TW515889B - Microcontactor probe and electric probe unit - Google Patents

Description

515889 A7 B7 五 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 發明説明（ [發明的領域] 本發明係關於微接觸器探針（microcontactor probe)， 例如，導電的小型接觸器、套管銷（socket pin ; SCP)或薄 探針（thinprobe ; ΤΗΡ)，該微接觸器探針具有柱塞（piunger) 作為針狀元件，適用以接觸接觸乾（contact target)，例如， 液晶顯示基板、捲帶式自動接合（tape automated bonding ; TAB)、或封裝基板（package substrate ; PKG)，經由訊號傳 導線，例如，導線（lead wire)取出要傳導到外部電路之電 訊號（electric signal)。本發明更進一步係關於由複數個微 接觸器探針所組成的電探針單元。 [相關技術的說明] 傳統用於電性檢測的電探針單元，例如，印刷電路板 之導體圖樣或電子元件的檢測，是採用由作為傳導用之針 狀元件的柱塞、用以握持可軸向移動之柱塞來做進和出的 丨握持器和用以彈性偏壓柱塞使凸出端自握持器之前端（軸 末端）伸出的線圈彈簧所組成之微接觸器探針，因此容許柱 塞之凸出端來彈性地接觸檢測目標的接觸乾。 以這樣的一個例子來說，顯示在第13圖中的係為已知 之微接觸器探針100，如它在日本專利申請書公開公主第 10-239349號中所揭露的，具有一對與線圈彈簧2之兩端 連結在一起的柱塞3和4之柱塞組件5係安裝容納在絕緣 握持器6和7内的支撐孔8和9之争來容許成對的杈塞\ 和4相互的移動，而已安裝的柱塞3和4則予以壓迫= 出外面且避免掉落的。 -----------------裝----------------------訂---------------------線 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔)

1 312739 515889 五、發明説明（2 在安裝的情況下’避免容納在支撐孔8和9内的柱塞 3和4掉落且以其階梯狀元件（stepped part)與上下端握持 器6和7各自嚙合❶線圈彈簧2在中間部分有一緊密捲繞 螺旋部分2a。在等待狀態下（在此狀態，未將柱塞3導入 來接觸檢測靶），這個中間的緊密捲繞之螺旋部分有一 使柱塞3和4之心軸部分3a和4a接觸的長度。 在電性連接的情況下，以上所提及的探針1〇〇係用來 做檢測的，上端柱塞4的凸出端彈性地接觸固定在疊層於 握持器7上面之佈線板10的導線傳導器u，藉由將下端 柱塞3的伸出端引入彈性地接觸檢測物的檢測靶。檢測 時，如第13圖由帶有箭頭之實線所顯示的，電訊號傳導路 徑L發展自檢測靶12再延伸到下端柱塞3，用於自心轴部 分3a經令間的緊密捲繞之螺旋部分2a傳導到上端柱塞之 心軸部分4a，並且通過上端柱塞4接到導線傳導器u，因 此如形成在基板1 3上的印刷電路之檢測靶1 2可予以檢 測短路或斷路（disconnect)。 在此情況下，必須通過單一的線圈彈簧2的傳導路徑 L包括在中間的緊密捲繞之螺旋部分2a，在此，將電訊號 的重要部分在線圈彈簧2之軸向線性地傳導，因此阻止高 頻訊號流經有額外的電感和電阻之線圈彈簧2的寬鬆捲繞 的螺旋部分。 " 然而，在微接觸器探針1 〇〇中，如第i 3圖所顯示的， 傳導路徑L包括分別用於中間的緊密捲繞之螺旋部分& 和上端柱塞3和4之心軸部分3a和4a間傳導的下 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚 注 •裝 填 寫 tr 線 2 312739 515889 五、發明説明（3

端和上端滑動部分八和B，而用以傳導的兩個滑動部分A 和B引起電阻的擴散，造成檢測正確性之降低 問題。 Ϊ 再者，假如由柱塞3所運用在檢測乾12上的接觸壓力 未大於某-範圍，例如由於要打破檢測靶12之氧化薄層的 =敗’而引起高的接觸阻抗，會使微接觸器探針⑽不穩 定。故因而需要較大的接觸壓力，不過，這個接觸壓力亦 同時會經柱塞4而作用在導線傳導器u，這表示在大量生 產的運用上’在每次測試，導線傳導器uji將會予以施加 巨大的接觸壓力（共計約數十萬到數百萬次），由於提早地 破裂或類似狀況而導致使用壽命的減少，而這則是另一個 問題。 [發明的概述] 訂 因此，本發明的目的是提供微接觸器探針和電探針單 •元，在該單元令，傳導路徑減少傳導滑動部分之元件，且 沒有增加電感或電阻，因而提高檢測的正確性。 線 為達成此一目的，根據本發明的觀點所提供的微接觸 器探針係包含：成形有支撐孔且有開口端和封閉端的絕緣 器、暴露在支撐孔内部封閉端的導線傳導器和安裝在支撐 孔内部及避免掉落之彈性傳導組件，該組件包含暴露在^ 口端外面之第一傳導器部分和與導線傳導器接觸之第二傳 導器部分。其中第一和第二接觸器部分的其中一個係包含 可滑動地接觸第一和第二傳導器部分中之另一個的管形傳 導器部分，以及固定到管形傳導器的另一部分。 本紙張尺度適財國國家鮮（CNS)A4規格（21G X 297公愛 312739 3 五、發明説明（4 ) 根據本發明的這個觀點 σ 規點具有早一滑動接觸之管形傳 冷时口Ρ勿仍可減少高頻的電感。 較適宜地，第一個傳導邱八 二個傳導部分可由第二柱=可由弟一柱塞所組成’第 土和線圏彈簧所組成，而管狀傳 4为可’包含線圏彈簧的緊密捲繞部分。 =者較適宜地，第—個傳導部分可柱塞和線圈 肓所組成，第二個傳導部分可由第二柱塞所組成，而管 形傳導n部分則可包含線圈彈簧的緊密捲繞部分。 或者較適宜地，第一個傳導部分可由開設有凹 =塞所組成’第二個傳導部分可由第二柱塞和線圈彈菩 成’而管形料11部分則可包含在第-柱塞所定義; 凹洞内的管形部分。 我 或者較適宜地，第—個傳導部分可由帶有凹洞一 柱塞和線圈彈菁所組成’第二個傳導部分可由第二柱塞所 =成’而管形傳導器部分則可包含線圈彈簧的緊密捲繞部 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 、或者較適宜地，第—個傳導部分可由第—柱塞所組 成’第二個傳導部分可由帶有凹洞之第二杈塞和線圈彈簧 二：形傳導器部分則可包含線圈彈簧之緊密捲繞 刀、，、個和在第二柱塞所定義之凹洞内的管形部 分。 ° 進：步地’為了完成所描述之目的’根據本發明之另 -個型態’這裡提供由複數個微接觸器探針所組成之 針單元。

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經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 社 印 製 [圖式簡單 本發明上述和更淮_ 運步之目的及新特徵將從以下的詳 細說明及所附之圖式而更完整明顯，_ 第1圖係根據本發明實施例電探針單元的透視圖； ⑼第2圖係第1圖電探針單元的微接觸ϋ探針之縱向剖 視圖， 第3圖係根據本發明 每 月另一貝施例所製之電探針單 微接觸器探針之縱向剖視圖； 叮平凡的 第4圖係根據本發明 _举 另，、施例所製之電掇斜罝分从 微接觸器探針之縱向剖視圖； 、十早兀的 第5圖係板據本發明 ^ ^ 月另一貝施例所製之電探針 微接觸器探針之縱向剖視圖； T早7G的 第6圖係根據本發明 ^ ^ u} ^ - + ¾明另一實施例所製之電探 微接觸器探針之縱向剖視圖； T早70的 第7圖係根據本發明另 ^ ^ αϊ ^ ^,ι +货明另一實施例所製之電探 微接觸器探針之縱向剖視圖； 的 第8圖係根據本發 f 3另貝施例所製之電探針單元 微接觸器探針之縱向剖視圖； 奸早疋的 弟9圖係根據本發明另一實施例所製之電 微接觸器探針之縱向剖視圖； ·早疋的 第10圖係根據本發明另一實施例所製之 _ 的微接觸器探針之縱向剖視圖； 早疋 第11圖係根據本發明另一實施例所製之 _ 的微接觸器探針之縱向剖視圖； 針早疋 本紙張尺度適用中國國格⑽Χ297公釐） 312739

-----------------^----------------------^--------------------% {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔J 5 515889 A7 r----—--—___一—_B7_ 五、發明説明（6 ^ " 一*-—〜 第12圖係根據本發明另一實施例所 的微接觸器探針之縱向剖視圖；以及 &針以

第13圖係傳統電探針單元的微接觸器探針之縱 視圖。 W

[實施例之詳細說明] 廷裡將參考附圖來詳細說明以下之本發明的實施例。 相同的70件則以相同元件符號來表示。 —m顯示根據本發明<第—實施例所做之電探針單 兀PU。探針單元PU係組成做為探針卡（probe card)，包括 作為相對較大之基板的雙面執行板（b〇th_sided pafonnance board)H2和由螺絲鎖緊在執行板沿下面而來 作為相對較小循環基板之實質扁平的變壓器h卜且至少有 一電探針模組PM是藉由螺絲鎖緊在變壓器H1的下面。 經 濟 部 智 慧 財 產 局 工 消 費 合 作 社 印 製 探針單元PU係由被稱為“測試器，，（未顯示出）之電腦輔助 |多軸定位自動裝置所支撐，此致使探針模組？％可被設定 在設計之空間區域内的任意位置，而以最佳的姿勢做目標 靶之（未顯不出）檢測，例如，印刷電路板、微晶片或半導 體晶圓，藉由電接觸來用針探測獲得或取樣電流的資料或 訊號’像是電流的傳導或性能檢查。 電探針模組PM是由被鎖緊在變壓器H1上的實質扁平 、、、邑緣模組设體MH和複數個（本案為四個）電探針區塊？]8的 靶專用陣列（target dedicated array)所組成，每一個電探針 區塊PB的靶專用陣列係分別由，例如在指定距離約 〇.15mm處，結合在模組外殼MH内且其接觸器下端暴露在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇x297公愛）-—------- 6 312739 515889 A7 B7 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 X 消 費 合 if 社 印 製 7 五、發明説明（7 ) 外面之數百個或數千個所組成。每個探針丨係連接到堆疊 在變壓器H1内之佈線板中相對應的導線傳導器上。假如 該單元PU是用於低頻服務時，導線傳導器即可連接到外 部連接線。 第2圖係顯示第1圖之電探針單元？11之任意的微揍 觸器探針1。 探針單元PU有一作為固定在模組殼體MH中的絕緣 板元件之下端探針握持器6, 一作為堆疊在下端探針握持 器6上的絕緣板元件之上端探針握持器7，以及一作為堆 疊在上端探針握持器7上並設有導線傳導器u之絕緣基板 的佈線板10。探針握持器6和7及佈線板1〇係緊密地結 合著。就每一個探針1而言，下端握持器6的圓筒形下端 支撐孔8開設有靠近下端所提供的内部階梯8a，以定義直 控縮減末端元件，而上端握持器7的圓筒形上端支撐孔9 開設有靠近上端所提供的内部階梯9a，以定義直徑縮減末 端元件。在階梯8a和9a之間’下端和上端支撐孔8和9 配：-較大於直徑縮減末端元件的直徑。相對應的導線傳 導器11之下端暴露在上端支撐孔9之上端的内部。 、探針1係由作為安裝凸緣在中間部分讣的傳導針元件 以適合在上端支樓8的幸交大直徑部分做轴向&滑動之下 端柱塞3、作為安裝凸緣在中間部分4b的傳導針元件以適 合在上端支樓？L 9的大直徑部分做軸向地滑動之上端柱 塞4以及由可滑動地安裝在支撐孔8和9的較大直徑部分 及壓縮在下端和上端柱塞3和4的凸緣部分讣和仆之間 Ϊ紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格⑵〇 χ 312739 裝 ·訂--------------------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 515889 A7 B7 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 五、發明説明（8 : 的線圈彈簧2所組成，以致使柱塞3和4诵金a 逍々疋以相反的 方向偏壓。據此，下端柱塞3之凸緣部分3b係壓靠 藉由下端支樓孔8的階梯8a來防止掉落，針頭部分3(；的 圓錐尖端伸出外面’而上端柱塞4之針頭部分4c的7圓1尖 端則壓靠在作為導線傳導器Π之下端的捏執、， 夂 坪坚11a。下端柱 塞3和上端柱塞4係以鎳板配置和由外表面直和為〇 ^八 羞之金板所修飾之工具鋼（SK)所製成。線圈彈簧2則是1 Wm厚的錄板來配置和0.3到〇.5微米厚之金板：修 飾之螺旋成形的鋼琴線（SWPA)所製成。 下端柱塞3的凸面部分3d在凸緣部分3b上面，而向 上延伸的心軸部分3a則在凸面部分3d的上面。上端柱塞 4的凸面部分4d在凸緣部分4b下面。線圈彈簀2有一緊 密捲繞的螺旋部分15a，在上端部分構成一相對較長的管 狀部分15’另一個緊密捲繞的螺旋部分則在下端部分组成 一短管狀部分，而寬鬆捲繞的螺旋部分在兩者之間伸展。 在每-個管狀部分，彈簧2之鄰近螺旋部分上之金板的寬 廣區域則產生緊密的接觸，以至於大部分的電流可充分地 在軸方向作線性地傳導。將長管狀部分15壓入配合以便穩 固地固定用於電流在其上端傳導，而以較整合的方法進二 上端柱塞4的凸面部分4d。短管狀部分亦予以壓入配合以 穩固地固定用於電流在下端柱塞3的凸面部分％傳導°。寬 鬆捲繞螺旋部分係鬆鬆地配合在下端柱塞3的心軸部分 3a。此心軸部分3a在其頂部是可滑動地裝配合來電性連接 到長管狀部分1 5之下端。 ϋ尺度適用中國國家標準（CNS)^7見格⑽ (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) :訂--- 0 線 8 312739 五、發明説明（ 在第-實施例t，在線圈彈菩 ， 繞螺旋部分15a的管狀lx ’、 端形成為緊密捲 4,然而，具有可定在上端柱塞 部分3a的下端柱塞3則緊;：、螺旋邛分15a之心軸 端。 則緊们也配合在線圈彈簧2的另一 更特別地’具有凸緣部分儿之下端柱裏 3b的一側形成針頭 -在凸緣部分 刀3 C ’而被作為相對較 心軸部分3b則經凸面部八^ t殺長的軸部分之 裝 刀Μ整體形成在凸緣邻八π -側。當在待機狀態下（在此狀態下，避免下ζ部^b的另 到檢測靶12)時，如第2 柱基3接觸 苴士# 弟圖所示，心軸部分3a的長产宠哞 其末端到達緊密捲繞之螺 長度谷許 凸面部分3d的直徑。有個::刀…，而且帶有一略小於 凸緣部分4b之上端柱塞4在凸 緣部分4b的一側形成針 社凸 —側形成凸面部分切。部刀4C’而在凸緣部分4b的另 Φ 線圈彈簧2的一媸幺取^ 『 為緊岔捲繞的螺旋部分ί5a，而1 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 社 印 製 :二二\寬鬆捲繞的螺旋部分。在緊密捲繞的螺旋部 塞4，疋a…入配合凸面部分4d來緊密地裝設該上端柱 螺絲鬆捲繞螺旋部分之端點的相對較短緊密捲繞 里：ρ分則藉由插入凸面部分3d與心軸部分3a於線圈

Ui使線圈端點緊緊捲繞在凸面部分，而緊密地裝設在 I端柱塞3。緊密捲燒的螺旋部分15a被決^其轴向的長 -’以便心軸部分3a和凸面部分4d間之軸向距離容許下 端柱塞3為檢測而可適當地操作的。 器（在本例係為線圈彈簧2和下端及上端柱 9 312739 訂 線 五、發明説明（10 塞3和4)的彈性膨脹及壓縮傳導組件，於下文稱為‘‘柱塞 組件’’（plunger assembly)係安裝在握持器6和7之中且上端 桎塞4定位在握持器7之支撐孔9中而下端柱塞3則定位 在握持器6之支撐孔8中。在已安裝的情況下，針頭部分 3C和4c分別有伸出其末端在握持器6和7外面之下端和 上端柱塞3和4係相互可移動地容納在支撐孔8和9内且 藉由凸緣部分3b和4b對接在支撐孔8和9之階梯8a和 9a處，即可阻止其掉落，而這與線圈彈簧2之彈力無關的。 探針1是由疊層在握持器7上面之佈線板1〇所組成。 籍由疊層，上端柱塞4靠著線圈彈簧2的彈力而被迫回到 支撐孔9的内部且其針頭部分4e之末端彈性地接觸佈線板 10之導線傳導器n的焊塾lla，因而容許電性連接。 以此組成之探針！可藉由帶入針頭部分3c以其圓錐的 尖端彈性地接觸形成在基板13上的檢縣12來做檢測。 ㈣時，所發展的電訊號傳導路徑u，如在第2圖中實線 箭頭所指示的，自檢測靶12延伸至下端柱塞3,再由心軸 部分3a經緊密捲繞的螺旋部分…而傳導到上端柱塞4， 再經上端柱塞4導制導線料器u之焊墊⑴，因此檢 =⑴如基板上所形成㈣刷電路，可予以檢測出 或斷路。 “像這樣，·在微接觸器探針1中，藉由線圈彈篑2而以 :八：向ft =之成對的柱塞3和4，係經由緊密捲繞螺旋 口P刀15a(如管狀部分15)達成電 浓义wi【 連接’因此阻止高頻訊 彈簧2的寬鬆捲繞部分 本紙張尺度適用中國n家標準（CNS)A4規格⑽Χ;公笼） 515889

這可達成電感和電組之減少。 發明説明（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 再者’由於緊密捲繞部分15a(如管狀部分15)是在一 完整的狀態下用以相對於柱塞4做電的傳導，兩者之間有 一連接部分C可視為傳導用的固定部分，而不是滑動部 分。在此情況之下，由成對的柱塞3和4及緊密捲繞部分 15a(如管狀部分15)所組成之傳導路徑li有一傳導用之單 一部分為滑動部分D，在那裡柱塞3之心軸部分3 a則予以 帶入做滑動接觸，因此在檢測時容許將電阻的擴散減到最 第3圖顯示一根據本發明之第二實施例所製之微接觸 器探針20。相同元件如同在第一實施例中所給予相同的元 件符號而有其相同的功能，於此將不再做詳細的說明。 探針20有一對下端和上端柱塞3和4。被帶入來接觸 檢測輕12之下端柱塞3係由一伸展在下端柱塞3和上端探 丨針握持裔7之間的輔助彈簧16以較大於上端柱塞4連接到 佈線板10所施加之彈簧負載來偏壓。 更特別地，下端柱塞3有一凸緣部分3b，針頭部分3c 成形在凸緣部分3b的一側，而在3b的另一側，凸面部分 3d則完整地成形。上端柱塞4有一凸緣部分4b，針頭部分 4c成形在凸緣部分4b的一側，而在4b的另一側，長心軸 部分4a經凸面部分4d而完整地成形。心軸部分4a有一在 待機狀態時（於此狀態，阻止下端柱塞3接觸到檢測靶j 2) 容許其端部可觸及緊密捲繞螺旋部分15a的長度，且有一 略小於凸面部分4d的直徑。 -----------------^-----------------------玎--------------------線 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱 11 312739 515889

部 財 員 工 消 費 在第一只施例中，如在第一實施例中，一管狀部分15 包含形成在線圈彈簧2之一側的緊密捲繞螺旋部分15a。 下端柱塞3是用凸面部分3d緊密地壓入配合緊密捲繞螺旋 部分15a而穩固地固定住。上端柱塞4是以心袖部分乜 和凸面部分4d插入螺旋内且螺旋的端部緊密地捲繞在凸 面部分4d，來與寬鬆捲繞螺旋部分結合。 如在第貝施例中，柱塞組件因此組成，上端柱塞4 疋放置在握持器7之圓筒形上端支撐孔9内且下端柱塞3 疋放罝在握持器6之圓筒形下端支撐孔8内以固定在握持 器7和6上，而佈線板1〇是疊層在握持器7的上面，因此 上端柱塞4的針頭部分4c是用以和導線傳導器丨丨之焊墊 11a接觸以提供電性連接。 在第二實施例中，輔助彈簧16是由線圈彈簧所製且予 以放置在線圈彈簧2的外側來彈性地偏壓成對的柱塞3和 4，因此提供具有線圈彈簧2的同軸雙線圈彈簧結構。 更特別地，由線圈彈簧所製的輔助彈簧丨6有一適當較 大於線圈彈簧2的直徑且輔助彈簧16係插入於具有適當略 大於支撐孔9之直徑的支撐孔8，以在握持器7之底表面 7b和有一適當較大直徑的凸緣部分3b之間伸展。 以此組成之微接觸器探針20,下端柱塞3之針頭部分 3c的圓錐尖端係予以帶入彈性地接觸形成在基板η上的 檢測靶12而來做檢測。如第3圖中由實線箭頭所指示的， 檢測訊號的傳導路徑L2自靶12經下端柱塞3延伸到達緊 ^密捲繞的螺旋部分15a，接著再經15a延伸到上端柱塞4:、 尺度適用中標準（CNS)A4規格 12 312739 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各襴〕 _裝 訂· 線 M5889 A7

且經由，塞a4到達導線傳導器u(焊塾lla)。 如在化狀態下’緊密捲繞的螺旋部分15a(管狀部分15) =柱塞3是在完整的傳導狀態，而連接部分£不是滑 ，部分而是固定的傳導部分。在此情況下，由成對的 塞3和4及緊密捲繞的螺旋部分i5a(管狀部分⑺所組 成之傳導路徑L2有一傳導用之單-部分作為滑動部分 "在那裡，上端柱塞4之心轴部分4a是被帶入來與緊密 捲凡的螺旋分15a(官狀部分15)做滑動接觸，因此允許 檢測時之電阻的擴散減到最少。 更進步地，在微接觸器探針20中，線圈彈箬2和輔 ㈣簧1之總彈簧負載作用在下端柱塞3，以便下端柱塞 j予以ι入以在較大的接觸壓力下與檢測靶丨2彈性地接 觸。相反地，線圈彈簧2的彈簧負載僅作用在上端柱塞4, 以致使上端柱塞4可在較小的接觸壓力下予以帶入與佈線 板1〇(焊墊lla)彈性地接觸。 因此，除上面所描述之微接觸器探針i的功能效用 外’微接觸器探針20阻止與檢測靶接觸之穩定性的降低及 取小化伟線板1〇(焊墊lla)的損傷，因而增加佈線板1〇的 使用壽命。 再者，微接觸器探針20之辅助彈簧16係安裝來提供 線圈彈簧2提供同軸的雙彈簧線圈結構，線圈彈簧2可安 裝在一較小的空間，而沒有增加裝置的尺寸。 而且，微接觸器探針20有一雙線圈彈簧結構包含作為 輔助彈簧16之線圈彈簧和在無干涉結構下之線圈彈簧2 1 I ——————— 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210><297公麥/ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 裝 •訂· 線 13 312739 515889 A7 B7 五、發明説明（l4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 的緊密捲繞螺旋部分15a，其中兩個彈簧之間並未互相嚙 合，以確保可適當的檢測。另_個無干涉結構可以兩個線 圈彈簧之雙結構來實現。 口第4圖係顯示根據本發明之第三實施例所製之微接觸 1探針21。探針21除了在下端柱塞3有階梯式的凸緣部 刀3b之外，其具有如上面所描述之微接觸器探針的相 同結構。 更特別地’根據第三實施例之柱塞3的&緣部分汕 係由一直徑較大於輔助彈簧16且接觸輔助彈簧16之線圈 端部的較大直徑凸緣部分3e以及由完整地成形在較大直 徑凸緣部分36的一側及可插進輔助彈簧16之線圈的小直 桎凸緣部分3f所組成，在小直徑凸緣部分3f上形成有一 凸面部分3d。 因此微接觸器探針21豸當地具有如微接觸器探針2〇 所有的相同功能效用，且藉由裝設柱塞3，以小直徑凸緣 部分3f插進輔助彈簧16的螺旋内來確保下端柱塞3的穩 定操作。 第5圖為根據本發明之第四實施例所做的微接觸器探 針探針22的管狀部分15由作為下端柱塞3之伸展區 的管狀部分15b所製。上端柱塞4可滑動地插入於管狀部 分15b。線圈彈簣2是插入於管狀部分⑽内而裝設，以 使柱塞3和4在相反的方向偏壓。 在微接觸器探針22中，一輔助彈簧16是由線圈彈簧 所製且伸展到管狀部分丨51)的外面。 度適用中國國家標規格 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) -訂 線 14 312739 515889 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 社 印 製 A7 B7 五、發明説明（I5 ) 更特別地，下端柱塞3是由針頭部分3c和形成在針頭 部分3c之最接近端部之外層周邊的凸緣部分3b所組成。 管狀部分1 5b以相反方向自柱塞3之最接近的端部延伸到 針頭部分3c。管狀部分15b之内部凸緣部分15c的前端朝 向内。 上端柱塞4是由針頭部分4c和形成在針頭部分4c之 倩最接近端部之外層周邊的凸緣部分4b所組成，而且該上端 柱塞4與插入於管狀部分15b的線圈彈簧2 一起偏壓以可 滑動地安裝在管狀部分1 5b，在那裡，針頭部分4c的圓錐 笑端伸展到内部凸緣部分15c的外面，而凸緣部分4b緊鄰 罪在被阻止出現的内部凸緣部分1 5 c。因此組成之柱塞組 件是裝設在握持器之支撐孔内。 在這個實施例中，握持器是由厚握持器17和堆疊在厚 握持器17之下端面的薄握持器19所組成。厚握持器I? 丨之階梯式的支撐孔1 8包含上端小直徑部分和下端大直徑 部分，兩者以階梯18a做為分界。薄握持器19之小直徑的 支撐孔與階梯式的支撐孔18之下端大直徑部分相連接。上 端小直徑部分的直徑可容許管狀部分151)滑動經過。 本實施例的柱塞組件是以下面的方式而來裝設：使針 頭部分3c的圓錐形尖端突出到支撐孔19a的外面、凸緣部 分3b緊鄰靠在薄握持器19的上表面以防止掉落、管狀部 分15b的上端配置在支撐孔18之上端小直徑部分和針頭部 釦4 c之圓錐尖端突出到上端小直徑部分的外面。 微接觸器探針22更進一步地有堆疊在握持器17 一 - _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇x297公釐） ° 312739 -----------------^-----------------------η--------------------% (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 515889 A7 B7 五、發明説明（W ) 表面的佈線板1 0和延伸到在階梯1 8a和凸緣部分3b之間 的管狀部分15b外面的輔助彈簧16以及凸緣部分3b。上 端柱塞4靠著線圈彈簧2之彈力而推回到管狀部分丨5b 内。針頭部分4c之圓錐尖端被帶入與佈線板10之導線傳 導器ll·的焊墊lla接觸用以電性連接。 用微接觸器探針22所做檢測之訊號傳導路徑L3，如 在第5圖中實線箭頭所指示的，自檢測靶12延伸經由下端 柱塞3和用柱塞3 —體成形的管狀部分15b，至上端柱塞 4 ’經由上端柱塞4到達導線傳導器u(焊墊iia)來做電性 連接。 因此在本實施例下的傳導路徑L3是由成對的柱塞3 和4及管狀部分15b所組成，其中，柱塞3和管狀部分15b 體地組成連續的傳導路徑。在此情況下，傳導路徑L3 有一單獨的部分作為傳導用之滑動部分〇，在此，柱塞4 則予以▼入與管狀部分1 5b接觸，因此允許減少檢測時電 阻的擴散。 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 f 合 社 印 製 再者’在微接觸器探針22中，由線圈彈簧2所提供的 J接觸壓力，容許柱塞4予以帶入與焊墊lla接觸，而由 線圈彈簧2和輔助彈簧16的全彈簧負載造成的接觸壓力， 則谷許柱塞3予以帶入與檢測乾1 2接觸。 ^因此，微接觸器探針22具有如上面所描述的微接觸器 探針20的相同功能效用。 再者’微接觸器探針22和管狀部分丨5t>有一無干涉結 構在那裡，輔助彈簧丨6和在管狀部分丨内部之線圈彈 本紙張尺國家標準（CNS^；見格（21〇 χ 297 —-— 16 312739 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔} 515889

五、發明説明（Π 經 濟 部 智 慧 財 產 局 工 消 費 合 社 印 製 t 2的線圈部分並未互㈣合在—起。這可確保在輔助彈 簧16和線圈彈簧2之間的適當檢測而無干涉。 〜第6圖係顯示根據本發明第五實施例所做的微接觸器 〜十23探針23疋由線圈彈簧2和藉由線圈彈簧2偏壓 J檢測側之靶12的柱塞3所組成的，而線圈彈簧2和柱塞 3係相互可移動地容納在由絕緣材料製成之握持器^和7 所提供的支撐孔内。檢測時’堆疊在握持器7上的佈線板 1〇和靶12是經由線圈彈簧2和柱塞3來電性地連接。 卜在本實施例中’線圈彈菁2在其—端有緊密捲繞螺旋 。卜刀15a製成的管狀部分15。管狀部分15的—端盘佈線 板1〇電性連接’而另一端則與心軸部分&予以帶入與管 狀部分15做滑動接觸的柱塞3結合。 更特別地’線圈彈簧2是由_端為緊密捲繞之螺旋部 刀⑸和另一端為寬鬆捲繞之螺旋部分來組成。緊 =，15a組成管狀部分15’該管狀部分容許訊號： 線性。柱塞3有一凸緣部分讣，在部分讣 分Μ成’而在部分⑽另-側則有通過凸面 =之長心轴部…體成形。在待機狀態下 ;刀：的長度容許其一端可到達緊密捲繞之螺旋部分 15a(在這狀態，阻止柱塞3接觸到檢測靶a)，且 於凸面部分3d的直徑。緊密捲繞之螺旋部分 略小 分15)是處於此一狀態下，而在寬 &狀部 #見鬆捲繞部分的一 轴部分3a和凸面部分3d係插入於螺於 ^ 緊地捲繞在凸面部分3d而將柱塞3姓 乂使螺旋端緊 l____ 一_結合到螺旋上。

本紙張尺度@目緖準（CNS)A4規格（21G 17 312739 ^:1τ--------------------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔} 515889 A7 _____________ B7 五、發明説明（18 ) ^ ^---— 因此所組成的柱塞組件，緊密捲繞之螺旋部分l5a(管 狀部分15)是放置在支撐巩肉 而知堂 %又括札円，而柱塞3則放置在裝配用 之支撐孔内。佈線板1〇是堆疊在握持器7的上表面上。在 這裝配中’將緊㈣繞螺旋部分15a(管狀部分Η)的頂端 予以攜入而與佈線板10之導線傳導器u的焊墊做彈 性接觸，柱塞3之針頭部分3c的圓錐尖端突出握持器6 的外面，而且凸緣部分3b緊鄰靠在支撐孔之階梯上而不會 掉落。 再者，微接觸器探針23之同軸雙線圈彈簧結構的輔助 彈簧16係由放置於線圈彈簧2外側的線 是微接觸器探針2。一樣，僅使柱塞3偏壓到檢測：：： 12 〇 在檢測時，用微接觸器探針23所建構的訊號傳導路徑 L4,如第6圖中實線箭頭所指示的，自靶12延伸到柱塞3， 再經心軸部分3a而到達緊密捲繞之螺旋彈簧丨，並經由 緊雄、捲繞螺旋部分15a而到達導線傳導器n(焊墊lla)。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) 在此情況下，傳導路徑L4有一單獨部分作為傳導用 之滑動部分Η，在那裡，柱塞3之心軸部分3a係予以帶入 與緊密捲繞螺旋部分l5a做滑動接觸，因此允許在檢測時 使電阻分佈減到最小。 因此所建構之微接觸器探針23具有如上面描述之微 接觸器探針20所有的相同功能效用並進一步地除去了佈 線板10側之柱塞，因此減短傳導路徑L4以提供簡易組裝 和改善高頻性能。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 18 312739 19 515889 五、發明説明（l9 ) 第7圖是根據本發明篦丄雄^ 第，、男、施例所製的微接觸器探針 24。該探針24的管狀部分15由在線圈彈簧2之—側成形 的緊密播繞螺旋部分15a所組成。螺旋部分i5n㈣ 插入下端柱塞3所形成的管狀部分而固定在此。上端柱塞 部分有-心轴部分4a被帶入與緊密捲繞螺旋部分⑸滑動 地接觸且與線圈彈簧2之另一端結合。 i更特別地’線圈彈簧2在其一端為緊密捲繞螺旋部分 而其他部分則為寬鬆捲線螺旋部分。螺旋部分15a 組成可允許訊號線性流動的管狀部分15。 下端柱塞3有一凸緣部分3b，在部分3b的-側所形 成的是針頭部分3c。該針頭部分3c挖空的内侧部分形成 -在凸緣部A 3b側有開口之管狀部分。在本實施例中，管 狀部分設有一階梯以在底部側具有小直徑的管狀部分 处，而在開口側具有大直徑的管狀部分化。上端柱塞彳有 -凸緣部分4b’在部分4b的一側形成針頭部分&，而在 另一側則通過凸面部分4d整體形成長心軸部分4a。在如 第7圖所顯示的狀態下（為下端柱塞3避免接觸到檢縣η 心轴部分^的長度容許其頂端可到達緊密捲繞 螺靛部为15a之上端，且有略小於凸面部分化的直徑。 將緊密捲繞螺旋部分15a(管狀部分15)的前端壓入配 ::小直徑管狀部分3,以來固定。在寬鬆捲繞螺旋部分的 ^ ’心轴部分4a和凸面部分“係插入於線圈中，使螺 旋的端部緊密地捲繞在凸面部分4d來使線圈與柱塞4結 > °緊1捲繞螺旋部分15a之頂端的固定除了壓入配合 5 張尺度""ϊΐΤϊ®家標準(CNS)A4 312739

(請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) .線 -裝 -訂 515889 五、發明説明（20 外，也可額外加做焊接，以改善電性能。 =二建構的柱塞組”，上端柱塞4係放 之支#孔的内部’而下端柱塞3則放置在握持器6 之支樓孔的内部’以將它們固定在握持器…， 板10係堆疊在握株哭'·、 ^在握捧i 7的上表面，目而柱塞4 4c的圓錐尖端，為了電 、户刀 J %性連接而予以引入與佈線板10之 V線傳導器11的焊墊Ua接觸。 再者’像微接觸器探針2〇 一樣，微接觸器探針Μ之 同轴雙線目彈簧結構的輔㈣簧16由放置於線圈彈箬2 外側的線圈彈簀製成，以僅使柱塞3偏㈣檢㈣12\ 在檢測時’用接觸器探針24所建構的傳導路徑L5， 如第7圖中實線箭頭所指示的，自乾12延伸經柱塞3之針 頭部分3c而到達緊密捲繞螺旋部分i5a，接著自部分 經心軸部分4a通過柱塞4而到達導線接觸器u(焊墊 11 a) 〇 在傳導路徑L5中，緊密捲繞螺旋部分15a和針頭部分 3C組成傳導用的固定部分J。路徑L5有一單獨部分作為傳 導用的滑動部分K，這那裡，柱塞4之心軸部分乜則予以 帶入與緊密捲繞螺旋部分15a(管狀部分15)做滑動接觸， 因而在檢測時允許減少電阻的擴散。 在因此所建構之微接觸器探針24中，由緊密捲繞螺旋 邛刀15a所製之管狀部分15，其前端係裝入於柱塞3之管 狀部分（小直徑管狀部分3h)以堅固地固定，以致使可獲得 與柱塞3之穩定電性連接。另外，緊密捲繞螺旋部分15 ^紙張尺度適標規格⑽x 297公愛） 20 線 312739 515889 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 21 312739 五、發明説明（21 之吕狀4刀15的其他部分在圓周方向是自由不受拘束 的’以至於適當橫向的負載可應用到柱塞4的心軸部分4a 來提供穩定的電性連接。 因此接觸哭；1 f 时保針24有如上面所描述之微接觸器探 針20的相同功能效用且更進一步提供包含在下端和上端 柱塞3和4之W緊密捲繞螺旋部》1 5a之管狀部分的穩定 電性連接，以確保更可靠的檢測。 ¥ 8圖係根據本發明之第七實施例％製之微接觸器探 針25探針25具有相同於上面所描述之微接觸器探針之 相同…構’除了探針25另有一位於線圈彈簧2和輔助彈簧 16之間的保濩管3f為下端柱塞3的延伸體來做為彈簧2 和16之間的隔板之外。 因此微接觸|§探針25有如上面所描述之微接觸器探 針24所擁有的相同功能效用，且藉由保護管％隔開輔助 彈簧16和線圈彈簧2,以阻止其互相干擾，可更進一步確 保適當地檢測，因而提供穩定的操作。 第9圖係根據本發明第八實施例所製之微接觸器探針 26。該探針26不同於其他實施例的是其管狀部分15提供 由上端柱塞4和線圈彈簧2組成之訊號的線性流動。 更特別地’探針2 6有由兩個管狀部分所組成之管狀部 刀15 ’管狀部分15b為柱塞4的延伸體，而緊密捲繞螺旋 部刀1 5 a形成在線圈彈簧2之一側。下端柱塞3的心轴部 刀3b則可滑動地插入於管狀部分1 %内。 成對的柱塞3和4在轴向被可移動地對中（aiign)且心 ϊ紙張尺ΚΐΙΓ國國家標準（CNS)A4規格d 297公釐-— -----------------^----------------------，玎--------------------^ (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) 515889 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（η ) 軸部分3a係插入於管狀部分15b 管狀部分15b和心軸部分化…圈彈百2疋配置在 η * 刀3的外面。將緊密捲繞螺旋部分 a π入與管狀部分15b作可滑動地接觸，而盆 結合到柱塞3。螺旋部分l5a 、 ..t J乃碼係結合到柱塞4。因 此成對的柱塞3和4是結合在一起的。 更特別地，柱塞3有凸緣立β八1k ^ ^ _ 緣邛刀3b，在部分3b的一側 形成有針頭部分3c，而部分3b ^ , J力側疋經過凸面部分 3d之一體成形的長心軸部分 ^ , 1刀柱基4有凸緣部分4b， 在4b的一側為針頭部分4e， 凸面部分4d。 的另-側是-體成形的 管狀部分㈣延伸到凸面部分4d而與柱塞4 一體成 形。官狀部分15b的中空部分4e延伸到在針頭部分^之 中間部分的斜面，而且透過形忐力 ,攻心形成在針碩部分4c頂端的電鍍 孔4ί而與外面連通。電鍍 电裝孔4f棱供電鍍液之良好流動和 供以穩定地電鏡中空部分4e的牆面和最小化心軸部分以 的滑动阻力。 線圈彈簧2是組成在緊密捲繞螺旋部分…的一端， 而另一端則是與寬鬆捲繞螺旋部分結合。在緊密捲繞螺旋 部分⑸’柱塞3是與心軸部分3a#合插人螺旋中，而凸 面部分3d収壓人配合到線圈的—端。對於寬鬆捲繞螺旋 部^的-端，減4是與插入於心轴部分33外側之線圈内 的管狀部分15結合，而線圈的一端則緊密地捲繞在凸 分4d。 _=所建構的柱塞組件;^在第—實施財（微接觸器 巧張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(21〇 χ 297公· 22 312739 一請先閲讀背面之泫意事項存瑱寫本頁各攔〕 r·-裝 訂‘· .線 515889 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 X 消 費 合 ΐ 社 印 製 五、發明說明（ 十贡著配置在握持器7之支撐孔9内的柱塞4、定 位在握持器6之支撐孔8内的柱塞3和堆疊在握持器7之 上表面的佈線板10而來裝設。 這個裝設實現在待機狀態下的微接觸器探針26(在這 县一〜、阻止柱塞3與檢測靶12接觸），如在第9圖中所 頊不的/纟中，柱塞4之針頭部分4c帶入與導線傳導器 11之焊墊11a做彈性接觸，而在阻止其掉落之條件下，柱 塞=之針頭部分3c伸展到外面。值此狀態，在待機狀態下 的&狀°卩分15b和緊密捲繞螺旋部分15a之末端是部分地 互相重疊的’且有其個別的長度來容許在檢測時將柱塞3 予以推回。在待機時，管狀部分15b和心軸部分3a之個別 的長度供給心軸部分3a適當的插入管狀部分，且容許 在檢測時將柱塞3予以壓回。 因此組成之微接觸器探針26，以有彈性之線圈彈簧 在垂直於中心軸的方向上，把橫向的接觸壓力施加到成 對的柱塞3和4。側向的接觸壓力由用以傳導之滑動部分 Q提供兩組傳導路徑，其中，心軸部分3a接觸管狀部分 15b“狀部分15)連接成對的柱塞3和4來形成第一個傳導 路徑L6。而藉由傳導用之滑動部分R，其中，管狀部分丨扑 接觸緊您捲繞螺旋部分15a(管狀部分15)來連接成對的柱 塞3和4，通過緊密捲繞螺旋部分15a來形成第二個傳導 通道L7。 更特別地，用探針26所檢測得到的訊號是沿著如第8 圖中之實線箭頭所指示的第一傳導路經L6和第二傳導路 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) 裝 •訂· •線 本紙張尺度&中國國家規格⑽7^7^ 23 312739 515889 I五、發明説明（24 ) 徑L7來傳送。第一傳導路徑L6自檢測靶ϊ2延伸到下端 柱塞3，再經過心軸部分3a到管狀部分i 5b和上端柱塞4， 且再通過柱塞4而到導線傳導器U (焊墊丨〗a)。第二傳導 路徑L7自靶12延伸到下端柱塞3,而自凸面部分刊經緊 密捲繞螺旋部分I5a和管狀部分15b到上端柱塞4，且通 過柱塞4到達導線傳導器U(焊墊lla)。 第一傳導路徑L6和第二傳導路徑！^7並沒有用線圈彈 ! 2的寬鬆捲繞部分來組成，其預防由線圈内高頻訊號的 流動引起之電感和電阻的增加，因而減少電感和電阻。 緊密捲繞螺旋部分l5a是與柱塞3在一體地傳導狀態 下堅固地固定在柱塞3，以至於它們的連接部分p沒有建 構傳導用之滑動部分而建構傳導用之固定部分。管狀部分 15b是柱塞4的延伸體。因此整體連續的傳導路徑透過螺 旋部分15a和管狀部分15b來形成。 在此條件下，第一傳導路徑L6的單一部分做為傳導 用之滑動部分Q，其中，柱塞3之心軸部分3a是帶入和管 狀部分1 5b做滑動接觸。第二傳導部分L7的單一部分作 為傳導用之滑動部分e，其中管狀部分i 5b帶入與緊密捲 繞螺旋部分15a做滑動接觸。每一個第一和第二個傳導路 乙L6和L7均有單一滑動傳導部分，因而容許減少檢測時 之電阻散佈。 於是’帶有第一和第二傳導路徑L6和L7之微接觸器 探針26相較於則述之單一傳導路徑的實施例，它在低電阻 下提供更穩定的檢測訊號之傳導。 費 合 社 印 製

4規格（210x297公釐） 24 312739 515889 A7 B7 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 25 五、發明説明（25 ) 第10圖為根據本發明之第八實施例的改良所製之微 接觸器探針施。除了使用單—的握持器50和上端柱塞4 的形狀不同外，探針26a的架構均相同於探針26的結構。 更特別地，由一適當厚度之絕緣材料所製的握持器 容許支撐孔50a的挖空，來用以容納由線圈彈菁2以相反 方向偏壓之上端和下端柱塞3和4,其中柱塞是可往復運 動的。支撐孔50a開設有接近於佈線板1〇相反側之開口處 的階梯50b以避免柱塞的掉落。 上端柱塞4是以針頭部分4c和一體成形在針頭部分軋 後面之凸面部分4d來組成的’而沒有在上述之實施例所顯 示的凸緣部分4b。 在探針施巾，如同在探針26,由成對的柱塞3和4 結合線圈彈簧2來組成之柱幻且件是以前端之柱塞3自階 梯50b之相反侧的開孔插入支撐孔5〇a中，來响合階梯5补 和凸緣部分3b，以預防柱塞3掉落，而佈線板ι〇是堆叠 在握持器上，以將柱塞4之針頭部分4e帶人與導線傳導器 11之焊墊11a接觸。 因此所構建之探針26a，其柱塞組件可藉由自握持器 5〇上將佈線板1G卸下以輕易地更換。因此探針2以不但 改善其維修之工作能力而且提供探針26之功能效用。 另外，這結構亦可應用於微接觸器探針i以改善維修 的工作能力。 第11圖顯示之微接觸器探針27為本發明之第一實施 例的改良。㈣十27相當於第i圖之探針i的上下逆轉結 7紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格⑽-------- 312739 ^ΐτ--------------------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 515889 A7

構，像是線圈彈簧2有一緊寧據辕碟始加、 家么捲繞螺旋部分1 5a來做為形 成於檢測靶12旁邊的營妝卹八】ς ,, ^ 这〜狀σ卩分15，被固定在下端柱塞3 之凸面部分3d的下端，而上端桎夷4 、 工鲕柱基4在其下端有一心軸部 分4a滑動地接觸管狀部分 1刀1)之上的内側。這可達成第 一實施例之相同效用。 第12圖顯示之微接冑器探姜十28 4第一實施例之改良 的變化體。探針28相當於第u圖之探針27的延長和/或 直控減小的結構。注意下端和上端握持器6和7有另一個 握持器60插入它們之間且開設有支撐孔61，其直徑相合 於下端和上端握持器6和7的支撐孔8和9之孔徑。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) 而且’由帕里尼第7號（pauney ν〇·7)(鈀3 5%、銀3 0%、 鉑10%、金10%、鋼14%和鋅1%)所製之下端柱塞3有一 紐的心軸部分3a和一由、淬火後以鎳板準備和以金板來修 飾之鐵材所製之上端柱塞4有一良好傳導的長的心轴部分 4a。XI心軸部分4a是遠遠長於心軸部分3a。上端柱塞4 相較於下端柱塞3更需要較高精確度的加工。上端柱塞4 幾乎不能以另一個尺寸來置換。下端柱塞3可以各種不同 的形式來成功地置換，以容許處理短間距靶。 另外，上端柱塞4的工作能力良好。相反地，帕里尼 第7號為一貴重的材料，具有高的硬度、磨耗阻抗、高的 傳V性、表面抗氧化性和小的電阻上昇。當表面由焊接劑 或相似材料所污染時，它可經削刮後而再使用。因而下端 柱塞3有一平的末端3e。 如同前面所看到的實施例，這裡所揭示的微接觸器探 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 x 297公釐） 26 312739 515889 A7 B7 經 濟 部 智 慧 財 產 局 工 消 費 合 社 印 製 五、發明説明（27 ) 針，如本發明的第一實施例，其中一對藉由主線圈彈簧以 相反方向來偏壓之柱塞以相互運動的方法被容納在由絕緣 器所製之握持器的支撐孔内，在這裡，任一個柱塞係安裝 來伸展到外面和阻止掉落，而另一個柱塞則係安裝來電性 地連接到疊層在握持器上的佈線板，其中至少有一個柱塞 和主線圈彈黄形成一谷許電訊號之線性流動的管狀部分， (而其中，從一對柱塞中，一個柱塞是在一整體的條件下將 包傳導到管狀部分，另一個柱塞則是以滑動方式來電性連 接到管狀部分。 根據第一實施樣態，這裡有三種實例：一種是管狀部 刀簡單地开> 成於主線圈彈簧裡；另一種是管狀部分簡單地 形成於柱塞裡；而最後一種是由主線圈彈簧和柱塞皆形成 有管狀部分。無論如何，藉由主線圈彈簧以相反方向偏壓 的該對柱塞是藉由管狀部分來做電性連接，因而阻止高頻 》訊號螺旋地流過會外加電感和電阻之線圈彈簧的寬鬆捲繞 螺旋部分，如此可實現電感和電阻的降低。 再者，因為與柱塞有關之管狀部分是以一體的條件來 做包性傳導，所以在其間有一互相連接的部分可做為傳導 用的固定部分而不是滑動部分。在此情況下，以成對的柱 塞和一管狀部分所建構之傳導路徑有一單獨部分做為傳導 用之滑動部分，在那裡，另一個柱塞是帶入來做滑動接觸 的，因而允許在檢測時使電阻的散佈減至最少。 值得注意是這個說法“柱塞是在一體的情況下用以電

-----------------^-------------------…II--------------------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 515889 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（π ) 案例下，管狀部分 刀疋籍由壓入配合、軟焊、硬焊或相似方 法整體地連接到柱塞。而在管狀部分形成於柱塞的案例 中，官狀部分是藉由壓入配合、焊接、鋼焊或相似方法而 整體地連接到柱塞或管狀部分係整體形成在柱塞。 根據本發明之第二實施樣態，在根據第一實施樣態之 微接觸器探針中，管狀部分包含形成在主線圈彈箬一端和 固定在柱塞之緊密捲繞螺旋部分，而另_柱塞之心轴部分 係滑動地接觸緊密捲繞螺旋部分以連接到主線圈彈簧的另 一端。 根據第二實施樣態，一個柱塞和緊密捲繞螺旋部分是 藉由傳導用之固定部分來互相連接，而傳導路徑有一單獨 部分做為傳導用的滑動部分。在那裡，另_個柱塞是帶入 作滑動接觸，因而允許在檢測時使電阻的散佈減到最小。 根據本發明之第三實施樣態，在根據第—實施樣態之 微接觸器探針中，管狀部分包含作為—個柱塞延伸體的管 狀部分，另-柱塞係滑動地插人管狀部分而主線圈彈菩則 是插入管狀部分的内部以用於偏壓及隔開兩個枉夷。 根據第三實施樣態，傳導路徑包含成對的柱絲管狀 部分’而該—個柱塞與管狀部分則結成-體以建構連續的 傳導路徑，該連續的傳導路徑有傳導用的單—滑動部分， 在那裡另一個柱塞是帶入與管狀部分作接觸，因而允許在 檢測時使電阻的散佈減到最小。 &根據本發明之第四實施樣態，在根據第—到第三實施 樣·恕之任一個的微接觸器探針中’成對接觸到檢測輕的柱 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) 一裝

•訂----J •線 28 312739 515889 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 29 五、發明説明（29 塞是由安裝於柱塞和握持器之間的輔助彈簧加較大於電性 連接到佈線板之柱塞的彈簧負載來偏壓。 根據第四實施樣態，柱塞的電性連接可予以確保以相 對較大的接觸壓力作用到檢測靶，而以相對較小的接觸壓 力作用到佈線板。 ,根據本發明之第五實施樣態，在根據第四實施樣態的 微接觸器探針中，輔助彈簧由配置在偏壓成對柱塞之主線 圈彈簧外面的線圈彈簧所組成，因此與主線圈彈簧合作來 建構同軸雙線圈彈簧結構。 栌據第五只施樣態，將輔助彈簧架構以與主線圈彈簧 -起組成同軸雙線圈彈簧結構，並可安裝在窄小的空間 内。 根據本發明之第六實施樣態，在根據第五實施樣態的 :接觸器探針中’組成雙線圈架構之輔助彈菁和主線圈彈 η的線圈部分不互相捆住或干涉。 根據二六實施樣態’輔助彈簧和主線圈彈簧避免互相 /ν’以各許確信適當的檢測操作。 微接發明之第七實施樣態’在根據第四實施樣態的 圈彈=振針中’輔助彈簧包含安裝在管狀部分外面之線 建構根實施樣態’藉由管狀部分，補助彈菁適合於 —干部之主線圈彈菁的螺旋部分有關之 ;，以二確=避免輔助和主線圈彈簧互相干 4許確k適當的檢測操作。 312739 -----------------^----------------------，玎-------------------4 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 515889 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 A7 B7 五、發明説明（30 再者，在此揭示微接觸器探針作為本發明之第八實施 樣癌，在此實施樣態中，藉由將主線圈彈簧朝檢測靶側偏 壓之主線圈彈簧和柱塞是以相互移動的方法而容納在絕緣 器所製之握持器所提供的支撐孔内，並且於此實施樣態 中，在做檢測時，在握持器上所疊層的佈線板和檢測靶係 由主線圈彈女和柱塞而電性地連接，其中主線圈彈簧在其 一端有一管狀部分是形成來作為緊密捲繞螺旋部分，而管 狀部分之一端則是電性連接到佈線板且其另一端結合到心 軸部分滑動接觸管狀部分之柱塞，其中柱塞是藉由安裝在 柱塞和握持器之間的輔助彈簧以較大於管狀部分電性連接 到佈線板端的彈簧負載來朝檢測靶側偏壓的。 根據第八實施樣態，藉由主線圈彈簧予以偏壓和帶入 與檢測靶接觸之柱塞是經由緊密螺旋部分所建構之管狀部 分而電性地連接到佈線板，因而防止高頻訊號流經有額外 的電感和電阻之線圈彈簧的寬鬆捲繞部分，因而允許電感 和電阻的減少。 在此情形下，傳導路徑有一單一部分作為傳導用之滑 動部分，在那裡，接觸檢測靶之柱塞的心軸部分是帶入與 由如同緊密捲繞螺旋部分所製之管狀部分滑動地接觸，因 而允許在檢測時使電阻的散佈減到最小。 此外，在佈線板側之柱塞的去除可容許元件數量和傳 導路徑同量的減少。 另外，為了電的連接，柱塞適合以相對較大的接觸壓 力來彈性地接觸檢測靶，而建構來作為緊密捲繞螺旋部分 $紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公f ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔}

515889 A7 B7 五、發明説明（Μ 的管狀部分則適合於以相對較小的接觸壓力來彈性地接觸 佈線板。 根據本發明之第九實施樣態，在根據第一、第四、第 五或第六實施樣態的微接觸器探針中，管狀部分包含在主 線圈彈簧-端形成之緊密捲繞螺旋部分，並藉由配合緊密 捲繞螺旋部分的末端來固定於形成在柱塞内的管狀部分， 個柱塞的〜軸部分則與緊密捲繞螺旋部分滑動接 觸’以連接主線圈彈簣的另一端。 其根據第九實施樣態，建構來作為緊密捲繞螺旋部分的 P刀藉由配合緊密捲繞螺旋部分的末端來固定於形 ΐ在检塞㈣管狀部分，以此達成與柱塞㈣之穩定的電 連接。 再者，建構來作為緊密捲繞螺旋部分的管狀部分除末 :外的部分在圓周方向是未固定的，以致使可施加適當的 負載到另-柱塞之心轴部分’因而達成穩定的電連 料垃=本發明之第十實施樣態’在根據第九實施樣態的 态探針中’一柱塞有一放在主線圈彈簧和輔助線圈 沾總之間作為延伸體的保護管部分’以用來區隔兩個彈蕃 的螺旋部分。 一 邮八^據第十實施樣態，辅助和主要線圈彈簧是由保護管 刀/刀開使其不互相干涉以確保適當的檢測操作。 之微第Γ實施樣態’在根據第一實施樣態 ______管狀部分包含兩個管狀部分做為管狀 本紙 31 312739 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔} 裝 •訂_ •緣 515889 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（32 ) 部分的結合體，如一個柱塞的延伸體和形成在主線圈彈簧 一端之緊密捲繞螺旋部分，另一個柱塞的心軸部分可滑動 地插入|狀部分，該對柱塞係藉由插入心軸部分到管狀部 分而陣列為可互相地軸向移動，主線圈彈簧則配置在管狀 部分和心軸部分外面且連接到該成對柱塞，而緊密捲繞螺 旋部分則滑動接觸著兩端各與一柱塞結合的管狀部分。 根據第十一實施樣態，主線圈彈簧靠其彈性而適於以 實質垂直中心軸的橫向方向來施加接觸壓力於該對柱塞 上’藉由橫向接觸壓力的施加來建立兩組傳導路徑：第一 傳導路徑透過該對電流互相流通的柱塞而建立，其有一傳 導的滑動部分，在那裡，心軸部分接觸管狀部分：而第二 2導路徑經緊密捲繞螺旋部分穿過該對電流互相流通的柱 基而建立，其有一傳導滑動部分，在該傳導滑動部分，管 狀部分接觸緊密捲繞螺旋部分。兩組傳導路徑的每一組各 有單獨的傳導用滑動部分，目而允許在檢測時將電阻的散 佈減到最小。 根據本發明之第十二實施樣態，在根據第一、第二或 第十Μ施樣悲之微接觸器探針中，支撐孔是貫穿在握持 器内且有一用以阻止掉落之階梯部分設於佈線板的相反側 靠近開口處。 根據第十二實施樣態，自握持器將佈線板移開，容許 與支撐有關之柱塞組件的易於插入和取出。 ·〒_…… (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) :江· 線 根據第一實施樣態，自上面的描述可看到：

312739 515889 A7 B7 五、發明説明（33 ) Z狀部分而電性地連接，因此阻止高頻訊號螺旋形地流過 有額外電感和電阻之線圈彈簧的寬鬆捲繞螺旋部分，因而 達成電感和電阻的減少；以及 (2).管狀部分是在—整體的情況下用於與柱塞有關之 電傳導，在其之間有-内部連接的部分可做為傳導用之固 定部分而不是滑動部分，在此情況下，以成對的柱塞和管 狀部分所组成之傳導路徑有一單獨的部分做為傳導用的滑 動部分。在那裡，另一個柱塞是帶入做滑動接觸，因而允 許在檢測時電阻的散佈最小化，因此它可實現微接觸器探 針和電探針單元之供給，其中，傳導路徑傳導用之滑動部分的數目減少’而電感與電阻皆無增加’因此容許提升檢 測之正確性。 根據第二實施樣態，傳導路徑有一單獨部分做為傳導 用之滑動部分，在那裡，另一個柱塞係帶入做滑動接觸，，❿因此容許檢測時電阻的散佈最小化，這可導致檢測正確性 之提升。 根據第三實施樣態，傳導路徑有一傳導用之單獨滑動 部分，在那裡帶入另-個柱塞來接觸管狀部分，因此容許 檢測時電阻的散佈最小化，這可導致檢測正確性之提升。 根據第四實施樣態，可確保以相對較大的接觸壓力將 柱塞電連接到檢測乾’而以相對較小的接觸壓力將柱塞電 連接到佈線板’因此它除可達成第一到第三實施樣態提供 之微接觸器探針的任-效用夕卜，更抑制佈線板側的損傷和 使連接到檢測靶的電連接穩定，進而提升佈線板的使用壽 -------- ' " -------------- ————————————__ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚） 注 訂 線 33 312739 515889 A7 B7 五、發明説明（34 ) 命 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 根據第五實施樣態’輔助彈簧是建構來盘主線圈彈簧 組成-同軸雙線圈彈簧的結構，並可安裝在窄小的空間： 除了第四實施例的效用夕卜’更容許抑制整個裝置的加大。 根據第六實施樣態，除了第五實施樣態的效用外，辅 助和主要線圈彈簧是避免互相干涉的，因此容許確信而適 當的檢測操作，故而容許穩定的操作。 根據第七實施樣態’除了第四實施樣態的效用外 由管狀部分，輔助和主要線圈彈簀是避免互相干涉的 此容許確信而適當的檢測操作，故而容許穩定的操作 根據第八實施樣態，除了第一實施樣態的效用外％ 佈線板側之柱塞的移除考量到元件數量和傳導路徑長度之 同量的減少，因此允許提升組件的性f和高頻性能。 另外，對於電的連接，柱塞適於以相對較高的接觸壓 力來彈性地接觸檢料’而組成作為緊密捲繞螺旋部分的 管狀部分是適於以相對較小的接觸壓力來彈性地接觸佈線 板，因此耐抑制在料板側的損傷，且電連接到檢測乾是 穩定的，因而允許佈線板使用壽命的提升。 根據第九實施樣態，組成作為緊密捲繞螺旋部分之管 狀部分提供柱塞間之穩定電連接，且容許可靠性之提升以 確保檢測的操作。 藉 因在 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) _裝 •訂----1 •線 根據第十實施樣悲，輔助和主線圈彈菁是由保護管部 分來隔開’使其無相互的干涉’用以確保適當的檢測操作，

312739 M5889 經 濟 部 智 慧 財 局 員 消 合 作 社 印 製 五、發明説明（％ ) 根據第十一實施樣悲，藉由橫向接觸壓力的運用，這 裡建立了兩组傳導路徑：第—個傳導路徑是透過該對電流 互相流通的柱塞而建立，其有一 μ v ’ 傳导的滑動部分在此滑動 ，心軸部分接觸管狀部分；而第二個傳導路徑經緊密 捲‘螺旋部分穿過一對電流互相流通的柱塞而建立，其有 -傳導滑動部分’在該滑動部分，管狀部分接觸緊密捲繞 塌I螺旋口ρ Λ因此匕可達成低頻特性如電阻予以抑制和高頻 特性像是電感予以提升。 ^根據第十一實施樣恶，自握持器將佈線板移開以容許 幫助柱塞組件的更換，可允許維修保養的提昇。 由上面描述將看到，本發明曾考慮到可用一小的接觸 壓力來實現之較佳的接觸條件，譬如，當佈線板有一鍍金 鋼膜做為傳導部分時，而提供一微接觸器探針和電探針單 70也是本發明的一個目的，在那裡，帶入與檢測靶接觸之 枉塞可用較大於柱塞電性地連接到佈線板之彈簧負載來予 以偏壓’因此容許佈線板有一提升的使用壽命而沒有減少 檢測的正確性。 當使用特殊術語來說明本發明之實施樣態時，如此的 4明是用做為說明之目的，而也應明瞭可能會做出更改和 變異但並沒有脫離下面的申請專利範圍。 [元件符號說明] (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) 微接觸器探針 2 緊密捲繞螺旋部分3 心軸部分 3b 規格笼 2a 3a 線圈彈簧 柱塞 中間部分 35 312739 515889 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、 發明説明（36 ) 3c 針頭部分 3d 凸面部分 3e 較大直徑凸緣部分 3f 小直徑凸緣部分 3f 保護管 3g 大直徑的管狀部分 3h 小直徑的管狀部分 4 柱塞 4a 心軸部分 4b 中間部分 4c 針頭部分 4d 凸面部分 4e 中空部分 4f 電鍍孔 5 柱塞組件 6 上端握持器 7 下端握持器 7b 握持器之底表面 8 支撐孔 8a 階梯 9 支撐孔 9a 階梯 10 佈線板 11 導線傳導器 11a 焊墊 12 檢測乾 13 基板 15 管狀部分 15a 緊密捲繞螺旋部分 15b 管狀部分 15c 内部凸緣部分 16 辅助彈簧 17 厚握持器 18 支撐孔 18a 階梯 19 薄握持器 19a 支撐孔 20 微接觸器探針 21 微接觸器探針 22 微接觸器探針 23 微接觸器探針 24 微接觸器探針 25 微接觸器探針 26 微接觸器探針 26a 微接觸器探針 27 微接觸器探針 28 微接觸器探針 50 單一的握持器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） 36 312739 0^ (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) • -1T.· -線 515889 A7 B7 五、發明説明（37 ) 50a 支撐孔 50b 階梯 60 握持器 61 支撐孔 100 已知之微接觸器探針 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A 下端滑動部分 C 連接部分 G 滑動部分 H2 雙面執行板 K 滑動部分 L2 傳導路徑 L4 傳導路徑 L6 第一個傳導路徑 ΜΗ 絕緣模組殼體 ΡΒ 電探針區塊 Q 滑動部分 B 上端滑動部分 D 滑動部分 H1 扁平變壓器 J 固定部分 L 傳導路徑 L3 訊號傳導路徑 L5 傳導路徑 L7 第二個傳導通道 PM 電探針模組 PU 電探針單元 R 滑動部分 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） 37 312739

Claims (1)

1. 515889 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1. 一種微接觸器探針，包含： 開設有支撐孔之絕緣器，而該支撐孔具有開 封閉端； 暴露在支撐孔封閉端内部的導線傳導器；以及 裝配在支撐孔内和阻止掉落之彈性傳導組 、1丁琢組 件包含： 暴露在開口端外面的第一傳導器部分；和 接觸導線傳導器的第二傳導器部分，其中第一和第 二傳導器部分的其中一個包含： 滑動地接觸第一和第二傳導器部分之另外 一部分的管狀傳導器部分；以及 固疋在管狀傳導器部分的另一部分之固定傳導写 部分。 2·如申請專利範圍第1項的微接觸器探針，其中第一傳導 器部分包含第一柱塞，第二傳導器部分包含第二柱塞和 線圈彈簧’而管狀傳導器部分包含線圈彈簧之緊密捲繞 部分。 3·如申請專利範圍第1項的微接觸器探針，其中第一傳導 器部分包含第一柱塞和線圈彈簧，第二傳導器部分包含 第二柱塞，而管狀傳導器部分包含線圈彈簧之緊密捲繞 部分。 · 4·如申請專利範圍第1項的微接觸器探針，其中第一傳導 器部分包含帶有凹洞之第一柱塞，第二傳導器部分包含 第二柱塞和線圈彈簧，而管狀傳導器部分包含界定在凹 端和 個的 rtt先閱讀背面之注意事項^寫本頁) 誨 r·裝--------訂------ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 515889 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 洞之第一柱塞的管狀部分。 5.如申請專利範圍第1項的微接觸器探針，其中第一傳導 器部分包含帶有凹洞之第一柱塞和線圈彈簧，第二傳導 器部分包含第二枉塞，而管狀傳導器部分則包含線圈彈 簧之緊密捲繞部分。 6·如申請專利範圍第1項的微接觸器探針，其中第一傳導 器部分包含第一柱塞，第二傳導器部分包含有凹洞之第 二柱塞和線圈彈簧，而管狀傳導器部分則包含線圈彈簧 之緊密捲繞部分和界定凹洞之第二柱塞的管狀部分。 7. —種電探針單元，其包含複數個如申請專利範圍第1項 至第6項之任一個接觸器探針。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------养 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 39 312739