２の電圧を受ける、電子装置。
前記複数の集束電極は前記流管内に設けられる、請求項８に記載の電子装置。
前記複数の集束電極は、前記流管の中央領域へと前記イオン化された気体分子を集中させる、請求項８に記載の電子装置。
前記複数の集束電極は、前記集電極から前記第２の開口へと前記イオン化された気体分子を導く、請求項８に記載の電子装置。
前記コロナ電極及び前記集電極は、前記コロナ電極と前記集電極との間に印加される電界に基づいて気体分子をイオン化する、請求項８に記載の電子装置。
前記流管は２ｍｍに満たない高さを有する、請求項８に記載の電子装置。
前記電子部品はプロセッサを有する、請求項８に記載の電子装置。
モバイルインターネットデバイスである、請求項８に記載の電子装置。
前記流管はエレクトロハイドロダイナミック流管である、請求項８に記載の電子装置。
コロナ電極と集電極との間に電界を印加することによって、流管内でコロナ放電を提供する段階と、
複数の集束電極に電圧を印加することによって、前記流管内の気体分子をイオン化するようアシスト放電を提供する段階と
を有し、
前記複数の集束電極のうち第１の集束電極は第１の電圧を受け、前記複数の集束電極のうち第２の集束電極は第２の電圧を受ける、方法。
前記アシスト放電は、イオン化された前記気体分子を前記流管の中央領域へ導く、請求項１７に記載の方法。
前記アシスト放電は、イオン化された前記気体分子を前記流管に沿って該流管の開口へ導く、請求項１７に記載の方法。
前記流管はエレクトロハイドロダイナミック流管である、請求項１７に記載の方法。
前記複数の集束電極の夫々は、前記流管の内面周囲の異なる領域に設けられた別個の電極である、請求項１に記載の流管装置。
前記複数の集束電極の夫々は、互いに平行である、請求項２１に記載の流管装置。
前記複数の集束電極の夫々は、前記流管の内面周囲の異なる領域に設けられた別個の電極である、請求項８に記載の電子装置。
前記複数の集束電極の夫々は、互いに平行である、請求項２３に記載の電子装置。