JP4369386B2 - 軟x線除電装置 - Google Patents

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Description

本発明は、帯電体の除電に用いられる軟X線除電装置に関するものである。
従来、軟X線除電装置として、エアーを供給するためのダクトと、ダクトに連なると共に吹出口を有するチャンバと、吹出口に設けられ2枚のパンチング板からなる遮蔽部と、チャンバ内に設けられ、チャンバ内を通過するエアーに軟X線を照射する軟X線照射手段と、を備えたものが知られている(特許文献1参照)。
ダクトから供給されたエアーは、チャンバ内において、軟X線照射手段により、イオン化される。すなわち、気体分子に軟X線が照射されると、気体分子の電子がエネルギーを得て気体分子を飛び出し、電子を失った気体分子が陽イオン分子となる。一方、放出された電子は、気体分子と衝突し、気体分子は電子を取り込んで陰イオン分子となる。これにより、エアーはイオン化される。この後、イオン化エアーは気流により帯電体へ搬送され、帯電体と反対の電気的極性をもったイオン分子が帯電体に引き寄せられることで除電がなされる。この場合、遮蔽部を構成する2枚のパンチング板は、わずかに間隙を存して配設されると共に、相互のパンチング孔が位置ズレするように配設されている。これにより、イオン化エアーは遮蔽部を通り抜けることができ、また、チャンバ内を照射する軟X線は、軟X線除電装置の外部に漏れ出ることはない。
特開2001−257096号公報
しかしながら、上記の遮蔽部の構成によると、軟X線が前後のパンチング板のパンチング孔をつなぐ角度で入射した場合、これが外部に漏れることになる。つまり、軟X線等の電磁波を確実に遮蔽することができない問題があった。
本発明は、イオン化エアーの送気に影響を与えることなく、軟X線等の電磁波の遮蔽性を高めることができる軟X線除電装置を提供することを課題とする。
本発明の軟X線除電装置は、送気されてゆくエアーに軟X線を照射しこれをイオン化する手持ちで操作可能な軟X線除電装置であって、エアーを導入する導入口を照射方向の後端部に有すると共に、エアーを放出する放出口を照射方向の前端部に有するボックス状の筐体と、筐体の導入口側に取り付けられ、エアーを送気するファンを有するボックス状のファンユニットと、筐体に設けられ、筐体を流れるエアーに軟X線を照射する軟X線照射手段と、筐体の放出口側に取り付けられ、イオン化したエアーの通過を許容すると共に軟X線を遮蔽するボックス状の遮蔽ユニットと、を備え、遮蔽ユニットは、メッシュ状の流入開口およびメッシュ状の流出開口を有し、軟X線遮蔽材で構成した収容体と、収容体内に充填され、電磁波を遮蔽する物質で構成した多数の塊状部材と、を有し、ファンユニットおよび遮蔽ユニットは、筐体に対し着脱自在に構成されていることを特徴とする。
この構成によれば、軟X線等の電磁波は、多数の塊状部材に照射されたときに、一部は反射するが、多くは塊状部材に当りこれに吸収される。一方、軟X線によりイオン化されたエアーは、流入開口から流出開口へ向かおうとすると、各塊状部材の空隙を縫って流れ、流出開口から送気される。したがって、イオン化エアーを、流出開口から円滑に送気させることができ、且つ軟X線等の電磁波を確実に遮蔽することができる。
この場合、各塊状部材が、球形に形成されていることが、好ましい。
この構成によれば、多数の塊状部材を収容体に充填しても、イオン化エアーが通過する十分な間隙を得ることができる。
この場合、各塊状部材が、原子密度の高い物質で構成されていることが、好ましい。
この構成によれば、電磁波の質量吸収係数は、原子密度と、電磁波が進む距離とに依存している。すなわち、原子密度が高ければ高いほど、電磁波を遮蔽する物質の厚さを薄くすることができる。このため、塊状部材を原子密度の高い物質で構成することで、塊状部材の大きさに比して電磁波の吸収率を高めることができる。また同時に、収容体をコンパクトにすることができる。なお、原子密度の高い物質として、チッ化ホウ素、炭化シリコン、シリコン、炭素、フラーレン、カーボンナノチューブ、アクリル、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン、ポリ塩化ビニル等がある。
この場合、各塊状部材が、ポリ塩化ビニルで構成されていることが、好ましい。
この構成によれば、遮蔽性が高く且つコンパクトな構造にすることができる。また、ポリ塩化ビニルは安価な材料であり、加工しやすいため、製造コストを抑えることもできる。
また、本発明の他の軟X線除電装置は、送気されてゆくエアーに軟X線を照射しこれをイオン化する手持ちで操作可能な軟X線除電装置であって、エアーを導入する導入口を照射方向の後端部に有すると共に、エアーを放出する放出口を照射方向の前端部に有するボックス状の筐体と、筐体の導入口側に取り付けられ、エアーを送気するファンを有するボックス状のファンユニットと、筐体に設けられ、筐体を流れるエアーに軟X線を照射する軟X線照射手段と、筐体の放出口側に取り付けられ、イオン化したエアーの通過を許容すると共に軟X線を遮蔽するボックス状の遮蔽ユニットと、を備え、遮蔽ユニットは、流入開口および流出開口を有し、軟X線遮蔽材で構成した収容体と、流入開口から流出開口に到るエアー流路を複数に分割すると共に、電磁波を遮蔽する物質で構成した複数の隔板と、を有し、複数の隔板は、相互に平行に配置され、かつ流入開口から流出開口に向かってそれぞれ波状に延在しており、ファンユニットおよび遮蔽ユニットは、筐体に対し着脱自在に構成されていることを特徴とする。
この構成によれば、軟X線等の電磁波は、多数の隔板に照射されたときに、一部は反射するが、多くは隔板に当りこれに吸収される。一方、軟X線によりイオン化されたエアーは、流入開口から各隔板間を通り抜け、流出開口から送気される。したがって、イオン化エアーを、流出開口から円滑に送気させることができ、且つ軟X線等の電磁波を確実に遮蔽することができる。
また、本発明の他の軟X線除電装置は、送気されてゆくエアーに軟X線を照射しこれをイオン化する手持ちで操作可能な軟X線除電装置であって、エアーを導入する導入口を照射方向の後端部に有すると共に、エアーを放出する放出口を照射方向の前端部に有するボックス状の筐体と、筐体の導入口側に取り付けられ、エアーを送気するファンを有するボックス状のファンユニットと、筐体に設けられ、筐体を流れるエアーに軟X線を照射する軟X線照射手段と、筐体の放出口側に取り付けられ、イオン化したエアーの通過を許容すると共に軟X線を遮蔽するボックス状の遮蔽ユニットと、を備え、遮蔽ユニットは、流入開口および流出開口を有し、軟X線遮蔽材で構成した収容体と、流入開口から流出開口に到るエアー流路を横断すると共に、電磁波を遮蔽する物質で構成した複数の円柱状部材と、を有し、複数の円柱状部材は、相互に平行にかつエアー流路に沿って、千鳥状に配設されており、ファンユニットおよび遮蔽ユニットは、筐体に対し着脱自在に構成されていることを特徴とする。
この構成によれば、軟X線等の電磁波は、多数の円柱状部材に照射されたときに、一部は反射するが、多くは円柱状部材に当りこれに吸収される。一方、軟X線によりイオン化されたエアーは、流入開口から各円柱状部材間を通り抜け、流出開口から送気される。したがって、イオン化エアーを、流出開口から円滑に送気させることができ、且つ軟X線等の電磁波を確実に遮蔽することができる。
この場合、軟X線照射手段は、エアーの流れ方向と同方向に軟X線を照射することが、好ましい。
この構成によれば、エアーの流れ方向と同方向に軟X線を照射するため、軟X線照射手段は、放出口にむけて軟X線を照射することとなる。軟X線放射手段を放出口に近づければ、軟X線の照射光の投影面積は小さくなり、これにより、エアーのイオン化を効率よく行うことができると共に、軟X線遮蔽構造も投影面積にあわせて、コンパクトに構成することができる。
以下、添付の図面に基づいて、本発明の一実施形態に係る軟X線遮蔽構造を適用した軟X線遮蔽ユニットおよび軟X線除電装置について説明する。この軟X線除電装置は、装置の後方からエアーを取り込み、そのエアーに軟X線を照射してエアーをイオン化し、イオン化エアーを帯電物に向けて前方に送気し、除電を行うものである。
図1は、軟X線除電装置を模式的に表した構造図である。同図に示すように、軟X線除電装置1は、後部に配設したファンユニット2と、中間部に配設され、ファンユニット2から送られたエアーに軟X線を照射する軟X線照射ユニット3と、前部に配設され、軟X線照射ユニット3の軟X線を遮蔽する遮蔽ユニット4と、を備えている。
ファンユニット2は、前方にエアーを送気する軸流ファン等で構成された送気ファン5と、送気ファン5を収容するボックス状のファンケース6と、を有しており、ファンケース6には、外気(エアー)を吸気する吸気開口7と、吸気したエアーを軟X線照射ユニット3に送り込む送気開口8とが設けられている。ファンケース6は、その前部で軟X線照射ユニット3の後部に接合し、この状態で軟X線照射ユニット3にねじ止めされている。すなわち、ファンユニット2は、軟X線照射ユニット3に着脱自在に装着されている。
軟X線照射ユニット3は、遮蔽ユニット4を包含する照射角度で前方に軟X線を照射する軟X線照射装置9と、軟X線照射装置9を収容する筐体10と、を有している。筐体10は、遮蔽材であるポリ塩化ビニル等を用いてボックス状に形成され、送気開口8から送られてきたエアーをそのまま受け入れる導入口11と、エアーを通過させ遮蔽ユニット4へ放出する放出口12とを有している。また、筐体10には、導入口11位置から後方に延長した後部接合部13、および放出口12位置から前方に延長した前部接合部14が一体に形成されている。後部接合部13には、ファンユニット2が接合され、前部接合部14には、遮蔽ユニット4が接合され、この状態でいずれもねじ止めされている。すなわち、軟X線照射ユニット3には、ファンユニット2と共に、遮蔽ユニット4が着脱自在に装着されている。
軟X線照射装置9は、軟X線を照射する軟X線管15を内蔵し、照射窓16を前方、すなわち遮蔽ユニット4に向けた状態で、筐体10の後部中央に配置されている。
軟X線管15から照射された軟X線は、照射窓16を透過することで、その照射角度が放出口12の大きさに略合致するように規制される。このようにして、軟X線照射ユニット3を通過するエアーに軟X線が照射されるが、この軟X線照射により、エアーが陽イオンと陰イオンとに電離され、エアーがイオン化される。これにより、放出口12から遮蔽ユニット4にイオン化エアーが送り込まれる。このように、放出口12全域に軟X線が照射されるので、エアーのイオン化を効率よく行うことができる。なお、軟X線はエアーの流れ方向17と同方向に照射されることになるため、軟X線の投影面積は、軟X線照射装置9と放出口12との間の距離によって決まる。つまり、市販の軟X線照射装置9を用いる場合には、その照射角度を放出口12と合致させるべく、放出口12と軟X線照射装置9との距離を調節するようにする。
そして、放出口12を通過したイオン化エアーは、遮蔽ユニット4に送り込まれる。また同時に、軟X線も放出口12を透過して遮蔽ユニット4に入射することになる。なお、軟X線照射ユニット3の前後に、それぞれファンユニット2および遮蔽ユニット4をねじ止めにより装着するようにしたが、このねじ止めに代えてキャッチクリップ等を用い、着脱を迅速に行えるようにしてもよい。また、エアーや軟X線を防止すべく、各ユニット間をシールすることが好ましい。
次に、図2を参照し、第1実施形態の遮蔽ユニット4について詳細に説明する。遮蔽ユニット4は、軟X線照射ユニット3から入射した軟X線を遮蔽する遮蔽材と、遮蔽材を充填した収容体20と、を有しており、遮蔽材は、多数の球形部材21で構成されている。収容体20は、ポリ塩化ビニル等の遮蔽性の高い材質を用いてボックス状に構成されており、後面にはメッシュ状の流入開口23が設けられ、前面にはメッシュ状の流出開口24が設けられている(図2(a)参照)。このメッシュにより、エアーの通過を許容すると共に、多数の球形部材21を収容体20内に保持している。なお、メッシュに代えて、パンチング材を用いるようにしてもよい。
多数の球形部材21のそれぞれも、同様にポリ塩化ビニル(塩ビボール)で構成され、その径は15mm程度に形成されている(図2(b)参照)。詳しくは後述するが、この球形部材21の径は、軟X線を遮蔽するには、十分な径である。多数の球形部材21は、収容体20内で流動しないように、かつ多数の球形部材21により構成される空隙が直線上に並ぶことのないように充填される。これにより、流入開口23から流出開口24へと直進する軟X線は、充填された多数の球形部材21に必ず当って吸収される。また、多数の球形部材21は、相互に点接触しているため、必然的に空隙が生ずる。このため、イオン化エアーは、この空隙を縫うようにして、流出開口24に達する。
ここで、軟X線の遮蔽材として用いられているポリ塩化ビニルの有効性について、図3および次式を用いながら説明する。μ=−{Loge(I/Ia)/ρd}という、この式は、透過前の軟X線量Ia(μSv/h)が、原子密度ρ(g/cm3)の障害物中を、距離d(cm)進むと、障害物によって軟X線が吸収され、これにより、透過後の軟X線量I(μSv/h)が減衰するという式を変形したものである。ここで、μ(cm2/g)は質量吸収係数という。
図3(a)は、縦軸を距離dとし、横軸を軟X線の遮蔽率とし、ポリ塩化ビニル(PVC)と、ポリカーボネート(PC)と、ポリエチレンテレフタレート(PET)とを比較したグラフである。PVC、PCおよびPETを比較すると、PVCは他のものに比べ、一桁短い距離dで軟X線を遮蔽することができる。これにより、PVCで軟X線を確実に遮蔽するには、1/Ecm、すなわち4mm程度の厚さであれば十分であることがわかる。ちなみに、PCおよびPETは、2.8cm程度の厚さでなければ遮蔽することができない。
また、図3(b)は、左縦軸を質量吸収係数μとし、右縦軸を軟X線の遮蔽率とし、PVC、PCおよびPETを比較したグラフである。これによると、PVCの質量吸収係数μおよび遮蔽率が一番高く、質量吸収係数μが大きいほど遮蔽率が高いことがわかる。
このことから、上記の式において鑑みるに、距離dが大きくなると、質量吸収係数μは大きくなるということから、原子密度ρも大きくなれば、質量吸収係数μは大きくなるということができる。これを裏付けるように、PVCには、PCおよびPETには含まれていない原子密度の大きい塩素を有しているため、PVCの遮蔽性が高いといえる。これにより、原子密度の高い物質で構成されたポリ塩化ビニルを用いることにより、ポリ塩化ビニルの厚さを薄く(径を小さく)することができ、筐体10、収容体20、球形部材21、並びに後述する隔板27および円柱状部材42をコンパクトにすることができる。また、ポリ塩化ビニルは、安価な材料であり、加工しやすいため製造コストを抑えることができる。なお、原子密度の高い物質として、チッ化ホウ素および炭化シリコン等がある。
以上の装置構成において、除電性能および軟X線漏洩量についての比較の実験を行い、この結果を図4に示す。比較対照として、コロナ放電式除電装置、遮蔽材無しの軟X線除電装置および第1実施形態の軟X線遮蔽ユニット4を適用した軟X線除電装置1を用いる。なお、コロナ放電式除電装置は、先端が尖った電極に高電圧をかけ、コロナ放電を起こしてエアーをイオン化すると共に、イオン化エアーを帯電物26(図1参照)に搬送して除電を行うものである。
除電性能については、+1000Vに帯電させた帯電物26を、60cm離れた位置からイオン化エアーを当て、+100Vにまで除電する時間を測定し、これと同様に、−1000Vから−100Vにまで除電する時間とを測定する。軟X線漏洩量については、サーベーメータを用いて60cm離れた位置での漏洩量を測定する。この結果、本実施形態の軟X線除電装置1の除電時間は、コロナ放電式除電装置の除電時間よりも1/4程度早く、遮蔽材無しの軟X線除電装置の除電時間とほぼ同等である。また、遮蔽材無しの軟X線除電装置の軟X線漏洩量が10mSv/hであるのに対し、本実施形態の軟X線除電装置1の軟X線漏洩量を見ると、限りなく0に近づけることができた。このことから、遮蔽材無しの軟X線除電装置の除電性能を落とすことなく、ほぼ確実に軟X線を遮蔽することができたといえる。
以上のように、第1実施形態に係る遮蔽ユニット4では、多数の塩ビボールにより、軟X線を遮蔽するようにしているため、軟X線を確実に遮蔽することができると共に、イオン化エアーを円滑に送気することができるため、除電性能を損なうことなく、人が介在する領域でも安心して使用することができる。また、原子密度の高い物質を用いることにより、装置構成をコンパクトにすることができ、利便性のよい装置を提供することができる。なお、本実施形態では、ファンユニット2、軟X線照射ユニット3および遮蔽ユニット4を、別体としたが、軟X線照射ユニット3とファンユニット2とを一体(ケース一体)に、あるいは軟X線照射ユニット3と遮蔽ユニット4とを一体(ケース一体)に形成してもよい。なんとなれば、ファンユニット2、軟X線照射ユニット3および遮蔽ユニット4を一体(ケース一体)に形成してもよい。このようにすれば、構造を単純化することができる。また、本実施形態では、球状の遮蔽材を用いたが、遮蔽材を多面体等に形成してもよい。
次に、図5を参照し、第2実施形態に係る遮蔽ユニット30について説明をする。本実施形態の遮蔽ユニット30は、いずれもポリ塩化ビニル製の収容体31およびこれに一体形成した複数の隔板32を有している。収容体31は、第1実施形態と同様にボックス状に構成され、後面には流入開口33、前面には流出開口34が設けられている(図5(a)参照)。複数の隔板32は、流入開口33から流出開口34へと流れる収容体31内のエアー流路35を分け隔てるよう、相互に平行に配設されている(図5(b)参照)。これにより、流入開口33から流出開口34へ向かう複数の部分エアー流路36が構成され、これに対応して流入開口33および流出開口34もスリット状を為している。また、複数の隔板32は、エアーの流れ方向17に向かって波状に形成され、これに伴って複数に分けられた部分エアー流路36も波状に延在している。この場合、複数の部分エアー流路36は、軟X線が直進しないよう波状に形成されているため、軟X線が流出開口34へ向かおうとすると、隔板32に当って吸収される。一方、イオン化エアーは、各隔板32間の部分エアー流路36を通過し、流出開口34へ向かうことになる。
このように、第2実施形態によれば、複数の隔板32により、軟X線を遮蔽するようにしているため、軟X線を確実に遮蔽することができる共に、イオン化エアーを円滑に送気することができる。また、収容体31と複数の隔板32とは一体構成であるため、簡単に製造することができる。
図6を参照し、第3実施形態に係る遮蔽ユニット40について説明をする。本実施形態の遮蔽ユニット40は、いずれもポリ塩化ビニル製の収容体41および複数の円柱状部材42を有している。収容体41は第2実施形態の構成と同様であるため説明を省く。複数の円柱状部材42は、エアー流路35に直交する方向に延在している(図6(a)参照)。延在方向における複数の円柱状部材42の配置は、千鳥状に配設されており、各円柱状部材42間は、相互に離間している(図6(b)参照)。なお、複数の円柱状部材42は、軟X線が間隙を直進しないように配置するため、軟X線は遮蔽ユニット40を透過することがない。これにより、軟X線は複数の円柱状部材42に当り吸収される。一方、イオン化エアーは、流入開口43から間隙をすり抜けて流出開口44へ向かうことになる。
このように、第3実施形態によれば、複数の円柱状部材42により、軟X線を遮蔽するようにしているため、軟X線を確実に遮蔽することができる共に、イオン化エアーを円滑に送気することができる。また、収容体41と複数の円柱状部材42とは一体構成であるため、簡単に製造することができる。
ここで、図7を参照して、本実施形態の軟X線除電装置1の使用例について説明する。上述したように、この軟X線除電装置1は、軟X線照射ユニット3に対し、ファンユニット2および遮蔽ユニット4が着脱自在に構成されている。同図(a)では、軟X線除電装置1を縦置きにして、例えば、天井に設置すると共に、ファンユニット2を装着し、ここから下方にある帯電物26に向けてイオン化エアーを送気する。このとき、帯電物26は、気流のない環境に設置されていたとしても、気流を得ることができるため、帯電物26を効率よく除電することができる。同図(b)では、軟X線除電装置1を縦置きにし、ファンユニット2を取り外すとともに、天井から送られてくるエアーを軟X線照射ユニット3の導入口11に送り込まれるよう配置する。ここから、帯電物26に向けてエアーを送気することができるため、効率よく除電を行うことができる。同図(c)では、軟X線除電装置1を横向きにし、人がこれを保持する。このとき、各ユニットが一体となった軟X線除電装置1から送気されたエアーは、所望の帯電物26に向けて送気することができる。このように、使用態様により、各ユニットを着脱自在に取り外すことで、単体で使用する場合のようにファンユニット2の必要なときと、気流が確保されている場合のようにファンユニット2の不要なときとの使い分けができるようになる。
実施形態に係る軟X線除電装置を模式的に表した構造図である。 (a)は第1実施形態に係る遮蔽ユニットの外観斜視図であり、(b)はA−A線における遮蔽ユニットの断面図である。 (a)はPVC、PCおよびPETの軟X線遮蔽率のグラフであり、(b)は質量吸収係数と軟X線遮蔽率のグラフである。 除電時間および軟X線漏洩量を比較した表である。 (a)は第2実施形態に係る遮蔽ユニットの外観斜視図であり、(b)はB−B線における遮蔽ユニットの断面図である。 (a)は第3実施形態に係る遮蔽ユニットの外観斜視図であり、(b)はC−C線における遮蔽ユニットの断面図である。 (a)は実施形態に係る軟X線除電装置の使用例1であり、(b)は実施形態に係る軟X線除電装置の使用例2であり、(c)は実施形態に係る軟X線除電装置の使用例3である。
符号の説明
1 軟X線除電装置 2 ファンユニット
3 軟X線照射ユニット 4 遮蔽ユニット
9 軟X線照射装置 17 エアー流れ方向
20 収容体 21 球形部材
22 メッシュ 23 流入開口
23 流出開口 26 帯電物
30 遮蔽ユニット 31 収容体
32 隔板 33 流入開口
34 流出開口 35 エアー流路
40 遮蔽ユニット 41 収容体
42 円柱状部材 43 流入開口
44 流出開口

Claims (7)

  1. 送気されてゆくエアーに軟X線を照射しこれをイオン化する手持ちで操作可能な軟X線除電装置であって、
    前記エアーを導入する導入口を照射方向の後端部に有すると共に、前記エアーを放出する放出口を照射方向の前端部に有するボックス状の筐体と、
    前記筐体の前記導入口側に取り付けられ、前記エアーを送気するファンを有するボックス状のファンユニットと、
    前記筐体に設けられ、前記筐体を流れる前記エアーに前記軟X線を照射する軟X線照射手段と、
    前記筐体の前記放出口側に取り付けられ、イオン化した前記エアーの通過を許容すると共に前記軟X線を遮蔽するボックス状の遮蔽ユニットと、を備え、
    前記遮蔽ユニットは、メッシュ状の流入開口およびメッシュ状の流出開口を有し、軟X線遮蔽材で構成した収容体と、
    前記収容体内に充填され、電磁波を遮蔽する物質で構成した多数の塊状部材と、を有し、
    前記ファンユニットおよび前記遮蔽ユニットは、前記筐体に対し着脱自在に構成されていることを特徴とする軟X線除電装置。
  2. 前記各塊状部材が、球形に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の軟X線除電装置。
  3. 前記各塊状部材が、原子密度の高い物質で構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の軟X線除電装置。
  4. 前記各塊状部材が、ポリ塩化ビニルで構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の軟X線除電装置。
  5. 送気されてゆくエアーに軟X線を照射しこれをイオン化する手持ちで操作可能な軟X線除電装置であって、
    前記エアーを導入する導入口を照射方向の後端部に有すると共に、前記エアーを放出する放出口を照射方向の前端部に有するボックス状の筐体と、
    前記筐体の前記導入口側に取り付けられ、前記エアーを送気するファンを有するボックス状のファンユニットと、
    前記筐体に設けられ、前記筐体を流れる前記エアーに前記軟X線を照射する軟X線照射手段と、
    前記筐体の前記放出口側に取り付けられ、イオン化した前記エアーの通過を許容すると共に前記軟X線を遮蔽するボックス状の遮蔽ユニットと、を備え、
    前記遮蔽ユニットは、流入開口および流出開口を有し、軟X線遮蔽材で構成した収容体と、
    前記流入開口から前記流出開口に到るエアー流路を複数に分割すると共に、電磁波を遮蔽する物質で構成した複数の隔板と、を有し、
    前記複数の隔板は、相互に平行に配置され、かつ前記流入開口から前記流出開口に向かってそれぞれ波状に延在しており、
    前記ファンユニットおよび前記遮蔽ユニットは、前記筐体に対し着脱自在に構成されていることを特徴とする軟X線除電装置。
  6. 送気されてゆくエアーに軟X線を照射しこれをイオン化する手持ちで操作可能な軟X線除電装置であって、
    前記エアーを導入する導入口を照射方向の後端部に有すると共に、前記エアーを放出する放出口を照射方向の前端部に有するボックス状の筐体と、
    前記筐体の前記導入口側に取り付けられ、前記エアーを送気するファンを有するボックス状のファンユニットと、
    前記筐体に設けられ、前記筐体を流れる前記エアーに前記軟X線を照射する軟X線照射手段と、
    前記筐体の前記放出口側に取り付けられ、イオン化した前記エアーの通過を許容すると共に前記軟X線を遮蔽するボックス状の遮蔽ユニットと、を備え、
    前記遮蔽ユニットは、流入開口および流出開口を有し、軟X線遮蔽材で構成した収容体と、
    前記流入開口から前記流出開口に到るエアー流路を横断すると共に、電磁波を遮蔽する物質で構成した複数の円柱状部材と、を有し、
    前記複数の円柱状部材は、相互に平行にかつ前記エアー流路に沿って、千鳥状に配設されており、
    前記ファンユニットおよび前記遮蔽ユニットは、前記筐体に対し着脱自在に構成されていることを特徴とする軟X線除電装置。
  7. 前記軟X線照射手段は、前記エアーの流れ方向と同方向に前記軟X線を照射することを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の軟X線除電装置。
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