CN1513284A

CN1513284A - 离子化气流释出型无发尘静电消除机

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Publication number: CN1513284A
Application number: CNA028108604A
Authority: CN
Inventors: 水野彰; 夫; 杉田章夫; 典; 铃木政典; �且; 佐藤朋且; 彦; 日野利彦; 锋治幸
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK; Techno Ryowa Ltd; Harada Sangyo Co Ltd
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK; Techno Ryowa Ltd; Harada Sangyo Co Ltd
Priority date: 2001-05-29
Filing date: 2002-05-28
Publication date: 2004-07-14
Anticipated expiration: 2022-05-28
Also published as: US20060279897A1; TWI242394B; US7126807B2; EP1397030A1; EP1397030A4; JP2002352997A; WO2002098188A9; EP1947915A2; KR20040004662A; JP4738636B2; WO2002098188A1; KR100912981B1; US7397647B2; DE60225548T2; CN1301633C; DE60225548D1; EP1397030B1; US20040218315A1

Abstract

一种离子化气流释出型无发尘静电消除机，包括：具有将供应到容器内的离子输送气体的一部分离子化之离子化部、及朝向带电体供应离子输送气体的吹出部之容器，前述离子化部由内藏于前述容器中之离子化源、及设置在前述容器的外部，介由高电压电缆控制前述离子化源的离子产生量之控制装置构成；其特征为：前述离子化源为软X线产生装置的产生部、低能量电子线产生装置的产生部或是紫外线产生装置的产生部当中的一种，控制装置、控制装置与高电压电缆之间的连接部、及离子化源与高电压电缆的连接部为防爆结构。

Description

离子化气流释出型无发尘静电消除机

技术领域

本发明系有关用来除去静电之静电消除机；特别是关于朝向除电对象物放出经离子化气流的型式之静电消除机，且是能用于防爆设施或装置之离子化气流释出型无发尘静电消除机。

背景技术

近年，在操作危险物设施等的防爆设施中，一直存在可燃粉体造成空气输出时的塞网或筛具的塞网、内面涂上铁弗龙之有机溶剂等的搅拌槽内的带电及放电的问题。以往，此种搅拌槽内的带电及放电，由于以N₂气体将空气纯化而除去有助于着火的氧气，因而防止有机溶剂着火。但是此种除电方法由于给排气设备等其附带设备的初期成本及连转成本为高价，因而不是理想的方法。

此外，以往作为除去制造半导体或液晶显示器(以下，以LCD表示)等时清净室等的生产环境中的静电之装置，采用以离子中和带电体的电荷之空气离子化装置。此种的空气离子化装置广泛使用电晕放电式静电消除机；此电晕放电式静电消除机经由在正或负的电极分别施加正或负的高电压而使之产生电晕放电；上述电极先端周围的空气离子化成正及负，以气流输送此离子而以相反极性的离子中和带电体上的电荷。

不过，半导体或液晶制造装置逐年演进为小型化，采用以往所用的静电消除机，对确保最佳的设置空间会有困难。另外，有关卡匣内玻璃基板的间隙等的狭小空间对于静电对策也提高要求。

因此，本发明人等针对上述空气离子化装置的小型化以及防爆设施或装置的适用性进行检讨，而知道有以下的问题点。即是以往所泛用之电晕放电式静电消除机，由于电晕放电自体成为着火源的危险性升高，因而无法用于操作危险物设施等的防爆设施。

另外，电晕放电式静电消除机，容易产生离子；为了防止所产生离子的消耗，在除电对象物的附近露出电极的状态下将空气离子化，因此也会产生以下的问题。

(1)臭氧的产生

以电晕放电将除电对象物近旁的空气离子化，因而空气中的氮气或水蒸气离子化，此外也引起氧气变为臭氧的反应。经由此臭氧的氧化作用，硅片的表面被氧化，且又与空气中微量的不纯物起反应而成为产生2次粒子的原因。

(2)电磁噪音的产生

放电时放电极所产生的不规则电磁波会成为引起内藏半导体元件的精密机器或电脑等的误动作之原因。

(3)从离子产生电极引起的发尘

每次使电晕放电产生时电极都会消耗，该消耗的电极材飞散。另外空气中的微量气体成分通过电晕放电而粒子化后析出到离子产生电极上，此成分成为一定程度的大小则再度飞散。因此样的灰尘，而降低良品率。

另外，近年，以软X线为离子化源之静电消除机正在开发中，不过静电消除机与电缆之间的连接部或离子化源的控制装置并不是防爆规格，所以无法用于操作危险设施等的防爆设施。

发明内容

本发明系为了解决上述以往技术上的问题点而被提案；其目的则是提供不会引起臭氧或电磁杂音以及发尘等的产生，而对于狭小的空间的静电能采取对策；进而能用于防爆设施或装置之离子化气流释出型无发尘静电消除机。

本发明离子化气流释出型无发尘静电消除机包括：具有将供应到容器内的离子输送气体的一部分离子化之离子化部、及向带电体供应离子输送气体的吹出部之容器，前述离子化部内藏于前述容器内之离子化源、及设在前述容器的外部，介由高电压电缆控制前述离子化源的离子产生量之控制装置构成；其特征为：前述离子化源为软X线产生装置的产生部、低能量电子线产生装置的产生部或是紫外线产生装置的产生部的其中1种；前述控制装置、前述控制装置与高电压缆线之间的连接部以及前述离子化源与高电压电缆之间的连接部为防爆构造。

依据具有上述构成之本发明的离子化气流释出型无发尘静电消除机，由于离子化源不是采用成为着火要因之电晕放电，所以能防止有机溶剂造成可燃物着火。另外控制装置为防爆构造，所以能防止设置在控制装置内的电源及控制基板造成的有机溶剂等燃着可燃物。

附图说明

第1图为表示本发明离子化气流释出型无发尘静电消除机其第1实施形态的构成之模式图。第2(A)图为表示高电压电缆与控制装置的连接部其构成之断面图；第2(B)图为表示在电极支承部的基端部设置容器的状态之图；第2(C)图为表示离子化源与高电压电缆的连接部其构成之断面图。

第3图为表示本发明离子化气流释出型无发尘静电消除机其第2实施形态的构成之模式图。第4图为表示本发明离子化气流释出型无发尘静电消除机其第3实施形态的构成之模式图。第5图为表示本发明离子化气流释出型无发尘静电消除机其第4实施形态的构成之模式图。

第6图为表示本发明离子化气流释出型无发尘静电消除机其第5实施形态之模式图。第7图为表示本发明离子化气流释出型无发尘电消除机其第6实施形态的构成之模式图。

第8图为表示本发明离子化气流释出型无发尘静电消除机其第7实施形态的构成之模式图。第9图为表示本发明离子化气流释出型无发尘静电消除机其第8实施形态的构成之模式图。

第10图为表示本发明离子化气流释出型无发尘静电消除机其第9实施形态的构成之模式图。第11图为表示本发明第9实施形态其吹出口的遮蔽部之构成图；第11(A)图表示遮蔽部由2片的冲孔板所构成的状况，第11(B)图表示在遮蔽部设置铝整流栅的状况，第11(C)图表示在遮蔽部设置附套管冲孔板的情况。第12图为表示本发明离子化气流释出型无发尘静电消除机其别种实施形态的构成之模式图。

具体实施方式

以下，参照图面说明本发明的具体实施形态。

(1)第1实施形态

(1-1)构成

(1-1-1)整体构成

第1图为表示本实施形态其离子化气流释出型无发尘静电消除机的整体构成之模式图。同图中，标号1为圆柱状的离子化腔室容器(以下，称为容器)；由铝、不锈钢等的金属及氯乙烯等的树脂所构成。另外此容器1大体上由离子化部、遮蔽部以及吹出部所构成；在容器1的内部装配离子化源4；此离子化源4连接到介由高电压电缆6控制离子化源4的离子产生量之控制装置5。

再者，本发明的离子化气流释出型无发尘静电消除机所具有的特征在于：控制装置5之构成、控制装置5与高电压电缆6之间的连接部(第1图的A部)之构成、上述离子化源4与高电压电缆6之间的连接部(第1图的B部)之构成。以下，详述各部的构成。

(1-1-2)控制装置的构成

控制装置5如第1图所示由具有防爆功能之气密容器51所构成。另外在控制装置5的内部设置用来使其从上述离子化源4产生软X线、低能量电子线或是紫外线的控制部之控制基板53、及使经冷却的空气等循环之循环风扇54、及将装置内部控制在一定温度之冷却装置55。还有，在前述控制基板53连接电源电缆56，可以连接到设在外部的防爆插座(未图示)。再者，在本实施形态中，上述冷却装置55例如构成为在铝制的放热板上安装热电冷冻元件。

(1-1-3)高电压电缆与控制装置其连接部的构成

第2(A)图为表示上述控制装置5与高电压电缆6之间的连接部(第1图的A部)其构成之扩大断面图。然而此连接部如以下所述为防爆规格。

即是在高电压电缆6的先端部安装插头61，能插拔地与装配在控制装置5的侧壁上的插座71连接。另外前述插头61为3芯构造，在具有一定长度“L”之电极支承部62的先端安装电极63。另外在前述插头61其基部61a的外侧，能旋转地安装有在内壁形成螺旋部64的袋状螺帽65。

另一方面，在装设于控制装置5的侧壁之插座71，设置与形成在前述插头61之电极支承部62卡合之插入孔72；在其最深部设置与前述插头侧的电极63连接之电极73。另外，插座71的凸缘部71a，在其外周面形成螺旋部74，与安装在前述插头61之袋状螺帽65的螺旋部64卡合。

然而，插入孔72的长度对应于插头侧的电极支承部62而设为“L”，此长度“L”设定为能在以插头61的电极支承部62及插座71的插入孔72所构成的具有气密性的空间进行两电极的插拔之长度。另外如第2(B)图所示，为了保持插头61与插座71其连接部的气密性，在电极支承部62的基端部设置O封圈等的垫圈66亦可。

(1-1-4)离子化源与高电极电缆其连接部的构成

离子化源4与高电压电缆6之间的连接部(第1图的B部)，如第2(C)图所示，构成为将具有电绝缘性的氯乙烯、聚丙烯、丙烯基等树脂制的导管41贯通配置在容器1的侧面，在该导管的内部埋入环氧树脂等的绝缘性树脂42。

(1-1-5)离子化部的构成

如第1图所示，在容器1的侧端部(图中的右侧侧端部)，介由软管套装件2连接细软管(未图示)，通过此软管，对容器1内供应除电对象室内的空气或高纯度N₂气体等的非反应性气体(以下，称为离子输送气体)。还有，此处高纯度N₂气体则是指包含形成负离子程度的氧气或水蒸气，且其氧气浓度为不产生臭氧的程度(5％程度之下)之N₂气体。

另外，在容器1内的软管套装件2的装配位置近旁设置离子化源4。再者，由此离子化源4及上述控制装置5构成离子产生装置。

另外，前述离子化源4，由软X线产生装置的产生部、低能量电子线产生装置的产生部或是紫外线产生装置的产生部等所形成，其构成可将流过容器1内之离子输送气体离子化。

(1-1-6)遮蔽部的构成

如第1图所示，在本实施形态中，容器1的遮蔽部由设置有多个直径为3φ程度的细孔11之2片的冲孔板10a、10b所构成；此2片的冲孔板10a、10b，相互间隔离3mm程度，且偏离设置使细孔11不重叠。

(1-1-7)吹出部的构成

容器1的先端部开放，配置在作为除电对象之带电体的近旁，并向此带电体供应在上述离子产生装置中所产生的正负离子。

(1-1-8)离子化源

其次，说明离子化源4。

软X线为具有3-9.5keV程度的能量之微弱X线，以2mm厚度程度的氯乙烯板就能容易遮蔽。另外低能量电子线例如为利用由日本ushio电机株式会社制的超小型电子束照射管软管等以数10kV的较低动作电压所取出的电子束(软电子)；空气中只有5cm程度的到达距离，将该领域的空气或是气体离子化。

还有，低能量电子线，由于在含有氧气的气体中产生臭氧的同时也产生软X线，因而遮蔽为必要。因此在离子化源采用低能量电子线的情况下，作为离子输送气体最好采用如同高纯度N₂气体等含有不产生臭氧程度的氧气之非反应性气体。另外从紫外线产生装置所产生的紫外线为400nm以下的短波长亦为30w程度的输出。

在离子化源4为软X线的产生部的场合下，作为供应到容器1的离子输送气体而采用空气及非反应性气体的其中1种亦可，不过在离子化源4为低能量电子线的产生部或是紫外线的产生部的场合下，最好采用如同高纯度N₂气体等含有不产生臭氧程度的氧气之非反应性气体。

(1-2)作用·效果

接着，说明具有上述构成之本实施形态的离子化气流释出型无发尘静电消除机的作用·效果。

本实施形态的离子化气流释出型无发尘静电消除机，不将成为着火原因的电晕放电作为离子化源使用而将软X线产生装置的产生部、低能量电子线产生装置的产生部、紫外线产生装置的产生部等作为离子化源使用，因而能防止有机溶剂等燃着可燃物。

另外，本实施形态的离子化气流释出型无发尘静电消除机，由于在控制上述离子化源的离子产生量之控制装置5内装配由珀耳帖元件(热电冷却元件)等所形成的冷却装置55，因而吸收设置在控制装置内之电源及控制基板所造成的发热，能将装置内控制在一定温度，因此能将控制装置设为气密构造。其结果：能防止设置在装置内的电源及控制基板造成有机溶剂等燃着可燃物。

再者，由于高电压电缆6与控制装置5的连接部为第2图所示的防爆构造，因而能在插头61的电极支承部62与插座71的插入孔72具有气密性的空间进行电极的插拔，因此能防止插头插拔时的放电造成有机溶剂等燃着可燃物。另外由于离子化源4与高电压电缆6的连接部也是第1图所示的防爆构造，因而能防止此连接部上造成有机溶剂燃着可燃物。

另外，在本实施形态的离子化气流释出型无发尘静电消除机中，介由软管(未图示)及软管套装件2供应到容器1之离子输送气体由于以内藏于容器1内的离子化源4照射软X线、低能量电子线、紫外线等因而成为正负的离子。然后此正负离子通过设在离子化部的下流侧之遮蔽部，从容器1的先端部供应到成为除电对象的带电体，而能将带电体上其正负相反极性的电荷分别中和。

此样本实施形态的离子化气流释出型无发尘静电消除机，在离子化源4为软X线的产生部的场合下，即使作为离子输送气体采用空气或是非反应性气体的其中1种也不会产生臭氧。另外没有电极材的飞散或空气中杂质的堆积及再飞散之飞尘且电磁杂音也不会产生。

另外，在离子化源4为低能量电子线或是紫外线的产生部的场合下，由于作为离子输送气体采用如同高纯度N₂气体等含有不产生臭氧程度的氧气之非反应性气体，因而进行离子化时不会产生臭氧；发尘及电磁杂音也不会发生。

还有，软X线及低能量电子线，以薄的氯乙烯板等就能充分遮蔽，几乎没有反射，因而以第1图所示的简单构造就能加以遮蔽。另外由于从离子化源4到容器出口的距离较短，所以也具有几乎没有正负离子再结合所造成的离子减少之优点。

另外，通过设置上述的遮蔽部而能减小来自容器吹出口的气流乱流，因此也达到能降低因气体乱流所引起的离子量减少之效果。

还有，由于离子化源4及作为电源部和控制部的控制装置5介由高电压电缆另外设置，并且只有离子化源4设置在容器1内，因而能减小容器1的内径，因此能在极狭窄的场所使之产生离子，并且例如也达到对收容于卡匣内的玻璃基板其间隙等狭小的空间也能除去静电之效果。

如上述过，依据本实施形态的离子化气流释出型无发尘静电消除机，不会引起臭氧或电磁杂音以及发尘的产生，对狭小空间的静电能采取对策，并且可以得到能用于防爆设施或装置之静电消除机。

(2)第2实施形态

本实施形态为变更上述第1实施形态其遮蔽部的构成之变形例。

如第3图所示，在本实施形态中，容器1的遮蔽部由半圆状的2片隔壁7、7所构成，此两片隔壁7、7隔着一定的间隔交互形成在容器1的上部及下部。即是在离子化源4为软X线的产生部或是低能量电子线的产生部的场合下，构成为使直进的软X线或是电子线碰触隔壁7、7，而形成为这些软X线及电子线被遮蔽使其不外漏到外部之构成。然而，在离子化源4为紫外线的产生部的场合下，不需此遮蔽部。其他的构成与上述第1实施形态同样，其说明则省略。

具有上述构成之本实施形态的离子化气流释出型无发尘静电消除机，具有与上述第1实施形态同样的作用·效果，可以用于防爆设施或装置，并且通过简易的构成，就能将容器1其离子化部的下流侧周边形成为遮蔽构造。

(3)第3实施形态

本实施形态为变更上述第1实施形态其吹出部的构成之变形例。再者，本实施形态的吹出部当然能用于上述第2实施形态。

如第4图所示，在本实施形态中，在容器1其遮蔽部的下流侧设置使之喷出离子化气流所用的喷嘴20。此喷嘴20例如采用SILVENT社制的喷嘴216、扁平喷嘴920、气帘302-306、气刀392-396等。

具有上述构成之本实施形态的离子化气流释出型无发尘静电消除机，不单是达到与上述第1实施形态或是第2实施形态同样的作用·效果，通过在吹出部安装具有所期望的形状·大小之喷嘴的，而以高速将离子化气流吹送到带电体，并在除电的同时能以高效率除去附着在带电体的杂物。另外经选择种种的喷嘴20，能将离子化气流呈圆锥状广角地扩散且又呈气帘状扩散，因此能够按照除电对象控制离子化气流。再者，使用能调整开口度的喷嘴就能容易地变更离子化气流的喷出速度。

(4)第4实施形态

本实施形态为进一步变更上述第3实施形态其吹出部的构成之变形例。

如第5图所示，在本实施形态中，在容器1的吹出部安装可挠性胶管30，在其先端安装喷嘴31。还有，作为此喷嘴31与上述第3实施形态同样地，例如采用SILVENT社制的喷嘴216、扁平喷嘴920、气帘302-306、气刀392-396等。再者，此可挠性胶管30与乙烯软管等不同，形成为能保持经设定过的形状之构造。

具有上述构成之本实施形态的离子化气流释出型无发尘静电消除机，由于在吹出部安装可挠性胶管30，并且在其先端安装喷嘴31，所以不单是达到与上述第1-第3实施形态同样的作用·效果，离子化气流高速吹送到带电体，并在除电的同时能以高效率除去附着在带电体的杂物。另外经选择种种的喷嘴31，离子化气流就能呈圆锥状广角地扩散且又呈气帘状扩散，因此能够按照除电对象控制离子化气流。再者，使用能够调整喷嘴的开口之喷嘴就能容易地变更离子化气流的喷出速度。

(5)第5实施形态

本实施形态为遮蔽部及吹出部成一体化所构成的。

如第6图所示，在本实施形态中，在离子化源4其下流侧之容器的一部分(例如，侧面)，按照除电对象形成1个或多个能遮蔽X线等程度的开口(直径1φ程度的孔)40。还有，在本实施形态中这些个开口40是作为遮蔽部及吹出部而起作用的。

具有上述构成之本实施形态的离子化气流释出型无发尘静电消除机，在离子化源4其下流侧之容器的一部分形成多个能够遮蔽X线等程度的开口40，因而遮蔽同时能朝向除电对象喷出离子化气流。还有，在本实施形态中如以下所述，在卡匣内玻璃基板间隙等较狭窄的处所，直到深处吹送离子化气流加以除电时则非常有效。

(6)第6实施形态

本实施形态的离子化气流释出型无发尘静电消除机所具有的特征在于吹出口的构成。即是本实施形态的吹出口81，如第7图所示，形成为圆柱状或是角柱状，在其上流侧连接容器82及管路83。另外管路83则是介由前述容器82及吹出口81，将空气或是高纯度N₂气体等的非反应性气体(以下，称为离子输送气体)供应到防爆设施的除电对象之配管；另外容器82，其下流侧的断面积比上流侧还大，例如形成为圆锥状或四角锥状，其上流侧的端部连结到前述管路83，下流侧的端部则连结到前述吹出口81。再者，当然也能成一体构成容器82与吹出口81。

另外在前述吹出口81的先端部近旁设置遮蔽部84。此遮蔽部84，例如如第7图所示，由设有多个直径约为5mmφ、开口间距12mm程度的细孔85之厚度1mm的2片冲孔板86a、86b所构成；该2片冲孔板86a、86b相互间隔离3mm程度，并偏离设置使前述细孔85不重叠。还有，吹出口81的先端部开放，配置在带电体S的近旁；构成为朝向该带电体S供应离子产生装置所产生的正负离子。

另外，在前述吹出口81的侧部设置离子产生装置。此离子产生装置由配置在吹出口81的侧部之离子化源4及控制此离子化源4的离子产生量之控制装置5所构成。再者，此控制装置5由配置在吹出口81的外部，从离子化源4使其产生软X线或是紫外线之电源部及控制部所形成，以高电压电缆6连接离子化源4。

还有，此控制装置5的构成、高电压电缆6和控制装置5其连接部的构成、离子化源4和高电压电缆6其连接部的构成与上述第1实施形态同样，其说明则省略。

具有上述构成之本实施形态的离子化气流释出型无发尘静电消除机，能用于防爆设施或装置，并且在吹出口81的出口部近旁内藏离子化源4，因而能在吹出口81的近旁将离子输送气体离子化，经离子化的空气等供应到所期望的除电对象。另外在吹出口81的侧部内藏离子化源4，与吹出口成水平照射软X线等的放射线，因而能以1个离子化源含盖广阔的范围。还有，由于在吹出口81其出口部的近旁内藏离子化源4，所以从离子化源4到吹出口的出口为止的距离较短，也达到降低因正负离子的再结合而造成的离子减少之效果。

(7)第7实施形态

本实施形态为变更上述第6实施形态其离子化源的设置位置之变形例。即是在本实施形态中，如第8图所示，离子化源4设置在形成为圆锥状或四角锥状之容器82的中央部。其他的构成与上述第6实施形态同样，其说明则省略。还有，如第8图所示能配置之离子化源为软X线及紫外线产生部。

具有上述构成之本实施形态的离子化气流释出型无发尘静电消除机，不只是达到与上述第6实施形态同样的作用·效果；在可以广角地放射软X线之离子化源的场合下，可以以较少的离子化源将广大范围离子化所以离子化效率良好；产生离子量增多所以提高除电性能。另外对遮蔽板其放射线的入射角，比在遮蔽板的近旁成水平照射时还大，所以容易遮蔽，不需要具有竖孔的遮蔽板等。

(8)第8实施形态

本实施形态为上述第6实施形态的变形例，且是在吹出口的上流侧设置HEPA滤网或是ULPA滤网之情况。即是在本实施形态中，如第9图所示，在吹出口81的上流侧配置HEPA滤网或是ULPA滤网等的层流形成用滤网91；构成为能将介由管路83及容器82所送进来的离子输送气体形成为遍及吹出口81的全面并具有均等流速分布的气流。还有，在本实施形态中，离子化源4设置在前述层流形成用滤网91与遮蔽部84之间的侧壁部近旁。其他的构成与上述第6实施形态同样，其说明则省略。

具有上述构成之本实施形态的离子化气流释出型无发尘静电消除机，不只是达到与上述第6实施形态同样的作用·效果；在吹出口81的上流侧装配层流形成用滤网91就能将从容器82所送进来的离子输送气体形成为层流。其结果：当乱流(喷流)供应到吹出口时，可以防止因该混合效应而促进正负离子的再结合使离子量减少，除电性能降低之不完备点，因此能够实施更有效率的离子化，而能达到优越的除电性能。

(9)第9实施形态

本实施形态的离子化气流释出型无发尘静电消除机为上述第6实施形态的变形例，且是如第10图及第11图所示，在吹出口81的上流侧设置HEPA滤网或是ULPA滤网等的层流形成用滤网91，并且在装配于吹出81的遮蔽部84之2片冲孔板86a、86b的上流侧，装配具有竖孔的铝整流栅92。还有，取代设置具有竖孔的铝整流栅92，改而装配如第11(C)图所示的附套管冲孔板93亦可。其他的构成与上述第6实施形态同样，其说明则省略。

具有上述构成之本实施形态的离子化气流释出型无发尘静电消除机，能用于防爆设施或装置，并且由于在吹出口81的上流侧装配层流形成用滤网91，因而能将从容器82所送进来的离子输送气体形成为层流。其结果：当乱流(喷流)供应到吹出口时，防止因该混合效应而促进正负离子的再结合使离子量减少，除电性能降低之不完备点，因此能够实施更有效率的离子化，而能达到优越的除电性能。

另外，如第11(A)图所示，在隔开一定的间隔偏离设置2片冲孔板86a、86b使分别所形成的细孔不重叠的场合下，难以完全遮蔽由斜上方射入到冲孔板86a、86b的细孔之软X线等的放射线。但是针对第10图所示本实施形态的吹出口，由斜上方所射入的软X线等，如第11(B)图所示，由于抵触到铝整流栅92其竖孔部的侧壁所以完全被遮蔽；另外如第11(C)图所示，由于抵触到附套管冲孔板93其套管的侧壁所以完全被遮蔽。

(10)其他的实施形态

再者，本发明并不局限上述的实施形态，也能是以下所示的种种形态。即是具体性各构件的形状或是安装位置以及方法皆能适度变更。例如，遮蔽部的形状不局限于上述各实施形态所示的冲孔板，只要是直进的软X线或是低能量电子线等不漏到外部且可以输送所产生的正负离子之形状皆可。

另外，离子化源4，不局限于软X线、低能量电子线、紫外线，只要是经由离子化而不产生臭氧、及不产生发尘和电磁噪音，则能够使用其他的电磁波或射线等。还有如第12图所示，形成为内藏供气用风扇94之构成亦可。

如以上所说明的，依据本发明，可以提供不会引起臭氧或电磁噪音以及发尘等的产生，而对于狭窄空间的静电能采取对策，并且能用于防爆设施或装置之离子化气流释出型无发尘静电消除机。

Claims

1.一种离子化气流释出型无发尘静电消除机，包括：具有将供应到容器内之离子输送气体的一部分离子化之离子化部、及朝向带电体供应离子输送气体的吹出部之容器，前述离子化部由内藏于前述容器中之离子化源、及设置在前述容器的外部，介由高电压电缆控制前述离子化源的离子产生量之控制装置构成；其特征为：

前述离子化源为软x线产生装置的产生部、低能量电子线产生装置的产生部或是紫外线产生装置的产生部当中的其中一种，

前述控制装置、前述控制装置与高电压缆线之间的连接部以及前述离子化源与高电压电缆之间的连接部为防爆构造。

2.根据权利要求1项之离子化气流释出型无发尘静电消除机，其中前述控制装置具备具有气密构造而能将装置内保持在一定温度之冷却手段。

3.根据权利要求2项之离子化气流释出型无发尘静电消除机，其中前述冷却手段由热电冷冻元件所构成。

4.根据权利要求1～4中任一项之离子化气流释出型无发尘静电消除机，其中前述高电压电缆与控制装置之间的连接部由能插拔的插头及插座所构成；在前述插头设置具有一定长度的电极支承部，在该电极支承部的先端部装配电极；在前述插座形成插入前述电极支承部的插入孔，在此插入孔的最深部装配电极；

前述高电压电缆与控制装置之间的连接部由装配在前述插头的先端之电极及装配在插座其插入孔的最深部之电极所形成；

前述电极的插拔前述插头的电极支承部在插座的插入孔内保持气密性的状态下进行。

5.根据权利要求1-4中任一项之离子化气流释出型无发尘静电消除机，其中前述离子化源与高电压电缆之间的连接部由具有绝缘性之筒状的树脂、及充填到其内部之绝缘性的树脂所构成。

6.根据权利要求1-5中任一项之离子化气流释出型无发尘静电消除机，其中在前述容器内其离子化部的下流侧，形成用来遮蔽从前述离子化源所产生的软X线或是低能量电子线之遮蔽部。

7.根据权利要求6项之离子化气流释出型无发尘静电消除机，其中前述遮蔽部由隔开一定的间隔交互装配在前述容器的内壁之多个隔壁所构成。

8.根据权利要求6项之离子化气流释出型无发尘静电消除机，其中前述遮蔽部由形成有多个细孔的至少2片遮蔽板所构成，设置前述遮蔽板使前述细孔不重叠。

9.根据权利要求1-8中任一项之离子化气流释出型无发尘静电消除机，其中前述吹出部由安装在前述容器的开口端之具有一定形状的喷嘴所构成。

10.根据权利要求1-8中任一项之离子化气流释出型无发尘静电消除机，其中前述吹出部由安装在前述容器的开口端之自由弯曲的胶管、及安装在其先端之具有一定形状的喷嘴所构成。

11.根据权利要求1-8中任一项之离子化气流释出型无发尘静电消除机，其中在前述容器其下流侧侧面的一部分形成多个开口，介由此开口，对带电体供应离子输送气体。

12.根据权利要求1-8中任一项之离子化气流释出型无发尘静电消除机，其中在前述吹出部的上流侧，装配层流形成用滤网。