JP2009276100A - 基板検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】搬送ステージとガントリーとの位置関係の再現性を向上させ、基板の検査精度の低下を防止することができる基板検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】基板を一方向に搬送する搬送ステージ６と、前記基板に対向させられて、該基板を検査する検査ヘッド２５と、搬送ステージ６を跨いで配置され、搬送ステージ６による基板の搬送方向と略直交する方向に検査ヘッド２５を移動させるガントリー４と、ガントリー４および搬送ステージ６を搭載した状態に固定する架台５０と備え、架台５０が、前記基板の搬送方向に直交する方向に分割可能に連結された分割架台１，２，３を有し、搬送ステージ６が、架台５０に脱着可能に取り付けられ、ガントリー４が、分割架台１，２，３のいずれかに水平回転可能に取り付けられている基板検査装置１００を採用する。
【選択図】図１

Description

本発明は、液晶パネル等の基板を検査する基板検査装置に関するものである。

近年、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用のガラス基板（マザーガラス）として２ｍを超える大型ガラス基板が出現している。この大型ガラス基板を検査する基板検査装置として、ガラス基板を一定方向に搬送し、この搬送方向と直交するようにガラス基板を跨いでガントリーが架設され、このガントリーに検査ヘッドが取り付けられた装置が知られている。

このように、ガントリーが一体に組み込まれた基板検査装置は、ガラス基板のサイズに比例して大型となり、道路法等の法律で規制される車両で輸送することができないという問題が生じている。この問題を解決する方法として、例えば、特許文献１に開示されている除去装置が知られている。この装置は大型であるため、運搬や移動を容易に行うことを目的として、基台、支持基盤、第１のフレーム部、第２のフレーム部、第３のフレーム部、フィルタ基板支持部材、２つのフィルタ基板支持部材移動台、２つの除去対象物除去ユニット支持板、除去対象物除去ユニットが細かく分割できるように構成されている。
特開２００４−２０９５８６号公報

しかしながら、この除去装置のように基板検査装置を細かく分割すると、製造工場にて組み立てた後に所定の検査精度となるように調整が行われても、輸送時には梱包単位に分割して輸送を行う必要があるため、設置先にて組み立てを容易に行うことが困難であった。

特に、基板を搬送する搬送ステージと検査ヘッド等を支持するガントリーとの位置関係が基板の検査精度に大きな影響を与えるが、装置を運搬する際に要求される形状にするには搬送ステージとガントリーとを分割せざるを得ないため、設置先での組み立て性を低下させてしまうという不都合があった。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、搬送ステージとガントリーとの位置関係の再現性を向上させ、設置先での組み立て性の低下を防止することができる基板検査装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。
本発明は、基板を一方向に搬送する搬送ステージと、前記基板に対向させられて、該基板を検査する検査ヘッドと、前記搬送ステージを跨いで配置されたガントリーと、該ガントリーおよび前記搬送ステージを搭載し、前記基板の搬送方向に対して直交する方向に複数に分割可能な架台とを備え、前記ガントリーが、いずれかの前記複数に分割可能な架台に水平回転可能に取り付けられている基板検査装置を採用する。

本発明によれば、搬送ステージを架台から取り外して、架台を複数の分割架台と、該分割架台およびガントリーからなる分割ユニットとに分割し、ガントリーを分割架台に対して水平回転させ、分割架台の長手方向とガントリーの長手方向とを揃えて分割ユニットの幅（短手方向の長さ）を小さくすることができる。これにより、分割ユニットを、分割架台とガントリーとに分離することなく、例えば、トラック等により運搬しやすい形状とすることができる。したがって、運搬先にて再び組み立てる際に、架台に固定される搬送ステージとガントリーとの位置関係の再現性を向上させることが可能となる。また、ガントリーを架台上に吊り上げる作業等が不要となるため、組み立て作業を容易化することができる。

上記発明において、前記架台に、前記基板の搬送方向に対して前記検査ヘッドの移動方向が略直交するように、前記ガントリーが水平回転させられたときに突き当たる突き当て部材が設けられていることとしてもよい。
このようにすることで、ガントリーを水平回転させたときに、基板の搬送方向に対して検査ヘッドの移動方向が略直交するように、ガントリーが突き当て部材に突き当てられるので、架台に固定される搬送ステージとガントリーとの位置関係の再現性を更に向上させることができる。

上記発明において、前記ガントリーの回転中心が、前記ガントリーの端部側に設けられていることとしてもよい。
このようにすることで、ガントリーの中央部下側にスペースを確保して搬送ステージを架台に固定することができ、その際の作業性を向上させることができる。

上記発明において、前記ガントリーの回転中心が、前記ガントリーの略中央部分に設けられていることとしてもよい。
このようにすることで、搬送時にガントリーを略中央部分で回転させることにより、バランスの良い形状とすることができる。

上記発明において、前記ガントリーは複数設置され、各々の前記ガントリーの回転中心が、前記基板の搬送方向に直交する方向に、各前記ガントリーが回転可能な間隔で設けられていることとしてもよい。
このようにすることで、複数のガントリーを各々回転させて搬送しやすい形状とすることができる。

本発明によれば、搬送ステージとガントリーとの位置関係の再現性を向上させ、組み立てを容易にすることができるという効果を奏する。

〔第１の実施形態〕
以下に、本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置について、図面を参照して説明する。
本実施形態に係る基板検査装置１００は、図１（ａ）〜（ｃ）に示されるように、フォト・リソグラフィ・プロセスラインで製造されるマザーガラス基板等のシート基板を検査するための装置であって、基板の搬送方向に直交する方向に連結された分割架台１，２，３より構成される架台５０と、架台５０の上部に設置された搬送ステージ６および搬送軸部５と、搬送軸部５の軸線と略直交する方向に搬送ステージ６を跨いで設置され、図示しない検査ヘッド２５を搬送ステージ６に対向するように支持するガントリー部４とを備えている。

搬送ステージ６は、架台５０に脱着可能に取り付けられており、不図示の上面に設置されたエアー噴出孔より空気を出して基板を浮上させる。
搬送軸部５は、吸引により基板を吸着させた状態で、基板の搬送方向にガイドレールに沿って移動する吸着移動機構を備えている。この吸着移動機構は、浮上した基板を一方向に搬送するようになっている。
ガントリー部４は、ヘッド搬送機構２０を備えており、搬送ステージ６による基板の搬送方向と略直交する方向に検査ヘッド２５を移動させるようになっている。
ヘッド搬送機構２０は、顕微鏡やレーザ修正装置などの検査ヘッド２５を装着し、ガイドに沿って移動させるようなリニアモータやボールネジ等の機構で構成されている。なお、ガントリー部４には、ヘッド搬送機構２０を備えていなくてもよく、例えば、複数の撮像カメラを連ねて装着するものであってもよい。
架台５０は、ガントリー部４および搬送ステージ６を搭載した状態に固定しており、分割架台１，２，３に分割することができるようになっている。

上記構成を有する基板検査装置１００において、搬送ステージ６に載置された基板は、図１（ａ）の矢印５１の示す方向に搬送されてガントリー部４の下方を通過する。この際、ガントリー部４に支持された検査ヘッド２５が図１（ａ）の矢印５２の示す方向に移動することで、基板表面の異物や傷等の検査が行われる。
ここで、基板検査装置１００は、搬送ステージ６の水平度が調整されているとともに、搬送ステージ６に対するガントリー部４の直角度および平行度が調整されている。このように調整することで、基板を精度良く検査できるようになっている。

上記の基板検査装置１００を運搬する際の手順について以下に説明する。
図２は、図１の基板検査装置１００を運搬するための第一段階として、搬送軸部５および搬送ステージ６を架台５０から取り外した場合の状態を示している。
図２に示すように、ガントリー部４は、ガントリー部４の略中央部分にある回転中心部７により分割架台１に水平回転可能に取り付けられている。ここで、回転中心部７はベアリングと回転軸から構成されていることとして説明する。

図３は、図１の基板検査装置１００の運搬するための第二段階として、架台５０を分割架台１，２，３に分割した場合の状態を示している。図３に示すように、架台５０を基板の搬送方向に直交する方向に、ガントリー部４を搭載した分割架台１と、分割架台２と、分割架台３とに分割する。

図４は、図１の基板検査装置１００の運搬するための第三段階として、分割架台１とガントリー部４から構成される分割ユニット６０の形状を変更した場合の状態を示している。図５（ａ），（ｂ）に示すように、ガントリー部４を分割架台１に対して回転中心部７を中心として水平回転させることで、分割架台１の長手方向とガントリー部４の長手方向とを揃えて分割ユニット６０の幅（短手方向の長さ）を小さくすることができる。

以上のように、本実施形態に係る基板検査装置１００によれば、搬送軸部５および搬送ステージ６を架台５０から取り外して、架台５０を複数の分割架台１，２，３と、分割架台１およびガントリー部４からなる分割ユニット６０とに分割し、ガントリー部４を分割架台１に対して水平回転させ、分割架台１の長手方向とガントリー部４の長手方向とを揃えて分割ユニット６０の幅（短手方向の長さ）を小さくすることができる。これにより、分割ユニット６０を、分割架台１とガントリー部４とに分離することなく、例えば、トラック等により運搬が容易な形状とすることができる。したがって、運搬先にて再び組み立てる際に、架台５０に固定される搬送ステージ６とガントリー部４との位置関係の再現性を向上させることが可能となる。また、ガントリー部４を架台上に吊り上げる作業等が不要となるため、組み立て作業を容易化することができる。

なお、図６と図７に示すように、分割架台１に、基板の搬送方向に対して検査ヘッドの移動方向が略直交するように、ガントリー部４が水平回転させられたときに突き当たる突き当て部材８，９を設けることとしてもよい。ここで、図６は設置時の状態を実線で、図７は搬送時の状態を実線で示している。
このようにすることで、ガントリー部４を水平回転させたときに、基板の搬送方向に対して検査ヘッドの移動方向が略直交するように、ガントリー部４が突き当て部材８に突き当てられるので、架台５０に固定される搬送ステージ６とガントリー部４との位置関係の再現性を更に向上させることができる。

また、図８および図９に示すように、ガントリー部４の回転中心部７を、ガントリー部４の端部側に設けることとしてもよい。ここで、図８は設置時におけるガントリー部４が基板の搬送方向と直交する状態を示しており、図９は搬送時におけるガントリー部４が基板の搬送方向と平行となるように回転した状態を示している。
このようにすることで、ガントリー部４の中央部下側にスペースを確保して搬送ステージ６を架台５０に固定することができ、その際の作業性を向上させることができる。
また、運搬時には運搬用追加架台７１を分割架台３に装着してガントリー部４を支えることにより、分割ユニット７０の運搬時の安定性を向上させることができる。
なお、図８に示す分割架台２は、他の分割架台１，３と同じ大きさである必要はなく、点線で示すように、ガントリー部４の端部を支えられる大きさであればよい。

〔第２の実施形態〕
次に、本発明の第２の実施形態について以下に説明する。
基本的な構成は第１の実施形態と同様であり、第１の実施形態と共通する点については説明を省略し、異なる部分について主に説明する。また、第１の実施形態と同一の機能の部分には同一の番号を付し、説明を省略する。

本実施形態に係る基板検査装置２００は、図１０（ａ）〜（ｃ）に示されるように、大型の基板を検査するための装置であって、分割架台１，２，３より構成される架台５０と、架台５０の上部に設置された搬送ステージ６および搬送軸部５と、搬送軸部５と略直交する方向に搬送ステージ６を跨いで平行に２列設置され、図示しない検査ヘッドを搬送ステージ６に対向するように支持するガントリー部１１，１２と、ガントリー部１１，１２を一体的に固定するベース板１０とを備えている。

図１１（ａ），（ｂ）に示すように、ベース板１０は、回転中心部１３により分割架台１に水平回転可能に取り付けられている。したがって、ガントリー部１１，１２を分割架台１に対して回転中心部１３を中心として水平回転させることで、分割架台１の長手方向とガントリー部１１，１２の長手方向とを揃えて分割ユニット８０の幅（短手方向の長さ）を小さくすることができる。
これにより、分割架台１とガントリー部１１とガントリー部１２とを分離することなく、例えば、トラック等により運搬が容易な形状とすることができる。したがって、運搬先にて再び組み立てる際に、架台５０に固定される搬送ステージ６とガントリー部１１とガントリー部１２との位置関係の再現性を向上させることが可能となる。また、ガントリー部１１，１２を架台上に吊り上げる作業が不要となるため、組み立て作業を容易化することができる。

なお、図１２（ａ）〜（ｃ）に示すように、ガントリー部２１，２２にそれぞれ回転中心部２３，２４を設けることとしてもよい。この場合、回転中心部２３，２４の設置位置は、ガントリー部２１，２２の両方が水平回転可能なように検査ヘッドの移動方向に所定の距離を離し、それぞれ運搬時に９０°回転したときにガントリー部２１，２２が互いに干渉することなく分割架台１の略面内に収まる位置とする。
このようにすることで、図１３に示すように、ガントリー部２１，２２のそれぞれを独立して水平回転させることができ、その際に必要とする力を軽減することが可能となる。
なお、図１２の一点鎖線で示した位置で更なる分割ができるようにしてもよい。

以上、本発明の各実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
例えば、前述の各実施形態において、架台５０を３つの分割架台に分割するとして説明したが、運搬可能な形状に分割できれば２つに分割してもよいし、４つ以上に分割することとしてもよい。
また、分割架台の形状は、設置時に一体に装着可能であればよく、例えば、装着面の形状が互いにはまり込むようなジグザグであってもよく、複数の隙間を有する形状であってもよい。

本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置の概略構成図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は右側面図である。 図１に示す基板検査装置を運搬するための第一段階を説明する図である。 図１に示す基板検査装置を運搬するための第二段階を説明する図である。 図１に示す基板検査装置を運搬するための第三段階を説明する図である。 図４に示す第三段階の動作を説明する図であり、（ａ）は設置時の状態を示す図、（ｂ）は運搬時の状態を示す図である。 図１の変形例に係る基板検査装置の設置時の状態を示す図である。 図１の変形例に係る基板検査装置の搬送時の状態を示す図である。 図１の変形例に係る基板検査装置の設置時の状態を示す図である。 図１の変形例に係る基板検査装置の搬送時の状態を示す図である。 本発明の第２の実施形態に係る基板検査装置の概略構成図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は右側面図である。 図１０に示す基板検査装置を運搬するための第三段階の動作を説明する図であり、（ａ）は設置時の状態を示す図、（ｂ）は運搬時の状態を示す図である。 図１０の変形例に係る基板検査装置の概略構成図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は右側面図である。 図１２に示す基板検査装置を運搬するための第三段階の動作を説明する図であり、（ａ）は設置時の状態を示す図、（ｂ）は運搬時の状態を示す図である。

符号の説明

１ 分割架台（中央部）
２ 分割架台（左側部）
３ 分割架台（右側部）
４，１１，１２，２１，２２ ガントリー部
５ 搬送軸部
６ 搬送ステージ
７，１３，２３，２４ 回転中心部
８，９ 突き当て部材
１０ ベース板
５０ 架台
６０，７０，８０，８１ 分割ユニット
７１ 運搬用追加架台
１００，２００，２０１ 基板検査装置

Claims (5)

1. 基板を一方向に搬送する搬送ステージと、
   前記基板に対向させられて、該基板を検査する検査ヘッドと、
   前記搬送ステージを跨いで配置されたガントリーと、
   該ガントリーおよび前記搬送ステージを搭載し、前記基板の搬送方向に対して直交する方向に複数に分割可能な架台とを備え、
   前記ガントリーが、いずれかの前記複数に分割可能な架台に水平回転可能に取り付けられている基板検査装置。
2. 前記架台に、前記基板の搬送方向に対して前記検査ヘッドの移動方向が略直交するように、前記ガントリーが水平回転させられたときに突き当たる突き当て部材が設けられている請求項１に記載の基板検査装置。
3. 前記ガントリーの回転中心が、前記ガントリーの端部側に設けられている請求項１または請求項２に記載の基板検査装置。
4. 前記ガントリーの回転中心が、前記ガントリーの略中央部分に設けられている請求項１または請求項２に記載の基板検査装置。
5. 前記ガントリーは複数設置され、各々の前記ガントリーの回転中心が、前記基板の搬送方向に直交する方向に、各前記ガントリーが回転可能な間隔で設けられている請求項１または請求項２に記載の基板検査装置。

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