JP2009211889A - 低エネルギー電子線を用いた無発塵イオナイザーシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】クリーンルームの天井にULPAフィルタ1を介して複数個設置されたシースエア式イオナイザー2にはシースエアノズル5が設けられ、コロナ電極3が各ノズル内に配置されている。シースエアノズル5にはシースエア供給配管10が接続され、その上流側にはメンブレンフィルタ20及び粒子化装置30が順次配設されている。この粒子化装置30は、クリーンルーム内エアあるいは圧縮エア中のガス状不純物を、低エネルギー電子線を用いて粒子化する手段であり、メンブレンフィルタ20は、粒子化装置30によって粒子化された不純物を捕集する手段である。
【選択図】図1
Description
(1−1)全体構成
本実施形態の低エネルギー電子線を用いた無発塵イオナイザーシステムにおいては、図1に示すように、クリーンルームの天井には、清浄な空気を送り込む高性能フィルタであるULPA(Ultra Low Penetration Air filter)フィルタ1と、シースエア式イオナイザー(コロナ放電式イオナイザー)2とが設置されている。このシースエア式イオナイザー2には2個のコロナ電極3a、3bが設けられ、一方のコロナ電極3aには正の高電圧発生器4aが接続され、他方のコロナ電極3bには、負の高電圧発生器4bが接続されている。
本発明のイオナイザーシステムに用いられる粒子化装置30においては、図2に示すように、粒子化チャンバ31の側壁に、低エネルギー電子線発生装置の発生部32が設置され、その周囲を覆うように軟X線遮蔽カバー33が取り付けられている。そして、低エネルギー電子線発生装置の発生部32によって発生した低エネルギー電子線が、粒子化チャンバ31の側壁に形成された低エネルギー電子線照射窓34を介して、粒子化チャンバ31内に照射され、該チャンバ31内を流れるクリーンルーム内エアあるいは圧縮エア中の微量ガスを粒子化するように構成されている。
ここで、低エネルギー電子線について説明する。
低エネルギー電子線は、数十kVの低い動作電圧で取り出された電子ビーム(ソフトエレクトロン)で、空気中では、5cm程度の到達距離しかない。コロナ放電と同様に化学反応を促進する作用があり、酸素を含む場合はオゾンも発生する。また、同時に、軟X線も発生するため遮蔽が必要である。
上記のような構成を有する本実施形態のイオナイザーは、以下に述べるように作用する。すなわち、エアポンプ23を介してクリーンルーム内のエアが粒子化装置30の粒子化チャンバ31に供給される、あるいは、減圧弁25を介して圧縮エアが粒子化装置30の粒子化チャンバ31に供給されると、粒子化チャンバ31内において、まず、低エネルギー電子線照射窓34を介して粒子化チャンバ31内に照射された低エネルギー電子線によって、該チャンバ31内を流れるクリーンルーム内エアあるいは圧縮エア中の微量ガスが粒子化される。
上述したように、本実施形態の低エネルギー電子線を用いた無発塵イオナイザーシステムにおいては、従来のように、高価な高純度N2ガスを使用しなくても、クリーンルーム内のエアあるいは圧縮エアを無発塵イオナイザーのシースエアとして使用することができる。また、クリーンルーム内のエアあるいは圧縮エアをシースエアとして利用できることで、高純度N2ガスの無い工場や酸欠が心配される工程でも、無発塵イオナイザーシステムを使用することができる。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、具体的な各部材の形状、あるいは取付位置及び方法は適宜変更可能である。例えば、図1に示した無発塵イオナイザーシステムのイオナイザー(パルスDC方式)においては、正イオンと負イオンは別々の電極から発生するように構成されているが、図3に示すように、同じ電極から正と負のイオンを交互に発生するイオナイザー(交流方式)を用いても良い。
2、40…シースエア式イオナイザー
3a、3b…コロナ電極
4a…正の高電圧発生器
4b…負の高電圧発生器
5a、5b…シースエアノズル
10…シースエア供給配管
11…第1のバルブ
12…分岐配管
13…第2のバルブ
20…メンブレンフィルタ
21…流量計
22…第3のバルブ
23…エアポンプ
24…第1のエア供給配管
25…減圧弁
26…第2のエア供給配管
30…粒子化装置
31…粒子化チャンバ
32…低エネルギー電子線発生装置の発生部
33…軟X線遮蔽カバー
34…低エネルギー電子線照射窓
35…紫外線発生装置の発生部
36…紫外線照射窓
37…活性炭フィルタ
41…エアチャンバ
42…交流高電圧発生器
Claims (4)
- 1又は2以上のコロナ電極を有し、前記コロナ電極のそれぞれが、シースエアが供給されるシースエアノズル内に配置され、該コロナ電極に高電圧を印加することによりイオンを生成し、このイオンを除電対象物に供給して除電する1又は2以上のシースエア式イオナイザーを備えると共に、
前記シースエア式イオナイザーに供給されるエア中のガス状不純物を、低エネルギー電子線を用いて粒子化する粒子化装置と、該粒子化装置によって粒子化された不純物を捕集するフィルタを備え、
前記粒子化装置とフィルタによって処理されたエアが、前記シースエア式イオナイザーのそれぞれに供給されるように構成されていることを特徴とする低エネルギー電子線を用いた無発塵イオナイザーシステム。 - 前記粒子化装置が、低エネルギー電子線発生装置の発生部と紫外線発生装置の発生部を備えると共に、それらの下流側に活性炭フィルタを備えたことを特徴とする請求項1に記載の低エネルギー電子線を用いた無発塵イオナイザーシステム。
- 前記シースエア式イオナイザーに供給されるエアが、該システムが設置される室内のエアあるいは圧縮エアであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の低エネルギー電子線を用いた無発塵イオナイザーシステム。
- 前記コロナ電極に高電圧を印加する手段が、交流高電圧発生器であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一に記載の低エネルギー電子線を用いた無発塵イオナイザーシステム。
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