TW200927363A - A stage device - Google Patents

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200927363 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於機台裝置之技術領域，尤其關於可分解 之機台裝置。 【先前技術】 第9圖的圖號105，係顯示先前技術之機台裝置。 此機台裝置105係具有底座板111，底座板111係藉 由配置於內面的四個角落之腳部112a〜112d，載置於地面 上。 於底座板111的表面上鋪設有軌道117、118，於其 上方乘載有吐出裝置113。於吐出裝置113之與底座板 1 1 1面對的面，配置有印刷頭。印刷頭連接於液槽1 29， 並從液槽1 29將吐出液供應至印刷頭，當使基板1 07乘載 於底座板1 1 1上並從印刷頭將吐出液吐出時，吐出液彈著 於基板107上。 吐出裝置113係構成爲可於軌道117、118上移動， 如第10圖所示，當於基板107的上方將吐出液吐出時， 可將吐出液彈著於基板107表面的期望位置。 此吐出液例如爲液晶配向膜用的有機薄膜原料，或是 液晶顯示裝置之間隔件的分散液、有機電激發光顯示元件 之發光層的原料等，機台裝置105係使用於將吐出液吐出 至較大基板者。 然而’吐出對象的基板乃朝向大型化的方向發展，因 -5- 200927363 應此發展’亦使機台裝置逐漸大型化，就成本的問題或法 規上的問題來看，係難以將在工廠中所製造出的機台裝置 搬運至設置場所。 因此’於先前技術中亦採取對策，以嘗試將底座板分 割而搬運。 [專利文獻1]日本特開2007-73688號公報 ^ 【發明內容】 ❹ (發明所欲解決之課題） 然而’當在設置場所組裝分割了的底座板時，對位會 花費極大手續’或是組裝精度會惡化，仍需加以解決。 (用以解決課題之手段） 爲了解決上述課題，本發明是可裝卸地使設置於主載 置台之主底座板與設置於副載置台且較前述主底座板還小 φ 之副底座板水平地連接之機台裝置，於前述副載置台，設 置有：乘載有前述副底座板之台車；以及可變更前述台車 與前述副底座板的相對位置之調整機構。 此外’本發明爲機台裝置，其係於前述主載置台設置 有主定位構件；於前述副載置台設置有能夠與前述主定位 構件接觸之副定位構件，前述主定位構件與前述主底座板 之間的位置關係、與前述副定位構件與前述副底座板之間 的位置關係當中，至少一方的位置關係，係構成爲能夠變 更且能夠固定。 -6 - 200927363 此外’本發明爲機台裝置，其係使前述主定位構件與 前述副定位構件嵌合’而決定前述副載置台相對於前述主 載置台之位置。 此外’本發明爲機台裝置，其中前述副定位構件係設 置於前述台車。 此外’本發明爲機台裝置，其中，於前述主載置台的 前述主底座板’設置有主軌道；於前述副載置台的前述副 0 底座板上，設置有與前述主軌道連結之副軌道。 發明之效果： 可提升在正式設置場所中之主底座板與副底座板的對 位精度。 可簡化正式設置場所中之作業。 【實施方式】 〇 第5圖（a) 、（b)之圖號5，係顯示本發明之機台 裝置。同圖（a)爲俯視圖，同圖（b)爲側視圖。 此機台裝置5係具備主載置台10以及複數個副載置 台 20a~20d 。 主載置台10與副載置台20a〜20d，分別具有表面爲 平坦之主底座板Π及副底座板21。主底座板11及副底 座板2 1的表面，分別以相同高度且呈水平地配置。 主底座板1 1的俯視形狀爲矩形，其四邊當中，沿著 互爲平行的兩邊鋪設有主軌道17a、17b。 200927363 於副底座板2 1上配置有副軌道1 8。 主軌道17a、17b的兩端部連接於副軌道18的端部， 藉由兩條副軌道18以及包夾於其間之主軌道i7a或17b ，而形成連續之一條軌道19a或19b。 於軌道19a、19b上，設置有能夠移動之移動構件（ 在此爲移動台架），於移動台架乘載有吐出裝置13。 於此吐出裝置13的底面部分，設置有印刷頭（圖中 未顯示）。配置有吐出液之液槽29係連接於吐出裝置13 ，並構成爲當一邊從液槽2 9供應吐出液，一邊使印刷頭 動作時，可從印刷頭將吐出液吐出。 位於主底座板11的主軌道17a、17b之間之部分的上 方，配置有基板7。 吐出裝置13係構成爲可於軌道19a、19b上行走，如 第6圖（〇、（b)所示，當在吐出裝置13位於基板7 上之狀態下，從印刷頭將吐出液吐出時，可將吐出液彈著 g 於基板7表面。當移動吐出裝置13時，可將吐出液彈著 於基板7表面的期望位置。 此機台裝置5係配置於對基板7進行吐出作業之正式 設置場所，但由於主底座板11較大，如第5、6圖所示， 在將副載置台20a〜20d連結於主載置台1〇，並組裝了主 底座板11及副底座板21之狀態下，乃無法從製造機台裝 置5時所組裝之組裝場所，搬運至正式設置場所。 本發明之機台裝置5，係構成爲副載置台2 0a~20d可 裝卸於主載置台10，如下述般，於暫時設置場所進行對 -8- 200927363 位後分離，從暫時設置場所搬運至正式設置場所，並於正 式設置場所復原經過對位之狀態，然後連接主底座板11 與副底座板2 1。 第1圖（a)係顯示並非在正式設置場所，而是放置 在暫時設置場所之狀態下的主載置台1〇之俯視圖，同圖 (b )係顯示該主載置台1 0之側視圖。 於主底座板11內面的四個角落附近，配置有腳部 12a~12d ° 於同圖（a)(以及後述之第3圖（a)、第4圖（a ))中，以兩點虛線表示主底座板11與主軌道17a、17b ，以實線表示腳部12a〜12d。腳部12a~12d係固定於主底 座板1 1的內面。 接著，第2圖（a)爲副載置台2 0a~2 0d之俯視圖， 同圖（b )爲該側視圖。 副載置台20a〜20d分別具有台車22，副底座板21乘 載於台車22上。 於台車22設置有複數個搬運車輪23。在此，台車22 具有台座27，搬運車輪23設置於台座27之底面的四處 〇 主底座板1 1與副底座板2 1，爲長方形或正方形形狀 。副底座板21被設定爲主底座板11之一半以下的大小， 副底座板2 1於主底座板1 1的兩邊側，可分別於每側連接 兩個。 搬運車輪23係設置爲副底座板21以連接於主底座板 -9- 200927363 11之部分爲前頭而至少能夠前進及後退之朝向，當使搬 運車輪23接觸於地面並朝向前進方向或後退方向施力時 ，搬運車輪23旋轉，使副載置台20 a〜20d往對地面上施 力之方向行走。 於台座27上’由滾筒及旋轉軸所形成之副定位構件 24!、2 42係設置有一個至複數個。 在此’副定位構件24!、242設置有兩個，並且於台 0 座27上之副底座板21的前進方向前頭，互相間離開地配 置於行進朝向的兩側位置。 腳部12a〜12d接觸於地面，並具有支撐主底座板11 之支撐部1 5以及設置於支撐部1 5的外周側面之板狀的主 定位構件1 6。主定位構件1 6係配置於從地面爲一定距離 之上方，於主定位構件與地面之間形成間隙。 副定位構件24 !、242係構成爲相對於台座27可移動 及固定，預先增大副定位構件24:、242之間的距離，如 φ 第3圖的副載置台20b所示，當以主軌道17a或17b與副 軌道1 8呈一直線之方式，使副載置台20b的前頭部分朝 向腳部12b前進時，如同圖的副載置台20a所示，台座 2 7被插入於主定位構件1 6與地面之間。 主定位構件16，係配置於腳部i2a~i2d的側面當中 與主軌道17a、17b平行之側面。 主定位構件1 6，係配置爲與副定位構件24 !、242相 同高度，但副定位構件24 i、242的間隔，可預先形成爲 較主定位構件16的寬度更寬，即使副定位構件、24a -10- 200927363 不與主定位構件16接觸，台座27亦可被插入於主定位構 件1 6的下方，如同圖的副載置台2 Ob所示，副底座板2 1 與主底座板11互相接觸。 在此狀態下，距離主底座板1 1與副底座板2 1之間之 理想的位置關係之誤差仍大。 於副載置台20a〜20d設置有調整機構30，其可調整 副底座板2 1的高度、斜率，以及水平方向的位置及朝向 〇 此調整機構30係具有：可槪略地變更副底座板21的 高度、‘斜率、水平方向的位置、及朝向之粗略調整機構 3.1 ;以及較粗略調整機構3 1更能夠精密地進行變更之微 細調整機構3 2。 粗略調整機構31係構成爲較微細調整機構32更可大 幅變更副底座板21的高度、斜率、水平方向的位置，首 先藉由粗略調整機構31，對每個副載置台20a〜20d進行 副底座板21相對於主底座板11之槪略的對位。 暫時設置場所的地面爲水平，當主底座板11藉由設 置於主載置台10之主調整機構（圖中未顯示）預先使表 面呈水平時，可藉由粗略調整機構31，使副底座板21成 爲在主底座板11的表面大致相同的高度中呈水平，並且 進行與主底座板11之相對位置與朝向之粗略調整，而進 行槪略的對位。 接著固定粗略調整機構31 (的粗略調整螺絲等）， 一邊使經過粗略調整之副底座板21與主底座板11的相對 -11 - 200927363 位置不會改變，一邊移動副定位構件2h、242，當在接觸 於主定位構件16之狀態下將副定位構件24!、242固定於 台座27時，主定位構件16係由副定位構件2钧、242所 夾持。 藉此，可決定在經過粗略調整的狀態下之主載置台 10與副載置台20a〜2 0d之間的位置關係。 支撐部1 5係位於較主底座板1 1的外周更內側，主定 位構件16之距離主底座板11的外周較遠的部分，其寬度 較寬’較接近主底座板11的外周之部分，其寬度較窄。 在副定位構件24 t、242夾持主定位構件16之狀態下，雖 然副載置台20a~20d可往主底座板11的外側方向移動（ 後退方向），但相對於腳部12a~12d則無法往前進及左右 方向移動。 因此，若不解除粗略調整機構31的固定，或是副定 位構件24!、242相對於台座27之固定，即使將副載置台 20a〜20d從主載置台1〇予以分離，亦能夠與分離前爲同 樣方式地藉由副定位構件24!、242來夾持主定位構件16 ，因此，當移動副載置台20a~20d時，能夠容易地重現經 過粗略調整的狀態。 於台座27與副底座板21之間，配置有架台25。副 底座板21係固定於架台25。於此架台25設置有連結構 件33’當藉由此連結構件33將架台25固定於腳部 12a~12d時，主底座板11與副底座板21，係在經過粗略 調整的狀態下，夾介架台25及腳部12a〜1 2d而固定其相 -12- 200927363 對位置。 接著藉由微細調整機構32，對每個副載置台2 0a〜20d ，調整副底座板21的高度、斜率、水平方向的位置及朝 向，並對副底座板21相對於主底座板11之位置進行微細 調整。 藉由上述步驟，使副底座板2 1與主底座板1〗成爲經 過對位之狀態，副軌道18筆直地連接於主軌道17a、17b 0 的兩端，而獲得直線狀的軌道19a、19b。 於暫時設置場所進行此暫時組裝後，卸下連結構件 33來解除主載置台10與副載置台20a~20d之間的連結， 當使副載置台20a〜20 d後退而分離主載置台10與副載置 台2 0a〜20d時，乃成爲可分別搬運之狀態。 此時，不解除副定位構件241、242對台座27之固定 ’使副定位構件241、242之間的距離不會改變。此外， 亦固定粗略調整機構31或微細調整機構32的粗略動作螺 0 絲或微細動作螺絲，而使經過粗略調整與微細調整之狀態 不會改變。 將主載置台10與副載置台20a〜20d裝載於各車輛等 ，藉由陸運或海運等搬運至正式設置場所’並首先將主載 置台10配置於正式設置場所的特定位置。 接著將副載置台20a~20d朝向腳部12a〜12d而配置’ 如第7圖所示，以可將各副載置台20a~20d復原成在暫時 設置場所中經過組裝的狀態，分別使各副載置台20a~20d 朝向腳部12a〜12d前進。 -13- 200927363 由於主定位構件16的寬度係朝向副載置台20a〜20d 之行進方向的縱深方向擴大，所以，當各副載置台 2 0a〜2 0d的台座27進入於主定位構件16的下方時，主定 位構件16插入於副定位構件24l、242之間，當副定位構 件24 !、與主定位構件1 6接觸時，係停止副載置台 20a~20d的前進° 此狀態係與第4圖所示的狀態相同，藉由連結構件 3 3來連結固定副載置台20a〜20d的架台25與主載置台10 的腳部12a〜12d之間，並將台座27固定於腳部12a〜12d 〇 暫時設置場所與正式設置場所的地面爲水平，當副定 位構件2叫、242與主定位構件16在與暫時設置場所中所 接觸之位置爲相同的位置上接觸時，係使副載置台 20a〜20d與主載置台10在暫時設置場所中之位置關係復 原。 亦即，副底座板2 1與主底座板1 1同樣成爲經過粗略 調整與微細調整之狀態。 然而，由於是解除副載置台20a〜20d與主載置台10 之間的連結，再分離搬運副載置台20a〜20d與主載置台 10，所以會因搬運時的振動或溫度變化等，可能會有產生 較小的對位誤差E4時。此外，可能於設置場所具有誤差 ，或是在正式設置場所將主底座板11的表面重新設定爲 水平時，亦會產生對位誤差。 此對位誤差大約爲與微細調整誤差同等程度的大小， -14- 200927363 乃維持在經過粗略調整之狀態。因此，即使進行再次調整 時，其調整量較少’並且可迅速地進行調整。 因此，在將主底座板11的表面設定爲水平後’藉由 微細調整機構32，對副載置台20a~20d之上下方向的高 度、斜率，以及水平方向的位置及朝向進行微細調整時’ 副底座板2 1相對於主底座板1 1之位置改變，使對位誤差 E4降低，而將主底座板11與副底座板21的對位誤差降 低爲與搬運前之微細調整誤差E3同等程度的大小。 第5圖（a) 、（b)爲藉由以上步驟在正式設置場所 上進行組裝之機台裝置5的俯視圖及側視圖，主底座板 11上的主軌道17a、17b與副底座板21上的副軌道18爲 直線狀地連接，並且筆直地鋪設軌道19a或19b。 於同圖中，吐出裝置1 3係位於主載置台1 0的外側位 置之副載置台20b、20c上，於此位置上，可進行印刷頭 的清潔等。此外，由於吐出裝置13不位在基板上，所以 可更換主載置台10上的基板7。 由於主底座板1 1與副底座板2 1之間的對位精度極高 ’如第6圖（a) 、（b)所示，即使在副載置台20 a〜20d 上與主載置台10之間使吐出裝置13移動，亦不會產生振 動。 架台25可從台車22分離，當藉由連結構件33將架 台25固定於腳部12 a〜12d時，如同圖（b)所示，即使從 架台25的下方卸下台車22，副底座板21亦能夠成爲固 定在主底座板11之狀態。 -15- 200927363 如以上所說明，於本發明中，係在正式設置場所組裝 副載置台20a〜20d與主載置台10之前，預先於製造該機 台裝置5之工廠內等的暫時設置場所，在對副底座板21 與主底座板1 1進行了對位之後，以能夠復原該狀態之方 式進行分離及搬運，並能夠在正式設置場所進行組裝。 組裝中所使用之連結構件33，可設置於副載置台 20a~20d，或是設置於主載置台1〇。此外，亦可構成爲能 φ 夠從副載置台20 a〜2 0d與主載置台10兩者取出。 於上述實施例中，係以板狀構件構成主定位構件1 6 ，並以接觸於其側面之滾筒構成副定位構件24 i、242，但 並不限定於此’只要是可重現副底座板21與主底座板11 之相對的位置關係之構件即可。亦能夠以滾筒構成主定位 構件，並以板狀構件構成副定位構件。 此外’於上述實施例中，主定位構件16被固定於腳 部12a〜12d內’而使主定位構件16與主底座板U之間的 φ 位置關係成爲固定’另一方面，副定位構件24242構 成爲相對於台座27可移動及固定，但可與此相反，使副 定位構件24 :、242與副底座板2 1的位置關係成爲固定， 並構成爲可變更及固定主定位構件16與主底座板11之間 的位置關係。此時’於粗略調整後，藉由連結構件33予 以固定後’使主定位構件1 6移動並與副定位構件24 i、 242接觸’而固定主定位構件1 6相對於主底座板1 1之位 置。 再者’於上述實施例中，係將分別具有副底座板2 i -16- 200927363 之4台副載置台20a~20d，分別連結1台於4台腳部 1 2a〜1 2d，但如第8圖所示，下列機台裝置亦包含於本發 明，其係藉由：具備設置有兩條副軌道181、182之寬度 較寬的副底座板41之副載置台20e、20f ;以及將該副載 置台20e、20f連結於兩個腳部12a〜12d之主載置台10所 組裝而成。 此時，亦可藉由調整機構30，預先在暫時設置場所 φ 對副載置台20e、20f的副底座板41與主載置台10的主 底座板11進行對位，並且以能夠維持該狀態之方式進行 分離及搬運之後，能夠在正式設置場所復原對位。亦可在 正式設置場所藉由調整機構30進行微細調整。 此外，於上述實施例中，係於本發明之機台裝置5的 主及副載置台10、20a~20d上配置吐出裝置13’並作爲 噴墨裝置使用，但本發明並不限定於此，亦可在本發明之 機台裝置5配置雷射照射裝置，並作爲加熱裝置、檢查裝 φ 置、或曝光裝置使用，或是配置基板對位裝置而作爲對準 裝置使用。 總而言之，本發明之機台裝置5並不限定於噴墨裝置 〇 此外，可於軌道19a、19b上移動之移動構件並不限 定於移動台架，例如可爲載置有基板等處理對象物之載置 台。 【圖式簡單說明】 -17- 200927363 用IJ/P用 係個係 ){該){ a 爲 a ()( 圖 b 圖 Γν 1 2 第圖第 視 俯 之 台 置 主 的 所 場 置 設 時 暫 明 說 以 圖 之 台 置 載 ΤΤΒ0Γ 副 的 所 場 置 設 時 暫 明 說 以 俯視圖，（b )爲該側視圖。 第3圖係用以說明在暫時設置場所將副載置台連結於 主載置台之工序的內部俯視圖。 第4圖係用以說明於暫時設置場所或正式設置場所上 0 所連結之主載置台與副載置台的狀態之內部俯視圖。 第5圖（a )係顯示本發明的一例之機台裝置的俯視 圖，（b )爲該側視圖。 第6圖（a )係用以說明該機台裝置的動作狀態之俯 視圖，（b )爲該側視圖。 第7圖係用以說明在正式設置場所將副載置台連結於 主載置台之工序的俯視圖。 第8圖係用以說明本發明之其他例子的機台裝置之俯 ❹ 視圖。 第9圖（a)係顯示先前技術的機台裝置之俯視圖（1 )，（b )爲該側視圖（1 )。 第10圖（a)係顯示先前技術的機台裝置之俯視圖（ 2 ) ，（ b )爲該側視圖（2 )。 【主要元件符號說明】 5 :機台裝置 1 〇 :主載置台 -18- 200927363 11 :主底座板 1 3 :吐出裝置 1 6 :主定位構件 20a〜20f :副載置台 2 1、41 :副底座板 24!、242 :副定位構件 3 〇 :調整機構 3 3 :連結構件

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Claims (1)

1. 200927363 十、申請專利範圍 種機台裝置，是可裝卸地使設置於主載置 底座板與設置於副載置台且較前述主底座板還小之 板水平地連接之機台裝置，其特徵爲： 於前述副載置台，設置有：乘載有前述副底座 車·’以及可變更前述台車與前述副底座板的相對位 整機構。 ❹ 2.如申請專利範圍第1項所記載之機台裝置， 於前述主載置台設置有主定位構件； 於前述副載置台設置有能夠與前述主定位構件 副定位構件， 前述主定位構件與前述主底座板之間的位置關 BU述副定位構件與前述副底座板之間的位置關係當 少一方的位置關係，係構成爲能夠變更且能夠固定 3 ·如申請專利範圍第2項所記載之機台裝置， 〇 使前述主定位構件與前述副定位構件嵌合，而決定 載置台相對於前述主載置台之位置。 4 .如申請專利範圍第2項所記載之機台裝置， 前述副定位構件係設置於前述台車。 5 .如申請專利範圍第1項所記載之機台裝置， 於前述主載置台的前述主底座板，設置有主軌道； 於前述副載置台的前述副底座板上，設置有與 軌道連結之副軌道。 台之主 副底座 板之台 置之調 其中， 接觸之 係、與 中，至 〇 其中， 前述副 其中， 其中， 前述主 -20-