TW412447B - Method and apparatus for feeding a gas for epitaxial growth - Google Patents

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經濟部中失標準局負工消费合作社印製 412447 A7 B7五、發明説明（1 ) 本發明係闞於一種使液«原料汽化作為原料氣髑，而 胯其作為反應氣《供給至基晶生長UP it axial growth)用 反應爐之供給方法及其裝置。 供姶於此植磊驀生長用反應霣之反應氣《主要使用二 氯矽燒（SiH:Clt)、三氣矽烷（SUCl3}成四氣矽烷（SiCl·) 等液β原料氣化之氣β。上述之原料，除二氯矽烷外，在 室溫之大氣懕下均為液態。 以往，原料氣黷係輿載ff氣霣 (c a ! r i e r g a s)混合後 供給至反應爐。例如有如第4匾所示，將截《氣鱺3灌入 綱瓶1内之液鱷原料2中，使液fl原料冒泡（bubble)而 發生液«原料氣化之原料氣》及載»氣«3之混合氣鱺4, 然後將此混合氣«4直接供給至薄晶生長用反應鑪6中之 方法。另一種方法（未画示）係於上述所得之混合氣《4中 再混合稀釋用之氫，調成所定濃度之原科氣»之後，髁此 混合氣fi供姶至反患爐。更穸一種方法係於上述所得之混 合氣«4中注入磷等不純物（dopant)後供給至反車爐》 即，將上述之混合氣饉供給至反懕爐中，使在置於反應繾 内之單结晶矽基板上磊晶生畏形成矽單结晶薄麟。 然而t上述之»冒泡將混合氣«供給至反應爐之方法 具有下述之諸間囲： (1)考處由一個作槊貝搡作，使用一 fi具有可填充25 公斤液«原料之容積而縝璽量妁50公斤之上述_趄對複數 台之反應讓供給混合氣«時，混合氣蜃中所含之原料氣《 濃度易變化，導致各反應tt内之反應速度發生變化。因此 I-----------.'i-----ΓITT.· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙乐尺度適用中國國家標準（CNS > A4说格（210X297公釐） A7 412447 _ B7 五、發明説明（2 ) ，通常僅能由一個網瓶供給混合氣體至一台反應爐。 (2) 由於原料氣»之潦董取決於随液瀟而改變之液鑀 原料之蒸汽壓、網瓶之内懕及載醴氣髏之滾ft,因此原料 氣»之濃度控制植為複轤且困雞。 (3) 隨着液《原料之消耗，殘留於钃瓶内之液《原料 量減少時，冒泡產生之氣S與液體之接觴時間嫌短》同時 因冒泡時蒸發之液臞原料之潛热使液溫下降，専致發生之 原料氣髓之灞度降低，结果引起反應瀘内反應速度之下降。 (4) 由於S冒泡自液B原料生產原料氣《之搡作係一 種蒸钃，因此液艟原料所含之極微量之重金羼及高沸點不 纯物會殘留於液相中，而随着液«原科蒸發之進展，不纯 搀之濃度會相對的增高，结果冒泡所得之原料氣«中之不 纯钧量將嫌着液量之減少而增加。 (5) 因每當在換新的網Μ時，需將鋼瓶與反應爐之接 連口開放，此時大氣中之水护等會乘機進人氣«供給条統 中使磊晶生長之薄膜品質變壞》 (6) 另外，每當改換新的綱瓶後，在反應爐進行磊晶 生長之前，須為確認反應條件«行試襄轉（試車）。 為了解沬習知技術之上述缺點，本發明之第1目的為 提供一種可將磊晶生長用氣《輕易的設定於所希望之瀆度 及Κ力之方法及其装S。 本發明之第2目的為提供一種可自一台之氣儒供給装 置對複數之反應雄供給一定溻度之磊晶生長用氣«之方法 及其装置。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） ------------J------ I1Τ------^.. . . - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 412447 A7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 B7 __五、發明説明（3 ) 本發明之第3目的為提供一種不因更換新的鋼瓶受中 蹰而可連續的將高炖度之磊晶生畏用氣驩供姶至反應爐之 方法及其裝置。 為了埋成上述之目的，本發明提供之S晶生長用黑體 供給方法（申請専利範圃第1項）包括如下步《· -於氣化器中將液«原料加热至該液«之沸黏以上灌 度使其氣化之步»; -將氣化器氣化之原科氣》，在其驀鑌點K上之溫度 下一邊加热保溫，一邊調整該原料氣髑之潦量之步骤；及 -將上逑流量經諝整之原料氯體，在其凝讅點K上之 溫度下一邊加热保潘，一邊供給至磊勗生長用反«爐之步 驟》 依上述方法時，因不需實行Μ往之冒泡操作，而藉由 氣化器將液18原料氣化成所定濃度之氣»並調聱其流i, 故易將磊晶生畏用氣«?搜制於所希望之一定«度，而且由 一台之供給裝置供給至複數台之反應*。 又，依本發明提供之磊晶生長用氣《供給方法（申誚 專利範圍第2項）包括如下步驟： -於氣化器中膊液《原料加热至該液«之拥KM上滬 度使其氣化之步驟； -使氣化器氣化之原科氣髖與載鼉氣HK所定之澹度 混合之步»; -將原料氣體及載嫌氣體之混合氣β,在其凝嫌點Μ 上之潘度下一邊加热保溫，一邊調整該混合氣«之流量之 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 412447 A7 B7 經濟部中央橾準局員工消費合作社印裝 五、發明説明（4 ) 步驟；及 -將上述流量經調整之混合氣«,在其凝繽黏Μ上之 溫度下一邊加热保溫，一邊供給至磊晶生長用反應爐之步 鼸。 依上述方法時，因不需實行以往之S泡搡作，而¥由 氣化器將液料原料氣化成所定濃度之原料氣體，並鞴混合 載A氣II調整該原科氣艚之禳度，故易將磊晶生長用氣醴 控制於一定《度，而由一台之供給装置供給至複數台之反 應霣。 又，依本發明提供之上述磊晶生長用氣艚供給方法中 ，其用Κ在氣化器中加热液體原料之媒體係該液鱷原枓之 沸黏以上之一定溫度之水（申謫専利範麵第3項）。 依上述方法，使用該液Β原科之沸點以上之一定漘度 之水加热氣化器時，加热租度之僱差極微小，坷確保所得 原料氧《之蒸之安定化。 再者，依本發明提供之磊晶生長用氣轚之供應裝置（ 申請専利範圃第4項），如第1-3圈所示，包括： -用以將液體原料（20)加热至該液贗之嫌點Μ上潙度 而使其氣化之氣化器（19); -將氣化器（19)氣化之原料氣臞控制於所定之質最流 量Uass flow}之第1質董流悬控制器（36); -將載tt氣驩控制於所定之質fi流悬之第2霣ft潦量 控制器（41> ; -用以使上述各控制於所定之質最流量之原料氣體及 -7- (请先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印装 412447 A7 _B7 -_五、發明説明（5 ) 載暖氣fi混合之混合機{43); -用K調整原科氣艚及載髖氣理之混合氣«之潦量之 第1流最調節閥（48); -將上述淀量理調整之混合氣«供給至磊晶生長用反 應缠（51}之管路（49); -用以將氣化器（19)之原料氣《送出用管路2 5至上述 管路（49)之間之原料氣«及混合氣飜，在其«讅點K上之 溫度下加热保溫之裝置（53)。 依上述之藤晶生長用氣》之供給装置時，由於將氣化 之原料氣體及載級氣腰分別箱霣ft潦霣控制器（36、41)控 制後加Μ混合，故可將所希望濃度之磊晶生長用氣Η安定 的供給至反應域。 又，在本發明提供之上述磊晶生畏用氣«之供給裝置 中，將複數之氣化器（19)並排設置，並從此等複败之氣化 器中邇擇軍一之氣化器而由此氣器將原料氣«送至第1質 最流量控制器（36)(申請專利範園第5項）。 依此構成時，由於可交互的使用並排設置之氣化器， 故具有可將因長時間蒸發而在疲臞原料中殘存之重金軀及 高彿點不肫物進入原科氣《中之杇染防《於未然，將高姹 度之原料氣體理續送出至霣量潦馕控制器（36)之利點。 又，在本發明之上述磊晶生長用氣«之供給装置，設 置可使氣化器（13)氣化之原料氣髓滯留之第1缓衡槽（33) I利用上述第1質最潦量控制器（36),將由該第1緩衝檐 (33)送出之原料氣體控制於所定之質最流量（申請專利範 -8- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 缘— 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（2丨Ο X 297公釐） 經濟部中央標隼局貝工消费合作社印製 «2447 A7 B7 五、發明説明（6) 園第6項>。 依此構成時，具有珂薄該設置之媛衡槽（33>吸收原科 氣«之饜力變動之利黏。 又，依本發明之上述磊晶生長用氣臞之供姶装置，如 第3圓所示，其用Μ在氣化器（19)加热液豔原料（20)之媒 β為具有比該液《原料之沸黏以上之一定潘度之水（20, 並且備有一用Κ檢«氣化器（19)或第1媛衝檐（33)内之 原料氣級之壓力之懕力檢测器（27)、一用Μ調整送入氣化 器（19)中之液髖原料（20)之供姶霣之第2流最調節閥（18) 、及一根據懕力檢蘭器（27)之榇澜_出（output ),控制 第2淀量調節閥（18)之控制器（28)。 在一定之溫度加热之狀態時，在氣化器中液賵原料蒸 發產生之原料氣體之蒸氣壓具有一定值。但，隨着氣化器 内之氣β被消耗，氣化器内之懕力即下降。由於此下降， 潴存於氣化器之液«原料會蒸發至達到上逑所定之蒸氣懕 ，於是液量乃相對的減少。即，當上述之懕力檢测器（27) 檢出氣化器內之氣《壓降低至所定值Κ下時，控制器（28) 即判庸氣化器之氣髓已被送出至嫒街槽（33)、液髓原料之 蒸發進行、疲量已減少，而打開潦蛋調節閾將液艚原料供 給至氣化器（19)。 又，氣化器之氣fi停止消耗，而氣化器内之氣«Ε( 蒸氣壓）超過所定值時，氣鱧即《嫌至其壓力達到所定值 。即，當壓力檢餚器（27)檢出氣化器内之氣羅壓超過所定 值時，控制器（28)即判》氣化器之氣髓之送出已停止、在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4B( 2丨0X297公釐） (請先聞讀背面之注$項再填寫本頁) 訂 - 經濟部中央樣準局員工消费合作杜印褽 412447 A7 __B7 _五、發明説明（7 ) 氣化器内發生氣鰱之凝鑲、液鼉有增加頷向，而鼷閉流量 調節賊<18)停止對氣化器（19>之流鼉應料之供姶。如是可 将氣化器（13)内之液面恒常維持於一定之水準，而且可 將氣化器送出之原料氣鱺之懕力控制於一定。 又.在本發明之上述磊晶生長用氣«之供給装置（申 請専利範鼸第4項）中，配置一用Μ使由混合器（43)送出 之混合氣艚浦留之第2鍰街槽（46),而根據此第2嫒街權 (46)内之混合氣Κ之懕力，藉第i度最調節閾（48)钃整灌 合氣fi之淀董。 因設有嬢街镩（46),故可藉其吸收混合氣臞之蹏力變 動，且根據該鍰街槽（46)内之懕力調整流量調節閥<48), 故可將一定度S之混合氣《供給至反應爐。 又，在本發明之上述聶晶生長用氣B之供給裝置（申 葫專昶範園第4或8項）中，其管路（43)係由一接連於 第1潆#調節閥（48)之主管路（493)及一用以連接該主管 尊（4 3a)及複歟之磊晶生長用反應《(51)之環狀管路（4Sb) 構成，使通遇主管路（49a)之混合氣*由雙方向潦入頊狀 管路（49b)中。 依此，使混合氣體由雙方向流入環狀管路（49b)中時 ,在設有複數台反應爐之場合，位於下流侧之反*«之混 合氣體之饜力損失可減低。 爰依画式說明本發明之可取實雎例於下： 如第1及2國所示，油罐車（10)係羥由管路（11)接 連於雔權（12)。本發明所使用之液通原科包括二氛矽烷（ -10- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度通用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央樣準局負工消費合作社印策 A7 B7__五、發明説明（S ) SiH2Cl2)、三«矽烷（SiHCla)或四氯矽烷（SiCl*)等。 «槽（12)乃fi由管路（13)及轉換M(14)接連於複 数之供姶槽（16)(在園中顧示2個供給檐，但3個或K上 亦可）。於此等供給槽<16)經由管路（17)及涑最鼸節Μ (18)埋接有氣化器（19)。如此，對軍一黼檐（12)並渰G 設複數之氣化器<19)。 由第3國之詳细配置Η可知，此實施例所用之氣化器 U9)為多管式氣化器，液《原料（20)使用三氰矽烷（ SiHCl3)，而用Μ加熱該液髖原料之媒體係該液艚之梯貼 以上之一定溫度之水。此時使用之水》係考處供給於反應 爐所必要之原料氣fi壓力及在氣化器至反應爐之供給糸统 内損失之蜃力的合計壓力抉定。此乃由於液《原料之懕力 與沸黏有一定之鼷係。 舉例而言，三氯矽烷之沸點在大氣K下為31.8C,此 時之蒸氣B為760i*Bg。若需要使上述之合計K力昇至40 Bg K上之蒸氣壓（大氣上）時，則爾提升三«矽烷 之沸點並在氣化器内強制的加热三fE(矽烷。例如，需將上 述合計懕力設定在 4.2kg/ciB (取、3.2kg/c«*G、0.412MPa 、3090inflg)時，參考已知之三氯矽烷之蒸氣壓表，加熱 媒思之水之溢度至80TD,而利用其加热三氯矽烷。囿樣的 ，若霭將合計懕力設定於6.8kg/c·«(即，5.8kg/ci«G、 0.667MPa、5000iiHg)時，加热水溫至l〇〇t!而利用其加 热氣矽烷。由是可知，薄改麇加热媒B之水之灌度便可將 氣化氣艟之之懕力改變至所希Μ之值。 -11- ---------;---_t------?τ------^ • . (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐} 經濟部甲央標隼局負工消费合作社印製 412447 A7 _______B7 _ 五、發明説明（9 ) 管路（17)係經由轉換閾（21)及管路（22)連接至氣 化器（19)之底部。韓換《(21)之另一俩之管路（23)則 接連於回收榷。加熱媒》之热水（24)银由氣化器（19}之 下《部導入而由上爾部排出（如筋«所示在氣化器U9) 之頂部接逋有羥氣化之原料氣體之送出用管路（25)。在氣 化器（19)之另一 «部則装有液面計（26>而在氣化器（19> 之頂部内方K設有撿《氣化之原料氣臞之壓力之β力檢» 器（27};此壓力檢测器（27)之檐出输出係連接於控制器 (28)，而該控制器（28)之控制_出逋接於流量調節H(18 )° 再參照第1及2·說明如下： 由二台氣化器（19、19)接出之管路（25)經由轉換Μ (31)及管路（32)埋接於媛衡播（33)。此埋衝榷（33}經由 管路（34)連接於霣躉潦量控制器（36)。又未画示， 亦百將上述之氣化器與緩衝楢一》化。在此埸合，在欺接 於二台級衝推之出口之二條管路之匯潦處裝設轉換Η »又 ，上逑之應力檢拥器（27)亦可如第3 Β所示，裝設於鍰 衡搆（33)内部。 在本實施例中，係以氬氣作為載«氣«(carrier gas )使用。除氫氣之外亦可使用諸如氮（He)等。載《氣體 係骷存於樯（37)中，而此槽經由管路（38)及加熱器（39) 壤接於質量流量控制器（41)。質量流量控制器（36)及（41) 乃S合其質量流量之控制貴設有複數届。在本實梅例分別 設有5涸。上述質量流量控制器（36)、（41)經由管路（42) -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐} (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) I--- ·Ί 412447 A7 ___B7 五、發明説明（10 ) 接連至混合器（43),而此混合器（43) g由管路（44)接連 至缓街槽（46),间時此棰銜槽（48)纆由管接連於滾fiig 節 W (48)。 潦霣調節闊（48)經由管路（49)連接於複數之磊晶生 長用反應爐（51)。在本例中，反應缠共设1〇台〇管 路（49)係由接連於度量調節閥（48)之主管路（49a)及連 接該主管路（49a)與複敝之反應爐（51)之瑁狀管路（43b) 構成。在主管路（49a>與環狀管路（49b)之接鑛處設有分 SN(52),使來自主管路（49a)之混合氣》能如箭虢所示 ，由雙方向流入環狀管路（49b>中。在第2圓中醮無圓示 ，在氣化器（13>之原料氣«送出用管路（25>至管路（43)上 设有加热保灌手段（β3)(#照第1鼸），用以將原科氣髏及 混合氣體加熱至其凝縮點以上溫度並加以保溫。具»言之 ,嫒衝檐（33)、（46>、霣最流量控制器（36>、混合器（43) 及流量調節閥（48)分別由護套（未圈示> 所包覆，而在管 路25、32、34、42、44、47及43)上併設有加热保溫用 管，並於該護套及管中通上上述氣嫌之凝路點权上之湛度 之熱水。

經濟部中央標準局貝工消費合作社印I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 備有上述構成之供給装置係依下述步朦將赛晶生長用 氣髓供給至反應爐（5 1)。 如第2躍所示，由油嫌車〇〇)運來之液思原料（三氣 矽烷）經由管路移送至餹播（12)中。鯆檐（12)内之液Κ 原料經由轉換W(14)分送至二個供姶槽（16)中存放待用 e此二届供給播（16)係交互使用。 13 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 412447 A7 經濟部t央標準局貝工消费合作社印装 B7五、發明説明（11 ) 由第3画可知，此供給榷（16>之液鼉原料經逋量調 莳閥（18)調螫為所定潦董後，通遢轉換H(21}供給至氣 化器（19)内。此氣化器（19)之液《原料之液面水準係藉 液面計監視，Κ防止液髓原料之溢滾。將所定量之硖臞原 料存放後，在肽氣化器（19)中専入被控制在所定湛度（在 此賞雎例為lOOt；)之热水作為加热媒鹏。由於以热水替 代霣氣或蒸汽加热法加热液《原科，故加热溢度較安定》 藉其加熱，使液髖原料（三氯矽烷）在氣化器U9)内蒸發， 並利用壓力檢澜器（27)檢涸其蒸氣壓。控鯆器（28)即根據 該颸力檢測器之檢出输出控制流量調節HU8)調整潦Η 原料之三氯矽烷之供給嫌，而將氣化器（19)之液面水準及 氣化器內之氣»颳恒常控制於一定。此三《矽烷之氣《壓 被控制於如上所述之6.8kg/c·*(即，5.8kg/c*eG、0.667 MPa、 50 0 0 ··Η^) 〇 氣化之原料氣《(三氣矽烷）在級銜撺（J3)滯留而被饑 存，並在孩«(33)中吸收氣化之原料氣*之壓力變動。由 綬銜榷（33}送出之原料氣Η乃在質量流最控制器（36)將其 霣量潦ft控制於一定。又，由載髓氣鰱镏（37}出來而在加 热器（39}中被加热之載顦氣« (氢氣 > 亦在霣最滾霣控_器 (41)將其霣董流量控制於一定。在上述加熱器（39)中， 載髑氣fi係被加热至與原科氣ϋ同一灌度。在霣董潦量控 制器（36、41)之控制係S合反應魃要求之原料氣《濃度 而»行，如是可將氣«混合成所希望之濃度。 質量滾羅被控制之原料氣體（三氯矽烷）輿載S氣臁（ -1 4 - (請先閱讀背面之注$項再填寫本頁) 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0 X 297公釐） A7 412447 B7 五、發明説明（12 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 氩氣）乃於混合器（43)中混合後送入媛衢槽（46>滯留皤 存。在此播中可吸收混合氣钃之壓力變動。在該嫒衡檑（ 46)中装有懕力檢瀰器（未匾示）》潦量調節閥（48)根據 該檐测器之檢出输出調整混合氣«之流霣。被調轚之一定 滚蓋之混合氣腰纆由分配»(52)分£於環狀管路（49a)之 雙方向。當設有禊數之反應雄（51)時，藉此雙方向之分配 ,可以減低下流供之反«爐之混合瘭«之壓力損失。即， 可將所定漘度之混合氣«安定的供給至複數之各個反應爐 (5 1)中，俾使設置在反應《之單结晶矽基板上璀以所定之 速度磊晶生長矽軍结晶薄縝。 又，當氣化器（13)在搡作且混合氣艟被供給至反*嫌 (51)期間，嫒衡槽（33、48)、質最浪ft控制器（3 6)、混合 器（43)、流最調節閥 U8)、管路{25、32、34、42、44、 47及49)之原料氣贜或混合氣體均被加热保灌於其篇雄點 K上之溫度，如此可防止混合氣II中之原料氣«之濃度變 動0 經濟部中央榡準扃舅工消費合作社印11 在氣化器（13)中實行一定期間之液《原料之蒸發嫌作 後，在另一個氣化器（13)實行同揉之蒸發操作，同時氣化 之原料氣體達所定之懕力時，切換轉換閥（31>。依此方式 時，可防止因長時間蒸發，在液«原料中偏析之重金鹰或 高沸點不純物進入原料氣B中之污染於未然，從而可缠續 不》使高纯度之原枓氣饈滯留於緩街懵（33)中。又，使用 通之潦«原料，如第3圓所示，薄切換轉換閥U1)轉送至 回收榷中。 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0乂：297公釐） 41244? 經濟部中央標準局貝工消費合作社印装 A7 __ B7五、發明説明（I3 ) 在上述之實腌例中，係將原料氣》及氣》混合後 供給至反應爐之型態者，但依本發明亦可不使用載艚氣β 而將原料氣艨U002)供給至反應爐。 由Μ上説明可知，因依本發明不理習知技術之冒抱步 骤（bubbling},而於氣化器將液艚原料氣化成所定灞度之 氣6並加以流量颺整，故能容易的將磊晶生長用氣«設定 於所希望之濃度及S力。同時，依本發明可依氣化器之容 稹製造原科氣》,故可藉一台之氣艚供給装罝，將一定瀟 度之磊晶生長用氣》安定的供給至複數之反應臚。 又，若將複數台之氣化器並排設置，朗可蠼免Μ往之 伴隨綱瓶之換装引起之諸如供氣中翬及影響磊晶生甚之薄 臟品質等各種缺失，能將高鈍度之磊晶生長用氣《連Μ且 安定的供給至反进tt。尤其，於氣化器將加熱媒體之潘度 設定於一定進行流《原料之氣化，並藉氣化器内之氣雇壓 力調整供給於氣k器之流«原科，則可將氣化器之液面恒 常控制於一定之水準。 画式之簡軍說明 第1釀為本發明磊晶生長用氣《之供給裝置之構成H; 第2圓為第1麗所示供給裝置之詳细構成圈； 第3麵為本發明上逑供給装置中之氣化器的構成·; 第4圖為晋知技術之磊晶生長用氣艨之供給裝置之構 (諳先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂 本纸张尺度適用中國國家標率（CNS ) A4洗格（2丨0X297公釐） 412447 A7 B7 五、發明説明（I4 ) 符號說明 12----儲槽 1 6 ....供給榷 18 ----第2流霣調節閥 19 ----氣化器 20....获K原料 2 4 ....热水 25----原料氣B送出用管路 27— —壓力檢«器 28— —控制器 33——第1鍰街榷 36----第i霣量淀最控制器 41----第2霣董流量控制器 43----混合器 ;3----第2媛衝楢 46----第1流量調節闕 49——混合氣》供給用管路 49a...主管路 經濟部t央標準局員工消費合作社印製 pn-i^i m I ϋ I - I Jn —i I 1 I m n T (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 49b...環狀管路 51——磊晶生畏用反應爐 53——加熱保澴手段 -17- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

Claims (1)

1. 經濟部中央標準局貝工消費合作社中製 1. 一種磊晶生長用氣粗之供給方法，包括如下步驟： -於氣化器中將液髓原料加热至該液《之沸點以上溫 度使其氣化之步朦； -將氣化器氣化之原料氣艚，在其凝縮贴以上之溫度 下一邊加热保溫，一邊諝整該原料氣«之流量之步»;及 -將上述淀最經調整之原料氣»，在其凝籮點以上之 湛度下一邊加熱保溢，一邊供給至聶晶生長用反懕爐之步 2. —種聶晶生長用氣臏之供給方法，包括如下步«: -於氣化器中將液《原料加热至該液»之拂黏以上溢 度使其氣化之步》; -使氣化器氣化之原料氣艚與載β氣艟以所定之箱度 混合之步鼸； -將原科氣《及載<9氣艚之混合氣》,在其凝鏞點以 上之溫度下一邊加热保溫，一邊調整該混合氣*之滾最之 步驟；及 -將上述板量經調整之混合氣艟，在其凝嫌黏以上之 溫度下一邊加热保溫，一邊供給至磊晶生長用反應爐之步 驟。 3. 如申請專利範圃第1或2項之供給方法，其中用 以在該氣化器中加熱液《原料之媒Β係該液艚原料之株點 Κ上之一定溫度之水。 -18- 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4规格（2丨0X297公釐） ----.^---------it---------Sv, i (請先閩讀背面之注意事項再填寫本有) 經濟部中央標率局員工消费合作社印製 412447 a8 C8 D8々、申請專利範圍 4. 一種磊晶生長用氣通之供給装置，包括： -用以將液ffi原料（20)加热至該液艨之沸點以上溢度 而使其氣化之氣化器（19); -將氣化器（19)氣化之原料氣*控制於所定之質量流 ftUass flow)之第1霣量流量控制器（36>; -將載》氣靂控制於所定之質ft溁量之第2質5潦量 控制器U1); -用Μ使上述各控制於所定之質最流量之原料氣«及 載體氣fi混合之混合機（43); -用以調整原料氣»及載蠖氣Η之混合氣嫌之流量之 第1淀最調節閥（48); -將上述流量理調整之混合氣臞供給至磊晶生長用反 應爐（51)之管路（49); -用Μ將氣化器（13)之原科氣«送出用管路25至上述 诊路（49)之間之原料氣«及混合氣艚，在其凝雄點以上之 溫度下加热保溫之裝董（53)。 5. 如申謫專利範國第4項之供給裝置，其中將複數 之氣化器（19)並排設置，並從此等禊數之氣化器中選擇軍 一之氣化器而由此氣器將原料氣fi送至第1質置淀量控制 器（36)為其樽成者〇 6. 如申請専利範圃第4項之供給裝置，其中設置可 使氣化器（19)氣化之原料氣體滯留之第1鑀街槽（33),利 -19- (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家揉隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） 412447 A8 B8 ' C8 _ D8 _ 六、申請專利範圍 用上逑第1質遒流矗控制器（36),將由該第1媛街檐（33) 送出之原科親體控制於所定之霣fi流量為其構成者。 7. 如申誧専利範園第4或8項之供給裝置，其中， 用以在氣化器（13)加热液賵原科（20)之媒嫌為具有比該液 « 髓原料之佛點K上之一定溫度之水（24),並且備有一用K 檢澜氣化器（19)或第1級街槽（33)內之原料氣«之壓力 之壓力檢拥器（27)、一用以諝整送入氣化器（19)中之液» 原料（20)之供給最之第2流最諝節«(18)、及一根據壓力 檢测器（27)之檢拥_出（output ),控制第2掇鼉調節閥 (18}之控制器（28)。 8. 如申請専利範園第4項之供給裝置，其中，配置 一用以使由混合器（43)送出之混合氣體滯留之第2强瘡播 (46),而根捶此第2嫒衡楢（46)内之混合氣^之壓力，躇 第1潦量調節閥（48)諝整混合氣«之流霣。 經濟部中央揉隼局貝工消費>作社印裝 3. 如申請専利範画第4或8項之供給裝置，其中， 管路U9)係由一接連於第1逋量調節閥（48)之主管路（ 49a)及一用K3接該主管路（49a)及複數之磊晶生長用反 應爐（51)之環狀管路（49b)構成，使通通主管路（49a)之 混合氣植由雙方向流入環狀管路（49b)中。 -20- 適用中國國家揉準（CNS)A4洗格（210x297公董）