JP7301882B2 - 電気的設計及び機械的設計が互いに分離された電気試験プローブ - Google Patents
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Description
Claims (10)
- 垂直プローブアレイであって、
2以上の垂直プローブを備え、
前記垂直プローブの各々は、
導電性を有する第1の部材と、
機械的弾性を有する第2の部材と、
前記垂直プローブの垂直方向の両端にそれぞれ配置された第1の先端部及び第2の先端部を含み、
前記第1の先端部は、被試験デバイスに対して一時的に電気接触するように構成され、
前記第2の先端部は、試験装置に対して電気接触するように構成され、
前記第1の先端部と前記第2の先端部との間の電流経路が、主に、前記第1の部材を通り、
前記第1の先端部と前記第2の先端部との間の機械的コンプライアンスが、主に、前記第2の部材によって決定され、
前記第1の先端部は、前記第2の部材上に配置され、
前記第2の先端部は、前記第1の部材上に配置され、
前記第1の部材は、第1の摺動電気接点を前記第1の先端部に近接して形成するように構成され、
電気絶縁性を有する機械的接続部が、前記第1の部材と前記第2の部材との間に、かつ、前記第2の先端部に近接して配置されることを特徴とする垂直プローブアレイ。 - 請求項1に記載の垂直プローブアレイであって、
前記垂直プローブが貫通して配置される電気絶縁性ガイドプレートをさらに備え、
前記垂直プローブのうちの選択された2つのプローブの伝送線路インピーダンスが、主に、前記選択された2つのプローブ間の間隔、及び前記選択された2つのプローブ間の実効誘電率に従って決定されることを特徴とする垂直プローブアレイ。 - 請求項2に記載の垂直プローブアレイであって、
前記選択された2つのプローブの前記伝送線路インピーダンスは、50Ωであることを特徴とする垂直プローブアレイ。 - 請求項2に記載の垂直プローブアレイであって、
前記選択された2つのプローブの前記伝送線路インピーダンスは、前記選択された2つのプローブの前記第1の部材の幾何学的構造によって実質的に決定されることを特徴とする垂直プローブアレイ。 - 請求項2に記載の垂直プローブアレイであって、
前記選択された2つのプローブの前記伝送線路インピーダンスは、前記選択された2つのプローブの前記第2の部材の幾何学的構造に実質的に依存しないことを特徴とする垂直プローブアレイ。 - 請求項2に記載の垂直プローブアレイであって、
前記選択された2つのプローブ間の前記実効誘電率は、前記選択された2つのプローブ間の前記電気絶縁性ガイドプレートに1以上の空隙または介在物を設けることによって変更されることを特徴とする垂直プローブアレイ。 - 請求項2に記載の垂直プローブアレイであって、
前記第1の部材の第1の横方向寸法が、前記第2の部材の第2の横方向寸法よりも実質的に大きく設定され、それにより、前記選択された2つのプローブ間の間隔が、前記伝送線路インピーダンスに実質的に影響を与えることなく変更可能であることを特徴とする垂直プローブアレイ。 - 垂直プローブアレイであって、
2以上の垂直プローブを備え、
前記垂直プローブの各々は、
導電性を有する第1の部材と、
機械的弾性を有する第2の部材と、
前記垂直プローブの垂直方向の両端にそれぞれ配置された第1の先端部及び第2の先端部を含み、
前記第1の先端部は、被試験デバイスに対して一時的に電気接触するように構成され、
前記第2の先端部は、試験装置に対して電気接触するように構成され、
前記第1の先端部と前記第2の先端部との間の電流経路が、主に、前記第1の部材を通り、
前記第1の先端部と前記第2の先端部との間の機械的コンプライアンスが、主に、前記第2の部材によって決定され、
前記第2の先端部は、前記第2の部材上に配置され、
前記第1の先端部は、前記第1の部材上に配置され、
前記第1の部材は、第2の摺動電気接点を前記第2の先端部に近接して形成するように構成され、
電気絶縁性を有する機械的接続部が、前記第1の部材と前記第2の部材との間に、かつ、前記第1の先端部に近接して配置されることを特徴とする垂直プローブアレイ。 - 請求項1に記載の垂直プローブアレイであって、
前記第1の部材は、前記第2の部材を実質的に横方向に取り囲むシェルとして構成されることを特徴とする垂直プローブアレイ。 - 請求項9に記載の垂直プローブアレイであって、
前記第1の部材の各々は、前記シェルの側壁に設けられる1以上のインダクタンス制御要素を含み、
前記1以上のインダクタンス制御要素は、孔及びスロットからなる群から選択されることを特徴とする垂直プローブアレイ。
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