TW422725B - An air filter, the manufacturing method, and a high efficiency air cleaning apparatus - Google Patents

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__^22725 五、發明說明（1) — ~~^ 【發明所屬技術領域】 本發明係關於例如在無塵室、無塵操作台或保管庫等 高度潔淨裝置使用之用以除去環境中之氣體鹽基性雜質和 氣體有機雜質之空氣淨化過濾器《此外，本發明係關於這 種空氣淨化過濾器之製造方法及使用該空氣淨化過濾器之 高度潔淨裝置。 【習知技術】 今曰在製造LSI或LCD面板等時廣為利用高度潔淨裝 置。例如由空白晶片到製造1M之DRAM晶元為止之半導體生 產線包含約200個製程’又由無垢之玻璃製造94吋TFT型 LCD面板之生產線包含約80個製程。在這些生產線上，使 晶片或玻璃基板在各製程 '-直連續地流動是困難的0例如 在TFT-LCD之生產線’在前段製程已形成了全部的電路的 半成品基板’到移到後段製程為止被迫在晶舟（C a r r i e r )或保管庫（Stocker)内曝露在高度潔淨裝置内之環境 下等待數小時〜數十小時。 像這樣將半導體基板或LCD基板長時間放置在一般之 高度潔淨裝置環境中時，在那些基板之表面就附著來自高 度潔淨裝置環境之氣體有機物近年來，在這種高度潔淨 裝置中以氣體狀存在並在附著於在韦導體製造所使用矽晶 片或LCD面板製造所使用玻璃基板之表面之情況影響半導 體或LCD面板之特性的有酸性物質、鹽基性雜質、有機 物、摻雜劑等。

C:\Program Files\Patent\P1222. ptd 第 4 頁 -——4^27 2 5 ------------- 五、發明說明（2) I 若依據SEMATECH於1995年5月31日發表之Technology

Transfer #950a2812A_TR 「Forecast of Airborne Molecular Contamination Limits for the 0.25 Micron High Performance Logic Process」，將這些酸性物質、 鹽基性雜質' 有機物、摻雜劑稱為化學污染物質，各自定 義如下。 「酸性物質」：產生如電子受子般之化#性反應舉動 之腐蝕性物質（氟酸HF、硫氧化物S0X、氮氧化物N0X等） 「鹽基性雜質」：產生如電子受子般之化學性反應舉 動之腐蝕性物質（氨NH3、胺等） 「有機物」：在常壓下具有常溫以上之沸點、凝結於 潔淨表面之物質（甲矽烷氧基、鄰苯二曱酸鹽、HMDS、 BHT 等） 「摻雜劑」：阻礙半導體元件之電氣特性之化學元素 (硼B、磷P ) 表1係美國SEMATECH於1995年5月31日發表之刊載在 丁 e c h η ο I 〇 g y T r a n s f e r # 9 5 0 5 2 8 1 2 A - T R「F o r e c a s t 〇 f Airborne Molecular Contamination Limits for the . 0. 25 Micron High Performance Logic Process」之0· 25 # in製程（1 99 8年以後）所需化學污染容許濃度（ppt )之一 覽表。在容許濃度（ppt )之下部所,示％值表示各容許濃度 之可靠度。在此表示化學污染深刻之4種半導體製程之潔 淨空間之化學污染容許濃度。在未對氣體雜質採取化學污 染對策之一般之無塵室環境中所含化學污染濃度之實測

C:\ProgramFnes\Patent\P1222.ptd 第 5 頁 _422725 五、發明說明（3) 例，大約酸性物質為l〇〇ppt〜l〇〇〇ppt、鹽基性雜質為 1000ppt~10000 ppt、有機物為lOOOppt〜lOOOOppt、摻雜劑 為 10ppt、100ppt。 【表1】 製程 最長等待時間 酸性物質 鹽基性雜質 有機物 摻雜劑 閘氧化膜 4 13000 13000 ι,οοσ 0Λ 前製程 50% 50% 75¾ 90% 矽化物 1 180 13,000 35,000 1,000 50% 25% 75¾ 75% 配線 24 5 13, 000 2,000 100,000 50% 25% 75% 75¾ 光蝕刻 2 10,000 1,000 100,000 10,000 75% 90% 50¾ 50% 因此，在對這些氣體雜質未採取化學污染對策之一般 之無塵室環境之化學污染濃度和表1之化學污染容許濃度 相比，得知在容許濃度（ppt)之數字標示底線之製程需 要嚴格之控制。即，對酸性物質需要嚴格之控制，在矽化 物製程為180ppt、在配線製程為5ppt。又，對鹽基性物質 需要嚴格之控制，在光蝕刻製程為1 ppt。對摻雜劑需要極 嚴格之控制，在閘氧化膜前製程為0. 1 ppt。對有機物需要 嚴格之控制，在閘氧化膜前製程為1 ppt、在配線製程為 2ppt ° 用以製造半導體基板或玻璃基板之之各種高度潔淨裝 置，例如無塵室、無塵操作台、無塵房間、用以保管潔淨

C:\PrograraFiles\Patent\P1222.ptd 第 6 頁 __^__ 五、發明說明¢4) 產品之各種保管倉庫等各種規模之高度潔淨裝置或稱為迷 你環境之局部性高度潔淨裝置，如表1所示之各種氣體之 酸性物質、鹽基性物質、有機物、摻雜劑等雜質成為問 題。 其中，摻雜劑在水溶性之硼酸化合物或磷酸化合物上 顯示和酸性物質相似之化學舉動，具有吸附並除去氣體有 機雜質之能力之過濾器也可吸附並除去摻雜嗍。由表1得 知，各自在閘氧化膜前製程需要一起除去有機物和摻雜 劑、在配線製程需要一起除去酸和有機物。 在表1雖未記載，在光蝕刻製程發生之氣體污染物， 除了氣以外，還有HMDS (Hexamethyldisilazan六甲基雙 矽氨烷）及其分解物。HMDS係為了使光蝕刻膜和矽晶片之 密接性良好而塗在晶片之親油性物質，極易附著在表面 (晶片、透鏡、玻璃等）。HMDS在2~3天内加水分解後，

氣化為氨和三甲矽烷醇。三甲矽烷醇附著在透鏡或反射鏡 後令其表面發暈，在曝光處理時引起曝光障礙。在線寬0. I 25ym之元件使用KrF電射曝光（248nm)，但是在預料自.1 i 2000年開始量產之適應Gbit之線寬0.18 之元件也可能 | 延用KrF電射曝光。 HMDS或三甲矽烷醇所引起透鏡之發暈有致命性不良影 響。HMDS或三甲矽烷醇都是不會離于化之有機物，在Γ9 9 7 年之光蝕射製程問題不如氨嚴重，但是在適應Gbit之線寬 0·18 ym之元件製造之光蝕刻製程需要一起除去鹽基和有 機物。

C:\Prograni Files\Patent\Pl222. ptd 第 7 頁 422725 五、發明說明（5) 這4種化學污染物質之中，關於酸性物質、鹽基性物 質、摻雜劑3種，水溶性的多，易發生離子交換反應、中 和反應。因此，在自潔淨空間之空氣中除去這3種化學污 染物質之方法上，有習知之利用濕式洗淨（洗滌洗淨）在 水溶液溶解之除去方法、或利用離子交換纖維或添加了藥 品之活性碳等所謂的化學式過濾器之化學吸附方法。而， 該4種化學污染物質之中，關於有機物不易溶於水的多， 在自潔淨空間之空氣中除去之方法上有利用活性碳之物理 吸附方法。 酸性物質、鹽基性物質、摻雜劑之氣體無機雜質如上 述所示，到目前為止用濕式洗淨、離子交換纖維、添加了 藥品之活性碳3種方法除去。 濕式洗淨係利用液滴噴霧溶解除去酸性物質、鹽基性 物質、摻雜劑之方法。 在使用添加了藥品之活性碳之化學式過濾器之最簡單 之形式上，周知的有在構造上將添加了藥品之粒狀活性碳 填入規定之箱子等之充填筒。又，在其他形式上，周知的 有在構造上將添加了藥品之纖維性活性碳和低融點聚酯或 聚酯不織布之黏合劑複合而變成毛氈狀之化學式過濾器、 或是用黏接劑將添加了藥品之粒性活性碳堅固地附著在氨 基曱酸脂泡沫塑料·或不織布之塊狀|薄片狀之化學式過濾 器。這些化學式過濾器利用和所添加藥品之中和反應吸附 並除去氣體酸性物質、鹽基性物質。 使用了離子交換纖維之化學式過濾器，利用由以酸性

C:\Prograra F i1es\Patent\P1222. ptd 第8頁 422125 五、發明說明（6) 陽離子交換纖維和鹽基性陰離子交換纖維為基材之不織 布、抄紙、毛氈等構成之過濾器以離子交換方式除去係空 氣中所含之酸性、鹽基性雜質之各種離子。 可是在濕式洗淨，噴霧裝置之初期費用大，嘖霧之高 壓損失所引起之運轉費用也無法忽略。此外，在製造半導 體元件（LSI )或LCD時所利用之高度潔淨裝置保持在溫度 23〜25 °C、濕度40〜5 0%。因此，在邊將高度潔淨裝置内之 空氣濕式洗淨邊循環之情況，為了處理液滴噴霧後之溫度 降低或濕度上升，需要對於液滴喷霧後之空氣再度進行溫 丨濕度控制。又，在噴霧裝置之後段側也需要殘留在液滴噴 霧之空氣中之液滴之除去裝置（所謂的Carry Over問題 )。此外，在噴霧裝置循環使用之洗淨液之處理，有例如i 防止細菌類發生或溶解污染物之濃縮分離等水處理特有之 間題。 又在利用了添加了藥品之活性碳或離子交換纖維之所 謂的化學式過濾器有如下之問題。首先列舉兩者共同之如 下之問題點。例如，在天花板面為潔淨空氣之吹出面之無 塵室之情況，在裝於天花板之粒子除去用過濾器之上游侧

I 配置化學式過濾器，係用以除去無塵室環境中之氣體雜質| 極有效之方法，可是活性碳在消防法上係指定之可燃物， 離子交換纖維也由棰易著火之材料樽成，需要嚴格小心 火。因而’由防災之觀點，在天花板配置使用了活性碳或 離子交換纖維之化學式過濾器有困難。 - 此外，在利用添加了藥品之活性碳之化學式過濾器，

C:\Program Files\Patent\P1222, ptd 第 9 頁 422725 五、發明說明（7) 有如下之問題。充填筒式之習知之化學式過濾器，雜質之 吸附效率高，但是有壓力損失（通氣阻力）高之缺點。毛 氈形狀或薄片形狀之習知之化學式過濾器具有優異之透氣 性，吸附效率也不比充填筒式遜色很多。可是，構成材料 丨（例如不織布、黏合劑等）、或令活性碳黏在薄片之黏接 劑（例如氣丁橡膠系樹脂、氨基甲酸脂系樹脂、環氧系樹 脂、矽系樹脂等）、或用以將過濾材料固著-在周圍之框架 之密封材料（例如氣丁橡膠或矽橡膠等）等發生之氣體有 機雜質被含在通過化學式過濾器之空氣中，可能對製造半 導體有不良影響。 即，這些使用毛氈形狀或薄片形狀之添加了藥品之活 性碳之化學式過濾器雖然除去酸性或鹽基性之極微量之雜 質或ρ ρ 1;級之摻雜劑，卻令自化學式過遽器本身發生之氣 體有機雜質混入通過之空氣中。這些化學式過濾器很多原 本係為了除去居住環境中之有害氣體或惡臭而開發後直接 被轉用為化學式過濾器的。因此，因其性能規格配合居住 環境之領域，對於用作除去在製造半導體元件（LSI)或 LCD時成為基板表面污染原因之極微量之氣體有機雜質之 空氣淨化過濾器，在性能上原本就勉強。 在使用添加了藥品之活性碳之化學式過濾器上，例如 有在特開昭6 1 - 1 0 3 5 1 8號公報上公開_的。這是令由氨基甲 酸脂泡沫塑料構成之基材含浸潰包含粉末活性碳和乳濁液 型黏接劑以及固態酸之水溶液後令乾燥之過濾器。可是， 在此化學式過濾器，自乳濁液型黏接劑所示合成橡膠乳液

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42272S 五、發明說明（8) j 或其他之水分散系之有機黏接劑以及係基材之氨基曱酸脂 泡沫塑料本身也發生氣體有機物之脫離。 而在利用離子交換纖維之所謂的化學式過濾器，有如 下之問題。自以離子交換纖維為基材之不織布、抄紙、毛 氈等具有優異之透氣性之過濾材料所使用之黏合劑、黏接 劑或將過濾材料固著於周圍之框架所用之密封材料等發生 之氣體有機雜質，被含在通過化學式過濾器後之空氣中， 可能對半導體之製造有不良影響。又，還有自過濾材料發 生灰塵之問題。 在利用離子交換纖維之所謂的化學式過濾器上，有在 特開平6-63333號或特開平6 - 1 42 43 9號公報公開的。 在前者之空氣淨化系統所用利用離子交換纖維之所謂 的化學式過濾器，將在聚丙烯腈系纖維之具有羧酸基之陽 丨離子交換纖維或在維尼隆系纖維之具有4級銨基之陰離子 交換纖維等和玻璃纖維、熱黏接性纖維狀黏合劑混合，構 成化學式過濾器之過濾材料。因此，也可能自該構成材料j i之高分子纖維所含之各種添加劑發生氣體有機物之脫離或i

! I

丨離子交換基之一部分以羧酸或氨脫離。 I

1 I ； 此外，在後者之無塵室内之微量污染空氣之淨化方法 ί I所用利用離子交換纖維之所謂的化學式過濾器，利用在聚 乙烯或聚丙烯之纖維不織布引入作辱陽離子交換基之磺 酸、羧酸或磷酸，或引入作為陰離子交換基之強鹽基性4 級銨基或更低級之含有胺之弱鹽基性所製作之離子交換纖 維。因此，也可能自該構成材料之高分子纖維不織布所含

C:\Program Files\Patent\P1222. ptd 第11頁 422^5 程無塵 塵室内 無機雜 無機雜 過濾器 ，在位 的製程 混合之 學式過 ，而且 此，強 環境中 去之化 般處理 劑發生氣體有機物之脫離或離子交換基之一部 羧酸、磷酸、氨或胺脫離。 如光蝕刻製程般處理同時含有如氨之鹽基性雜 三甲矽烷醇之氣體有機雜質之空氣之情況，有 備氣體鹽基性雜質除去用吸附材料和氣體有機 吸附材料，將混合了這2種吸附材料的形成1個 ，或者用2種吸附材料分別製作氣體鹽基性雜 附層和氣體有機雜質除去用吸附層後重疊使用 室環境不 進行多種 質敏感之 質時，基 本身發生 於和該氣 ，可能引 大的無麈 濾器，不 要求化學 烈希草開 成為基板 學式過濾 含有混合 分離而 製程之 製程， 板之品 之氣體 體有機 起基板 室，對 僅要求 式過濾 發不僅 表面污 器。 之鹽基 五、發明說明（9) 之各種添加 分以磺酸、 此外* 質和HMDS或 各自分別準 雜質除去用 吸附層使用 質除去用吸 之繁雜。 在進行 況，例如在 如下之不良 化學式過濾 是由於在該 影響基板之 間之有機雜 染，導致品 因此， 除去氣體無 機雜質之除 發生氣體有 機雜質，而 體有機雜質 又，如 表1飲4種製 一個大的無 。在例如對 器除去氣體 製程化學式 品質。可是 質敏感之別 質降低。 在多種製程 機雜質之化 去性能優異 機雜質。因 且連無塵室 也可一起除 光蝕刻製程 相混合之情 情況，發生 使用習知之 質提高。這 有機雜質未 雜質同一房 之表面污 於目的在於 這些氣體無 器本身不會 除去氣體無 染原因之氣 性無機雜質

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A227ZS 五、發明說明（ίο) 和有機雜質之空氣之情況，以前除了鹽基性無機雜質除去 用化學式過濾器以外，另外需要利用了活性碳之有機雜質 除去用化學式過濾器。因此，期待連這一點也改善。 考慮上述事項時，將化學式過濾器應用於可防止酸性污 染、鹽基性污染或機物污染之無塵室或無塵操作台等高度 潔淨裝置時之注意點如下所示。 (1) 化學式過濾器本身不會成為氣體囌質或粒狀雜 質之污染源（不會成為所謂的二次污染源）。 (2 ) 化學式過濾器之壓力損失小。 (3) 氣體雜質之除去性能高而且壽命長。 習知之化學式過濾器很難說滿足了這些注意點》 因此，本發明之目的在於提供一種空氣淨化過濾器及 |其製造方法，而該空氣淨化過濾器在防災上優異、自過濾 i器本身不會脫離氣體有機雜質或氣體無機雜質，而且不僅 I尤其在光蝕刻製程成為問題之氣體鹽基性雜質，連氣體有 j 丨機雜質也可同時除去，可防止氣體鹽基性雜質和氣體有機 |雜質所引起之基板等之表面污染。又，本發明之另一目的 i ί在於提供利用了該空氣淨化過濾器之高度潔淨裝置。 丨 I ! ! ：

I | 【發明之綜合說明】 本發明之淨化空氣之過濾器，寻有以無機‘物粉末為黏 合劑將如下之吸附劑固著在載體表面之無機材料層。該吸

I 附劑係在由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和氧化鋁之混合 物、矽酸鋁、活性氧化鋁 '多孔質玻璃、活性白黏土、活！

C:\ProgramFiles\Patent\P1222.ptd 第 13 頁 Λ22^5 五、發明說明（11) 性膨潤土或合成海泡石之中之至少一種構成之無機物粉末 添加了無機酸鹽的。 本發明之淨化空氣之過濾器，具有以如下之無機物α 之粉末為黏合劑或充填材料將如下之吸附劑固著在載體表 面之無機材料層β該無機物α係由滑石、高嶺土礦物、膨 潤土、矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和氧化鋁之混合物、 矽酸鋁、活性氡化鋁、多孔質玻璃、緞狀構-造之含水矽酸 鎂質黏土礦物、活性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之 中之至少一種構成者。 在本發明，「充填材料」係和吸附劑一起構成無機材 料層之要素，埋在吸附劑之粒子之間，但是係配置成使得 吸附劑之間可保持透氣孔之材料。又該無機物α之作用為 I固著該吸附劑和載體或固著該吸附劑之間，但是無保證永 久性固著之功能，為了堅固地固著，需要使用矽溶膠或氧 化鋁無機物α等無機系固著輔助劑。術語「黏合劑」、 「充填材料」依據該吸附劑之固著程度區分使用，但是物 質本身則藉著作為該無機物α之列舉規定之β 本發明之淨化空氣之過濾器，使得如下之第1無機材 料層和第2無機材料層之某一方接觸載體表面後，在該載 體表面堆積這些第1無機材料層和第2無機材料層。第1無 機材料層係該吸附劑以無機物粉末务黏合劑所形成之層。 第2無機材料層係由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和氧化 鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻璃、緞狀構

造之含水矽酸鎂質黏土礦物、活性白黏土、活性膨潤土或丨 I

C:\ProgramFiles\Patent\PI222.ptd 第 14 頁 A22725 五、發明說明（12) 合成海泡石之中之至少一種構成之層 本發月之淨化空氣之過滅器，以如 末為黏合劑或充填材料將由如下之 之粉 著在載體表面製成粒狀之球固 本發明之淨化空氣之過遽$，在如下 圍被覆如下之無機"之粉末而形第1小球之周 士球固著於載體表面m小球係吸附劑該第2 為黏合劑造粒而成的機物沒係由矽藤土…、機物粉末 銘、石夕石和氡化銘之混合物、石夕酸銘、活性t :石、氣化 質玻璃、锻狀構造之含水妙酸鎮質黏土c多孔 土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一=性白黏 本發明之淨化空氣之過遽器，在外殼内充：成者° 無機物《之粉末為黏合劑或充填材料將如下之：二：：之 而成之小球’或在以無機物粉末為黏合劑由如下之吸：： 造粒而成之第1小球之周圍被覆如下之無 形成第2小球之某一方。 份末而 在本發明之空氣淨化過渡器，添加了無機酸幾之該無 機物粉末之平均細孔直徑係100埃（A)以上。該無機酸藥最 好係疏酸t。最好料巢狀構造彳卜料巢狀構造 物最好以無機織維為必要成分製作。 本發明之空氣淨化過濾器之製造方法，包括令載體浸 潰在令如下之吸附劑和如下之無機物α之粉末分散之縣字 液之製程、及然後令該載體乾燥後令無機材料層固著在載 體表面之製程。吸附劑係在由矽簿土、矽石、氧化铭、矽

422*125 五'發明說明（13) _ 石和氧化紹之混合物、碎酸銘 '活性氡化銘、多孔 璃、活性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一 種構成之無機物粉末添加了無機酸鹽的。無機物。係由滑 石、高廣土碟物、膨濁土、石夕薄土、石夕石、氧化…石 和氧化鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧化鋁、多孔 1狀構造之含水破酸鎮質黏土礦物、活性白黏土、活性膨 淵土或合成海泡石之中之至少一種構成者。— 本發明之種空氣淨化過濾器之製造方法，包括令 i浸潰在令如下之吸附劑和作為黏合劑之無機物粉末分散之 懸浮液之製程、然後令該載體乾燥後在該載體表面形成第 1、無機材料層之製程、令形成了該第丨無機材料層之載體浸 漬在令如下之無機物沒之粉末分散之懸浮液之製程、以及 然後令該載體乾燥後在第1無機材料層之表面形成第2無機 材料層，或者在載體表面形成第2無機材料層後再在該第2 無機材料層之表面形成該第1無機材料層之製程。無機物 万係由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和氧化鋁之混合物、 矽醆鋁、活性氧化鋁、多孔質破璃、緞狀構造之含水矽 鎂質黏土礦⑯、活性白黏土、活性膨潤土或合成海泡 中之至少一種構成者。 < 恭if氣淨化過遽器之製造方法上，還可具有在令 浸潰泡前’預先另外將無機酸鹽溶入懸浮液之製程β 本發明之空氣淨化過濾器之製造方法’包括在如下 i3I，叔末添加了無機酸鹽而形成吸附劑之製程、令 '混合了該吸附劑之粉末和作為黏合劑之如下之 ΪΙ^ΙΙ 第16頁 C:\Prograni Files\Patent\P1222.ptd 422725 五、發明說明（14) 無機物α之粉末之懸浮液之製程、以及在浸漬泡後自該懸 浮液拉起載體後令乾燥之製程。無機物Τ係由矽藻土、矽 石、氧化鋁、矽石和氧化鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧化 鋁、多孔質玻璃、活性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石 之中之至少一種構成者a在本情況，還可具有預先另外在 該懸浮液溶解無機酸鹽之製程。此方法在溶解液小’即使 用在懸浮液中不易溶出之無機酸鹽之情況有-效。 本發明之空氣淨化過濾器之製造方法，包括令載體浸 潰在混合了如下之無機物r之粉末和作為黏合劑之如下之 無機物α之粉末之懸浮液之製程、浸潰在該懸浮液後，自 該懸浮液拉起載體後令乾燥之製程、乾燥後將該載體浸潰 在無機酸鹽之溶解液之製程、以及浸潰在該溶解液後自該 溶解液拉起載體後令乾燥之製程。本方法在溶解度大’即 使用在懸浮液中不易溶出之無機酸鹽之情況有效。而且因 在無機物粉末即無機吸附材料之載持製程後令乾燥，吸附 材料處於吸濕性良好之狀態，可得到無機酸鹽之添加量多 之吸附劑。此外，在本發明將成為無機酸鹽之添加對象之 藥品之載持體稱為吸附材料，將在過濾材料載持了無機酸 鹽的稱為吸附劑。 本發明之空氣淨化過濾器之製造方法，包括將載體浸 潰在把如下之無機物r之粉末、作為黏合劑之如下之無機 物α之粉末和無機酸鹽混合而成之懸浮液之製程、及浸潰 在該懸浮液後自該懸浮液拉起載體後令乾燥之製程。在本 情況，因未分別添加過濾材料和無機酸鹽，可減少製程

C:\Program Files\Patent\PI222. ptd 第 17 頁 422725 五、發明說明（15) 數。 在上述本發明之空氣淨化過濾器之 酸鹽可使用硫酸鹽。 .、 裏&方法，該無機 本發明之高度潔淨裝置，句 a 内之空氣循環之循環路⑲、配=:二潔淨環境之空間 =二fr在該循環路徑之該空間之上游侧而且 ί之渡器具有以無機物粉末為黏合劑將如 由矽蓬！ 载面之無機材料層。該吸附劑係在 妙石、氧化铭、矽石和氧化鋁之混合物、矽酸 性氧化铭、多孔質玻璃、活性白點土、^_土 機酸鹽的。 種構成之無機物粉末添加了無 t本發8月之高度[淨$置所使用《該空氣淨化過渡器 料將Ϊ用具有以如下之無機物^之粉末為勒合劑或充填材 ^如下之吸附劑固著在載體表面之無機材料層的。該無 ，物α係由滑石、高嶺土礦物、膨潤土、矽藻土矽石、 虱化鉬、矽石和氡化鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧化鋁、 多孔質玻璃、緞狀構造之含水矽酸鎂質黏土礦物、活性白 黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一種構成者。 在本發明之高度潔淨裝置所使用之該空 也可使用使得如下之第丨無機材料層和第2無：：料二 。方接觸載體表面後，在該載體表面堆積這些第丨無機材 料層和第2無機材料層的。第丨無機材料層係在由矽藻土、

C:\Prograra Files\Patent\P1222. ptd 第丨8 頁 422725 五、發明說明（16) 矽石、氧化鋁、矽石和氧化鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧 化鋁、多孔質玻璃、活性白黏土、活性膨潤土或合成海泡 石之中之至少一種構成之無機物粉末添加了無機酸鹽之吸 附劑以無機物粉末為黏合劑所形成之層。第2無機材料層 係由矽藻土、矽石、氡化鋁、矽石和氧化鋁之混合物、矽 酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻璃、緞狀構造之含水矽酸鎂 質黏土礦物、活性白黏土、活性膨潤土或合喊海泡石之中 之至少一種構成之層。 在本發明之高度潔淨裝置，該空氣淨化過濾器也可使 用以如下之無機物α之粉末為黏合劑或充填材料，將由如 下之吸附劑製成粒狀之球固著在載體表面的。 本發明之高度潔淨裝置，該空氣淨化過濾器也可使用 在如下之第1小球之周圍被覆如下之無機物方之粉末而形 成第2小球後，將該第2小球固著於載體表面的。第1小球 I 係該吸附劑以無機物粉末為黏合劑造粒而成的。無機物冷 係由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和氧化鋁之混合物、矽丨 酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻璃、緞狀構造之含水矽酸鎂| 質黏土礦物 '活性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中丨 之至少一種構成者。 本發明之高度潔淨裝置，該空氣淨化過濾器也可使用 在外殼内充填以如下之無機物α之f末為黏合劑或充填材 料，由如下之吸附劑造粒而成之小球，或以無機物粉末為 丨黏合劑在由如下之吸附劑造粒而成之第1小球之周圍被覆 i 如下之無機物泠之粉末而形成第2小球之某’一方的。 |

C:\Program Files\Patent\P1222. ptd 第 19 頁 422725 五、發明說明（17) 二上述各高度潔淨裝置，該空氣淨化過濾器和除去粒 狀雜質之過濾器配置於該空間之天花板部。 :本發明之淨化空氣之過遽器，在無機材料層内在該 合劑之粉末…子相鄰處形成成 如通is，'甬：以。所s對象氣體自該無機材料層之表面 孔般進入無機材料層之内部，或反之自無機 _ 邛出去外部。於是，在通過無機封料層内時利 用該吸附劑吸附並除去空氣中之氣體鹽基性雜質。 料添加了無機醆鹽之本發明之空氣淨化過渡 物構成’如活性碳般之可燃物不用說，連在 放置於问▲環境之情況或和醆性藥品 心=未含。因此，在防災之觀點上心異之 丨：作為無機酸鹽之酸性藥品後可在高溫烘烤。 ^ π 4 ^ ' 11内使空乳則^之通氣速度流動之情況， 1使仔來自該空氣淨化過遽器之逸脫氣體之量變為咖以 Γ ° 器π Γ ί:ί之活性碳硬附劑和如本發明之空氣淨化過濾 換赫越“ Π 壽叩1 ★，活性碳和無機物之無 機酸鹽之各添加量之量測社里 且 果如表2所不°這是以重量浴表 ::ί 活性碳和無機物之各種無機酸鹽之添加 量。活性碳和無機物之重量係未含水分之乾燥時之重量。 無機物浸潰在重量濃度2[m之各種無機 酸鹽水浴液3 0分鐘，拉起後 w】9 η。广>办严-λ ^ ^ ^ 供芍俊，以12Q C之空氣通風乾燥2小 時後’量測了各種無機酸鹽之添加量。此外，纟活性碳上

422725 I五、發明說明（18) I使用武田藥品工業株式會社之「氣相吸附用活性碳狀白鷺 G X」。該活性碳係比表面積1 2 0 0 m2 / g、細扎容積約 0 , 8 6 c c / g。又，矽石、氧化鋁系吸附材料、合成海泡石等 之比表面積、細孔容積如後述之表5所示。 【表2】對於活性碳和無機物粉末之無機酸鹽之添加量之量測結果 (藥品添加量(g)/活性碳或無機物重量(g))xl〇〇[%] 無機酸鹽之種類 硫酸氧鈦 硫酸鋁 硫睃鍅 硫酸氫鈉 硫酸氩鉀 無機酸鹽之水溶液濃 度⑻ 24 27 28 24 24 活性碳 15 34 37 17 20 矽蕩土 39 84 96 42 51 矽凝膠 % 206 239 107 123 氧化鋁凝謬 95 200 240 105 120 矽凝膠和氧化鋁凝穋 之混合物 90 195 235 104 120 矽酸鋁 96 203 237 106 122 活性氧化鋁 47 100 116 51 60 多孔質玻璃 24 52 57 26 30 活性白黏土 58 123 145 64 73 活性膨潤土 36 76 90 40 46 合成海泡石（親水性） 70 150 175 78 90 注）活性破或無機物之重量未含水分之乾燥時之重量 由表2得知，矽石、氧化鋁系吸附材料、合成海泡石 等無機物之無機酸鹽之添加量可比活性碳的多很多。因 此，如本發明之空氣淨化過濾器般冬無機系吸附劑比活性 碳吸附劑對氣體鹽基性雜質之吸附壽命長。 其次考察逸脫氣體。在將添加了無機酸鹽等藥焱之纖 維狀活性碳和低融點聚酯或聚酯不織布之有機系黏合劑複

C:\ProgramFiles\Pai_ent\PI222.ptd 第 21 頁 422725 I !

丨五、發明說明（19) I 合而製成毛氈狀之化學式過濾器、或是用黏接劑令添加了 藥品之粒性活性碳堅固地附著在氨基甲酸脂泡沫塑料或不 I織布之塊狀及薄片狀之化學式過濾器，自有機系黏合劑、| 氨基甲酸脂泡沫塑料、不織布、黏接劑之有機性構成零件i 本身發生氣體有機雜質之逸脫氣體。又，來自該有機性構 成零件和添加了藥品酸之反應也發生氣體有機雜質之逸脫 氣體。 一 要降祗該逸脫氣體，將過濾器整體高溫加熱之所謂的 烘烤有效。可是，在加熱到未達到係活性碳之著火點之 3 9 0 °C之前之頂多1 0 0 °C〜1 5 0°C ，這些有機性構成零件本身 就開始溶解，無法用作過濾器。又，具有活性碳之過濾 器，在無機酸鹽上添加了硫酸锆之情況，因在接近係硫酸 锆之分解溫度之380 °C附近之溫度著火，不可能變成例如 到3 5 0 eC為止之高溫。 而，在只用無機材料構成之本發明之空氣淨化過濾 丨 器，可將形成了無機酸鹽添加前之無機材料層之載體整體 以3 5 0 t以上之高溫烘烤，可利用該烘烤處理完全趕走由 混入了無機材料層之雜質所引起之逸脫氣體。如後述之表 5所示之可在本發明使用之粉體，加熱到3 5 0 °C其細孔物性 都不太變化，不會影響作為過濾器之性能、規格。 | 將在構造上添加了磷酸之纖維狀活性碳和低融點聚酯i * ! ：或聚酯不織布之有機系黏合劑複合而製成毛氈狀之習知之 化學式過濾器、及本發明之作為形成了例如由矽凝膠構成 之無機材料層之載體之蜂巢載體整體各自在35 0 t之溫度 i

C:\ProgramFiles\Patent\Pl222.ptd 第 22 頁 422725 厂 丨五、發明說明（20) 加熱1小時後，浸潰泡在硫酸鋁14〜18水（關東化學株式會i 社「鹿特級」）之重量濃度2 7 %之水溶液3 0分鐘，拉起後 !令在120°C之風下乾燥2小時，製作空氣淨化過濾器，對於 這些各空氣淨化過濾器，在各自以額定風量之精製空氣通i 氣之情況，用離子色譜法所偵測到水溶性逸脫氣寧度 如表3所示。此外，精製空氣本身所含雜質氣體濃度之量 測結果也以環境值表示。 _ 【表3】習知和本發明之空氣淨化過濾器之逸脫氣體濃度之量測結果 (vol ppb) ^—---Γ 醋酸 蟻酸 nh3 氣 so2 no2 習知之使用活性碳之過濾器 30 1.8 0. 22 0. 07 0.00 0.02 本發明之空氣淨化過濾器 0.71 0.19 0.02 0.10 0.00 0.10 只有精製空氣之環境 0.02 0.01 0.01 0.02 0.00 0.05 ! 依據該結果，可確認若利用本發明之空氣淨化過濾 !器，過濾器本身發生之逸脫氣體遠比習知之活性碳過濾器 I的少。此外，可認為表中之醋酸或蟻酸係過濾器所含有機| 性構成零件和添加之藥品酸反應所產生之有機酸。又關於 ! ; 丨NH3、氣、N02，可認為係來自於添加之藥品酸原本所含之 ΐ i雜質。 I · 其次考察製造方法。在本發明，使用無機吸附村料， 經脫水處理後令乾燥下在大氣壓下之環境中浸農在藥品溶i 液（無機酸鹽溶液）時，利用其吸濕性藥品溶液易浸潰透1

C:\ProgramFiles\Patent\P1222.ptd 第 23 頁 422725 ___ ________—一 五、發明說明（21) 到細孔内部。而，活性碳係疏水性’藥品溶液不易浸潰透 到細扎内冑。因此，在習知技* ’在令浸潰透時需要減壓 /加壓操作。因此，在大氣壓下之難品添加量如表2所示’ 無機吸附材料之藥品添加量遠比活性碳吸附材料的多° 對於用120 °C之空氣將係無機物之碎凝穆之粉末通風 乾燥1小時，使得水分含量變成整體重量之1 %以下’原封 不動地在乾燥保管倉庫保管之情況’及將石夕凝躁之粉末以 水分含量約整體之30%之狀態在一般之室内環境（約20 。(：、相對濕度50% )長時間放置之情況，將這些矽凝膠之 粉末各自浸潰在重量濃度24〜28%之各種無機酸鹽之水溶液 30分鐘拉起後，用120 °C之空氣通風乾燥2小時時各情況之 各種無機酸鹽之添加量如表4所示。

I | 【表4】矽凝膠之脫水處理之有無所引起之各種無機酸鹽之添加量之差異 (藥品添加量(g)/活性碳或無機物重量(g))xl〇〇[%] 矽凝膠之狀態 硫酸氧钱 硫酸鋁 硫酸锆 硫酸氫鈉 硫酸氫鉀 無脫水處理 96 206 239 107 123 有脫水處理 121 260 313 134 159 由表4得知，有脫水處理的比無脫水處理的可增加各 丨 種無機酸鹽之添加量25〜33%。其理由係因矽凝膠細孔内之| 水分被脫水處理趕出，浸潰在藥品淳液時，溶液易浸潰透i |到細孔内部'> 。 在對吸附材料之添加藥品上不是有機酸，而使用無機 酸鹽之理由如下。有機酸也稱為羧酸，一般認為附有該缓

C:\ProgramFiles\Patent\Pi222.ptd 第 24 頁 A25_____ 五、發明說明（22) 基（-COOH)的種類有數千種，甚至數萬種。羧酸萬一以 氧體物質脫離時就變成有機物之污染物質。此外，在高度 I潔淨裝置内長期使用含有有機酸之空氣淨化過濾器之情 況，有機酸本身未直接氣化，也例如以有機酸為營養源之 微生物繁殖而逐漸將有機酸分解，變為如醋酸般易氣化之 物質，也可能發生由氣體狀分解物引起之新的污染。又，I 有機酸分解後，將氣體鹽基性雜質中和而失去化學吸附之 作為有機酸之添加藥品之當初之能力。而，無機酸鹽不會 成為微生物之營養源，反而無機酸鹽對於微生物有殺菌作 用，這是周知的。因此，在高度潔淨裝置使用之對吸附材 料之添加物上無機酸鹽比有機酸好。 而在無機酸，酸性度大時係對人體之危險物之情況多 (例如鹽酸、硫酸、硝等）。此外，將含有酸性度大之無i

I 機酸之空氣淨化過濾器作為廢棄物丟到環境中時，雨水所! 溶出之無機酸成為水質污染之原因。因此，在添加於吸附i 丨材料之酸性物質上，酸性度小而人體之危險性小之無機酸； ;鹽適合。

； I ; 而在海泡石有天然海泡石和合成海泡石，但是在工業 ! i 上一般使用合成海泡石，而不使用純度低之天然海泡石。i 天然海泡石具有大小為3 ~ 1 0埃之細孔，而在合成海泡石可 製造均勻之細孔的。 在本發明，在充填材料即用以充填吸附劑之各粒子間i 之材料上使用合成海泡石之情況，在無機物粉末添加了無 機酸鹽之吸附劑之各粒子間充填各海泡石粒子，在吸附劑

C:\Progran!Files\Pat_ent\P1222.ptd 第 25 頁 ____㈣25________ 五、發明說明（23) ! 粒子和海泡石粒子之相鄰處形成成為通氣孔之間隙。該通丨 氣孔在功能上係為了使所處理對象空氣到達添加於吸附材丨 料粒子之無機酸鹽。 此外，當所處理對象空氣穿過通氣孔時，合成海泡石| 本身具有之細孔吸附並除去分子徑比該細孔之尺寸小之氣丨 體有機雜質。因此，若按照所處理對象空氣所含氣體有機1 雜質之種類選擇合成海泡石之細孔徑，可設計對氣體有機i 雜質之吸附性能良好之空氣淨化過濾器。 i 在本發明之矽石例如可使用矽凝膠。氧化鋁例如可使i 用氧化鋁凝膠。矽石和氧化鋁之混合物例如可使用矽凝膠 i 和氧化鋁凝膠之混合凝膠。 在本發明，關於具有小球的’在該吸附劑之粉末或無ί 機黏合劑之粉末之微粒子相鄰處形成成為通氣孔之間隙， 所處理對象氣體如自小球之表面鑽過該通氣孔般進入小球 之内部，或反之自小球内部出去外部。而且利用該吸附劑 吸附並除去鹽基性氣體雜質。 在本發明，因·用該吸附劑可吸附並除去鹽基性氣體雜 質，用作黏合劑之無機物粉末藉著適當選擇具有微孔區域 或中孔區域之細孔之種類可吸附並除去D Ο Ρ | (di-octy1phtha 1 ate ) 、DBP (di-butylphthalate ) ' BHT (butyl hydroxytoluene)、碎，氧院等氣體有機雜 質，係和基板之表面污染相關之鹽基性氣體雜質和氣體有： 機物並存之環境也可捕捉這些化學污染物質之大部分。 在本發明，關於具有第1無機材料層和第2無機材料層

C:\Program FiIes\Patent\P1222. ptd 第 26 頁 A22^25 !五、發明說明（24)

I |的，關於使第1無機材料層位於内側之情況和具有第2小球； 之情況，利用外側之第2無機材料層或第2小球之外側部分 之被覆層，可防止來自位於那些之下部之第1無機材料層 或第1小球所含無機酸鹽之發塵。此情況，構成第2無機材；

I

料層或外側之被覆層之無機物粉末若具有適合和基板之表 面污染相關之DOP、DBP、BHT、矽氧烷等氣體有機物之物 丨 理吸附之細孔，也具有利用該細孔吸附並除去這些氣體有i 機物之效果。 I 在將第1無機材料層設於外側之情況，無上述之防上 發塵之效果，但是氣體雜質之吸附效果變化不太大，用直 接和空氣接觸之外側之第1無機材料層吸附並除去空氣中 之鹽基性氣體雜質，用内側之第2無機材料層吸附並除去 |空氣中之氣體有機雜質。 丨 在此，說明該.吸附劑。該吸附劑係在由矽藻土、矽 石、氧化鋁、矽石和氧化鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧化 ; j 鋁、多孔質玻璃、活性白黏土、活性膨潤土、合成海泡石 之中之至少一種構成之無機物粉末添加了無機酸鹽的。對i 於這些無機物粉末，利用氣體吸附法實測分布在5埃〜3 0 .0 丨埃之範圍之細孔之總容積和該無機物之鈿孔之比表面積之i ； ! 丨結果如表5(1)所示。

C:\Program FiIcs\Patent\P1222. ptd 第 27 頁 mi 25 五、發明說明（25) 【表5】各種粉體之細孔物性 粉體樣品 用BET法量測之 比表面積（m2/g) 用队吸附法量測之細孔容積 (cc/g) 5.:30(1.¾ 石夕蕩土 200 0.25 矽凝膠 400 0.61 氡化鋁凝膠 250 0.60 矽酸鋁 225 0. 60 一 (I) 活性氧化鋁 300 0.30 多孔質玻璃 400 0.15 活性白黏土 300 0. 37 活性膨潤土 87 0.23 合成海泡石 400-750 0.35-0.55 滑石 28 0.07 高嶺土礦物 21 0.06 an 膨潤土 23 0.03 海泡石 295 0.33 (ΠΙ) 此外，矽石例如以矽凝膠為粉體樣品。又，氧化鋁例 如以氧化鋁凝膠為粉體樣品。著眼於分布在5埃-3 0 0埃之 範圍之細孔之理由係該範圍之大小之細孔在氣體雜質之物 理吸附上優異，這些細孔易吸附所處理對象空氣中之氣體 鹽基性雜質。因在細孔表面添加了無機酸鹽，所物理吸附 之氣體鹽基性雜質馬上和無機酸鹽中，和而被化學吸附，不 會再脫離。該無機物粉末之比表面積愈大，添加了無機酸 鹽之面積也愈大，氣體鹽基性雜質之吸附容量也愈大。 但在表5 ( I )之無機物添加了無機酸鹽時，因無機

C:\Program FiIes\Palent\P1222. ptd 第 28 頁 422725 五、發明說明（26) 酸鹽進入細孔空隙部，和添加前之純粹之無機物相比，比 表面積或細孔容積減少很多。又因表5 ( I )之無機物都

J 未和所添加之無機酸鹽發生化學反應，不會損害無機酸鹽 對於氣體鹽基性雜質之化學吸附能力。矽藻土係含水膠質 矽酸，不易受到酸侵犯。矽石、氧化鋁、矽石和氧化鋁之 混合物、矽酸鋁、多孔質玻璃都不易受到酸侵犯。活性氧 化鋁係由氫氧化鋁加熱脫水後而得到，具有灘溶於酸之性 質。活性白黏土係由酸性白土經硫酸處理而得到，難溶於 酸。活性膨潤土係用熱疏酸將Ca型膨潤土或酸性白土處理j 後令蒙脫石之鋁或錳溶出而在產生具有多細孔之表面之過

I 剩矽酸時得到。因此，吸附能力、觸媒能力更增加’不易 受到酸侵犯。。合成海泡石也具有不易受到酸侵犯之性 質。 而在常用作如滑石、高嶺土礦物、膨潤土般之黏合劑丨 ! ! i之無機物如表5 (Π)所示，分布在5埃~300埃之範圍之比丨 表面積或細孔容積都遠小於表5 ( I )之無機物的。係表5 j ； | ! ( m )之緞狀構造之含水矽酸鎂質黏土礦物之一之海泡石 和表5 ( I )之無機物一樣分布在5埃〜300埃之範圍之比表丨 面積或細孔容積大。可是在表5(n) 、 （m)之無機物 I添加了無機酸鹽時，因如滑石、高嶺土礦物 '膨潤土般氫 氧基和無機酸鹽中和或離子交換，或如膨潤土般利用陽離i j 子交換功能和無機酸鹽發生化學反應，損害無機酸鹽對於I 氣體鹽基性雜質之化學吸附能力。 丨 I 又，因在該吸附劑（在由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽

C:\Program Files\Pateat\Pi222, ptd 第 29 頁 A221Z1 五、發明說明（27) 石和氧化鋁之 璃、活性白黏 種構成之無機 自結合性，為 地固著在載體 在本發明 土、矽石、氡 性氧化銘、多 物、活性白黏 種構成之無機 粉末固著在載 球。石夕石例如 膠。矽石和氧 膠之混合凝膠 在本發明 造物最好係以 造物之吸附層 之活性碳或離 塵量極少。不 酸鹽之無機物 劑也各自採用 濾器之材料幾 在本發明 還包含載面係 混•合物、石夕 土、活性膨 物粉末添加 了將該吸附 表面，必須 ，把由滑石 化鋁、矽石 孔質玻璃、 土、活性膨 物粉末用作 逋表面而形 可使用矽凝 化铭之混合 醆鋁、活 潤土或合 了無機醆 劑之粉末 添加點合 、高嶺土 和氡化鉬 緞狀構造 潤土或合 黏合劑或 成無機材 膠，氣化 物例如可 性氧化 成海泡 鹽之吸 成型成 劑。 確物、 之混合 之含水 成海泡 充填材 料層或 鋁例如 使用石夕 鋁 石 多孔質玻 之中之至少一 附劑）之粉末無 小球或令成層狀 膨潤土、矽藻 物矽酸鋁、活 石夕酸接質黏土確 石之中之至少一 料，該吸附劑之 造粒而形成小 可使用氧化鋁凝 凝膠和氧化鋁凝 ，該載體 無機纖維 具有陶磁 子交換纖 僅該載體 粉末或用 無機物粉 乎不會脫 ，蜂巢狀 格子狀、 最好係 為必要 狀之硬 維之習 ，若關 以令其 末時， 離氣體 構造物 波浪狀 蜂巢 成分 表面 知之 於在 固著 由構 有機 除了 等而 狀構造物。 之構造物。 ’和利用了 化學式過濾 該吸附剞用 於載體表面 成本發明之 物。 所謂的蜂巢 空氣可通過 該蜂.巢狀 該蜂巢狀 添加了藥 器相比， 於栽持無 所用之黏 空氣淨化

'C:\ProgramFiles\Patent\P1222.ptcl 第 30 貝 mus 五、發明說明（28) 之要素之單元所有的構造。在本發明載體未特定為蜂巢狀 構造物。石綿等三次元網目構造物也很適合用作載體。在 此情況如後述所示，不僅網目構造之平面方向，在深度方丨 向也令固著本發明之吸附劑之粉末。 ! 在對載體表面固著吸附劑之方法有利用無機物粉末之： 黏合劑固著之方法、或以無機物粉末為黏合劑將該吸附劑| 之粉末造粒成小球後用無機系固著輔助劑將該小球黏在載i 體表面之方法。 | 在本發明之空氣淨化過濾器，在外殼内充填以該無機丨

I 物α之粉末為黏合劑或充填材料將該吸附劑造粒而成之小 球，或在以無機物粉末為黏合劑將吸附劑造粒而成之第1 ! 小球之周圍被覆該無機物点之粉末而形成第2小球之某一丨 方之情況，可得到可按照空氣流路之形狀、面積、過濾器i 之設置條件適當地選擇外殼之形狀、大小、小球之充填量i 之設計上之融通性。 ί 若利用本發明，可得到可按照空氣流路之形狀、面 積、過濾器之設置條件適當地選擇外殼之形狀、大小、小 球之充填量之殊計上之融通性。 丨 在不僅氣體鹽基性雜質，連氣體有機雜質也要充分除ί

I 去之情況，用作該吸附劑之黏合劑之無機物、無機物α 、: 無機物点最好係分布在5埃〜300埃之範圍之每單位重量之 ：

細孔總容積為0. 2 c c / g以上或細孔之比表面積為1 0 0 m2 / g以： 上。不論如何，用作該吸附劑之黏合劑之無機材料層或小i 球所含無機物、無機物α 、無機物yS之各粉末同時具有機I

C:\Prcgran Files\Patent\PI22ii. ptd 第 31 頁 五、發明說明（29) 械式地令該吸附劑之粉末固著在載體表面之能力或作為將 該吸附劑之粉末造粒成小球時之作為結合劑之能力’及所丨 處理對象氣體容易到達或可回到構成該吸附劑之在無機物 粉末之表面所添加之無機酸鹽之多孔性構造。

因經由在該吸附劑或用作黏合劑之無機物、無機物 α 、無機物点之各粉末之相鄰處形成之間隙之通氣孔，所 處理對象空氣可容易到達在無機物粉末之表面所添加之無 機酸鹽，氣體鹽基性雜質被除去。那時，在位於用作黏合 劑或充填材料之該各無機物粉末之表面之該範圍之大小之 細孔之表面物理吸附並除去氣體有機雜質。除了除去係本 發明之主要目標之氣體鹽基性雜質以外，在用作黏合劑或 充填材料之該各無機物粉末之細孔之次要效果上，可實現i 連氣體有機雜質也一起除去。 I 表5(1) 、 （m)之群組之黏合劑和表5(E)之群i 組之黏合劑相比，比表面積和細孔容積都很大°因此，在i 氣體有機雜質之物理吸附能力上，（I) 、 （m)之黏合 劑比（π )之黏合劑優異得多。（π )之群組之滑石、高 嶺土礦物、膨潤土等黏合劑重視透氣性，在相鄰之黏合.劑| 微粒子彼此之間之間隙部分或在相鄰之黏合劑微粒子和載i 體載持之吸附劑微粒子之間隙部分形成之通氣孔之主要大| 小為5 0 0埃以上。即，該通氣孔係儘管透氣性極佳卻難發 生物理吸附之巨孔。又在滑石、高嶺土礦物、膨潤土等黏ί ι 合劑撖粒子本身之表面也不太存在易發生物理吸附之細 孔。順便地關於滑石、高嶺土礦物、膨潤土之各粉末，用

C: \Progra;a F i les\Patcnt\Pl 222. ptd 第 32 頁 422^25 I *" ~~· ! !五、發明說明（30) 液體水銀壓入法所量測之範圍在1 5 0〜1 5 0 0 0 0埃之細孔容積 | 各自為 0,92cc/g ' 1. 11 c c/g、0.49cc/g 〇 和表5 it 較’也! 得知（Π )之群組不太具有和物理吸附相關之微孔或中 i 孔，而專門具有透氣性優異之巨孔。 | 表5之（Π )之群組之黏合劑用於只是機械式地將該 ! ! 吸附劑之粉末載持在載體表面。在此情況，為了提高氣體 鹽基性雜質之吸附能力，最好儘可能增多該吸附劑之粉末 之載持量，而儘可能減少黏合劑相對於該吸附劑之粉末之 含有比例。可是黏合劑之含有比例過少時，該吸附劑之粉 末對載體之固著變成不完全，成為剝落或發塵之原因。例 如，將膨濶土之黏合劑和矽溶膠之無機系固著輔助劑與該 吸附劑之粉末混合後固著於載體之情況，載體表面之無機 材料層中之該吸附劑之含有比例（重量基準）超過7 5 % 時，載體表面之層之機械強度變弱，無法承受實用。即，丨 對（U )之群组之黏合劑要求該吸附劑之粉末之載持能力 和所處理對象氣體易到達所載持該吸附劑之粉末之表面之丨 i優異之透氣能力，而未要求對氣體有機雜質之吸附能力。i 而，在使用表5 ( I ) 、 （m )之群組之黏合劑之情 ! 1況，在相鄰之黏合劑微粒子彼此之間或在相鄰之黏合劑微| ί | 粒子和該吸附劑微粒子之間隙部分形成之通氣孔和（η ) 之群組之黏合劑相比，並無遜色。崎便地關於（ί )之群丨 組之粉末用液體水銀壓入法所量測之範圍在1 5 0 ~ 1 5 0 0 0 0埃： i i 丨之細孔容積為0.8~：L7cc/g。又（瓜）之海泡石之利用該 i I量測法所量測之範圍在1 5 0〜1 5 0 0 0 0埃之細孔容積為 i ! !

C:\Progr?m F;Ies\Patent\PI222, ptd 第 33 頁 五、發明說明（31) 1.6cc/g。因此，因也具有所處理對象氣體易到達該吸附 劑之粉末之表面之優異之透氣性，在添加於該吸附劑之粉 末之表面之無機酸鹽除去氣體有機雜質之特性和在（Π ) 之群組之黏合劑之情況一樣地發揮。 對氣體分子之易物理吸附之順序為微孔、中孔、巨 孔，巨孔幾乎和物理吸附無關。在（I )、（瓜）之群組 之黏合劑，因在黏合劑微粒子本身之表面存在1發生物理 吸附之細孔，即係孔徑為2 0埃以下之細孔之微孔或係孔徑 為2 0埃以上5 0 0埃以下之細孔之中孔，利用物理吸附在黏 合劑微粒子本身之表面吸附並除去單獨用該吸附劑難吸附 之DOP、DBP、BHT或矽氧烷等成為基板表面污染原因之氣 體有機雜質。 關於使用表5 ( I ) 、 （ m )之群組之黏合劑之情 況，在載體表面之無機材料層所佔該吸附劑之粉末之含有 比例（重量基準）也有上限。例如，以石夕凝膠為黏合劑將 該吸附劑之粉末固著於載體之情況，載體表面之無機材料 層中之該吸附劑之含有比例（重量基準）超過7 2 %時，該 無機材料層之機械強度變弱，無法承受實用。 此外，在將表5 ( I ) 、 （ m )之群組之無機物粉末

C:\ProgramFiles\Patent\P1222.ptd 第 34 頁 A22125 五、發明說明（32) 料，因載體本身發生之氣 材料層或小球吸附並除去 在本發明之空氣淨化 象之無機物粉末之吸附材 以上。氣體鹽基性雜質在 但是在乾燥階段失去水分 水率極小之固態形狀之無 酸鹽塞住吸附劑之細孔之 鹽基性雜質就無法浸潰入 塞住之細孔内空隙表面之 生中和反應，就變成和吸 者們量測了在載體表面載 不同之各種矽凝膠之空氣 表.6所示之結果。 體有機雜 ，不會跑 過濾器， 料之平均 液體中按 ，在載體 機酸鹽殘 入口時， 細孔内之 無機酸鹽 附無關之 持添加了 淨化過濾 質也被 到所處 成為無 細孔直 照各自 所載持 留。該 成為所 空隙部 和氣體 無效成 無機酸 器之氨 被覆載 理對象 機酸鹽 徑最好 之溶解 之吸附 固態了形 處理對 。固著 鹽基性 分。因 鹽之細 除去率 體之無機 空氣中。 之添加對 係1 0 0埃 度溶解， 劑中以含 狀之無機 象之氣體 於入口被 雜質不發 此，發明 孔之直徑 ，得到如 【表6】在載體表面載持添加了無機酸鹽之細孔之直徑不同之各種矽凝膠之空 氣淨化過慮器之氨除去率 平均細孔直徑（A) 29 44 80 133 183 209 300 420 細孔容積（ral/g) 0.45 0.6 0.9 1.1 1.6 L5T 2.0 2.52 比表面積（ra2/g) 620 550 450 330 360 300 270 240 氨除去率（％)硫酸鋁 /矽凝膠0· 3g/g 55 60 90 95 100 100 100 100 氨除去率（90硫酸氧 鈦/矽凝膠0. 3g/g 55 60 95 100 100 100 100 100 由該結果得知，若吸附材料之平mm.係.ι..ρ.ίΐ.埃

C:\Program Fiies\Patent\P1222.ptd 第35頁 _aW25_ 五、發明說明¢33) 以上，細孔入口難被無機酸鹽塞住，除去效率就不降低。 在本發明之空氣淨化過濾器，也可在該無機材料層、第1 無機材料層、第2無機材料層、小球、第1小球或第2小球 之至少某一種混入無機系固著輔助劑。在那情況，該無機 系固著輔助劑最好含有矽酸蘇打、矽石或氧化鋁之至少一 種。此外，矽石例如可使用矽溶膠。氧化鋁例如可使用氧 化鋁溶膠。 — 在本發明之空氣淨化過濾器所用之無機酸鹽最好係硫 酶鹽。 按照酸之種類將無機酸鹽分類，主要的例如有碳酸 鹽、鹽酸鹽、硫酸鹽、硝酸鹽、磷酸鹽。其中，碳酸鹽因 酸性度太弱，對氨之吸附能力差。鹽酸鹽因擔心發生氣或 氣化氫之金屬腐姓性氣體，難利用s頌酸鹽和氨中和而產 生硝酸銨，但是硝酸銨在密閉狀態加熱時有爆炸之危險 性。磷酸鹽因酸性度小、對人體之危險性也少，常添加於 為了除去氣體鹽基性雜質而使用活性碳之習知之化學式過 濾器，但是磷以氣體物質脫離時變成如表1所示摻雜劑之 污染物質。因此，磷酸在高度潔淨裝置也難利用。由於上 述之事項，在本發明所使用之無機酸鹽最好係硫酸鹽。 硫酸鹽之沸點最好高於1 2 0 °C。因為，以無機物粉末 為黏合劑令在無機物粉末添加了無機醆鹽之吸附劑固著於 載體表面而形成無機材料層時，將載體表面加熱並乾燥， 令無機材料層中之水分蒸發而除去，但是在這種情況，為 了促進水分蒸發，加熱溫度常設為係水之沸點之1 〇 〇 t以

C:\Program F i1es\Patent\Pl222. ptd 第36頁 U⑽δ 五 '發明說明（34) 上之1 1 0 °0 1 2 0 °C。因此，鑑於這一點，該硫酸鹽之沸點必 須高於1 2 0 °C 。 又，離子交換量低於10meq/g之物/質，因在吸附劑上 對鹽基污染物之吸附容量小，在構成壽命長之空氣淨化過 濾器之情況，希望離子交換量為l〇meq/g以上的。此外， 因在常溫係液體的難添加於無機物粉末，在常溫係固體之 硫酸鹽最好。在硫酸鹽之中完全滿足這種條件'的物質有硫 酸氧鈦、硫酸鋁、硫酸釩、硫酸锆、硫酸氫鈉、硫酸氫鉀 等。 本發明之空氣淨化過濾器之製造方法，也可在令載體 浸潰滲之懸浮液（以吸附劑為必要成分）預先另外溶入無 機酸鹽。於是，自所浸潰泡之懸浮液拉起載體時，溶在懸 浮液之無機酸鹽浸潰滲該吸附劑之粉末或無機黏合劑之粉 末等微粒子之相鄰處之間隙部。然後令載體乾燥時，自浸 潰滲該間隙部之無機酸鹽只有水分蒸發，該間隙部變成無 機材料層之通氣孔。即，無機酸鹽之固態成分變成載持於 通氣孔内壁表面之狀態。結果，可令無機酸鹽之量增加而 延長過濾器之壽命。又，預先溶入懸浮液之無機酸鹽滲入 吸附劑，有彌補自吸附劑之粉末溶出懸浮液而失去之無機 酸鹽之效果。 若利用本發明之空氣淨化過濾器之製造方法，所製造 之空氣淨化過濾器可只由不發生氣體有機雜質之材料構 成。又，實質上該空氣淨化過濾器也可只用不含可燃物之 材料構成。矽石例如可使用矽凝膠。又氧化鋁例如可使用

C:\Program Files\Patent\P1222.ptd 第37頁 五'發明說明（35) 氧化鋁凝膠。矽石和氧化鋁之混合物例如可使用矽凝膠和 氧化鋁凝膠之混合凝膠。在該載體表面形成無機材料層， 以及在第1無機材料層和第2無機材料層之一方之上形成另 一方時，在該懸浮液混入溶膠狀態之無機系固著輔助劑之 情況，該無機材料層或該第1、第2無機材料層就各自含有 無機系固著輔助劑。 關於在本發明之空氣淨化過濾器之製造；r法使用之無 機酸鹽，如上述所示，最好係硫酸鹽。其中尤其硫酸氧 鈦、硫酸鋁、硫酸釩、硫酸锆、硫酸氫鈉、硫酸氩鉀最適 合。 置有所之纖狀 裝體間明換粒 淨氣空發交去 潔連理本子除 度況處在離和 高情之。或器 在的内染碳濾。 因有置污性過部 ，，裝面活化板 置質淨表之淨花 裝雜潔之物氣天 淨性度起燃空之 潔基高引可該間 度鹽該所係，空 高體在境用此該 之氣止環使因於 明之防到未。置 發中可受因異配 本氣，面，優可 用空去表置上器 利環除板裝災遽 若循也基淨防過 而去質之潔在用 除雜理度，質 内機處高維雜 【發明之最佳實施例】 以下邊參照附加圖面邊詳細說明本發明之空氣淨化過 濾器及其製造方法最佳實施例。此外在以下之說明中， 在只稱為"過濾器"之情況意指以除去氣體雜質為目的之過 濾器，而在以除去粒子為目的之情況則稱為"粒子除去用 過濾器”以區別之。

C:\Program Files\Patent\P1222, ptd 第 38 頁 A22^25 五、發明說明（36) 圊1表示本發明之實施形態之過濾器之概略的分解立 體圖。如圖1所示，在構造上將由滑石、高嶺土礦物、膨 潤土、矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和氧化鋁之混合物、 矽酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻璃、緞狀構造之含水矽酸 鎂質黏土礦物、活性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之 中之'至少一種構成之無機物粉末用作黏合劑，令粉末狀之 吸附劑固著在相鄰之波形片1 0之間夾著無凹π之薄板片1 1 而構成之蜂巢狀構造物1 2整體之表面。以下將用作黏合劑 之這些無機物粉末只稱為「無機黏合劑」。 如圖1所示，過慮器1如朝所處理空氣之流通方向（圖 中用空白箭頭記號13所示方向）開口般具有將鋁製之面板 1 5a、1 5b、1 5c、1 5d組立成箱形而成之外殼。而在該外殼 之内部空間，使用無機黏合劑將粉末狀之該吸附劑固著在 表面之波形片10和薄板片11在所處理空氣之流通方向13近 似平行地交互堆積。過濾器1之外形或尺寸等可配合設置 空間任意地設計。 在此說明過濾器1之製造方法之一例。首先將無機纖 維（例如陶磁纖維、玻璃纖維、二氧化矽纖維、氧化鋁纖 維等）和有機材料（例如紙漿、熔融維尼隆之混合物）以 及矽酸鈣3種材料以1 : 1 : 1之等重量混合後，利用濕式抄 紙法抄製成厚度約0 . 3 m m。此外，也可使用以梦酸鎂為主 成分之海泡石（s e p i ο 1 i t e)、坡縷石等纖維狀結晶之黏土 礦物，替代矽酸鈣。若將該抄製而成之薄片加工成薄板形 狀，可得到薄板片Π ;又若利用波形板軋機將該抄製而成

C:\Program Files\PatentNP1222. ptd 第39頁 五、發明說明（37) 之薄片加工成波形，可得到波形片1 〇。用黏接劑將波形片 1 0黏在薄板片Π，得到圖1所示之蜂巢狀構造物1 2。 將該蜂巢狀構造物1 2放入電氣爐，進行40 0 °C、1小時 之熱處理後，完全除去有機成分。在除去有機成分後之蜂 巢狀構造物12之表面殘留無數微米尺寸之凹孔，可製造以 該凹孔為孔之多孔性蜂巢狀構造物1 2。以後吸附劑或無機 黏合劑之微粒子就嵌入該凹孔。 其次，將該蜂巢狀構造物1 2浸潰在令該吸附劑，即在 由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和氧化鋁之混合物、矽酸 鋁、活性氧化鋁、多孔質玻璃、活性白黏土、活性膨潤土 或合成海泡石之中之至少一種構成之無機物粉末添加了無 機酸鹽之吸附劑之粉末和無機黏合劑分散之懸浮液中數分 鐘後拉起。然後令以約2 0 0 °C、1小時之熱處理乾燥後，如 圖2所示，可得到具有用無機黏合劑將該吸附劑之粉末固 著在蜂巢狀構造物12之表面之無機材料層20之過濾器1。 在該懸浮液也可混入無機系固著輔助劑，例如矽酸蘇 打或矽石或氧化鋁之中之至少一種。矽石例如可使用矽溶 膠，氧化鋁例如可使用氧化鋁溶膠。矽溶膠或氧化鋁溶膠 固著在蜂巢狀構造物12之表面後各自變為矽凝膠或氧化鋁 凝膠。無機系固著輔助劑之功用係在功能上作為用以將該 吸附劑之粉末和無機黏合劑堅固地固..著在蜂巢狀構造物1 2 之表面（包含成為蜂巢狀構造物12之要素之Cell之内側之 表面（以下一樣））之輔助劑。. 若在該懸浮液除了該吸附劑以外另外預先溶入無機酸

C: \Prograra F ϊ 1 es\Pa'tent\Pl 222. ptd 第40頁 ^ 227 25 , 五、發明說明（38) 鹽，在自該懸浮液拉起蜂巢狀構造物1 2時，溶於懸浮液之 無機酸鹽就含浸潰於該吸附劑之粉末或無機黏合劑之粉末 或無機系固著輔助劑之微粒子之相鄰處之間隙部。在將拉 起之蜂巢狀構造物1 2熱處理後乾燥時，自含浸潰於該間隙 部之無機酸鹽只有水分蒸發後，該間隙部變成無機材料層 2 0之通氣孔。即，無機酸鹽固態部分變成載持在通氣孔内 壁表面之狀態。在構成無機材料層2 0之添加於'•該吸附劑之 無機酸鹽之量對於長期除去氣體鹽基性雜質不夠之情況， 即本發明之空氣淨化過濾器在可除去氣體鹽基性雜質之壽 命短之情況，像這樣藉著在該懸浮液除了該吸附劑以外另 外預先溶入無機酸鹽，追加空氣淨化過濾器所含無機酸鹽 之量，也可延長本發明之空氣淨化過滤器之壽命。 又，在該懸浮液未溶入無機酸鹽之情況，若將自該懸 浮液拉起並經熱處理後乾燥之蜂巢狀構造物12浸潰於無機 酸鹽之溶解液後再經熱處理後乾燥，也可追加本發明之空 氣淨化過濾器所含無機酸鹽之量。 ' 此外，在別的製造方法上列舉如下之例子。首先將蜂 巢狀構造物1 2浸潰於混合了構成吸附材本身之無機物粉末 和作為黏合劑之無機物之懸浮液，然後自該懸浮液拉起蜂 巢狀構造物1 2後令乾燥》令乾燥後 > 接著將該蜂巢狀構造 物1 2浸潰於無機酸鹽之溶解液。然後....自該無機酸鹽之溶解 液拉起蜂巢狀構造物1 2後令乾燥也可。本方法在使用例如 硫酸錯之溶解度大之無機酸鹽之情況有效°即，將蜂巢狀 構造物1 2浸潰於該懸浮液後令乾燥時，因吸附材處於吸濕

C:\Program Files\Patent\P1222,ptd 第41頁 422725 五、發明說明（39) 性之良好的狀態，浸潰於無機酸鹽之溶解液之情況，可增 多對於吸附材之無機酸鹽之添加量。 此外，也可將蜂巢狀構造物1 2浸潰於將構成吸附材本 身之無機物粉末和作為黏合劑之無機物與無機酸鹽之溶解 液混合而成之懸浮液，然後令該蜂巢狀構造物1 2乾燥。若 這樣做，因不必分別添加吸附材和無機酸鹽，浸潰泡、乾 燥一次就完成，可減少製程數。 - 照這樣所得到之過渡器1 ，因在構成材料上不含可燃 物，而且在將過濾器熱處理時完全脫離、除去成為表面污 染原因之氣體有機雜質成分，自過濾器1本身也不會發生 氣體有機雜質。 說明該吸附劑，即在由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石 和氧化鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻璃、 活性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一種構 成之無機物粉末添加了無機酸鹽之吸附劑之製造方法之一 例。 使用離子交換樹脂自矽酸蘇打除去鈉後，利用分散劑 及Ρ Η調整劑等安定劑將殘留之矽石粒子化。這是矽溶膠.， 在該矽溶膠混合、溶解無機酸鹽。在無機酸鹽之溶解液小 之情況也有將混合液加熱之情況。若將矽溶膠和無機酸鹽 之混合物乾燥後將水分蒸發、除去，就可得到添加了無機 酸鹽之矽溶膠之吸附劑。 說明過濾器1之別的製造方法。因到製造蜂巢狀構造 物1 2為止和上述之製造方法例一樣而省略。本製造方法之

C:\Prograra Files\Patent\P1222, ptd 第42頁 Λ22725 五、發明說明（40) 特徵在於用黏接劑令由該吸附劑之粉末造粒而成之小球附 著在蜂巢狀構造物1 2之表面。在將該吸附劑之粉末造粒 時，以令適量之水和無機系固著辅助劑混入該吸附劑之粉 末和無機黏合劑之狀態混合時，變成顯現黏土狀之黏性和 可塑性，可造粒。無機黏合劑或無機系固著輔助劑之種類 和剛才所說明之製造方法一樣。又，若預先令無機酸鹽溶 解在將該粉末造粒時所使用之適量之水，也可'追加小球所 含無機酸鹽之量。此外，藉著將由該吸附劑之粉末造粒而 成之小球浸潰在無機酸鹽之溶解液後再熱處理乾燥，也可 追加小球所含無機酸鹽的量。 再說明過濾器1之別的製造方法。和上述製造方法完 全不同的點侔小球之表面之構造。在小球之表面被覆表5 (I ) '( m )所示無機吸附材粉末，在小球之表面形成 吸附、除去氣體有機雜質之無機材料層。 圖3係在構造上令使用無機黏合劑將該吸附劑之粉末 造粒而成之小球2 1固著在蜂巢狀構造物1 2之表面之過濾器 1之部分剖面放大圖。用非可燃性黏接劑將使用無機黏合 劑由該吸附劑之粉末造粒而成之小球2 1到處固著在波形片 10和薄板片11之表面整體。在此情況，所處理空氣通就過 載面形狀成近以半月形之細筒部1 7。然後，藉著將照這樣 固著了小球21之蜂巢狀構造物12放入意氣爐，在黏接劑之 耐熱溫度以下之約1 〇 〇 t進行約2小時之熱處理，完全脫 離、除去黏接劑所含成為表面污染原因之氣體有機雜質成 分，可製造過濾器1。

C:\Program Files\Pateat\P1222. ptd 第43頁 修正 五、發明說明（41) 照這樣製造之過濾器1 ，因在構成材料不含可燃物， 將過濾器1裝在天花板面之情況’和將以係可燃物之活性 石炭或離子交換纖維為基底之習知之化學式過〉慮器裝在天化 板面之情況相比，防災上之安全性顯著提高。此外，令所 處理空氣通過之空間之戴面形狀不限上述之半月形，可採 用任意形狀。 圖4係在本發明之用無機黏合劑ϋ將該吸·附劑ϋ之粉 末載持在載體表面之無機材料層之部分剖面放大圖。所處 理對象氣體如自無機材料層之表面（和所處理對象氣體之 接觸面ϋ )鑽進在添加了無機酸鹽之吸附劑ϋ之微粒子和 無機黏合劑ϋ之微粒子之間形成之通氣孔il般進入無機材 料層内部，或相反地自無機材料層内部出去外部°在無機 黏合劑生1上採用了屬於該表5 ( I )和（ΙΠ )之群組之粉 末之情況，氣體有機雜質之分子進入位於其表面之適合物 理吸附之細孔而被吸附除去。 為了達成係本發明之第1目的之除去氣體鹽基性雜質 而且係第2目的之同時除去氣體有機雜質，使用如屬於該 表5 ( I )和（皿）之群組之粉末般主要具有中孔區域或 微孔區域之細孔之無機黏合劑，令該吸附劑之粉末在蜂巢 狀構造物1 2固著成無機材料層2 0 ，構成過濾器1 ，或利用 一樣之該無機黏合劑將該吸附劑之粉末成型為小球2 1後令 該小球2 1固著在蜂巢狀構造物1 2之表面，構成過濾器1。 又如圖5之A-A剖面、B-B剖面所示，藉著利用主要具 有中孔區域或微孔區域之細孔之無機黏合劑，將該吸附劑

第44頁 1999. 09. 17. 044 五、發明說明（42) 之粉末成型為小球2 1後，在側面具有多個通氣口 2 3之雙重 圓筒形之外殼2 2内充填該小球2 1，構成過濾器Γ ，也可達 成本發明之目的。所處理空氣自外殼2 2之内側圓筒流入， 穿過硬幣選別裝置2内之小球2 1之充填層後，通過外殼2 2 之外側圓筒和外筒2 4所夾之空間出去。所處理空氣之流通 方向以箭頭記號13表示。 表5 ( Π )所示群組之黏合劑之中，滑石—或高嶺土礦 物之結晶子尺寸大，巨孔區域之容積大，但是微孔區域或 中孔區域之内部表面積或容積小，物理吸附能力也小。 又，表5 ( Π )所示群組之黏合劑之中，膨潤土之巨孔區 域之容積也大’但是微孔區域或中孔區域之内部表面積或 容積小，物理吸附能力也小。 而，表5 ( I ) 、 （ ΠΙ )所示群組之黏合劑之中'例 如係緞狀構造之含水矽酸鎂質黏土礦物之海泡石之細孔由 10埃之微孔和200埃之中孔構成，微孔區域或尹孔區域之 内部表面積或容積大，物理吸附能力也大。（I)、（瓜 )群組之黏合劑，即矽藻土、矽石（矽凝膠）、氧化鋁 (氧化鋁凝膠）、矽石和氧化鋁之混合物（矽凝膠和氧.化 鋁凝膠之混合凝膠）、矽酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻 璃、緞狀構造之含水矽酸鎂質黏土礦物、酸處理蒙脫石 (活性白黏土）、活性膨潤土、合成.海泡石之無機物粉末 之物理吸附能力大。 如表5所示，這些無機物都是分布在5埃〜3Q0埃之範圍 之每單位重量之細孔容積0.2cc/g以上，或比表面積

C:\Program Fiies\Patent\P1222. ptd 第45頁 一5_ 五、發明說明（43) 1 0 0 m2 / g以上。當然，這些無機物粉末可很適合用作在包含 該無機物（作為用於形成第1無機材料層之黏合劑之無機 物）之粉末之第1無機材料層上重疊形成之第2無機材料 層。 在為了將使用具有中孔區域或微孔區域之有效細孔徑 之無機黏合劑把該吸附劑之粉末造粒而成之小球固定在載 體而預備之形態，例如將自來水與該吸附劑之粉末、該無 機物粉末混合成黏土狀後，用造粒機造粒成約0, 3〜0. 8 nrn 之小球。利用高速空氣將其吹到預先令附著了無機系且非 可燃性之黏接劑之載趙，可製造圊3所示之本發明之過濾 器。在載體未限定為蜂巢狀構造物，例如可用石錦等三次 元網目構造物。在後者因所處理空氣穿過網目構造物，空 氣阻力大，但是和該吸附劑之小球接觸之機會反而比蜂巢 狀構造物多。 圖6係本發明之其他實施形態之過濾器3 1之概略的分 解立體圖。在該過濾器31，蜂巢狀構造物12本身之構造因 和前面在圖1所說明之過濾器1之構造一樣，藉著對於相同 之構成要素賦與同一符號，省略重複的詳細說明。 該過濾器3 1如圖7所示，在構造上使用無機黏合劑令 該吸附劑之粉末固著在由波形片10和薄板片11堆積而成之 蜂巢狀構造物12之表面，形成第1吸...附層（即，第1無機材 料層）2 5，再令具有中孔區域或微孔區域之有效細孔徑之 無機物粉末固著在其表面，形成第2吸附層（即，第2無機 材料層）26。以下將具有中孔區域或微孔區域之有效細孔

C:\Program Files\Patent\Pl222. ptd 第46頁 w5_ 五、發明說明（44) 徑之無機物粉末稱為「無機吸附粉末」。過濾器3 1之外形 或尺寸等可配合設置空間任意設計。此外，在形成第1吸 附層2 5時使用之無機黏合劑之細孔徑和形成第2吸附層2 6 時使用之無機吸附粉末的不同，係和物理吸附無關之巨孔 區域也可a 例如表5 ( Π )所示群組之如滑石、高嶺土礦物、膨 潤土般之黏土礦物幾乎未具有和物理吸附相關之細孔，但 是可用作第1吸附層2 5之黏合劑。又，係如矽酸蘇打、矽 石、氧化銘般之無機系固著輔助劑也可。此外*石夕石例如 可使用矽溶膠，氧化鋁例如可使用氧化鋁溶膠。但，矽溶 膠或氧化鋁溶膠係含有單分散之自毫微米到數十毫微米之 一次粒子之懸浮液，但是在固著在載體之表面後乾燥之狀 態，變為係由一次粒子集合而成之三次元凝聚物之矽凝膠 或氧化鋁凝膠，具有吸附氣體有機雜質之能力。 因此，矽溶膠或氧化鋁溶膠之無機系固著輔助劑可和 那些單獨用作吸附第1吸附層2 5之氣體有機雜質之黏合劑 之矽凝膠或氧化鋁凝膠完全一樣地利用，又可和用作吸附 第2吸附層26之氣體有機雜質之無機物之矽凝膠或氧化鋁 凝膠完全一樣地利用。即，只要第1吸附層2 5在功能上可 除去環境中之氣體鹽基性雜質、第2吸附層2 6在功能可吸 附並除去氣體有#雜質即可。 圊8係在本發明之由第1吸附層和第2吸附層構成之複 合層剖面之部分放大圊。 在圖8，在因載體含有有機材料而自載體本身脫離氣

C:\Program F iIes\Patent\Pl222. ptd 第47頁 ‘ A妒 26 ^/?χ> 案號87Π6675_找年气月（7曰_ίΜ,_ 五、發明說明（45) 體有機雜質之情況，也因利用被t載體之第2吸附層2 6吸 附並除去自載體脫離之氣體有機雜質，自載體發生之氣體 有機雜質不會穿過第2吸附層26而進入所處理對象空氣 中 〇 在此說明過濾器3 1之製造方法之一例。首先製造多孔 性蜂巢狀構造物1 2。因到形成無機材料層為止和前面所說 明之方法一樣而省略。其次，將蜂巢狀構造物1 2浸潰在令 該吸附劑ϋ之粉末和如滑石、高嶺土礦物、膨潤土般之無 機黏合劑ϋ分散之懸浮液數分鐘後，在約2 0 0 °C以約1小時 之熱處理乾燥後，形成第1吸附層2 5。 其次，將形成了第1吸附層（即，第1無機材料層）2 5 之蜂巢狀構造物12浸潰在令具有中孔區域或微孔區域之有 效細孔徑之無機物粉末（無機吸附粉末)，例如矽藻土 、矽石、氧化鋁、矽石和氧化鋁之混合物、矽酸鋁、活性 氧化鋁、多孔質玻璃、緞狀構造之含水矽酸鎂質黏土礦 物、活性白黏土、活性膨潤土 '合成海泡石等分散之懸浮 液數分鐘後，在约2 0 0 °C經以約1小時之熱處理乾燥後，形 成第2吸附層（即，第2無機材料層）2 6。此外，破石例如 可使用矽凝膠，氧化鋁例如可使用氧化鋁凝膠。矽石和氧 化鋁之混合物例如可使用矽凝膠和氧化鋁凝膠之混合凝 膠。 在用於形成第2吸附層2 6之該緞狀構造之含水矽酸鎂 質黏土礦物上有海泡石或坡縷石等。照這樣可得到在第1 吸附層2 5上被覆了第2吸附層2 6之蜂巢狀構造物1 2。在形 成第1吸附層2 5和第2吸附層2 6時使用之無機物粉末混入無

第48頁 1999. 09.17. 048 ΛΖ^125 五、發明說明（46) 機系固著輔助劑，例如矽酸蘇打或矽石或氧化錳之中之至 少一種也可。此外，矽石例如可使用矽溶膠，氧化鋁例如 可使用氧化鋁溶膠。 a無機系固著輔助劑之功用係在功能上作為用以將形成 作為第1無機材料層之第1吸附層25之該吸附劑之粉末或無 機黏合劑堅固地固著在蜂巢狀構造物12之孔等之輔助劑， 以及在功能上作為用以將形成作為第2無機材-料層之第2吸 附層26之該無機吸附粉末堅固地固著在第1吸附層25之輔 助劑。 此外’追加本發明之空氣淨化過濾器31所含無機酸鹽 之量的方法和上述之方法一樣一種方法係令無機酸鹽溶 、解於為了形成第1無機材料層或第2無機材料層而使用之懸 浮液’即混合了該吸附劑之粉末 '無機黏合劑、無機吸附 粉末、無機系固著輔助劑等之懸浮液。別的方法係在形成 第1無機材料層或第2無機材料層後，將蜂巢狀構造物浸潰 在無機酸鹽之溶解液後再度熱處理乾燥。 照這樣所得到之蜂巢狀構造物1 2，因構成材料不含可 燃物’而且完全脫離、除去在將蜂巢狀構造物丨2熱處理時 構成材料所含成為表面污染原因之氣體有機雜質成分，自 蜂巢狀構造物12本身也不會發生氣體有機雜質。此外，圖 6所示外框1 5之材料最好使用如鋁般不會發生氣體有機物 而且不含可燃物之材料。為了將蜂巢狀構造物12固定於外 框1 5或為了塞住蜂巢狀構造物1 2和外框丨5之間隙部分而使 用之黏接劑或密封劑也最好使用不會發生氣體有機物而且

C:\Program Files\Patent\P1222. ptd 第49頁 五、發明說明（47) 不含可燃物之特性的。在此情況，例如對在蜂巢狀構造物 12安裝外框15而完成組立之過濾器31整體進行熱處理，完 全脫離、除去來自係過濾器3 1之在構成材料之非可燃性黏 接劑或密封劑之成為表面污染原因之氣體有機雜質成分也 可。於是，可只用不含可燃物之材料或只由不發生氣體有 機雜質之.材料構成過濾器3 1整體。 說明過濾器3 1之另外的製造方法。將用i述之製造方 法所製作之蜂巢狀構造物1 2或石綿等三次元網目構造物用 作載體。而且，在本製造方法用黏接劑令粒狀之該吸附劑 附著在載體表面。粒狀之該吸附劑使用將無機黏合劑和該 吸附劑之粉末混合後成型而製成小球形狀的。 預先準備在該小球之周圍被覆具有中孔區域或微孔區 域之有效細孔徑之無機物粉末（無機吸附粉末）而形成了 被覆層之附被覆層之小球。該小球之製作方法係，為了形 成無機吸附粉末之被覆層，將成形成小球形之該吸附劑浸 潰將被覆用之無機吸附粉末分散之懸浮液後，拉起、乾 燥。為了增加被覆層之機械強度，在該懸浮液令溶膠狀之 無機系固著辅助劑和被覆用無機吸附粉末一起分散後，.使 得被覆在小球該無機吸附粉末含有無機系固著輔助劑也 可。被覆用無機吸附粉末或無機系固著輔助劑之種類可使 用上述的° ；- 其次說明本發明之實施形態之高度潔淨裝.置。圖9係 概略表示本發明之實施形態之高度潔淨裝置10 0之構造之 說明圖。該高度潔淨裝置1 〇 〇，具體而言例如係以無塵室

C:\Prograjn Files\Patent\P1222. ptd 第 50 頁

五'發明說明（48) 或無麈操作台構成。高度潔淨裝置100由用以製造例如LSI 或LCD等之處理空間102、位於該處理空間1〇2之上下之天 花板部（供氣增壓空間）103和地板下面冑（回氣增p 間）1〇4、以及位於處理空間1〇2之側方之回氣通路ι〇5構 在天花板部1 0 3配置風扇單元丨丨〇和具有透氣性之用以 氣體雜質除去用過濾器ill及具有粒子除去用-過濾器112之 潔淨風扇單元1 1 3。在處理空間丨〇2設置成為熱產生源之 如半導髏製造裝置114。地板下面部1〇4用鑽了多個孔之格 子地板115隔開《又，在地板下面部1〇4設置用以處理半導 體製造裝置114之熱負載之乾冷卻器（在構造上令不會結 露之冷卻器）1 1 6。乾冷卻器〗丨6意指以在熱交換器表面不 結露之條件下冷卻空氣之空氣冷卻器。在回氣通路丨〇 5設 置溫度感測器1 1 7，控制乾冷卻器丨丨6之冷水流量調整闊 U ’使得該溫度感測器11 7所偵測到之溫度變成指定之科 定值。 故 而且’藉著潔淨風扇單元113之風扇單元11()運轉，在 調整適當的氣流速度下’高度潔淨裝置1〇〇内部之空氣按 照天it*板部1 0 3 R處理空間1 0 2 R地板下面部1 〇 4 R回氣通'路 1 0 5 R天化板部1 〇 3之順序流動循環》又，在該循環中，被 乾冷卻器1 1 6冷卻’利用潔淨風扇單〃.元1 1 3内之氣體雜質除 去用過濾器1 11和粒子除去用過濾器丨1 2除去空氣中之氣體 雜質和粒子狀雜質’向處理空間1 〇 2内供給適溫且潔淨之 空氣。

C：\Program Fi1es\Patent\Pl222. ptd 第 51 頁 五、發明說明（49) 氣體雜質除去用過濾器111係前面說明之本發明之含 有添加了無機酸鹽之吸附劑之粉末之空氣淨化過濾器，自 循環空氣除去氣體鹽基性雜質和視情況連氣體有機雜質也 除去。又氣體雜質除去用過濾器111只由不含可燃物而且 不發生氣體有機雜質之材料構成。 粒子除去用過濾器112配置在氣體雜質除去用過漶器 111之下游側，本過濾器112具有可除去粒子肤雜質之功 能。又’粒子除去用過濾器112只由不發生氣體有機雜質 之材料構成。 所吸入外氣經由空氣流路1 2 0適當地供給高度潔淨裝 置100之地板下面部104内。在該空氣流路120也配置具有 用以自所吸入外氣除去氣體雜質之本發明之空氣淨化過遽 器1 21 ，在空氣淨化過濾器1 2 1之上游側設置進行所吸入外 氣之除塵、調温、調濕之單元型空調機器122。又，在空 氣流路1 20配置濕度感測器1 27，控制單元型空調機器1 22 之調濕部之供水壓力調整閥1 2 9，使得濕度感測器1 2 7所債 測到之濕度變成指定之設定值。而，在處理空間1 〇 2内設 置濕度感測器丨28，用該濕度感測器1 28偵測處理空間1 〇2 内之環境之濕度。 由空氣流路1 2 0供給高度潔淨裝置1 0 0之地板下面部4 之所吸入外氣，經由回氣通路1 0 5及天花板部1 0 3引入處理 空間1 0 2。而，和該所吸入外氣平衡之空氣量自排氣口 1 2 5 經由排氣窗126排到室外。 本發明之氣體雜質除去用過濾器111 ，因構成材料不

C:\Program F iles\Patent\P1222. ptd 第52頁 a^12S_ 五、發明說明（50) 含可燃物，如圖9所示將氣體雜質除去用過濾器1 1 1裝在天 花板面之情況*和以係可燃物之活性碳為基底之習知之化 學式過濾器裝在天花板面之情況相比，防災上之安全性顯 著提高β此外，在圖9所示之高度潔淨裝置1 0 0，若處理所 吸入外氣之空氣淨化過濾器1 2 1也採用和處理循環空氣之 空氣淨化過濾器1 1 1相同的構造，和以係可燃物之活性碳 為基底之習知之化學式過濾器裝在外氣取入口之情況相 比，防災上之安全性更高。 一般之除去粒子之中性能過濾器、ΗΕΡΑ過濾器或ULPA 過濾器，因在纖維過濾材料使用含有揮發性有機物之過濾 材料用黏接劑，或在纖維過慮材料和過濾器框材料之黏接 使用含有揮發性有機物之密封材料，自過濾材料用黏合劑 或點接劑發生逸脫氣體。因此，在構成本發明之粒子除去 用過濾器112，最好使用未用含有揮發性有機物之過濾材 料用黏合劑之過濾材料，或者即使使用含有揮發性有機物 之過濾材料用黏合劑，也使用藉由加熱處理等處理除去了 揮發性有機物之過濾材料，此外在係將過濾材料固定在框 架之裝置之密封件也選擇不會發生逸脫氣體之種類，或.用 無逸脫氣體之材料在物理上壓住過濾材料而固定在框架。 本發明之其他實施形態之高度潔淨裝置1 0 0 ’如圖1 0所 示。圖1 0所示之高度潔淨裝置1 0 (Τ不是將本發明之含有添 加了無機酸鹽之吸附劑之粉末之蜂巢狀構造物之空氣淨化 過濾器1 1 1裝在高度潔淨裝置1 0 0 ’之天花板部1 0 3整個面， 而是在各處間隔設置。在本例*和圖9相比*空氣淨化過

C:\Program Files\Patent\P1222.ptd 第53頁 五、發明說明（51) 濾器1 1 1之設置台數變成一半。其他方面和剛才在圖9所說 明之高度潔淨裝置丨0 〇之構造一樣。因此，在圖10所示之 高度潔淨裝置10 0 '，藉著對和剛才在圖9說明之高度潔淨 裝置1 0 0 —樣之構成元件賦與相同的符號，省略重複詳細 說明。 本發明之空氣淨化過濾器之除去對象之化學污染物質 係鹽基性物質和有機物》其代表性障礙事例备，在鹽基性 \ -+ 氣體造成光阻劑之解像障礙。氣體有機物附著在基板表面 時，易發生絕緣氧化膜不良、光阻劑膜密接不良以及因基 板表面之電阻值升高而易發生微粒子之靜電吸附。又，氣 體有機物成為曝光裝置之透鏡或反射鏡發暈之原因。這些 氣體雜質之發生源有存在於洗淨裝置、作業員、無塵室在 構成零件等高度潔淨裝置内部之發生源和自外部進入高度 潔淨裝置内之來自外氣之污染物。 因此，空氣淨化過濾器11 1之功用主要在於自循環空 氣中除去在高度潔淨裝置内部發生之氣體污染物，降低高 度潔淨裝置内部之這些氣體污染物濃度。而，配設於空氣 流路1 2 0之空氣淨化過濾器1 2 1之功用在於除去自外部進入 來 之 内 置 裝 淨 潔 度 高 之 氣 外 遽淨經 過潔之 化度間 淨高時 氣期轉 空初運 有轉著 具運隨 。在， 物，«, 染時最 污轉度 運濃 置之 裝質 淨物 潔染 度污 高學 之化 1 之 2 J 1 β— 及吾 1内 1 置 IX 器裝 過 逐 氣 空 環 循 質 物 染 就 度 濃 其 去化 下定 低穩 降度 濃係 之量 衡質 平物 量染 生污 發學 之化 污部之 學内去 化置除 些裝所 這淨時 去潔次 除度一 漸高環 和循 以氣 於空 終在

C:\Program Files\Patent\P1222.ptd 第54頁 422725 五、發明說明（52) 和空氣淨化過濾器1 1 1之上游侧之化學污染物之濃度相同 之情況，比較在天花板全面安裝之圖9之高度潔淨裝置1 0 0 和間隔設置之圖1 0之高度潔淨裝置1 0 0 ’，有2 : 1之關係。 即，關於由運轉初期之最高濃度至到達和高度潔淨裝 置内部之發生量平衡之濃度為止之時間，在間隔設置之圖 1 0之高度潔淨裝置1 0 0 ’之情況比在天花板全面安裝之圖9 之高度潔淨裝置1 〇 0之情況長很多。又，關於-最終到達之 平衡濃度，間隔設置之情況比在天花板全面安裝之情況稍 高。即，間隔設置之情況雖然有濃度之降低費時，且降低 後之平衡漢度也比全面設置之情況稍高之缺點，但是由想 降低空氣淨化過濾器11 1之初期費用或定期更換所伴隨之 運轉費用之經濟上之要求之觀點，如圖1 0之例子所示，間 隔設置空氣淨化過濾器111之情況比較便宜。 [實施例] 其次利用實施例說明上述本發明之實施形態之過濾器 之作用效果。 首先，在無塵室中，為了除去氣體鹽基性雜質，在利 用各自使用添加了藥品之粒狀活性碳和纖維狀活性碳之2 種市面上之化學式過濾器和使用了離子交換纖維之化學式 過濾器所處理之無塵室空氣和利用圖6所示本發明之過濾 器所處理之無塵室空氣之共4種環境、.中量測了附氡化膜之 矽晶片表面之接觸角之隨時間之變化。其結果如圖11所 示。 圖1 1所示接觸角之值係在基板表面滴下超純水所量測

C:\Program Files\Patent\P1222. ptd 第55頁 urns 五、發明說明（53) 到的《該接觸角係簡便評價基板表面之有機物污染程度之 指標。在剛洗淨後之無有機物污染之附氧化膜矽晶片或玻 璃表面具有易和水溶合之性質，即係親水性，因此接觸角 小。可是在被有機物污染後之表面有排拒水之性質，即係 疏水性’接觸角變大。 例如’已知以放置在無塵室環境中之玻璃基板表面為 對象’滴下超純水之接觸角之量測值和利用X—射線電子分 光法（XPS · X-ray Photoelectron Spectroscopy)戶斤量 測之有機物表面污染有圖1 2所示之相關關係。對於附氧化 膜破晶片之表面，在接觸角和有機物表面污染之間也有大 致相同之相關關係。於是，在基板表面之水之接觸角之大 小和有機物表面污染之間有極強之相關。 由圖11之結果得知如下事項。離子交換纖維本來係用 以吸附除去水溶性無機雜質的，無法吸附所處理對象空氣 中之有機物。反而離子交換纖維本身產生新的氣體有機 物。得知放置1天接觸角約增加1〇度。目的在於防止氣體 無機雜質污染之2種活性碳過濾器也無法吸附所處理對象 空氣中之有機物。反而因活性碳過濾器本身產生新的氣體 有機物，確認了放置1天接觸角約增加10度。而在利用圖6 之本發明之過濾器，將晶片表面放置1天接觸角也幾乎未 增加’得知吸附並除去所處理對象空，氣中之有機物，而且 過濾器本身未產生氣體有機物。 通過化學式過濾器後之空氣中含有在活性碳過濾器各 自由構成村料或將活性碳黏在薄片之黏接劑、用以將過濾

C：\Program F i1es\Patent\Pl222. ptd 第56頁 A 找125 五、發明說明（54) 材料固著在周圍之框架之密封材料等以及在離子交換纖維 過濾器由構成材料之高分子纖維所含之各種添加劑發生之 氣體有機雜質。在離子交換纖維過濾器之情況，離子交換 基之一部分也可能以磺酸、羧酸、磷酸脫離。 即，這些習知之化學式過濾器在除去無塵室環境中所 含ppb級之極微量之鹽基性雜質下，令自化學式過濾器本 身發生之氣體有機雜質混入通過之空氣中。画此，關於表 1所記載依據美國之SEMATECH之氣體雜質控制之預測值， 這些習知之用以除去氣體鹽基性雜質之化學式過濾器，雖 然滿足氣體鹽基性雜質之濃度標準，卻無法滿足氣體有機 雜質之濃度標準。反而因使用了習知之化學式過濾器，無 塵室環境中之成為基板表面污染原因之氣體有機雜質濃度 也可能反而升高。 令含有NH3、DOP、五聚物之矽氧烷（D5 )各自由數百 ppt到數ppb之無塵室空氣通過本發明之2種蜂巢狀構造物 之過濾器a、b。利用離子色譜法（I C )量測在蜂巢狀構造 物之上游側和下游側之各環境中之N H3之濃度，量測各自之 除去效率。還量測並比較在蜂巢狀構造物之上游側和下_游 側之各環境中所設置矽晶片表面之DOP和D5所引起之有機物 表面污染物量，評價了有機物表面污染之防止效果。還量 測了蜂巢狀構造物之下游侧之各環境中之浮游微粒子濃度 (在1 f t3之空間中所含粒徑0 . 1 # m以上之粒子數）。在上 游側之浮游微粒子濃度為1 0個/ f t3。其結果如表7所示。

C:\Program Files\Patent\P1222. ptd 第57頁 五、發明說明（55) 【表7】本發明之過濾器a和b之比較 污染物之種類 本發明之過濾器a 本發明之過濾器b 除 95% 97% 去 DOP 99%以上 75% 率 D5 92% 45¾ 下游1 粒子5 0. Ιμϊ 則浮游微 農度粒徑 ϋ以上 10 個/ft3 100 個/ft3 有機物表面污染物量之評價上使用4英吋之p型妙晶 片。在過濾器之上游側和下游侧各自曝露洗淨後之晶片， 量測其表面污染。 ^ 在附著在晶片表面之有機物之分析、量測上組合使用 昇溫脫氣裝置和氣體色譜質量分析裝置。又，依據氣體色 譜儀照如下所示求表面污染防止率。 ' 表面污染防止率=(1- (β/Α) ) ’ 1〇〇 (%) A :自上游側之晶片表面所偵測到污染有機物質之小 峰之面積 Λ Β :自下游側之晶片表面所偵測到污染有機物質之尖 峰之面積 大 本實施例之2種過濾器a和b都如圖1或圖6所示，具有 在相鄰之波形片1 〇之間夹著無凹凸之，薄板片j j之構造。過 濾器在通氣方向之厚度為10cm，通氣速度為〇6m/s，在過 濾器通氣之所處理空氣接觸之過濾器每單位體積之 ^ 表面積為30 0 〇m2/m3。 一

五、發明說明（56) 本發明之過濾器a具有第1無機材料層，該第1無機材 料層係將上述之多孔性蜂巢狀構造物浸潰在將由以相對於 吸附劑總重量為4 2 %之重量濃度添加了硫酸鋁之平均粒徑4 // m之矽凝膠之粉末構成之吸附劑和作為無機黏合劑之高 嶺土之3 m之粉末混合後令和作為無機系固著輔助劑之矽 溶膠一起分散之稀泥後乾燥而形成的。 其次，將形成了第1無機材料層之上述之_蜂巢狀構造 物再_漫^倉在令有效細孔徑主要分布於2 0埃~ 1 0 0 0埃之活性 白黏土之3 //m之粉末和作為無機系固著輔助劑之石夕溶耀^一 起分散之稀泥後再乾燥而形成第2無機材料層。該第1無機 材料層之厚度係1 0 0 /z m，其重量成分比係該吸附劑：高嶺 土 ：無機系固著輔助劑=6 5 % : 3 1 % : 4 %，而該第2無機材料 層之厚度係lO/zm，其重量成分比係酸處理蒙脫石：矽石 =8 5 % : 1 5 %。過濾器整體之密度係2 3 5 g / 1，其中無機材料 層所佔密度係94g/ 1 (過濾器整體之40% ) » 本發明之過濾器b照如下所示製作。即將上述之多孔 性蜂巢狀構造物浸潰在將添加了上述之硫酸鋁之矽凝膠之 粉末和高嶺土之3 # m之無機黏合劑混合後令和作為無機系 固著輔助劑之矽溶膠一起分散之稀泥後乾燥而製成〇過濾 器b所使用之高嶺土因除了大小係1 0 0 0埃以上之通氣孔以 外未具有主要之細孔，幾乎沒有物理吸附能力。而過濾器 a所使用之活性白黏土之有效細孔徑主要分布於2 0埃~ 1 0 0 0 埃，其物理吸附能力和活性破相比，並無遜色。 本發明之過濾器a和b之不同點在於過濾器b未如過濾

C:\ProgramFiles\Patent\P1222.ptd 第 59 頁 似125_ 五、發明說明（57) 器a般具有相當於第2無機材料層（活性白黏土層）。由表 7得知，關於氣體鹽基性雜質之除去，因只有含有添加了 硫酸鋁之矽凝膠之粉末之第1無機材料層才有效，第2無機 材料層之有無對其除去效率影響不太大。可是，關於自高 度潔淨裝置内之基板表面所偵測到之有機污染物種類之中 量最多的DOP '五聚.物之矽氧烷（D5)，其除去效率因物理 吸附能力優異之第2無機材料層之有無而大不—相同。 即，設置了第2無機材料層之過濾器a，不僅氣體鹽基 性雜質，連氣體有機雜質也可一起除去。表了之下游側浮 游微粒子濃度之量測結果得知，過濾器a因用第2無機材料 層（活性白黏土層）被覆含有添加了硫酸鋁之吸附劑之第 1無機材料層，抑制來自第1無機材料層之發塵，下游側浮 游微粒子濃度變成和上游側一樣是1 〇個/ f t3。可是過濾器 b，因第1無機材料層直接曝露在空氣中，由於來自第1無 機材料層之發塵，下游側浮游微粒子濃度變成上游側之10 倍之1 0 G個/ f t3。 其次，比較了按照本發明所製造各種型式之過濾器。 其結果如表8所示。 【表8】按照本發明所製造各種型式之過濾器之比較 氣體雜質 之種類 A B C D E F nh3 95¾ 95¾ 92% 90¾ 95% 95¾ DOP 80¾ 99¾以上 98¾ 99%以上 98¾ 郷以上 d5 50¾ 90¾ 87% 91% 85% 90¾

C:\Program Files\Patent\P1222.ptd 第60頁 〆_ 五、發明說明（58) 在表8，本發明之過濾器A之特徵在於令作為無機黏合 劑之高嶺土和係無機系固著輔助劑之矽溶膠和由添加了硫 酸鋁之矽凝膠之粉末構成之吸附劑混合後固著在蜂巢狀構 造物之表面，形成了無機材料層。無機材料層之厚度係 1 0 0 # ΙΠ，其重量成分比係該吸附劑：高嶺土 ：無機系固著 輔助劑=70%:27%:3%。 _ 本發明之過濾器B之特徵在於以係無機系固著輔助劑 之矽溶膠為無機黏合劑將由添加了硫酸鋁之矽凝膠之粉末 構成之吸附跗固著在蜂巢狀構造物之表面，形成無機材料 層。係無機系固著辅助劑之矽溶膠係含有單分散之由毫微 米玉數十毫微米之一次粒子之懸浮液，但是在固著在載體 之表面後乾燥之狀態，變為係由一次粒子集合而成之三次 元凝聚物之矽凝膠，具有吸附氣體有機雜質之能力。無機 材料層之厚度係1 0 0 # κι，其重量成分比係該吸附劑：無機 系固著輔助劑=70%:30%。 本發明之過濾器C係在該本發明之過濾器A之過濾器表 面再形成用矽溶膠固著後乾燥而產生之矽凝膠構成之第.2 無機材料層之過濾器。第2無機材料層之厚度係10/zm，其 重量成分比係無機系固著辅助劑，即矽凝膠10 0 %。 本發明之過濾器D係在該本發明..之過濾器B之過濾器表 面再形成用矽溶膠固著後乾燥而產生之矽凝膠構成之第2 無機材料層之過濾器。第2無機材料層之厚度係1 0 # in，其 重量成分比係無機系固著輔助劑，即矽凝膠1 0 0 %。

C:\Program Files\Patent\P1222. ptd 第61頁 五、發明說明（59) -— 本發明之過濾器E係在蜂巢狀構造物之表面，首先开 成用矽溶膠固著後乾燥而產生之矽凝膠構成之無機材料’ 層，再在其上重疊令以該吸附劑之粉末為無機黏合劑之言 嶺土和係無機系固著輔助劑之矽溶膠混合而形成之無 料層之過濾器。即，係將上述本發明C之第丨無機材料芦 第2無機材料層對蜂巢狀構造物之表面之固著順序颠倒9 0 本毛明之過濾器F係在蜂巢狀構造物之表面， 成用破溶膠固著後乾燥而產生之破凝勝構成先形 層’再在其上重疊令係以無機系固著輔' 合劑和該吸附劑之粉末混合而形成之別 =為黏 氣淨化過遽器。即’係將上述本 ：：材枓層之空 第2無機材料層對蜂巢狀構造物 ·、.、機材料層和 的。 之表面之固著順序顚倒 在圖13~18將這些各過濾器之1 後以剖面圖表示。為了更易理解無，機枓層之構造故大 1 5之情況特別連透視模式圖也一併表厂、增之構造’在圖 圖8所示無機材料層切割成以無機材；;不°這些圖將圖4或 圓筒形，對於位於其圓筒内之細a ’層之厚度為高度之 細空孔表示係和氣體有機雜質之队 果式圖在概念上以 λ、物理吸脱& fL或中孔之分布情況，以粗空孔表示.τ相關之細孔之微 理吸附幾乎無關之巨孔之分布情況氣體有機雜質之物 在本發明之過濾器A，如圖1 3所厂、 酸鋁之矽凝膠構成之吸附劑之粉末 丁’含有由添加了硫 無機特料層51，因除

C:\Program Files\Patent\P1222. ptd 422725 五、發明說明（60) 了大小係1 0 0 0埃以上之通氣孔以外未具有主要之細孔，對 氣體有機雜質幾乎沒有物理吸附能力。 在本發明之過ί慮器B，如圖14所示，在構成含有該吸 附劑之粉末之無機材料層5 2之矽凝膠之内部形成約3 0 0 埃之細孔，有該物理吸附能力。 在本發明之過遽器C，如圖1 5所示，含有該吸附劑之 粉末之第1無機材料層5 3，因除了大小係1 0 0 (Γ埃以上之通 氣孔以外未具有主要之細孔，幾乎沒有該理吸附能力，但 是在只由矽凝膠構成之第2無機材料層54形成約5〜3 00埃之 細孔，有該物理吸附能力。 在本發明之過遽器D，如圊16所示，因在含有該吸附 劑之粉末之第1無機材料層55含有矽凝膠，而且未含該吸 附劑之第2機材料層56只用矽凝膠構成，在其兩方之無機 材料層有該物理吸附能力。 在本發明之過遽器Ε，如圖17所示，未含該吸附劑之 粉末之第1機材料層5 7只用矽凝膠構成，有該物理吸附能 力，但是含有該吸附劑之第2無機材料層5 8，因除了大小 係1 0 0 0埃以上之通氣孔以外未具有主要之細孔，幾乎沒有 該理吸附能力。 在本發明之過渡器F，如圖1 8所示，未含該吸附劑之 粉末之第丨機材料層5 9只用矽凝膠構成，在含有該吸附劑 之粉末之第2無機材料層60也形成矽凝膠之約5〜300埃之細 孔，在其兩方之無機材料層有該物理吸附能力。 關於這些各過濾器，和前面一樣調查了表面污染防止

C:\Program Files\Patent\P1222. ptd 第63頁 A22125 五、發明說明（61) 率之結果，本發明之過濾器都對氣體鹽基性雜質N H3之吸附 優異。可是對於氣體有機雜質DOP或五聚物之矽氧烷（D5 )，本發明之過濾器A之吸附性能尤其差，至於除此以外 之本發明之過濾器B〜F，吸附性能優異。本發明之過濾器A 對氣體有機雜質之吸附性能差之理由係因無機材料層51除 了大小係1 0 0 0埃以上之通氣孔以外未具有主要之細孔，對 氣體有機雜質幾乎沒有物理吸附能力。在除此以外之過濾 器，因形成對氣體有機雜質之物理吸附優異之約300埃 之細孔，可得到優異之吸附性能。 本發明之過濾器之處理對象未只限定為空氣，處理如 氮或氬之惰性氣體當然也一樣可產生適合製造半導體或 LCD等之惰性氣體。 其次利用實施例說明本發明之實施形態之高度潔淨裝 置之作用效果。 發淨 本氣 在空 之 明 9 圖 之 例 施 實 之 明 器 濾 過 化 該 發明 本說 備所 配6 ο圖 10在 置面 裝前 淨僅 潔不 度器 高遽 之過 具,° 並物 ’造 去構 除狀 起巢 一蜂 可之 也著 質固 雜末 機粉 有之 體膠 氣凝 連矽 ，之 質鋁 雜酸 性硫 基了 鹽加 體添 氣令 之有 置 裝 淨 11潔 器度 濾高 過該 化在 淨 。 氣的， 空備計 處 測 量 月 個 I _ 隔 每 Ώ· ο ο. ο . 間 空 璉 !處ί t 之ιοί 處οο間 了 1 空 為’.:理 係 空 環 循 之 Η Ν 置 設 2 ο 還 ° 度 濃 之 3 Η Ν W' 内 而度高 氣濃在 間 空 J11 理 處 之 ο 板12 基置 片放 晶求 矽， 膜角 10化觸 置氧接 裝附之 淨之後 潔染時 污小 11 物12隔 機置每 有放。 無和量 之後加 後淨增 淨洗之 洗剛角. 剛測觸 置量接 放別後 内分時

C:\Program FiIes\Patent\P1222.ptd 第64頁 422725 五、發明說明（62) 個月同樣地重複量測放置1 2小時後接觸角之增加量（洗淨 R量測接觸角R放置1 2小時R量測接觸角）。此外，剛洗淨 後附氧化膜矽晶片表面之接觸角係3。。為了處理 5 0 0 0 Hi3 / m i η之循環空氣所使用係在本發明之吸附劑之添加 了硫酸鋁之矽凝膠之粉末之使用量設為500kg。即，每 1 m3 / m in通氣量之吸附劑使用量為0 . 1 kg。 其次，將本發明之空氣淨化過遽器111更^換為將纖維 狀活性碳和低融點聚酯或聚酯不織布之黏合劑複合而變成 毛氈狀之習知構造之化學式過濾器、或是用黏接劑將粒性 活性碳固著在有透氣性之氨基甲酸脂泡沐塑料之薄片狀之 習知之化學式過濾器、或將離子交換纖維和低融點聚醋或 聚酯不織布之黏合劑複合而變成毛氈狀之習知構造之化學 式過濾器。對於將本發明之空氣淨化過濾器U 1更換為3種 習知構造之化學式過濾器之各習知例，也每隔1個月量測 高度潔淨裝置内之nh3之濃度° ^ 在使用了各習知之化學式過遽'11之高度潔淨裝置内$ 置剛洗淨後之無有機物污染之附氧化膜…基板’ 2 量測剛洗淨後和放置12小時後之接觸角，求放置12小時/ 接觸角之增加i。每隔1個月同樣地重複量測放置 後接觸角之增加量（洗淨κ量測接觸角R放置12小：.咼濾、器 接觸角）。在各習知例所使用在習知構？之化學：讼璩雉 之吸附材料，即活性碳纖維、粒狀活14碳、離子交名,量’之 之使用也和上述本發明之實施例-樣，每通氣 吸附劑使用量為0 . 1 k g。

—^- 五、發明說确（63) 此外，在都未設置本發明之空氣淨化過濾器1 1 1或習 知構造之化學式過濾器之情況也一樣地量測高度潔淨裝置 内之NH3濃度及接觸角。 關於NH3濃度之量測結果，在都未設置本發明之空氣淨 化過濾器11 1或習知構造之化學式過濾器之高度潔淨裝置 内之濃度位於由5ppb至lOppb之範圍。而，設置本發明 之空氣淨化過濾器1 1 1或習知構造之化學式過-濾器之其中 之一之高度潔淨裝置内之NH3濃度，在運轉後約1年内位於 由0.5ppb至l.Oppb之範圍，經過1年後因吸附性能降低， 變成超過了 l.Oppb。 比較了分別曝露於設置了本發明之空氣淨化過濾器 1 1 1之高度潔淨裝置環境、設置了習知構造之化學式過濾 器之高度潔淨裝置環境以及都未設置這些過濾器之高度潔 淨裝置環境之附氧化膜之矽晶片表面之接觸角之隨時間之 變化。 曝露於設置了本發明之空氣淨化過濾器1 1 1之高度潔 淨裝置環境之附氧化膜之矽晶片表面之接觸角在放置1 2小 時後變為4 ° 。因剛洗淨後之附氧化膜矽晶片表面.之接觸 角係3 ° ，增加了1 ° 。此外，本發明之空氣淨化過濾器 1 1 1在運轉後約1年内每隔1個月所量測之接觸角值為4 ° ， 無變化。可是，經過1年後因吸附性..能降低，接觸角開始 增加。 而，曝露於設置了習知構造之化學式過濾器之高度潔. 淨裝置環境之附氧化膜之矽晶片表面之接觸角在放置1 2小

C:\Program Fi1es\Patent\Pl222. ptd 第66頁 ! 422725 五、發明說明（64) 時後增加1 〇 ° 。即，因剛洗淨竟之附氧化膜矽晶片表面之 接觸角係3 ° ，增加了 1 ° 。即，在習知構造之除去氣體有 機雜質之化學式過濾器，不僅沒有除去氣體有機雜質之能 力，而且自化學式過遽器所含過遽材料（例如不織布、黏 合劑等）、或令活性碳黏在薄片之黏接劑（例如氯丁橡膠 系樹脂、氨基甲酸脂系樹脂、環氧系樹脂、矽系樹脂等 )、或用以將過濾材料固著在周圍之框架之密封材料（例 如氣丁橡膠或矽橡膠等）等發生之氣體有機雜質被含在通 過化學式過濾器之空氣中，使得在放置1 2小時後之晶片表 面之接觸角增加了 1 〇 ° 。此外，習知之化學式過濾器在運 轉後約1年内，每隔1個月所量測之接觸角值為1 0 ^ ，無變 化》可是，經過1年後因吸附性能降低，接觸角開始增 加。 . 因此，在本發明之空氣淨化過濾器1 1 1，不僅氣體鹽 基性雜質，而且連氣體有機雜質也可一起除去，如前面簡 單說明之製造方法之一例般，因構成材料不含有機物質， 自構成材料本身不會發生氣體有機雜質。因此，在放置12 小時後之晶片表面之接觸角只微增1 ° 。 此外，曝露於上述都未設置這些過濾器之高度潔淨裝 置環境之附氧化膜之矽晶片表面之接觸角在放置1 2小時後 變為7 ° 。即，增加·了 4 ° 。該接觸角·增加之大小和未除去 氣體有機雜質相關3 綜合上述，在本發明之空氣淨化過遽器和習知構造之 化學式過濾器，雖然在對於nh3之吸附壽命或吸附性能上無

C:\Program Fiies\Patent\P1222. ptd 第67頁 422725 五、發明說明（65) 太大的差別，但是本發明之空氣淨化過濾器11 1 ，不僅氣 體鹽基‘性雜質，而且連氣體有機雜質也可一起除去，本身 也不會成為新的有機物污染源。而，在習知構造之化學式 過濾器，雖可除去氣體鹽基性雜質，但是無法除去氣體有 機雜質，而且有本身成為新的有機物污染源之缺點。又， 學 化 之 造 構 知 習 而 物 燃 可 tr 係 器 慮 過 化 淨 氣係 空有 之器 明濾 發過 本式 缺 之 物 燃 可 1 IX 器 濾 過 ， 匕 次淨 其氣 空 之 圖 之 例 施 實 之 明 發 本 在 較 比 之 去 除 之 成 構 料 材 之 質 機 了 裝 安 側 游粒 置有 裝體 淨氣 潔生 度發 高不 之由 —只 裝 安 和 況 情 之 器 濾 過 之 質 雜 狀 質 雜 狀 粒 去 除 之 知 習 之1 質置 雜裝 機淨 有潔 體度 氣高 生在 發。 會，況 料情 材之 成器 構濾 自過 了之 置 放 内 間 空 Sul 轾 處 之 ο ο 後小 然12 。置 板放 基求 片， 曰阳角 矽觸 膜接 化之 氧後 附時 之小 染2 Ί - 污置 物放 機和 有後 無淨 之洗 後剛 淨測 洗量 S:別 了分 所貝 雜 2 機置 有放 體在 氣’ 生況 發情 不之 ο 由器 只濾1° 了過加 裝之增 安質只 在雜角 。狀觸 量粒接 加去之 增除面 之之表 角成片 觸構晶 接料之 後材後 時之時 加 增 之 角 觸 接 即 之 '明 發 本 在 為 因 示 所 述 上 如 ο 因 原 之 下 如 於 由 。是 小這 極 量 置 雜配 機為 有因 體， 氣且 之而 因。 原源 染染 污污 面物 表機 為有 成的 去新 除為 ’成 器會 濾不 過也 化身 淨本 氣 ’ 空質 過 之 質 雜 狀 粒 去 除 之 側 游 下 於 況 情 之 器 過 之 裝質 安雜 在狀 而粒 。 去 質除 了 雜之料 機知材 有習成 體之構 氣質 生雜 發機 會有 不體 也氣 器生 發 會 料 材 成 構 器 濾 過 自 來 到 受

C:\Program Files\Patent\P1222. ptd 第68頁 A‘227 25 五、發明說明（66) 之逸脫氣體之影響，在放置1 2小時後之晶片表面之接觸角 增加量達到3° 之增加量之中，1°之增加量係由空 氣淨化過濾器1 11無法完全除去之氣體有機雜質所引起 的，但是剩下之2 °係由來自粒子除去用過濾器之構成材 料之逸脫氣體所引起的。 以上，對於本發明之實施例，說明了半導體或LCD之 製程整體之高度潔淨裝置（所謂的無塵室）1但是本發明 未限定為這種實施例。稱為迷你環境之局部性高度潔淨裝 置或無塵操作台或無塵室或用以保管潔淨產品之各種保管 倉庫等各種規模之高度潔淨裝置也當然是本發明之範疇， 以及按照空氣淨化過濾器之可處理風量、循環風量和所吸 入外氣量之比例、有無發生來自潔淨裝置内部之氣體有機 雜質等處理環境，可能有多樣的實施例。 例如預計自1 9 9 9年開始使用直徑3 0 0 mm之矽晶片製造 256 Mb itDRA Μ或1Gbit DRAM之半導體元件。在這種半導體製 造裝置，將晶片引入該裝置内之房間後到反應製程開始之 期間，由惰性氣體供給裝置供給惰性氣體氮或氬氣，令充 滿該房間内。該惰性氣體係極高純度之規格，惰性氣體本 身不會引起晶片之表面污染。 可是，為了開閉惰性氣體之供給，在惰性氣體供給裝 置和房間之間設置閥，由該閥之構成材料發生成為晶片表 面污染之原因之各種化學污染物質。藉著在閥和房間之間 之氣體流路設置本發明之空氣淨化過濾器，因該空氣淨化 過濾器本身不會發生氣體污染物，並除去由閥發生之各種

C:\ProgramFiles\Patent\P1222.ptd 第 69 頁 422725

五、 發明說明 ；67) 氣 體 鹽 基 性 雜 質 或 氣 體 有 機 雜 質 » 有 助 於 防 止 晶 片 之 表 面 污 染 和 提 南 品 質 〇 若 利 用 本 發 明 有 如 下 之 效 果 〇 防 止 在 南 度 潔 淨 裝 置 所 處 理 之 基 板 表 面 受 到 污 染 時 9 因 吸 附 並 除 去 環 境 中 所 含 成 為 基 板 表 面 污 染 原 因 之 氣 體 鹽 基 性 雜 質 和 氣 體 有 機 雜 質 兩 者 9 可 產 生 適 合 製 造 半 導 體 或LCD等之除去了成為基板 表 面 污 染 原 因 之 氣 體 有 機 雜 質 之 潔 淨 空 氣 0 又 在 半 導 體 或 LCD之製造上將照這樣所產生之潔淨空氣用作基板表面所 曝 露 之 1¾ 度 潔 淨 裝 置 之 環 境 可 防 止 基 板 表 面 受 到 污 染 0 此 外 藉 著 在 用 以 吸 附 並 除 去 氣 體 鹽 基 性 雜 質 之 吸 附 劑 上 使 用 在 由 矽 藻 土 矽 石 、 氧 化 鋁 、 矽 石 和 氧 化 鋁 之 混 合 物 、 矽 酸 鋁 活 性 氧 化 鋁 、 多 孔 質 玻 璃 、 活 性 白 黏 土 \ 活 性 膨 潤 土 、 合 成 海 泡 石 之 中 之 至 少 -— 種 構 成 之 無 機 物 粉 末 添 加 了 益 機 酸 鹽 之 吸 附 劑 而 在 吸 附 並 除 去 氣 體 有 機 雜 質 之 吸 附 劑 上 適 當 地 選 擇 各 種 A 機 物 粉 末 後 組 合 1 可 提 供 構 成 材 料 不 含 可 燃 物 之 空 氣 淨 化 過 遽 器 〇 而 使 用 該 空 氣 淨 化 過 濾 器 所 構 築 之 南 度 潔 淨 裝 置 1 和 使 用 習 知 之 活 性 碳 吸 附 劑 或 離 子 交 換 纖 維 之 空 氣 淨 化 過 濾 器 所 構 築 之 度 潔 淨 裝 置 相 比 在 防 災 上 優 異 0 可 提 供 只 由 不 發 生 成 為 基 板 表 面 污 染 原 因 之 氣 體 有 機 雜 質 之 材 料 構 成 之 空 氣 淨 化 過 濾 器 使 用 該 空 氣 淨 化 過 濾 器 所 構 築 之 度 潔 淨 裝 置 和 使 用 習 知 之 活 性 碳 吸 附 劑 或 離 子 交 換 纖 維 之 空 氣 淨 化 過 濾 器 所 構 築 之 1¾ 度 潔 淨 裝 置 相 比 } 可 更 完 全 地 防 止 基 板 表 面 之 有 機 物 污 染 〇 C:\Program Files\Patent\P1222. ptd 第 70 頁 422725 五、發明說明（68) 本發明之空氣淨化過濾器之除去對象之主要的雜質係 氣體鹽基性雜質，但是本發明之空氣淨化過濾器對於氣體 有機雜質之除去也有效。在本發明之空氣淨化過濾器，因 不僅氣體鹽基性雜質，連氣體有機雜質也可一起除去，吸 附層體積之減少、壓力損失之降低、吸附層製造費用之降 低等優點更大。 【圖面之簡單說明】 圖1係本發明之實施形態之過濾器之概略的分解立體 圖。 圖2係使用無機黏合劑令添加了無機酸鹽之無機物粉 末固著在蜂巢狀構造物表面而形成了無機材料層之過濾器 之部分剖面放大圖。 圖3係在構造上令使用無機黏合劑將添加了無機酸鹽 之無機物粉末造粒而成之小球固著在蜂巢狀構造物之表面 之過遽器之部分剖面放大圖。 圖4係在本發明之用無機黏合劑將添加了無機酸鹽之 無機物粉末載持在載體表面之無機材料層之部分剖面放.大 圖。 圖5係將添加了無機酸鹽之無機物粉末充填在二重圓 筒形之外殼内之空氣淨化過濾器之構向剖面圖和縱向剖面 圖。 圖6係本發明之其他實施形態之過濾器之概略的分解 立體圖。

C:\ProgramFiles\Paten1AFl222.ptd 第 71 頁 422725 五、發明說明（69) 圖7係在構造上使用無機黏合劍將添加了無機酸鹽 無機物粉末固著在由波形片和薄板片堆積而成之 造物表面而形成第1無機材料層，再令無機物粉末固 籌 其表面而形成第2無機材料層之過濾器之部分剖面放大 圖。 囷8係在本發明之由第丨吸附層和第2吸附層構成之 合層剖面之部分放大圖。 _ 圖9係概略表示本發明之實施形態之高度潔淨裝置 構造之說明圓。 圊10係概略表示本發明之其他實施形態之 置之構造之說明圖。 衣 圖1 1係表示在各自利用市面上之2種化學式過遽器和 使用了離子交換纖維之化學式過濾器所處理之&塵室*氣 和利用本發明之空氣淨化過;慮器所處理之無塵室空氣 4種環境中量測了附氧化膜之發晶片表面之接觸角之隨時、 間之變化之結果之圖形。 圖12係表不以放置於無塵官提 A , 热澄至環境下之玻璃基板表面為 對t %利用滴下超純水之接觸角之量測值和利用χ射線電 子分光法（XPS :X-ray PhotoeUctron Spectroscopy) 所量測之有機物表面污染之相關關係之圖形。 圖1 3係本發明A之無機材料層之,構造剖面圖。 圖1 4係本發明β之無機材料層之構造剖面圖。 圖15係本發明C之第1和第2無機材料層之透視模式圖 和構造剖面圖。

C:\Program F i1es\Patent\Pl222. ptd 第72頁 五、發明說明（70) 圖1 6係本發明D之第1和第2無機材料層之構造剖面 圖。 圖1 7係本發明E之第1和第2無機材料層之構造剖面 圖。 圖1 8係本發明F之第1和第2無機材料層之構造剖面 圖。 【符號之說明】 1 過濾器 Γ 過濾器 10 波形片 11薄板片 1 2 蜂巢狀構造物 1 3箭頭記號 15 外框 1 5 a面板 1 5 b面板 _ 1 5 c面板 1 5 d面板 2 0無機材料層 21晶粒 22 外殼 23 通氣口 2 4 外筒

C:\Program Files\Patent\P1222. ptd 第73頁 ^7116675 找年 3 月（Ί 曰 修正 五、發明說明（71) 25 第1吸附層 2 6 第2吸附層

2 7 第1吸附層和第2吸附層之界面 31 過濾器 4 0 通氣孑L 41 所處理對象氣體之接觸面 5 234567890 5 5 5 5 5 5 5 5 6 IHMJ 齊 附吸 無切 —Hnj- 齊 合 黏 機 面| 面 界之 體 載 和 無無無第第第第第第第第高高處 機機機 末 粉|層層 料料 材材 層層層層層層層層 料料料料料料料料 材材材材材材材材 機機機機機機機機 無無無無無無無無 置置 裝裝 淨淨間 潔潔空 度度理 間 空 壓 增 氣供 /IV F 立口板 花 天

第74頁 1999. 09.17.074 422725 案號 87116675 攸年1月Ο曰 修正 五、發明說明（72) 1 0 4 地板下面部（回氣增壓空間） 1 0 5 回氣通道 1 1 0 風扇單元 111 空氣淨化過濾器 1 1 2 粒子除去用過濾器 1 1 3 潔淨風扇單元 114 半導體製造裝置 1 1 5 格子地板 116 乾燥冷卻器 1 1 7 溫度感測器 1 1 8 冷水流量調整閥 1 2 0 空氣流路 12 1 空氣淨化過濾器 1 2 2 單元型空調機 1 2 5 排氣口 1 2 6 排氣窗 1 2 7 濕度感測器 1 2 8 濕度感測器 1 2 9 供水壓力調整閥

第75頁 1999. 09.17. 075

Claims (1)

1. 422725 六、申請專利範圍 1 . 一種淨化空氣之過濾器，具有以無機物粉末為|έ合 劑將如下之吸附劑固著在載體表面之無機材料層； 吸附劑：係在由矽藻土、矽石、氧化鋁 '矽石和氧化 鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻璃、活性白 黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一種構成之無 機物粉末添加了無機酸鹽者。 2. —種淨化空氣之過濾器，具有以如下之無機物a之 粉末為黏合劑或充填材料將如下之吸附劑固著在載體表面 之無機材料層； 吸附劑：係在由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和氧化 銘之混*合物、石夕酸銘、活性氧化紹、多孔質玻璃、活性白 黏土 '活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一種構成之無 機物粉末添加了無機酸鹽者： 無機物α :係由滑石、高嶺土礦物、膨潤土 '矽藻 土、矽石、氧化鋁、矽石和氧化鋁之混合物、矽酸鋁、活 性氧化鋁、多孔質玻璃、緞狀構造之含水矽酸鎂質黏土礦 物、活性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一 種構成者。 3. —種淨化空氣之過濾器，使得如下之第1無機材料 層和第2無機材料層之某一方接觸載體表面後，這些第1無 機材料層和第2無機材料層堆積在該.載體表面； 第1無機材料層：係在由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽 石和氧化鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻 璃、活性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一

   C:\Program Files\Patent\P1222. ptd 第76頁 422725 六、申請專利範圍 種構成之無機物粉末添加了無機酸鹽之吸附劑以無機物粉 末為黏合劑所形成之層； 第2無機材料層：係由矽藻土、矽石、氡化鋁、矽石 和氧化鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻璃、 緞狀構造之含水矽酸鎂質黏土礦物、活性白黏土、活性膨 潤土或合成海泡石之中之至少一種構成之層。 4. 一種淨化空氣之過濾器，以如下之無機物α之粉末 為黏合劑或充填材料將由如下之吸附劑製成粒狀之球固著 在載體表面； 無機物α :係由滑石 '高嶺土礦物、膨潤土、矽藻 土、矽石 '氧化鋁、矽石和氧化鋁之混合物、矽酸鋁、活 性氧化鋁 '多孔質玻璃、緞狀構造之含水矽酸鎂質黏土礦 物、活性白黏土 '活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一 種構成者； 吸附劑：係在由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和氧化 銘之混合物、石夕酸銘、活性氧化銘、多孔質玻璃、活性白 黏土、活性膨潤土或合成海泡石中之至少一種構成之無機 物粉末添加了無機酸鹽者。 5. —種淨化空氣之過滤器，在如下之第1小球之周圍 被覆如下之無機物彡之粉末而形成第2小球後’將該第2小 球固著於載體表面； 第1小球：係在由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和氧 化鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻璃、活性 白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一種構成之

   C:\Program Files\Patent\P1222. ptd 第77頁 422725 六、申請專利範圍 無機物粉末添加了無機酸鹽之吸附劑以無機物粉末為黏合 劑造粒而成者； 前述無機物；s :係由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和 氧化IS之混合物、石夕酸铭、活性氧化铭、多孔質玻璃、锻 狀構造之含水矽酸鎂質黏土礦物、活性白黏土、活性膨潤 土或合成海泡石中之至少一種構成者。 6. —種淨化空氣之過濾器，在外殼内充填以如下之無 機物α之粉末為黏合劑或充填材料由如下之吸附劑造粒而 成之小球，或在以無機物粉末為黏合劑將如下之吸附劑造 粒而成之第1小球之周圍被覆如下之無機物/3之粉末而形 成第2小球之某一方；. 前述無機物α :係由滑石、高嶺土礦物、膨潤土、矽 藻土、矽石、氧化鋁 '矽石和氧化鋁之混合物、矽酸鋁、 活性氧化鋁、多孔質玻璃、緞狀構造之含水矽酸鎂質黏土 礦物、活性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少 一種構成者； 前述吸附劑：係在由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和 氡化鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻璃 ' .活 性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一種構成 之無機物粉末添加了無機酸鹽者； 前述無機物泠：係由矽藻土、碑石、氧化鋁、矽石和 氧化鋁之混合物' 矽酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻璃、缎 狀構造之含水矽酸鎂質黏土礦物、活性白黏土、活性膨潤 土或合成海泡石之中之至少一種構成者。

   C:\Program Files\Patent\P1222. ptd 第78頁 4M1Z5_ 六、申請專利範圍 7. 如申請專利範圍第1、2、3、4、5或6項之空氣淨 化過濾器，其中，添加了無機酸鹽之該無機物粉末之平均 細孔直徑係1 0 0埃以上。 8. 如申請專利範圍第1、2、3、4、5或6項之空氣淨 化過濾器，其中，該無機酸鹽係硫酸鹽。 9. 如申請專利範圍第1、2、3、4、5或6項之空氣淨 化過濾器，其中，該載體係蜂巢狀構造物。- 10. 如申請專利範圍第9項之空氣淨化過濾器，其 中，該蜂巢狀構造物以無機纖維為必要成分。 11. 一種空氣淨化過濾器之製造方法，包括： 令載體浸潰在使如下之吸附劑和如下之無機物α之粉末分 散的懸浮液之製程；及 然後令該載體乾燥後，使無機材料層固著在載體表面 之製程； 前述吸附劑：係在由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和 氧化鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻璃、活 性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一種構成 之無機物粉末添加了無機酸鹽者； 前述無機物α :係由滑石、高嶺土礦物、膨潤土、矽 藻土、矽石、氧化鋁、矽石和氧化鋁之混合物、矽酸鋁' 活性氧化鋁，多孔質玻璃、緞狀構轉之含水矽酸鎂質黏土 礦物、活性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少 一種構成者。 12. —種空氣淨化過濾器之製造方法，包括：

   C:\Program Files\Patent\P1222. ptd 第79頁 '! 42^^25 六、申請專利範圍 令載體浸漬在令如下之吸附劑和作為黏合劑之無機物粉末 分散之懸浮液之製程； 接著，令該載體乾燥後在該載體表面形成第1無機材 料層之製程； 令已形成該第1無機材料層之載體浸潰在使如下之無 機物沒之粉末分散之懸浮液之製程；以及 然後，令該載體乾燥後在第1無機材料層-之表面形成 第2無機材料層，或者在載體表面形成第2無機材料層後再 在該第2無機材料層之表面形成該第1無機材料層之製程； 前述吸附劑：係在由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和 氧化鋁之混合物' 矽酸鋁 '活性氧化鋁、多孔質玻璃、活 性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一種構成 之無機物粉末添加了無機酸鹽者； 前述無機物/S :係由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和 氧化鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻璃、緞 狀構造之含水矽酸鎂質黏土礦物、活性白黏土、活性膨潤 土或合成海泡石之中之至少一種構成者° 13. 如申請專利範圍第11項之空氣淨化過濾器之製造 方法，其中，還具有在令載體浸潰泡前，預先另外將無機 酸鹽溶入懸浮液之製程。 14. 如申請專利範圍第1 2項之g氣淨化過濾器之製造 方法，其中，還具有在令載體浸潰泡前，預先另外將無機 酸鹽溶入懸浮液之製程。 15. —種空氣淨化過濾器之製造方法，包括：

   C:\Program Files\Patent\P1222. ptd 第80頁 42272g_ 六、申請專利範圍 在如下之無機物r之粉末添加了無機酸鹽而形成吸附 劑之製程； 令載體浸潰在混合了該吸附劑之粉末和作為黏合劑之 如下之無機物α之粉末之懸浮液之製程； 以及在浸潰泡後自該懸浮液拉起載體後令乾燥之製程； 前述無機物r :係由矽藻土 '矽石、氧化鋁、矽石和 氧化鋁之混合物' 矽酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻璃、活 性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一種構成 者； 前述無機物α :係由滑石、高嶺土礦物、膨潤土、矽 藻土、矽石、氧化鋁、矽石和氧化鋁之混合物、矽酸鋁、 活性氧化鋁、多孔質玻璃、緞狀構造之含水矽酸鎂質黏土 礦物、活性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少 一種構成者。 16. 如申請專利範圍第1 5項之空氣淨化過濾器之製造 方法，其中，還具有預先另外在該懸浮液溶解無機酸鹽之 製程。 17. 一種空氣淨化過濾器之製造方法，包括： 令載體浸潰在混合了如下之無機物r之粉末和作為黏 合劑之如下之無機物α之粉末之懸浮液之製程； 浸潰在該懸浮液後，自該懸浮拉起載體後令乾燥之 製程； 乾燥後將該載體浸潰在無機酸鹽之溶解液之製程；以 及

   C:\Program Files\Patent\P1222. ptd 第81頁 422725 _ 六、申請專利範圍 浸潰在該溶解液後自該溶解液拉起載體後令乾燥之製 程； 前述無機物T :係由矽藻土、矽石 '氧化鋁、矽石和 氣化銘之混合物 '石夕酸紹、活性氧化招、多孔質玻璃、活 性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一種構成 者； 前述無機物0：:係由滑石、高嶺土礦物、-膨潤土、矽 藻土、矽石、氧化鋁、矽石和氧化鋁之混合物、矽酸鋁' 活性氧化鋁、多孔質玻璃、緞狀構造之含水矽酸鎂質黏土 礦物、活性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少 一種構成者。 18. —種空氣淨化過濾器之製造方法，包括： 將載體浸潰在把如下之無機物7之粉末、作為黏合劑 之如下之無機物α之粉末和無機酸鹽混合而成之懸浮液之 製程；及 浸潰在該懸浮液後自該懸浮液拉起載體後令乾燥之製 程； 前述無機物r :係由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和 氧化鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻璃 '活 性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一種構成 者； 前述無機物α :係由滑石、高嶺土礦物、彩潤土、矽 藻土、矽石、氧化鋁、矽石和氧化鋁之混合物、矽酸鋁、 活性氧化鋁、多孔質玻璃、緞狀構造之含水矽酸鎂質黏土

   C:\Prograra Files\Patent\P1222.ptd 第82頁 422725_ 六、申請專利範圍 礦物、活性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少 一種構成者。 1 9 ·如申請專利範圍第1 2、1 3、14、1 5、1 6、1 7或1 8 項之空氣淨化過濾器之製造方法，其中，該無機酸鹽係硫 酸鹽。 2 0 . —種高度潔淨裝置，包括： 令要求潔淨環境之空間内之空氣循環之循環路徑； 配置於該循環路徑之空氣淨化過濾器；及 係位於在該循環路徑之該空間之上游側而且配置於該 空氣淨化過濾器之下游側之除去粒狀雜質之過濾器； 該空氣淨化過濾器具有以無機物粉末為黏合劑將如下 之吸附劑固著在載體表面之無機材料層； 前述吸附劑：係在由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和 氧化鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻璃、活 性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一種構成 之無機物粉末添加了無機酸鹽的。 2 1.如申請專利範圍第2 0項之高度潔淨裝置，其中， 該空氣淨化過濾器具有以如下之無機物α之粉末為黏合劑 或充填材料將如下之吸附劑固著在載體表面之無機材料 層； 吸附劑：係在由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和氧化 鋁之混合物、矽酸鋁、活性氡化鋁、多孔質玻璃、活性白 黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一種構成之無 機物粉末添加了無機酸鹽的；

   C:\Program Files\Patent\P1222. ptd 第83頁 ’ 4找口5 六、申請專利範圍 無機物α :係由滑石 '高嶺土礦物、膨潤土、矽藻 土、矽石、氧化鋁、矽石和氧化鋁之混合物、矽酸鋁、活 性氧化鋁、多孔質玻璃、緞狀構造之含水矽酸鎂質黏土礦 物、活性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一 種構成者。 2 2.如申請專利範圍第2 0項之高度潔淨裝置，其中， 該空氣淨化過濾器使得如下之第1無機材料層伞第2無機材 料層之某一方接觸載體表面後，在該載體表面堆積這些第 1無機材料層和第2無機材料層； 第1無機材料層··係在由梦藻土、石夕石、氧化铭、石夕 石和氧化鋁之混合物 '矽酸鋁、活性氧化鋁 '多孔質玻 璃、活性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一 種構成之無機物粉末添加了無機酸鹽之吸附劑以無機物粉 末為黏合劑所形成之層； 第2無機材料層：係由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石 和氧化鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻璃、 緞狀構造之含水矽酸鎂質黏土礦物、活性白黏土、活性膨 潤土或合成海泡石之中之至少一種構成之層a 2 3 .如申請專利範圍第2 0項之高度潔淨裝置，其中， 該空氣淨化過濾器以如下之無機物α之粉末為黏合劑或充 填材料，將由如下之吸附劑製成粒狀之球固著在載體表 面； 無機物α ··係由滑石、高嶺土礦物、膨潤土、矽藻 土、矽石、氧化鋁、矽石和氧化鋁之混合物、矽酸鋁、活

   C:\Progr挪 Files\Patent\P1222.ptd 第84頁 4Λ A22725 六、申請專利範圍 性氧化鋁、多孔質玻璃、緞狀構造之含水矽酸鎂質黏土礦 物、活性白黏土 '活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一 種構成者； 吸附劑：係在由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和氧化 鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧化鋁 '多孔質玻璃、活性白 黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一種構成之無 機物粉末添加了無機酸鹽的。 ~ 2 4 .如申請專利範圍第2 0項之高度潔淨裝置，其中， 該空氣淨化過濾器在如下之第1小球之周圍被覆如下之無 機物石之粉末而形成第2小球後，將該第2小球固著於載體 表面； 第1小球：係在由矽藻土 '矽石、氧化鋁、矽石和氧 化鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻璃、活性 白黏土、活性膨濶土或合成海泡石之中之至少一種構成之 無機物粉末添加了無機酸鹽之吸附劑以無機物粉末為黏合 劑造粒而成的； 前述無機物/3 :係由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和 氧化鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻璃、緞 狀構造之含水矽酸鎂質黏土礦物、活性白黏土、活性膨潤 土或合成海泡石之中之至少一種構成者。 2 5 .如申請專利範圍第2 0項之高度潔淨裝置，其中， 該空氣淨化過濾器，在外殼内充填以如下之無機物α之粉 末為黏合劑或充填材料，由如下之吸附劑造粒而成之小 球，或以無機物粉末為黏合劑在由如下之吸附劑造粒而成

   C:\Prograro F11es\Patent\Pl222. ptd 第85頁 422725 六、申請專利範圍 之第1小球之周圍被覆如下之無機物召之粉末而形成第2小 球之某一方； 無機物α :係由滑石、高嶺土碌物、膨满土 ' 夕藻 土、矽石、氧化鋁、矽石和氧化鋁之混合物、矽酸鋁、活 性氧化鋁、多孔質玻璃、緞狀構造之含水矽酸鎂質黏土礦 物、活性白黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一 種構成者， ' 吸附劑：係在由矽藻土、矽石、氧化鋁、矽石和氧化 鋁之混合物' 矽酸鋁、活性氧化鋁 '多孔質玻璃、活性白 黏土、活性膨潤土或合成海泡石之中之至少一種構成之無 機物粉末添加了無機酸鹽的； 無機物沒：係由石夕藻土、石夕石、氧化銘、碎石和氧化 鋁之混合物、矽酸鋁、活性氧化鋁、多孔質玻璃、緞狀構 造之含水矽酸鎂質黏土礦物、活性白黏土、活性膨潤土或 合成海泡石之中之至少一種構成者。 26.如申請專利範圍第20、21、22 '23、24或25項之 高度潔淨裝置，其中，該空氣淨化過濾器和除去粒狀雜質 之過濾器配置於該空間之天花板部β

   C:\Program Files\Patent\P1222, ptd 第86頁 附頁 【表4】矽凝膠乏脫水處理之有無所引起之各種無機酸鹽之添加量之差異 (藥品添加量(g)/活性碳或無機物重量(g))Xl〇〇[%] 矽凝膠之狀態 硫釀氧鈦 硫酸鋁 硫酸酷 硫酸氩鈉 硫酸氮鉀 無脫水處理 1 96 206 239 107 Ί 123 "Slfe水處理 121 260 313 134 159 【表5】各種粉體之細扎物性 ~粉體樣品 用BET法量測之 比表面積（m2/g) 用％吸附法量測之細孔容積 (cc/g) U0 埃 矽藻土 200 0.25 «夕凝膝 400 0.61 氧化鋁凝膠 250 0.60 矽酸鋁 225 0.60 (I) 活性氧化鋁 300 0. 30 多孔質玻璃 400 0.15 活性白黏土 300 0.37 活性膨潤土 87 0.23 合成海泡石 400-750 0. 35-0.55 滑石 28 0.07 高嶺土礦物 21 0.06 ου 膨潤土 23 0.03 海泡石 295 0.33 ' ci) 一 ----^ 【表6】在載體表面載持添加了無機酸鹽之細孔之直徑不同之各種名夕凝勝之空 氣淨化過渡器之氨除去率 平均細孔直徑（A) 29 44 80 133 183 209 300 r~m~ 細孔容積（ral/g) U. 4b 0.6 0.9 ' 1.1 1.6 1.57 ι η 2.52 比表面積（m2/g) 620 550 450 r330 360 300 m 240 氨除去率（％)硫酸鋁 /妙凝膠0.3g/g 55 60 90 95 100 100 100 100 氨除去率（¾)硫酸氡 鈦/矽凝膠0.3g/g 55 60 95’ 100 ^ — 100 100 100 100 C:\ProgramFiles\PateiU\Pl222.ptd 第 / 頁 422725 【表1】 製程 最長等待時間 酸性物質 鹽基性雜質 有機物 摻雜剤 90% 閉 前製程 4 ^~~1¾' 50% 13000 50% f*---- u〇〇 75% 获化物 1 180 13, 000 35, 000 1,000 50¾ 25¾ 75% 75¾ 配線· 24 5 Ϊ3, 000 2,000 Γ100,000 50% 25% 75¾ 75% 光独到 2 10, 000 1，000 100,000 10,000 --—- 75¾ 90¾ - ~—- 50% 50% 【表u =活性#無_粉末之無機酸鹽之添加量之量測結果 (藥品添加量(g)/活性碳或無機物重量(g》xl〇〇[%] 無機酸~ 疏酸氧鈥 I 硫ά链 1 Β&路弟麵 熟提酸Μ之水;容液)農 度W 24 27 28 24 24 活性藏 15 34 37 17 20 39 84 96 42 51 參凝移 96 206 239 107 123 95 200 240 105 120 矽凝膠和氣化鋁凝膠 之混合物 90 195 235 104 120 96 203 237 106 122 活性|L化銘 47 100 116 51 60 多子L質破璃 24 52 57 26 30 活性白黏土 58 123 145 64 73 活性路濶土 36 76 90 40 46 合成海泡石（視水性） 70 150 175 78 90 /±J :性私或無機物之重量未含水分之乾燥時之重量 【表3】習知和本發明之空氣淨化過濾器之逸脫氣體;農度t量測結果 (vol ppb) ^^ ^—-___ | 醋酸 蟻酸 νη3 氯 SO, no2 習知之使用活性碳之過濾器 30 卜1.8 0. 22 0.07 0.00 0.02 本發明之空氣淨化過濾器 0.71 0.19 υΤ〇2~ 0.10 0.00 0.10 只有精製空氣之環境 0.02 0.01 ΓΧοι 0.02 0.00 0.05 C:\Prograra Files\Patent\P1222.ptd 第·^頁 422725 【表7】本發明之過濾器a和b之比較 污染物之種類 本發明之過濾器a 本發明之過濾器b 除 νη3 95¾ 97% 去 DOP 99%以上 75% 率 〇5 92% 45% 下游侧浮游微 粒子濃度粒徑 0. Ιμπι以上 10 個/ft3 100 個/ft3 【表8】按照本發明所製造各種型式之過濾器之比較 氣體雜質 之種類 A B c D E F nh3 95¾ 95% 92¾ 90% 95¾ 95¾ DOP 80¾ 99%以上 98% 99%以上 98% 99%以上 d5 50% 90% 1 87¾ 91% 85% 90¾ 附頁 C:\Prograra Files\Patent\P1222. ptd